KR20150064656A - 판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법 - Google Patents

판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법 Download PDF

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KR20150064656A
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요시타카 안도
히데유키 엔도
사토시 츠지
시게노리 오타
다츠히코 가이
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명에 의하면, 박리된 판상체의 곡률을 작게 하고 단시간에 박리할 수 있는 판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 박리 장치(10)는 박리 전에 있어서, 모든 흡착 패드(22)를 제1 가압력에 의하여 흡착 시트(18)로부터 이격하는 방향으로 가압한다. 이로 인하여, 고압 유체(30)가 계면에 공급되어 계면의 접착력이 제1 가압력보다 저하된 시점에서, 그 개소에 대응하는 흡착 패드(22)가 흡착 시트(18)로부터 이격되는 방향으로 이동한다. 이것에 의하여, 유리판 G가 즉시 점차 박리되어 간다. 따라서, 박리 중인 유리판 G의 곡률이 작아지고, 또한 단시간에 박리를 실행할 수 있다.

Description

판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법{METHOD FOR SEPARATING PLATE-LIKE BODY, DEVICE THEREOF AND METHOD FOR PRODUCING PLATE-LIKE BODY}
본 발명은 판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 흡착 시트에 이면이 흡착 보유 지지된 유리판(판상체)을 복수의 흡착 패드(흡착 수단)와 고압 유체(유체)를 사용하여, 흡착 시트로부터 박리시키는 박리 장치가 개시되어 있다. 이 박리 장치는, 연마 장치에 의하여 연마된 유리판을 흡착 시트로부터 박리시키고, 이동 탑재기에 의하여 세정 장치로 반송하는 것이다.
상기 연마 장치에 있어서의 유리판은, 유리판과 흡착 시트의 흡착성 향상을 위하여 사용되는 액체를 개재하여 흡착 시트에 흡착 보유 지지된 상태에서 연마구에 의하여 연마된다. 연마된 유리판은, 흡착 시트에 흡착 보유 지지된 상태에서 연마 장치로부터 반출되고, 박리 장치에 의하여 흡착 시트로부터 박리된다.
특허문헌 1의 박리 장치는, 유리판의 표면을 복수의 흡착 패드에 의하여 흡착 보유 지지하고, 그 후 유리판과 흡착 시트의 계면을 향하여 고압 유체를 분출하여, 유리판의 테두리부를 흡착 시트로부터 이격시킨다. 그리고, 이격된 유리판의 테두리부와 흡착 시트의 계면에 상기 고압 유체를 더 공급하여, 흡착 시트에 대한 유리판의 흡착을 점차 해제하면서, 흡착 패드를 박리 방향(흡착 시트로부터 이격되는 방향)으로 점차 이동시킨다. 이것에 의하여, 흡착 시트로부터 유리판을 박리시킨다.
특허문헌 1의 박리 장치는, 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키는 타이밍이 흡착 패드마다 이동 제어되어 있다. 즉, 복수의 흡착 패드는, 박리된 개소로부터 순서대로 박리 방향으로 이동하도록 흡착 패드마다 이동 제어되어 있다. 구체적으로는, 우선 유리판의 코너부를 흡착 보유 지지하는 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 다음으로 유리판의 테두리부를 흡착 보유 지지하는 복수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시키고, 이어서 유리판의 중앙을 흡착 보유 지지하는 복수 또는 단수의 흡착 패드를 박리 방향으로 이동시킨다. 즉, 특허문헌 1의 흡착 패드는, 유리판의 최외부에 배치된 복수의 흡착 패드부터 중앙에 배치된 흡착 패드의 순으로 박리 방향으로 점차 이동된다.
일본 특허 공개 제2007-185725호 공보
특허문헌 1의 박리 장치는, 고압 유체에 의하여 유리판과 흡착 시트의 흡착을 해제하지만, 흡착 시트로부터의 유리판의 박리는, 복수의 흡착 패드의 박리 방향으로의 이동 동작에 의존하고 있다. 즉, 고압 유체에 의하여 상기 흡착을 해제하는 동작에 대하여 흡착 패드의 상기 이동 동작이 지연되는 경우가 있으므로, 흡착 시트로부터 유리판을 완전히 박리하기까지 시간이 걸린다는 문제가 있었다.
도 7은, 특허문헌 1의 흡착 패드의 이동 제어에 의한 문제점을 설명한 주요부 측면도이다.
또한 도 7에서는, 최외부에 배치된 흡착 패드(1)만이 화살표 Z 방향으로 상승 이동되어, 유리판 G의 최외부가 흡착 시트(2)로부터 박리되어 있는 상태가 도시되어 있다. 이때, 도시하지 않은 고압 유체에 의하여, 흡착 패드(1)에 인접하는 흡착 패드(1A)의 위치까지 박리가 진행되어 있음에도 불구하고, 흡착 패드(1)만이 상승하면, 흡착 시트로부터 박리된 유리판의 곡률이 커지기 때문에, 유리판이 흡착 패드(1A)의 근방에서 손상되는 경우가 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 박리된 판상체의 곡률을 작게 하고 단시간에 박리할 수 있는 판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 판상체 박리 방법의 일 실시 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지된 판상체의 표면을, 복수의 흡착 수단에 의하여 흡착 보유 지지하는 보유 지지 공정과, 상기 복수의 흡착 수단을 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 가압 수단에 의하여 제1 가압력으로 가압하는 가압 공정과, 상기 판상체와 상기 판상체 보유 지지 부재의 계면을 향하여 유체를 유체 분사 수단으로부터 분사함으로써, 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 상기 판상체를 박리시키는 박리 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 판상체 박리 장치의 일 실시 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지된 판상체의 표면을 흡착 보유 지지하는 복수의 흡착 수단과, 상기 복수의 흡착 수단을 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 제1 가압력에 의하여 가압하는 가압 수단과, 상기 판상체와 상기 판상체 보유 지지 부재의 계면을 향하여 유체를 분사하는 유체 분사 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 판상체 제조 방법의 일 실시 형태는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지되어 있는 판상체를, 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 박리시키는 판상체의 박리 공정을 갖는 판상체의 제조 방법에 있어서, 상기 박리 공정은, 상기 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지된 상기 판상체의 표면을, 복수의 흡착 수단에 의하여 흡착 보유 지지하는 보유 지지 공정과, 상기 복수의 흡착 수단을 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 가압 수단에 의하여 제1 가압력으로 가압하는 가압 공정과, 상기 판상체와 상기 판상체 보유 지지 부재의 계면을 향하여 유체를 유체 분사 수단으로부터 분사함으로써, 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 상기 판상체를 박리시키는 박리 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 유체 분사 수단으로부터 유체를 분사하기 전에, 모든 흡착 수단을 제1 가압력에 의하여 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 가압하고 있다. 이로 인하여, 유체가 계면에 공급되어 계면의 접착력이 제1 가압력보다 저하된 시점에서, 그 개소에 대응하는 흡착 수단이 판상체 보유 지지 부재로부터 이격되는 방향으로 이동한다. 이것에 의하여, 판상체가 즉시 점차 박리되어 간다. 따라서, 박리가 흡착 수단의 이동 동작에 의존하는 종래의 박리 방법 및 박리 장치와 비교하여, 박리 중의 판상체의 곡률이 작아지고, 또한 단시간에 박리를 실행할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태는, 상기 가압 공정에 있어서, 상기 제1 가압력은, 상기 판상체의 이면이 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 박리되지 않는 힘으로 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 가압 수단에 의한 상기 제1 가압력은, 상기 판상체의 이면이 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 박리되지 않는 힘으로 설정되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 판상체의 이면이 판상체 보유 지지 부재로부터 박리되지 않는 힘으로 제1 가압력이 설정되어 있으므로, 판상체의 유체로의 박리 시에 단시간에 박리할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태는, 상기 박리 공정에 있어서, 상기 가압 수단에 의한 가압력은, 상기 유체를 분사하면서 상기 제1 가압력으로부터, 상기 제1 가압력보다 큰 제2 가압력으로 점차 증대되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 제1 가압력에 의하여 박리 불가능한 개소가 존재했을 경우에도, 그 개소는 제2 가압력에 의하여 박리되므로, 판상체를 판상체 보유 지지 부재로부터 확실하게 박리시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태는, 상기 가압 수단에 의한 가압력은, 상기 판상체의 표면의 최외부에 배치된 복수의 흡착 수단으로부터 중앙에 배치된 복수 또는 단수의 흡착 수단의 순으로, 상기 제1 가압력으로부터 상기 제2 가압력으로 점차 증대되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 판상체가 판상체 보유 지지 부재에 대하여 점차 박리되어 가는 개소를 따라, 그 개소에 대응하는 흡착 수단의 가압력이 제1 가압력으로부터 제2 가압력으로 점차 증대되어 간다. 이것에 의하여, 흡착 수단으로부터 판상체에 무리한 힘을 가하지 않고, 판상체를 판상체 보유 지지 부재로부터 확실하고도 원활하게 박리시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 판상체 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법에 의하면, 박리 중인 판상체의 곡률이 작아지고, 또한 단시간에 박리를 실행할 수 있다.
도 1은 실시 형태의 유리판의 박리 장치의 전체 구성을 도시한 평면도.
도 2는 도 1에 도시한 박리 장치의 전체 사시도.
도 3은 도 1에 도시한 박리 장치의 평면도.
도 4는 도 2의 4-4 선을 따르는 종단면도.
도 5는 박리 장치의 동작에 의하여 유리판이 흡착 시트로부터 박리되는 상태를 시계열적으로 도시한 설명도.
도 6은 박리 장치의 동작에 의하여 유리판이 흡착 시트로부터 박리되는 상태를 시계열적으로 도시한 설명도.
도 7은 특허문헌 1의 흡착 패드의 이동 제어에 의한 문제점을 설명한 주요부 측면도.
이하, 첨부 도면에 따라 본 발명에 따른 판상체의 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법의 바람직한 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 1은, 실시 형태의 유리판의 박리 장치(10)의 전체 구성을 도시한 평면도이다.
박리 장치(10)는, 박리 장치(10)에 대하여 상류측에 설치된 유리판 G의 연마 장치(12)와, 하류측에 설치된 세정 장치(14)를 접속시키기 위한 장치이다.
실시 형태에서 설명하는 유리판 G는, 플라즈마 디스플레이, 액정 디스플레이 및 유기 EL 디스플레이 등의 FPD(Flat Panel Display)에 사용되는, 두께가 얇은(0.1 내지 2.5㎜) 유리판이다. 또한 유리판은, 연마 장치(12)에 의하여 연마면(표면)이 연마됨으로써, FPD용 유리판으로서 요구되는 평탄도를 충족시킨 유리판 G로 제조된다. 또한 유리판 G의 형상은 직사각형이며, 크기로서는 제5 세대(세로 1000㎜×가로 1200㎜ 내지 세로 1100㎜×가로 1300㎜), 제6 세대(세로 1500㎜×가로 1800㎜ 내지 세로 1500㎜×가로 1850㎜), 제7 세대(세로 1870㎜×가로 2200㎜ 내지 세로 1950㎜×가로 2250㎜), 제8 세대(세로 2160㎜×가로 2460㎜ 내지 세로 2200㎜×가로 2500㎜)의 것을 예시할 수 있다.
연마 장치(12)에 의하여 표면이 연마된 유리판 G는, 표면에 대향하는 비연마면(이면)이, 연마 테이블(16)의 상면에 접착된 흡착 시트(판상체 보유 지지 부재)(18)에 흡착 보유 지지된 상태에서, 연마 장치(12)의 출구로부터 1매씩 화살표 A 방향으로 반출되어, 박리 장치(10)에 의한 박리 스테이지(20)로, 도시하지 않은 반송 장치에 의하여 반입된다.
유리판 G는, 흡착 시트(18)에 대하여 유리판 G의 대향하는 2개의 짧은 변이, 화살표 A로 나타낸 유리판 G의 반송 방향과 평행해지도록 흡착 시트(18)에 흡착 보유 지지되지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 유리판 G의 대향하는 2개의 긴 변이, 화살표 A로 나타낸 유리판 G의 반송 방향과 평행해지도록 흡착 시트(18)에 흡착 보유 지지되어도 된다.
흡착 시트(18)는 자기 흡착성이 있는 다공질 부재인데, 글리세린 등의 액체가 그 표면에 도포되어, 유리판 G와의 흡착성이 높여져 있다. 도 1에서는, 1매의 흡착 시트(18)에 1매의 유리판 G가 흡착 보유 지지되어 있지만, 2매 이상의 유리판 G를 흡착 보유 지지해도 된다. 또한, 다공질 부재의 재료는 특별히 한정되지 않으며, 폴리우레탄, 폴리염화비닐, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리프로필렌이 예시된다. 또한 액체로서 글리세린을 예시했지만, 이에 한정되지 않으며, 물, 글리세린을 포함하는 다가 알코올(글리세린, 폴리에틸렌글리콜, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜 등) 및 물과 다가 알코올의 혼합물이 예시된다.
한편, 박리 스테이지(20)에, 예를 들어 3장의 유리판 G가 반입되면, 그 3장의 유리판 G가, 후술하는 박리 장치(10)에 의하여 박리된다. 이것에 의하여, 유리판 G가 흡착 시트(18)로부터 박리된다.
이후, 3장의 유리판 G는, 박리 장치(10)의 반출 동작에 의하여 세정 장치(14)를 향하여 화살표 B 방향으로 반송된다. 세정 장치(14)에 있어서 유리판 G는, 세정된 후 도시하지 않은 다음 공정으로 반송된다.
또한, 박리 스테이지(20)에 남은 3대의 연마 테이블(16)은, 다음 유리판 G가 박리 스테이지(20)로 반송되어 오기까지 도시하지 않은 회수 장치에 의하여 회수된다. 이상이 박리 장치(10)에 있어서의 유리판 G의 흐름이다.
〔박리 장치(10)의 구성〕
도 2는 박리 장치(10)의 전체 사시도, 도 3은 박리 장치(10)의 평면도, 도 4는 도 2의 4-4 선을 따르는 종단면도이다.
박리 장치(10)는, 복수의 흡착 패드(흡착 수단)(22)를 구비한 이동 탑재 장치(24) 및 복수 개의 노즐(유체 분사 수단)(26)을 구비한 고압 유체 공급 장치(28)로 구성된다. 이동 탑재 장치(24)는, 박리된 유리 기판 G를 세정 장치(14)로 반송한다.
박리 스테이지(20)로 반송된 유리판 G는, 이동 탑재 장치(24)의 복수의 흡착 패드(22)에 흡착되어 흡착 시트(18)로부터 박리된 후, 흡착 패드(22)에 흡착 보유 지지된 상태에서, 이동 탑재 장치(24)에 의하여 세정 장치(14)로 반송된다.
고압 유체 공급 장치(28)는, 박리 스테이지(20)로 반송된 유리판 G의 대향하는 짧은 변에 대향하여 배치되며, 각각의 고압 유체 공급 장치(28)의 복수의 노즐(26)의 짧은 변을 따라 소정의 간격을 두고 배치된다. 또한, 고압 유체 공급 장치(28)를 유리판 G의 대향하는 긴 변에 대향하여 배치해도 된다.
노즐(26)로부터 유리판 G의 짧은 변을 향하여 분사되는 고압 유체(유체)(30)는, 고압 유체 공급 장치(28)를 구성하는 펌프(32)에 의하여 0.1 내지 0.5㎫의 압력으로 설정된다. 고압 유체(30)의 유체는, 기체, 액체, 또는 기체와 액체의 혼합물이며, 상기 압력으로 분사된다. 여기서 기체의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 공기, 질소 및 산소가 예시된다. 또한 액체로서는 물이 예시된다.
노즐(26)에 의한 고압 유체(30)의 분사 각도는, 고압 유체(30)의 압력이 유리판 G와 흡착 시트(18)의 계면에 유효하게 작용하도록, 수평한 유리판 G의 이면에 대하여 0 내지 40°의 범위, 바람직하게는 30°로 설정된다. 또한, 노즐(26)에 상하 틸팅 기구를 설치하여, 고압 유체(30)의 분사 중에 유리판 G가 흡착 시트(18)로부터 박리되어 감에 따라, 유리판 G와 흡착 시트(18)의 접착 경계부에 고압 유체(30)가 닿도록, 노즐(26)의 경사 각도를 조정하는 것이 바람직하다.
흡착 패드(22)는, 도 2와 같이 유리판 G의 상방에 복수 개 배치되며, 유리판 G의 표면에 있어서 대략 균등한 간격으로 배치된다. 이 흡착 패드(22)는, 이동 탑재 장치(24)를 구성하는 프레임(34)에 바둑판 눈형(check pattern)으로 배치된다. 프레임(34)은 이동 탑재 장치(24)를 구성하는, 도시하지 않은 이동 기구부에 의하여 유리판 G의 박리 시에 하강 이동되며, 흡착 패드(22)가 유리판 G의 표면에 접촉하기 직전의 타이밍에 그 하강 이동이 정지된다.
흡착 패드(22)는 각각 독립된 에어 실린더(가압 수단)(36)의 피스톤(38)에 연결되며, 그 피스톤(38)의 신축 동작에 의하여 흡착 패드(22)가 승강 이동된다. 흡착 패드(22)의 하강 동작에 의하여, 흡착 패드(22)가 유리판 G의 표면에 가압 접촉되어 흡착 패드(22)에 유리판 G가 흡착된다. 또한, 흡착 패드(22)의 상승 동작에 의하여, 흡착 시트(18)로부터 흡착 패드(22)를 이격시키는 방향의 가압력(제1 가압력, 제2 가압력)을 흡착 패드(22)에 부여할 수 있다.
여기서 제1 가압력이란, 박리 전(前) 단계에서 에어 실린더(36)로부터 모든 흡착 패드(22)에 부여하는 가압력(biasing force)으로서, 유리판 G의 이면이 흡착 시트(18)로부터 박리되지 않는 힘으로 설정된 가압력이다. 또한 제2 가압력이란, 박리 중에 에어 실린더(36)로부터 흡착 패드(22)에 부여하는 가압력으로서, 제1 가압력보다 크고, 또한 유리판 G의 이면을 흡착 시트(18)로부터 확실하게 박리시키는 힘으로 설정된 가압력이다. 또한 상기 확실하게 박리시키는 힘이란, 노즐(26)로부터 접착 계면부에 고압 유체(30)를 분사하고 있는 상태에 있어서, 유리판 G를 흡착 시트(18)로부터 확실하게 박리시키는 힘이다.
제1 가압력을 흡착 패드(22)에 부여할 때는, 모든 흡착 패드(22)를 에어 실린더(36)에 의하여 일제히 상승 동작시킨다.
또한 제2 가압력을 흡착 패드(22)에 부여할 때는, 유리판 G의 표면의 최외부에 배치된 복수의 흡착 패드(22)부터 중앙에 배치된 복수 또는 단수의 흡착 패드(22)의 순으로, 흡착 패드(22)를 에어 실린더(36)에 의하여 점차 상승 동작시킨다.
구체적으로 설명하면, 도 3의 평면도에 있어서 실시 형태의 흡착 수단은, 8행 6열의 총 48개의 흡착 패드(22)를 포함하는 집합체로서 구성된다. 그 집합체 중, 최상측 행의 6개의 패드 군(22A)과 최하측 행의 6개의 패드 군(22B)에 동시에 제2 가압력을 부여하고, 그 후 패드 군(22A)의 하측 행의 6개의 패드 군(22C)과 패드 군(22B)의 상측 행의 6개의 패드 군(22D)에 동시에 제2 가압력을 부여한다. 그 후, 패드 군(22C)의 하측 행의 6개의 패드 군(22E)과 패드 군(22D)의 상측 행의 6개의 패드 군(22F)에 동시에 제2 가압력을 부여하고, 그 후 패드 군(22E)의 하측 행의 6개의 패드 군(22G)과 패드 군(22F)의 상측 행의 6개의 패드 군(22H)에 동시에 제2 가압력을 부여한다.
제2 가압력을 부여하기 위한 흡착 패드의 상승 동작의 타이밍은, 고압 유체(30)에 의한 박리 타이밍에 기초하여 설정된 것이다.
또한 실시 형태에서는, 유리판 G의 중앙에 배치된 패드 군(22G, 22H)의 12개의 흡착 패드(22)를 마지막에 동시에 상승 이동시키고 있지만, 흡착 패드(22)가 유리판 G의 중앙을 중심으로 하여 동심원 상에 배치된 형태에서는, 유리판 G의 중앙에 배치된 1개의 흡착 패드(22)를 마지막에 상승 이동시킨다.
〔박리 장치(10)의 작용〕
도 5의 (a) 내지 도 5의 (d) 및 도 6의 (e) 내지 도 6의 (g)에는, 박리 장치(10)의 동작에 의하여 유리판 G가 흡착 시트(18)로부터 박리되는 상태가 시계열적으로 도시되어 있다.
우선, 흡착 시트(18)에 흡착된 유리판 G가 박리 스테이지(20)로 반송되어 정지되면, 이동 탑재 장치(24)의 프레임(34)이 하강 이동해 간다. 그리고, 흡착 패드(22)가 유리판 G의 표면에 접촉하기 직전의 타이밍에 그 하강 이동이 정지된다.
다음으로 도 5의 (a)와 같이, 모든 에어 실린더(36)의 피스톤(38)을 신장하여, 흡착 패드(22)를 화살표 C와 같이 하강 이동시켜, 흡착 패드(22)를 유리판 G의 표면에 가압 접촉한다. 이것에 의하여, 모든 흡착 패드(22)에 의하여 유리판 G가 흡착 보유 지지된다(보유 지지 공정).
다음으로 도 5의 (b)의 화살표 D와 같이, 모든 흡착 패드(22)를 에어 실린더(36)에 의하여 일제히 소정량 상승 동작시켜, 모든 흡착 패드(22)에 제1 가압력을 부여한다(가압 공정).
이후, 모든 노즐(26)로부터 유리판 G의 대향하는 짧은 변을 향하여 고압 유체(30)를 분사하고, 고압 유체(30)의 압력에 의하여 짧은 변의 테두리부를 이격시켜, 유리판 G와 흡착 시트(18)의 계면에 고압 유체(30)를 공급해 간다(박리 공정).
실시 형태의 박리 장치(10)는, 고압 유체(30)를 분사하기 전에, 모든 흡착 패드(22)를 제1 가압력에 의하여 흡착 시트(18)로부터 이격하는 방향으로 가압하고 있다. 이로 인하여, 고압 유체(30)가 계면에 공급되어 계면의 접착력이 제1 가압력보다 저하된 시점에서, 그 개소에 대응하는 흡착 패드(22)가 흡착 시트(18)로부터 이격되는 방향으로 이동하므로, 유리판 G가 즉시 점차 박리되어 간다(도 5의 (c), 도 5의 (d), 도 6의 (e) 내지 도 6의 (f) 참조). 이것에 의하여, 유리판의 박리가 흡착 패드의 이동 동작에 의존하는 종래의 박리 방법 및 박리 장치(도 7 참조)와 비교하여, 박리 중인 유리판 G의 곡률이 작아지고(도 5의 (c), 도 5의 (d), 도 6의 (e) 내지 도 6의 (f) 참조), 또한 단시간에 박리를 실행할 수 있다.
또한 실시 형태의 박리 장치(10)에 의하면, 제1 가압력은, 유리판 G의 이면이 흡착 시트(18)로부터 박리되지 않는 힘으로 설정되는 것이 바람직하다.
유리판 G의 이면이 흡착 시트(18)로부터 박리되지 않는 힘으로 제1 가압력이 설정되어 있으므로, 유리판 G의 유체로의 박리 시에 유리판 G를 단시간에 박리할 수 있다.
또한 실시 형태의 박리 장치에 의하면, 에어 실린더(36)에 의한 가압력은, 고압 유체(30)를 분사하면서 화살표 D로 나타낸 상승 동작에 의한 제1 가압력으로부터, 제1 가압력보다 큰, 화살표 E로 나타내는 상승 동작에 의한 제2 가압력으로 점차 증대되는 것이 바람직하다(도 5의 (c), 도 5의 (d), 도 6의 (e) 내지 도 6의 (f) 참조).
이것에 의하여, 제1 가압력에 의하여 박리 불가능한 개소가 유리판 G에 존재했을 경우에도, 그 개소는 제2 가압력에 의하여 박리되므로, 유리판 G는 흡착 시트(18)로부터 확실하게 박리된다.
또한 실시 형태의 박리 장치(10)에 의하면, 에어 실린더(36)에 의한 가압력은, 도 3에서 설명한 바와 같이 유리판 G의 표면의 최외부에 배치된 패드 군(22A, 22B)으로부터, 패드 군(22C, 22D) 및 패드 군(22E, 22F)을 거쳐 중앙에 배치된 패드 군(22G, 22H)의 순으로, 제1 가압력으로부터 제2 가압력으로 점차 증대되는 것이 바람직하다.
이것에 의하여, 유리판 G가 흡착 시트(18)에 대하여 점차 박리되어 가는 개소를 따라, 그 개소에 대응하는 패드 군의 가압력이 제1 가압력으로부터 제2 가압력으로 점차 증대되어 간다. 따라서, 흡착 패드(22)로부터 유리판 G에 무리한 힘을 가하지 않고, 유리판 G를 흡착 시트(18)로부터 확실하고도 원활하게 박리시킬 수 있다.
흡착 시트(18)로부터 박리된 유리판 G는, 도 6의 (g)에 도시한 프레임(34)의 화살표 F의 상승 이동 동작 및 그 후에 행해지는 수평 이동 동작에 의하여 세정 장치(14)로 반송된다.
또한 실시 형태의 박리 장치(10)는, 연마 장치(12)를 통과한 유리판 G를 그 상태에서 흡착 시트(18)로부터 박리시키는 장치이지만, 박리 장치(10)와 연마 장치(12) 사이에, 유리판 G의 테두리부를 흡착 시트(18)로부터 박리시키는 사전 박리 장치를 설치해도 된다.
즉, 사전 박리 장치에 의하여, 유리판 G와 흡착 시트(18)의 계면을 향하여 고압 유체를 분출하여, 유리판 G의 테두리부를 흡착 시트(18)로부터 박리시켜도 된다. 이것에 의하여, 박리 장치(10)에 있어서 작업 시간의 단축을 도모할 수 있고, 또한 유리판 G가 흡착 시트(18)에 대하여 보다 안정되게 박리된다.
〔실시예 및 비교예〕
<조건>
《실시예의 박리 방법》
·제1 가압력을 모든 흡착 패드(22)에 부여하였다.
·제2 가압력은 중앙에 배치된 패드 군(22G, 22H)에 부여하였다.
《비교예의 박리 방법》
·특허문헌 1과 마찬가지로 하였다.
《유리판의 크기》
·제8 세대: 2200㎜×2500㎜, 두께 0.5㎜
《유리판의 박리 매수》
·소정 매수
<기타 조건>
·고압 유체의 압력 등의 기타 조건은, 실시예, 비교예 모두 동일한 조건으로 하였다.
<결과>
Figure pat00001
상기와 같이 실시예에 의하면, 비교예와 비교하여 파손율이 대폭 감소(83％)되고, 박리 시간도 단축(60％)할 수 있었다.
본 발명을 상세하게, 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 여러 변형이나 수정을 가할 수 있음은, 당업자에게 있어 명확하다.
본 출원은, 2013년 12월 3일에 출원된 일본 특허 출원 제2013-249935호에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.
실시 형태에서는, 박리 대상의 판상체로서 유리판 G를 예시했지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 금속제 또는 수지제의 판상체이어도 본 발명의 판상체 박리 방법, 그 장치 및 판상체의 제조 방법을 적용할 수 있다.
10: 박리 장치
12: 연마 장치
14: 세정 장치
16: 연마 테이블
18: 흡착 시트
20: 박리 스테이지
22: 흡착 패드
24: 이동 탑재 장치
26: 노즐
28: 고압 유체 공급 장치
30: 고압 유체
32: 펌프
34: 프레임
36: 에어 실린더
38: 피스톤

Claims (6)

  1. 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지된 판상체의 표면을, 복수의 흡착 수단에 의하여 흡착 보유 지지하는 보유 지지 공정과,
    상기 복수의 흡착 수단을 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 가압 수단에 의하여 제1 가압력으로 가압하는 가압 공정과,
    상기 판상체와 상기 판상체 보유 지지 부재의 계면을 향하여 유체를 유체 분사 수단으로부터 분사함으로써, 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 상기 판상체를 박리시키는 박리 공정
    을 구비한 것을 특징으로 하는, 판상체의 박리 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가압 공정에 있어서, 상기 제1 가압력은, 상기 판상체의 이면이 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 박리되지 않는 힘으로 설정되는, 판상체의 박리 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 박리 공정에 있어서, 상기 가압 수단에 의한 가압력은, 상기 유체를 분사하면서 상기 제1 가압력으로부터, 상기 제1 가압력보다 큰 제2 가압력으로 점차 증대되는, 판상체의 박리 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가압 수단에 의한 가압력은, 상기 판상체의 표면의 최외부에 배치된 복수의 흡착 수단으로부터 중앙에 배치된 복수 또는 단수의 흡착 수단의 순으로, 상기 제1 가압력으로부터 상기 제2 가압력으로 점차 증대되는, 판상체의 박리 방법.
  5. 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지된 판상체의 표면을 흡착 보유 지지하는 복수의 흡착 수단과,
    상기 복수의 흡착 수단을 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 제1 가압력에 의하여 가압하는 가압 수단과,
    상기 판상체와 상기 판상체 보유 지지 부재의 계면을 향하여 유체를 분사하는 유체 분사 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는, 판상체의 박리 장치.
  6. 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지되어 있는 판상체를, 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 박리시키는 판상체의 박리 공정을 갖는 판상체의 제조 방법에 있어서,
    상기 박리 공정은,
    상기 판상체 보유 지지 부재에 이면이 보유 지지된 상기 판상체의 표면을, 복수의 흡착 수단에 의하여 흡착 보유 지지하는 보유 지지 공정과,
    상기 복수의 흡착 수단을 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 이격하는 방향으로 가압 수단에 의하여 제1 가압력으로 가압하는 가압 공정과,
    상기 판상체와 상기 판상체 보유 지지 부재의 계면을 향하여 유체를 유체 분사 수단으로부터 분사함으로써, 상기 판상체 보유 지지 부재로부터 상기 판상체를 박리시키는 박리 공정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는, 판상체의 제조 방법.
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