KR20130140382A - Apparatus for transferring substrate - Google Patents

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KR20130140382A
KR20130140382A KR1020120063719A KR20120063719A KR20130140382A KR 20130140382 A KR20130140382 A KR 20130140382A KR 1020120063719 A KR1020120063719 A KR 1020120063719A KR 20120063719 A KR20120063719 A KR 20120063719A KR 20130140382 A KR20130140382 A KR 20130140382A
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KR1020120063719A
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최동민
이상준
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세메스 주식회사
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Abstract

A device for transferring substrates includes: a driving gear formed at the outer part of a chamber; and a driven gear formed inside the chamber and transferring the substrates by rotating a shaft by driving force delivered from the driving gear. A circular magnetic body in which the driven gear has an accommodation groove for accommodating the shaft and north pole and south pole are alternately arranged; a bearing arranged around the magnetic body in order for the magnetic body to be smoothly rotated; and a holder for forming the bearing and the magnetic body in an integrated structure. The device is formed to be fixed at one side wall inside the chamber.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrate}[0001] Apparatus for transferring substrate [0002]

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 챔버 내부에 구비되는 피동 기어를 구비하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus having a drive gear provided outside the chamber and a driven gear provided inside the chamber.

일반적으로 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서는 대면적 기판을 사용한다. 이에, 언급한 평판 디스플레이 소자 등과 같은 제조에서는 롤러가 결합되는 샤프트를 구비하는 이송 장치를 사용하여 대면적 기판을 이송한다. 그리고 언급한 이송 장치에 대한 일 예는 본 출원인이 대한민국 특허청에 2009년 11월 25일자 출원번호 10-2009-114759호로 출원하고, 2012년 2월 21일자 등록번호 10-1121188호로 등록받은 '기판 이송용 마그네틱 기어'(이하, '인용 문헌'이라 함) 등에 개시되어 있다.In general, large-area substrates are used in manufacturing, such as flat panel display devices. Thus, in the manufacture of the aforementioned flat panel display elements and the like, a large area substrate is transferred using a transfer device having a shaft to which rollers are coupled. An example of the transfer device mentioned above is a 'substrate transfer' filed by the applicant of the Korean Patent Office with the application number 10-2009-114759 dated November 25, 2009 and registered with the registration number 10-1121188 dated February 21, 2012. Magnetic gears (hereinafter referred to as 'quoting documents') and the like.

언급한 인용 문헌에 개시된 기판 이송 장치는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 챔버 내부에 구비되는 피동 기어를 포함한다. 그리고 구동 기어 및 피동 기어 각각은 자성체로 구비된다. 이에, 구동부와 연결된 구동 기어로부터 전달되는 구동력(자력)에 의해 피동 기어에 연결되는 샤프트가 회전함에 따라 기판이 이송하는 것이다. 여기서, 종래의 기판 이송 장치는 피동 기어를 챔버의 일측벽에 고정되게 구비하고, 더불어 피동 기어의 회전력이 원활하도록 베이링을 피동 기어의 전단에 구비한다. 또한, 언급한 베어링을 지지하기 위한 지지 부재가 별도로 구비된다.The substrate transfer apparatus disclosed in the cited reference includes a drive gear provided outside the chamber and a driven gear provided inside the chamber. Each of the drive gear and the driven gear is provided with a magnetic material. Accordingly, the substrate is transferred as the shaft connected to the driven gear is rotated by the driving force (magnetic force) transmitted from the driving gear connected to the driving unit. Here, the conventional substrate transfer apparatus is provided with a driven gear to be fixed to one side wall of the chamber, and further includes a bearing at the front end of the driven gear to smooth the rotational force of the driven gear. In addition, a supporting member for supporting the aforementioned bearing is provided separately.

이에, 언급한 종래의 기판 이송 장치는 베어링 및 지지 부재의 배치를 위한 별도 공간을 챔버 내에 마련해야 하기 때문에 그 크기가 더욱 커져야 하는 문제점이 있다.Thus, the conventional substrate transfer apparatus mentioned above has a problem that the size of the conventional substrate transfer apparatus must be further increased because a separate space for arranging the bearing and the supporting member must be provided in the chamber.

본 발명의 목적은 크기를 축소시킬 수 있을 뿐만 아니라 베어링 및 지지 부재가 차지하는 공간을 생략함으로써 샤프트의 길이까지도 축소시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of reducing the size and reducing the length of the shaft by omitting the space occupied by the bearing and the support member.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 구동 기어로부터 전달되는 구동력에 의해 샤프트를 회전시킴으로써 기판을 이송시키는 피동 기어를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서, 상기 피동 기어는 상기 샤프트를 수용하는 수용홈을 가지면서 상기 자성체는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체; 상기 자성체의 회전 운동이 원활하도록 상기 자성체의 둘레에 배치되는 베어링; 및 상기 베어링과 상기 자성체를 일체 구조로 형성하는 홀더를 구비하고, 그리고 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비된다.The substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above-mentioned object is transferred to the substrate by rotating the shaft by a drive gear provided outside the chamber and the chamber, the driving force transmitted from the drive gear A substrate transfer apparatus comprising a driven gear, wherein the driven gear has a receiving groove for receiving the shaft, and the magnetic body has a circular structure in which N poles and S poles are alternately disposed; A bearing disposed around the magnetic body to facilitate rotational movement of the magnetic body; And a holder for forming the bearing and the magnetic body in an integral structure, and fixed to one side wall of the chamber.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 피동 기어는 상기 홀더가 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비된다.In the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention mentioned above, the driven gear is provided such that the holder is fixed to one side wall inside the chamber.

언급한 본 발명의 기판 이송 장치는 자성체 및 베어링이 일체 구조를 갖는 피동 기어를 구비할 수 있다. 이에, 본 발명에서의 기판 이송 장치는 베어링 및 베어링을 지지하는 지지 부재가 자치하는 공간을 생략할 수 있다.The substrate transfer apparatus of the present invention mentioned may have a driven gear in which the magnetic body and the bearing have an integral structure. Therefore, the substrate transfer apparatus in the present invention can omit a space in which the bearing and the support member for supporting the bearing autonomize.

따라서 본 발명의 기판 이송 장치는 그 크기를 축소시킬 수 있다. 이에, 대면적 기판을 대상으로 하기 때문에 다소 큰 크기를 갖는 기판 이송 장치에 보다 적극적으로 적용할 수 있다. 아울러, 베어링 및 베어링을 지지하는 지지 부재가 자치하는 공간을 생략할 수 있기 때문에 샤프트의 길이까지도 축소시킬 수 있고, 그 결과 샤프트에 가해지는 하중을 보다 줄일 수 있어 대면적 기판의 효율적인 이송을 기대할 수 있다.Therefore, the substrate transfer apparatus of the present invention can reduce its size. Therefore, since a large area substrate is targeted, it can be more actively applied to a substrate transfer device having a rather large size. In addition, since the bearing and the support member for supporting the bearing can be omitted, the length of the shaft can be reduced, and as a result, the load on the shaft can be further reduced, so that an efficient transfer of a large area substrate can be expected. have.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 피동 기어를 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic block diagram showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a driven gear included in the substrate transfer device of FIG. 1. FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar components. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

실시예Example

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 피동 기어를 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic configuration diagram showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic diagram showing a driven gear provided in the substrate transfer apparatus of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 주로 평판 디스플레이 소자로 제조하기 위한 대면적 기판(21)을 이송하는 것으로써, 구동 기어(13) 및 피동 기어(15)를 포함한다. 특히, 언급한 구동 기어(13) 및 피동 기어(15) 각각은 비접촉 방식에 의해 구동력을 전달할 수 있도록 자성체를 구비할 수 있다.1 and 2, the substrate transfer apparatus 100 mainly transfers a large area substrate 21 for manufacturing into a flat panel display element, and includes a drive gear 13 and a driven gear 15. . In particular, each of the aforementioned drive gear 13 and driven gear 15 may be provided with a magnetic material so as to transmit the driving force by a non-contact method.

언급한 기판 이송 장치(100)에서, 구동 기어(13)는 챔버(11) 외부에 구비될 수 있다. 그리고 도시하지는 않았지만, 구동 기어(13)는 구동력을 전달하기 위한 구동부와 연결될 수 있다. 또한, 구동 기어(13)는 언급한 바와 같이 자성체로 구비될 수 있는데, 특히 N극과 S극이 교대로 배치될 수 있도록 구비된다. 아울러, 구동 기어(13)는 원형 구조를 가지기 때문에 구동부에 의해 회전하도록 배치된다.In the substrate transfer apparatus 100 mentioned above, the drive gear 13 may be provided outside the chamber 11. Although not shown, the driving gear 13 may be connected to a driving unit for transmitting a driving force. In addition, the drive gear 13 may be provided as a magnetic material as mentioned, in particular, the N pole and the S pole are provided so that they can be arranged alternately. In addition, since the drive gear 13 has a circular structure, it is arranged to rotate by the drive unit.

피동 기어(15)는 챔버(11) 내부에 구비될 수 있다. 그리고 피동 기어(15)는 샤프트(17)를 수용하는 수용홈(151)을 가질 수 있다. 이에, 피동 기어(15)에 사프트(17)의 일단이 수용됨으로써 샤프트(17)에 놓여지는 기판(21)은 샤프트(17)의 회전에 의해 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다. 여기서, 언급한 피동 기어(15) 및 샤프트(17)는 챔버(11) 내부에 일정 간격 마다 복수개가 구비될 수 있다. 또한, 피동 기어(15)에 일단이 수용되는 사프트(17)에는 기판(21) 이면과 접촉하는 롤러(19)가 구비될 수 있다. 이때, 언급한 롤러(19)는 사프트(17) 각각에 일정 간격 마다 복수개가 구비될 수 있다. 이에, 샤프트(17)가 회전함에 따라 롤러(19)도 함께 회전함으로써 롤러(19)와 접촉하는 기판(11)이 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다.The driven gear 15 may be provided inside the chamber 11. The driven gear 15 may have a receiving groove 151 for receiving the shaft 17. Thus, one end of the shaft 17 is accommodated in the driven gear 15 so that the substrate 21 placed on the shaft 17 can be transferred along the transfer path by the rotation of the shaft 17. Here, the driven gear 15 and the shaft 17 may be provided in plural at regular intervals in the chamber 11. In addition, the shaft 17 having one end accommodated in the driven gear 15 may be provided with a roller 19 in contact with the back surface of the substrate 21. In this case, a plurality of the rollers 19 mentioned above may be provided in each shaft 17 at predetermined intervals. Accordingly, as the shaft 17 rotates, the roller 19 also rotates together so that the substrate 11 in contact with the roller 19 can be transferred along the transfer path.

여기서, 언급한 피동 기어(15)의 경우에도 자성체(153)로 구비될 수 있고, 특히 N극과 S극이 교대로 배치될 수 있도록 구비된다. 아울러, 피동 기어(15)도 원형 구조를 가지기 때문에 회전하도록 배치된다. 그리고 언급한 구동 기어(13)와 피동 기어(15)는 챔버(11)의 벽체(11a)를 기준으로 챔버(11) 외부 및 챔버(11) 내부에서 서로 마주하도록 구비될 수 있다. 또한, 구동 기어(13) 및 피동 기어(15) 각각이 서로 마주보도록 구비될 수도 있고, 이와 달리 어느 하나의 피동 기어(15)에만 구동 기어(13)가 마주보도록 구비될 수도 있다. 이와 같이, 어느 하나의 피동 기어(15)에만 구동 기어(13)가 마주보도록 구비될 경우에는 풀리(도시되지 않음), 아이들 기어(도시되지 않음) 등을 사용하여 피동 기어(15) 사이를 연결함으로써 피동 기어(15) 전체를 구동시킬 수 있다.Here, the aforementioned driven gear 15 may also be provided as a magnetic material 153, and in particular, the N pole and the S pole may be alternately arranged. In addition, since the driven gear 15 also has a circular structure, it is arranged to rotate. The driving gear 13 and the driven gear 15 mentioned above may be provided to face each other outside the chamber 11 and inside the chamber 11 based on the wall 11a of the chamber 11. In addition, each of the driving gear 13 and the driven gear 15 may be provided to face each other, or alternatively, the driving gear 13 may be provided to face only one of the driven gear 15. As such, when only one of the driven gears 15 is provided such that the driving gears 13 face each other, the pulleys (not shown) and idle gears (not shown) are used to connect the driven gears 15. As a result, the driven gear 15 as a whole can be driven.

따라서 챔버(11) 외부에 구비되는 구동 기어(13)가 구동부에 의해 회전하고, 구동 기어(13)와 마주하게 구비되는 피동 기어(15)는 구동 기어(13)와의 자성력에 의해 회전하게 되고, 그리고 피동 기어(15)에 일단이 수용된 샤프트(17)가 회전함에 따라 기판(21)이 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다.Therefore, the drive gear 13 provided outside the chamber 11 rotates by the drive unit, and the driven gear 15 provided to face the drive gear 13 rotates by magnetic force with the drive gear 13. And, as the shaft 17, one end of which is accommodated in the driven gear 15 is rotated, the substrate 21 can transfer along the transfer path.

본 발명의 기판 이송 장치(100)에서, 피동 기어(15)는 언급한 바와 같이 샤프트(17)를 수용하는 수용홈(151)을 가질 수 있다. 아울러, 피동 기어(15)는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체(153)를 구비할 수 있다. 특히, 본 발명에서의 피동 기어(15)는 자성체(153)의 둘레에 베어링(155) 및 홀더(157)를 구비할 수 있다. 즉, 언급한 피동 기어(15)는 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비할 수 있는 것이다. 다시 말해, 피동 기어(15)는 자성체(153)의 둘레에 배치되는 베어링(155) 및 자성체(153)와 베어링(155)을 일체 구조로 형성하는 홀더(157)를 구비할 수 있는 것이다. 이에, 본 발명에서의 피동 기어(15)는 베어링(155)이 자성체(153)의 둘레에 배치됨으로써 기판(21)의 이송을 위한 피동 기어(15)의 회전시 베어링(155)이 자성체(153)의 회전 운동을 원활하게 할 수 있고, 그 결과 기판(21)의 이송을 위한 샤프트(17)의 회전 운동까지도 원활하게 할 수 있다.In the substrate transfer apparatus 100 of the present invention, the driven gear 15 may have a receiving groove 151 for receiving the shaft 17 as mentioned. In addition, the driven gear 15 may include a magnetic body 153 having a circular structure in which the N pole and the S pole are alternately disposed. In particular, the driven gear 15 in the present invention may include a bearing 155 and a holder 157 around the magnetic body 153. That is, the driven gear 15 mentioned above can be provided with the magnetic body 153 and the bearing 155 in an integrated structure. In other words, the driven gear 15 may include a bearing 155 disposed around the magnetic body 153 and a holder 157 which forms the magnetic body 153 and the bearing 155 in an integral structure. Accordingly, in the driven gear 15 according to the present invention, the bearing 155 is disposed around the magnetic body 153, so that the bearing 155 is the magnetic body 153 when the driven gear 15 is rotated for the transfer of the substrate 21. ) Can be smoothly rotated, and as a result, it is possible to smoothly even rotate the shaft 17 for the transfer of the substrate 21.

또한, 언급한 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비하는 피동 기어(15)는 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비할 수 있다. 즉, 본 발명에서의 피동 기어(15)는 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비할 수 있기 때문에 피동 기어(15) 자체를 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비할 수 있는 것이다. 이때, 언급한 피동 기어(15)는 홀더(157)가 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것이 효율적이다. 이는, 피동 기어(15) 중에 자성체(153) 및 베어링(155)이 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비될 경우 피동 기어(15)의 회전에 지장을 끼칠 수 있기 때문이다. 따라서 본 발명에서는 언급한 바와 같이 홀더(157)를 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비하고, 자성체(153) 및 베어링(155)은 챔버(11) 내부의 일측벽과 다소 이격되게 구비하는 것이다. 이때, 자성체(153) 및 베어링(155)은 홀더(157)에 의해 지지되기 때문에 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체로 구비하는 피동 기어(15)가 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것이로 이해할 수 있다.In addition, the driven gear 15 including the aforementioned magnetic body 153 and the bearing 155 as an integral structure may be provided to be fixed to one side wall of the chamber 11. That is, the driven gear 15 in the present invention can be provided with the magnetic body 153 and the bearing 155 in an integral structure, so that the driven gear 15 itself is provided to be fixed to one side wall inside the chamber 11. It can be. At this time, it is efficient that the driven gear 15 is provided such that the holder 157 is fixed to one side wall of the chamber 11. This is because, when the magnetic body 153 and the bearing 155 are provided to be fixed to one side wall of the chamber 11 in the driven gear 15, it may interfere with the rotation of the driven gear 15. Accordingly, in the present invention, as mentioned above, the holder 157 is provided to be fixed to one side wall of the chamber 11, and the magnetic body 153 and the bearing 155 are provided to be spaced somewhat from one side wall of the chamber 11. It is. At this time, since the magnetic body 153 and the bearing 155 are supported by the holder 157, the driven gear 15 having the magnetic body 153 and the bearing 155 integrally is provided on one side wall of the chamber 11. It can be understood as being provided to be fixed.

언급한 바와 같이, 본 발명에서의 기판 이송 장치(100)는 자성체(153) 및 베어링(155)을 일체 구조로 구비하고, 챔버(11) 내부의 일측벽에 고정되게 구비시킴으로써 종래의 베어링(155)이 차지하는 공간을 생락할 수 있다. 이에, 샤프트(17)의 길이를 다소 축소시킬 수 있다. 또한, 베어링(155)이 차지하는 공간을 생략하기 때문에 기판 이송 장치(100) 자체의 크기까지도 축소시킬 수 있다.As mentioned, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention includes the magnetic body 153 and the bearing 155 in an integral structure, and is fixed to one side wall of the chamber 11 to fix the conventional bearing 155. The space occupied by) can be lost. Thus, the length of the shaft 17 can be somewhat reduced. In addition, since the space occupied by the bearing 155 may be omitted, the size of the substrate transfer device 100 itself may be reduced.

본 발명의 기판 이송 장치는 기판 이송 장치 자체의 그 크기를 축소시킬 수 있기 때문에 평판 디스플레이 소자의 제조를 위한 생산 공간까지도 축소시킬 수 있다. 아울러, 본 발명의 기판 이송 장치는 샤프트의 길이를 축소시킴으로써 대면적 기판을 효율적으로 이송할 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성의 향상까지 기대할 수 있다.Since the substrate transfer apparatus of the present invention can reduce the size of the substrate transfer apparatus itself, it is possible to reduce the production space for manufacturing flat panel display elements. In addition, the substrate transport apparatus of the present invention can efficiently transport a large area substrate by reducing the length of the shaft, and as a result, an improvement in productivity due to the manufacture of a flat panel display element can be expected.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 챔버 13 : 구동 기어
15 : 피동 기어 17 : 샤프트
19 : 롤러 21 : 기판
100 : 기판 이송 장치 151 : 수용홈
153 : 자성체 155 : 베어링
157 : 홀더11: chamber 13: drive gear
15: driven gear 17: shaft
19: roller 21: substrate
100: substrate transfer device 151: receiving groove
153: magnetic material 155: bearing
157: Holder

Claims (2)

챔버 외부에 구비되는 구동 기어 및 상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 구동 기어로부터 전달되는 구동력에 의해 샤프트를 회전시킴으로써 기판을 이송시키는 피동 기어를 포함하는 기판 이송 장치에 있어서,
상기 피동 기어는 상기 샤프트를 수용하는 수용홈을 가지면서 상기 자성체는 N극과 S극이 교대로 배치되는 원형 구조의 자성체; 상기 자성체의 회전 운동이 원활하도록 상기 자성체의 둘레에 배치되는 베어링; 및 상기 베어링과 상기 자성체를 일체 구조로 형성하는 홀더를 구비하고, 그리고 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.A substrate transfer apparatus including a drive gear provided outside the chamber and a driven gear provided inside the chamber, the driven gear transferring the substrate by rotating the shaft by a driving force transmitted from the drive gear,
Wherein the driven gear has a receiving groove for receiving the shaft while the magnetic material is a magnetic body of a circular structure in which the N pole and the S pole are alternately arranged; A bearing disposed around the magnetic body to facilitate rotational movement of the magnetic body; And a holder for forming the bearing and the magnetic body in an integrated structure, and fixed to one side wall of the chamber. 제1항에 있어서, 상기 피동 기어는 상기 홀더가 상기 챔버 내부의 일측벽에 고정되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The substrate transfer apparatus of claim 1, wherein the driven gear is provided such that the holder is fixed to one side wall of the chamber.
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