KR20140033433A - 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치 - Google Patents

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KR20140033433A
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adsorption
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마코토 후쿠다
나오타케 마루야마
아츠시 기야마
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 유리 기판을 당해 흡착 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하는 유리 기판 박리 장치에 관한 것이다.

Description

유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치 {METHOD FOR PEELING GLASS SUBSTRATE, AND APPARATUS FOR PEELING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치에 관한 것이다.
유리 기판이 연마될 때, 유리 기판은, 유리 기판 보유 지지 정반에 접착된 흡착 시트에 흡착 보유 지지되어 연마 라인을 반송되는 경우가 있다. 이 경우, 연마 가공이 종료된 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하여 다음 공정, 예를 들어 세정 장치의 적재대에 이동 탑재해야 한다.
종래에는 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리할 때, 예를 들어 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 유리 기판과 흡착 시트의 경계부를 향하여 압축 에어를 분출함으로써, 유리 기판의 테두리부의 적어도 일부분을 흡착 시트로부터 이격시킴과 함께, 이격된 유리 기판과 흡착 시트 사이의 간극에 물을 공급하여 흡착 시트에 대한 유리 기판의 흡착을 해제하고, 유리 기판의 흡착 시트와는 반대의 면을 복수의 흡착 패드에 의해 흡착 보유 지지하여 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리시켰다.
일본 특허 공개 제2007-185725호 공보
그러나, 종래에는 연마 종료 후, 유리 기판을 보유 지지하고 있던 보유 지지 흡착 부재로부터 유리 기판을 제거할 때, 유리 기판에 깨짐이나 흠집 등이 발생하거나, 박리하는 데 시간이 걸려 생산성이 떨어지는 등의 문제가 있었다. 특히, 종래 유리 기판을 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트에 부착할 때, 액체를 개재하지 않고 부착한 경우에는, 연마 후의 유리 기판의 흡착력이 매우 커져 박리하는 것이 곤란해지는 경우가 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 유리 기판을 그 보유 지지 부재로부터 박리할 때, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고, 안정하게 단시간에 박리할 수 있는 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판 박리 장치는, 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 유리 기판을 당해 흡착 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하도록 함으로써, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 용이하게 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 것이 가능하게 된다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 흡착 시트에 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 보유 지지하는 복수의 흡착 패드와, 상기 유리 기판에 대하여 접근 및 이격 중 하나의 동작을 행하도록, 상기 복수의 흡착 패드를 각각 독립적으로 승강 동작시키는 승강 기구와, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리할 때에는, 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단과, 상기 복수의 흡착 패드 전체를 상기 유리 기판에 대하여 접근 또는 이격시켜, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시키는 흡착 패드 이동 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하도록 하였기 때문에, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와, 상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과, 상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀과, 상기 핀을 상기 흡착 시트로부터 돌출되도록 승강 동작시키는 승강 기구와, 상기 핀을 승강 동작시켜 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 핀으로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 것이 바람직하다.
이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와, 상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과, 상기 복수의 구멍 안에 에어를 공급하고, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 상기 에어를 분사하는 에어 공급 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 에어로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 것이 바람직하다.
이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 박리 수단은, 상기 흡착 시트의 상면에 연마한 유리 기판을 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 유리 기판 보유 지지 정반과, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하는 수단을 구비하며, 연마 후의 유리 기판을 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 것이 바람직하다.
이와 같이, 상하를 역회전하여 유리 기판의 자중에 의해 박리되도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 박리할 수 있다.
또한, 마찬가지로 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 유리 기판을 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하여 연마한 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 복수의 흡착 패드로 흡착하는 공정과, 상기 복수의 흡착 패드 중 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시켜 가는 공정과, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 이격시키고, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시켜, 상기 유리 기판을 다음 작업 공정으로 이동 탑재하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하도록 하였기 때문에, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과, 상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀을 승강 동작시켜, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면을 상기 핀으로 밀어올려 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 핀으로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 상승시키고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 상승시키는 것이 바람직하다.
이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 마찬가지로 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과, 상기 복수의 구멍을 통하여, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 에어를 분사하여 상기 유리 기판을 밀어올려, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 비연마면으로부터 에어로 밀어올려 박리하도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
또한, 하나의 실시 형태로서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 분사하고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 분사하는 것이 바람직하다.
이에 의해, 유리 기판을 흡착 시트로부터 보다 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 마찬가지로 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리 기판의 박리 방법은, 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된 흡착 시트의 상면에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전함으로써, 상기 흡착 시트 및 상기 유리 기판의 상하를 반대로 반전하는 공정을 구비하며, 상기 유리 기판과 상기 흡착 시트의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 상하를 역회전하여 유리 기판의 자중에 의해 박리되도록 하였기 때문에, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 박리할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 시트에 부착하였기 때문에, 연마 후에도 유리 기판의 흡착력이 그다지 커지지 않아, 깨짐이나 흠집이 발생하지 않고 안정하게 단시간에 박리할 수 있다. 또한, 유리 기판의 비연마면측으로부터 핀으로 밀어올리거나, 유리 기판의 비연마면에 에어를 분사함으로써, 유리 기판의 박리가 한층 더 촉진되어 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 유리 기판 박리 장치의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 유리 기판 박리 장치가 흡착 시트로부터 유리 기판을 박리하는 모습을 도시하는 단면도이다.
도 3은 낱장식 연마 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 4는 낱장식 연마 장치의 다른 예를 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 3의 연마 장치에 의해 연마한 후의 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 모습을 도시하는 설명도이다.
도 6은 제2 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치의 주요부의 단면도이다.
도 7은 제2 실시 형태의 작용을 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 9는 제3 실시 형태의 작용을 도시하는 단면도이다.
도 10은 제4 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치의 주요부의 단면도이다.
도 11은 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 모습을 도시하는 설명도이다.
도 12는 제4 실시 형태에 제1 실시 형태를 병용한 모습을 도시하는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제5 실시 형태를 도시하는 단면도이다.
도 14는 제5 실시 형태의 작용을 도시하는 단면도이다.
도 15는 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 평행하게 핀을 상승시키는 경우의 문제점을 도시하는 단면도이다.
도 16은 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬한 방향으로 핀을 상승시키는 모습을 도시하는 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명에 관한 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 관한 유리 기판 박리 장치의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 유리 기판 박리 장치(10)는, 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(예를 들어, 다공질 우레탄 시트)(14) 상에 흡착 보유 지지된 상태로 연속식 연마 장치에 의해 연마되어 화살표(X)의 방향으로 반송되어 온, 연마 종료된 유리 기판(G)을 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14)로부터 박리하여 다음 공정의 장치, 예를 들어 세정 장치의 적재대에 이동 탑재하기 위한 장치이다.
또한, 본 실시 형태를 포함하는 모든 실시 형태에 있어서, 유리 기판(G)의 흡착 시트에 흡착 보유 지지되어 있는 측의 면을 비연마면이라고도 한다.
본 실시 형태의 유리 기판 박리 장치(10)가 대상으로 하는 것은, 액정 디스플레이용 등에 사용되는 FPD(Flat Panel Display)용 유리 기판이며, 두께 약 0.1 내지 1.1mm의 박판이고, 그 크기는 예를 들어 730mm×920mm이지만, 이것에 한정되는 것이 아니며, 이보다 큰 크기의 것이어도 된다.
유리 기판 박리 장치(10)는, 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14)로부터 유리 기판(G)을 박리하여 다음 공정으로 이동 탑재하기 위한 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)(박리 수단)를 구비하고 있다. 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)는, 유리 기판(G)을 흡착하는 다수의 흡착 패드(20)를 갖는 지지판(22) 및 지지판(22)을 유리 기판에 대하여 접근 및 이격시킴(승강시킴)과 함께 다음 공정으로 이동시키기 위한 가이드(흡착 패드 이동 수단)(24)를 구비하고 있다.
도 1에 도시하는 지지판(22)에는 12개의 흡착 패드(20)가 설치되어 있지만, 지지판(22)에 설치되는 흡착 패드(20)의 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다.
흡착 패드(20)는, 독립의 에어 실린더(26)에 의해 각각이 독립적으로 승강 이동 가능하게 되어 있다. 각 에어 실린더(26)는, 도시하지 않은 제어 수단에 의해 그 승강 동작이 제어된다. 흡착 패드(20)의 하강 동작에 의해 흡착 패드(20)가 유리 기판(G)의 연마면에 가압 접촉되어 흡착 패드(20)에 유리 기판(G)이 흡착되고, 흡착 패드(20)의 상승 동작에 의해 유리 기판(G)이 흡착 시트(14)로부터 박리된다.
본 실시 형태의 유리 기판 박리 장치(10)가 흡착 시트(14)로부터 유리 기판(G)을 박리하는 방법을, 도 2를 사용하여 설명한다.
유리 기판(G)을 연속식 연마 장치(도시 생략)로 연마하기에 앞서, 유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14)에 유리 기판(G)을 부착할 때, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시킨다. 이 액체로서는 통상 물이 사용되지만, 물 이외의 액체이어도 된다.
물 이외의 액체로서 다가 알코올을 들 수 있다. 다가 알코올이면, 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 용이하게 박리할 수 있을 뿐만 아니라, 물보다 건조되기 어려워진다. 다가 알코올의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 구체적으로는 글리세린, 폴리에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜 등이 예시된다. 또한, 2종 이상의 다가 알코올을 포함해도 되고, 다가 알코올과 물을 혼합시켜 다가 알코올 수용액으로 하여도 된다.
종래에는 물 등의 액체를 개재시키지 않고 유리 기판(G)을 직접 흡착 시트(14)에 부착하였으므로, 부착 초기는 흡착력은 그다지 강하지 않지만, 유리 기판(G)의 연마시에 있어서의 연마 패드로부터의 가압에 의해, 연마 후에는 그 흡착력이 매우 커져 있으므로, 연마 후에 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 박리하는 것이 곤란하였다. 따라서, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시켜 부착 초기의 흡착력을 높임과 함께, 연마 후의 흡착력을 그다지 강하게 하지 않아, 연마 후의 유리 기판(G)의 흡착 시트(14)로부터의 박리를 용이하게 행할 수 있다.
유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 개재시키는 액체의 양은 0.01㎕/cm2 내지 0.001㎖/cm2가 바람직하다. 액체의 양이 0.001㎖/cm2를 초과하면 유리 기판(G)이 어긋나 버려, 연마 중에 유리 기판(G)이 파손될 우려가 있다. 또한, 반대로 액체의 양이 0.01㎕/cm2 미만이면 액체를 도포하지 않은 경우와 동일하여 초기의 흡착력이 떨어져 버리기 때문에, 연마 중에 유리 기판(G)이 파손될 우려가 있다. 따라서, 적당한 양의 액체가 흡착 시트(14) 표면에 도포된다.
유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시키는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 유리 기판(G) 및 흡착 시트 중, 한쪽 부재의 다른 쪽 부재와 접하는 면(도포면)에 액체를 도포할 때, 도포면을 향하여 노즐로 액체를 분무하여도 되고, 액체를 흡수한 롤러를 도포면에 접촉시켜 액체를 도포하여도 되며, 적당한 도포 수단을 이용할 수 있다. 유리 기판(G) 및 흡착 시트 중 어느 한쪽에 액체를 도포한 후, 흡착 시트(14) 상에 유리 기판(G)이 적재된다.
이렇게 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시키면, 초기의 흡착력도 어느 정도 강하고, 또한 연마 후의 흡착력도 액체를 도포하지 않는 경우와 같이 커지는 일이 없이 박리하기 쉽게 되어 있다.
유리 기판 보유 지지 정반(12) 상의 흡착 시트(14) 상에 적재되어, 흡착 보유 지지된 유리 기판(G)은 연속식 연마 장치(도시 생략)로 연마된 후, 유리 기판 박리 장치(10)의 소정 위치까지 반송된다.
유리 기판(G)이 유리 기판 박리 장치(10)의 소정 위치까지 반송되면, 가이드(24)에 의해 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 지지판(22)이 유리 기판(G) 위까지 이동하고, 소정의 높이까지 강하한다.
그러면, 도시하지 않은 제어 수단에 의해 동작하는 각 에어 실린더(26)의 작용에 의해 흡착 패드(20)가 유리 기판(G)을 향하여 하강하여 유리 기판(G)의 연마면에 접촉한다. 이어서, 제어 수단에 의해, 유리 기판(G)의 단부에 위치하는 흡착 패드(20)를 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜, 도 2에 화살표(Y)로 나타낸 바와 같이 유리 기판(G)을 단부로부터 박리해 간다.
또한, 여기에서는 흡착 패드(20)가 유리 기판(G)을 향하여 하강하였지만, 반대로 유리 기판(G)의 쪽이 흡착 패드(20)를 향하여 이동하여 유리 기판(G)이 흡착 패드(20)에 접촉하여도 된다.
이때, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14) 사이에 액체를 개재시키고 있기 때문에, 유리 기판(G)과 흡착 시트(14)의 흡착력은 그다지 강하지 않아, 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(14)로부터 용이하게 박리할 수 있다.
그리고, 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(14)로부터 완전히 박리하면, 중앙부의 흡착 패드(20)를, 단부의 흡착 패드와 마찬가지로 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜 유리 기판(G) 전체를 흡착 시트(14)로부터 박리한다.
유리 기판(G) 전체를 흡착 시트(14)로부터 박리하면, 가이드(24)에 의해 지지판(22)을 또한 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜, 흡착 패드(20)로 유리 기판(G)을 보유 지지한 채로 다음 공정의 장치로 이동 탑재된다.
이와 같이, 복수의 흡착 패드를 구비한 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)는, 도시하지 않은 제어 수단에 의해 유리 기판(G)에 대하여 접근 또는 이격됨과 함께 유리 기판(G)의 면 내 방향에 있어서 평행 이동되고, 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 박리하여 다음 공정으로 반송한다.
또한, 이상 설명한 것은, 연속식 연마 장치로 연마한 유리 기판을 연속식 연마 장치로부터 반송한 후, 유리 기판 박리 장치(10)로 유리 기판(G)을 흡착 시트(14)로부터 박리한 것이지만, 연마 장치는 연속식의 것에 한정되는 것은 아니다.
도 3에 유리 기판(G)을 1매씩 연마하는 방식인 배치식(낱장식) 연마 장치의 일례를 도시한다.
도 3에 도시하는 낱장식 연마 장치(30)는, 유리 기판(G)을 1매씩 연마하는 장치의 일례이다. 낱장식 연마 장치(30)는, 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하는 흡착 시트(34)를 구비한 유리 기판 보유 지지 정반(32)과, 유리 기판 보유 지지 정반(32)의 상방에 배치된 연마 정반(35)과 그 하면에 설치된 연마 패드(36) 및 연마 정반(35)을 승강 및 요동시키는 요동 기구(38)와, 도시하지 않은 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 회전시키는 회전 기구를 갖고 있다.
유리 기판(G)을 연마할 때에는, 유리 기판 보유 지지 정반(32) 상의 흡착 시트(34)의 유리 기판(G)의 흡착면, 또는 유리 기판(G)의 비연마면에 소정량의 액체를 도포하여, 흡착 시트(34)에 유리 기판(G)을 부착한다. 그리고, 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 회전시키고, 연마 정반(35)을 강하시켜, 연마 패드(36)를 유리 기판(G)의 연마면에 가압하고, 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 회전시키면서 연마 패드(36)를 요동시켜 유리 기판(G)의 연마를 행한다.
또한, 요동을 행하는 경우, 연마 패드(36)를 요동시키지 않고, 유리 기판 보유 지지 정반(32)을 연마 패드(36)에 대하여 요동시켜도 되고, 유리 기판 보유 지지 정반(32) 및 연마 패드(36)의 양쪽을 요동시켜도 된다.
도 4에 다른 낱장식 연마 장치의 예를 도시한다.
도 4에 도시하는 낱장식 연마 장치(70)는 1매의 유리 기판(G)을 연마하는 장치이다.
이 낱장식 연마 장치(70)는, 원기둥 형상의 연마 정반(72) 상에 원형의 연마 패드(74)가, 연마 패드(74)의 중심을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 배치되어 있고, 연마 패드(74)는, 연마 정반(72)에 설치된, 도시하지 않은 모터에 의해 도면 중 화살표(A) 방향으로 회전된다. 연마 패드(74)는 유리 기판(G)의 크기보다 크게 구성되어 있다.
또한, 연마 정반(72)에는 힌지(76)를 개재하여 원반 형상의 유리 기판 보유 지지 정반(78)이, 연마 패드(74)에 대하여 기복 가능하게 구성됨과 함께, 도시하지 않은 요동 구동부에 의해 도면 중 화살표(B) 방향으로 요동된다.
유리 기판 보유 지지 정반(78)의 하면에는, 흡착 시트(80)가 고착되어 있다. 또한, 흡착 시트(80)의 중앙부에는, 직사각 형상의 유리 기판(G)이 흡착 보유 지지되어 있다.
낱장식 연마 장치(70)에 있어서, 유리 기판(G)이 흡착 시트(80)에 도 4와 같이 흡착 보유 지지되면, 유리 기판 보유 지지 정반(78)을 도복시켜 유리 기판(G)을 연마 패드(74)의 표면에 가압 접촉시킨다. 그리고, 연마 패드(74)를 도면 중 화살표(A) 방향으로 회전시킴과 함께, 유리 기판 보유 지지 정반(78)을 도면 중 화살표(B) 방향으로 요동시켜 유리 기판(G)의 연마를 개시한다.
이어서, 도 3에 도시한 바와 같은 낱장식 연마 장치(30)에서의 연마 후의 유리 기판(G)을 박리하는 방법을 설명한다.
도 5에 낱장식 연마 장치(30)에 의해 연마한 후의 유리 기판(G)을 흡착 시트(34)로부터 박리하는 모습을 도시한다.
낱장식 연마 장치(30)에 의해 유리 기판(G)을 연마한 후, 연마 정반(35)은 소정의 퇴피 위치로 퇴피시키고, 그 대신에 도 1의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)와 마찬가지의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(40)를 유리 기판 보유 지지 정반(32) 상의 흡착 시트(34)에 흡착 보유 지지되어 있는 유리 기판(G) 상으로 이동시킨다.
유리 기판 박리 이동 탑재 장치(40)는, 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)와 마찬가지로, 유리 기판(G)을 흡착하는 다수의 흡착 패드(44)를 갖는 지지판(42) 및 지지판(42)을 승강시켜, 다음 공정으로 이동시키기 위한 가이드(48)를 구비하고 있다.
또한, 흡착 패드(44)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 독립의 각 에어 실린더(46)에 의해 각각이 독립적으로 승강 이동 가능하게 되어 있다.
이러한 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(40)에 의해 흡착 시트(34) 상으로부터 유리 기판(G)을 박리하는 경우에는, 도 2에 도시하는 것과 마찬가지로, 모든 흡착 패드(44)를 유리 기판(G)의 연마면에 흡착시킨 후, 우선 유리 기판(G)의 단부의 흡착 패드(44)를 상승시켜, 유리 기판(G)의 단부로부터 박리해 간다.
이 경우에도 유리 기판(G)과 흡착 시트(34) 사이에 액체를 개재시키고 있으므로, 연마 후의 유리 기판(G)과 흡착 시트(34)의 흡착력은 그다지 강하지 않으므로 용이하게 박리할 수 있다.
그리고, 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(34)로부터 완전히 박리하면, 중앙부의 흡착 패드(44)를, 단부의 흡착 패드와 마찬가지로 유리 기판(G)으로부터 이격하도록 상승시켜 유리 기판(G) 전체를 흡착 시트(34)로부터 박리한다.
이어서, 본 발명의 유리 기판 박리 장치의 제2 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 6에 제2 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치(50)의 주요부의 단면도를 도시한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 유리 기판 박리 장치(50)의 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에는 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하기 위한 흡착 시트(54)가 설치되어 있다.
본 실시 형태에서는 흡착 시트(54)에 소정의 구멍(관통 구멍)(56)이 형성되고, 또한 유리 기판 보유 지지 정반(52)에도 흡착 시트(54)와 동일한 배치가 되도록 동일한 직경의 구멍(58)이 형성되어 있다.
이 흡착 시트(54)의 구멍(56)의 비연마면측의 개구면과, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58)의 흡착 시트(54)측의 개구면은 마찬가지로 동일한 배치가 되도록 형성되어 있으며, 흡착 시트(54)를 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에 위치 정렬하여 구멍(56)과 구멍(58)이 연통되어 하나의 구멍이 된다. 그리고, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58) 내에는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 승강 가능한 핀(60)이 배치되어 있다.
또한, 핀(60)의 승강 기구는, 상기 실시 형태와 동일하게 도시하지 않은 제어 수단에 의해 제어된다. 핀(60)의 승강 기구로서는, 예를 들어 잘 알려진 피니언 랙 등의 기계적 기구에 의해 승강시키는 기구나, 공기 등의 기체 혹은 물이나 기름 등의 유체의 압력을 이용하여 승강시키는 기구나, 자기에 의한 척력/인력을 이용하여 승강시키는 기구 등의 공지된 기구를 채용할 수 있다.
이 핀(60)은, 상승하여 유리 기판(G)의 비연마면측으로부터 유리 기판(G)을 위로 밀어올려 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리하기 위한 것이다. 그로 인해, 핀(60)의 선단은 유리 기판(G)의 손상 방지를 위하여 라운딩이 형성되어 있다.
또한, 이 구멍(56, 58) 및 핀(60)의 위치는, 도 6에 도시한 바와 같이 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 부분에 배치하여 유리 기판(G)의 단부로부터 박리하는 것이 바람직하다. 단, 구멍 및 핀의 수는 도 6에 도시한 것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들어 유리 기판(G)의 크기 등에 따라 수를 더 증가시켜도 된다.
도 7에 본 실시 형태의 작용을 도시한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 핀(60)을 도면 중 화살표(C)의 방향으로 상승시키고, 연마가 종료된 유리 기판(G)의 비연마면을 핀(60)에 의해 가압하여 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 들어올려 흡착 시트(54)로부터 박리해 간다.
이때, 핀(60)을 상승시키는 속도는, 전술한 바와 같이 유리 기판(G)은 매우 얇은 것이므로, 유리 기판(G)에 흠집이 생기지 않을 정도로 천천히, 바람직하게는 30mm/초 이하의 속도로 상승시키는 것이 바람직하다.
또한, 이렇게 유리 기판(G)의 비연마면을 핀에 의해 가압하여 유리 기판(G)을 흡착 시트로부터 들어올려 유리 기판(G)을 흡착 시트로부터 박리하는 방법은, 도 1에 도시한 유리 기판 박리 장치(10)에 대해서도 적용할 수 있다.
또한, 핀(60)은, 유리 기판(G)의 비연마면의 단부에 대응하는 부분에만 설치하는 것이 아니라, 유리 기판(G)의 비연마면의 중앙부에 대응하는 부분에도 설치하여도 된다. 중앙부에 대응하는 부분에도 핀(60)을 설치한 경우에는, 먼저 단부에 대응하는 핀(60)을 상승시켜, 유리 기판(G)의 단부를 먼저 흡착 시트(54)로부터 박리시키고, 그 후에 유리 기판(G)의 중앙부에 대응하는 핀(60)을 상승시켜, 유리 기판(G)의 중앙부를 흡착 시트(54)로부터 박리하면 된다.
이어서, 도 4에 도시한 바와 같은 낱장식 연마 장치(70)에서의 연마 후의 유리 기판(G)을 박리하는 방법을 설명한다.
도 8에 본 발명의 제3 실시 형태를 도시한다.
제3 실시 형태는, 도 4에 도시하는 낱장식 연마 장치(70)와 같이, 하측에 연마 패드(74)가 있고 상측의 유리 기판 보유 지지 정반(78)의 흡착 시트(80)에 유리 기판(G)이 흡착 보유 지지되어 있는 경우에, 도 6에 도시한 바와 같은 제2 실시 형태의 핀을 적용하여 유리 기판(G)을 흡착 시트(80)로부터 박리하는 유리 기판 박리 장치(71)이다.
도 8에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(78)의 하면의 흡착 시트(80)에 유리 기판(G)이 흡착 보유 지지되어 있다. 이때, 유리 기판 보유 지지 정반(78) 및 흡착 시트(80)에 소정의 구멍(82)이 복수 형성되어 있다. 그리고, 구멍(82) 내에는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 승강 동작 가능한 핀(84)이 배치되어 있다.
이 핀(84)에 의해 유리 기판(G)의 비연마면을 눌러 유리 기판(G)을 흡착 시트(80)로부터 박리한다.
도 9에 본 실시 형태의 작용을 도시한다.
도 9에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 핀(84)을 도면 중 화살표(D)의 방향으로 강하시켜, 연마가 종료된 유리 기판(G)의 비연마면을 핀(84)에 의해 가압하고, 유리 기판(G)의 비연마면을 흡착 시트(80)로부터 박리해 간다. 이때, 도 9에 도시한 바와 같이 핀(84)이 유리 기판(G)의 단부에 닿도록 배치되어 있으므로, 유리 기판(G)은 그 단부로부터 박리된다.
유리 기판(G)의 비연마면을 핀(84)으로 누르면, 그것이 계기가 되어 유리 기판(G)의 단부가 핀(84)에 의해 박리되고, 유리 기판(G)의 자중에 의해 단부로부터 중앙부를 향하여 박리가 촉진된다. 그 결과, 유리 기판(G) 전체가 흡착 시트(80)로부터 박리되어, 유리 기판(G)이 낙하한다.
이때, 핀(84)을 하강시키는 속도는, 얇은 유리 기판(G)에 흠집이 나지 않을 정도로 천천히, 바람직하게는 30mm/초 이하의 속도로 하강시키는 것이 바람직하다. 또한, 핀(84)으로 유리 기판(G)의 비연마면을 누름과 함께, 이 면에 에어를 분사하여 박리를 촉진시켜도 된다. 또한, 박리하여 낙하해 오는 유리 기판(G)을 수취하는 수단을 유리 기판(G)의 낙하 방향에 배치하여 유리 기판(G)을 수취하고, 다음 공정으로 이동 탑재하는 것이 바람직하다.
또한, 핀(84)은, 유리 기판(G)의 비연마면의 단부에 대응하는 부분에만 설치하는 것이 아니라, 유리판(G)의 비연마면의 중앙부에 대응하는 부분에도 설치하여도 된다. 중앙부에 대응하는 부분에도 핀(84)을 설치한 경우에는, 먼저 단부에 대응하는 부분의 핀(84)을 하강시켜 유리판(G)의 단부를 먼저 흡착 시트(80)로부터 박리시키고, 그 후에 중앙부에 대응하는 부분의 핀(84)을 하강시켜 유리판(G)의 중앙부를 흡착 시트(80)로부터 박리하면 된다.
이어서, 본 발명의 유리 기판 박리 장치의 제4 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 10에 제4 실시 형태에 관한 유리 기판 박리 장치(90)의 주요부의 단면도를 도시한다.
도 10에 도시한 바와 같이, 유리 기판 박리 장치(90)의 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에는 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하기 위한 흡착 시트(54)가 설치되어 있다.
전술한 제2 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태의 흡착 시트(54)에 구멍(관통 구멍)(56)이, 또한 유리 기판 보유 지지 정반(52)에는 구멍(56)과 동일한 직경의 구멍(58)이 형성되어 있다. 이 흡착 시트(54)의 구멍(56)의 비연마면측의 개구면과, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58)의 흡착 시트(54)측의 개구면은 제2 실시 형태와 마찬가지로 동일한 배치가 되도록 형성되어 있으며, 흡착 시트(54)를 유리 기판 보유 지지 정반(52) 상에 위치 정렬하여 구멍(56)과 구멍(58)이 연통되어 하나의 구멍이 된다.
본 실시 형태에서는, 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 흡착 시트(54) 설치면의 대향면인 저면에 형성된 구멍(58)의 개구면에 튜브(62)의 일단부가 접속되어 있고, 튜브(62)의 타단부는 도시하지 않은 에어 펌프(에어 공급 수단)에 접속되어 있다. 에어 펌프는 도시하지 않은 에어 펌프 제어 수단이 접속되고, 에어 펌프 제어 수단에 의해 압력이 제어된 에어가 에어 펌프로부터 구멍(56, 58)에 공급된다.
본 실시 형태는, 이 구멍(56, 58)으로부터 에어를 유리 기판(G)의 비연마면에 분사하여, 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리하는 것이다.
도 11에 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리하는 모습을 도시한다.
연마가 종료된 유리 기판(G)을 흡착 시트(54)로부터 박리할 때에는, 도 11에 도시한 바와 같이, 튜브(62)로부터 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58) 및 흡착 시트(54)의 구멍(56)을 통하여, 유리 기판(G)의 비연마면에 대하여 에어를 분사한다. 이 에어의 압력에 의해, 유리 기판(G)은 흡착 시트(54)로부터 박리된다.
또한, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(52)에 형성한 에어를 분사하는 구멍은 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 부분에 형성하여, 유리 기판(G)을 단부로부터 박리하는 것이 바람직하다. 단, 구멍의 위치나 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 유리 기판(G)의 크기 등에 따라 수를 더 증가시켜도 된다. 또한, 구멍(56, 58)은, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 부분에만 형성하는 것이 아니라 중앙부에도 형성하여도 된다. 중앙부에도 구멍을 형성한 경우에는, 먼저 단부의 구멍으로부터 유리 기판(G)에 대하여 에어를 분사하여 유리 기판(G)의 단부를 먼저 박리시키고, 그 후에 중앙부의 구멍으로부터 에어를 분출하여 중앙부를 박리하면 된다.
또한, 도 12에 도시한 바와 같이, 유리 기판(G)의 비연마면에 에어를 분사함과 함께, 전술한 제1 실시 형태의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)에 설치된 흡착 패드를 함께 사용하여도 된다. 즉, 튜브(62)로부터 공급된 에어를 유리 기판 보유 지지 정반(52)의 구멍(58) 및 흡착 시트(54)의 구멍(56)을 통하여 유리 기판(G)의 비연마면에 분사하여 유리 기판(G)의 단부를 흡착 시트(54)로부터 부상시킴과 함께, 유리 기판(G)의 연마면에 흡착 보유 지지시킨 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 흡착 패드(20)에 의해 유리 기판(G)을 들어올림으로써, 유리 기판(G)을 보다 간단하고 빠르게 흡착 시트(54)로부터 박리할 수 있다.
또한, 물론 도 7에 도시하는 제2 실시 형태에 대해서도 제1 실시 형태의 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)를 조합하여도 된다. 즉, 유리 기판(G)의 비연마면을 핀(60)으로 밀어올림과 함께, 유리 기판(G)의 연마면에 흡착 보유 지지시킨 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 흡착 패드(20)에 의해 유리 기판(G)을 들어올림으로써, 유리 기판(G)을 보다 간단하고 빠르게 흡착 시트(54)로부터 박리할 수 있다.
또한, 이들 실시 형태를 모두 조합하여 유리 기판(G)의 비연마면을 핀으로 밀어올림과 함께, 유리 기판(G)의 비연마면으로부터 에어를 분사하여 유리 기판(G)을 흡착 시트로부터 부상시키고, 또한 유리 기판(G)의 연마면에 흡착 보유 지지시킨 위에서부터 유리 기판 박리 이동 탑재 장치(18)의 흡착 패드(20)에 의해 유리 기판(G)을 들어올려도 된다.
이 경우, 에어를 분출하는 구멍은 핀의 구멍을 이용하여도 되고, 핀의 구멍과는 별도로 구멍을 형성하여도 된다.
또한, 여기에서 상기 각 실시 형태를 조합할 때, 유리 기판(G)을 흡착 시트에 흡착 보유 지지할 때, 유리 기판(G)과 흡착 시트 사이에 물 혹은 다가 알코올 등의 액체를 개재시켜 부착하면 된다. 이렇게 유리 기판(G)과 흡착 시트 사이에 액체를 개재시킴으로써, 당초의 흡착력을 강하게 함과 함께, 연마 후의 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하기 쉬워진다.
또한, 핀의 구멍의 직경 및 에어를 분출하는 구멍의 직경은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 구멍의 직경은 바람직하게는 10mm 이하, 보다 바람직하게는 5mm 이하, 더욱 바람직하게는 1mm 이하, 가장 바람직하게는 0.1mm 이하이다.
핀의 구멍의 직경 및 에어를 분출하는 구멍의 직경이 10mm 이하이면, 핀의 구멍 및 에어를 분출하는 구멍에 있어서, 박판의 유리 기판이 자중에 의해 오목형으로 변형되어 파손될 우려가 없다. 또한, 에어를 분출하는 구멍의 직경이 10mm 이하이면, 에어를 분출하는 압력을 강하게 할 수 있으므로 유리 기판(G)을 박리하기 쉬워진다. 또한, 유리 기판의 두께가 0.7mm 이하, 바람직하게는 0.5mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.3mm 이하, 가장 바람직하게는 0.1mm 이하에 있어서, 오목형의 변형 방지, 에어의 분출 압력 향상의 효과를 발휘한다.
이어서, 본 발명의 제5 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 13에 본 실시 형태의 유리 기판 박리 기구를 도시한다.
도 13에 도시한 바와 같이, 유리 기판 박리 장치(98)의 유리 기판 보유 지지 정반(92) 상에는 유리 기판(G)을 흡착 보유 지지하기 위한 흡착 시트(94)가 설치되고, 물 등의 액체를 개재하여 유리 기판(G)이 흡착 시트(94)에 부착되어 있다. 그리고, 유리 기판 보유 지지 정반(92)에는, 유리 기판 보유 지지 정반(92)을 회전하는 회전 기구(96)가 설치되어 있다.
유리 기판(G)을 흡착 시트(94)로부터 박리할 때에는, 도 14에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(92)에 설치한 회전 기구(96)에 의해 유리 기판 보유 지지 정반(92)을 화살표(E)의 방향으로 회전하여 유리 기판 보유 지지 정반(92)을 상하로 반전시켜, 유리 기판(G)을 유리 기판 보유 지지 정반(92)의 하측으로 한다. 이에 의해, 유리 기판(G)을 화살표(F)의 방향으로 자중에 의해 낙하시켜 흡착 시트(94)로부터 박리시킨다.
이 경우에도, 유리 기판(G)의 비연마면을 유리 기판 보유 지지 정반에 설치한 핀으로 누르거나, 유리 기판(G)의 비연마면에, 유리 기판 보유 지지 정반에 형성한 구멍으로부터 에어를 분사하거나 하여, 유리 기판(G)의 흡착 시트로부터의 박리를 촉진시켜도 된다. 이때, 핀이나 에어는 유리 기판(G)의 단부부터 먼저 대어 유리 기판(G)을 단부부터 먼저 박리시키면 된다. 또한, 흡착 시트(94)로부터 박리되어 떨어지는 유리 기판(G)을 수취하는 수단을 유리 기판(G)의 낙하 방향에 배치하여 유리 기판(G)을 수취한 후, 다음 공정으로 이동 탑재하는 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 각 실시 형태에 있어서는, 흡착 시트에 액체를 개재시켜 유리 기판을 부착하여 고정하기 때문에, 연마한 후에도 유리 기판의 흡착력이 커지지 않는다. 따라서, 유리 기판의 연마면을 흡착 보유 지지하기 위하여 흡착 패드를 사용하거나, 유리 기판의 비연마면을 핀으로 밀어올리거나, 유리 기판의 비연마면으로부터 에어를 분사하거나, 또는 유리 기판과 보유 지지 부재의 위치 관계를 역회전시키기 위하여 상하를 반전시키거나 함으로써 유리 기판을 흡착 시트로부터 안정하게 단시간에 박리할 수 있다.
이상, 본 발명에 관한 유리 기판의 박리 방법 및 유리 기판 박리 장치에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 이상의 예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 개량이나 변형을 행해도 되는 것은 물론이다.
또한, 유리 기판과 흡착 시트의 계면을 향하여 에어(압축 에어) 및 물(고압수) 중 적어도 한쪽을 분사하여도 된다. 이렇게 함으로써, 상기 계면에 박리의 계기를 부여하게 되어 더 박리하기 쉬워진다.
또한, 실시 형태 2 내지 5에 있어서, 박판의 유리 기판을 흡착 시트로부터 박리하는 경우, 핀의 구멍 각도 및 에어를 분출하는 구멍 각도를, 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 유리 기판(G)의 단부에 대응하는 핀의 각도는 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하며, 유리 기판의 중앙부에 대응하는 핀의 각도는 비연마면의 직교 방향에 대하여 평행한 것이 바람직하다.
도 15에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(100)의 유리 기판(G)을 적재하는 흡착 시트(102)를 설치하는 흡착 시트 설치면(100a)의 직교 방향에 대하여 평행하게 형성된 구멍(104)을 따라 바로 위에 핀(106)을 상승시키거나, 혹은 구멍(104)으로부터 에어를 분출한 경우에는, 유리 기판(G)이 국소적으로 휘어 버려 도면에 부호 108로 나타낸 바와 같이 파손될 우려가 있다.
이에 반하여, 도 16에 도시한 바와 같이, 유리 기판 보유 지지 정반(100)의 단부에 있어서는, 단부로부터 유리 기판(G)의 중앙부를 향하도록, 흡착 시트 설치면(100a)의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 구멍(104)을 형성하고, 구멍(104)을 따라 비스듬하게 핀(106)을 상승시키거나 혹은 에어를 분출한다. 또한, 유리 기판 보유 지지 정반(100)의 중앙부에 있어서는 흡착 시트 설치면(100a)의 직교 방향에 평행하게 구멍(104)을 형성하고, 구멍(104)을 따라 바로 위에 핀(106)을 상승시키거나 혹은 에어를 분출한다. 이 경우에는 유리 기판(G)의 단부가 중앙부를 향하여 국소적으로 변형되므로 파손될 우려가 없다.
또한, 유리 기판(G)의 두께가 0.7mm 이하, 바람직하게는 0.5mm 이하, 더욱 바람직하게는 0.3mm 이하, 가장 바람직하게는 0.1mm 이하에 있어서, 국소적인 변형을 방지하는 효과를 발휘한다.
본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 범위와 정신을 일탈하지 않고 여러 가지 수정이나 변경을 가할 수 있는 것은, 당업자에게 있어서 명확하다.
본 출원은 2011년 7월 4일에 출원된 일본 특허 출원 제2011-148552호에 기초하는 것이며, 그의 내용은 여기에 참조로서 포함된다.
10: 유리 기판 박리 장치
12: 유리 기판 보유 지지 정반
14: 흡착 시트
18: 유리 기판 박리 이동 탑재 장치
20: 흡착 패드
22: 지지판
24: 가이드
26: 에어 실린더
30: 낱장식 연마 장치
32: 유리 기판 보유 지지 정반
34: 흡착 시트
35: 연마 정반
36: 연마 패드
38: 요동 기구
40: 유리 기판 박리 이동 탑재 장치
42: 지지판
44: 흡착 패드
50: 유리 기판 박리 장치
52: 유리 기판 보유 지지 정반
54: 흡착 시트
56, 58: 구멍
60: 핀
62: 튜브
70: 낱장식 연마 장치
71: 유리 기판 박리 장치
72: 연마 정반
74: 연마 패드
76: 힌지
78: 유리 기판 보유 지지 정반
80: 흡착 시트
82: 구멍
84: 핀
90: 유리 기판 박리 장치
92: 유리 기판 보유 지지 정반
94: 흡착 시트
96: 회전 기구
98: 유리 기판 박리 장치
100: 유리 기판 보유 지지 정반
100a: 흡착 시트 설치면
102: 흡착 시트
104: 구멍
106: 핀

Claims (13)

  1. 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 유리 기판을 당해 흡착 시트로부터 박리하는 박리 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 박리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
    상기 흡착 시트에 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지된 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 보유 지지하는 복수의 흡착 패드와,
    상기 유리 기판에 대하여 접근 및 이격 중 하나의 동작을 행하도록, 상기 복수의 흡착 패드를 각각 독립적으로 승강 동작시키는 승강 기구와,
    상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리할 때에는, 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단과,
    상기 복수의 흡착 패드 전체를 상기 유리 기판에 대하여 접근 또는 이격시켜, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시키는 흡착 패드 이동 수단
    을 구비하는 유리 기판 박리 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
    상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와,
    상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과,
    상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀과,
    상기 핀을 상기 흡착 시트로부터 돌출되도록 승강 동작시키는 승강 기구와,
    상기 핀을 승강 동작시켜 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리시키도록 상기 승강 기구를 제어하는 제어 수단
    을 구비하는 유리 기판 박리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 유리 기판 박리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
    상기 액체를 개재시켜 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하고, 당해 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역에 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트와,
    상기 흡착 시트를 적재하고, 상기 흡착 시트를 적재하는 영역에 상기 복수의 관통 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반과,
    상기 복수의 구멍 내에 에어를 공급하고, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 상기 에어를 분사하는 에어 공급 수단
    을 구비하는 유리 기판 박리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되는 유리 기판 박리 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 박리 수단은,
    상기 흡착 시트의 상면에 연마한 유리 기판을 상기 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 유리 기판 보유 지지 정반과,
    상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하는 수단
    을 구비하며, 연마 후의 유리 기판을 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 유리 기판 박리 장치.
  8. 유리 기판을 흡착 시트에 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하여 연마한 유리 기판의 상기 흡착 시트와는 반대의 면을 복수의 흡착 패드로 흡착하는 공정과,
    상기 복수의 흡착 패드 중 상기 유리 기판의 단부를 흡착하는 상기 흡착 패드로부터, 서서히 상기 흡착 시트로부터 퇴피하는 방향으로 들어올려, 상기 유리 기판 전체를 상기 흡착 시트로부터 박리시켜 가는 공정과,
    상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 이격시키고, 상기 유리 기판의 면 내 방향으로 평행 이동시켜, 상기 유리 기판을 다음 작업 공정으로 이동 탑재하는 공정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.
  9. 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과,
    상기 복수의 구멍 내에 배치되고, 상기 흡착 시트의 관통 구멍으로부터 돌출되도록 승강 동작하는 핀을 승강 동작시켜, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면을 상기 핀으로 밀어올려 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 상승시키고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 핀을 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 상승시키는 유리 기판의 박리 방법.
  11. 복수의 구멍이 형성된 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된, 상기 복수의 구멍의 개구면과 일치하도록 복수의 관통 구멍이 형성된 흡착 시트에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과,
    상기 복수의 구멍을 통하여, 상기 유리 기판의 상기 흡착 시트로 흡착 보유 지지되어 있는 면에 에어를 분사하여 상기 유리 기판을 밀어올려, 상기 유리 기판을 상기 흡착 시트로부터 박리하는 공정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍 및 상기 복수의 구멍은, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 단부로부터 상기 유리 기판의 중앙부를 향하도록 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 대하여 비스듬하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 유리 기판 보유 지지 정반의 흡착 시트 설치면의 직교 방향에 평행하게 형성되고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 단부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 상기 유리 기판의 중앙부를 향하여 비스듬하게 분사하고, 상기 유리 기판을 흡착 보유 지지하는 영역의 중앙부에 있어서는, 상기 에어를 상기 관통 구멍 및 상기 구멍을 따라 바로 위로 분사하는 유리 기판의 박리 방법.
  13. 유리 기판 보유 지지 정반 상에 적재된 흡착 시트의 상면에, 연마한 유리 기판을 액체를 개재시켜 흡착 보유 지지하는 공정과,
    상기 유리 기판 보유 지지 정반의 상하를 반대로 반전함으로써, 상기 흡착 시트 및 상기 유리 기판의 상하를 반대로 반전하는 공정
    을 구비하며, 상기 유리 기판과 상기 흡착 시트의 상하를 반대로 반전하여, 중력 방향 상방에 상기 흡착 시트, 하방에 상기 유리 기판이 위치하도록 하여, 상기 유리 기판이 자중에 의해 상기 흡착 시트로부터 박리되도록 한 것을 특징으로 하는 유리 기판의 박리 방법.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170001600A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 아사히 가라스 가부시키가이샤 흡착층을 구비한 기판의 곤포 방법 및 흡착층을 구비한 기판의 곤포 장치
KR20180069381A (ko) * 2016-12-15 2018-06-25 세메스 주식회사 반도체 기판을 지지하는 진공척
KR20180106401A (ko) * 2017-03-20 2018-10-01 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치
KR102472563B1 (ko) * 2022-06-28 2022-11-30 주식회사 아라(Ara) 글라스 기판에 부착된 간지를 탈착시키는 시스템 및 이에 포함되는 그리퍼 장치

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI585028B (zh) * 2013-01-30 2017-06-01 斯克林集團公司 剝離裝置及剝離方法
JP2014194541A (ja) * 2013-02-26 2014-10-09 Nippon Electric Glass Co Ltd 電子デバイスの製造方法
JP6080647B2 (ja) * 2013-03-28 2017-02-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 剥離装置
JP5926700B2 (ja) * 2013-04-30 2016-05-25 東京応化工業株式会社 支持体分離装置及び支持体分離方法
CN105377781B (zh) 2013-05-07 2019-04-16 康宁股份有限公司 制备成型玻璃制品的方法和设备
KR101684288B1 (ko) * 2015-12-28 2016-12-08 코리아테크노(주) 웨이퍼 보호용 필름의 분리장치
JP6993099B2 (ja) * 2017-04-27 2022-01-13 株式会社岡本工作機械製作所 チャック装置
KR102354000B1 (ko) * 2017-06-08 2022-01-25 주식회사 제우스 표시부모듈의 리워크장치 및 방법
CN107471107B (zh) * 2017-08-31 2019-06-21 深圳市雄华光学有限公司 一种玻璃磨边机用自动夹持装置
JP7143024B2 (ja) * 2018-08-28 2022-09-28 株式会社ディスコ チャックテーブル及びウェーハの加工方法
KR102560167B1 (ko) 2018-10-04 2023-07-25 코닝 인코포레이티드 디본딩 서포트 장치 및 이를 이용한 디본딩 방법
JP7184621B2 (ja) * 2018-12-12 2022-12-06 株式会社ディスコ 剥離方法
CN113299576B (zh) * 2020-02-21 2022-11-22 济南晶正电子科技有限公司 一种薄膜机械分离装置
KR102608793B1 (ko) * 2020-05-25 2023-12-01 (주)피엔피 초박형 유리블록의 박리 수조
CN114311952B (zh) * 2021-12-16 2022-12-09 珠海市奥德维科技有限公司 膜片剥离平台

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1187477A (ja) * 1997-09-09 1999-03-30 Toshiba Corp 基板の保持装置
JP2002154647A (ja) * 2000-11-15 2002-05-28 Yotaro Hatamura 基板保持具、基板の保持方法および基板保持具を用いた液晶表示素子の製造方法
JP2003330031A (ja) * 2002-05-10 2003-11-19 Seiko Epson Corp 基板保持装置、基板貼り合わせ装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器
JP2005243896A (ja) * 2004-02-26 2005-09-08 Dainippon Printing Co Ltd 処理装置
JP2005353811A (ja) * 2004-06-10 2005-12-22 Dainippon Printing Co Ltd 載置装置、載置台
JP5307970B2 (ja) * 2006-01-11 2013-10-02 旭硝子株式会社 大型ガラス基板の剥離方法及びその装置
WO2008129989A1 (ja) * 2007-04-19 2008-10-30 Ulvac, Inc. 基板保持機構およびこれを備えた基板組立装置
JP2009182256A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板の処理装置および基板の処理方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170001600A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 아사히 가라스 가부시키가이샤 흡착층을 구비한 기판의 곤포 방법 및 흡착층을 구비한 기판의 곤포 장치
KR20180069381A (ko) * 2016-12-15 2018-06-25 세메스 주식회사 반도체 기판을 지지하는 진공척
KR20180106401A (ko) * 2017-03-20 2018-10-01 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치
KR102472563B1 (ko) * 2022-06-28 2022-11-30 주식회사 아라(Ara) 글라스 기판에 부착된 간지를 탈착시키는 시스템 및 이에 포함되는 그리퍼 장치

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