JPS5811420A - めつき装置 - Google Patents
めつき装置Info
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- JPS5811420A JPS5811420A JP10889281A JP10889281A JPS5811420A JP S5811420 A JPS5811420 A JP S5811420A JP 10889281 A JP10889281 A JP 10889281A JP 10889281 A JP10889281 A JP 10889281A JP S5811420 A JPS5811420 A JP S5811420A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- holder
- tank
- vessel
- wafer
- Prior art date
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- Granted
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/06—Suspending or supporting devices for articles to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクエへ等の被めっき物のめつき装置に関するも
のである。
のである。
半導体素子のはんだ電極、金電極等の突起電極の檜造は
、一般に第1図に示すように、アルミ配線1、電極下部
スルホールを有する窒化シリコン等の保護膜2、銅蒸着
膜等の電極下地膜3、およびはんだ、金などの電極本体
4からなっている。
、一般に第1図に示すように、アルミ配線1、電極下部
スルホールを有する窒化シリコン等の保護膜2、銅蒸着
膜等の電極下地膜3、およびはんだ、金などの電極本体
4からなっている。
電極本体のはんだ、金などの形成方法に電気めっきを用
いる方法がある。即ち、ウェハ全体に電極下地膜となる
銅などの金属ケ蒸着し、通常のホトプロセスを用いてホ
トレジストパターンヶ形成した後、この蒸着膜を通電体
として電気めっきによりはんだ、金などの電極本体を形
成し、その後不要となったホトレジスト、電極下部以外
の蒸着膜ケ除去する。
いる方法がある。即ち、ウェハ全体に電極下地膜となる
銅などの金属ケ蒸着し、通常のホトプロセスを用いてホ
トレジストパターンヶ形成した後、この蒸着膜を通電体
として電気めっきによりはんだ、金などの電極本体を形
成し、その後不要となったホトレジスト、電極下部以外
の蒸着膜ケ除去する。
上記の電気めっきは、従来は第2図に示すように1枚な
いし数枚のウェハ5を固定したウェハ固定治具6ケ箱型
のめつき槽7に入れ、平板の陽極8に対向させ、直流電
源9よりウェハ5にマイナス、陽極8にプラスの電圧を
印加して行っていた。
いし数枚のウェハ5を固定したウェハ固定治具6ケ箱型
のめつき槽7に入れ、平板の陽極8に対向させ、直流電
源9よりウェハ5にマイナス、陽極8にプラスの電圧を
印加して行っていた。
めっき液10はめつぎ槽7に付属したポンプ11により
フィルタ12ヲ通して循環される。
フィルタ12ヲ通して循環される。
このような電気めっき方法では、酸洗等のめりき前処理
、めっき処理、水洗等のめつき後処理等の工程を全て人
手で行なわねばならず、非能率であり、労力を多く要し
、突起電極形成コストヲ上昇させる主原因となっていた
。また、第2図で示すような箱形のめつき檜でめっき7
行なうと、電気めっき特有のエツジ効果により、ウニへ
の周辺部に多くの電流が集中し、ウェハ中央部に較べて
周辺部の突起電極の方が大きく形成さh1突起電極の寸
法精度が低下し、接続信頼性を低下させていた― 本発明の目的は、上記した従来技術の欠点ケなくし、突
起電極形成の能率を向上させ、かつ省力化することに上
り電極形成コストヲ低減し、かつ電極の寸法精度を向上
させる被めっき物のめつき装置を提供するにある。
、めっき処理、水洗等のめつき後処理等の工程を全て人
手で行なわねばならず、非能率であり、労力を多く要し
、突起電極形成コストヲ上昇させる主原因となっていた
。また、第2図で示すような箱形のめつき檜でめっき7
行なうと、電気めっき特有のエツジ効果により、ウニへ
の周辺部に多くの電流が集中し、ウェハ中央部に較べて
周辺部の突起電極の方が大きく形成さh1突起電極の寸
法精度が低下し、接続信頼性を低下させていた― 本発明の目的は、上記した従来技術の欠点ケなくし、突
起電極形成の能率を向上させ、かつ省力化することに上
り電極形成コストヲ低減し、かつ電極の寸法精度を向上
させる被めっき物のめつき装置を提供するにある。
本発明による被めっき物のめつき装置は、並置されため
つき手段及び前後処理手段よりなるめっき処理系の各手
段に被めっき物を搬送手段により順次搬送してめっきす
る装置において、(al 被めっき物を予め被めっき
物保持具に保持せしめ、搬送手段は該保持具の支持棹を
クランプして各手段間を搬送した後アンクランプし、(
bl 該被めっき物保持具は、後述の各処理槽の開放
側に当接することにより該開放側を閉塞し、被めっき物
が該開放口内に露出するようにされ、(cl めつき
処理系の各処理槽は1側が開放された横向円筒槽よりな
り、めっき液、前処理液、洗浄水又は洗浄湯の給排管及
び被めっき保持具の固定手段を、更にめつき槽の場合は
蓮電手段を備え、(di 前記各処理槽の開放側に搬
送手段により被めっき物保持具が当接されると固定手段
がこれを回定し、また処理終了後搬送手段が保持具の支
持棹を再びクランプすると、該固定手段が保持具の固定
を解放するようにしである、 ことを特徴とするめつき装置である。
つき手段及び前後処理手段よりなるめっき処理系の各手
段に被めっき物を搬送手段により順次搬送してめっきす
る装置において、(al 被めっき物を予め被めっき
物保持具に保持せしめ、搬送手段は該保持具の支持棹を
クランプして各手段間を搬送した後アンクランプし、(
bl 該被めっき物保持具は、後述の各処理槽の開放
側に当接することにより該開放側を閉塞し、被めっき物
が該開放口内に露出するようにされ、(cl めつき
処理系の各処理槽は1側が開放された横向円筒槽よりな
り、めっき液、前処理液、洗浄水又は洗浄湯の給排管及
び被めっき保持具の固定手段を、更にめつき槽の場合は
蓮電手段を備え、(di 前記各処理槽の開放側に搬
送手段により被めっき物保持具が当接されると固定手段
がこれを回定し、また処理終了後搬送手段が保持具の支
持棹を再びクランプすると、該固定手段が保持具の固定
を解放するようにしである、 ことを特徴とするめつき装置である。
本発明によるめっき装置の好ましい態様においては、該
めっき装置が、前記めっき処理系、前記搬送手段、前記
被めっき物保持具を搬送手段へ引渡す機構、めっき処理
後の被めっき物保持具を搬送手段より受取る機構、及び
上記各手段、機構の作動を制御する制御手段よりなる。
めっき装置が、前記めっき処理系、前記搬送手段、前記
被めっき物保持具を搬送手段へ引渡す機構、めっき処理
後の被めっき物保持具を搬送手段より受取る機構、及び
上記各手段、機構の作動を制御する制御手段よりなる。
本発明によるめっき装置の更に好ましい態様においては
、前記搬送手段が、めっき処理系並びに搬送手段との引
渡及び受取機構に沿って設けられたレールと、該レール
上を走行し、先端に被めっき物保持具のチャックを有す
るピストンロンドを進退させる流体圧シリンダを搭載す
る台車よりなるの 本発明を要約すると、保持具と台車とt分離することに
より、1台の台車で、めっき手段およびその前後手段に
保持具Y引渡した後、続いて空いている他の手段に保持
具を搬送できるようにして、稼動率を向上させたことで
ある。
、前記搬送手段が、めっき処理系並びに搬送手段との引
渡及び受取機構に沿って設けられたレールと、該レール
上を走行し、先端に被めっき物保持具のチャックを有す
るピストンロンドを進退させる流体圧シリンダを搭載す
る台車よりなるの 本発明を要約すると、保持具と台車とt分離することに
より、1台の台車で、めっき手段およびその前後手段に
保持具Y引渡した後、続いて空いている他の手段に保持
具を搬送できるようにして、稼動率を向上させたことで
ある。
以下、本発明の装置を実施例の図面に基づいて説明する
、 本発明の装置において、被めっき物はウェハであり、こ
のウェハはウェハ保持具で保持された状態で搬送処理さ
れる。そこで、先ずウェハ保持具の一例を第4図(a)
(平面図)、(b)(縦断面図)に基づいて説明する。
、 本発明の装置において、被めっき物はウェハであり、こ
のウェハはウェハ保持具で保持された状態で搬送処理さ
れる。そこで、先ずウェハ保持具の一例を第4図(a)
(平面図)、(b)(縦断面図)に基づいて説明する。
ホトプロセスを終了したウェハ5は、保持具13に設け
られたウェハと#1ぼ同径の凹部14に合うようにセツ
ティングさ゛れ、ばね性を有する固定ビン15および回
転可能な固定ビン16とにより保持具13に固定される
。固定ビン15はつ5エバ5への通電端子?兼ねており
、後述する固定爪との接点17と電気的に接続さ九てい
る。また保持具13のウェハ5側を後述の各処理槽の開
放側に当接することによりその開放側を閉塞し、ウェハ
がその開放口内に露出てるようにされである。18は支
持棹で、支持棹18には搬送手段によるクラレプを確実
に行なわしめる為の溝19が形成されているハ ウェハ保持具13へのウェハ5の取付は及び取外しは、
めっき装置と別の装置で自動又は手動で行なわれ、該装
置でウェハを取付けた保持具がめつき装置の搬送手段へ
引渡丁機構に送り込まれ、めっき処理後のウェハ保持具
を、搬送手段より受取る機構より取出し、ウェハを取外
し、保′持具を再使用に廼丁。
られたウェハと#1ぼ同径の凹部14に合うようにセツ
ティングさ゛れ、ばね性を有する固定ビン15および回
転可能な固定ビン16とにより保持具13に固定される
。固定ビン15はつ5エバ5への通電端子?兼ねており
、後述する固定爪との接点17と電気的に接続さ九てい
る。また保持具13のウェハ5側を後述の各処理槽の開
放側に当接することによりその開放側を閉塞し、ウェハ
がその開放口内に露出てるようにされである。18は支
持棹で、支持棹18には搬送手段によるクラレプを確実
に行なわしめる為の溝19が形成されているハ ウェハ保持具13へのウェハ5の取付は及び取外しは、
めっき装置と別の装置で自動又は手動で行なわれ、該装
置でウェハを取付けた保持具がめつき装置の搬送手段へ
引渡丁機構に送り込まれ、めっき処理後のウェハ保持具
を、搬送手段より受取る機構より取出し、ウェハを取外
し、保′持具を再使用に廼丁。
第3図は本発明の装置の実施例の概略構成図(平面図)
である。この装置は、ウェハ保持具13を搬送手段へ引
渡す機構301、めっき処理系100、めっき処理°後
のウェハ保持具を搬送手段より受取る機構302、搬送
手段200及び図示せざる上記各手段、機構の作動を制
御する制御手段よりなる。
である。この装置は、ウェハ保持具13を搬送手段へ引
渡す機構301、めっき処理系100、めっき処理°後
のウェハ保持具を搬送手段より受取る機構302、搬送
手段200及び図示せざる上記各手段、機構の作動を制
御する制御手段よりなる。
めつ″き処理系100には前処理手段の前処理槽1()
1、水洗槽102、めっき手段のめつき槽103、後処
理手段の湯洗槽104が差量して設けられである。各処
理槽は1個のみ図示しであるが1個に限られることなく
複数個設けてもよい。特にめつき槽103の処理時間が
池槽に較べて長くなるのでめつき槽を多(することは能
率上好ましい。
1、水洗槽102、めっき手段のめつき槽103、後処
理手段の湯洗槽104が差量して設けられである。各処
理槽は1個のみ図示しであるが1個に限られることなく
複数個設けてもよい。特にめつき槽103の処理時間が
池槽に較べて長くなるのでめつき槽を多(することは能
率上好ましい。
次に、ウェハ保持具を搬送手段へ引渡丁機構及びこれよ
り受取る機構の一例を第5図に基づいて説明する。引渡
機構301及び受取機構302は同一のものt使用する
ことができる。
り受取る機構の一例を第5図に基づいて説明する。引渡
機構301及び受取機構302は同一のものt使用する
ことができる。
この機構301.302においては支柱307に2本の
アーム303がビン308により軸着されている。
アーム303がビン308により軸着されている。
アーム303の一方の端部がばね304にて支柱−30
7に接続され、アーム303の他方の側は互に対向し9
百 て内側に向けて付勢されていて、これによりウェハ保持
具13ヲ挟持できるようにしである。アーム303には
保持具13の固定を確実にするための凸部305が設け
られている。保持具13ytこの機構に押込むとアーム
303が広げられ、保持具13が支柱307まで押込ま
れると、ばね304の力によりアーム303によって保
持具は固定される6*柱307には保持具13が密接し
、ウェハが損傷するのt防ぐため突起306が設けられ
ている。また、保持具13が溝19に嵌合てる搬送手段
で押込まれ、押込後保持′具13から搬送手段をはずす
為には、アーム303が広がらな−・ように、図示せざ
るくさび等が入るようにされる。また、保持具13ヲこ
の機構から取出すには、搬送手段のチーヤツク・を支桿
18に押付げ、溝部19に嵌合させた優搬送手段を退去
させると、前記のくさびが取除かれであるので、ばね3
04の力に抗してアーム303が押し拡げられ保持具1
3は搬送手段に嵌合したまま取出される。
7に接続され、アーム303の他方の側は互に対向し9
百 て内側に向けて付勢されていて、これによりウェハ保持
具13ヲ挟持できるようにしである。アーム303には
保持具13の固定を確実にするための凸部305が設け
られている。保持具13ytこの機構に押込むとアーム
303が広げられ、保持具13が支柱307まで押込ま
れると、ばね304の力によりアーム303によって保
持具は固定される6*柱307には保持具13が密接し
、ウェハが損傷するのt防ぐため突起306が設けられ
ている。また、保持具13が溝19に嵌合てる搬送手段
で押込まれ、押込後保持′具13から搬送手段をはずす
為には、アーム303が広がらな−・ように、図示せざ
るくさび等が入るようにされる。また、保持具13ヲこ
の機構から取出すには、搬送手段のチーヤツク・を支桿
18に押付げ、溝部19に嵌合させた優搬送手段を退去
させると、前記のくさびが取除かれであるので、ばね3
04の力に抗してアーム303が押し拡げられ保持具1
3は搬送手段に嵌合したまま取出される。
第3図には引渡及び受取機構301.302をそれぞれ
1個しか記載してないが実際iこは複数個設けら10.
1 れる。また、前述の如く、この機構301. 302の
保持具13の受渡相手は本発明の装置の搬送手段だけで
なく、本発明の装置と別の装置の送り込み及び取出手段
である。従って引渡及び受取機構301.302は前記
の両者とめ受渡を容易とする為に、支柱307の旋回可
能とする′等の手段が構せられる。
1個しか記載してないが実際iこは複数個設けら10.
1 れる。また、前述の如く、この機構301. 302の
保持具13の受渡相手は本発明の装置の搬送手段だけで
なく、本発明の装置と別の装置の送り込み及び取出手段
である。従って引渡及び受取機構301.302は前記
の両者とめ受渡を容易とする為に、支柱307の旋回可
能とする′等の手段が構せられる。
次に搬送手段200Y第3図(平面図)及び第6図(断
面図)に基づいて説明する。搬送手段200はレール2
02ど、レール202上を車輪203により走行する台
車201よりなる、レール202はめつき処理系100
.保持具13の引渡機構301及び受取機構302に沿
って設けられである・台車201は、台車201に搭載
されたモータ204によって駆動される歯車205がレ
ール202に沿って敷設されたラック206に噛合する
ことにより走行する。モータ204はパルスモータであ
り、パルス数ヲカウントすることにより所定の位置に停
止できる。台車201の停止位置の決定ji、ihルー
、スモークによらな(とも、リミットスイッチ、受光素
子、リニアエンコーダ等を用いてもよい。台車201に
はエアシリンダ207が搭載されてあり、エアシリンダ
207のピストンロッド208の先端にはチャック20
9が取付けである、チャック209は第9図右端に示す
ように、保持具13の支持桿18に嵌合し、チャック2
09内のばね210が支持桿18の溝19に入り固定て
るようになっている。従って、ばね210の力より大キ
い力でピストンロッド208ヲ引くと、保持具13が離
れる。
面図)に基づいて説明する。搬送手段200はレール2
02ど、レール202上を車輪203により走行する台
車201よりなる、レール202はめつき処理系100
.保持具13の引渡機構301及び受取機構302に沿
って設けられである・台車201は、台車201に搭載
されたモータ204によって駆動される歯車205がレ
ール202に沿って敷設されたラック206に噛合する
ことにより走行する。モータ204はパルスモータであ
り、パルス数ヲカウントすることにより所定の位置に停
止できる。台車201の停止位置の決定ji、ihルー
、スモークによらな(とも、リミットスイッチ、受光素
子、リニアエンコーダ等を用いてもよい。台車201に
はエアシリンダ207が搭載されてあり、エアシリンダ
207のピストンロッド208の先端にはチャック20
9が取付けである、チャック209は第9図右端に示す
ように、保持具13の支持桿18に嵌合し、チャック2
09内のばね210が支持桿18の溝19に入り固定て
るようになっている。従って、ばね210の力より大キ
い力でピストンロッド208ヲ引くと、保持具13が離
れる。
、台車201は引渡機構301の個所でピストンロッド
208?前進させて保持具13y!l−受取り、ロッド
208 Y後退させてレール202上を移動する。更に
レール202に沿って並置されためつき処理系100の
前処理槽101、水洗槽102、めっき槽103、湯洗
槽104の位置に来たときは、これに向けて保持具13
ヲ前進し、6槽に設けられた固定手段により保持具13
ケ各槽に固定せしめてピストンロッド208を退去する
。6槽でのウェハ処理が終ると、台車201は核種の位
置に到り、引渡機構301におけると同様にして保持具
13ン受取る。最終に、台車201は受取機構302の
位置に到り、めっき処理7終えたウェハ保持具13ン該
機構302へ渡して次の搬送動作に入る。
208?前進させて保持具13y!l−受取り、ロッド
208 Y後退させてレール202上を移動する。更に
レール202に沿って並置されためつき処理系100の
前処理槽101、水洗槽102、めっき槽103、湯洗
槽104の位置に来たときは、これに向けて保持具13
ヲ前進し、6槽に設けられた固定手段により保持具13
ケ各槽に固定せしめてピストンロッド208を退去する
。6槽でのウェハ処理が終ると、台車201は核種の位
置に到り、引渡機構301におけると同様にして保持具
13ン受取る。最終に、台車201は受取機構302の
位置に到り、めっき処理7終えたウェハ保持具13ン該
機構302へ渡して次の搬送動作に入る。
したがって、めっき手段およびその前、後処理手段に保
持具13Y受理したのち台車201が他の保持具を操作
するため移動し、装置全体の稼動率を向上させることが
できる。
持具13Y受理したのち台車201が他の保持具を操作
するため移動し、装置全体の稼動率を向上させることが
できる。
次に、めっき処理系の各処理手段について詳述するが、
先ず代表としてめっき槽について説明する。第7図(a
)(平面図)及び(b)(断面図)を参照しながら、槽
本体151には中央にめっきすべきウェハとほぼ同径の
横向き°の円筒孔152が形成されている。槽本体15
1の1側は陽極取付板157で閉塞され、その内面には
通電用リード線159ケ有するウェハと同一径の陽極板
158が固定されている。
先ず代表としてめっき槽について説明する。第7図(a
)(平面図)及び(b)(断面図)を参照しながら、槽
本体151には中央にめっきすべきウェハとほぼ同径の
横向き°の円筒孔152が形成されている。槽本体15
1の1側は陽極取付板157で閉塞され、その内面には
通電用リード線159ケ有するウェハと同一径の陽極板
158が固定されている。
陽極取付板157と槽本体151とはねじ止め、接着等
の手段で固定されている。
の手段で固定されている。
ウェハを保持した保持具13がめつき槽103の開放側
にピストンロッドにより当接すると、第7図に示すよう
に、開放側が閉塞され、ウェハ5が円筒孔15Sl’こ
露出する。ここで後ヤ詳述する固定手段のアーム161
が保持具13を固定し、槽本体1−51ど保持具13と
の間は前記アーム161の力とQ IJソング60によ
り水密とされ、ピストンロッドは保持具13ヲ残して退
去する。円筒壁には相対向するようにめっき液の給液口
153と排液口154が穿設され、それぞれめっき液の
給液管155及び排液管156に接続されている。
にピストンロッドにより当接すると、第7図に示すよう
に、開放側が閉塞され、ウェハ5が円筒孔15Sl’こ
露出する。ここで後ヤ詳述する固定手段のアーム161
が保持具13を固定し、槽本体1−51ど保持具13と
の間は前記アーム161の力とQ IJソング60によ
り水密とされ、ピストンロッドは保持具13ヲ残して退
去する。円筒壁には相対向するようにめっき液の給液口
153と排液口154が穿設され、それぞれめっき液の
給液管155及び排液管156に接続されている。
ウェハ保持具13ヲ槽本体15に固定した後、めっき液
タンク108中のめつき液をポンプ106により送り出
し、パルプ109で流量乞調節しフィルタ105Z通し
て槽へ送り込み、排液管156ケ通ってめっき液タンク
108へ還流する。また、リード線159.15間に通
電してめっきケ行なう、めっき終了後、通電及びポンプ
106ヲ停止し、めつき槽内のめつき液を落差等の手段
7用いて取除いた後、保持具13ケ槽本体15より引離
−f。
タンク108中のめつき液をポンプ106により送り出
し、パルプ109で流量乞調節しフィルタ105Z通し
て槽へ送り込み、排液管156ケ通ってめっき液タンク
108へ還流する。また、リード線159.15間に通
電してめっきケ行なう、めっき終了後、通電及びポンプ
106ヲ停止し、めつき槽内のめつき液を落差等の手段
7用いて取除いた後、保持具13ケ槽本体15より引離
−f。
前処理槽101、水洗槽102、湯洗槽104は、通電
手段を有さないこと及びめっき液に代えて前処理液、水
2は湯が給排される以外は、めっき槽と全(同様である
。第3図において、107は前処理液タンク、113は
水源、114はドレイン、115は温水タンクである。
手段を有さないこと及びめっき液に代えて前処理液、水
2は湯が給排される以外は、めっき槽と全(同様である
。第3図において、107は前処理液タンク、113は
水源、114はドレイン、115は温水タンクである。
6槽においては、それぞれ前処理液による前処理、水洗
、湯洗が行なわれる。
、湯洗が行なわれる。
また、第8図の配管系に示すように、めっき槽103に
て湯洗槽104の機能ビ果させるようにすることができ
る。即ち、供給管155及び排出管156は切換弁]1
9及び120を介してめっき液循環系統に接続される(
第3図参照、、110は流量計である。)と共に、切換
弁119及び120 ’&切換えることにより湯洗配管
117及び118に接続し、めつき槽103内で湯洗を
行なうようにすることもできる・同様に前処理槽101
で水洗槽102の機能2兼ねさせることもできる。
て湯洗槽104の機能ビ果させるようにすることができ
る。即ち、供給管155及び排出管156は切換弁]1
9及び120を介してめっき液循環系統に接続される(
第3図参照、、110は流量計である。)と共に、切換
弁119及び120 ’&切換えることにより湯洗配管
117及び118に接続し、めつき槽103内で湯洗を
行なうようにすることもできる・同様に前処理槽101
で水洗槽102の機能2兼ねさせることもできる。
第3図では、めっき槽及び前処−i!ヲそれぞれ1個設
けた例を示しであるが、めっきの種類によっては前処理
又はめつき、又は両者ン2段階に行う必要がある。この
場合は、前述の装置の能率化の為に各処理槽を複数個と
することとは別に、種類の異なるめっき又は前処理Y行
なう槽72個以上設ける。更にこの場合に″は、各種間
に水洗槽がl5頁 必ず設けられる。
けた例を示しであるが、めっきの種類によっては前処理
又はめつき、又は両者ン2段階に行う必要がある。この
場合は、前述の装置の能率化の為に各処理槽を複数個と
することとは別に、種類の異なるめっき又は前処理Y行
なう槽72個以上設ける。更にこの場合に″は、各種間
に水洗槽がl5頁 必ず設けられる。
前処理槽101、水洗槽102、めっき槽103及び湯
洗槽104のいずれにも、第3図に示すようにウェハ保
持具13の固定手段116が設けられである。
洗槽104のいずれにも、第3図に示すようにウェハ保
持具13の固定手段116が設けられである。
めっき槽の固定手段116の実施例Z第9図に基づいて
説明する。
説明する。
めつき槽151の陽極板157側のめつき槽151と同
一のフレームの支持板167に、めつき槽151の両側
に向けて固定された2個のエアシリンダ162よりピス
トンミツド163が進退する。ロッド163の洗端には
ピン165によりアーム161が枢着され、アーム16
1はその中間部でばね166でめつき槽151の陽極板
157に接続され、アーム161は内側に、即ちめつき
槽151に接する方向に付勢されている。
一のフレームの支持板167に、めつき槽151の両側
に向けて固定された2個のエアシリンダ162よりピス
トンミツド163が進退する。ロッド163の洗端には
ピン165によりアーム161が枢着され、アーム16
1はその中間部でばね166でめつき槽151の陽極板
157に接続され、アーム161は内側に、即ちめつき
槽151に接する方向に付勢されている。
エアシリンダ162のロッド163ヲ進出させると、ア
ーム161はその突起部分164が陽極取付板157の
側面に当って移動し、第9図で仮想線で示した状態、即
ち開いた状態となる。この状態で、ウェハ保持具13ヲ
めつき槽151の開放側に当接させた特開昭58−11
420(5) 後、エアシリンダ162のピストンロット163ヲ後退
させると、アーム161は図中で実線で示した状態、即
ち、閉じた状態となり、保持具13ヲめつき槽151に
固定する。つづいて、図示せざる搬送手段のアーム20
8ヲ後退させると、アームあの先端に取付けられている
チャック209はそのばね210の溝19への嵌合力に
抗して保持具13の支持環18から切離される。また、
アーム16101本にはリード線169に接続した接点
168が設けられてあり、アーム161が保持具13ヲ
固定している際に、接点168が保持具13の接点17
と接続し、ウェハ5に通電できるようになっている。実
施例では2本のアームビ使用しているが、保持具13と
めっき槽151との密着をよくする為アームを3本以上
用いてもよい。
ーム161はその突起部分164が陽極取付板157の
側面に当って移動し、第9図で仮想線で示した状態、即
ち開いた状態となる。この状態で、ウェハ保持具13ヲ
めつき槽151の開放側に当接させた特開昭58−11
420(5) 後、エアシリンダ162のピストンロット163ヲ後退
させると、アーム161は図中で実線で示した状態、即
ち、閉じた状態となり、保持具13ヲめつき槽151に
固定する。つづいて、図示せざる搬送手段のアーム20
8ヲ後退させると、アームあの先端に取付けられている
チャック209はそのばね210の溝19への嵌合力に
抗して保持具13の支持環18から切離される。また、
アーム16101本にはリード線169に接続した接点
168が設けられてあり、アーム161が保持具13ヲ
固定している際に、接点168が保持具13の接点17
と接続し、ウェハ5に通電できるようになっている。実
施例では2本のアームビ使用しているが、保持具13と
めっき槽151との密着をよくする為アームを3本以上
用いてもよい。
固定手段の他の実施例を第10図に基づいて説明する。
この実施例においては、前の実施例とは逆に固定手段が
保持具13側に設置されている。固定手段のアーム16
1 ’&後退させた状態にしておき1.1、台車201
によりウェハ5を取付けた保持具13ヲめ71 つき槽151まで搬送し、エアシリンダ207によりピ
ストンロッド208ヲ前進させ保持具13ヲめっき槽’
151に押圧する。ついでシリンダ162によりアーム
161ン前進させて保持具13ヲめっき槽に固定てる。
保持具13側に設置されている。固定手段のアーム16
1 ’&後退させた状態にしておき1.1、台車201
によりウェハ5を取付けた保持具13ヲめ71 つき槽151まで搬送し、エアシリンダ207によりピ
ストンロッド208ヲ前進させ保持具13ヲめっき槽’
151に押圧する。ついでシリンダ162によりアーム
161ン前進させて保持具13ヲめっき槽に固定てる。
その後、シリンダ207によりアーム208ケ後退させ
ると前例と同様保持具13の支持環18とチャック20
9とは切離される。接点17及び168によるウェハ5
への通電、シリンダ162の支持板167とめつき槽1
51との固定は前例と同じである。
ると前例と同様保持具13の支持環18とチャック20
9とは切離される。接点17及び168によるウェハ5
への通電、シリンダ162の支持板167とめつき槽1
51との固定は前例と同じである。
この実施例では、2本のアーム乞共通のアーム170で
結合して1個のシリンダで作動しているが、アーム毎に
設けてもよく、また前例においても、この実施例の′如
(アーム161 Y共通のアームにビン結合し、1個の
シリンダで作動させてよいことはいうまでもない。更に
、この実施例では、保持具13の支持環18は第4図に
示すように保持具13の中央(上下方向の中央。)に取
付けることなく、支持環18ヲクランブするチャック2
09、シリンダ207の上端がアーム161の下端と接
触しないように支持杵18ヲ保持具13の下部に設け、
アーム11δ 1 1161で保持具13ヲめつき槽151に固定した後、
台車201がアーム161の下ン移動できるようにしな
ければならない。
結合して1個のシリンダで作動しているが、アーム毎に
設けてもよく、また前例においても、この実施例の′如
(アーム161 Y共通のアームにビン結合し、1個の
シリンダで作動させてよいことはいうまでもない。更に
、この実施例では、保持具13の支持環18は第4図に
示すように保持具13の中央(上下方向の中央。)に取
付けることなく、支持環18ヲクランブするチャック2
09、シリンダ207の上端がアーム161の下端と接
触しないように支持杵18ヲ保持具13の下部に設け、
アーム11δ 1 1161で保持具13ヲめつき槽151に固定した後、
台車201がアーム161の下ン移動できるようにしな
ければならない。
前処理槽101.水洗槽lO2、湯洗槽104の固定5
手段は、ウェハ5への通電手段がない#1かはめつき槽
103の固定手段と全く同じものを用いてよい。
手段は、ウェハ5への通電手段がない#1かはめつき槽
103の固定手段と全く同じものを用いてよい。
次に、上記の実施例の装置を用いて3インチウェハに金
属電極をめっきにより形成した実施例における主な条件
等について述べる。めっき条件は、電流30mA sめ
っき時間(イ)分、めっき液温65℃、めっき液平均流
量21/分であり、めっき液にはシアン金カリウムを主
成分とした液乞用いた。これにより直径140pmの突
起電極が形成され、高さのばらつきは±4μmと極めて
よい結果が得られた。
属電極をめっきにより形成した実施例における主な条件
等について述べる。めっき条件は、電流30mA sめ
っき時間(イ)分、めっき液温65℃、めっき液平均流
量21/分であり、めっき液にはシアン金カリウムを主
成分とした液乞用いた。これにより直径140pmの突
起電極が形成され、高さのばらつきは±4μmと極めて
よい結果が得られた。
また前処理は10%硫酸ケ平均流量217分で流して行
った。前処理時間は2分、液温は約(9)℃である。
った。前処理時間は2分、液温は約(9)℃である。
水洗は各々純水51/分の流量で流し、2分間行った。
各処理工程間の台車の走行、位置決め、停止に要する時
間は約m秒である、 本発明の装置を用いることにより、めっき工程が自動化
でき、省力化が可能となった。また制御装置により、め
っき時間等を制御するため、作業者が行なうより、ロッ
ト間のばらつきZ小さくすることが可能となる。また円
筒形めっき槽を適用し、ウェハ周辺ビ絶縁壁で囲み、周
辺部への電流のまわり込みを防ぐことにより、ウェハ内
の突起電極の高さのばらつき?従来の出側%から±10
%へと向上することがでキタ。
間は約m秒である、 本発明の装置を用いることにより、めっき工程が自動化
でき、省力化が可能となった。また制御装置により、め
っき時間等を制御するため、作業者が行なうより、ロッ
ト間のばらつきZ小さくすることが可能となる。また円
筒形めっき槽を適用し、ウェハ周辺ビ絶縁壁で囲み、周
辺部への電流のまわり込みを防ぐことにより、ウェハ内
の突起電極の高さのばらつき?従来の出側%から±10
%へと向上することがでキタ。
第1図は半導体素子の突起電極部の断面図、第2図は従
来のめつき装置の一例の外観図、第3図は本発明の装置
の一実施例の概略構成図(平面図)、第4〜第10図は
本発明の装置の一実施例の構成部分を示すもので、第4
図はウェハ保持具の平面図(al及び断面図(b)、第
5図はウェハ保持具の搬送手段へ引渡し及び搬送手段よ
り受取る機構の断面図、第6図は搬送手段の断面図、第
7図はめつき槽の平面図(al及び断面図(b)、第8
図めっき槽の配管系統図、第9図は固定手段の横断面図
、第10図は固定手段の他の実施例の横断面図である。 5・・・ウェハ、13・・・ウェハ保持具、1oo・・
・めっき処理系、ioi・・・前処理槽、102・・・
水洗槽、103・・・めっき槽、104・・・湯洗槽、
116・・・固定手段、151・・・めっき槽本体、1
61・・・アーム、200・・・搬送手段、201・・
・台車、202・・・レール、207・・・空気圧シリ
ンダ、209・・・升ツク、3o1・・・引渡機構、3
o2・・・受取機構。 代理人弁理士 秋 本 正 夾 j11図 第2図 第3E 第4因 (a)(b) 第5図 第6図 第8図 第9図 第10図 S
来のめつき装置の一例の外観図、第3図は本発明の装置
の一実施例の概略構成図(平面図)、第4〜第10図は
本発明の装置の一実施例の構成部分を示すもので、第4
図はウェハ保持具の平面図(al及び断面図(b)、第
5図はウェハ保持具の搬送手段へ引渡し及び搬送手段よ
り受取る機構の断面図、第6図は搬送手段の断面図、第
7図はめつき槽の平面図(al及び断面図(b)、第8
図めっき槽の配管系統図、第9図は固定手段の横断面図
、第10図は固定手段の他の実施例の横断面図である。 5・・・ウェハ、13・・・ウェハ保持具、1oo・・
・めっき処理系、ioi・・・前処理槽、102・・・
水洗槽、103・・・めっき槽、104・・・湯洗槽、
116・・・固定手段、151・・・めっき槽本体、1
61・・・アーム、200・・・搬送手段、201・・
・台車、202・・・レール、207・・・空気圧シリ
ンダ、209・・・升ツク、3o1・・・引渡機構、3
o2・・・受取機構。 代理人弁理士 秋 本 正 夾 j11図 第2図 第3E 第4因 (a)(b) 第5図 第6図 第8図 第9図 第10図 S
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、並置されためつき手段及び前後処理手段よりなるめ
っき処理系の各手段に被めっき物を搬送手段により順次
搬送してめっき装置において、(at 被めっき物を
予め被めっき物保持具に保持せしめ、搬送手段は該保持
具の支持桿をクランプして各手段間ヲ搬送した後アンク
ランプし、(b) 該被めつき物保持具は、後詠の各
処理槽の開放側に当接することにより該開放側ン閉塞し
・被めっき物が該開放口内に露出てるようにされ、 (e) めっき処理系の各処理槽は1側が開放された
横向円筒槽よりなり、めっき液、前処理液、洗浄水又は
洗浄湯の給排管及び被めっき物保持具の固定手段を、更
にめっき槽の場合は通電手段を備え、 (d) 前記各処理槽の開放側に搬送手段により被め
っき物保持具が当接されると固定手段がこれを固定し、
また処理終了後搬送手段が保持具の支持桿を再びクラン
プすると5、該固定手段が保持具の固定を解放するよう
にしである、ことを特徴とするめつき装置。 2、前記めっき装置が、前記めっき処理系、前記搬送手
段、前記めっき物保持具を搬送手段へ引渡す機構、めっ
き処理後の被めっき物保持具を搬送手段より受取る機構
、及び上記各手段、機構の作動を制御する制御手段より
なる特許請求の範囲第1項のめつき装置。 3、前記搬送手段が、めっき処理系並びに搬送手段との
引渡及び受取機構に沿って設けられたレールと、該レー
ル上7走行し、先端に被めっき物保持具のチャックZ有
するピストンロッドを進退させる流体圧シリンダを搭載
する台車よりなる特許請求の範囲第2項のめつき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10889281A JPS5811420A (ja) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | めつき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10889281A JPS5811420A (ja) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | めつき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5811420A true JPS5811420A (ja) | 1983-01-22 |
JPS6128040B2 JPS6128040B2 (ja) | 1986-06-28 |
Family
ID=14496249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10889281A Granted JPS5811420A (ja) | 1981-07-14 | 1981-07-14 | めつき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5811420A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014055830A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Jfe Steel Corp | 分光測定装置および分光測定方法 |
JP2014169475A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Ebara Corp | めっき装置 |
JP2016089204A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | ダイハツ工業株式会社 | 電着塗装設備 |
-
1981
- 1981-07-14 JP JP10889281A patent/JPS5811420A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014055830A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Jfe Steel Corp | 分光測定装置および分光測定方法 |
JP2014169475A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Ebara Corp | めっき装置 |
US10077504B2 (en) | 2013-03-04 | 2018-09-18 | Ebara Corporation | Plating apparatus |
JP2016089204A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | ダイハツ工業株式会社 | 電着塗装設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6128040B2 (ja) | 1986-06-28 |
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