KR20150026963A

KR20150026963A - 노광 장치

Info

Publication number: KR20150026963A
Application number: KR20140114000A
Authority: KR
Inventors: 가즈히코 가토; 신이치 하뉴
Original assignee: 베아크 가부시끼가이샤
Priority date: 2013-08-30
Filing date: 2014-08-29
Publication date: 2015-03-11
Also published as: JP5631464B1; CN104423180A; KR101587731B1; JP2015049356A; CN104423180B

Abstract

본 발명의 과제는 롤 투 롤 방식의 노광 장치에 있어서, 마스크판의 패턴면의 제진을 자동으로, 또한 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판의 패턴면의 제진을 행할 수 있도록 한다.
기판(W)을 유지하는 노광 테이블(241)을 갖고, z축을 따라서 기판(W)과 함께 승강 가능한 노광 스테이지(240)와, 마스크판(210)의 후방측의 단부(210a)로부터 x축을 따라서 소정 간격 이격된 제1 위치 x1과 마스크판(210)의 전방측의 단부(210b)로부터 x축을 따라서 소정 간격 이격된 제2 위치 x4 사이를, 왕복 이동할 때의 가동 범위로 하여, 당해 가동 범위 내를 진행하면서 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작을 행하는 마스크 제진부(230)와, 마스크 제진부(230)의 왕복 이동을 제어하는 마스크 제진부 제어 장치(400)와, 노광 스테이지(240)의 승강을 제어하는 노광 스테이지 제어 장치(500)를 구비한다.

Description

노광 장치 {EXPOSURE APPARATUS}

본 발명은 기판의 감광면과 마스크판의 패턴면을 대면시켜, 기판의 감광면을 노광함으로써 기판에 패턴을 전사하는 노광 장치에 관한 것이다.

기판의 감광면과 마스크판의 패턴면을 대면시켜, 기판의 감광면을 노광함으로써 기판에 패턴을 전사하는 노광 장치는 종래부터 다양하게 알려져 있다. 이러한 종류의 노광 장치에 있어서는, 기판의 감광면을 제진할 뿐만 아니라, 마스크판에 있어서의 기판과의 대향면(마스크판의 패턴면이라고 함)을 제진하는 것이 중요하다. 이는, 마스크판의 패턴면에 진애가 존재하고 있으면, 노광했을 때에 마스크에 형성되어 있는 패턴과 함께 진애까지 전사되어 버려, 당해 기판이 불량품으로 되어 버리는 등의 문제가 발생하기 때문이다.

그런데, 이와 같은 노광 장치에는 1매 1매가 단척 시트 형상으로 되어 있는 기판의 노광 대상으로 하는 노광 장치뿐만 아니라, 장척 시트 형상의 기판을 노광 대상으로 하는 노광 장치도 있다.

장척 시트 형상의 기판을 노광 대상으로 하는 노광 장치는 송출부와 권취부 사이에 걸쳐져 있는 장척 시트 형상의 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 과정에서, 기판의 감광면과 마스크판의 패턴면을 대면시켜, 기판의 감광면을 노광하는 것으로, 소위 롤 투 롤(Roll to Roll) 방식의 노광 장치로서 종래부터 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

도 8은 특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)를 설명하기 위해 도시하는 도면이다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 노광 장치(900)는 도 8에 도시한 바와 같이, 장척 시트 형상의 기판(910)을 송출하는 송출부(920)와 노광 완료된 기판을 권취하는 권취부(930) 사이에 노광부(940)를 배치하여, 기판(910)을 반송시켜 가는 과정에서, 기판(910)의 감광면과 마스크판(950)의 패턴면을 대면시켜 기판(910)의 감광면을 노광하는 「롤 투 롤 방식의 노광 장치」이다.

또한, 특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)는 기판(910)의 양면이 감광면으로 되어 있고, 기판(910)의 양면을 동시에 노광 가능하게 하는 것이므로, 마스크판(950)은 기판(910)을 사이에 두도록 상하에 각각 설치되어 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 상측의 마스크판(950)을 상측 마스크판(951)으로 하고, 하측의 마스크판(950)을 하측 마스크판(952)으로 하여 설명한다.

이와 같은 롤 투 롤 방식의 노광 장치에 있어서도, 마스크판(950)[상측 마스크판(951) 및 하측 마스크판(952)]의 각 패턴면을 제진하는 것이 중요하다. 특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)에 있어서는, 상측 마스크판(951) 및 하측 마스크판(952)에 있어서의 각 패턴면의 제진은 다음과 같이 하여 행한다.

특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)에 있어서는, 상측 마스크판(951)의 제진을 행할 때에는, 기판(910)을 z축을 따라서 승강 가능한 높이 조절 롤러(960)에 의해, 기판(910)을 z축을 따라서 상승시킴으로써, 기판(910)을 하측 마스크판(952)으로부터 이격시킴과 함께, 상측 마스크판(951)을 z축을 따라서 상승시킴으로써, 상측 마스크판(951)을 기판(910)으로부터 이격시킨 상태로 하여, 상측 마스크판(951)의 패턴면을 제진한다.

한편, 하측 마스크판(952)의 제진을 행할 때에는, 상측의 마스크판(951)을 z축을 따라서 상승시켜 하측 마스크판(952)과의 사이에 넓은 간격이 형성되도록 함과 함께, 높이 조절 롤러(960)에 의해 기판(910)을 하측의 마스크판(952)으로부터 이격시킨 상태로 하여, 하측 마스크판(952)을 제진한다.

일본 특허 출원 공개 제2001-125274호 공보

상기한 바와 같이, 특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)에 있어서 마스크판(950)[상측 마스크판(951) 및 하측 마스크판(952)]의 각 패턴면을 제진할 때에는, 상측 마스크판의 패턴면 및 하측 마스크판의 패턴면의 제진을 하기 쉽도록, 각 패턴면과 기판의 간격을 벌리도록, 기판 및 상측의 마스크판을 이동시키는 조작을 행한 후, 상측 마스크판의 패턴면 및 하측 마스크판의 패턴면의 제진을 행한다. 또한, 특허문헌 1에 기재된 노광 장치(900)에 있어서는, 마스크판의 패턴면을 제진하기 위한 제진 장치는 특별히 설치되어 있지 않으므로, 마스크판의 패턴면의 제진은 작업자가 수작업으로 행하는 것으로 생각된다. 이로 인해, 마스크판에 있어서의 패턴면의 제진을 행할 때에 수고가 많이 든다.

또한, 특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)에 있어서는, 마스크판에 있어서의 패턴면의 제진을 행할 때에는, 노광 동작을 정지시킬 필요가 있다. 이로 인해, 본래, 고속으로 효율적인 노광이 가능해질 롤 투 롤 방식의 노광 장치에 있어서, 마스크의 제진으로 인해, 고속화 및 효율화가 크게 손상되게 된다. 특히, 보다 고품질의 노광을 행하고자 하는 경우에는, 마스크의 제진은 빈번히 행하는 것이 요구되므로, 마스크의 제진을 행할 때마다, 상기한 바와 같은 공정을 그때마다 행할 필요가 있어, 고속화 및 효율화가 보다 크게 손상되게 된다.

또한, 이 명세서에 있어서, 「노광 동작」이라는 것은, 「장척 시트 형상의 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 과정에서, 기판의 감광면과 마스크판의 패턴면을 대면시켜, 기판의 감광면을 노광하는 동작」을 말한다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 롤 투 롤 방식의 노광 장치에 있어서, 마스크판의 패턴면의 제진을 자동적으로 행할 수 있고, 또한 당해 롤 투 롤 방식의 노광 장치가 행하는 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판의 패턴면의 제진을 행할 수 있는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

[1] 본 발명의 노광 장치는 송출부와 권취부 사이에 걸쳐져 있는 장척 시트 형상의 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 과정에서, 상기 기판의 감광면과 마스크판의 패턴면을 대면시켜, 상기 기판의 감광면을 노광하는 노광 장치이며, 상기 기판이 x축 및 y축에 의해 형성되는 xy 평면에 있어서의 x축을 따라서 상기 권취부를 향하는 측을 전방측으로 하고, 당해 전방측과는 반대측을 후방측으로 했을 때, 상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크판과 대향하는 위치에 배치되어, xy 평면에 직교하는 z축을 따라서 상기 기판과 함께 승강 가능한 노광 스테이지와, x축을 따른 왕복 이동이 가능하고 상기 노광 스테이지와 함께 z축을 따라서 승강 가능하고, 또한 상기 기판의 감광면으로부터 z축을 따라서 이격된 상태에서 상기 마스크판의 측에 위치하도록 상기 노광 스테이지에 설치되고, 적어도, 상기 마스크판의 상기 후방측의 단부로부터 x축을 따라서 더욱 후방측으로 소정 간격 이격된 제1 위치와 상기 마스크판의 상기 전방측의 단부로부터 x축을 따라서 더욱 전방측으로 소정 간격 이격된 제2 위치 사이의 범위를, 상기 왕복 이동할 때의 가동 범위로 하여, 당해 가동 범위 내를 진행하면서 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하는 마스크 제진부와, 상기 마스크 제진부를 상기 왕복 이동시키기 위한 마스크 제진부 구동 기구부와, 상기 마스크 제진부 구동 기구부를 제어함으로써 상기 마스크 제진부의 상기 왕복 이동을 제어하는 마스크 제진부 제어 장치와, 상기 노광 스테이지를 z축을 따라서 승강 가능하게 하기 위한 노광 스테이지 구동 기구부와, 상기 노광 스테이지 구동 기구부를 제어함으로써 상기 노광 스테이지의 승강을 제어하는 노광 스테이지 제어 장치를 갖고, 상기 마스크 제진부는 적어도 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고 있고, 상기 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 상기 마스크판의 패턴면에 접촉한 상태로 회전해 가는 동작이고, 상기 마스크 제진부가 상기 마스크판에 대해 x축 및 z축을 따라서 각각 이격되어 있는 위치로부터 상기 마스크 제진부를 상기 마스크판의 패턴면에 접촉시킬 때에 있어서는, 상기 마스크 제진부 제어 장치는, 상기 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 대향하는 위치에 도달하도록 상기 마스크 제진부 구동 기구부를 제어하고, 상기 노광 스테이지 제어 장치는, 상기 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 대향하는 위치에 도달하면, 상기 마스크 제진부를 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 접촉시키도록 상기 노광 스테이지 구동 기구부를 제어하고, 상기 기판의 감광면을 노광할 때에는, 상기 마스크 제진부 제어 장치는 상기 마스크 제진부가, 상기 제1 위치 또는 상기 제2 위치에 도달한 상태로 되도록 상기 마스크 제진부 구동 기구부를 제어하고, 상기 노광 스테이지 제어 장치는 상기 마스크 제진부가, 상기 제1 위치 또는 상기 제2 위치에 도달한 상태에 있어서, 상기 노광 스테이지를 z축을 따라서 이동시켜 상기 기판의 감광면과 상기 마스크판의 패턴면이 접촉 또는 근접한 상태로 되도록 상기 노광 스테이지 구동 기구부를 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 노광 장치는, 마스크 제진부는 x축을 따른 방향에 있어서 마스크판보다도 넓은 범위(제1 위치와 제2 위치 사이의 범위)를 가동 범위로 하여, 당해 가동 범위를 진행함으로써 마스크판의 패턴면을 제진하는 구성으로 하고 있다. 그리고, 기판의 감광면을 노광할 때에는 마스크 제진부가, 제1 위치 또는 상기 제2 위치에 도달한 상태에 있어서, 노광 스테이지를 z축을 따라서 이동시켜 기판의 감광면과 마스크판의 패턴면이 접촉 또는 근접한 상태로 되도록 하여 노광을 행하도록 하고 있다. 이에 의해, 본 발명의 노광 장치에 따르면, 롤 투 롤 방식의 노광 장치에 있어서도, 마스크판의 패턴면의 제진을 자동으로 행할 수 있고, 또한 당해 롤 투 롤 방식의 노광 장치가 행하는 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판의 패턴면의 제진을 행할 수 있다.

또한, 본 발명의 노광 장치에 따르면, 마스크 제진부가, 적어도 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고 있고, 마스크 제진부가 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 마스크판의 패턴면에 접촉한 상태로 회전해 가는 동작이므로, 마스크판의 패턴면을 효율적이고, 또한 확실하게 제진할 수 있다.

또한, 본 발명의 노광 장치에 따르면, 마스크 제진부 제어 장치 및 노광 스테이지 제어 장치는 마스크 제진부가 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 대향하는 위치에 도달했을 때에, 마스크 제진부를 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 접촉시키도록 마스크 제진부 구동 기구부 및 노광 스테이지 구동 기구부를 각각 제어하도록 하고 있다. 이로 인해, 마스크 제진부가 x축을 따라서 진행할 때에, 마스크 제진부가 마스크판의 단부를 x축을 따른 마스크 제진부의 진행 방향으로 눌러 버린다는 동작이 발생하지 않는다. 이에 의해, 마스크판의 위치 어긋남을 방지할 수 있고, 또한 마스크판의 단부에 있어서의 코너부 등이 파손되어 버리는 것도 방지할 수 있다.

[2] 본 발명의 노광 장치에 있어서는, 상기 마스크 제진부는 상기 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시키고 있는 동안에 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 기판을 반송시키고 있는 동안에 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하기 위해, 롤 투 롤 방식의 노광 장치가 행하는 원래의 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판의 패턴면을 제진할 수 있다. 이에 의해, 롤 투 롤 방식의 노광 장치가 원래 갖고 있는 노광 동작 속도를 유지할 수 있다.

[3] 본 발명의 노광 장치에 있어서는, 상기 마스크 제진부가 상기 가동 범위 내를 상기 전방측으로 진행하는 동작을 전방 진행 동작으로 하고, 상기 마스크 제진부가 상기 가동 범위 내를 상기 후방측으로 진행하는 동작을 후방 진행 동작으로 했을 때, 상기 마스크 제진부는 상기 전방 진행 동작 및 상기 후방 진행 동작 각각에 있어서 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하고, 상기 전방 진행 동작 및 상기 후방 진행 동작 각각에 있어서 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 상기 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 동안에 교대로 행하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 마스크 제진부는 당해 마스크 제진부의 가동 범위를 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작할 때에, 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작 각각에 있어서 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행한다. 또한, 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작 각각에 있어서 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 기판이 간헐적으로 소정량씩 반송되어 가는 동작 사이에 교대로 행하고 있다. 이로 인해, 기판의 반송 동작과, 마스크 제진부의 제진 동작을 낭비 없이 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 노광 동작을 간헐적으로 행할 때에, 노광 동작과 노광 동작 사이에는 반드시 마스크판의 패턴면이 제진되게 되므로, 항상, 마스크판의 패턴면이 제진된 상태에서 노광할 수 있다.

[4] 본 발명의 노광 장치에 있어서는, 상기 마스크 제진부는 상기 마스크판의 패턴면에 접촉한 상태로 되면, 스프링의 신장력에 의해 상기 패턴면을 가압하는 힘이 작용하도록 상기 노광 스테이지에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이로 인해, 마스크 제진부를 패턴면에 적절한 가압력으로 접촉시킬 수 있어, 접촉시킬 때의 가압력의 제어 등을 고정밀도로 행할 필요가 없다. 또한, 마스크 제진부와 패턴면의 간격(z축을 따른 간격)도 고정밀도로 조정할 필요가 없어, 마스크 제진부와 패턴면의 간격(z축을 따른 간격)의 조정 작업을 경감시킬 수 있다.

[5] 본 발명의 노광 장치에 있어서는, 상기 마스크 제진부는 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 y축 방향을 따른 흡인구를 갖고, 흡인에 의해 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 흡인식 마스크 제진부이며, 상기 흡인식 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 상기 마스크판의 패턴면과의 사이에 소정의 공극을 가진 상태에서 흡인력을 발휘하면서 상기 마스크판의 패턴면을 따라서 x축 방향을 따라서 진행해 가는 동작인 것이 바람직하다.

마스크 제진부로서, 이와 같은 흡인식 마스크의 제진부를 사용함으로써도, 상기 [1] 내지 [3]의 발명에 의해 얻어지는 효과와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

[6] 본 발명의 노광 장치에 있어서는, 상기 기판의 적어도 상기 감광면을 제진하는 기판 제진부를 갖는 것이 바람직하다.

이에 의해, 마스크판의 패턴면의 제진 뿐만 아니라, 기판의 적어도 감광면의 제진도 행할 수 있다.

[7] 본 발명의 노광 장치에 있어서는, 상기 기판 제진부는 적어도 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고, 상기 기판의 적어도 감광면에 접촉한 상태로 설치되어 있고, 상기 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시킬 때의 상기 기판의 반송에 수반하여 회전하는 것이 바람직하다.

이에 의해, 마스크판의 패턴면을 효율적이고, 또한 확실하게 제진할 수 있다. 또한, 기판을 반송시키고 있는 동안에 기판의 적어도 감광면을 제진하는 동작을 행하기 위해, 롤 투 롤 방식의 노광 장치가 행하는 원래의 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 기판의 적어도 감광면을 제진할 수 있다. 이에 의해, 롤 투 롤 방식의 노광 장치가 원래 갖고 있는 노광 동작 속도를 유지할 수 있다. 또한, 제진 기능을 갖는 2개의 롤에 의해 기판을 끼워 넣는 구성으로 해도 되고, 이와 같은 구성으로 함으로써, 기판의 양면을 동시에 제진할 수 있다.

도 1은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)를 설명하기 위해 도시하는 전체적인 구성도.
도 2는 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서의 노광부(200)의 구성을 설명하기 위해 도시하는 도면.
도 3은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서의 마스크 제진부 제어 장치(400) 및 노광 스테이지 제어 장치(500)의 구성을 도시하는 도면.
도 4는 실시 형태에 관한 노광 장치(10)의 동작을 설명하기 위해 도시하는 도면.
도 5는 실시 형태에 관한 노광 장치(10)의 동작을 설명하기 위해 도시하는 도면.
도 6은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)의 동작을 설명하기 위해 도시하는 도면.
도 7은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)의 동작을 설명하기 위해 도시하는 도면.
도 8은 특허문헌 1에 기재되어 있는 노광 장치(900)를 설명하기 위해 도시하는 도면.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.

[실시 형태 1]

도 1은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)를 설명하기 위해 도시하는 전체적인 구성도이다. 또한, 도 1은 실시 형태 1에 관한 노광 장치(10)를 모식적으로 도시하는 것으로, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)를 설명하는 데 있어서 특별히 필요로 하지 않는 구성 요소에 대해서는 도시가 생략되어 있다. 또한, 도 1은 모식도이므로, 실제의 구성 요소의 치수를 동일 비율로 축소한 것으로는 되어 있지 않고, 구성 요소가 과장되어 그려져 있거나, 보다 축소되어 그려져 있다.

실시 형태에 관한 노광 장치(10)는, 도 1에 도시한 바와 같이 장척 시트 형상의 기판(W)을 x축 및 y축에 의해 형성되는 xy 평면에 있어서의 x축을 따라서 간헐적으로 소정량씩 반송하는 반송 기구부(100)와, 반송 기구부(100)에 의해 간헐적으로 소정량씩 반송되는 기판(W)의 감광면(A)을 노광하는 노광부(200)와, 이들 반송 기구부(100) 및 노광부(200)를 수납하고 있는 노광 장치 하우징(300)과, 노광부(200)에 있어서의 마스크 제진부(230)(후술함)를 제어하는 마스크 제진부 제어 장치(400)와, 노광부(200)에 있어서의 노광 스테이지(240)(후술함)를 제어하는 노광 스테이지 제어 장치(500)를 갖고 있다. 실시 형태에 관한 노광 장치(10)는 이들 구성 요소 외에, 도시는 생략하지만, 마스크판(210) 및 기판(W) 등에 대전하고 있는 정전기를 제전하는 제전부 등도 설치되어 있다.

반송 기구부(100)는 장척 시트 형상의 기판(W)을 송출하는 송출부(110)와, 노광부(200)에 의해 노광된 노광 완료된 기판(W)을 권취하는 권취부(120)와, 기판(W)을 x축을 따라서 간헐적으로 소정량씩 반송시키는 간헐 이송 기구부(130)와, 노광부(200)보다도 송출부(110)의 측에 배치되어, 기판(W)의 감광면(A)을 제진하는 기판 제진부(140)와, 반송로 상에 설치되는 이송 롤러(151, 152)를 갖고 있다. 또한, 송출부(110) 및 권취부(120)는 각각이 롤 형상을 이루고 있으므로, 이하, 송출 롤러(110), 권취 롤러(120)라고 한다.

이와 같이, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)는 송출 롤러(110)에 권취되어 있는 기판(W)을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 과정에서, 노광부(200)에 의해 기판(W)의 감광면(A)을 노광시킨 후, 노광 완료된 기판(W)을 권취 롤러로 권취하는 「롤 투 롤(Roll to Roll)」 방식의 노광 장치이다. 또한, 이 명세서에 있어서는, 기판(W)이 x축을 따라서 권취부(120)로 반송되어 가는 측을 전방측으로 하고, 당해 전방측과는 반대측을 후방측으로 하여 설명한다.

반송 기구부(100)에 있어서의 간헐 이송 기구부(130)는, 예를 들어 고정 클램퍼(131)를 개방하고, 이송 클램퍼(132)에 의해 기판(W)을 클램프하여 소정량만큼 보내고, 소정량만큼 보낸 후에는 고정 클램퍼로 기판(W)을 클램프하고, 그 후, 다시, 고정 클램퍼(131)를 개방하고, 이송 클램퍼(132)에 의해 기판(W)을 클램프하여 소정량만큼 반송하고, 소정량만큼 반송한 후에는 고정 클램퍼로 기판(W)을 클램프한다는 동작을 순차 반복한다. 이에 의해, 기판(W)을 간헐적으로 소정량씩 보낼 수 있다. 또한, 간헐 이송 기구부(130)의 구성은 이와 같은 구성의 것으로 한정되는 것은 아니고, 다양한 구성의 간헐 이송 기구부를 채용할 수 있다.

또한, 기판 제진부(140)는 송출 롤러(110)로부터 송출된 기판(W)을 제진하는 것이고, 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고 있고, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서는 점착력을 갖는 부재(예를 들어, 점착력을 갖는 고무 등)를 롤 형상으로 형성한 것을 사용하고 있다.

이와 같이, 기판 제진부(140)가 롤 형상을 이루고 있으므로, 기판 제진부(140)를 「기판 제진 롤러(140)」라고도 한다. 또한, 기판 제진 롤러(140)는 점착력을 갖는 것이지만, 그 점착력은 기판(W)의 감광면(A)에 존재하는 진애를 들러붙게 하여 제거할 수 있을 정도이고, 기판(W)의 감광면(A)에 악영향을 미치는 일이 없을 정도의 점착력인 것으로 한다. 또한, 기판(W)의 감광면(A)이라는 것은, 기판(W)에 포토레지스트 등이 도포되어 있는 면이고, 포토레지스트는 이미 건조된 상태에 있는 것으로 한다.

기판 제진 롤러(140)는 기판(W)을 사이에 두도록 2개의 롤러(141, 142)에 의해 구성되어 있다. 또한, 기판(W)의 감광면(A)의 제진을 행하는 것을 주로 하여 생각하면, 감광면측의 롤러(141)만이 기판 제진 기능을 갖는 것이어도 되지만, 2개의 롤러(141, 142)에 기판 제진 기능을 갖게 함으로써, 기판(W)의 감광면(A)뿐만 아니라, 감광면(A)과는 반대측의 면의 제진도 가능해진다. 이로 인해, 기판(W)의 감광면(A)과 반대측의 면에 위치하는 롤러(142)에도 기판 제진 기능을 갖는 것이 바람직하다.

도 2는 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서의 노광부(200)의 구성을 설명하기 위해 도시하는 도면이다. 도 2의 (a)는 도 1에 있어서의 노광부(200)를 송출 롤러(110)의 측으로부터 x축을 따라서 본 경우의 측면도이고, 도 2의 (b)는 도 2의 (a)에 있어서의 a-a 화살표 방향으로 보아 평면도이다. 도 2를 참조하여 노광부(200)에 대해 설명한다.

노광부(200)는 도시하지 않은 광원과, 투명 유리 등의 투광성 부재로 되어 소정의 두께를 갖는 마스크판(210)과, 패턴면 M을 하향으로 한 상태에서 마스크판(210)을 유지하는 마스크판 유지부(220)와, 패턴면 M을 제진하는 동작을 행하는 마스크 제진부(230)와, 기판(W)을 사이에 두고 마스크판(210)과 대향하는 위치에 배치되어, xy 평면에 직교하는 z축을 따라서 승강 가능한 노광 스테이지(240)와, 마스크 제진부(230)를 x축을 따라서 왕복 이동시키기 위한 마스크 제진부 구동 기구부(250)와, 노광 스테이지(240)를 z축을 따라서 승강시키기 위한 노광 스테이지 구동 기구부(260)를 갖고 있다.

또한, 실시 형태 1에 관한 노광 장치(10)에 있어서는, 마스크판(210)의 x축을 따른 길이와 마스크판 유지부(220)의 x축을 따른 길이는 동일한 길이 L1(도 1 참조)인 것으로 한다. 또한, 마스크판 유지부(220)는 z축을 따라서 소정의 두께를 갖고 있는 것으로 한다.

마스크 제진부(230)는 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고 있다. 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서는 점착력을 갖는 부재(예를 들어, 점착력을 갖는 고무 등)를 롤 형상으로 형성한 것을 사용하고 있다.

이와 같이, 마스크 제진부(230)가 롤 형상을 이루고 있으므로, 마스크 제진부(230)를 「마스크 제진 롤러(230)」라고도 한다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)는 점착력을 갖는 것이지만, 그 점착력은 마스크판(210)의 패턴면 M에 존재하는 진애를 들러붙게 하여 제거할 수 있을 정도이고, 마스크판(210)의 패턴면 M에 악영향을 미치는 일이 없을 정도의 점착력인 것으로 한다.

노광 스테이지(240)는 노광 테이블(241)을 갖고 있다. 노광 테이블(241)은 마스크판(210)의 패턴면 M에 기판(W)을 개재하여 대향하도록 배치되어 있고, 기판(W)을 하측으로부터 유지하는 역할을 이루고 있다.

또한, 노광 스테이지(240)에는 y축을 따른 방향으로 돌출되어 있는 선반부(242L, 242R)가 x축을 따라서 좌우 양측에 형성되어 있다. 선반부(242L, 242R)에는 마스크 제진 롤러(230)를 x축을 따라서 왕복 이동시키기 위한 마스크 제진부 구동 기구부(250)가 설치되어 있다.

마스크 제진부 구동 기구부(250)는 선반부(242L, 242R)에 각각 부설되어 있는 가이드 레일(251L, 251R)과, 이들 가이드 레일(251L, 251R) 위를 슬라이드 가능한 슬라이더(252L, 252R)와, 슬라이더(252L, 252R)를 x축을 따라서 왕복 이동시키기 위한 볼 나사(253L, 253R)와, 슬라이더(252L, 252R)에 고정되어, 마스크 제진 롤러(230)의 회전축(231)을 좌우 양측에 있어서 회전 가능하게 지지하는 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)와, 볼 나사(253L, 253R)를 회전 구동하기 위한 모터(도시하지 않음)를 갖고 있다. 또한, 모터는 서보 모터를 사용할 수 있다.

마스크 제진부 구동 기구부(250)가 이와 같은 구조로 되어 있으므로, 볼 나사(253L, 253R)가, 각각 동기한 상태에서 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함으로써, 슬라이더(252L, 252R)는 x축을 따라서 왕복 이동하고, 그것에 의해, 마스크 제진 롤러(230)도 x축을 따라서 왕복 이동한다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크 제진부 구동 기구부(250)에 의해, 노광 스테이지(240)의 x축을 따른 일단부(240a)와 타단부(240b) 사이 중 소정 범위를 가동 범위(후술함)로 하여, 당해 가동 범위 내를 왕복 이동한다.

예를 들어, 볼 나사(253L, 253R)가 반시계 방향(전방측을 보았을 때의 반시계 방향)으로 회전함으로써, 슬라이더(252L, 252R)는 x축을 따라서 전방측으로 진행하고, 그것에 의해, 마스크 제진 롤러(230)도 x축을 따라서 전방측으로 진행한다.

또한, 볼 나사(253L, 253R)가 시계 방향(전방측을 보았을 때의 시계 방향)으로 회전함으로써, 슬라이더(252L, 252R)는 x축을 따라서 후방측으로 진행하고, 그것에 의해, 마스크 제진 롤러(230)도 x축을 따라서 후방측으로 진행한다.

이와 같이 구성되어 있는 마스크 제진부 구동 기구부(250)는 마스크 제진부 제어 장치(400)에 의해 제어되고, 그것에 의해, 마스크 제진 롤러(230)가 제어된다.

그런데, 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)에는 마스크 제진 롤러(230)를 회전 가능하게 지지하기 위한 U자 형상의 베어링 홈(255)(도 1 참조)이 각각 형성되어 있다. 당해 베어링 홈(255)은 상단부측이 개구로 되어 있고, 마스크 제진 롤러(230)는 회전축(231)을 베어링 홈(255)의 개구로부터 끼워 넣어짐으로써, 베어링 홈(255)에서 회전 가능하게 지지된 상태로 된다.

이와 같은 구조이므로, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)에 용이하게 착탈 가능해져, 마스크 제진 롤러(230)의 청소나 교환 등의 메인터넌스를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)는 동력에 의해 회전하는 것이 아니라, 공회전하도록 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)에 지지되어 있다.

또한, 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)는 슬라이더(252L, 252R)에 가이드 핀(256)과 스프링(257)에 의해 지지되어 있고, 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)에 z축을 따라서 하방향으로 가압력을 부여하면, 당해 가압력에 대해서는 스프링(257)의 신장력에 의한 항력이 작용하도록 되어 있다. 이로 인해, 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)에 지지되어 있는 마스크 제진 롤러(230)를 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉시키면, 마스크 제진 롤러(230)는 스프링(257)의 신장력에 의해 소정의 가압력으로 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉하게 된다.

한편, 노광 스테이지(240)는 노광 스테이지 구동 기구부(260)에 의해, z축을 따라서 승강 가능하도록 되어 있다. 노광 스테이지 구동 기구부(260)는 노광 스테이지(240)에 고정되어 있는 승강대(261)와, 승강대(261)를 z축을 따라서 승강시키기 위한 노광 스테이지용 볼 나사(263)와, 볼 나사(263)를 회전 구동하기 위한 모터(도시하지 않음)를 갖고 있다. 또한, 모터는 서보 모터를 사용할 수 있다.

이와 같이 구성되어 있는 노광 스테이지 구동 기구부(260)는 볼 나사(263)를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 노광 스테이지(240)를 z축을 따라서 승강시킬 수 있다. 또한, 노광 스테이지 구동 기구부(260)에 의해 노광 스테이지(240)를 승강시키면, 노광 스테이지(240)뿐만 아니라, 반송 기구부(100) 전체도 승강하도록 되어 있다.

이에 의해, 예를 들어 볼 나사(263)를 반시계 방향(z축을 따라서 상방을 보았을 때의 반시계 방향)으로 회전시키면, 노광 스테이지(240)가 z축을 따라서 상승함과 함께, 반송 기구부(100)도 노광 스테이지(240)와 함께 상승한다. 또한, 「반송 기구부(100)도 노광 스테이지(240)와 함께 상승한다」라는 것은, 송출 롤러(110), 권취 롤러(120), 간헐 이송 기구부(130), 기판 제진 롤러(140) 및 기판(W)이 노광 스테이지(240)와 함께 상승한다는 것이다.

한편, 볼 나사(263)를 시계 방향(z축을 따라서 상방을 보았을 때의 시계 방향)으로 회전시키면, 노광 스테이지(240)가 z축을 따라서 하강함과 함께 반송 기구부(100)도 노광 스테이지(240)와 함께 하강한다. 또한, 「반송 기구부(100)도 노광 스테이지(240)와 함께 하강한다」라는 것은, 송출 롤러(110), 권취 롤러(120), 간헐 이송 기구부(130), 기판 제진 롤러(140) 및 기판(W)이 노광 스테이지(240)와 함께 하강한다는 것이다.

이와 같이 구성되어 있는 노광 스테이지 구동 기구부(260)는 노광 스테이지 제어 장치(500)에 의해 구동 제어된다.

또한, 마스크 제진부 구동 기구부(250)에 설치되어 있는 볼 나사(253L, 253R)는 마스크 제진부(230)[마스크 제진 롤러(230)]를 구동하기 위한 볼 나사이므로, 마스크 제진부용 볼 나사(253L, 253R)라고 하는 경우도 있다. 또한, 노광 스테이지 구동 기구부(260)에 설치되어 있는 볼 나사(263)는 노광 스테이지(240)를 구동하기 위한 볼 나사이므로, 노광 스테이지용 볼 나사(263)라고 하는 경우도 있다.

도 3은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서의 마스크 제진부 제어 장치(400) 및 노광 스테이지 제어 장치(500)의 구성을 도시하는 도면이다. 도 3의 (a)는 마스크 제진부 제어 장치(400)의 구성을 도시하고, 도 3의 (b)는 노광 스테이지 제어 장치(500)의 구성을 도시하고 있다.

마스크 제진부 제어 장치(400)는, 도 3의 (a)에 도시한 바와 같이 마스크 제진부용 볼 나사(253L, 253R)를 각각 구동하는 마스크 제진부용 볼 나사 구동부(서보 모터 등)(410)와, 마스크 제진 롤러(230)의 진행을 제어하기 위한 제어 프로그램 및 유저의 설정 정보 등을 기억하고 있는 기억부(420)와, 기억부(420)의 기억 내용에 기초하여 마스크 제진부용 볼 나사 구동부(410)를 제어함으로써, 마스크 제진 롤러(230)의 전방측 또는 후방측으로의 진행을 제어하는 진행 제어부(430)를 갖고 있다.

노광 스테이지 제어 장치(500)는, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이 노광 스테이지용 볼 나사(263)를 구동하는 노광 스테이지용 볼 나사 구동부(서보 모터 등)(510)와, 노광 스테이지(240)의 승강을 제어하기 위한 제어 프로그램 및 유저의 설정 정보 등을 기억하고 있는 기억부(520)와, 기억부(520)의 기억 내용에 기초하여 노광 스테이지용 볼 나사 구동부(510)를 제어함으로써, 노광 스테이지(240)의 상승 또는 하강을 제어하는 승강 제어부(530)를 갖고 있다.

또한, 도 3에 있어서는, 마스크 제진부 제어 장치(400) 및 노광 스테이지 제어 장치(500) 각각에 기억부[기억부(420) 및 기억부(520)]를 설치하도록 하였지만, 하나의 기억부를 공용하도록 해도 된다.

도 4 내지 도 7은 실시 형태에 관한 노광 장치(10)의 동작을 설명하기 위해 도시하는 도면이다. 도 4의 (a) 내지 도 4의 (d), 도 5의 (a) 내지 (c), 도 6의 (a) 내지 도 6의 (d) 및 도 7의 (a) 내지 도 7의 (c)는 각각의 공정을 도시하는 도면이다. 또한, 도 4 내지 도 7은 노광부(200)에 있어서의 마스크 제진 롤러(230)의 동작을 주로 설명하기 위해 도시하는 도면이다. 이로 인해, 도 1에 도시하는 구성 요소 중, 반송 기구부(100)는 도시가 생략되어 있고, 또한 노광부(200)에 있어서도, 노광 스테이지 구동 기구부(260) 등은 도시가 생략되어 있다. 또한, 노광부(200)에 있어서 도 1 및 도 2에 있어서 부여되어 있는 부호 중 생략되어 있는 부호도 있다.

또한, 도 4 내지 도 7에 있어서, 마스크 제진 롤러(230)를 진행시키기 위한 제어는 도 3의 (a)에 도시한 마스크 제진부 제어 장치(400)에 의해 행해지고, 노광 스테이지(240)를 승강시키기 위한 제어는 도 3의 (b)에 도시한 노광 스테이지 제어 장치(500)에 의해 행해진다.

실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서는, 기판(W)은 반송 기구부(100)에 의해 간헐적으로 소정량씩 반송되어 있고, 1회분의 반송이 이루어지면, 기판(W)의 감광면(A)에 있어서 노광 대상이 되는 복수의 감광 영역(이를 A1, A2, …로 나타냄) 중 어느 하나의 감광 영역[예를 들어, 감광 영역(A1)으로 함]이, 노광 테이블(241) 상에 있어서 마스크판(210)의 패턴면 M과 대면하는 위치로 된다. 그리고, 감광 영역(A1)이 마스크판(210)의 패턴면 M과 대면하는 위치에서 기판(W)의 반송이 일단 정지한 상태로 되고, 이 상태에서 노광을 행함으로써, 감광 영역(A1)에 패턴이 전사된다.

그리고, 감광 영역(A1)의 노광이 종료되면, 기판(W)이 다시 소정량만큼 반송되어, 기판(W)의 감광면(A)에 있어서 다음의 감광 영역[예를 들어, 감광 영역(A2)으로 함]이, 노광 테이블(241) 상에 있어서 마스크판(210)의 패턴면 M과 대면하는 위치로 된다. 그리고, 감광 영역(A2)이 마스크판(210)의 패턴면 M과 대면하는 위치에서 기판(W)의 반송이 일단 정지한 상태로 되고, 이 상태에서 노광을 행함으로써, 감광 영역(A2)에 패턴이 전사된다. 이와 같은 동작을 반복해서 행한다.

이와 같은 동작을 행하는 과정에서, 기판(W)은 기판 제진 롤러(140)에 의해 제진되고, 마스크판(210)의 패턴면 M은 마스크 제진 롤러(230)에 의해 제진된다. 기판 제진 롤러(140)에 의한 기판(W)의 제진 및 마스크 제진 롤러(230)에 의한 마스크판(210)의 패턴면 M의 제진은 기판(W)이 반송되고 있는 동안에 행해진다. 또한, 기판 제진 롤러(140)에 의한 기판(W)의 제진은 기판(W)이 반송될 때마다 기판 제진 롤러(140)가 회전함으로써 행할 수 있으므로, 여기서는, 마스크 제진 롤러(230)에 의한 제진 동작에 대해 설명한다.

도 4의 (a)는 마스크 제진 롤러(230)가 제진 동작을 개시하기 전의 상태이고, 이와 같은 상태로 되어 있을 때의 마스크 제진 롤러(230)의 위치를 초기 위치라고 한다. 이때, 기판(W)은 이미 반송 동작을 개시하고 있는 것으로 한다.

마스크 제진 롤러(230)가 도 4의 (a)에 도시하는 초기 위치에 있을 때에 있어서는, 당해 마스크 제진 롤러(230)의 x축을 따른 위치[회전축(231)의 x축을 따른 위치] x1은 마스크판(210)의 후방측의 단부(후방측 단부라고 함)(210a)로부터 x축을 따라서 더욱 후방측으로 소정 간격만큼 이격된 위치(제1 위치 x1이라고도 함)로 되어 있다.

또한, 마스크 제진 롤러(230)의 z축을 따른 위치[마스크 제진 롤러(230)에 있어서의 원주 상의 상방측 정점 P1의 z축을 따른 위치] z2는 마스크판(210)의 패턴면 M의 위치 z1보다도 하방측으로 소정 간격만큼 이격된 위치로 되어 있는 것으로 한다.

마스크 제진 롤러(230)가 이와 같은 초기 위치에 있을 때에는, 당해 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210)의 패턴면 M에 비접촉으로 되어 있다.

마스크 제진 롤러(230)가 도 4의 (a)에 도시하는 초기 위치에 있는 상태로부터, x축을 따라서 전방측으로 소정량만큼 진행하여, 마스크판(210)의 후방측 단부(210a) 부근의 평면부, 즉 패턴면 M에 있어서의 후방측 단부 e1 부근에 대향하는 위치 x2에 도달하면[도 4의 (b) 참조], 노광 스테이지(240)가 z축을 따라서 소정량 상승하고, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 후방측 단부 e1 부근에 접촉한다[도 4의 (c) 참조]. 그 후, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태로 x축을 따라서 전방(화살표 x방향)으로 진행해 간다.

이때, 마스크 제진 롤러(230)는 스프링(257)의 신장력이 작용한 상태에서, 도 4의 (c)에 도시한 바와 같이, 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태로 회전하면서 진행해 간다. 이에 의해, 마스크판(210)의 패턴면 M에 존재하는 진애를, 마스크 제진 롤러(230)의 측에 부착시킬 수 있고, 그것에 의해, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진할 수 있다.

이와 같이, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태에 있어서는, 당해 마스크 제진 롤러(230)는 스프링(257)의 신장력으로 마스크판(210)의 패턴면 M을 가압한 상태로 되어 있다. 이로 인해, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉할 때의 마스크판(210)에 대한 가압력 등의 제어는 특별히 행할 필요는 없다.

또한, 마스크 제진 롤러(230)는 점착력을 갖는 것이지만, 그 점착력은 마스크판(210)의 패턴면 M에 존재하는 진애를 들러붙게 하여 제거할 정도의 것이므로, 마스크판(210)의 패턴면 M에 형성되어 있는 패턴 등에 악영향을 미치는 일은 없다.

이와 같이 하여, 마스크 제진 롤러(230)가, 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태로 회전하면서 전방측으로 진행하여, 마스크판(210)의 전방측의 단부(전방측 단부라고 함)(210b), 즉 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 전방측 단부 e2 부근에 도달하면[도 4의 (d) 참조], 노광 스테이지(240)는 도 4의 (d)의 상태로부터 z축을 따라서 하강한다[도 5의 (a) 참조]. 이때의 마스크 제진 롤러(230)의 z축을 따른 위치(원주상의 상방측 정점 P1의 z축을 따른 위치)는 도 4의 (a)와 동일한 위치 z2이다. 또한, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 하강하면, 당해 노광 스테이지(240)의 하강과 함께 반송 기구부(100) 전체도 소정량만큼 하강한다.

그리고, 마스크 제진 롤러(230)는 더욱 전방으로 진행하여, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)(패턴면 M의 전방측 단부 e2)로부터 x축을 따라서 전방측으로 소정 간격 이격된 위치 x4(제2 위치 x4라고도 함)에 도달한다[도 5의 (b) 참조].

마스크 제진 롤러(230)가 x축을 따라서 도 4의 (a)에 도시하는 제1 위치 x1로부터 도 5의 (b)에 도시하는 제2 위치 x4로 진행할 때까지의 동작은 기판(W)이 반송되고 있는 동안에 행해진다. 이로 인해, 장척 시트 형상의 기판(W)을 소정량씩 간헐적으로 소정량씩 반송하여 노광을 행하는 등의 노광 장치(10)가 행하는 원래의 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진할 수 있다. 또한, 기판 제진 롤러(140)에 의한 기판(W)의 제진도 기판(W)의 반송 중에 행할 수 있으므로, 기판(W) 및 마스크판(210)의 패턴면 M의 제진을 행하는 것에 의한 시간의 손실은 발생하지 않는다.

이와 같이, 마스크 제진 롤러(230)가, 도 5의 (b)에 도시하는 위치 x4(제2 위치 x4)에 도달하면, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 상승한다[도 5의 (c) 참조]. 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 상승하면, 당해 노광 스테이지(240)의 상승과 함께 반송 기구부(100) 전체도 소정량만큼 상승한다.

또한, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 상승할 때, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)(패턴면 M의 전방측 단부 e2)로부터 x축을 따라서 전방측으로 소정 간격 이격된 위치 x4(제2 위치 x4)에 도달하고 있으므로, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210) 및 마스크판 유지부(220)에 접촉해 버리는 일이 없다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)는 도시하고 있지 않은 다른 구성 요소에도 접촉하지 않도록 되어 있는 것으로 한다. 이에 의해, 노광 스테이지(240)는 도 5의 (c)에 도시한 바와 같이 상승할 수 있다.

노광 스테이지(240)의 상승량은 기판의 감광면(A)[이 시점에 있어서는 감광 영역(A1)으로 함]이 마스크판(210)의 패턴면 M에 근접 또는 접촉하게 될 정도의 상승량이다. 도 5의 (c)에 도시한 바와 같이, 기판(W)의 감광 영역(A1)이 마스크판(210)의 패턴면 M에 근접 또는 접촉하는 상태로 되면, 이 상태에서 노광을 행한다. 이에 의해, 기판(W)의 감광 영역(A1)에 패턴이 전사된다.

또한, 노광을 행할 때에 있어서의 기판(W)의 감광면과 마스크판(210)의 패턴면 M 사이는 밀착시키도록 해도 되지만, 약간의 공극(예를 들어, 1/100㎜ 내지 4/100㎜ 정도)이 존재할 정도의 간격을 설정하도록 해도 된다.

이와 같이, 기판(W)의 감광면과 마스크판(210)의 패턴면 M 사이에, 약간의 공극(예를 들어, 1/100㎜ 내지 4/100㎜ 정도)을 형성함으로써, 기판(W)측에 약간의 진애가 잔존하고 있었다고 해도, 잔존하고 있는 진애가 마스크판(210)의 패턴면 M에 부착되어 버리는 등의 것을 방지할 수 있다.

그리고, 노광이 종료된 후, 기판(W)의 간헐적인 반송 동작이 재개되어, 기판(W)은 소정량만큼 반송된다. 이와 같이, 기판(W)의 간헐적인 반송 동작이 재개되면, 노광 스테이지(240)는, 도 5의 (c)의 상태로부터 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이 z축을 따라서 하강한다. 또한, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 하강하면, 당해 노광 스테이지(240)의 하강과 함께 반송 기구부(100) 전체도 소정량만큼 하강한다. 또한, 이때의 마스크 제진 롤러(230)의 x축을 따른 위치는, 도 5의 (b)와 동일한 위치(제2 위치 x2)이다.

그 후, 도 6의 (a)에 도시하는 위치로부터, 마스크 제진 롤러(230)는 x축을 따라서 후방측으로 소정량만큼 진행하고, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b) 부근의 평면부, 즉 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 전방측 단부 e2 부근에 대향하는 위치 x2에 도달하면[도 6의 (b) 참조], 노광 스테이지(240)가 z축을 따라서 소정량 상승하고, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 전방측 단부 e2 부근에 접촉한다[도 6의 (c) 참조]. 그 후, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태로 x축을 따라서 후방측(화살표 x' 방향)으로 진행해 간다.

이때, 마스크 제진 롤러(230)는 스프링(257)의 신장력이 작용한 상태에서 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태로 회전하면서 진행해 간다. 이에 의해, 마스크판(210)의 패턴면 M에 존재하는 진애를, 마스크 제진 롤러(230)의 측에 부착시킬 수 있고, 그것에 의해, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진할 수 있다.

이와 같이 하여, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태로 회전하면서 후방측으로 진행하여, 곧, 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 후방측 단부 e1 부근에 도달한다[도 6의 (d) 참조]. 그러면, 노광 스테이지(240)는 도 6의 (d)의 상태로부터 하강한다[도 7의 (a) 참조]. 이때의 마스크 제진 롤러(230)의 z축을 따른 위치(원주 상의 상방측 정점 P1의 z축을 따른 위치)는 도 4의 (a)와 동일한 위치 z2이다. 또한, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 하강하면, 당해 노광 스테이지(240)의 하강과 함께 반송 기구부(100) 전체도 소정량만큼 하강한다.

그리고, 마스크 제진 롤러(230)는 더욱 후방측으로 진행하여, 마스크판(210)에 있어서의 후방측 단부(210a)(패턴면 M의 후방측 단부 e1)로부터 x축을 따라서 후방측으로 소정 간격 이격된 위치 x1(제1 위치 x1)에 도달한다[도 7의 (b) 참조].

마스크 제진 롤러(230)가 도 5의 (b)에 도시하는 제2 위치 x4로부터 도 7의 (b)에 도시하는 제1 위치 x1로 진행할 때까지의 동작은 기판(W)이 반송되고 있는 동안에 행해진다. 이로 인해, 장척 시트 형상의 기판(W)을 소정량씩 간헐적으로 소정량씩 반송하여 노광을 행하는 등의 노광 장치(10)가 행하는 원래의 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진할 수 있다.

이와 같이, 마스크 제진 롤러(230)가, 도 7의 (b)에 도시한 바와 같이, 위치 x1(제1 위치 x1)에 도달하면, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 상승한다[도 7의 (c) 참조]. 이는, 도 5의 (c)와 동일한 동작이다. 이때, 노광 스테이지(240)의 상승에 수반하여 반송 기구부(100) 전체도 소정량만큼 상승한다. 도 7의 (c)에 도시한 바와 같이, 기판(W)의 감광면[감광 영역(A2)으로 함]이 마스크판(210)의 패턴면 M에 근접 또는 접촉하는 상태로 되면, 이 상태에서 노광을 행한다. 이에 의해, 기판(W)의 감광 영역(A2)에 패턴이 전사된다.

이 경우도, 노광 스테이지(240)가 소정량만큼 상승할 때에는, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)(패턴면 M의 후방측 단부 e1)로부터 x축을 따라서 후방측으로 소정 간격 이격된 위치 x1(제1 위치 x1)에 도달하고 있으므로, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크판(210) 및 마스크판 유지부(220)에 접촉해 버리는 일이 없다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)는, 도시하고 있지 않은 다른 구성 요소에도 접촉하지 않도록 되어 있는 것으로 한다. 이에 의해, 노광 스테이지(240)는 도 7의 (c)에 도시한 바와 같이 상승할 수 있다.

그리고, 노광이 종료된 후, 노광 스테이지(240)는, 도 7의 (c)의 상태로부터 하강한다. 이때, 기판(W)의 간헐적인 반송 동작도 재개되어 있고, 기판(W)은 소정량만큼 반송된다. 또한, 노광이 종료된 후, 노광 스테이지(240)가, 도 7의 (c)의 상태로부터 하강했을 때의 상태는, 도 4의 (a)와 동일한 상태로 된다. 이 상태로부터, 다시, 도 4의 (b) 내지 도 4의 (d), 도 5의 (a) 내지 도 5의 (c), 도 6의 (a) 내지 도 6의 (d) 및 도 7의 (a) 내지 도 7의 (c)를 순차 진행하여 도 4의 (a)로 복귀되는 등의 동작을 반복해서 행한다.

이와 같이, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서는, 마스크 제진 롤러(230)는 제1 위치 x1과 제2 위치 x4 사이를, 왕복 이동할 때의 가동 범위로 하여, 당해 가동 범위 내를 진행하면서 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작을 행한다. 그리고, 마스크 제진 롤러(230)가 가동 범위 내를 전방측으로 진행하는 동작을 전방 진행 동작으로 하고, 마스크 제진 롤러(230)가 가동 범위 내를 후방측으로 진행하는 동작을 후방 진행 동작으로 했을 때, 마스크 제진 롤러(230)는 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작 각각에 있어서 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작을 행한다. 또한, 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작 각각에 있어서 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작은 기판(W)이 간헐적으로 소정량씩 반송되어 가는 동작 사이에 교대로 행해진다. 이로 인해, 마스크 제진 동작을 효율적으로 행할 수 있다.

그런데, 마스크 제진 롤러(230)가, 마스크판(210)에 대해 x축 및 z축을 따라서 각각 이격되어 있는 위치로 되어 있는 상태[도 4의 (a) 참조]로부터, 마스크 제진 롤러(230)가, 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한 상태[도 4의 (c) 참조]로 될 때에는, 도 4의 (a)로부터 도 4의 (c)에 도시한 바와 같이, 마스크 제진 롤러(230)는 직접 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한다.

이로 인해, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)를 전방측으로 눌러 버리는 일이 없어져, 마스크판(210)의 위치 어긋남을 방지할 수 있음과 함께, 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)에 있어서의 코너부 등의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 도 4의 (c)에 있어서는, 마스크 제진 롤러(230)가 패턴면 M에 접촉했을 때의 x축을 따른 위치 x2는 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)(패턴면 M의 후방측 단부 e1)에 일치한 위치로 되어 있지만, 반드시 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)(패턴면 M의 후방측 단부 e1)에 일치한 위치로 할 필요는 없고, 마스크판(210)의 후방측 단부(210a) 부근의 평면부, 즉 패턴면 M의 후방측 단부 e1 부근(예를 들어, 패턴면 M에 있어서 실제로 패턴이 형성되어 있는 패턴 형성 영역의 후방측 단부)으로 해도 된다. 요컨대, 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)를 전방측으로 눌러 버리거나, 마스크판(210)의 후방측 단부(210a)에 있어서의 코너부 등을 파손시키는 일이 없는 위치이고, 또한 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 패턴 형성 영역을 확실하게 제진할 수 있는 위치이면 된다.

또한, 마스크 제진 롤러(230)가, 제2 위치 x4로부터 후방측으로 진행하는 경우에 있어서도, 마스크 제진 롤러(230)가, 마스크판(210)에 대해 x축 및 z축을 따라서 각각 이격된 위치로 되어 있는 상태[도 6의 (a) 참조]로부터, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)에 접촉한 상태[도 6의 (c) 참조]로 될 때에는, 도 6의 (a)로부터 도 6의 (c)에 도시한 바와 같이, 마스크 제진 롤러(230)가 직접 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉한다.

이로 인해, 마스크 제진 롤러(230)가 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)를 후방측으로 눌러 버리는 일이 없어져, 마스크판(210)의 위치 어긋남을 방지할 수 있음과 함께, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)에 있어서의 코너부 등의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 도 6의 (c)에 있어서는, 마스크 제진 롤러(230)가 패턴면 M에 접촉했을 때의 x축을 따른 위치 x3은 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)(패턴면 M의 전방측 단부 e2)에 일치한 위치로 되어 있지만, 이 경우도, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)(패턴면 M의 전방측 단부 e2)에 일치한 위치로 할 필요는 없고, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b) 부근의 평면부, 즉 패턴면 M의 전방측 단부 e2 부근(예를 들어, 패턴면 M에 있어서 실제로 패턴이 형성되어 있는 패턴 형성 영역의 전방측 단부)으로 해도 된다. 요컨대, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)를 후방측으로 눌러 버리거나, 마스크판(210)의 전방측 단부(210b)에 있어서의 코너부 등을 파손시키는 일이 없는 위치이고, 또한 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 패턴 형성 영역을 확실하게 제진할 수 있는 위치이면 된다.

이상 설명한 바와 같이, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 따르면, 마스크 제진 롤러(230)에 의해, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작은 기판(W)이 반송되고 있는 동안에 자동으로 행해진다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)에 의한 마스크판(210)의 패턴면 M의 제진뿐만 아니라, 기판 제진 롤러(140)에 의해 기판(W)의 제진을 행할 수 있다. 또한, 기판 제진 롤러(140)가 기판(W)을 제진하는 동작도, 기판(W)이 반송되고 있는 동안에 자동적으로 행해진다. 이로 인해, 롤 투 롤 방식의 노광 장치에 있어서 원래 행해지고 있는 노광 동작에 영향을 미치는 일 없이, 마스크판(210)의 패턴면 M 및 기판(W)의 제진을 행할 수 있다. 이에 의해, 원래의 노광 동작 속도를 유지할 수 있다.

또한, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 있어서는, 마스크 제진 롤러(230)는 스프링(257)의 신장력에 의해 마스크판(210)의 패턴면 M에 소정의 가압력을 부여한 상태로 접촉하는 구조로 되어 있다. 이로 인해, 마스크 제진 롤러(230)를 패턴면 M에 적절한 가압력으로 접촉시킬 수 있어, 접촉시킬 때의 가압력의 제어 등을 고정밀도로 행할 필요가 없다. 또한, 마스크 제진 롤러(230)와 패턴면 M의 간격(z축을 따른 간격)도 고정밀도로 조정할 필요가 없어, 마스크 제진 롤러(230)와 패턴면 M의 간격(z축을 따른 간격)의 조정 작업을 경감시킬 수 있다. 그것에 의해, 실시 형태에 관한 노광 장치(10)에 따르면, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하기 위한 기구 전체를 간단화할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형 실시가 가능해지는 것이다. 예를 들어, 하기에 나타내는 바와 같은 변형 실시도 가능하다.

(1) 상기 실시 형태에 있어서는, 볼 나사(253L, 253R)를 좌우 양측의 슬라이더(252L, 252R)에 설치하여, 양자를 동기시킨 상태로 회전시킴으로써, 마스크 제진 롤러(230)를 x축을 따라서 왕복 이동시키도록 하였지만, 볼 나사는 좌우 중 어느 하나만으로 해도 된다. 예를 들어, 도 2의 (a)에 있어서의 우측의 슬라이더(252R)에만 볼 나사(253R)를 설치하는 경우에는, 좌측의 슬라이더(252L)는 우측의 슬라이더(252R)의 진행에 연동하여 가이드 레일(251L) 상을 진행하게 된다. 이와 같은 구조로 해도, 마스크 제진 롤러(230)를 x축을 따라서 왕복 이동시키는 것이 가능해진다.

또한, 하나의 볼 나사로 좌우 양측의 슬라이더(252L, 252R)를 구동하는 경우, 하나의 볼 나사는 좌측의 슬라이더(252L)와 우측의 슬라이더(252R)의 중간 위치에 x축을 따라서 배치하도록 해도 된다. 이와 같이 함으로써, 하나의 볼 나사로 좌우 양측의 슬라이더(252L, 252R)를 밸런스 좋게 구동시킬 수 있다.

(2) 상기 실시 형태에 있어서는, 마스크 제진부 구동 기구부(250)는 볼 나사를 사용하여 마스크 제진 롤러(230)를 x축을 따라서 왕복 이동시키는 기구로 하였지만, 마스크 제진 롤러를 x축을 따라서 왕복 이동시키는 기구는 다양한 기구를 채용할 수 있다. 또한, 노광 스테이지 구동 기구부(260)도, 마찬가지로, 볼 나사를 사용하여 노광 스테이지(240)를 승강시키는 기구로 하였지만, 노광 스테이지(240)를 z축을 따라서 승강 이동시키는 기구는 다양한 기구를 채용할 수 있다.

(3) 상기 실시 형태에 있어서는, 마스크 제진 롤러(230)는 마스크 제진 롤러(230) 전체가 점착력을 갖는 부재인 것으로 하여 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 마스크 제진 롤러(230)의 표면만이 점착력을 갖는 것이어도 된다. 예를 들어, 합성 수지 등으로부터 원통체의 표면에 점착력을 갖는 부재를 권취한 것이어도 되고, 또한 원통체의 표면에 점착층이 형성되어 있는 것이어도 된다. 기판 제진 롤러(140)도 마찬가지이다.

(4) 상기 실시 형태에 있어서는, 기판(W)의 감광면(A)이 상향으로 배치되고, 마스크판(210)의 패턴면 M이 하향으로 배치되어 있는 노광 장치를 예시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 그 반대의 배치여도 된다. 즉, 기판(W)의 감광면(A)이 하향으로 배치되고, 마스크판(210)의 패턴면 M이 상향으로 배치되어 있는 노광 장치여도 된다.

(5) 상기 실시 형태에 있어서는, 노광부(200)에 있어서 기판(W)의 감광면(A)을 노광시킬 때, 기판(W)의 감광면(A)과 마스크판(210)의 패턴면 M 사이에 약간의 공극을 형성한 상태에서 노광시키도록 한 경우를 예시하였지만, 반드시 기판(W)의 감광면(A)과 마스크판(210)의 패턴면 M 사이에 약간의 공극을 형성할 필요는 없고, 기판(W)의 감광면(A)과 마스크판(210)의 패턴면 M을 밀착시킨 상태에서 노광시키도록 해도 된다.

(6) 상기 실시 형태에 있어서는, 마스크 제진부는 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작 각각에 있어서 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작을 행하도록 하였지만, 전방 진행 동작 및 후방 진행 동작 중 어느 한쪽에만 있어서 제진을 행하도록 해도 된다.

(7) 상기 실시 형태에 있어서는, 마스크 제진부로서는, 점착력을 갖는 부재인 롤러[마스크 제진 롤러(230)]를 사용하여, 마스크판(210)의 패턴면 M에 존재하는 진애를, 마스크 제진 롤러(230)의 점착력에 의해 제진하는 경우를 예시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 마스크 제진부는 진공 흡인에 의해 제진하는 것이어도 된다. 이와 같이, 마스크 제진부는 진공 흡인에 의해 제진하는 것으로 한 경우의 노광 장치를 본 발명의 노광 장치의 변형예로서 설명한다.

본 발명의 노광 장치의 변형예는, 마스크 제진부(230)는 마스크판(210)의 패턴면 M에 있어서의 y축 방향을 따른 흡인구를 갖고, 흡인에 의해 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 흡인식 마스크 제진부이며, 흡인식 마스크 제진부가 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진하는 동작은 마스크판(210)의 패턴면 M과의 사이에 소정의 공극을 가진 상태로 흡인력을 발휘하면서 마스크판(210)의 패턴면 M을 따라서 x축 방향을 따라서 진행해 가는 동작을 행하는 것이다.

또한, 마스크 제진부가 진공 흡인에 의해 제진하는 것이어도, 노광 장치의 전체적인 구성은 상기한 실시 형태에 있어서 설명한 노광 장치와 동일한 구성으로 할 수 있다. 또한, 진공 흡인에 의해 제진하는 마스크 제진부를, 다음의 설명에 있어서는, 흡인식 마스크 제진부로 한다.

이와 같은 흡인식 마스크 제진부를, 예를 들어 도 1에 도시하는 노광 장치에 적용한 경우에 있어서 간단하게 설명한다. 흡인식 마스크 제진부는 마스크판(210)의 폭 방향(도 1에 있어서 y축을 따른 방향)으로 가늘고 긴 흡인구를 갖고 있다. 이와 같은 흡인식 마스크 제진부는 마스크 제진 롤러(230)와 마찬가지로 마스크 제진 롤러 지지부(254L, 254R)에 설치할 수 있다. 이때, 흡인식 마스크 제진부의 흡인 구멍은 마스크판(210)의 패턴면 M에 대향 가능해지도록 상향으로 한다.

그리고, 제진을 행할 때에 있어서는, 도 4 내지 도 7과 대략 동일한 동작을 행하면 된다. 단, 흡인식 마스크 제진부 및 흡인식 기판 제진부는 마스크판(210)의 패턴면 M에 대해 각각 비접촉의 상태로 제진하므로, 흡인식 마스크 제진부를 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉시킬 필요는 없다. 따라서, 도 4의 (a)에 도시하는 초기 위치에 있어서, 흡인식 마스크 제진부의 흡인구와 마스크판(210)의 패턴면 M의 z축을 따른 간격을 적절하게 설정해 두면, z축을 따른 위치는 그대로인 상태에서, 흡인식 마스크 제진 롤러를 x축을 따라서 왕복 이동시키면 된다.

또한, 흡인식 마스크 제진부는 마스크판(210)의 패턴면 M에 대해 비접촉의 상태로 제진하는 것이므로, 마스크 제진 롤러(230)와 같이, 스프링(257)에 의한 신장력으로 마스크판(210)의 패턴면 M에 접촉시키는 구조는 불필요하다.

이와 같은 흡인식 마스크 제진부를 사용함으로써도, 상기 실시 형태와 마찬가지로, 기판(W)을 간헐적으로 소정량씩 반송시키는 동안에, 마스크판(210)의 패턴면 M을 제진할 수 있다. 또한, 기판 제진부(140)에 있어서도, 마찬가지로 흡인식 기판 제진부를 사용할 수 있다.

(8) 상기 실시 형태에 있어서는, 도 1에 도시한 바와 같이 마스크 제진부 제어 장치(400) 및 노광 스테이지 제어 장치(500)는 노광 장치 하우징(300)의 내부에 수납되어 있는 예가 도시되어 있지만, 노광 장치 하우징(300)의 외부에 설치되어 있어도 된다.

(9) 상기 실시 형태에 있어서는, 도 1에 도시한 바와 같이 마스크판(210)의 x축을 따른 길이와 마스크판 유지부(220)의 x축을 따른 길이는 동일한 길이 L1로 하고 있지만, 반드시 동일한 길이일 필요는 없고, 노광 스테이지(240)의 상승에 수반하여 마스크 제진 롤러(230)가 상승할 때, 마스크 제진 롤러(230)의 상승을 방해하지 않는 것이면, 마스크판 유지부(220)의 x축을 따른 길이는 마스크판(210)보다도 길어도 된다.

10 : 노광 장치
100 : 반송 기구
130 : 간헐 이송 기구부
140 : 기판 제진 롤러(기판 제진부)
200 : 노광부
210 : 마스크판
220 : 마스크판 유지부
230 : 마스크 제진 롤러(마스크 제진부)
240 : 노광 스테이지
241 : 노광 테이블
250 : 마스크 제진부 구동 기구부
251L, 251R : 가이드 레일
252L, 252R : 슬라이더
253L, 253R : 마스크 제진부용 볼 나사
257 : 스프링
260 : 노광 스테이지 구동 기구부
261 : 승강대
263 : 노광 스테이지용 볼 나사
300 : 노광 장치 하우징
400 : 마스크 제진부 제어 장치
500 : 노광 스테이지 제어 장치
A : 감광면
A1, A2 : 감광 영역

Claims

송출부와 권취부 사이에 걸쳐져 있는 장척 시트 형상의 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 과정에서, 상기 기판의 감광면과 마스크판의 패턴면을 대면시켜, 상기 기판의 감광면을 노광하는 노광 장치이며,
상기 기판이 x축 및 y축에 의해 형성되는 xy 평면에 있어서의 x축을 따라서 상기 권취부를 향하는 측을 전방측으로 하고, 당해 전방측과는 반대측을 후방측으로 했을 때,
상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크판과 대향하는 위치에 배치되어, xy 평면에 직교하는 z축을 따라서 상기 기판과 함께 승강 가능한 노광 스테이지와,
x축을 따른 왕복 이동이 가능하고 상기 노광 스테이지와 함께 z축을 따라서 승강 가능하고, 또한 상기 기판의 감광면으로부터 z축을 따라서 이격된 상태에서 상기 마스크판의 측에 위치하도록 상기 노광 스테이지에 설치되고, 적어도, 상기 마스크판의 상기 후방측의 단부로부터 x축을 따라서 더욱 후방측으로 소정 간격 이격된 제1 위치와 상기 마스크판의 상기 전방측의 단부로부터 x축을 따라서 더욱 전방측으로 소정 간격 이격된 제2 위치 사이의 범위를, 상기 왕복 이동할 때의 가동 범위로 하여, 당해 가동 범위 내를 진행하면서 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하는 마스크 제진부와,
상기 마스크 제진부를 상기 왕복 이동시키기 위한 마스크 제진부 구동 기구부와,
상기 마스크 제진부 구동 기구부를 제어함으로써 상기 마스크 제진부의 상기 왕복 이동을 제어하는 마스크 제진부 제어 장치와,
상기 노광 스테이지를 z축을 따라서 승강 가능하게 하기 위한 노광 스테이지 구동 기구부와,
상기 노광 스테이지 구동 기구부를 제어함으로써 상기 노광 스테이지의 승강을 제어하는 노광 스테이지 제어 장치를 갖고,
상기 마스크 제진부는 적어도 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고 있고,
상기 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 상기 마스크판의 패턴면에 접촉한 상태로 회전해 가는 동작이고,
상기 마스크 제진부가 상기 마스크판에 대해 x축 및 z축을 따라서 각각 이격되어 있는 위치로부터 상기 마스크 제진부를 상기 마스크판의 패턴면에 접촉시킬 때에 있어서는,
상기 마스크 제진부 제어 장치는,
상기 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 대향하는 위치에 도달하도록 상기 마스크 제진부 구동 기구부를 제어하고,
상기 노광 스테이지 제어 장치는,
상기 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 대향하는 위치에 도달하면, 상기 마스크 제진부를 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 x축을 따른 단부 부근에 접촉시키도록 상기 노광 스테이지 구동 기구부를 제어하고,
상기 기판의 감광면을 노광할 때에는,
상기 마스크 제진부 제어 장치는 상기 마스크 제진부가, 상기 제1 위치 또는 상기 제2 위치에 도달한 상태로 되도록 상기 마스크 제진부 구동 기구부를 제어하고,
상기 노광 스테이지 제어 장치는 상기 마스크 제진부가, 상기 제1 위치 또는 상기 제2 위치에 도달한 상태에 있어서, 상기 노광 스테이지를 z축을 따라서 이동시켜 상기 기판의 감광면과 상기 마스크판의 패턴면이 접촉 또는 근접한 상태로 되도록 상기 노광 스테이지 구동 기구부를 제어하는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항에 있어서, 상기 마스크 제진부는 상기 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시키고 있는 동안에 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마스크 제진부가 상기 가동 범위 내를 상기 전방측으로 진행하는 동작을 전방 진행 동작으로 하고, 상기 마스크 제진부가 상기 가동 범위 내를 상기 후방측으로 진행하는 동작을 후방 진행 동작으로 했을 때,
상기 마스크 제진부는 상기 전방 진행 동작 및 상기 후방 진행 동작 각각에 있어서 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작을 행하고,
상기 전방 진행 동작 및 상기 후방 진행 동작 각각에 있어서 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 상기 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시켜 가는 동안에 교대로 행하는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크 제진부는 상기 마스크판의 패턴면에 접촉한 상태로 되면, 스프링의 신장력에 의해 상기 패턴면을 가압하는 힘이 작용하도록 상기 노광 스테이지에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크 제진부는 상기 마스크판의 패턴면에 있어서의 y축 방향을 따른 흡인구를 갖고, 흡인에 의해 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 흡인식 마스크 제진부이며,
상기 흡인식 마스크 제진부가 상기 마스크판의 패턴면을 제진하는 동작은 상기 마스크판의 패턴면과의 사이에 소정의 공극을 가진 상태에서 흡인력을 발휘하면서 상기 마스크판의 패턴면을 따라서 x축 방향을 따라서 진행해 가는 동작인 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판의 적어도 상기 감광면을 제진하는 기판 제진부를 갖는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.
제6항에 있어서, 상기 기판 제진부는, 적어도 표면에 점착력을 갖는 롤 형상을 이루고, 상기 기판의 적어도 감광면에 접촉한 상태로 설치되어 있고, 상기 기판을 간헐적으로 소정량씩 반송시킬 때의 상기 기판의 반송에 수반하여 회전하는 것을 특징으로 하는, 노광 장치.