KR20140109319A - 도금 장치 - Google Patents

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요시오 미나미
류야 고이즈미
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

본 발명은, 처리조의 종류나 처리 공정이 증가하더라도, 택트 타임을 단축하여 스루풋을 증대시킬 수 있는 도금 장치를 제공한다.
본 발명의 도금 장치는, 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더(18)와, 기판 홀더로 유지한 기판을 처리하는 처리조(34)와, 기판을 유지한 기판 홀더를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터(100)와, 기판을 유지한 기판 홀더를 트랜스포터로부터 수취하고 하강시켜 처리조의 내부에 투입하며, 처리 후의 기판을 유지한 기판 홀더를 상승시켜 트랜스포터에 전달하는 리프터(144)와, 트랜스포터 및 리프터의 동작을 제어하는 제어부(13)를 포함한다.

Description

도금 장치{PLATING APPARATUS}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판의 표면에 도금을 실시하는 도금 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 웨이퍼 등의 표면에 형성된 미세한 배선용 홈이나 플러그, 레지스트 개구부에 도금막을 형성하거나, 반도체 웨이퍼의 표면에 반도체칩과 기판을 전기적으로 접속시키는 범프(돌기형 전극)를 형성하거나 하는 데에 사용하기 적합한 도금 장치에 관한 것이다.
TAB(Tape Automated Bonding)나 플립칩에 있어서는, 배선이 형성된 반도체칩 표면의 정해진 개소(전극)에 금, 구리, 땜납, 혹은 니켈, 또한 이들을 다층으로 적층한 돌기형 접속 전극(범프)을 형성하고, 이 범프를 통해 기판 전극이나 TAB 전극과 전기적으로 접속하는 것이 널리 행해지고 있다. 이 범프의 형성 방법으로서는, 전기 도금법, 증착법, 인쇄법, 볼 범프법과 같은 여러가지 수법이 있다. 최근에는, 반도체칩의 I/O 수의 증가, 미세 피치화에 수반하여, 미세화가 가능하고 성능이 비교적 안정적인 전기 도금법이 많이 이용되고 있다.
전기 도금법은, 반도체 웨이퍼 등의 기판의 표면(피도금면)을 하향(페이스 다운)으로 하여 수평으로 놓고, 도금액을 아래로부터 뿜어 올려 도금을 실시하는 분류식(噴流式) 또는 컵식과, 도금조 안에 기판을 수직으로 세우고, 도금액을 도금조의 아래로부터 주입하여 오버플로우시키면서 기판을 도금액 중에 침지시켜 도금을 실시하는 딥식으로 대별된다. 딥 방식을 채용한 전기 도금법은, 도금의 품질에 악영향을 미치는 거품의 빠짐이 양호하고, 풋프린트가 작을 뿐만 아니라, 웨이퍼 사이즈의 변경에 용이하게 대응할 수 있다는 이점을 갖고 있다. 이 때문에, 매립 구멍의 치수가 비교적 크고, 도금에 상당한 시간을 필요로 하는 범프 도금에 적합한 것으로 고려된다.
출원인은, 기포의 빠짐이 비교적 양호한 딥 방식을 채용하고, 범프 등의 돌기형 전극에 알맞은 금속 도금막을 자동적으로 형성할 수 있도록 하기 위해, 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더와, 기판 홀더로 유지한 기판을 침지시켜 처리하는 복수의 처리조와, 기판을 유지한 기판 홀더를 파지하고 수평 방향으로 반송하여 처리조 내의 처리액에 침지시키는 승강 가능한 트랜스포터(기판 홀더 반송 장치)를 구비한 도금 장치를 제안하고 있다(특허문헌 1, 2 참조).
또한 출원인은, 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더와, 기판 홀더로 유지한 기판을 도금액에 침지시켜 처리하는 도금조를 갖는 도금 유닛과, 기판을 반송하고 기판을 기판 홀더에 전달하는 기판 반송기와, 기판을 유지한 기판 홀더를 하강시켜 도금액에 침지시키는 승강 기구를 구비한 도금 장치를 제안하고 있다(특허문헌 3 참조).
또한, 복수의 워크를 연직 방향으로 유지하는 워크 캐리어와, 워크 캐리어로 유지한 워크를 침지시켜 처리하는 처리액을 내부에 갖는 복수의 처리조와, 워크 수송 수단을 구비하고, 워크 수송 수단은, 워크를 유지한 워크 캐리어를 횡방향으로 반송하는 워크 가로 반송 기구와, 상기 워크 가로 반송 기구로부터 수취한 워크를 하강시켜 처리조 내의 처리액에 침지시키는 워크 승강 기구를 구비한 세정 장치가 제안되어 있다(특허문헌 4 참조).
특허문헌 1 : 일본 특허 제3,979,847호 공보 특허문헌 2 : 일본 특허 공개 제2012-107311호 공보 특허문헌 3 : 일본 특허 공개 제2004-76072호 공보 특허문헌 4 : 일본 특허 공개 평7-299427호 공보
특허문헌 1, 특허문헌 2에 기재된 장치에서는, 기판을 유지한 기판 홀더를 트랜스포터로 파지한 상태에서, 기판 홀더를 처리조의 바로 위쪽에 수평 방향으로 이동시키고, 기판 홀더를 하강시켜 상기 처리조 내의 처리액에 침지시켜 정해진 처리를 실시한 후, 기판 홀더를 처리액으로부터 인상시키도록 구성된다. 그러나, 이러한 구성에서는, 기판 홀더를 승강시키는 동안, 트랜스포터는, 그 곳에 머물러 있을 필요가 있어, 택트 타임이 길어지고, 스루풋이 저하되어 버린다.
택트 타임은, 예컨대, (1) 다층 도금의 경우와 같이, 도금액의 종류가 많아지고, 처리조의 종류가 증가하여, 트랜스포터에 의해 기판을 유지한 기판 홀더를 승강시키는 횟수가 증가하는 경우나, (2) 기판을 유지한 기판 홀더를 하강시켜 기판을 처리액에 침지시킬 때에, 처리액이 튀는 것을 방지하기 위해, 기판 홀더의 하강 속도를 제한하거나, 처리 후에 기판 홀더를 상승시킬 때에, 기판 홀더에 부착된 처리액을 제거하기 위해, 기판 홀더의 상승 속도를 제한하거나 하는 등, 트랜스포터에 의한 기판 홀더의 승강 속도를 느리게 하고 싶은 경우에 특히 영향을 받는다.
이러한 경우에는, 트랜스포터를 복수 설치할 필요가 있다. 그러나, 트랜스포터를 복수 설치하면, 트랜스포터끼리의 접촉을 피할 필요가 있을 뿐만 아니라, 트랜스포터 사이에서의 기판 홀더의 전달에 많은 시간을 필요로 하게 된다.
즉, 트랜스포터의 크기에 따라서는, 인접하는 2개의 처리조에 2개의 트랜스포터가 이동했을 때에 이들 트랜스포터가 서로 간섭하는 경우가 있다. 이 때문에, 인접하는 2개의 처리조에서는 트랜스포터가 동시에 기판 홀더의 상승 하강 동작을 할 수 없는 경우가 있다. 또한, 트랜스포터 사이에서 직접 기판 홀더의 전달을 행할 수 있도록 하기 위해서는, 트랜스포터의 구조가 복잡해진다. 이 때문에, 트랜스포터 사이에서 기판 홀더를 전달하기 위해서는, 한쪽의 트랜스포터로 파지한 기판 홀더를 처리조나 받침대 상에 일단 놓고, 이 처리조나 받침대 상에 놓여진 기판 홀더를 다른쪽의 트랜스포터로 파지할 필요가 있다.
이상과 같이, 트랜스포터는, 기판 홀더를 처리조의 위쪽에서 수평 이동시키고, 또한 기판 홀더를 승강시키기 위해, 기판 홀더의 수평 이동의 시간과 승강 이동의 시간을 필요로 한다. 이 때문에, 처리조의 수나 처리 공정수가 증가함에 따라, 트랜스포터에 의한 반송 횟수가 증가하여, 반송 율속(律速) 개소의 택트 타임이 길어지고 스루풋을 저하시키는 원인이 된다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 처리조의 수나 처리 공정이 증가하더라도, 택트 타임을 단축하여 스루풋을 증대시킬 수 있는 도금 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태는, 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더로 유지한 기판을 처리하는 처리조와, 상기 기판을 유지한 기판 홀더를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터와, 상기 기판을 유지한 기판 홀더를 상기 트랜스포터로부터 수취하고 하강시켜 상기 처리조의 내부에 투입하고, 처리 후의 기판을 유지한 상기 기판 홀더를 상승시켜 상기 트랜스포터에 전달하는 리프터와, 상기 트랜스포터 및 상기 리프터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금 장치이다.
본 발명의 바람직한 양태는, 상기 처리조 및 상기 리프터를 복수개 갖고, 상기 리프터는 각 처리조마다 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태는, 상기 처리조를 복수개 갖고, 상기 처리조 중 적어도 1개는, 공통의 처리를 행하는 복수의 셀을 가지며, 상기 리프터는, 상기 기판 홀더를 상하 이동시키는 승강 액추에이터와, 상기 승강 액추에이터를 복수의 상기 셀 사이에서 수평 방향으로 이동시키는 횡이동 액추에이터를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태는, 상기 제어부는, 기판을 유지하여 상기 처리조의 내부에 투입한 상기 기판 홀더를 상승시켜 상기 리프터로부터 상기 트랜스포터에 전달할 때, 상기 리프터가 상승을 종료하는 타이밍이, 상기 트랜스포터가 상기 처리조에 도착하는 타이밍과 일치하도록, 상기 리프터의 동작 개시 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태는, 상기 제어부는, 기판을 유지하여 상기 처리조의 내부에 투입할 상기 기판 홀더를 상기 트랜스포터로부터 상기 리프터에 전달할 때, 상기 트랜스포터가 상기 처리조에 도달하기 전에 상기 리프터가 대기 위치에서 대기하도록, 상기 리프터의 동작 개시 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양태는, 기판을 연직 방향으로 유지하는 복수의 기판 홀더와, 상기 복수의 기판 홀더의 각각에서 유지한 기판을 처리하는 처리조와, 상기 복수의 기판 홀더 중 1개를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터와, 상기 복수의 기판 홀더를 보관해 두는 스토커와, 상기 스토커에 보관하고 있는 상기 복수의 기판 홀더 중 1개를 상승시켜 상기 트랜스포터에 전달하는 리프터를 구비하고, 상기 리프터는, 상기 복수의 기판 홀더 중 1개를 상하 이동시키는 승강 액추에이터와, 상기 승강 액추에이터를 상기 스토커 내의 복수의 기판 홀더 보관 위치 사이에서 수평 이동시키는 횡이동 액추에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 도금 장치이다.
본 발명의 또 다른 양태는, 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더로 유지한 기판을 처리하는 처리조와, 상기 기판 홀더를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터와, 상기 기판 홀더를 상기 트랜스포터에 전달하고, 상기 트랜스포터로부터 수취하는 기판 홀더 자세 변경 기구를 구비하며, 상기 기판 홀더 자세 변경 기구는, 상기 기판 홀더를 회전 이동 가능하게 지지하는 지지 부재를 하강시킴으로써 상기 기판 홀더를 연직 자세로부터 수평 자세로 전환하고, 상기 지지 부재를 상승시킴으로써 상기 기판 홀더를 수평 자세로부터 연직 자세로 전환하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도금 장치이다.
본 발명의 도금 장치에 따르면, 기판을 유지한 기판 홀더의 수평 방향의 반송을 트랜스포터로 행하고, 기판을 유지한 기판 홀더의 승강 이동을 트랜스포터로부터 분리된 리프터로 각각 독립적으로 병렬로 행하게 할 수 있다. 이에 따라, 트랜스포터에서의 반송 동작의 소요 시간을 삭감할 수 있다. 따라서, 가령 처리조의 수나 처리 공정이 증가하더라도, 택트 타임을 단축하여 스루풋을 증대시킬 수 있다.
도 1은 본 발명 실시형태의 도금 장치의 전체 배치도이다.
도 2는 기판 홀더를 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 홀더의 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 기판 홀더의 우측면도이다.
도 5는 도 4의 A부의 확대도이다.
도 6은 도 1에 도시된 도금 장치의 주요부를 도시하는 사시도이다.
도 7은 도 6의 부분 확대도이다.
도 8은 기판 홀더를 트랜스포터로부터 전세정조용 고정 리프터에 전달할 때의 상태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 9는 기판을 유지한 기판 홀더를 트랜스포터로부터 전세정조용 고정 리프터로 수취하여, 전세정조 내의 정해진 위치에 설치할 때의 동작의 설명에 따르는 개요도이다.
도 10은 기판을 유지한 기판 홀더를 전세정조로부터 인상시켜, 전세정조용 고정 리프터로부터 트랜스포터에 전달할 때의 동작의 설명에 따르는 개요도이다.
도 11은 기판 홀더를 트랜스포터로부터 도금조용 이동 리프터에 전달할 때의 상태를 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 12는 기판을 유지한 기판 홀더를 트랜스포터로부터 도금조용 이동 리프터로 수취하고, 도금조의 1개의 도금 셀 내의 정해진 위치에 설치할 때의 동작의 설명에 따르는 개요도이다.
도 13은 기판을 유지한 기판 홀더를 도금 셀로부터 인상시켜, 도금조용 이동 리프터로부터 트랜스포터에 전달할 때의 동작의 설명에 따르는 개요도이다.
도 14는 기판 홀더 자세 변경 기구를 도시하는 사시도이다.
도 15는 기판 홀더 자세 변경 기구가 기판 홀더를 회전 가능하게 지지한 상태를 도시하는 도면이다.
도 16은 기판 홀더를 기판 홀더 자세 변경 기구에 의해 수평으로 넘어뜨려 테이블에 적재하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 17은 기판 홀더가 수평 자세에 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 18은 기판 홀더의 다른 예를 도시하는 평면도이다.
도 19는 기판 홀더의 또 다른 예를 도시하는 평면도이다.
도 20은 기판을 유지한 상태의 기판 홀더의 주요부 확대도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 한편, 이하의 각 예에 있어서, 동일 또는 상당하는 부재에는 동일 부호를 붙이고 중복된 설명을 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시형태에서의 도금 장치의 전체 배치도를 도시한다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 이 도금 장치에는, 장치 프레임(10)과, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납한 카세트를 탑재하는 2대의 로드 포트(12)와, 각 기기의 동작을 제어하는 제어부(13)가 구비되어 있다. 장치 프레임(10)의 내부에는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 정해진 방향으로 맞추는 얼라이너(14)와, 도금 처리 후의 기판을 고속 회전시켜 건조시키는 스핀·린스·드라이어(SRD)(16)와, 기판 홀더(18)(도 2 내지 도 5 참조)가 수평으로 적재되는 테이블(20)이 배치된다. 또한, 이들 유닛 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 로봇(22)이 배치되어 있다.
테이블(20)의 위쪽에 위치하고, 테이블(20) 상에 적재된 기판 홀더(18)를 개폐하여 기판의 상기 기판 홀더(18)에 대한 착탈을 행하는 기판 홀더 개폐 기구(24)가 배치되어 있다. 또한, 테이블(20)의 측방에는, 기판 홀더(18)를 자세 변경시키는 기판 홀더 자세 변경 기구(26)가 배치되어 있다.
장치 프레임(10)의 내부에는, 기판 홀더 자세 변경 기구(26)의 반대측부터 순서대로, 기판 홀더(18)의 보관 및 일시 적재을 행하는 스토커(30), 기판 홀더(18)로 유지한 기판을 순수 등의 전처리액으로 전세정(전처리)하는 전세정조(32), 기판 홀더(18)로 유지한 기판에 도금을 행하는 도금조(34), 도금 후의 기판을 기판 홀더(18)와 함께 린스물로 린스하는 린스조(36), 및 린스 후의 기판의 물 제거를 행하는 블로우조(38)가 배치되어 있다.
이 예에서, 전세정조(32)에는 내부에 순수 등의 전처리액을 유지하는 1개의 전세정 셀(32a)이, 도금조(34)에는 내부에 도금액을 유지하는 복수(이 예에서는, 10열)의 도금 셀(34a)과 오버플로우조(34b)가, 린스조(36)에는 내부에 린스액을 유지하는 1개의 린스 셀(36a)이 각각 구비되어 있다. 도금 셀(34a)은 예컨대 전해 도금 셀이고, 내부에 애노드 전극을 구비한다. 기판 홀더(18)는 각 도금 셀(34a) 내에 설치되고, 이 상태에서 전해 도금을 행한다. 혹은, 도금 셀(34a)은, 기판에 무전해 도금을 행하는 무전해 도금 셀이어도 좋다. 본 실시형태에서는, 도금조(34)는 1종류의 도금액을 이용하고 있고, 각 도금 셀(34a)로부터 오버플로우된 도금액은 공통의 오버플로우조(34b)에 유입되도록 되어 있다. 스토커(30)는, 복수의 기판 홀더(18)를 연직 방향으로 병렬로 유지하도록 구성되어 있다. 블로우조(38)는, 에어의 분사에 의해, 기판 홀더(18)로 유지한 기판의 표면에 부착된 액적을 제거하고 건조시키도록 구성되어 있다.
도금조(34)의 일측방에는, 각 도금 셀(34a) 내의 도금액을 교반하는 패들(도시 생략)을 구동하는 패들 모터 유닛(40)이 설치되어 있다. 도금조(34)의 타측방에는, 배기 덕트(42)가 구비되어 있다.
기판 홀더(18)는, 도 2 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 예컨대 염화비닐제이고 직사각형 평판형의 제1 유지 부재(고정 유지 부재)(54)와, 이 제1 유지 부재(54)에 힌지(56)를 통해 개폐 가능하게 부착한 제2 유지 부재(가동 유지 부재)(58)를 갖고 있다. 한편, 다른 구성예로서, 제2 유지 부재(58)를 제1 유지 부재(54)에 대치한 위치에 배치하고, 이 제2 유지 부재(58)를 제1 유지 부재(54)로 향해 전진시키고, 또한 제1 유지 부재(54)로부터 이격시킴으로써 제2 유지 부재(58)를 개폐하도록 해도 좋다.
제2 유지 부재(58)는, 기초부(60)와, 링형의 시일 홀더(62)를 갖고 있다. 시일 홀더(62)는, 예컨대 염화비닐제이고, 하기의 프레스 링(64)과의 미끄러짐을 양호하게 하고 있다. 시일 홀더(62)의 상부에는, 기판 홀더(18)가 기판(W)을 유지했을 때, 기판(W)의 표면 외주부에 압접하여 제2 유지 부재(58)와 기판(W)의 간극을 시일하는 기판측 시일 부재(66)가 내측으로 돌출되어 부착되어 있다. 또한, 시일 홀더(62)의 제1 유지 부재(54)와 대향하는 면에는, 기판 홀더(18)가 기판(W)을 유지했을 때, 기판측 시일 부재(66)의 외측 위치에서 제1 유지 부재(54)에 압접하여 제1 유지 부재(54)와 제2 유지 부재(58)의 간극을 시일하는 홀더측 시일 부재(68)가 부착되어 있다.
도 5에 도시하는 바와 같이, 기판측 시일 부재(66)는, 시일 홀더(62)와 제1 고정 링(70a) 사이에 협지되어 시일 홀더(62)에 부착되어 있다. 제1 고정 링(70a)은, 시일 홀더(62)에 볼트 등의 체결구(69a)를 통해 부착된다. 홀더측 시일 부재(68)는, 시일 홀더(62)와 제2 고정 링(70b) 사이에 협지되어 시일 홀더(62)에 부착되어 있다. 제2 고정 링(70b)은, 시일 홀더(62)에 볼트 등의 체결구(69b)를 통해 부착된다.
시일 홀더(62)의 외주부에는, 단차부가 형성되고, 이 단차부에, 프레스 링(64)이 스페이서(65)를 통해 회전 가능하게 장착되어 있다. 한편, 프레스 링(64)은, 제1 고정 링(70a)의 외주부에 의해 이탈 불가능하게 장착되어 있다. 이 프레스 링(64)은, 산이나 알칼리에 대하여 내식성이 우수하고, 충분한 강성을 갖는 재료로 구성된다. 예컨대, 프레스 링(64)은 티탄으로 구성된다. 스페이서(65)는, 프레스 링(64)이 원활하게 회전할 수 있도록, 마찰 계수가 낮은 재료, 예컨대 PTFE로 구성되어 있다.
프레스 링(64)의 외측방에는, 복수의 클램퍼(74)가 프레스 링(64)의 원주 방향을 따라 등간격으로 배치되어 있다. 이들 클램퍼(74)는 제1 유지 부재(54)에 고정되어 있다. 각 클램퍼(74)는, 내측으로 돌출되는 돌출부를 갖는 역(逆) L자형의 형상을 갖고 있다. 프레스 링(64)의 외주면에는, 외측으로 돌출되는 복수의 돌기부(64b)가 형성되어 있다. 이들 돌기부(64b)는, 클램퍼(74)의 위치에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 클램퍼(74)의 내측 돌출부의 하면 및 프레스 링(64)의 돌기부(64b)의 상면은, 프레스 링(64)의 회전 방향을 따라 서로 역방향으로 경사진 테이퍼면으로 되어 있다. 프레스 링(64)의 원주 방향을 따른 복수 개소(예컨대, 3개소)에는, 위쪽으로 돌출되는 볼록부(64a)가 형성되어 있다. 이에 따라, 회전 핀(도시 생략)을 회전시켜 볼록부(64a)를 옆에서 돌림으로써, 프레스 링(64)을 회전시킬 수 있다.
제2 유지 부재(58)를 개방한 상태에서, 제1 유지 부재(54)의 중앙부에 기판(W)을 삽입하고, 힌지(56)를 통해 제2 유지 부재(58)를 폐쇄한다. 프레스 링(64)을 시계 방향으로 회전시켜, 프레스 링(64)의 돌기부(64b)를 클램퍼(74)의 내측 돌출부의 내부로 미끄러져 들어가게 함으로써, 프레스 링(64)과 클램퍼(74)에 각각 형성된 테이퍼면을 통해, 제1 유지 부재(54)와 제2 유지 부재(58)를 서로 체결하여 제2 유지 부재(58)를 로크한다. 또한, 프레스 링(64)을 반시계 방향으로 회전시켜 프레스 링(64)의 돌기부(64b)를 클램퍼(74)로부터 떼어냄으로써, 제2 유지 부재(58)의 로크를 해제하도록 되어 있다. 제2 유지 부재(58)를 로크했을 때, 기판측 시일 부재(66)의 하방 돌출부는 기판(W)의 표면 외주부에 압접된다. 시일 부재(66)는 균일하게 기판(W)에 압박되고, 이에 따라 기판(W)의 표면 외주부와 제2 유지 부재(58)의 간극을 시일한다. 동일하게, 제2 유지 부재(58)를 로크했을 때, 홀더측 시일 부재(68)의 하방 돌출부는 제1 유지 부재(54)의 표면에 압접된다. 시일 부재(68)는 균일하게 제1 유지 부재(54)에 압박되고, 이에 따라 제1 유지 부재(54)와 제2 유지 부재(58) 사이의 간극을 시일한다.
제1 유지 부재(54)의 상면에는, 기판(W)의 크기와 거의 동등한 링형의 돌조부(82)가 형성되어 있다. 이 돌조부(82)는, 기판(W)의 둘레 가장자리부에 접촉하여 상기 기판(W)을 지지하는 환형의 지지면(80)을 갖고 있다. 이 돌조부(82)의 원주 방향을 따른 정해진 위치에 오목부(84)가 형성되어 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 오목부(84) 내에는 복수(도면에서는, 12개)의 도전체(전기 접점)(86)가 각각 배치되어 있다. 이들 도전체(86)는, 홀더 행거의 제1 단차부(90)에 설치된 접속 단자(91)로부터 연장되는 복수의 배선에 각각 접속되어 있다. 제1 유지 부재(54)의 지지면(80) 상에 기판(W)을 적재했을 때, 이 도전체(86)의 단부가 기판(W)의 측방에서 튀어나와, 도 5에 도시된 전기 접점(88)의 하부에 탄성적으로 접촉하도록 되어 있다.
도전체(86)에 전기적으로 접속되는 전기 접점(88)은, 볼트 등의 체결구(89)를 통해 제2 유지 부재(58)의 시일 홀더(62)에 고착되어 있다. 이 전기 접점(88)은, 판스프링 형상으로 형성되어 있다. 전기 접점(88)은, 기판측 시일 부재(66)의 외측에 위치한, 내측으로 판스프링형으로 돌출되는 접점부를 갖고 있다. 전기 접점(88)은 이 접점부에서, 그 탄성력에 의한 스프링성을 가져 용이하게 굴곡하도록 되어 있다. 제1 유지 부재(54)와 제2 유지 부재(58)로 기판(W)을 유지했을 때에, 전기 접점(88)의 접점부가, 제1 유지 부재(54)의 지지면(80) 상에 지지된 기판(W)의 외주면에 탄성적으로 접촉하도록 구성되어 있다.
제2 유지 부재(58)의 개폐는, 도시하지 않은 에어 실린더와 제2 유지 부재(58)의 자중에 의해 행해진다. 즉, 제1 유지 부재(54)에는 관통 구멍(54a)이 형성되고, 테이블(20) 상에 기판 홀더(18)를 적재했을 때에 상기 관통 구멍(54a)에 대향하는 위치에 에어 실린더가 설치되어 있다. 피스톤 로드를 신장시켜, 관통 구멍(54a)을 통해 압박 막대로 제2 유지 부재(58)의 시일 홀더(62)를 위쪽으로 밀어 올림으로써 제2 유지 부재(58)를 개방하고, 피스톤 로드를 수축시킴으로써, 제2 유지 부재(58)를 그 자중에 의해 폐쇄하도록 되어 있다.
제1 유지 부재(54)의 단부에는, 기판 홀더(18)를 반송하거나, 매달아 지지하거나 할 때의 지지부가 되는 한쌍의 홀더 행거의 제1 단차부(90) 및 제2 단차부(94)가 외측으로 돌출되어 형성되어 있다. 또한, 양측의 제1 단차부(90) 사이에는 핸드 레버(92)가 연장되어 있다. 스토커(30) 내에서는, 그 둘레벽 상면에 홀더 행거의 제1 단차부(90)를 거는 것에 의해, 기판 홀더(18)를 수직으로 매달아 유지한다. 또한, 전세정조(32), 도금조(34), 린스조(36) 및 블로우조(38) 내에서도, 기판 홀더(18)는, 홀더 행거의 제1 단차부(90)를 통해 이들의 둘레벽에 매달아 유지된다.
도 1로 되돌아와, 스토커(30), 전세정조(32), 도금조(34), 린스조(36), 블로우조(38) 및 기판 홀더 자세 변경 기구(26)의 측방에 위치하고, 이들 각 기기의 사이에서 기판 홀더(18)를 기판과 함께 반송하는, 예컨대 리니어 모터 방식을 채용한 트랜스포터(100)가 설치되어 있다. 이 트랜스포터(100)는, 장치 프레임(10) 등에 고정되어 수평 방향으로 연장되는 고정 베이스(102)와, 이 고정 베이스(102)를 따라 수평 방향으로 이동하는 횡이동 아암(104)을 구비하고 있다. 트랜스포터(100)는, 기판 홀더(18)를 유지하고 있을 때에는 비교적 저속으로 횡이동 아암(104)을 수평 방향으로 이동시키고, 기판 홀더(18)를 유지하고 있지 않을 때에는 비교적 고속으로 수평 방향으로 횡이동 아암(104)을 이동시키도록 구성되어 있다.
횡이동 아암(104)에는, 도 6 및 도 7에 상세히 도시하는 바와 같이, 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)를 전후 방향으로부터 사이에 끼워 기판 홀더(18)를 파지하는 한쌍의 척 클로(106)와, 상기 척 클로(106)를 서로 근접 및 이격되는 방향으로 이동시키는 액추에이터(108)를 갖는 파지 기구(110)가 구비되어 있다.
1개의 전세정 셀(32a)을 갖는 전세정조(32)에는, 이 전세정조(32)의 양측에 세워 설치한 한쌍의 액추에이터(112)를 갖는 전세정조용 고정 리프터(114)가 설치되어 있다. 액추에이터(112)는, 브래킷에 의해 장치 프레임(10)에 고정되어 있다. 각 액추에이터(112)에는, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 이 액추에이터(112)를 따라 승강하는 승강 아암(116)이 연결되어 있다. 승강 아암(116)은, 액추에이터(112)에 내장되는 모터 및 볼 나사에 의해 상승 하강한다. 이 승강 아암(116)에는, 위쪽으로 개구된 종단면이 직사각형(저면과 측면을 갖고 위쪽이 개구된 형상)인 받침대(118)가 고정되어 있다. 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)는, 그 홀더 행거의 제1 단차부(90)가 받침대(118)에 삽입됨으로써 전세정조용 고정 리프터(114)에 지지된다. 또한, 기판 홀더(18)는 액추에이터(112)에 의해 승강한다.
마찬가지로, 1개의 린스 셀(36a)을 갖는 린스조(36)에는, 이 린스조(36)의 양측에 세워 설치한 한쌍의 액추에이터(120)를 갖는 린스조용 고정 리프터(122)가 설치되어 있다. 각 액추에이터(120)에는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 이 액추에이터(120)에 의해 승강되는 승강 아암(124)이 연결되어 있다. 각 승강 아암(124)에는, 위쪽으로 개구된 종단면이 직사각형인 받침대(126)가 고정되어 있다. 블로우조(38)의 양측에는, 연직 방향으로 연장되는 한쌍의 액추에이터(130)를 갖는 블로우조용 고정 리프터(132)가 설치되어 있다. 각 액추에이터(130)에는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 이 액추에이터(130)에 의해 승강되는 승강 아암(134)이 연결되어 있다. 각 승강 아암(134)에는, 위쪽으로 개구된 종단면이 직사각형인 받침대(136)가 고정되어 있다.
복수의 도금 셀(34a)을 갖는 도금조(34)에는, 도금조용 이동 리프터(144)가 설치되어 있다. 이 도금조용 이동 리프터(144)는, 장치 프레임(10) 등에 고정되고, 도금조(34)의 양측에 배치된 한쌍의 횡이동 액추에이터(140)와, 연직 방향으로 연장되고, 횡이동 액추에이터(140)에 의해 수평 방향으로 이동되는 한쌍의 승강 액추에이터(142)를 갖고 있다. 한편, 도 6에 있어서, 횡이동 액추에이터(140)의 한쪽(앞쪽)은, 도면을 이해하기 쉽게 하기 위해 생략했다. 승강 액추에이터(142)에는, 이 승강 액추에이터(142)에 의해 승강하는 승강 아암(146)이 연결되어 있고, 이 승강 아암(146)에는, 위쪽으로 개구된 종단면이 직사각형인 받침대(148)가 고정되어 있다. 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)는, 그 홀더 행거의 제2 단차부(94)가 받침대(148)에 삽입됨으로써 도금조용 이동 리프터(144)에 지지된다. 또한, 기판 홀더(18)는, 승강 액추에이터(142)에 의해 승강한다.
스토커(30)에는, 상기 도금조용 이동 리프터(144)와 거의 동일한 구성의 스토커용 이동 리프터(154)가 설치되어 있다. 이 스토커용 이동 리프터(154)는, 장치 프레임(10) 등에 고정되고, 스토커(30)의 양측에 배치된 한쌍의 횡이동 액추에이터(150)와, 연직 방향으로 연장되고 횡이동 액추에이터(150)에 의해 수평 방향으로 이동하는 한쌍의 승강 액추에이터(152)를 갖고 있다. 한편, 도 6에서는, 횡이동 액추에이터(150)의 한쪽은 생략되어 있다. 승강 액추에이터(152)에 부착된 승강 아암 및 받침대(도시 생략)가 상승 하강한다.
이 예에 있어서는, 트랜스포터(100)는, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)를 파지하여 수평 방향으로 이동시키는 역할만을 담당하고, 고정 리프터(114, 122, 132) 및 이동 리프터(144, 154)는, 트랜스포터(100)로부터 수취한 기판 홀더(18)를 승강시키는 역할을 담당한다.
다음으로, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)를, 트랜스포터(100)로부터 전세정조용 고정 리프터(114)로 수취하여, 전세정조(32) 내의 정해진 위치에 설치할 때의 동작에 관해, 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다. 한편, 도 8에 있어서는, 받침대(118)는 도면의 간략화를 위해 생략한다. 도 9는, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제1 단차부(90) 및 핸드 레버(92), 트랜스포터(100)의 척 클로(106), 및 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)만을 모식적으로 도시하고 있다.
우선, 도 9의 스텝 1에 도시하는 바와 같이, 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)를 상승시킴과 함께, 트랜스포터(100)의 척 클로(106)로 파지한 기판 홀더(18)를 정해진 속도로 수평 방향으로 이동시킨다. 스텝 2에 도시하는 바와 같이, 승강 아암(116)의 받침대(118)는, 기판 홀더(18)의 제1 단차부(90)에 간섭하지 않는 정해진 높이의 대기 위치에서 대기하고, 기판 홀더(18)는 전세정조(32)의 바로 위쪽의 정해진 위치에서 정지한다.
다음으로, 스텝 3에 도시하는 바와 같이, 전세정조용 고정 리프터(114)의 승강 아암(116)을 상승시켜, 받침대(118)를 기판 홀더 수취 위치[받침대(118)와 제1 단차부(90)의 간극이 최소가 되는 위치]까지 상승시킨다. 도 8의 실선은, 이 승강 아암(116)을 상승시켜, 기판 홀더(18)를 트랜스포터(100)로부터 전세정조용 고정 리프터(114)에 전달할 때의 상태를 모식적으로 도시하고 있다. 승강 아암(116)은, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제1 단차부(90)를 지지한다. 스텝 3에 도시하는 바와 같이, 받침대(118)를 제1 단차부(90)보다 약간 낮은 위치까지 상승시킬 수 있는 이유는, 승강 아암(116)이 기판 홀더(18)를 그 양측으로부터 지지하도록 구성되어 있는 점, 및 좌우의 승강 아암(116) 사이의 거리가 기판 홀더(18)의 제1 유지 부재(54)의 폭보다 넓은 점 때문이다.
그리고, 스텝 4에 도시하는 바와 같이, 척 클로(106)를 개방하여, 트랜스포터(100)에 의한 기판 홀더(18)의 파지를 해제한다. 이에 따라, 기판 홀더(18)는, 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)에 유지된다. 이 때에 기판 홀더(18)에 주어지는 충격이 적어지도록, 받침대(118)에 충격 흡수의 쿠션 기능을 갖게 해도 좋다.
다음으로, 스텝 5에 도시하는 바와 같이, 전세정조용 고정 리프터(114)의 승강 아암(116)을 하강시켜, 받침대(118) 및 기판 홀더(18)를 하강시킨다. 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)가 트랜스포터(100)의 척 클로(106)보다 하방으로 이동한 후에는, 트랜스포터(100)는 다음 처리를 위해 수평 이동할 수 있다.
스텝 6에 도시하는 바와 같이, 받침대(118)는, 기판 홀더(18)에 유지된 기판이 전세정조(32) 내의 전처리액(예컨대, 순수)에 침지될 때까지 하강한다. 받침대(118)의 하강 속도는, 액의 튐 방지나 기포 혼입 방지 등을 고려하여 설정된다. 그리고, 기판 홀더(18)를 전세정조(32)의 정해진 위치에 세트하고, 기판의 전세정 처리가 행해진다. 이 때, 기판 홀더(18)는 받침대(118)에 의해 지지된 상태이다(도 8의 1점 쇄선으로 나타냄). 전세정 셀(32a)은 1개밖에 없기 때문에, 기판(W)의 처리가 종료되어 기판 홀더(18)가 다음 공정으로 반송되지 않는 한, 다음 기판을 처리할 수 없다. 따라서, 전세정조용 고정 리프터(114)는, 기판 홀더(18)를 전세정조(32)에 대하여 상승 하강시킬 뿐만 아니라, 전세정 처리중인 기판 홀더(18)를 지지해 두는 역할도 갖고 있다.
다음으로, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)를 전세정조(32)로부터 인상시켜, 전세정조용 고정 리프터(114)로부터 트랜스포터(100)로 전달할 때의 동작을, 도 10을 참조하여 설명한다. 도 9와 마찬가지로, 도 10은, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제1 단차부(90) 및 핸드 레버(92), 트랜스포터(100)의 척 클로(106), 및 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)만을 모식적으로 도시하고 있다.
우선, 도 10의 스텝 7에 도시하는 바와 같이, 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)를 상승시켜 기판 홀더(18)를 상승시킴과 함께, 기판 홀더(18)를 파지하고 있지 않은 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)을 최고 속도로 수평 방향으로 이동시킨다. 이 기판 홀더(18)의 상승 속도는, 기판 홀더(18)에 부착된 처리액을 제거하기 위한 시간도 고려하여, 예컨대 100 mm/sec로 설정된다. 스텝 8에 도시하는 바와 같이, 기판 홀더(18)의 제1 단차부(90)를 아래로부터 지지한 받침대(118)는 정해진 높이의 대기 위치에서 대기하고, 기판 홀더(18)를 유지하고 있지 않은 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)은 전세정조(32)의 바로 위쪽의 정해진 위치에서 정지한다.
다음으로, 스텝 9에 도시하는 바와 같이, 전세정조용 고정 리프터(114)의 승강 아암(116)을 상승시켜, 받침대(118)를 기판 홀더 인도 위치까지 상승시킨다. 그리고, 스텝 10에 도시하는 바와 같이, 척 클로(106)를 폐쇄하여, 핸드 레버(92)를 전후 방향으로부터 협지하여 기판 홀더(18)를 파지한다.
다음으로, 스텝 11에 도시하는 바와 같이, 승강 아암(116)을 하강시켜, 받침대(118)를 대기 위치까지 하강시키고, 다음 기판 홀더를 수취할 때까지 대기한다. 기판 홀더(18)를 유지한 트랜스포터(100)는, 스텝 12에 도시하는 바와 같이, 다음 처리조까지 기판 홀더(18)를 수평 방향으로 이동시킨다. 이 때, 스텝 12에 도시하는 바와 같이, 승강 아암(116)을 하강시켜, 받침대(118)를 하단 정지 위치까지 하강시키도록 해도 좋다.
전세정용 고정 리프터(114)가 기판 홀더(18)를 전세정조(32)로부터 인상시키는 동작이 종료됨과 동시에, 트랜스포터(100)가 기판 홀더(18)를 수취하는 것이 바람직하다. 이것은, 공중에 방치된 기판(W)의 건조나 산화 등을 피하기 위해서이다. 그러나, 트랜스포터(100)가 다른 기판 홀더를 반송하고 있는 경우나, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)이 전세정조(32)로부터 떨어져 있는 경우에는, 트랜스포터(100)가 즉시 전세정조(32)에 도달할 수 없는 경우도 있다. 그래서, 제어부(13)는, 기판 홀더(18)의 인상이 종료된 동시에 트랜스포터(100)가 전세정조(32)에 도달 가능한지의 여부를 판단하도록 구성되어 있다. 이 판단은, 미리 설정되어 있는 각 동작 소요 시간에 기초하여 행해진다.
트랜스포터(100)가 전세정조(32)에 도달 가능한 것으로 판단된 경우에는, 전세정조용 고정 리프터(114)는 기판 홀더(18)의 인상을 즉시 개시한다. 이 경우에, 전세정조용 고정 리프터(114)가 기판 홀더(18)의 인상을 종료할 때까지 트랜스포터(100)가 전세정조(32)에 도달하도록, 제어부(13)는 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)의 주행의 개시 타이밍을 제어한다. 트랜스포터(100)가 전세정조(32)에 도달 불가능한 것으로 판단된 경우에는, 제어부(13)는 트랜스포터(100)의 예상되는 도달 시간과, 기판 홀더(18)의 인상에 필요로 하는 시간에 기초하여, 기판 홀더(18)의 인상 개시 시간을 계산한다. 인상 개시 시간에 도달할 때까지, 전세정조용 고정 리프터(114)는 기판 홀더(18)의 인상을 개시하지 않고 대기한다. 이와 같이, 트랜스포터(100)가 다른 기판 홀더의 반송을 행하고 있거나, 또는 전세정조(32)로 주행하고 있는 동안에 병행하여 전세정조용 고정 리프터(114)가 기판 홀더(18)를 전세정조(32)로부터 인상시키는 동작을 개시할 수 있다. 따라서, 반송 소요 시간이 단축되고, 스루풋이 향상된다.
트랜스포터(100)가 한번에 반송할 수 있는 것은 1대의 기판 홀더(18)뿐이다. 따라서, 전세정조(32)를 포함하는 복수의 처리조에서 기판 처리가 동시에 종료된 경우에는, 제어부(13)는, 기판 홀더(18)를 인상시켜야 할 1개의 처리조를 선택한다. 어떤 처리조를 선택해야 할지는, 처리 후의 기판(W)의 처리조 내에서의 허용되는 체재 시간에 기초하여 판단된다.
기판 홀더(18)의 인상이 종료된 동시에 트랜스포터(100)가 전세정조(32)에 도달 가능한지 여부의 판단은, (1) 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)이 도달할 때까지 소요되는 시간, 및 (2) 전세정조용 고정 리프터(114)가 기판 홀더(18)를 전세정조(32)로부터 인상시키는 데에 소요되는 시간 등을 기초로 행해진다. 이들 시간은, 미리 계측하여 제어부(13)에 파라미터로서 설정된다. 판단 타이밍은, 예컨대, 전세정조(32)에서 기판(W)에 대한 전처리(전세정)를 개시한 시점, 또는 트랜스포터(100)가 다른 기판 홀더의 반송을 개시한 시점이다.
이에 따라, 전세정조용 고정 리프터(114)가 상승을 종료하는 타이밍이, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)이 전세정조(32)에 도착하는 타이밍과 일치한다. 따라서, 기판(W)을 전세정조(32)로부터 취출할 때의 기판 홀더(18)의 전세정조용 고정 리프터(114)로부터 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)에 대한 전달을, 로스 타임 없이 원활하게 행할 수 있다.
또한, 전세정조용 고정 리프터(114)가 기판 홀더(18)를 전세정조(32)에 세트하는 경우에 있어서도 동일한 동작 제어가 행해진다. 즉, 미리 계산해 둔 이동 개시 타이밍의 시각이 경과하면, 전세정조용 고정 리프터(114)는 대기 위치로의 이동을 개시한다. 즉, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)이 전세정조(32)에 도달하기 전에, 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)가 대기 위치에서 대기하도록, 전세정조용 고정 리프터(114)의 동작 개시 타이밍을 제어한다.
이에 따라, 기판(W)을 전세정조(32) 내에 투입할 때의 기판 홀더(18)의 트랜스포터(100)로부터 전세정조용 고정 리프터(114)에 대한 전달을, 로스 타임 없이 원활하게 행할 수 있다.
한편, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)를, 트랜스포터(100)로부터 린스조용 고정 리프터(122)로 수취하여, 린스조(36)의 정해진 위치에 설치할 때나, 트랜스포터(100)로부터 블로우조용 고정 리프터(132)로 수취하여, 블로우조(38)의 정해진 위치에 설치할 때에 있어서도, 전술한 바와 거의 동일한 동작 제어가 행해지기 때문에, 그 중복되는 설명을 생략한다.
전술한 바와 같이, 전세정조용 고정 리프터(114), 린스조용 고정 리프터(122), 블로우조용 고정 리프터(132)는, 각각 대응하는 처리조의 셀이 1개뿐이기 때문에, 수평 방향으로 이동하지 않고 승강만을 행하는 고정식 리프터가 이용되고 있다.
다음으로, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)를, 트랜스포터(100)로부터 도금조용 이동 리프터(144)로 수취하여, 도금조(34)의 1개의 도금 셀(34a)의 정해진 위치에 설치할 때의 동작에 관해, 도 11 및 도 12를 참조하여 설명한다. 도금조(34)는, 통상 복수의 도금 셀(34a)을 갖고 있다. 각 도금 셀마다 고정 리프터를 설치하면, 고정 리프터가 다수 빽빽하게 늘어서 부품 개수가 증가할 뿐만 아니라, 도금 셀(34a) 내의 부품의 조정이나 교환 등의 메인터넌스의 방해가 되어 버린다. 그래서, 이 예와 같이, 이동 리프터를 사용함으로써, 장치의 간소화와 메인터넌스 공간의 확보를 도모할 수 있다.
도 11의 실선은, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 아암(146)을 기판 홀더 수취 위치까지 상승시켜, 기판 홀더(18)를 트랜스포터(100)로부터 도금조용 이동 리프터(144)에 전달할 때의 상태를 모식적으로 도시하고 있다. 승강 아암(146)은, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제2 단차부(94)를 지지한다. 한편, 도 11에 있어서는, 승강 아암(146)에 부착된 받침대(148)는 생략한다. 도 11의 1점 쇄선은, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)가 도금조용 이동 리프터(144)에 의해 하강되어, 도금 셀(34a)에 침지되어 있는 상태를 도시하고 있다.
도 12는, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제2 단차부(94) 및 핸드 레버(92), 트랜스포터(100)의 척 클로(106), 및 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)만을 모식적으로 도시하고 있다.
우선, 도 12의 스텝 1에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 액추에이터(142)를 횡이동 액추에이터(140)에 의해 수평 방향으로 이동시켜, 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)를 정해진 도금 셀(34a)의 측방에 위치시키고, 또한 승강 액추에이터(142)에 의해 받침대(148)를 상승시킨다. 한편, 트랜스포터(100)에 의해 기판 홀더(18)를 정해진 속도로 수평 방향으로 이동시킨다. 스텝 2에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)는, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제2 단차부(94)에 간섭하지 않는 정해진 높이의 대기 위치에서 대기하고, 트랜스포터(100)로 파지한 기판 홀더(18)는 1개의 도금 셀(34a)의 바로 위쪽의 정해진 위치에서 정지한다.
다음으로, 스텝 3에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 아암(146)을 상승시켜, 받침대(148)를 기판 홀더 수취 위치까지 상승시킨다. 도 11의 실선은, 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)를 기판 홀더 수취 위치까지 상승시켜, 기판 홀더(18)를 트랜스포터(100)로부터 도금조용 이동 리프터(144)에 전달할 때의 상태를 모식적으로 도시하고 있다. 그리고, 스텝 4에 도시하는 바와 같이, 척 클로(106)를 개방하여, 트랜스포터(100)에 의한 기판 홀더(18)의 파지를 해제한다. 이에 따라, 기판 홀더(18)는, 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)에 유지된다. 전세정조용 고정 리프터(114)의 받침대(118)와 마찬가지로, 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)에도 충격 흡수의 쿠션 기능을 갖게 해도 좋다.
다음으로, 스텝 5에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 아암(146)을 하강시켜, 받침대(148)를 하강시킨다. 전세정조용 고정 리프터(114)의 동작에서 설명한 바와 같이, 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)가 트랜스포터(100)의 척 클로(106)보다 하방으로 이동한 후에는, 트랜스포터(100)는 다음 처리를 위해 수평 이동할 수 있다.
스텝 6에 도시하는 바와 같이, 받침대(148)가 하강함으로써, 기판 홀더(18)에 유지된 기판이 도금 셀(34a) 내의 도금액에 침지된다. 받침대(148)의 하강 속도는, 액의 튐 방지나 기포 혼입 방지 등을 고려하여 설정된다. 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제1 단차부(90)는, 도 11에 도시된 1개의 도금 셀(34a)의 양측에 설치된 한쌍의 도금조측 받침대(35)에 접촉하고, 이들 도금조측 받침대(35)에 의해 기판 홀더(18)가 지지된다. 이에 따라, 기판 홀더(18)를 1개의 도금 셀(34a)의 정해진 위치에 세트한다. 한편, 도금조측 받침대(35)도, 저면과 측면을 갖고 상측이 개구된 형상으로 되어 있다. 도금조측 받침대(35)는, 도 6에 있어서는 생략되어 있다.
그리고, 스텝 7에 도시하는 바와 같이, 받침대(148)를 더욱 하단 정지 위치까지 하강시켜 정지시킨다. 또한, 필요에 따라, 스텝 8에 도시하는 바와 같이, 횡이동 액추에이터(140)에 의해 승강 액추에이터(142)를 통해 받침대(148)를, 예컨대, 도금이 종료되어 기판 홀더를 취출하는 다른 도금 셀(34a)의 측방으로 이동시킨다.
다음으로, 기판(W)을 유지한 기판 홀더(18)를, 도금조(34)의 1개의 도금 셀(34a)로부터 인상시켜, 도금조용 이동 리프터(144)로부터 트랜스포터(100)에 전달할 때의 동작을, 도 13을 참조하여 설명한다. 도 13은, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제2 단차부(94) 및 핸드 레버(92), 트랜스포터(100)의 척 클로(106), 및 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)만을 모식적으로 도시하고 있다.
우선, 도 12의 스텝 8에 도시하는 바와 같이, 횡이동 액추에이터(140)에 의해 승강 액추에이터(142)를 통해 받침대(148)를 횡방향으로 이동시켜, 도금이 종료되어 기판 홀더를 취출하는 도금 셀(34a)의 측방에서 도금조측 받침대(35)보다 하방에 위치시킨다. 이 상태에서, 도 13의 스텝 9에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 받침대(148)를 상승시켜, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제2 단차부(94)를 받침대(148)로 아래로부터 지지하여 기판 홀더(18)를 상승시킨다. 이 기판 홀더(18)의 상승 속도는, 예컨대 30 mm/sec∼200 mm/sec로 설정된다. 한편, 기판 홀더(18)를 파지하고 있지 않은 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)을 최고 속도로 수평 방향으로 이동시킨다. 스텝 10에 도시하는 바와 같이, 기판 홀더(18)를 지지한 받침대(148)는 정해진 높이의 대기 위치에서 대기하고, 기판 홀더(18)를 유지하고 있지 않은 트랜스포터(100)의 척 클로(106)는 도금 셀(34a)의 바로 위쪽의 정해진 위치에서 정지한다.
다음으로, 스텝 11에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 아암(146)을 상승시켜, 받침대(148)를 기판 홀더 인도 위치까지 상승시킨다. 그리고, 스텝 12에 도시하는 바와 같이, 척 클로(106)를 폐쇄하여, 핸드 레버(92)를 전후 방향으로부터 협지하여 기판 홀더(18)를 파지한다.
다음으로, 스텝 13에 도시하는 바와 같이, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 아암(146)을 하강시켜, 받침대(148)를 대기 위치까지 하강시키고, 다음 기판 홀더를 수취할 때까지 대기한다. 기판 홀더(18)를 유지한 트랜스포터(100)는, 스텝 14에 도시하는 바와 같이, 다음 처리조까지 기판 홀더(18)를 수평 방향으로 이동시킨다.
그 후의 동작으로는, 스텝 15, 스텝 16에 도시하는 바와 같이, 새롭게 도금을 행하는 기판이 없는 경우에는, 다음으로 도금이 종료되는 도금 셀의 측방에서, 도금조측 받침대(35)보다 하방의 위치에 받침대(148)를 이동시켜 대기한다.
이상 설명한 도금조용 이동 리프터(144)의 구성에 의해, 한쌍의 승강 액추에이터(142)를 횡이동 액추에이터(140)에 의해 수평 방향으로 이동시킴으로써, 복수의 도금 셀(34a) 중 임의의 1개에 있어서, 종래 트랜스포터에서 행했던 기판 홀더(18)의 상승 하강을 행할 수 있다. 또한, 도금조의 도금 셀의 수가, 예컨대 2열 등, 소수인 경우에는, 기판 홀더를 선택하여 유지할 수 있도록 한, 액추에이터 등의 선택 기구를 갖는 고정 리프터를 사용해도 좋다.
트랜스포터(100)는, 도금 장치의 천장 측벽에 설치하는 것이 바람직하다. 이러한 배치에 의해, 트랜스포터(100)의 조립이나 조정의 수고가 늘어나기는 하지만, 스페이스 효율을 좋게 할 수 있다. 또한, 도금조용 이동 리프터(144)의 승강 액추에이터(142)는, 도금조(34)로부터 분리하여 배치하는 것이 바람직하고, 이에 따라, 도금액이 비산하더라도 승강 액추에이터(142)에 잘 부착되지 않게 할 수 있다.
스토커용 이동 리프터(154)도, 도금조용 이동 리프터(144)와 동일한 구성으로 되어 있다. 스토커(30)는, 복수의 스토커용 받침대를 구비하고 있고, 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제1 단차부(90)를 지지하여 복수의 기판 홀더(18)를 배열하여 매달아 보관한다. 스토커(30)로부터 기판 홀더(18)를 취출하는 동작은 다음과 같이 하여 행해진다. 우선, 취출해야 할 기판 홀더(18)의 측방의 위치에 승강 아암에 부착된 받침대(도시 생략)가 위치하도록, 횡이동 액추에이터(150)가 구동한다. 다음으로 승강 액추에이터(152)가 구동하여, 받침대가 기판 홀더(18)의 홀더 행거의 제2 단차부(94)를 지지하여 기판 홀더(18)를 들어 올린다. 이와 같이 하여, 한쌍의 승강 액추에이터(152)를 횡이동 액추에이터(150)에 의해 수평 방향으로 이동시킴으로써, 스토커(30) 내의 임의의 보관 위치에 있어서, 종래 트랜스포터에서 행했던 기판 홀더(18)의 상승 하강을 행할 수 있다.
도 14는 기판 홀더 자세 변경 기구(26)를 도시하는 사시도이다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 기판 홀더 자세 변경 기구(26)는, 테이블(20)의 양측에 세워 설치한 한쌍의 승강 액추에이터(28)와, 승강 액추에이터(28)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 한쌍의 횡이동 액추에이터(29)와, 승강 액추에이터(28)에 의해 상하 이동하는 한쌍의 지지 핀(지지 부재)(31)을 갖고 있다. 지지 핀(31)은, 핀 구동 액추에이터(33)에 의해 서로 근접하는 방향 및 이격되는 방향으로 신축한다. 도 15에 도시하는 바와 같이, 이 지지 핀(31)을 기판 홀더(18)의 제2 단차부(94)의 측면에 설치된 핀 삽입 구멍(95)(도 2 및 도 3 참조)에 삽입함으로써, 기판 홀더 자세 변경 기구(26)는 기판 홀더(18)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 테이블(20)에는, 도 14의 화살표로 나타내는 방향으로 슬라이드 가능한 슬라이더(25)가 설치되어 있다.
트랜스포터(100)는, 그 척 클로(106)로 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)를 사이에 끼움으로써 기판 홀더(18)를 유지한다. 트랜스포터(100)는, 상승 위치에 있는 지지 핀(31)을 기판 홀더(18)의 핀 삽입 구멍(95)에 삽입할 수 있는 위치까지 기판 홀더(18)를 이동시킨다. 이 상태에서 지지 핀(31)을 핀 구동 액추에이터(33)에 의해 돌출시켜 핀 삽입 구멍(95)에 삽입한다(도 15 참조).
도 16은 도금 처리가 종료된 후에 기판 홀더(18)를 기판 홀더 자세 변경 기구(26)에 의해 수평으로 넘어뜨려 테이블(20)에 적재하는 동작을 설명하는 도면이다. 스텝 1에서는, 척 클로(106)를 개방함으로써, 트랜스포터(100)는 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)를 해방시킨다. 스텝 2에서는, 지지 핀(31)에 의해 지지된 기판 홀더(18)를 승강 액추에이터(28)에 의해 하강시켜, 기판 홀더(18)의 선단을 슬라이더(25)의 받침면에 접촉시킨다. 기판 홀더(18)가 이 위치까지 하강하는 동안에, 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)는, 트랜스포터(100)의 척 클로(106)보다 하방으로 내려가기 때문에, 트랜스포터(100)는 다음 처리를 위해 수평 이동할 수 있다.
스텝 3, 스텝 4에 도시하는 바와 같이, 횡이동 액추에이터(29)와 승강 액추에이터(28)를 연동하여 작동시켜, 지지 핀(31)을 더욱 하방으로 움직이게 한다. 지지 핀(31)의 하방으로의 이동에 따라 기판 홀더(18)는 지지 핀(31)을 중심으로 회전하고, 이에 따라 기판 홀더(18)는 연직 방향에 대하여 더욱 기울어진다. 기판 홀더(18)의 선단이 슬라이더(25)로부터 벗어나지 않도록, 횡이동 액추에이터(29)와 승강 액추에이터(28)는 연동하여 동작한다. 슬라이더(25)는, 추(27)에 의해 블로우조(38)를 향해 압박되고 있다. 승강 액추에이터(28)에 의해 지지 핀(31)을 더욱 하강시키면, 슬라이더(25)가 로드 포트측으로 슬라이드하고, 기판 홀더(18)는 더욱 경사져(스텝 5), 이윽고 수평 자세가 된다(스텝 6). 도 17은 기판 홀더(18)가 수평 자세에 있는 상태를 도시하는 도면이다. 슬라이더(25) 자체도 회전 가능하게 구성되어 있고, 기판 홀더(18)의 선단이 슬라이더(25)로부터 벗어나지 않도록 되어 있다. 한편, 슬라이더(25)의 움직임을 별도의 액추에이터로 제어하면서 슬라이더(25)를 움직이게 해도 좋다.
테이블(20)의 위쪽에는, 기판 홀더(18)의 제2 유지 부재(가동 유지 부재)(58)를 제1 유지 부재(고정 유지 부재)(54)에 대하여 로크하기 위한 기판 홀더 개폐 기구(24)가 설치된다(도 1 참조). 기판의 도금 후에는, 기판 홀더 개폐 기구(24)에 의해 제2 유지 부재(58)의 로크가 해제되고, 또한 기판 반송 로봇(22)에 의해 기판이 기판 홀더(18)로부터 제거된다.
새롭게 도금 처리될 기판이 기판 홀더(18)에 유지되면, 승강 액추에이터(28)는 다시 지지 핀(31)을 상승시켜, 기판 홀더(18)를 연직 자세로 복귀시킨다. 지지 핀(31)의 상승 위치에서 기판 홀더(18)의 핸드 레버(92)를 트랜스포터(100)의 척 클로(106)가 협지할 수 있도록, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)의 수평 위치가 제어된다. 슬라이더(25)는 블로우조(38)를 향해 압박되고 있기 때문에 슬라이더(25)는 기판 홀더(18)의 선단으로부터 벗어나지 않고 기판 홀더(18)의 움직임에 추종한다. 트랜스포터(100)의 척 클로(106)가 핸드 레버(92)를 협지하면, 지지 핀(31)이 후퇴하여 기판 홀더(18)가 트랜스포터(100)에 전달된다.
다음으로, 상기한 바와 같이 구성한 도금 장치에 의한 도금 처리를 설명한다. 우선, 스토커(30) 내에 연직 방향으로 수용되어 있는 기판 홀더(18)를, 스토커용 이동 리프터(154)로 유지하여 상승시키고, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)에 전달한다. 기판 홀더(18)를 파지한 횡이동 아암(104)은, 수평 방향으로 이동하여, 기판 홀더 자세 변경 기구(26)에 기판 홀더(18)를 전달한다. 기판 홀더 자세 변경 기구(26)는, 액추에이터(28)에 설치한 한쌍의 지지 핀(31)으로 기판 홀더(18)를 지지하면서, 전술한 바와 같이 기판 홀더(18)를 연직 자세로부터 수평 자세로 전환하여, 테이블(20) 상에 적재한다. 그리고, 테이블(20)에 적재된 기판 홀더(18)를 개방한 상태로 해 둔다.
기판 반송 로봇(22)은, 로드 포트(12)에 탑재한 카세트로부터 기판을 1장 취출하여, 얼라이너(14)에 싣는다. 얼라이너(14)는 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 정해진 방향으로 맞춘다. 기판 반송 로봇(22)은, 기판을 얼라이너(14)로부터 취출하여, 테이블(20) 상에 적재된 기판 홀더(18)에 삽입한다. 이 상태에서, 기판 홀더(18)를 폐쇄하고, 이렇게 한 후, 기판 홀더 개폐 기구(24)로 기판 홀더(18)를 로크한다.
다음으로, 기판 홀더 자세 변경 기구(26)는, 액추에이터(28)에 의해 한쌍의 지지 핀(31)(도 14 참조)을 상승시켜, 기판 홀더(18)를 수평 자세로부터 연직 자세로 전환한다. 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)은, 이 기립한 상태의 기판 홀더(18)를 파지하고, 수평 방향으로 이동하여, 전세정조용 고정 리프터(114)에 기판 홀더(18)를 전달한다. 기판 홀더(18)를 수취한 전세정조용 고정 리프터(114)는, 기판 홀더(18)를 하강시켜, 전세정조(32)의 정해진 위치에 세트하고, 이에 따라, 기판(W)의 전세정을 행한다. 기판(W)의 전세정이 종료된 후, 전세정조용 고정 리프터(114)는, 기판 홀더(18)를 상승시켜, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)에 기판 홀더(18)를 전달한다.
트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)은, 수평 방향으로 이동하여, 도금조용 이동 리프터(144)에 기판 홀더(18)를 전달한다. 기판 홀더(18)를 수취한 도금조용 이동 리프터(144)는, 기판 홀더(18)를 하강시켜, 도금조(34)의 1개의 도금 셀(34a)의 도금조측 받침대에 세트하고, 이에 따라, 기판(W)의 도금을 행한다. 도금이 종료된 후, 도금조용 이동 리프터(144)는, 기판 홀더(18)를 상승시켜, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)에 기판 홀더(18)를 전달한다.
트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)은, 수평 방향으로 이동하여, 린스조용 고정 리프터(122)에 기판 홀더(18)를 전달한다. 기판 홀더(18)를 수취한 린스조용 고정 리프터(122)는, 기판 홀더(18)를 하강시켜, 린스조(36)의 정해진 위치에 세트하고, 이에 따라, 기판(W)의 도금 후의 린스를 행한다. 린스가 종료된 후, 린스조용 고정 리프터(122)는, 기판 홀더(18)를 상승시켜, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)에 기판 홀더(18)를 전달한다.
트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)은, 수평 방향으로 이동하여, 블로우조용 고정 리프터(132)에 기판 홀더(18)를 전달한다. 기판 홀더(18)를 수취한 블로우조용 고정 리프터(132)는, 기판 홀더(18)를 하강시켜, 블로우조(38)의 정해진 위치에 세트하고, 에어의 분사에 의해, 기판 홀더(18)로 유지한 기판(W)의 표면에 부착된 물방울을 제거하고 건조시킨다. 블로우 처리가 종료된 후, 블로우조용 고정 리프터(132)는, 기판 홀더(18)를 상승시켜, 트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)에 기판 홀더(18)를 전달한다.
트랜스포터(100)의 횡이동 아암(104)은, 수평 방향으로 이동하여, 기판 홀더 자세 변경 기구(26)에 기판 홀더(18)를 전달한다. 기판 홀더 자세 변경 기구(26)는, 전술한 바와 거의 동일하게 하여, 기판 홀더(18)를 테이블(20) 상에 수평으로 적재한다. 기판 반송 로봇(22)은, 기판 홀더(18)로부터 처리 후의 기판을 취출하고, 이 처리 후의 기판을 스핀·린스·드라이어(16)에 반송한다. 스핀·린스·드라이어(16)는 기판을 고속으로 회전시켜 기판을 건조시킨다. 기판 반송 로봇(22)은, 건조된 기판을 스핀·린스·드라이어(16)로부터 취출하여, 로드 포트(12)의 카세트에 복귀시킨다. 이로써, 1장의 기판에 대한 처리를 종료한다.
모든 도금 셀에 순차로 기판 홀더(18)를 투입하여 복수의 기판을 연속하여 도금 처리하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 우선 처음에, 도금조용 이동 리프터(144)는, 1개의 도금 셀(34a)에 기판 홀더(18)를 설치한 후, 받침대(148)를 다음 도금 셀(34a)의 측방까지 이동시켜, 다음 기판 홀더(18)를 수취한다. 1개의 도금 셀(34a)에서 도금 처리가 종료되면, 도금조용 이동 리프터(144)가 기판 홀더(18)를 그 도금 셀(34a)로부터 들어 올린다. 다음 기판 홀더(18)가 그 도금 셀(34a)에 운반되어 올 때까지 받침대(148)는 그 자리에서 대기한다. 이 이상 새롭게 도금을 행할 기판이 없어지면, 도금조용 이동 리프터(144)는, 도금된 기판을 유지하는 기판 홀더(18)를 들어 올린 후, 다음으로 도금이 종료되는 도금 셀(34a)의 측방까지 받침대(148)를 이동시켜 대기한다. 이와 같이 하여 연속 도금 처리가 행해진다.
도 18은, 다른 타입의 기판 홀더(18a)의 개요를 도시한다. 이 기판 홀더(18a)는, 2장의 기판(W)을 횡방향으로 배열하여 동시에 유지하도록 구성되어 있다. 이와 같이, 2장의 기판(W)을 동시에 유지하는 기판 홀더(18a)를 사용함으로써, 스루풋을 거의 2배로 향상시킬 수 있다. 또한, 1장의 기판만을 처리하는 경우에는, 처리해야 할 기판과 함께 더미 기판이 기판 홀더(18a)에 의해 유지된다. 더미 기판은, 예컨대 얼라이너(14)의 위쪽에 보관된다.
도 19는, 또 다른 타입의 기판 홀더(18b)의 개요를 도시한다. 이 기판 홀더(18b)는, 2장의 기판(W)을 종방향으로 배열하여 동시에 유지하도록 구성되어 있다. 이에 의해서도, 스루풋을 거의 2배로 향상시킬 수 있다.
도 20은, 또 다른 기판 홀더(18c)로 기판(W)을 유지한 상태의 주요부 확대도이다. 도 20에 도시하는 바와 같이, 기판 홀더(18c)는, 힌지(도시 생략)를 통해 서로 개폐 가능한, 수지재(예컨대, HTPVC)로 이루어지는 판형의 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)를 갖고 있다. 제1 유지 부재(212)에는 개구 구멍(212a)이 형성되고, 제2 유지 부재(214)에는 개구 구멍(214a)이 형성되어 있다. 그리고, 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)는, 힌지를 통해 폐쇄한 상태(중첩시킨 상태)에서, 한쌍의 클램프(216)에 의해 유지된다. 클램프(216)는, 개폐 가능하게 구성되어 있고, 수지재(예컨대, HTPVC)로 형성된다.
제1 유지 부재(212)에는, 개구 구멍(212a)을 따라 연장되는 시일 링(218)이 부착되어 있다. 이 시일 링(218)은 제2 유지 부재(214)에 대향하도록 배치되어 있다. 제2 유지 부재(214)에는, 개구 구멍(214a)을 따라 연장되는 시일 링(220)이 부착되어 있다. 이 시일 링(220)은 제1 유지 부재(212)에 대향하도록 배치되어 있다. 시일 링(218, 220)은, 고무재(예컨대, 실리콘 고무나 불소 고무)로 이루어진다. 제2 유지 부재(214)의 제1 유지 부재(212)에 대향하는 면에는, O링(222)이 부착되어 있다. 이 O링(222)은 시일 링(220)의 외측에 배치되어 있다.
시일 링(218, 220)은, 그 내주측에 환형의 시일부(218a, 220a)를 각각 갖는다. 이들 시일부(218a, 220a)는, 각각 개구 구멍(212a, 214a)을 따라 연장되어 있고, 서로 대향하도록 배치되어 있다. 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214) 사이에 기판(W)을 개재시켜 중첩시킨 상태에서, 시일부(218a, 220a)가 기판(W)의 외주부를 그 양측으로부터 압박하여 밀접한다. 이에 따라, 시일부(218a, 220a) 및 O링(222)으로 둘러싸인 영역은, 도금액이 침수하지 않는 수밀 영역이 된다.
제1 유지 부재(212)에는 복수의 도전 플레이트(224)가 설치되어 있다. 이들 복수의 도전 플레이트(224)는, 전술한 수밀 영역 내에 배치되어 있다. 도전 플레이트(224) 내의 반수(半數)는, 도전 핀(226)을 통해, 기판(W)의 한쪽 면(예컨대, 표면)에 도통된다. 도전 플레이트(224) 내의 나머지 반수는, 도전 핀(226)을 통해, 기판(W)의 다른쪽 면(예컨대, 이면)에 도통한다. 도전 플레이트(224)는, 기판 홀더(18c)의 핸드(도시 생략)에 설치한 접속 단자에 전기적으로 접속된다.
상기 기판 홀더(18c)에 있어서, 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)를 개방한 상태에서, 제1 유지 부재(212)의 정해진 위치에 기판(W)을 적재한다. 그리고 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)를 힌지를 통해 폐쇄하고, 또한 한쌍의 클램프(216)를 각각 회전 이동시켜, 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)의 양변을 한쌍의 클램프(216)의 홈(216a)에 끼워 넣는다. 이에 따라, 기판(W)은, 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)로 유지된다.
이와 같이, 기판(W)을 제1 유지 부재(212)와 제2 유지 부재(214)로 유지하면, 시일 링(218, 220)의 시일부(218a, 220a)와 O링(222)으로 둘러싸인 영역은, 도금액이 침수하지 않는 수밀 상태로 밀폐된다. 기판(W)의 시일부(218a, 220a)보다 외측의 부분이 이 밀폐 공간 내에 위치하고, 기판(W)의 양면의 시일부(218a, 220a)보다 내측의 부분이 도금액에 접촉한다. 또한, 복수의 도전 플레이트(224)는, 핸드로부터 연장되는 외부 전극에 접속된다.
이 예의 기판 홀더(18c)에 따르면, 기판(W)의 표면 및 이면을 동시에 노출시켜 기판(W)을 유지할 수 있고, 이에 따라, 기판(W)의 표면 및 이면에 도금을 동시에 행할 수 있다. 혹은, 이 예의 기판 홀더(18c)를 이용하여, 2장의 기판을 이면끼리를 맞추도록 겹치고, 각각의 기판의 표면을 도금액에 접촉시켜 도금하도록 해도 좋다.
지금까지 본 발명의 바람직한 실시형태에 관해 설명했지만, 본 발명은 전술한 실시형태에 한정되지 않으며, 그 기술적 사상의 범위 내에서 여러가지 다른 형태로 실시되어도 좋은 것은 물론이다.
13 : 제어부 14 : 얼라이너
16 : 스핀·린스·드라이어 18 : 기판 홀더
20 : 테이블 24 : 기판 홀더 개폐 기구
26 : 기판 홀더 자세 변경 기구 30 : 스토커
32 : 전세정조 32a : 전세정 셀
34 : 도금조 34a : 도금 셀
36 : 린스조 36a : 린스 셀
38 : 블로우조 54 : 제1 유지 부재
58 : 제2 유지 부재 62 : 시일 홀더
64 : 프레스 링 66, 68 : 시일 부재
70a, 70b : 고정 링 74 : 클램퍼
90 : 홀더 행거 92 : 핸드 레버
100 : 트랜스포터 102 : 고정 베이스
104 : 횡이동 아암 106 : 척 클로
110 : 파지 기구 112, 120, 130 : 액추에이터
114 : 전세정조용 고정 리프터 116, 124, 134, 146 : 승강 아암
118, 126, 136, 148 : 받침대 122 : 린스조용 고정 리프터
132 : 블로우조용 고정 리프터 140, 150 : 횡이동 액추에이터
142, 152 : 승강 액추에이터 144 : 도금조용 이동 리프터
154 : 스토커용 이동 리프터

Claims (7)

  1. 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더와,
    상기 기판 홀더로 유지한 기판을 처리하는 처리조와,
    상기 기판을 유지한 기판 홀더를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터와,
    상기 기판을 유지한 기판 홀더를 상기 트랜스포터로부터 수취하고 하강시켜 상기 처리조의 내부에 투입하며, 처리 후의 기판을 유지한 상기 기판 홀더를 상승시켜 상기 트랜스포터에 전달하는 리프터, 그리고
    상기 트랜스포터 및 상기 리프터의 동작을 제어하는 제어부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리조 및 상기 리프터를 복수개 구비하고, 상기 리프터는 각 처리조마다 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 처리조를 복수개 구비하고, 상기 처리조 중 적어도 1개는, 공통의 처리를 행하는 복수의 셀을 구비하며,
    상기 리프터는, 상기 기판 홀더를 상하 이동시키는 승강 액추에이터와, 상기 승강 액추에이터를 복수의 상기 셀 사이에서 수평 방향으로 이동시키는 횡이동 액추에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제어부는, 기판을 유지하여 상기 처리조의 내부에 투입한 상기 기판 홀더를 상승시켜 상기 리프터로부터 상기 트랜스포터에 전달할 때, 상기 리프터가 상승을 종료하는 타이밍이, 상기 트랜스포터가 상기 처리조에 도착하는 타이밍과 일치하도록, 상기 리프터의 동작 개시 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제어부는, 기판을 유지하여 상기 처리조의 내부에 투입할 상기 기판 홀더를 상기 트랜스포터로부터 상기 리프터에 전달할 때, 상기 트랜스포터가 상기 처리조에 도달하기 전에 상기 리프터가 대기 위치에서 대기하도록, 상기 리프터의 동작 개시 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
  6. 기판을 연직 방향으로 유지하는 복수의 기판 홀더와,
    상기 복수의 기판 홀더의 각각에서 유지한 기판을 처리하는 처리조와,
    상기 복수의 기판 홀더 중 1개를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터와,
    상기 복수의 기판 홀더를 보관해 두는 스토커, 그리고
    상기 스토커에 보관하고 있는 상기 복수의 기판 홀더 중 1개를 상승시켜 상기 트랜스포터에 전달하는 리프터
    를 포함하며, 상기 리프터는, 상기 복수의 기판 홀더 중 1개를 상하 이동시키는 승강 액추에이터와, 상기 승강 액추에이터를 상기 스토커 내의 복수의 기판 홀더 보관 위치 사이에서 수평 이동시키는 횡이동 액추에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
  7. 기판을 연직 방향으로 유지하는 기판 홀더와,
    상기 기판 홀더로 유지한 기판을 처리하는 처리조와,
    상기 기판 홀더를 파지하여 수평 방향으로 반송하는 트랜스포터, 그리고
    상기 기판 홀더를 상기 트랜스포터에 전달하며, 상기 트랜스포터로부터 수취하는 기판 홀더 자세 변경 기구
    를 포함하고, 상기 기판 홀더 자세 변경 기구는, 상기 기판 홀더를 회전 이동 가능하게 지지하는 지지 부재를 하강시킴으로써 상기 기판 홀더를 연직 자세로부터 수평 자세로 전환하며, 상기 지지 부재를 상승시킴으로써 상기 기판 홀더를 수평 자세로부터 연직 자세로 전환하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도금 장치.
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