KR20120089188A - 펠리클용 곤포 상자 - Google Patents

Abstract

(과제)
적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형의 펠리클을 수납한 펠리클 수납 용기를 경사 및 탈락시키지 않고 안정되고 또한 청정한 상태를 유지하여 보관함과 아울러 펠리클 수납 용기 및 수납되어 있는 펠리클에 충분한 완충 능력을 발휘해서 충격이나 진동을 주지 않고 수송 및 운반하는 것이 가능한 펠리클용 곤포 상자를 제공한다.
(해결 수단)
펠리클용 곤포 상자(1)는 적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기(30)을 보관 및/또는 수송하기 위한 곤포 상자로서, 그 곤포 상자의 내부 저면에 그 펠리클 수납 용기의 외부 저면에 돌출된 복수의 다리부(33)를 각각 삽입하는 오목부를 갖는 복수의 완충체(18)가 분리되어서 부착되어 있는 것이다.

Description

펠리클용 곤포 상자{PELLICLE PACKING BOX}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 대규모 집적 회로, 액정 디스플레이를 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 펠리클을 수납하고 있는 용기를 수송 및 보관하는 곤포 상자에 관한 것이다.

대규모 집적 회로 등의 제조에 있어서 반도체 웨이퍼나 액정용 유리 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작할 때에 사용하는 레티클인 포토마스크에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 빛을 가리거나 왜곡하거나 해버리기 때문에 전사한 패턴이 손상된다고 하는 문제가 있었다. 이 때문에, 이들의 작업은 통상 클린룸 내에서 행해지고 있지만 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어려워 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착하는 방법이 사용되고 있다.

부착된 펠리클에 의해 이물은 포토마스크의 표면 상에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계가 된다. 이 펠리클은 펠리클 프레임의 상단면에 통상광을 충분하게 투과시키는 투명한 펠리클 막이 용매를 도포해서 바람으로 건조시켜 접착되거나, 또는 접착제로 접착되고, 또한 펠리클 프레임의 하단면에 포토마스크에 장착하기 위한 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되어 있는 것이다.

또한, 최근 액정 디스플레이의 대형화에 따라 액정용 포토마스크나 펠리클도 대형화가 진행되고 있고, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 매우 큰 것이 출현하고 있다. 이러한 펠리클은 당연히 그것을 수납하는 용기도 대형이 되고, 또한 대형화에 따라 수납 용기의 강성을 높일 필요가 생기기 때문에 그것에 따르는 중량의 증가도 현저하다.

이러한 펠리클 수납 용기를 운반할 경우 중량, 사이즈의 문제 때문에 사람 손에 의한 운반이 곤란해진다. 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형의 펠리클의 운반 작업은 공수가 매우 큰 것임과 아울러 낙하시키거나 했을 경우에는 작업자에게 중대한 손상을 줄 우려가 있고, 매우 위험이 따르는 작업이기 때문에 포크리프트 등의 포크형 반송 수단이 사용된다. 그 때문에, 펠리클 수납 용기의 외부 저부에는 포크 삽입을 고려하여 돌출된 다리부가 설치된다.

이러한 펠리클 수납 용기를 수납하고 수송하기 위한 곤포 상자는 도 8에 나타낸 바와 같이 펠리클 수납 용기에 충격을 주지 않도록 하기 위해서 내부 저면에 저면 완충체(81) 및 내부 측면에 측면 완충체(14)를 배치해서 펠리클 수납 용기(30)를 지지하도록 구성된다. 여기에서, 펠리클 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기의 경우, 완충체의 단위 면적당 하중이 작아져 완충 능력이 발휘될 수 없는 경우가 있다. 그런 경우, 완충체의 접촉 면적을 감소시킴으로써 완충 능력을 높일 수 있다(특허문헌 1). 한편, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 매우 대형의 펠리클인 경우, 펠리클 수납 용기가 상당한 중량이 되기 때문에 경도를 적절하게 설계하는 것이 어렵다. 완충체의 가라앉음 초기의 완충성과 큰 충격이 가해졌을 때의 바터밍(bottoming) 방지의 양립이 어렵기 때문이다.

또한, 수평 방향의 충격에 대하여 완충 능력을 발휘하기 어렵다고 하는 문제가 있다. 펠리클 수납 용기의 중량이 가벼울 경우에는 완충체로의 펠리클 수납 용기의 가라앉음은 적은 것이 되고, 수평 방향으로부터 충격이 가해졌을 때에는 완충체 상에서 펠리클 수납 용기가 어느 정도 옆으로 미끄러질 수 있었다. 측면에 배치된 완충체는 주로 옆으로 미끄러진 펠리클 수납 용기를 여기에서 받아내서 충격을 완화시키기 위해서 배치된 것이다. 그러나, 펠리클 수납 용기의 중량이 매우 무거울 경우, 그리고 저부 면적이 매우 클 경우에는 펠리클 수납 용기는 완충체에 가라앉아 있거나 또는 매우 마찰이 높은 상태로 적재되어 있는 상태가 된다. 따라서, 수평 방향의 충격 완화에는 하면의 완충체가 수평 방향으로 전단 변형하는 것이 필요해지지만, 큰 평판 형상의 완충체는 이 방향으로는 거의 변형할 수는 없기 때문에 충분한 완충 능력을 발휘할 수 없다.

이에 대하여 완충체의 형상을 수평면의 면적을 작게, 두께를 매우 두껍게 한, 즉 기둥과 같은 형상으로 함으로써 수평 방향으로의 변형을 향상시키는 것은 가능하다. 그러나, 단순하게 두께를 증가시키면 불필요한 공간이 증대하는 것에 추가하여, 또한 펠리클 수납 용기의 탑재시에 매우 정확하게 펠리클 수납 용기를 완충체 상에 적재하지 않으면 밸런스의 붕괴로 인해 경사 및 탈락할 우려가 있어 바람직하지 못하다. 이러한 점으로부터, 지금까지 펠리클 수납 용기의 수납, 인출이 용이함과 아울러 완충성이 적절하게 설계되고, 이물 부착의 우려가 없는 펠리클용 곤포 상자는 존재하지 않았다.

일본 특허 공개 2008-100733호 공보

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형의 펠리클을 수납한 펠리클 수납 용기를 경사 및 탈락시키지 않고 안정되게, 또한 청정한 상태를 유지해서 보관함과 아울러 펠리클 수납 용기 및 수납되어 있는 펠리클에 충분한 완충 능력을 발휘해서 충격이나 진동을 주지 않고 수송 및 운반하는 것이 가능한 펠리클용 곤포 상자를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 고안된, 특허청구범위의 청구항 1에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 보관 및/또는 수송하기 위한 곤포 상자로서, 상기 곤포 상자의 내부 저면에 상기 펠리클 수납 용기의 외부 저면으로부터 돌출된 복수의 다리부를 각각 삽입하는 오목부를 갖는 복수의 완충체가 분리되어서 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 완충체는 경도가 다른 복수의 층이 적층되어서 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 청구항 2에 기재된 것으로서, 상기 완충체가 2층 구조이고, 상층의 상기 경도에 비해서 하층의 상기 경도가 높은 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 곤포 상자의 외부 저면에 적어도 4개의 다리부 또는 차륜이 부착되어 있음으로써 상기 외부 저면과 바닥면의 간극이 적어도 100㎜로 되어 있음과 아울러 직육면체를 이루는 상기 곤포 상자의 사방 측면 중 적어도 한 면의 벽재가 착탈 가능한 것을 특징으로 한다.

(발명의 효과)

본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형이고 무거운 펠리클을 수납하고 있는 펠리클 수납 용기로부터 돌출된 복수의 다리부를 각 다리부 각각에 대하여 개별적으로 독립하여 곤포 상자의 내부 저면에 고정되어 설치되어 있는 저면 완충체의 오목부에 삽입함으로써 펠리클 수납 용기를 지지해서 안정되고 또한 청정한 상태를 유지해서 보관할 수 있다. 높이가 있는 저면 완충체에 대하여 정확하게 펠리클 수납 용기가 탑재되고, 또한 그 다리부가 각 저면 완충체의 오목부에 감합되어 있으므로 펠리클 수납 용기가 저면 완충체로부터 경사 및 탈락할 우려가 없다. 이 때문에, 수송 및 운반을 할 때에 수납된 펠리클 및 펠리클 수납 용기에 가해지는 수직 방향 및 수평 방향으로의 진동 및 충격을 완충시킬 수 있다.

또한, 이 펠리클용 곤포 상자의 저면 완충체는 경도가 다른 복수의 층이 적층되어 있어 중량이 무거운 펠리클 수납 용기에 대하여 저면 완충체의 두께를 제어하면서 작은 충격부터 완충성을 발휘하고, 큰 충격에 대해서도 저면 완충체의 완충 기능이 없어질 정도로 압축되거나 바터밍되거나 하지 않고 충분하게 완충 능력을 발휘할 수 있다. 펠리클 수납 용기의 중량, 수송 수단, 상정하는 충격의 정도에 따라 저면 완충체의 크기, 두께, 경도, 층의 조합을 조정함으로써 충분한 완충 능력을 발휘하여 수납된 펠리클 및 펠리클 수납 용기에 진동이나 충격을 주지 않고 안전하게 수송 및 운반할 수 있다.

또한, 본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 직육면체를 이루는 곤포 상자의 사방 측면 중 적어도 한 면의 벽재가 분리 가능하기 때문에, 펠리클 수납 용기의 탑재나 인출에 있어서 포크형 반송 수단을 사용할 수 있다. 마찬가지로, 펠리클용 곤포 상자의 이동에 있어서도 곤포 상자의 외부 저면과 바닥면의 간극이 확보되어 있기 때문에 포크형 반송 수단을 사용할 수 있다. 따라서, 이동, 수송, 운반 등에 있어서의 작업의 안전성을 확보함과 아울러 작업 효율의 향상을 꾀할 수 있다.

도 1은 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 사시도이다.
도 2는 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 A-A선 정면 단면도이다.
도 3은 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 B-B선 평면 단면도이다.
도 4는 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 C-C선 평면 단면도이다.
도 5는 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 저면 완충체와 펠리클 수납 용기의 다리부의 감합 전후에 있어서의 저면 완충체 부근의 일부 단면도이다.
도 6은 본 발명을 적용하는 별도의 펠리클용 곤포 상자에 있어서의 펠리클 수납 용기의 다리부 및 저면 완충체 부근의 일부 단면도이다.
도 7은 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자에 탑재하는 펠리클 수납 용기의 평면도 및 그 D-D선 단면도이다.
도 8은 본 발명의 적용이 아닌 종래의 펠리클용 곤포 상자의 정면 단면도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들의 형태에 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 한 변이 1000㎜를 초과하는 대형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 안정되게 보관하여 수송 및 운반하기 위한 것으로서, 펠리클 수납 용기 저면으로부터 돌출된 복수의 다리부를 감합하는 복수의 저면 완충체가 곤포 상자 내의 저면에 설치되어 있는 것이다.

이 펠리클용 곤포 상자의 펠리클 수납 용기를 탑재한 사용 상태에 있어서의 일실시형태를 도 1?도 5에 나타낸다.

펠리클용 곤포 상자(1)는 도 1의 사시도에 나타나 있는 바와 같이, 사방 측면이 벽재(13)로 덮여 있고, 또한 상부면이 덮개체(20)로 덮여 있는 직육면체의 상자 형상인 것이다. 그 덮개체(20)는 고정용 밴드(21)에 의해 곤포 상자 전체에 체결되어 있다. 벽재(13)의 일부에는 손잡이(22)가 설치되어 있고, 이 펠리클용 곤포 상자(1)의 외부 저면의 코너부에는 4개의 캐스터(23)가 각각 부착되어 있다. 펠리클용 곤포 상자(1)는 캐스터(23)에 의해 펠리클용 곤포 상자의 외부 저면과 바닥면의 간격이 100㎜ 이상 확보되어 있으면 바람직하다. 간극이 확보됨으로써 펠리클용 곤포 상자(1)의 이동, 수납 및 인출시에, 예를 들면 포크리프트나 팰릿 리프터나 핸드 리프터 등의 반송기를 용이하게 사용할 수 있다.

도 1의 A-A 단면선에 있어서의 정면 단면도를 도 2에 나타낸다.

탑재되어 있는 펠리클 수납 용기(30)는 트레이(32)와, 그것과 대향 배치되는 커버(31) 사이에 형성되는 공간에 펠리클을 수납하고 있는 것이다. 또한, 이 펠리클 수납 용기(30)는 그 외부 저면으로부터 돌출된 4개의 다리부(33)를 갖는다. 수납되는 펠리클은 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 통상광(通常光)을 충분하게 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소계 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클 막이 용매를 도포해서 바람으로 건조시켜 접착되거나, 또는 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 접착제로 접착되고, 또한 펠리클 프레임의 하단면에 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되는 것이다. 또한, 펠리클을 포토마스크에 붙인 상태에 있어서, 펠리클 내부에 둘러싸여진 공간과 외부의 기압차를 없애기 위해서 펠리클 프레임의 일부에 기압 조정용의 작은 구멍을 형성하고, 작은 구멍을 통해서 이동하는 공기로부터의 이물 침입을 막기 위한 필터가 설치되는 것도 있다.

커버(31), 트레이(32) 및 다리부(33)로 이루어지는 펠리클 수납 용기(30)를 탑재하는 내부 저면에서는 팰릿판(10)의 상면에 저판(11)이 리벳 및/또는 에폭시계 접착제와 같은 접착제를 이용하여 부착되어 있다. 그 저판(11) 상의 네 모서리에 사방 측면을 덮어 벽면이 되는 벽재(13)에 접촉하고 있는 L자형의 측면 완충체(14)가 고정되어 설치되어 있다. 또한, 저판(11) 상이고, 그 측면 완충체(14)보다 내측에서 펠리클 수납 용기(30)의 탑재시에 있어서의 각 다리부(33)의 위치에 상부면측에 오목부(17)를 갖는 오목형의 저면 완충체(18)가 각각 양면 테이프로 고정되어 설치되어 있다. 저면 완충체(18)의 고정은 저판(11) 상에 고정할 수 있으면 좋고, 양면 테이프와 같은 점착 테이프뿐만 아니라, 점착제나 접착제나 리벳을 사용해도 좋다.

이 측면 완충체(14)가 접촉하고 있는 벽재(13)는 그 사방 측면이 별도로 구성된 판 형상이며, 저판(11) 상의 주위에 형성된 가장자리(12)에서 착탈 가능하게 감합되어 서로 고정되어 있는 것이다. 이 벽재(13)는 원하는 면을 한 면씩 분리가 가능하게 되어 있으면 바람직하다. 필요한 곳만 벽재를 분리하고, 펠리클 수납 용기(30)를 포크리프트와 같은 반송기(도시하지 않음)에 의해 수납, 인출하는 것이 가능해져서 작업성이 향상된다. 또한, 벽재(13)는 저판(11) 상에 형성된 홈이나 팰릿판(10)과 저판(11)에 의해 형성된 홈에 착탈 가능하게 감합되어 서로 고정되어 있어도 좋다.

상부면을 덮는 덮개체(20)는 펠리클 수납 용기(30)측의 일부에 펠리클 수납 용기(30)에 접촉 또는 근접하는 정도의 높이를 갖는 상면 완충체(19)가 형성되어 있는 것이다. 이 상면 완충체(19)는 직육면체이며 펠리클 수납 용기(30)의 커버(31)와의 접촉면이 평면 형상인 것이다. 상면 완충체(19)는 펠리클 수납 용기(30)의 상면에 접촉 또는 근접하고 있고, 덮개체(20)와 펠리클 수납 용기(30)의 간극을 메우는 것이다. 이 덮개체(20)는 버클로 고정되어 있어도 좋다.

도 2의 B-B 단면선에 있어서의 평면 단면도를 도 3에 나타내고, 또한 도 2의 C-C 단면선에 있어서의 평면 단면도를 도 4에 나타낸다.

L자형의 측면 완충체(14)는 저판(11) 상의 네 모서리에 있어서 직육면체의 측면 완충체(14)를 2개 접합함으로써 형성되어 있다. 이 측면 완충체(14)는 저면 완충체(18)의 오목부(17)에 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)가 감합되면, 그 펠리클 수납 용기(30)의 네 모서리가 측면 완충체(14)의 L자형에 각각 접촉 또는 근접하는 위치에 설치되어 있는 것이다. 측면 완충체(14)의 접촉면은 평면 형상이다. 이 측면 완충체(14)는 펠리클 수납 용기(30)의 측면에 접촉 또는 근접하고 있어 수송 및 운반에 있어서의 수평 방향으로 가해지는 충격이나 진동을 완충시킬 수 있다. 측면 완충체(14)와 펠리클 수납 용기(30)는 알맞게 감합하는 정도로 접촉하고 있거나, 최대로도 30㎜의 간극을 갖는 정도로 근접하고 있다.

4개의 저면 완충체(18)는 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)와 감합되는 오목부(17)를 상부면측을 향해 각각 분리되어서 설치되어 있다. 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)와 저면 완충체(18) 주변의 일부 단면도인 도 5에 나타나 있는 바와 같이, 저면 완충체(18)는 2종류의 경도가 다른 완충체층이 적층된 것이고, 고경도 완충체층(15)에 저경도 완충체층(16)이 적층되어서 형성되어 있다. 이 저면 완충체(18)의 오목부(17)에 펠리클 수납 용기(30)의 저면으로부터 돌출된 4개의 다리부(33)가 각각 감합함으로써 펠리클 수납 용기(30)가 펠리클용 곤포 상자 내에 안정되게 수납된다. 이 다리부(33)는 사람 손에 의한 운반인 경우 1220×1400㎜ 포토마스크용 펠리클에서 적어도 2명, 1620×1780㎜ 포토마스크용 펠리클에서 최저 4명, 바람직하게는 6명 이상이 필요하게 되는 펠리클 수납 용기(30)를 포크형 반송 수단을 이용하여 운반하기 위해서 설치한 것이고, 90?200㎜의 높이이다. 저면 완충체(18)는 펠리클 수납 용기(30)를 지지함과 동시에 수송 및 운반에 의한 수직 방향 및 수평 방향의 충격이나 진동을 흡수해 완화시키는 것이다. 경도가 다른 것을 적층함으로써 두께를 억제하면서, 또한 작은 충격부터 완충성을 발휘하고, 큰 충격에도 바터밍하지 않고 완충시키는 높은 완충 기능을 확보할 수 있다.

이 저면 완충체(18)는 다리부(33)에 맞추어 그 측면에 접촉 또는 근접하는 폭과, 다리부(33)를 모두 삽입할 수 있고 또한 다리부 저면이 저면 완충체(18)에 접하지 않는 깊이로 이루어지는 오목부(17)를 갖고 있고, 수송이나 운반에 있어서의 진동 및 충격을 흡수하기 위해서 충분한 크기 및 두께를 갖는다. 펠리클 수납 용기(30)에 수납되는 펠리클은, 예를 들면 520×800㎜ 포토마스크용 펠리클의 경우에는 6㎏에 지나지 않지만, 1220×1400㎜ 포토마스크용 펠리클의 경우에는 약 40㎏, 또한 1620×1780㎜ 포토마스크용 펠리클의 경우에는 약 90㎏에도 달한다. 따라서, 다리부 주변의 펠리클 수납 용기 저면(34)과 저면 완충체(18)가 접촉하고, 그 접촉면에서 펠리클 수납 용기(30)의 하중을 분산해서 받고 있다. 항상 펠리클 수납 용기 저면(34)과 접촉하는 부분에 경도가 낮은 저경도 완충체층(16)을 배치함으로써 작은 충격에 대한 완충성을 향상시키고 있다.

예를 들면, 수송 및 운반에 있어서 작은 충격을 받았을 경우 항상 펠리클 수납 용기 저면(34)과 접촉해서 하중을 받고 있는 저경도 완충체층(16)에 의해 그 충격을 흡수하고, 큰 충격을 받았을 경우 저경도 완충체층(16)이 그 충격에 의해 크게 압축되지만, 상층의 압축에 따라 하층인 경도가 높은 고경도 완충체층(15)의 변형이 시작되고, 고경도 완충체층(15)에 의해 그 충격을 흡수한다. 이에 따라, 저면 완충체(18)는 그 완충 기능이 없어질 정도로 압축됨으로써 다리부(33)를 저판(11)에 부딪치는 바터밍을 하지 않고, 뛰어난 완충 효과를 발휘할 수 있다.

이 저면 완충체(18)는 펠리클 수납 용기(30)의 중량, 수송 수단, 상정하는 충격의 정도 등에 의해 그 오목부(17)나 전체의 크기, 두께, 경도, 및 접촉 면적을 적당하게 선택하면 바람직하다. 또한, 저면 완충체(18)의 크기는 그 경도와 더불어 적당하게 선택되면 바람직하다.

저면 완충체(18)의 크기는 수평 방향으로의 전단 변형성을 확보하는 관점으로부터 한 변의 길이가 대강 200?400㎜의 범위이면 바람직하다.

저면 완충체(18)의 두께는 150?400㎜이고, 펠리클 수납 용기(30)와의 접촉 면적은 30000?150000㎟이면 바람직하다.

저면 완충체(18)의 경도는 SRIS0101(일본 고무 협회 표준 규격)에 규정된 듀로미터(스프링식 경도계) 중 하나인 아스카(ASKER) C 경도계에 있어서, 아스카 C20?70이면 바람직하다.

저면 완충체(18)의 오목부(17)는 다리부(33)의 측면과 오목부(17)의 벽면이 알맞게 감합하는 정도로 접촉하는 폭, 또는 다리부(33)의 측면과 오목부(17)의 벽면이 최대로도 20㎜의 간극을 갖는 정도로 근접하는 폭이면 바람직하다.

이 저면 완충체(18)에 대하여 정확하게 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)가 감합하고 있으므로, 펠리클 수납 용기(30)를 경사지게 하거나 탈락시키거나 하지 않고 안정되게 보관하고, 진동이나 충격을 펠리클 수납 용기(30)나 펠리클에 주지 않고 수송 및 운반할 수 있다.

또한, 저면 완충체(18)의 구조는 고경도 완충체층(15) 상에 저경도 완충체층(16)이 적층된 2층 구조이고, 그 저경도 완충체층(16)과 펠리클 수납 용기 저면(34)이 접촉하는 저면 완충체(18)를 예시했지만 이것에 한정되지 않는다. 그 구조는 다층 구조라도 좋고, 저경도 완충체층(16) 상에 고경도 완충체층(15)이 형성된 것이라도 좋고, 다리부 저면과 저면 완충체(18)의 오목부(17)가 접촉하고 펠리클 수납 용기 저면(34)과 저면 완충체(18)가 비접촉하게 되는 것이라도 좋다.

펠리클용 곤포 상자의 다른 형태로서, 펠리클 수납 용기의 다리부 및 저면 완충체 부근의 일부 단면도를 도 6에 나타낸다.

도 6의 (a)에 나타나 있는 바와 같이, 저면 완충체(18)는 저경도 완충체층(16)에 고경도 완충체층(15)이 형성되고, 저경도 완충체층(16)에 다리부 저면이 접촉하고, 고경도 완충체층(15)과 펠리클 수납 용기 저면(34)이 비접촉하게 되는 것이라도 좋다. 이 구조는 저부 면적이 작은 다리부 저면에서 펠리클 수납 용기(30)의 하중을 받기 위해 하층인 저경도 완충체층(16)을 큰 두께로 배치하고 있다. 이러한 형태인 경우 초기 상태에서 저경도 완충체층(16)은 어느 정도 가라앉아 있다. 큰 충격을 받으면 하층의 저경도 완충체층(16)은 더욱 크게 가라앉지만, 어느 정도 가라앉았을 때에 고경도 완충체층(15)에 펠리클 수납 용기 저면(34)이 접촉하여 큰 면적으로 하중을 가하도록 되기 때문에 큰 반발력이 발생한다. 그 결과, 큰 충격에서도 저면 완충체(18)가 바터밍하는 일이 없어지고, 도 5에 나타내는 형태와 같은 완충 효과를 얻을 수 있다.

또한, 도 6의 (b)에 나타나 있는 바와 같이 저면 완충체(18)는 저경도 완충체층(16)을 고경도 완충체층(15) 사이에 끼워 3층 구조로 형성된 것이라도 좋다. 이러한 형태인 경우 저경도 완충체층(16)의 두께가 얇기 때문에 저하중에서의 완충성은 도 5에 나타내는 형태보다 약간 떨어지지만 최표면에 나와 있는 고경도 완충체층(15)인 완충재에 경도가 있고, 펠리클 수납 용기(30)를 탑재할 때의 위치 맞추기가 쉬운 등, 취급 상의 이점이 있다. 이들 완충체층의 경도는 3층 모두 다른 것이라도 좋다. 또한, 3층 이상의 다층화한 형태라도 좋다.

이들 저면 완충체(18)의 오목부(17)의 깊이는 다리부(33)가 모두 삽입되는 것이라도 좋고, 다리부(33)의 일부가 삽입되는 것이라도 좋다.

이들 저면 완충체(18)는 그 경도와 층의 순서, 접촉 면적에 따라 다양한 완충 특성을 얻을 수 있기 때문에 사용하는 펠리클 수납 용기(30)의 중량, 수송 수단, 상정하는 충격의 정도를 종합적으로 고려하여 적당하게 선택하여 최적인 것을 사용하면 바람직하다. 특히, 상층의 완충체의 경도가 하층의 완충체의 경도에 비해서 낮으면 바람직하다.

이러한 충격이나 진동을 완충시키는 저면 완충체(18), 측면 완충체(14), 및 상면 완충체(19)의 재료는 적절한 완충 능력을 갖는 것으로서, 예를 들면 우레탄 발포재, 폴리에틸렌 발포체, 에틸렌아세트산 비닐 코폴리머 발포체, 에틸렌-프로필렌-디엔-메틸렌 고무 발포체 등을 들 수 있다.

펠리클용 곤포 상자(1)에 사용되는 팰릿판(10), 저판(11), 벽재(13), 덮개체(20)는 충분한 강도를 갖는 재질로 형성된 것이다. 그 재질은 구체적으로 플라스틱 골판지, 강화 골판지, 알루미늄판, 알루미늄 허니콤판 등을 들 수 있다.

펠리클용 곤포 상자(1)는 캐스터(23)의 대체로서, 어저스터(adjuster)나 다른 다리부 등의 블록 형상인 것이 부착되어 있어도 좋다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들의 실시예에 한정되는 것은 아니다.

(실시예)

도 1 에 나타나 있는 바와 같은 펠리클용 곤포 상자(1)를 제작했다. 제작한 곤포 상자(1)의 바깥 치수는 2250×2000×높이 850㎜(캐스터부 포함)이다.

팰릿판(10)은 알루미늄 합금 각파이프(square pipe)의 용접 구조로 되어 있고, 그 4개소의 코너부에는 캐스터(23)를 설치했다. 벽재(13)는 두께 12㎜의 플라스틱 골판지를 사용하여 제작했지만 코너부는 알루미늄 합금 압출재가 부착되어 있고, 이 알루미늄 합금 압출재는 서로 조합되어 접속할 수 있는 구조로 했다.

팰릿판(10)의 상면은 두께 15㎜의 플라스틱 골판지제의 저판(11)을 리벳 및 에폭시계 접착제를 이용하여 부착하고 있고, 그 외주부는 벽재(13)와 감합되어 있다. 저판(11)의 상면에는 소정의 위치에 저면 완충재(18)를 양면 테이프로 고정했다. 이 저면 완충재(18)의 구조는 도 5에 나타나 있는 바와 같은 단면 구조로 되어 있고, 속에 탑재하는 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)와 거의 감합하도록 오목부(17)를 형성했다. 또한, 이 저면 완충재(18)는 발포 우레탄[(주)브리지스톤 제품, 상품명; 에버라이트(EVERLIGHT)]으로 제작하고, 그 크기는 250×300×높이 250㎜로 했다. 그리고, 경도가 낮은 층(16)은 높이 150㎜로서 외관 밀도 25㎏/㎥인 것을 사용하고, 경도가 높은 층(15)은 높이 100㎜, 외관 밀도 35㎏/㎥인 것을 사용했다.

이 저면 완충재(18) 상에 탑재하는 펠리클 수납 용기(30)의 평면도를 도 7(a)에 나타내고, 그 D-D선 단면도를 도 7(b)에 나타낸다. 펠리클 수납 용기(30)는 1620×1780㎜ 마스크용 펠리클을 수납하기 위한 것으로, 펠리클(70)을 수납한 곳을 상방으로부터 투시할 수 있는 아크릴제 커버(31), 알루미늄 합금제 트레이(32), 스테인레스강제 다리부(33)로 이루어지는 바깥 치수 1940×1700×높이 190㎜인 본체 저부에 높이 100㎜의 다리부(33)가 부착되어 있고, 총 중량은 90㎏이다. 트레이(32) 상면에는 SUS304제의 프레임 유지 핀(75) 및 그것을 지지하는 ABS 수지제의 핀 홀더(74)가 부착되어 있다. 프레임 유지 핀(75)은 핀 홀더(74)의 구멍(도시하지 않음)에 감합 유지되고, 그 축방향으로 넣고 빼기가 가능한 구조로 되어 있다. 펠리클 수납 용기(30)에 수납되는 펠리클(70)은, 예를 들면 바깥 치수 1748×1526㎜, 높이 8㎜인 것이고, 펠리클 프레임(71)의 상면에 펠리클 막 접착제(도시하지 않음)로 펠리클 막(72)이 접착되고, 펠리클 프레임(71)의 하면에 마스크 점착층(73) 및 펠리클 사용시에 그 점착층으로부터 박리되는 세퍼레이터(도시하지 않음)가 설치되어 있는 것이다. 이 펠리클 프레임(71)의 4개소의 외측면 코너부 근방에는 φ 2.5㎜의 비관통의 둥근 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 프레임 유지 핀(75)의 선단을 삽입, 감합함으로써 트레이(32) 상에 있어서 펠리클(70)이 움직이지 않도록 고정되는 구조로 되어 있다.

이 펠리클 수납 용기(30)를 Class10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수(純水)를 이용하여 세정하고, 바람으로 건조시킴으로써 완전하게 건조시켰다. 그 후에, 암실 내에서 40만럭스의 집광 램프에 의해 커버(31), 트레이(32)의 내측을 정성들여 이물 검사하고, 육안으로 확인할 수 있는 미세정된 이물은 점착 테이프에 의해 전사 제거하여 완전히 이물이 없는 상태로 했다. 또한, 이때에 육안 확인한 커버(31), 트레이(32) 상의 이물은 대강 10㎛ 이상인 크기의 것이다.

그리고, 이물 검사 후에 커버(31)를 트레이(32) 상에 조심스럽게 적재하고, 감합부는 점착 테이프(도시하지 않음)로 간극 없이 밀봉했다. 또한, 대전 방지 폴리에틸렌 자루(도시하지 않음)에 수납하고, 가열 밀봉에 의해 밀봉했다.

펠리클 수납 용기(30)와 벽재(13)의 간극에는 우레탄 발포체로 이루어지는 측면 완충체(14)가 배치되어 있다. 덮개체(20)는 두께 9㎜ 플라스틱 골판지를 알루미늄 합금제 앵글로 보강해서 제작한 것이고, 벽재(13)의 외측을 덮는 치수로 되어 있다. 또한, 매우 큰 흔들림에 의해 펠리클 수납 용기(30)가 곤포 상자(1) 내에서 어지럽혀진 사태를 상정하여, 만약을 위해 덮개체(20)의 내측에는 우레탄 발포체제의 상면 완충체(19)를 부착했다. 그리고, 덮개체(20)를 적재한 후 폴리아미드 수지제의 고정용 밴드(21)로 전체를 체결했다.

상기한 바와 같이 해서 펠리클 수납 용기(30)를 수납한 펠리클용 곤포 상자(1)를 군마켄 다카사키시-후쿠오카켄 후쿠오카시까지의 약 1000㎞ 사이를 트럭 수송에 의해 왕복시켰다. 이때, 트럭 차량으로의 싣고 부리기는 포크리프트를 이용할 수 있어 용이하게 작업할 수 있었다.

왕복 수송 후, 다시 펠리클용 곤포 상자(1)를 개봉하여 펠리클 수납 용기(30)를 상기 클린룸에 반입했다. 그리고, 상기와 완전히 같은 공정에 의해 암실 내에서 커버(31), 트레이(32)의 내측에 부착되어 있는 이물을 재확인했다.

그 결과, 육안에 의해 확인할 수 있었던 것은 커버(31)의 내측에서 겨우 1개, 트레이(32)의 내측에서 4개이고, 또한 모두가 에어 블로우에 의해 용이하게 제거될 수 있었다. 또한, 왕복 수송은 펠리클(70) 미수납의 펠리클 수납 용기(30)로 행해졌지만 펠리클(70)을 수용해도 같은 결과이다.

(비교예)

도 1에 나타나 있는 바와 같은 외관에서, 내부 단면이 도 8에 나타내는 형태로 되어 있는 곤포 상자(80)를 제작했다. 이 외관, 치수는 실시예의 펠리클용 곤포 상자(1)와 완전히 동일하지만, 내부에서 사용되고 있는 저면 완충재의 구조가 다른 것이다. 탑재한 펠리클 수납 용기(30)는 실시예와 완전히 같은 것을 사용했다.

저면 완충재(81)는 발포 우레탄[(주)브리지스톤 제품, 상품명; 에버라이트, 외관 밀도 25㎏/㎥]을 사용해서 제작하고, 그 바깥 치수는 1400×1500×높이(최정부) 200㎜이다. 여기에서, 펠리클 수납 용기(30)와의 접촉부에는 도 8의 일부 확대도에 나타나 있는 바와 같은 사각뿔 형상으로 깊이 약 30㎜의 요철 가공을 실시했다. 이 저면 완충재(81) 이외의 부재는 상기 실시예와 모두 동일한 구성으로 했다.

이 곤포 상자(80)를 실시예와 완전히 같은 공정에 의해 수송 시험을 행하고, 같은 검사 방법으로 펠리클 수납 용기 내부의 이물 증가에 대해서 확인했다. 그 결과, 커버(31)의 내측에서 12개, 트레이(32)의 내측에서 34개의 이물이 확인되었다. 이물의 대부분은 에어 블로우에 의해 제거할 수 있는 것이었지만, 그 중에는 50㎛을 초과하는 큰 것도 있어 펠리클의 수송 수단으로서는 사용이 곤란한 레벨이었다.

본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 리소그래피용 펠리클, 특히 액정 제조 용도로 사용되는 대형의 펠리클을 수납하고 있는 용기를 보관 및/또는 수송하기 위해서 사용된다.

1 : 펠리클용 곤포 상자 10 : 팰릿판
11 : 저판 12 : 가장자리
13 : 벽재 14 : 측면 완충체
15 : 고경도 완충체층 16 : 저경도 완충체층
17 : 오목부 18 : 저면 완충체
19 : 상면 완충체 20 : 덮개체
21 : 고정용 밴드 22 : 손잡이
23 : 캐스터 30 : 펠리클 수납 용기
31 : 커버 32 : 트레이
33 : 다리부 34 : 펠리클 수납 용기 저면
70 : 펠리클 71 : 펠리클 프레임
72 : 펠리클 막 73 : 마스크 점착층
74 : 핀 홀더 75 : 프레임 유지 핀
80 : 곤포 상자 81 : 저면 완충재
A-A, B-B, C-C, D-D : 단면선

Claims (4)

1. 적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 보관 및/또는 수송하기 위한 곤포 상자로서: 상기 곤포 상자의 내부 저면에 상기 펠리클 수납 용기의 외부 저면으로부터 돌출된 복수의 다리부를 각각 삽입하는 오목부를 갖는 복수의 완충체가 분리되어서 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 완충체는 경도가 다른 복수의 층이 적층되어서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 완충체는 2층 구조이고, 상층의 상기 경도에 비해서 하층의 상기 경도가 높은 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 곤포 상자의 외부 저면에 적어도 4개의 다리부 또는 차륜이 부착되어 있음으로써 상기 외부 저면과 바닥면의 간극이 적어도 100㎜로 되어 있음과 아울러 직육면체를 이루는 상기 곤포 상자의 사방 측면 중 적어도 한 면의 벽재가 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.

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