JP6670185B2 - 重ね合わせ装置、貼付装置、重ね合わせ方法および貼付方法 - Google Patents
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Description
基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室と、
上記重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知部と、を備えており、
上記位置検知部は、
上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映す内部検知部と、
上記重ね合わせ室の外部から、上記内部検知部が映した上記外周端部を検知する外部検知部とを備えている。
基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知工程を包含しており、
上記位置検知工程では、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映し、上記重ね合わせ室の外部から、映した上記外周端部を検知する。
本発明の一実施形態に係る重ね合わせ装置は、基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ装置であって、上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室と、上記重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知部と、を備えており、上記位置検知部は、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映す内部検知部と、上記重ね合わせ室の外部から、上記内部検知部が映した上記外周端部を検知する外部検知部とを備えている。
本発明の一実施形態に係る貼付装置は、本発明の一実施形態に係る重ね合わせ装置と、当該重ね合わせ装置の重ね合わせ室の外部において、当該重ね合わせ装置が重ね合わせた基板および支持体を貼り合わせる貼付部とを備えている。
本発明の一実施形態に係る重ね合わせ方法は、基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ方法であって、上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知工程を包含しており、上記位置検知工程では、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映し、上記重ね合わせ室の外部から、映した上記外周端部を検知する。
本発明の一実施形態に係る貼付方法は、本発明の一実施形態に係る重ね合わせ方法により基板および支持体を重ね合わせた後、基板および支持体を重ね合わせる重ね合わせ室の外部において、当該重ね合わせた基板および支持体を貼り合わせる。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下では、本発明の一実施形態に係る重ね合わせ装置が、貼付装置に組み込まれており、当該貼付装置が貼付システムに組み込まれている構成について説明しているが、本発明はこれに限定されない。
図1は、貼付システム1の概略構成を示す模式図である。図1に示すように、貼付システム1は、貼付装置2、プリアライナー3、第一外部搬送部4および第一外部搬送部走行路5、FOUPオープナー50、スピンナー52、ベークプレート51、第二外部搬送部54、第二外部搬送部走行路55、およびパスライン53を備えている。貼付装置2は、重ね合わせ装置6および貼付室7を備えている。
図2は、貼付装置2の概略構成を示す模式図である。図2に示すように、貼付装置2は、重ね合わせ装置6と貼付室7とを備えており、重ね合わせ装置6は、重ね合わせ室6aを備えている。
重ね合わせ装置6は、重ね合わせ室6a内に、減圧ポンプ(減圧部)20、アライメントブロック(位置調整部)21、駆動ユニット(位置調整部)22、スペーサ(保持部)23、ステージ部24、第一支持ピン(支持部)25、仮止め部26および反射板(鏡部、内部検知部、位置検知部)27を備えるとともに、重ね合わせ室6aの外部に、サブフレーム14、カメラ(撮影部、外部検知部、位置検知部)28、光源(外部検知部、位置検知部)29およびコントローラ(画像処理部、外部検知部、位置検知部)30を備えている。また、重ね合わせ室6aには、カメラ28が重ね合わせ室6a内を撮影するための窓13が設けられている。
減圧ポンプ20は、重ね合わせ室6a内を減圧する装置であり、好ましくは、重ね合わせ室6a内を真空または真空に近い状態まで減圧する装置であり得る。重ね合わせ室6a内を減圧することにより、貼付室7との間で積層体40の受け渡しを好適に行うことができる。また、仮止めの際に、基板42とサポートプレート41との間に気泡が入り込むことを抑制することができる。
図3は、アライメントブロック21および駆動ユニット22の概略構成を示す模式図であり、(a)は上面図を示し、(b)は側方断面図を示す。重ね合わせ室6a内に搬入された基板42およびサポートプレート41は、まず、第一支持ピン25上に載置される。アライメントブロック21は、位置合わせの対象となる基板42またはサポートプレート41が第一支持ピン25上に載置された状態で、駆動ユニット22によってX−Y平面に平行な方向、つまり、水平方向に駆動されることにより、基板42またはサポートプレートに当接し、基板42およびサポートプレート41を位置合わせする(基板42およびサポートプレート41の位置を調整する)。
スペーサ23は、位置合わせを行ったサポートプレート41(基板42の位置合わせを先に行う場合には、基板42)を、その水平位置を変化させずに重ね合わせを行うまで保持しておく部材である。図4は、スペーサ23を上面側から見た図である。スペーサ23は、サポートプレート41の周縁部の一部をその下側から支持することによって、サポートプレート41を安定に保持する。スペーサ23は、X−Y方向、つまり、水平方向に移動可能である。サポートプレート41がステージ部24に載ってスペーサ23の上部まで運ばれるときには、スペーサ23をサポートプレート41と一切重ならない位置に移動させておく。本明細書では、この状態のとき、スペーサ23が「抜き位置」にあると呼ぶ。サポートプレート41がスペーサ23よりも上に運び込まれた後、スペーサ23によってサポートプレート41を支持できるように、スペーサ23をサポートプレート41と重なる位置に戻す。本明細書では、この状態のとき、スペーサ23が「挿入位置」にあると呼ぶ。図4は、スペーサ23が「挿入位置」にある状態を示している。スペーサ23が挿入位置にあるときの、スペーサ23のサポートプレート41を支持する各部材とサポートプレート41との重なりの幅d3は、非限定的に、サポートプレート41の周縁から内側にかけて1〜5mm程度であり得る。好適には5mmである。また、スペーサ23の大きさは、例えば、横幅d4が5mmであり得るが、これに限定されるものではない。
ステージ部24には、ヒータ(図示せず)が内蔵されており、第一支持ピン25によって支持された基板42に塗布された接着層を熱流動させることができる。ステージ部24の温度は、例えば、接着層の接着材料である熱可塑性樹脂の低温粘着性(タック性)により少なくとも室温以上の温度になるまで加熱されることが好ましく、ガラス転移点(Tg)以上の温度になるまで加熱されることがより好ましい。接着層を熱可塑性樹脂のガラス転移点以上の温度まで加熱することによって、接着層の熱流動性が向上し、容易に変形するようになる。接着層、即ち、接着材料である熱可塑性樹脂の材質にもよるが、ステージ部24の温度は23〜220℃であることが好ましく、加熱時間、つまり押圧時間は3〜300秒間であることが好ましく、5〜180秒間であることがより好ましい。
第一支持ピン25は、ステージ部24から突出可能に設けられており、サポートプレート41および基板42を個別に底面から支持する。そして、第一支持ピン25がサポートプレート41または基板42を支持している状態で、第一支持ピン25の突出量を調整することにより、サポートプレート41または基板42を所定の位置(例えば、アライメントブロック21によって位置合わせされる位置、スペーサ23上の位置、または、サポートプレート41または基板42に近接する位置)へ移動させることができる。第一支持ピン25の素材は、特に限定されないが、熱伝導性のよいアルミニウム等によって構成することができるが、これに限定されず、ステンレス等を用いてもよい。
押圧ピン26は、重ね合わされた基板42およびサポートプレート41(積層体40)をZ方向において下側に向かって押圧するものである。押圧ピン26の先端部は、第一支持ピン25の夫々の先端部に対向するように配置されている。このように、第一支持ピン25と押圧ピン26とを配置することにより、位置を調整したサポートプレート41の領域と、位置を調整した基板42の一部の領域とを重ね合わせ、挟み込むことにより押圧することができる。このため、位置調整をしたサポートプレート41および基板42の中心点を中心として均等に押圧力を加えることができる。従って、サポートプレート41と基板42とが位置ずれすることを防止することができ、首尾よく仮止めすることができる。
反射板27、カメラ28、光源29およびコントローラ30は、重ね合わせ装置6において、基板42およびサポートプレート41の外周端部の位置を検知する位置検知部を構成する。
貼付室(貼付部)7は、重ね合わせ装置6が重ね合わせたサポートプレート41および基板42(積層体40)を貼り合わせることにより、積層体40を完成させる。貼付室7は、第二支持ピン31、プレスプレート32および33を備えている。また、貼付室7は、図示しない減圧ポンプによって真空または真空に近い状態に減圧可能なようになっていることが好ましい。
重ね合わせ室6には、第一支持ピン25および押圧ピン26によって挟み込むことで、仮止めしたサポートプレート41および基板42(積層体40)を、貼付室7との間で受け渡しを行う内部搬送部(図7中の10)が設けられている。
基板42は、サポートプレート41に支持された(貼り付けられた)状態で、薄化、搬送、実装等のプロセスに供される。基板42は、ウエハ基板に限定されず、例えば、サポートプレート41による支持が必要なセラミックス基板、薄いフィルム基板、フレキシブル基板等の任意の基板であってもよい。
サポートプレート41は、基板42を支持する支持体であり、接着層を介して基板42に貼り付けられる。そのため、サポートプレート41は、基板42の薄化、搬送、実装等のプロセス時に、基板42の破損または変形を防ぐために必要な強度を有していればよく、より軽量であることが望ましい。以上の観点から、サポートプレート41は、ガラス、シリコン、アクリル系樹脂、セラミック等で構成されていることがより好ましい。サポートプレート41の形状は、例えば、円形であり得るが、これに限定されない。
積層体40は、基板42と、基板42を支持するサポートプレート41とを、基板42およびサポートプレート41の少なくとも何れかに積層された接着層を介して重ね合わせることによって形成される。なお、本実施形態では、接着層は、基板42側に形成されている。
図8は、貼付装置2による貼付方法の流れを説明するフローチャートである。なお、S1〜S13は、重ね合わせ装置6による重ね合わせ方法に相当する。また、図9〜18は、貼付装置2による貼付方法の各工程における貼付装置2の状態を示す模式図である。なお、図9〜18では、簡略化のため、貼付装置2が備える部材の一部を省略している。
第一外部搬送部4を用い、重ね合わせ室6の受け渡し窓9を介して、サポートプレート41を搬入する。搬入されたサポートプレート41は、第一支持ピン25上に載置される(図9参照)。なお、この段階において、スペーサ23は抜き位置にしておき、押圧ピン26は待機位置にしておくことが好ましい。
次に、駆動ユニット22によってアライメントブロック21をX−Y平面に平行に移動させ、アライメントブロック21を、第一支持ピン25上に支持されたサポートプレート41に当接させることにより、サポートプレート41の外周端部の位置が、プリアライナー3からの情報に基づきサポートプレート41をアライメントする(図10参照)。
次に、第一支持ピン25が、Z方向において、スペーサ23よりも上側であり、押圧ピン26に接触しない位置にまでサポートプレート41を移動させる。そして、スペーサ23を挿入位置に移動させた後、第一支持ピン25は、Z方向において、スペーサ23よりも下側に移動する。これにより、位置合わせを終えたサポートプレート41の水平方向の位置を変えずにスペーサ23によって保持する(保持工程、図11参照)。
次に、位置検知部(反射板27、カメラ28、光源29およびコントローラ30)によって、スペーサ23上に保持したサポートプレート41の外周端部の位置を検知する(第二位置検知工程、図5の(a)参照)。上述したように、位置検知部は、(i)スペーサ23上に保持したサポートプレート41の底面部41b側の外周端部を反射板27に映し、(ii)反射板27に映された、サポートプレート41の底面部41b側の外周端部の像をカメラ28によって撮影し、(iii)得られた画像をコントローラ30が画像解析することにより、スペーサ23上に保持したサポートプレート41の外周端部の位置を検知することができる。
次に、位置検知部は、検知したサポートプレート41の外周端部の位置が、予め定められた基準位置からずれているか否かを判定する。例えば、コントローラ30が、検知したサポートプレート41の外周端部の位置の、基準位置からのずれ量を特定し、ずれ量が閾値を超えるか否かを判定することにより、検知したサポートプレート41の外周端部の位置が基準位置からずれているか否かを判定する。
次に、サポートプレート41の場合と同様に、この状態において、第一外部搬送部4を用い、重ね合わせ室6の受け渡し窓9を介して、基板42を搬入する。搬入されたサポートプレート41は、第一支持ピン25上に載置される(図12参照)。
次に、駆動ユニット22によってアライメントブロック21をX−Y平面に平行に移動させ、アライメントブロック21を、第一支持ピン25上に支持された基板42に当接させることにより、基板42の外周端部の位置が、プリアライナー3からの情報に基づき基板42をアライメントする(図13参照)。
その後、受け渡し窓9を閉じた後に、減圧ポンプ20により、重ね合わせ室6aの減圧を開始する。重ね合わせ室6aの減圧は、仮止めが終了した時点における重ね合わせ室6の減圧状態および貼付室7の減圧状態が、互いにほぼ同じ状態になるように行えばよい。好適には、10Pa以下である。また、ステージ部24の加熱を開始し、基板42の上面に形成された接着層を熱流動させる。
次に、第一支持ピン25が、基板42の上面部42bを、S3においてスペーサ23に保持されたサポートプレート41の底面部41bに近接させる(支持工程、図14参照)。これにより、基板42およびサポートプレート41は、互いの平面部(42b、41b)を平行にして近接させた状態となる。
次に、位置検知部(反射板27、カメラ28、光源29およびコントローラ30)によって、サポートプレート41に、互いの平面部を平行にして近接させた基板42の外周端部の位置を検知する(位置検知工程、図5の(c)参照)。上述したように、位置検知部は、(i)サポートプレート41に、互いの平面部を平行にして近接させた基板42の底面部42b側の外周端部を反射板27に映し、(ii)反射板27に映された、基板42の底面部42b側の外周端部の像をカメラ28によって撮影し、(iii)得られた画像をコントローラ30が画像解析することにより、サポートプレート41に、互いの平面部を平行にして近接させた基板42の外周端部の位置を検知することができる。
次に、位置検知部は、検知した基板42の外周端部の位置が、予め定められた基準位置からずれているか否かを判定する。例えば、コントローラ30が、検知した基板42の外周端部の位置の、基準位置からのずれ量を特定し、ずれ量が閾値を超えるか否かを判定することにより、検知した基板42の外周端部の位置が基準位置からずれているか否かを判定する。
次に、スペーサ23を抜き位置に移動させると共に、押圧ピン26を支持軸26bによって、待機位置から押圧位置に移動させることで、スペーサ23によって支持されたサポートプレート41が、バネ26aによってZ方向の下側に向かって付勢されるように力を加える。これにより、押圧ピン26のバネ26aによって加えられた力により、第一支持ピン25と押圧ピン26とよって挟み込むようにして、サポートプレート41と基板42とを押圧する(図15参照)。これにより、サポートプレート41と基板42とを重ね合わせ、仮止めする。
サポートプレート41を基板42と重ね合わせた後、押圧ピン26を待機位置に戻す。また、第一支持ピン25をZ方向の下側に移動させる。これにより、重ね合わせたサポートプレート41および基板42(積層体40)を、内部搬送部10に受け渡す(図16参照)。
次に、第二支持ピン31に支持した状態において、プレスプレート33をZ方向において下降させることにより、サポートプレート41の上面に接触させる。続いて、第二支持ピン31と、プレスプレート33とを同じ速度で降下させる。これにより、プレスプレート32および33の間に、サポートプレート41と基板42とを挟み込み、押圧しながら加熱する(図18参照)。これにより、サポートプレート41と基板42とを貼り付け、積層体40を完成させることができる。
2 貼付装置
3 保持室
4 第一外部搬送部
5 第一外部搬送部走行路
6 重ね合わせ装置
6a 重ね合わせ室
7 貼付室(貼付部)
8 ゲート
9 受け渡し窓
10 内部搬送部
11 内部搬送アーム
12 アーム回動軸
13 窓
14 サブフレーム
17a、17b 撮像部
18a、18b 領域
19 位置特定部
20 減圧ポンプ(減圧部)
21 アライメントブロック(位置調整部)
21a バネ
21b クッション部
22 駆動ユニット(位置調整部)
23 スペーサ(保持部)
24 ステージ部
25 第一支持ピン(支持部)
26 押圧ピン
26a バネ
26b 支持軸
27 反射板(鏡部、内部検知部、位置検知部)
28 カメラ(撮影部、外部検知部、位置検知部)
29 光源(外部検知部、位置検知部)
30 コントローラ(画像処理部、外部検知部、位置検知部)
31 第二支持ピン
32 プレスプレート
33 プレスプレート
40 積層体
41 サポートプレート(支持体)
41a ノッチ(切欠部)
41b 底面部(平面部)
42 基板
42a ノッチ(切欠部)
42b 上面部(平面部)
42c 底面部
S 像
V 部位
Claims (17)
- 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室と、
上記重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知部と、を備えており、
上記位置検知部は、
上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映す内部検知部と、
上記重ね合わせ室の外部から、上記内部検知部が映した上記外周端部を検知する外部検知部とを備えており、
上記基板および上記支持体の上面視における形状は、円形であり、
上記位置検知部は、上記外周端部における少なくとも3つの部位の位置を検知し、当該少なくとも3つの部位の位置の、基準位置からのずれ量を特定することを特徴とする重ね合わせ装置。 - 上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部には、当該基板または支持体の向きを特定するための切欠部が設けられており、
上記少なくとも3つの部位のうちの1つは、当該切欠部を含むことを特徴とする請求項1に記載の重ね合わせ装置。 - 上記基板および上記支持体のうちの一方を保持する保持部と、上記基板及び上記支持体のうちの他方を支持する支持部とを、上記重ね合わせ室内に備えており、
上記支持部は、上記保持部が保持している上記基板または上記支持体の底面部に、上記支持部が支持している上記基板または上記支持体の上面部を近接させるようになっており、
上記内部検知部は、上記支持部が支持している上記基板または上記支持体の底面部側の外周端部を映すことを特徴とする請求項1または2に記載の重ね合わせ装置。 - 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室と、
上記重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知部と、を備えており、
上記位置検知部は、
上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映す内部検知部と、
上記重ね合わせ室の外部から、上記内部検知部が映した上記外周端部を検知する外部検知部とを備えており、
上記基板および上記支持体のうちの一方を保持する保持部と、上記基板及び上記支持体のうちの他方を支持する支持部とを、上記重ね合わせ室内に備えており、
上記支持部は、上記保持部が保持している上記基板または上記支持体の底面部に、上記支持部が支持している上記基板または上記支持体の上面部を近接させるようになっており、
上記内部検知部は、上記支持部が支持している上記基板または上記支持体の底面部側の外周端部を映し、
上記位置検知部は、さらに、上記支持部が上記基板および上記支持体を近接させる前に、上記保持部が保持している上記基板または上記支持体の外周端部の位置を検知するようになっており、
上記内部検知部は、上記支持部が上記基板および上記支持体を近接させる前に、上記保持部が保持している上記基板または上記支持体の底面部側の外周端部を映すことを特徴とする重ね合わせ装置。 - 上記位置検知部が検知した上記基板または上記支持体の外周端部の位置が基準位置からずれていた場合に、当該ずれていた上記基板または上記支持体の位置を調整する位置調整部を備えていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の重ね合わせ装置。
- 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室と、
上記重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知部と、を備えており、
上記位置検知部は、
上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映す内部検知部と、
上記重ね合わせ室の外部から、上記内部検知部が映した上記外周端部を検知する外部検知部とを備えており、
上記位置検知部が検知した上記基板または上記支持体の外周端部の位置が基準位置からずれていた場合に、当該ずれていた上記基板または上記支持体の位置を調整する位置調整部を備えており、
上記位置調整部に、上記内部検知部が取り付けられていることを特徴とする重ね合わせ装置。 - 上記重ね合わせ室を減圧環境にする減圧部をさらに備えており、
上記内部検知部は、鏡部を有しており、
上記鏡部は、上記減圧環境下において、上記外周端部を映すことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の重ね合わせ装置。 - 上記外部検知部は、
上記内部検知部が映した上記外周端部の画像を撮影する撮影部と、
上記画像から、上記外周端部の位置を特定する画像処理部と、を備えていることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の重ね合わせ装置。 - 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室と、
上記重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知部と、を備えており、
上記位置検知部は、
上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映す内部検知部と、
上記重ね合わせ室の外部から、上記内部検知部が映した上記外周端部を検知する外部検知部とを備えている重ね合わせ装置と、
上記重ね合わせ室の外部において、上記重ね合わせ装置が重ね合わせた上記基板および上記支持体を貼り合わせる貼付部とを備えていることを特徴とする貼付装置。 - 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知工程を包含しており、
上記位置検知工程では、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映し、上記重ね合わせ室の外部から、映した上記外周端部を検知し、
上記基板、および上記支持体の上面視における形状は、円形であり、
上記位置検知工程では、上記外周端部における少なくとも3つの部位の位置を検知し、当該少なくとも3つの部位の位置の、基準位置からのずれ量を特定することを特徴とする重ね合わせ方法。 - 上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部には、当該基板または支持体の向きを特定するための切欠部が設けられており、
上記位置検知工程では、上記少なくとも3つの部位のうちの1つの部位の位置として、当該切欠部の位置を検知することを特徴とする請求項10に記載の重ね合わせ方法。 - 上記位置検知工程前に、上記重ね合わせ室内において、上記基板および上記支持体のうちの一方を保持する保持工程と、上記保持工程後、上記位置検知工程前に、上記基板および上記支持体のうちの他方を支持し、支持した上記基板または上記支持体の上面部を、上記保持工程において保持した上記基板または上記支持体の底面部に近接させる支持工程と、を包含しており、
上記位置検知工程では、上記支持工程において支持した上記基板または上記支持体の底面部側の外周端部を映すことを特徴とする請求項10または11に記載の重ね合わせ方法。 - 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知工程を包含しており、
上記位置検知工程では、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映し、上記重ね合わせ室の外部から、映した上記外周端部を検知し、
上記位置検知工程前に、上記重ね合わせ室内において、上記基板および上記支持体のうちの一方を保持する保持工程と、上記保持工程後、上記位置検知工程前に、上記基板および上記支持体のうちの他方を支持し、支持した上記基板または上記支持体の上面部を、上記保持工程において保持した上記基板または上記支持体の底面部に近接させる支持工程と、を包含しており、
上記位置検知工程では、上記支持工程において支持した上記基板または上記支持体の底面部側の外周端部を映し、
上記支持工程前に、上記保持工程において保持した上記基板または上記支持体の外周端部の位置を検知する第二位置検知工程を包含しており、
上記第二位置検知工程では、上記保持工程において保持した上記基板または上記支持体の底面部側の外周端部を映すことを特徴とする重ね合わせ装置。 - 上記第二位置検知工程において検知した上記基板または上記支持体の外周端部の位置が基準位置からずれていた場合に、当該ずれていた上記基板または上記支持体の位置を調整し、再度、上記第二位置検知工程を行うことを特徴とする請求項13に記載の重ね合わせ方法。
- 上記重ね合わせ室内を減圧環境にして、上記位置検知工程を行ない、
上記位置検知工程では、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を鏡部に映すことを特徴とする請求項10〜14の何れか1項に記載の重ね合わせ方法。 - 上記位置検知工程において検知した上記基板または上記支持体の外周端部の位置が基準位置からずれていた場合に、当該ずれていた上記基板または上記支持体の位置を調整し、再度、上記位置検知工程を行うことを特徴とする請求項10〜15の何れか1項に記載の重ね合わせ方法。
- 基板と、上記基板を支持する支持体とを重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
上記基板と上記支持体とを重ね合わせる重ね合わせ室内において、互いの平面部を平行にして近接させた上記基板および上記支持体の少なくとも一方の外周端部の位置を検知する位置検知工程を包含しており、
上記位置検知工程では、上記重ね合わせ室内において、上記外周端部を映し、上記重ね合わせ室の外部から、映した上記外周端部を検知する重ね合わせ方法により上記基板および上記支持体を重ね合わせた後、上記重ね合わせ室の外部において、当該重ね合わせた上記基板および上記支持体を貼り合わせることを特徴とする貼付方法。
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