KR100767038B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

이송 상태를 최대한 안정시킬 수 있는 기판 이송 장치가 제공된다. 상기 기판 이송 장치는 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 베스, 베스의 측벽을 사이에 두고 설치된 제1 마그네틱 유닛과, 제1 마그네틱 유닛에 의해 동작하는 제2 마그네틱 유닛을 포함하고, 제1 및 제2 마그네틱 유닛은 각각 내륜과, 내륜을 둘러싸는 외륜과, 내륜과 외륜 사이에 설치된 제1 볼과, 내륜에 설치된 마그네틱을 포함한다.

베어링, 마그네틱, 고정 하우징, 편심

Description

기판 이송 장치{Glass substrate carrier}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.

도 2는 도 1의 II 부분의 확대 단면도이다.

도 3은 도 1의 제2 마그네틱 유닛의 평면도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

100 : 회전 유닛 110 : 이송 샤프트

112 : 롤러 120 : 구동 샤프트

210, 220 : 제1 및 제2 마그네틱 유닛

211. 221 : 내륜 212, 222 : 외륜

213, 223 : 제1 볼 214, 224 : 마그네틱

215, 225 : 제2 볼 216, 226 : 고정 하우징

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마그네틱을 이용하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.

이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 그런데, 기판은 각각의 베스 내에서 기판 이송 장치에 의해서 이송되면서 상기 각각의 공정이 진행되는데, 예를 들어, 기판은 기판 이송 장치에 의해 이송되면서 식각액에 의해 습식 식각되거나, 세정액에 의해 세정되게 된다.

한편, 기판 이송 장치는 통상적으로 회전력을 제공하는 구동 유닛과, 상기 구동 유닛에 의해 회전하고 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치된 다수의 이송 샤프트를 포함한다. 그런데, 구동 유닛은 베스의 외부에 위치하고, 이송 샤프트는 베스의 내부에 위치하게 된다.

구동 유닛과 이송 샤프트를 서로 연결하는 방식으로는 여러가지가 있는데, 예를 들어, 구동 유닛으로부터 이송 샤프트에 회전력을 전달하기 위한 구동 샤프트를 베스의 측벽을 관통하여 설치하고, 관통된 베스의 측벽을 실링 처리하여 베스의 기밀 상태를 유지할 수 있다. 또는, 베스의 측벽을 사이에 두고 설치된 마그네틱 유닛들에 의해 구동 유닛으로부터 이송 샤프트로 회전력을 전달할 수 있다. 전자의 방법은, 구동 샤프트의 지속적인 회전에 의해 마모가 발생할 수 있고 이로 인해 먼지 등의 이물질이 베스 내의 작업 공간에 유입되어 공정 효율을 저하시킬 수 있으므로, 최근에는 후자의 방법을 주로 사용한다.

그런데, 후자의 방법의 경우에도, 마그네틱의 인력으로 인해 이송 샤프트를 지지하는 베어링을 파손될 수도 있고, 마그네틱의 레벨 조정에 의해서 편심 회전을 할 수도 있다. 따라서, 마그네틱을 이용한 기판 이송 장치 역시 전술한 바와 같은 문제를 해결해야 한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 이송 상태를 최대한 안정시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 베스, 베스의 측벽을 사이에 두고 설치된 제1 마그네틱 유닛과, 제1 마그네틱 유닛에 의해 동작하는 제2 마그네틱 유닛을 포함하고, 제1 및 제2 마그네틱 유닛은 각각 내륜과, 내륜을 둘러싸는 외륜과, 내륜과 외륜 사이에 설치된 제1 볼과, 내륜에 설치된 마그네틱을 포함한다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1의 II 부분의 확대 단면도이다. 도 3은 도 1의 제2 마그네틱 유닛의 평면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 베스(10)의 내부에 일정 간격으로 배치되는 다수의 이송 샤프트(110)를 포함하는데, 각 이송 샤프트(110)에는 기판(S)을 지지하며 이를 이송하는 다수의 롤러(112)가 축 방향을 따라 설치된다. 또한, 베스(10)의 외부에는 상기 이송 샤프트(110)에 회전력을 제공하기 위한 구동 유닛(140)이 배치된다.

베스(10)의 측벽을 사이에 두고 설치된 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220) 에 의해 구동 유닛(140)의 회전력이 이송 샤프트(110)에 제공된다. 구체적으로, 각 제1 마그네틱 유닛(210)에는 구동 샤프트(120)가 삽입되어 있고, 구동 샤프트(120)는 체인 또는 벨트(130)에 의해 상호 연결되어 있고, 각 제2 마그네틱 유닛(220)에는 이송 샤프트(110)가 삽입되어 있다. 따라서, 구동 유닛(140)이 동작하면, 회전력이 벨트(130)에 의해 각 구동 샤프트(120)에 전달되고, 구동 샤프트(120)가 회전함에 따라 제1 마그네틱 유닛(210)이 회전하게 된다. 제1 마그네틱 유닛(210)이 회전하면, 인력에 의해 제2 마그네틱 유닛(220)도 동시에 회전하게 되므로, 이송 샤프트(110)도 회전하게 된다.

한편, 본 발명의 일 실시예에서, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)은 베어링 타입으로 구현한다. 구체적으로, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)은 각각 내륜(211, 221)과, 내륜을 둘러싸는 외륜(212, 222)과, 내륜(211, 221)과 외륜(212, 222) 사이에 설치된 제1 볼(213, 223)과, 내륜(211, 221)에 설치된 마그네틱(214, 224)을 포함할 수 있다.

또한, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)은 베스(10)의 측벽과 내륜(211, 221) 사이에 설치된 제2 볼(215, 225)을 각각 설치할 수 있다.

또한, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)은 각각 고정 하우징(216, 226)에 의해 고정될 수 있다.

또한, 제1 마그네틱 유닛(210)에는 구동 샤프트(120)가 삽입되되, 구동 샤프트(120)는 제1 마그네틱 유닛(210)에 나사 등으로 고정되지 않고 착탈 가능하게 할 수 있다. 제2 마그네틱 유닛(220)에는 이송 샤프트(110)가 삽입되되, 이송 샤프 트(110)는 제2 마그네틱 유닛(220)에 나사 등으로 고정되지 않고 착탈 가능하게 할 수 있다.

제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)을 이와 같이 구현함으로써 이송 상태를 최대한 안정시킬 수 있다.

구체적으로, 베어링 타입으로 구현함으로서, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)간의 편심을 줄일 수 있어, 이로 인해 이송 샤프트(110)를 지지하는 베어링(114)이 손상되는 것을 최대한 줄일 수 있다. 또한, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)을 베스(10)의 측벽에 접촉하도록 하고, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)을 고정 하우징(216, 226)으로 고정하여 편심에 의한 영향을 더더욱 줄일 수 있다. 다만, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)이 베스(10)의 측벽과 접촉함으로써 발생할 수 있는 마찰이 발생할 수 있는데, 제2 볼(215, 225)을 더 구현함으로 이러한 마찰을 줄일 수 있다. 뿐만 아니라, 제1 마그네틱 유닛(210, 220) 각각에 구동 샤프트(120)와 이송 샤프트(110)가 착탈 가능하도록 삽입되어, 제1 및 제2 마그네틱 유닛(210, 220)간의 인력으로 인해 구동 샤프트(120), 이송 샤프트(110)가 힘을 받아 일부 파손될 수 있는 것을 방지할 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치는 제2 볼(215, 225)이 접촉하는 베스(10)의 측벽에 금속막(217, 227)을 더 설치한다는 점이 일 실시예와 다르다. 즉, 베스(10)는 플라스틱으로 이루어질 수 있고, 이러한 경우, 제2 볼(215, 225)에 의해 베스(10)에 손상이 발생할 수 있으므로 이를 방지하기 위해 제2 볼(215, 225)이 접촉하는 베스(10)의 측벽에 금속막(217, 227)을 더 설치한다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

상기한 바와 같은 기판 이송 장치는 이송 상태를 최대한 안정시킬 수 있다. 베어링 타입으로 구현하고, 고정 하우징을 사용함으로서, 제1 및 제2 마그네틱 유닛간의 편심을 줄일 수 있다. 또한, 제1 및 제2 마그네틱 유닛이 베스의 측벽과 접촉함으로써 발생할 수 있는 마찰이 발생할 수 있는데, 스러스트 베어링 타입을 더 구현함으로 이러한 마찰을 줄일 수 있다.

Claims (9)

1. 베스;

   상기 베스의 측벽을 사이에 두고 설치된 제1 마그네틱 유닛과, 상기 제1 마그네틱 유닛에 의해 동작하는 제2 마그네틱 유닛을 포함하고,

   상기 제1 및 제2 마그네틱 유닛은 각각 내륜과, 상기 내륜을 둘러싸는 외륜과, 상기 내륜과 외륜 사이에 설치된 제1 볼과, 상기 내륜에 설치된 마그네틱을 포함하는 기판 이송 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제2 마그네틱 유닛은 상기 베스의 측벽과 내륜 사이에 설치된 제2 볼을 포함하는 기판 이송 장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 베스는 플라스틱으로 이루어지고, 상기 제2 볼이 접촉하는 상기 베스의 측벽에는 금속막이 설치된 기판 이송 장치.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 제1 마그네틱 유닛은 상기 베스의 측벽과 내륜 사이에 설치된 제2 볼을 포함하는 기판 이송 장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 베스는 플라스틱으로 이루어지고, 상기 제2 볼이 접촉하는 상기 베스의 측벽에는 금속막이 설치된 기판 이송 장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 제2 마그네틱 유닛에는 이송 샤프트가 삽입되되, 상기 이송 샤프트는 착탈 가능한 기판 이송 장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 제1 마그네틱 유닛에는 구동 샤프트가 삽입되되, 상기 구동 샤프트는 착탈 가능한 기판 이송 장치.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 제2 마그네틱 유닛은 고정 하우징에 의해 고정되는 기판 이송 장치.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 제1 마그네틱 유닛은 고정 하우징에 의해 고정되는 기판 이송 장치.

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