KR20130140382A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 구동 기어로부터 전달되는 구동력에 의해 샤프트를 회전시킴으로써 기판을 이송시키는 피동 기어를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 피동 기어는 상기 샤프트를 수용하는 수용홈을 가지면서 상기 자성체는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체; 상기 자성체의 회전 운동이 원활하도록 상기 자성체의 둘레에 배치되는 베어링; 및 상기 베어링과 상기 자성체를 일체 구조로 형성하는 홀더를 구비하고, 그리고 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비된다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 챔버 내부에 구비되는 피동 기어를 구비하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서는 대면적 기판을 사용한다. 이에, 언급한 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서는 롤러가 결합되는 샤프트를 구비하는 이송 장치를 사용하여 대면적 기판을 이송한다. 그리고 언급한 이송 장치에 대한 일 예는 본 출원인이 대한민국 특허청에 2009년 11월 25일자 출원번호 10-2009-114759호로 출원하고, 2012년 2월 21일자 등록번호 10-1121188호로 등록받은 '기판 이송용 마그네틱 기어'(이하, '인용 문헌'이라 함) 등에 개시되어 있다.
언급한 인용 문헌에 개시된 기판 이송 장치는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 챔버 내부에 구비되는 피동 기어를 포함한다. 그리고 구동 기어 및 피동 기어 각각은 자성체로 구비된다. 이에, 구동부와 연결된 구동 기어로부터 전달되는 구동력(자력)에 의해 피동 기어에 연결되는 샤프트가 회전함에 따라 기판이 이송하는 것이다. 여기서, 종래의 기판 이송 장치는 피동 기어를 챔버의 일측벽에 고정되게 구비하고, 더불어 피동 기어의 회전력이 원활하도록 베이링을 피동 기어의 전단에 구비한다. 또한, 언급한 베어링을 지지하기 위한 지지 부재가 별도로 구비된다.
이에, 언급한 종래의 기판 이송 장치는 베어링 및 지지 부재의 배치를 위한 별도 공간을 챔버 내에 마련해야 하기 때문에 그 크기가 더욱 커져야 하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 크기를 축소시킬 수 있을 뿐만 아니라 베어링 및 지지 부재가 차지하는 공간을 생략함으로써 샤프트의 길이까지도 축소시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 구동 기어로부터 전달되는 구동력에 의해 샤프트를 회전시킴으로써 기판을 이송시키는 피동 기어를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 피동 기어는 상기 샤프트를 수용하는 수용홈을 가지면서 상기 자성체는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체; 상기 자성체의 회전 운동이 원활하도록 상기 자성체의 둘레에 배치되는 베어링; 및 상기 베어링과 상기 자성체를 일체 구조로 형성하는 홀더를 구비하고, 그리고 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비된다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 피동 기어는 상기 홀더가 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비된다.
언급한 본 발명의 기판 이송 장치는 자성체 및 베어링이 일체 구조를 갖는 피동 기어를 구비할 수 있다. 이에, 본 발명에서의 기판 이송 장치는 베어링 및 베어링을 지지하는 지지 부재가 자치하는 공간을 생략할 수 있다.
따라서 본 발명의 기판 이송 장치는 그 크기를 축소시킬 수 있다. 이에, 대면적 기판을 대상으로 하기 때문에 다소 큰 크기를 갖는 기판 이송 장치에 보다 적극적으로 적용할 수 있다. 아울러, 베어링 및 베어링을 지지하는 지지 부재가 자치하는 공간을 생략할 수 있기 때문에 샤프트의 길이까지도 축소시킬 수 있고, 그 결과 샤프트에 가해지는 하중을 보다 줄일 수 있어 대면적 기판의 효율적인 이송을 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 피동 기어를 나타내는 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 피동 기어를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 주로 평판 디스플레이 소자로 제조하기 위한 대면적 기판(21)을 이송하는 것으로써, 구동 기어(13) 및 피동 기어(15)를 포함한다. 특히, 언급한 구동 기어(13) 및 피동 기어(15) 각각은 비접촉 방식에 의해 구동력을 전달할 수 있도록 자성체를 구비할 수 있다.
언급한 기판 이송 장치(100)에서, 구동 기어(13)는 챔버(11) 외부에 구비될 수 있다. 그리고 도시하지는 않았지만, 구동 기어(13)는 구동력을 전달하기 위한 구동부와 연결될 수 있다. 또한, 구동 기어(13)는 언급한 바와 같이 자성체로 구비될 수 있는데, 특히 N극과 S극이 교대로 배치될 수 있도록 구비된다. 아울러, 구동 기어(13)는 원형 구조를 가지기 때문에 구동부에 의해 회전하도록 배치된다.
피동 기어(15)는 챔버(11) 내부에 구비될 수 있다. 그리고 피동 기어(15)는 샤프트(17)를 수용하는 수용홈(151)을 가질 수 있다. 이에, 피동 기어(15)에 사프트(17)의 일단이 수용됨으로써 샤프트(17)에 놓여지는 기판(21)은 샤프트(17)의 회전에 의해 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다. 여기서, 언급한 피동 기어(15) 및 샤프트(17)는 챔버(11) 내부에 일정 간격 마다 복수개가 구비될 수 있다. 또한, 피동 기어(15)에 일단이 수용되는 사프트(17)에는 기판(21) 이면과 접촉하는 롤러(19)가 구비될 수 있다. 이때, 언급한 롤러(19)는 사프트(17) 각각에 일정 간격 마다 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 샤프트(17)가 회전함에 따라 롤러(19)도 함께 회전함으로써 롤러(19)와 접촉하는 기판(11)이 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다.
여기서, 언급한 피동 기어(15)의 경우에도 자성체(153)로 구비될 수 있고, 특히 N극과 S극이 교대로 배치될 수 있도록 구비된다. 아울러, 피동 기어(15)도 원형 구조를 가지기 때문에 회전하도록 배치된다. 그리고 언급한 구동 기어(13)와 피동 기어(15)는 챔버(11)의 벽체(11a)를 기준으로 챔버(11) 외부 및 챔버(11) 내부에서 서로 마주하도록 구비될 수 있다. 또한, 구동 기어(13) 및 피동 기어(15) 각각이 서로 마주보도록 구비될 수도 있고, 이와 달리 어느 하나의 피동 기어(15)에만 구동 기어(13)가 마주보도록 구비될 수도 있다. 이와 같이, 어느 하나의 피동 기어(15)에만 구동 기어(13)가 마주보도록 구비될 경우에는 풀리(도시되지 않음), 아이들 기어(도시되지 않음) 등을 사용하여 피동 기어(15) 사이를 연결함으로써 피동 기어(15) 전체를 구동시킬 수 있다.
따라서 챔버(11) 외부에 구비되는 구동 기어(13)가 구동부에 의해 회전하고, 구동 기어(13)와 마주하게 구비되는 피동 기어(15)는 구동 기어(13)와의 자성력에 의해 회전하게 되고, 그리고 피동 기어(15)에 일단이 수용된 샤프트(17)가 회전함에 따라 기판(21)이 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다.
본 발명의 기판 이송 장치(100)에서, 피동 기어(15)는 언급한 바와 같이 샤프트(17)를 수용하는 수용홈(151)을 가질 수 있다. 아울러, 피동 기어(15)는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체(153)를 구비할 수 있다. 특히, 본 발명에서의 피동 기어(15)는 자성체(153)의 둘레에 베어링(155) 및 홀더(157)를 구비할 수 있다. 즉, 언급한 피동 기어(15)는 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비할 수 있는 것이다. 다시 말해, 피동 기어(15)는 자성체(153)의 둘레에 배치되는 베어링(155) 및 자성체(153)와 베어링(155)을 일체 구조로 형성하는 홀더(157)를 구비할 수 있는 것이다. 이에, 본 발명에서의 피동 기어(15)는 베어링(155)이 자성체(153)의 둘레에 배치됨으로써 기판(21)의 이송을 위한 피동 기어(15)의 회전시 베어링(155)이 자성체(153)의 회전 운동을 원활하게 할 수 있고, 그 결과 기판(21)의 이송을 위한 샤프트(17)의 회전 운동까지도 원활하게 할 수 있다.
또한, 언급한 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비하는 피동 기어(15)는 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비할 수 있다. 즉, 본 발명에서의 피동 기어(15)는 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비할 수 있기 때문에 피동 기어(15) 자체를 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비할 수 있는 것이다. 이때, 언급한 피동 기어(15)는 홀더(157)가 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것이 효율적이다. 이는, 피동 기어(15) 중에 자성체(153) 및 베어링(155)이 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비될 경우 피동 기어(15)의 회전에 지장을 끼칠 수 있기 때문이다. 따라서 본 발명에서는 언급한 바와 같이 홀더(157)를 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비하고, 자성체(153) 및 베어링(155)은 챔버(11) 내부의 일측벽과 다소 이격되게 구비하는 것이다. 이때, 자성체(153) 및 베어링(155)은 홀더(157)에 의해 지지되기 때문에 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체로 구비하는 피동 기어(15)가 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것이로 이해할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명에서의 기판 이송 장치(100)는 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비하고, 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되게 구비시킴으로써 종래의 베어링(155)이 차지하는 공간을 생락할 수 있다. 이에, 샤프트(17)의 길이를 다소 축소시킬 수 있다. 또한, 베어링(155)이 차지하는 공간을 생략하기 때문에 기판 이송 장치(100) 자체의 크기까지도 축소시킬 수 있다.
본 발명의 기판 이송 장치는 기판 이송 장치 자체의 그 크기를 축소시킬 수 있기 때문에 평판 디스플레이 소자의 제조를 위한 생산 공간까지도 축소시킬 수 있다. 아울러, 본 발명의 기판 이송 장치는 샤프트의 길이를 축소시킴으로써 대면적 기판을 효율적으로 이송할 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성의 향상까지 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 챔버 13 : 구동 기어
15 : 피동 기어 17 : 샤프트
19 : 롤러 21 : 기판
100 : 기판 이송 장치 151 : 수용홈
153 : 자성체 155 : 베어링
157 : 홀더

Claims (2)

  1. 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 구동 기어로부터 전달되는 구동력에 의해 샤프트를 회전시킴으로써 기판을 이송시키는 피동 기어를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서,
    상기 피동 기어는 상기 샤프트를 수용하는 수용홈을 가지면서 상기 자성체는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체; 상기 자성체의 회전 운동이 원활하도록 상기 자성체의 둘레에 배치되는 베어링; 및 상기 베어링과 상기 자성체를 일체 구조로 형성하는 홀더를 구비하고, 그리고 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 피동 기어는 상기 홀더가 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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