KR20120089188A

KR20120089188A - Pellicle packing box

Info

Publication number: KR20120089188A
Application number: KR1020110136249A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2011-02-01
Filing date: 2011-12-16
Publication date: 2012-08-09
Also published as: KR101910850B1; JP2012158370A; CN102673890A; TW201238864A; JP5364736B2

Abstract

PURPOSE: A packaging box for pellicles is provided to stably and cleanly transport the large sized pellicles without being separated from a pellicle storage container. CONSTITUTION: A packaging box(1) for pellicles includes the following: a pellicle storage container(30) for storing the large sized pellicles with one side having the length longer than 1,000mm; plural buffering bodies with concave units(17) for inserting plural leg units(33); and one wall material(13) detachable from the packaging box. The buffering body is formed by laminating plural layers having different hardness.

Description

펠리클용 곤포 상자{PELLICLE PACKING BOX}Packing box for pellicle {PELLICLE PACKING BOX}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 대규모 집적 회로, 액정 디스플레이를 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 펠리클을 수납하고 있는 용기를 수송 및 보관하는 곤포 상자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a packaging box for transporting and storing a container containing a pellicle used as a dust shield in manufacturing semiconductor devices, printed boards, large scale integrated circuits, and liquid crystal displays.

대규모 집적 회로 등의 제조에 있어서 반도체 웨이퍼나 액정용 유리 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작할 때에 사용하는 레티클인 포토마스크에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 빛을 가리거나 왜곡하거나 해버리기 때문에 전사한 패턴이 손상된다고 하는 문제가 있었다. 이 때문에, 이들의 작업은 통상 클린룸 내에서 행해지고 있지만 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어려워 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착하는 방법이 사용되고 있다.In the manufacture of large-scale integrated circuits and the like, if dust adheres to a photomask, a reticle used when irradiating light onto a semiconductor wafer or a glass plate for liquid crystal, to form a pattern, the dust may block, distort, or cause light to be transferred. There was a problem that the pattern was damaged. For this reason, although these operations are normally performed in a clean room, it is still difficult to keep a photomask clean all the time, and the method of attaching a pellicle as a dust film on the photomask surface is used.

부착된 펠리클에 의해 이물은 포토마스크의 표면 상에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계가 된다. 이 펠리클은 펠리클 프레임의 상단면에 통상광을 충분하게 투과시키는 투명한 펠리클 막이 용매를 도포해서 바람으로 건조시켜 접착되거나, 또는 접착제로 접착되고, 또한 펠리클 프레임의 하단면에 포토마스크에 장착하기 위한 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되어 있는 것이다.The foreign matter on the pellicle is irrelevant to the transfer when the focus is on the pattern of the photomask during lithography because the foreign matter is attached directly on the pellicle by the attached pellicle rather than directly on the surface of the photomask. The pellicle has a transparent pellicle film that sufficiently transmits normal light to the upper surface of the pellicle frame, and is applied by applying a solvent to dry by air, or adhesively bonded to the lower surface of the pellicle frame, and attached to a photomask on the lower surface of the pellicle frame. The release layer (separator) for the purpose of protecting a layer and an adhesion layer is formed.

또한, 최근 액정 디스플레이의 대형화에 따라 액정용 포토마스크나 펠리클도 대형화가 진행되고 있고, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 매우 큰 것이 출현하고 있다. 이러한 펠리클은 당연히 그것을 수납하는 용기도 대형이 되고, 또한 대형화에 따라 수납 용기의 강성을 높일 필요가 생기기 때문에 그것에 따르는 중량의 증가도 현저하다.In addition, with the increase of the size of liquid crystal displays, the size of liquid crystal photomasks and pellicles has also increased in recent years, and very large ones with side lengths exceeding 1000 mm have emerged. Naturally, such a pellicle has a large container, and since it is necessary to increase the rigidity of the storage container as the size of the pellicle increases, the increase in weight accompanying it is also remarkable.

이러한 펠리클 수납 용기를 운반할 경우 중량, 사이즈의 문제 때문에 사람 손에 의한 운반이 곤란해진다. 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형의 펠리클의 운반 작업은 공수가 매우 큰 것임과 아울러 낙하시키거나 했을 경우에는 작업자에게 중대한 손상을 줄 우려가 있고, 매우 위험이 따르는 작업이기 때문에 포크리프트 등의 포크형 반송 수단이 사용된다. 그 때문에, 펠리클 수납 용기의 외부 저부에는 포크 삽입을 고려하여 돌출된 다리부가 설치된다.When carrying such a pellicle container, it is difficult to carry it by human hands due to weight and size problems. Transporting large pellicles, especially those with lateral lengths exceeding 1000 mm, is very large in airborne work and can cause serious damage to workers when dropped. Forklifts, etc. Fork-type conveying means are used. Therefore, the leg part which protruded in consideration of fork insertion is provided in the outer bottom part of a pellicle container.

이러한 펠리클 수납 용기를 수납하고 수송하기 위한 곤포 상자는 도 8에 나타낸 바와 같이 펠리클 수납 용기에 충격을 주지 않도록 하기 위해서 내부 저면에 저면 완충체(81) 및 내부 측면에 측면 완충체(14)를 배치해서 펠리클 수납 용기(30)를 지지하도록 구성된다. 여기에서, 펠리클 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기의 경우, 완충체의 단위 면적당 하중이 작아져 완충 능력이 발휘될 수 없는 경우가 있다. 그런 경우, 완충체의 접촉 면적을 감소시킴으로써 완충 능력을 높일 수 있다(특허문헌 1). 한편, 변 길이가 1000㎜를 초과하는 매우 대형의 펠리클인 경우, 펠리클 수납 용기가 상당한 중량이 되기 때문에 경도를 적절하게 설계하는 것이 어렵다. 완충체의 가라앉음 초기의 완충성과 큰 충격이 가해졌을 때의 바터밍(bottoming) 방지의 양립이 어렵기 때문이다.In the packaging box for storing and transporting such a pellicle container, as shown in FIG. 8, the bottom buffer 81 and the side buffer 14 are disposed on the inner bottom to prevent the pellicle container from impacting. The pellicle container 30 is configured to be supported. Here, in the case of the large sized pellicle storage container whose pellicle side length exceeds 500 mm, the load per unit area of a buffer body may become small, and a buffering capacity may not be exhibited. In such a case, the buffering ability can be improved by reducing the contact area of a buffer (patent document 1). On the other hand, in the case of a very large pellicle having a side length exceeding 1000 mm, it is difficult to properly design the hardness because the pellicle storage container becomes a considerable weight. This is because it is difficult to attain both buffering at the initial stage of sinking and prevention of bottoming when a large impact is applied.

또한, 수평 방향의 충격에 대하여 완충 능력을 발휘하기 어렵다고 하는 문제가 있다. 펠리클 수납 용기의 중량이 가벼울 경우에는 완충체로의 펠리클 수납 용기의 가라앉음은 적은 것이 되고, 수평 방향으로부터 충격이 가해졌을 때에는 완충체 상에서 펠리클 수납 용기가 어느 정도 옆으로 미끄러질 수 있었다. 측면에 배치된 완충체는 주로 옆으로 미끄러진 펠리클 수납 용기를 여기에서 받아내서 충격을 완화시키기 위해서 배치된 것이다. 그러나, 펠리클 수납 용기의 중량이 매우 무거울 경우, 그리고 저부 면적이 매우 클 경우에는 펠리클 수납 용기는 완충체에 가라앉아 있거나 또는 매우 마찰이 높은 상태로 적재되어 있는 상태가 된다. 따라서, 수평 방향의 충격 완화에는 하면의 완충체가 수평 방향으로 전단 변형하는 것이 필요해지지만, 큰 평판 형상의 완충체는 이 방향으로는 거의 변형할 수는 없기 때문에 충분한 완충 능력을 발휘할 수 없다.In addition, there is a problem that it is difficult to exhibit the buffering ability against the impact in the horizontal direction. When the weight of the pellicle container is light, the pellicle container into the buffer is less sinked, and when the impact is applied from the horizontal direction, the pellicle container can slide sideways to some extent on the buffer. The shock absorber disposed on the side is mainly arranged to receive a side-sliding pellicle container here to mitigate the impact. However, when the weight of the pellicle container is very heavy, and when the bottom area is very large, the pellicle container is in a state where the pellicle container is sunk or loaded with a very high friction. Therefore, the shock absorber in the horizontal direction requires shear deformation in the horizontal direction of the shock absorber in the horizontal direction. However, the shock absorber in the large flat shape cannot hardly be deformed in this direction and thus cannot exhibit sufficient shock absorbing capacity.

이에 대하여 완충체의 형상을 수평면의 면적을 작게, 두께를 매우 두껍게 한, 즉 기둥과 같은 형상으로 함으로써 수평 방향으로의 변형을 향상시키는 것은 가능하다. 그러나, 단순하게 두께를 증가시키면 불필요한 공간이 증대하는 것에 추가하여, 또한 펠리클 수납 용기의 탑재시에 매우 정확하게 펠리클 수납 용기를 완충체 상에 적재하지 않으면 밸런스의 붕괴로 인해 경사 및 탈락할 우려가 있어 바람직하지 못하다. 이러한 점으로부터, 지금까지 펠리클 수납 용기의 수납, 인출이 용이함과 아울러 완충성이 적절하게 설계되고, 이물 부착의 우려가 없는 펠리클용 곤포 상자는 존재하지 않았다.On the other hand, it is possible to improve the deformation in the horizontal direction by making the shape of the buffer body small in thickness and very thick, that is, in the shape of a column. However, in addition to increasing the unnecessary space by simply increasing the thickness, there is a risk of tilting and dropping out due to the collapse of the balance if the pellicle container is not loaded on the buffer very accurately at the time of mounting the pellicle container. Not desirable From this point of view, there has been no packaging box for pellicles so far that the pellicle storage container is easily stored and withdrawn, the buffering property is appropriately designed, and there is no fear of foreign matter adhesion.

일본 특허 공개 2008-100733호 공보Japanese Patent Publication No. 2008-100733

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형의 펠리클을 수납한 펠리클 수납 용기를 경사 및 탈락시키지 않고 안정되게, 또한 청정한 상태를 유지해서 보관함과 아울러 펠리클 수납 용기 및 수납되어 있는 펠리클에 충분한 완충 능력을 발휘해서 충격이나 진동을 주지 않고 수송 및 운반하는 것이 가능한 펠리클용 곤포 상자를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above problems, wherein the pellicle container containing at least one side length of more than 1000 mm, particularly a large pellicle, is kept in a stable and clean state without being inclined and dropped. In addition, an object of the present invention is to provide a packing box for pellicles capable of transporting and transporting a pellicle container and a stored pellicle with sufficient shock absorbing capacity without impact or vibration.

상기의 목적을 달성하기 위하여 고안된, 특허청구범위의 청구항 1에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 보관 및/또는 수송하기 위한 곤포 상자로서, 상기 곤포 상자의 내부 저면에 상기 펠리클 수납 용기의 외부 저면으로부터 돌출된 복수의 다리부를 각각 삽입하는 오목부를 갖는 복수의 완충체가 분리되어서 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.The packing box for pellicle according to claim 1, which is designed to achieve the above object, is a packing box for storing and / or transporting a pellicle container containing pellicles having at least one side length exceeding 1000 mm. The plurality of shock absorbers each having a recess for inserting a plurality of leg portions protruding from the outer bottom of the pellicle container are separately attached to the inner bottom of the packing box.

청구항 2에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 완충체는 경도가 다른 복수의 층이 적층되어서 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The packaging box for pellicle of Claim 2 is a thing of Claim 1, Comprising: The said buffer body is formed by laminating | stacking the several layer from which hardness differed. It is characterized by the above-mentioned.

청구항 3에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 청구항 2에 기재된 것으로서, 상기 완충체가 2층 구조이고, 상층의 상기 경도에 비해서 하층의 상기 경도가 높은 것을 특징으로 한다.The packing box for pellicle of Claim 3 is a thing of Claim 2, Comprising: The said buffer body is a two-layered structure, The said hardness of the lower layer is high compared with the said hardness of the upper layer, It is characterized by the above-mentioned.

청구항 4에 기재된 펠리클용 곤포 상자는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 곤포 상자의 외부 저면에 적어도 4개의 다리부 또는 차륜이 부착되어 있음으로써 상기 외부 저면과 바닥면의 간극이 적어도 100㎜로 되어 있음과 아울러 직육면체를 이루는 상기 곤포 상자의 사방 측면 중 적어도 한 면의 벽재가 착탈 가능한 것을 특징으로 한다.The packaging box for pellicle according to claim 4 is described in claim 1, wherein at least four leg portions or wheels are attached to the outer bottom surface of the packaging box so that the clearance between the outer bottom surface and the bottom surface is at least 100 mm. In addition, the wall material of at least one side of the four sides of the packaging box constituting the rectangular parallelepiped is removable.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 특히 대형이고 무거운 펠리클을 수납하고 있는 펠리클 수납 용기로부터 돌출된 복수의 다리부를 각 다리부 각각에 대하여 개별적으로 독립하여 곤포 상자의 내부 저면에 고정되어 설치되어 있는 저면 완충체의 오목부에 삽입함으로써 펠리클 수납 용기를 지지해서 안정되고 또한 청정한 상태를 유지해서 보관할 수 있다. 높이가 있는 저면 완충체에 대하여 정확하게 펠리클 수납 용기가 탑재되고, 또한 그 다리부가 각 저면 완충체의 오목부에 감합되어 있으므로 펠리클 수납 용기가 저면 완충체로부터 경사 및 탈락할 우려가 없다. 이 때문에, 수송 및 운반을 할 때에 수납된 펠리클 및 펠리클 수납 용기에 가해지는 수직 방향 및 수평 방향으로의 진동 및 충격을 완충시킬 수 있다.The packing box for pellicle of the present invention has a plurality of legs protruding from a pellicle storage container containing a particularly large and heavy pellicle having a side length of more than 1000 mm, independently of each leg of the packing box. By inserting into the recessed part of the bottom buffer body fixed to the inner bottom surface, it can support a pellicle container and can keep it stable and clean. Since the pellicle container is correctly mounted on the bottom buffer having a height, and its legs are fitted into the recesses of the bottom buffer, there is no fear that the pellicle container may be inclined and dropped from the bottom buffer. For this reason, vibration and an impact in the vertical direction and the horizontal direction applied to the pellicle and the pellicle storage container accommodated at the time of transportation and conveyance can be buffered.

또한, 이 펠리클용 곤포 상자의 저면 완충체는 경도가 다른 복수의 층이 적층되어 있어 중량이 무거운 펠리클 수납 용기에 대하여 저면 완충체의 두께를 제어하면서 작은 충격부터 완충성을 발휘하고, 큰 충격에 대해서도 저면 완충체의 완충 기능이 없어질 정도로 압축되거나 바터밍되거나 하지 않고 충분하게 완충 능력을 발휘할 수 있다. 펠리클 수납 용기의 중량, 수송 수단, 상정하는 충격의 정도에 따라 저면 완충체의 크기, 두께, 경도, 층의 조합을 조정함으로써 충분한 완충 능력을 발휘하여 수납된 펠리클 및 펠리클 수납 용기에 진동이나 충격을 주지 않고 안전하게 수송 및 운반할 수 있다.In addition, the bottom cushion of the packing box for pellicles has a plurality of layers of different hardness, and the buffer is controlled from a small impact to a heavy impact by controlling the thickness of the bottom buffer against a heavy pellicle storage container. In addition, it is possible to exert sufficient buffering capacity without compressing or bottoming to such an extent that the buffering function of the bottom buffer is lost. By adjusting the size, thickness, hardness, and layer combination of the bottom buffer according to the weight of the pellicle container, the means of transport, and the degree of impact to be assumed, the pellicle and the pellicle container are stored with sufficient cushioning capacity. It can be safely transported and transported without giving.

또한, 본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 직육면체를 이루는 곤포 상자의 사방 측면 중 적어도 한 면의 벽재가 분리 가능하기 때문에, 펠리클 수납 용기의 탑재나 인출에 있어서 포크형 반송 수단을 사용할 수 있다. 마찬가지로, 펠리클용 곤포 상자의 이동에 있어서도 곤포 상자의 외부 저면과 바닥면의 간극이 확보되어 있기 때문에 포크형 반송 수단을 사용할 수 있다. 따라서, 이동, 수송, 운반 등에 있어서의 작업의 안전성을 확보함과 아울러 작업 효율의 향상을 꾀할 수 있다.Further, in the packaging box for pellicle of the present invention, since the wall material of at least one side of all sides of the packaging box constituting the rectangular parallelepiped can be separated, a fork-type conveying means can be used for mounting or withdrawing a pellicle container. Similarly, in the movement of the packing box for pellicles, since the clearance gap between the outer bottom face and the bottom surface of a packing box is ensured, a fork-type conveying means can be used. Therefore, it is possible to secure work safety in movement, transportation, transportation, and the like and to improve work efficiency.

도 1은 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 사시도이다.
도 2는 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 A-A선 정면 단면도이다.
도 3은 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 B-B선 평면 단면도이다.
도 4는 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 C-C선 평면 단면도이다.
도 5는 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자의 저면 완충체와 펠리클 수납 용기의 다리부의 감합 전후에 있어서의 저면 완충체 부근의 일부 단면도이다.
도 6은 본 발명을 적용하는 별도의 펠리클용 곤포 상자에 있어서의 펠리클 수납 용기의 다리부 및 저면 완충체 부근의 일부 단면도이다.
도 7은 본 발명을 적용하는 펠리클용 곤포 상자에 탑재하는 펠리클 수납 용기의 평면도 및 그 D-D선 단면도이다.
도 8은 본 발명의 적용이 아닌 종래의 펠리클용 곤포 상자의 정면 단면도이다.1 is a perspective view of a packing box for pellicle to which the present invention is applied.
2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the pellicle packing box to which the present invention is applied.
3 is a cross-sectional view taken along line BB of a packing box for pellicle to which the present invention is applied.
4 is a cross-sectional view taken along line CC of a pellicle packing box to which the present invention is applied.
It is a partial sectional drawing of the vicinity of the bottom buffer body before and after fitting the bottom buffer of a pellicle packing box and a leg part of a pellicle container which apply this invention.
It is a partial sectional drawing of the leg part and bottom buffer vicinity of the pellicle container in the packing box for other pellicles which apply this invention.
It is a top view and DD line sectional drawing of the pellicle storage container mounted in the pellicle packing box which applies this invention.
8 is a front cross-sectional view of a packing box for pellicle in the related art which is not applied to the present invention.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들의 형태에 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although the form for implementing this invention is demonstrated in detail, the scope of the present invention is not limited to these forms.

본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 한 변이 1000㎜를 초과하는 대형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 안정되게 보관하여 수송 및 운반하기 위한 것으로서, 펠리클 수납 용기 저면으로부터 돌출된 복수의 다리부를 감합하는 복수의 저면 완충체가 곤포 상자 내의 저면에 설치되어 있는 것이다.The packing box for pellicle of the present invention is for stably storing, transporting, and transporting a pellicle storage container for storing a large pellicle of which one side is larger than 1000 mm, and a plurality of fittings for plural legs protruding from the bottom of the pellicle storage container. Bottom cushion is installed on the bottom of the packing box.

이 펠리클용 곤포 상자의 펠리클 수납 용기를 탑재한 사용 상태에 있어서의 일실시형태를 도 1?도 5에 나타낸다.1 to 5 show an embodiment in a use state in which a pellicle container of the pellicle packing box is mounted.

펠리클용 곤포 상자(1)는 도 1의 사시도에 나타나 있는 바와 같이, 사방 측면이 벽재(13)로 덮여 있고, 또한 상부면이 덮개체(20)로 덮여 있는 직육면체의 상자 형상인 것이다. 그 덮개체(20)는 고정용 밴드(21)에 의해 곤포 상자 전체에 체결되어 있다. 벽재(13)의 일부에는 손잡이(22)가 설치되어 있고, 이 펠리클용 곤포 상자(1)의 외부 저면의 코너부에는 4개의 캐스터(23)가 각각 부착되어 있다. 펠리클용 곤포 상자(1)는 캐스터(23)에 의해 펠리클용 곤포 상자의 외부 저면과 바닥면의 간격이 100㎜ 이상 확보되어 있으면 바람직하다. 간극이 확보됨으로써 펠리클용 곤포 상자(1)의 이동, 수납 및 인출시에, 예를 들면 포크리프트나 팰릿 리프터나 핸드 리프터 등의 반송기를 용이하게 사용할 수 있다.As shown in the perspective view of FIG. 1, the pellicle packing box 1 is a rectangular parallelepiped box shape in which the four sides are covered with the wall material 13, and the upper surface is covered with the cover body 20. As shown in FIG. The lid 20 is fastened to the entire packing box by the fixing band 21. A part of the wall material 13 is provided with a handle 22, and four casters 23 are attached to corner portions of the outer bottom of the pellicle packing box 1, respectively. It is preferable that the packing box 1 for pellicles ensures that the space | interval of the outer bottom face and bottom surface of the packing box for pellicles is 100 mm or more by the caster 23. As a clearance is secured, conveyers, such as a forklift, a pallet lifter, a hand lifter, can be used easily at the time of the movement, storage, and take-out of the pellicle packing box 1, for example.

도 1의 A-A 단면선에 있어서의 정면 단면도를 도 2에 나타낸다.Front sectional drawing in the A-A cross section line of FIG. 1 is shown in FIG.

탑재되어 있는 펠리클 수납 용기(30)는 트레이(32)와, 그것과 대향 배치되는 커버(31) 사이에 형성되는 공간에 펠리클을 수납하고 있는 것이다. 또한, 이 펠리클 수납 용기(30)는 그 외부 저면으로부터 돌출된 4개의 다리부(33)를 갖는다. 수납되는 펠리클은 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 통상광(通常光)을 충분하게 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소계 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클 막이 용매를 도포해서 바람으로 건조시켜 접착되거나, 또는 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 접착제로 접착되고, 또한 펠리클 프레임의 하단면에 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부덴 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되는 것이다. 또한, 펠리클을 포토마스크에 붙인 상태에 있어서, 펠리클 내부에 둘러싸여진 공간과 외부의 기압차를 없애기 위해서 펠리클 프레임의 일부에 기압 조정용의 작은 구멍을 형성하고, 작은 구멍을 통해서 이동하는 공기로부터의 이물 침입을 막기 위한 필터가 설치되는 것도 있다.The mounted pellicle container 30 houses the pellicle in a space formed between the tray 32 and the cover 31 disposed opposite thereto. In addition, this pellicle container 30 has four leg portions 33 protruding from its outer bottom. The pellicle to be stored is a transparent pellicle film made of nitrocellulose, cellulose acetate or fluorine-based resin that sufficiently transmits normal light to the upper surface of the pellicle frame made of aluminum, stainless steel, polyethylene, or the like and dried by wind. And a pressure-sensitive adhesive layer made of polybutene resin, polyvinyl acetate resin, acrylic resin, and the like, which are bonded to each other or adhered with an adhesive such as an acrylic resin or an epoxy resin, and which are attached to a photomask on the lower surface of the pellicle frame, and an adhesive layer. The release layer (separator) for the purpose of protection of is formed. Also, in the state where the pellicle is attached to the photomask, a small hole for air pressure adjustment is formed in a part of the pellicle frame so as to eliminate the air pressure difference between the space enclosed inside the pellicle and foreign matter from the air moving through the small hole. Some filters are provided to prevent intrusion.

커버(31), 트레이(32) 및 다리부(33)로 이루어지는 펠리클 수납 용기(30)를 탑재하는 내부 저면에서는 팰릿판(10)의 상면에 저판(11)이 리벳 및/또는 에폭시계 접착제와 같은 접착제를 이용하여 부착되어 있다. 그 저판(11) 상의 네 모서리에 사방 측면을 덮어 벽면이 되는 벽재(13)에 접촉하고 있는 L자형의 측면 완충체(14)가 고정되어 설치되어 있다. 또한, 저판(11) 상이고, 그 측면 완충체(14)보다 내측에서 펠리클 수납 용기(30)의 탑재시에 있어서의 각 다리부(33)의 위치에 상부면측에 오목부(17)를 갖는 오목형의 저면 완충체(18)가 각각 양면 테이프로 고정되어 설치되어 있다. 저면 완충체(18)의 고정은 저판(11) 상에 고정할 수 있으면 좋고, 양면 테이프와 같은 점착 테이프뿐만 아니라, 점착제나 접착제나 리벳을 사용해도 좋다.On the inner bottom of the pellicle container 30 including the cover 31, the tray 32, and the leg 33, the bottom plate 11 is formed on the upper surface of the pallet plate 10 with rivets and / or epoxy adhesives. It is attached using the same adhesive. The L-shaped side shock absorbers 14 are fixed to the four corners on the bottom plate 11 and are in contact with the wall material 13 serving as the wall surface. Moreover, the recess which has the recessed part 17 in the upper surface side in the position of each leg part 33 at the time of mounting of the pellicle container 30 on the inside of the bottom plate 11 and the side buffer body 14 inside. The bottom buffer 18 of the mold | type is respectively fixed and installed by double-sided tape. Fixing the bottom buffer 18 should just be able to fix on the bottom plate 11, and may use not only the adhesive tape like a double-sided tape but an adhesive, an adhesive agent, or a rivet.

이 측면 완충체(14)가 접촉하고 있는 벽재(13)는 그 사방 측면이 별도로 구성된 판 형상이며, 저판(11) 상의 주위에 형성된 가장자리(12)에서 착탈 가능하게 감합되어 서로 고정되어 있는 것이다. 이 벽재(13)는 원하는 면을 한 면씩 분리가 가능하게 되어 있으면 바람직하다. 필요한 곳만 벽재를 분리하고, 펠리클 수납 용기(30)를 포크리프트와 같은 반송기(도시하지 않음)에 의해 수납, 인출하는 것이 가능해져서 작업성이 향상된다. 또한, 벽재(13)는 저판(11) 상에 형성된 홈이나 팰릿판(10)과 저판(11)에 의해 형성된 홈에 착탈 가능하게 감합되어 서로 고정되어 있어도 좋다.The wall material 13 to which the side shock absorber 14 is in contact has a plate shape in which all four sides are separately formed, and is detachably fitted to and fixed to the edge 12 formed around the bottom plate 11. It is preferable that this wall material 13 be able to separate a desired surface one by one. The wall material is removed only where necessary, and the pellicle storage container 30 can be stored and taken out by a conveyer (not shown) such as a forklift, thereby improving workability. The wall material 13 may be detachably fitted to the groove formed on the bottom plate 11 or the groove formed by the pallet plate 10 and the bottom plate 11 to be fixed to each other.

상부면을 덮는 덮개체(20)는 펠리클 수납 용기(30)측의 일부에 펠리클 수납 용기(30)에 접촉 또는 근접하는 정도의 높이를 갖는 상면 완충체(19)가 형성되어 있는 것이다. 이 상면 완충체(19)는 직육면체이며 펠리클 수납 용기(30)의 커버(31)와의 접촉면이 평면 형상인 것이다. 상면 완충체(19)는 펠리클 수납 용기(30)의 상면에 접촉 또는 근접하고 있고, 덮개체(20)와 펠리클 수납 용기(30)의 간극을 메우는 것이다. 이 덮개체(20)는 버클로 고정되어 있어도 좋다.As for the cover body 20 which covers the upper surface, the upper surface shock absorber 19 which has the height of the grade which contacts or approaches the pellicle container 30 is formed in the part of the pellicle container 30 side. This upper surface buffer 19 is a rectangular parallelepiped, and the contact surface with the cover 31 of the pellicle container 30 is planar. The upper buffer 19 is in contact with or close to the upper surface of the pellicle storage container 30 to fill the gap between the lid 20 and the pellicle storage container 30. This cover body 20 may be fixed with a buckle.

도 2의 B-B 단면선에 있어서의 평면 단면도를 도 3에 나타내고, 또한 도 2의 C-C 단면선에 있어서의 평면 단면도를 도 4에 나타낸다.3 is a cross sectional plan view taken along the line B-B in FIG. 2, and a cross sectional view taken along the line C-C in FIG. 2.

L자형의 측면 완충체(14)는 저판(11) 상의 네 모서리에 있어서 직육면체의 측면 완충체(14)를 2개 접합함으로써 형성되어 있다. 이 측면 완충체(14)는 저면 완충체(18)의 오목부(17)에 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)가 감합되면, 그 펠리클 수납 용기(30)의 네 모서리가 측면 완충체(14)의 L자형에 각각 접촉 또는 근접하는 위치에 설치되어 있는 것이다. 측면 완충체(14)의 접촉면은 평면 형상이다. 이 측면 완충체(14)는 펠리클 수납 용기(30)의 측면에 접촉 또는 근접하고 있어 수송 및 운반에 있어서의 수평 방향으로 가해지는 충격이나 진동을 완충시킬 수 있다. 측면 완충체(14)와 펠리클 수납 용기(30)는 알맞게 감합하는 정도로 접촉하고 있거나, 최대로도 30㎜의 간극을 갖는 정도로 근접하고 있다.The L-shaped side shock absorbers 14 are formed by joining two rectangular parallelepiped shock absorbers 14 at four corners on the bottom plate 11. When the leg portion 33 of the pellicle container 30 fits into the recess 17 of the bottom buffer body 18, the four side edges of the pellicle container 30 are lateral buffered. It is provided in the position which contacts or approaches each L-shape of the sieve 14, respectively. The contact surface of the side buffer body 14 is planar shape. The side shock absorber 14 is in contact with or close to the side surface of the pellicle container 30, and can cushion shocks and vibrations applied in the horizontal direction during transportation and transport. The side shock absorber 14 and the pellicle storage container 30 are in contact with each other to the extent that they fit properly, or close to the extent having a gap of up to 30 mm.

4개의 저면 완충체(18)는 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)와 감합되는 오목부(17)를 상부면측을 향해 각각 분리되어서 설치되어 있다. 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)와 저면 완충체(18) 주변의 일부 단면도인 도 5에 나타나 있는 바와 같이, 저면 완충체(18)는 2종류의 경도가 다른 완충체층이 적층된 것이고, 고경도 완충체층(15)에 저경도 완충체층(16)이 적층되어서 형성되어 있다. 이 저면 완충체(18)의 오목부(17)에 펠리클 수납 용기(30)의 저면으로부터 돌출된 4개의 다리부(33)가 각각 감합함으로써 펠리클 수납 용기(30)가 펠리클용 곤포 상자 내에 안정되게 수납된다. 이 다리부(33)는 사람 손에 의한 운반인 경우 1220×1400㎜ 포토마스크용 펠리클에서 적어도 2명, 1620×1780㎜ 포토마스크용 펠리클에서 최저 4명, 바람직하게는 6명 이상이 필요하게 되는 펠리클 수납 용기(30)를 포크형 반송 수단을 이용하여 운반하기 위해서 설치한 것이고, 90?200㎜의 높이이다. 저면 완충체(18)는 펠리클 수납 용기(30)를 지지함과 동시에 수송 및 운반에 의한 수직 방향 및 수평 방향의 충격이나 진동을 흡수해 완화시키는 것이다. 경도가 다른 것을 적층함으로써 두께를 억제하면서, 또한 작은 충격부터 완충성을 발휘하고, 큰 충격에도 바터밍하지 않고 완충시키는 높은 완충 기능을 확보할 수 있다.The four bottom buffer bodies 18 are provided by separating the concave portions 17 fitted with the leg portions 33 of the pellicle storage container 30 toward the upper surface side, respectively. As shown in FIG. 5, which is a partial cross-sectional view of the leg 33 of the pellicle container 30 and the bottom buffer 18, the bottom buffer 18 is formed by stacking two buffer layers having different hardnesses. The low hardness buffer layer 16 is laminated on the high hardness buffer layer 15, and is formed. The four leg portions 33 protruding from the bottom surface of the pellicle storage container 30 respectively fit into the recesses 17 of the bottom buffer 18 so that the pellicle storage container 30 is stably in the pellicle packing box. It is stored. At least two people in the 1220 × 1400 mm photomask pellicle and at least four people, preferably six or more in the 1620 × 1780 mm photomask pellicle, are required for the leg part 33 when carrying by human hand. It installed in order to convey the pellicle container 30 using a fork-type conveying means, and is 90-200 mm in height. The bottom buffer 18 supports the pellicle container 30 and absorbs and alleviates shocks and vibrations in the vertical and horizontal directions due to transportation and transportation. By stacking the different hardnesses, it is possible to secure a high shock absorbing function that suppresses the thickness, exhibits shock resistance from a small impact, and cushions the buffer even without large impact.

이 저면 완충체(18)는 다리부(33)에 맞추어 그 측면에 접촉 또는 근접하는 폭과, 다리부(33)를 모두 삽입할 수 있고 또한 다리부 저면이 저면 완충체(18)에 접하지 않는 깊이로 이루어지는 오목부(17)를 갖고 있고, 수송이나 운반에 있어서의 진동 및 충격을 흡수하기 위해서 충분한 크기 및 두께를 갖는다. 펠리클 수납 용기(30)에 수납되는 펠리클은, 예를 들면 520×800㎜ 포토마스크용 펠리클의 경우에는 6㎏에 지나지 않지만, 1220×1400㎜ 포토마스크용 펠리클의 경우에는 약 40㎏, 또한 1620×1780㎜ 포토마스크용 펠리클의 경우에는 약 90㎏에도 달한다. 따라서, 다리부 주변의 펠리클 수납 용기 저면(34)과 저면 완충체(18)가 접촉하고, 그 접촉면에서 펠리클 수납 용기(30)의 하중을 분산해서 받고 있다. 항상 펠리클 수납 용기 저면(34)과 접촉하는 부분에 경도가 낮은 저경도 완충체층(16)을 배치함으로써 작은 충격에 대한 완충성을 향상시키고 있다.The bottom buffer 18 has a width in contact with or close to its side in accordance with the leg 33, and can insert both the leg 33 and the bottom of the leg does not contact the bottom buffer 18. It has the recessed part 17 which is not made deep, and has sufficient magnitude | size and thickness in order to absorb the vibration and shock in transport and conveyance. The pellicle accommodated in the pellicle container 30 is, for example, only 6 kg for a 520 × 800 mm photomask pellicle, but about 40 kg for a 1220 × 1400 mm photomask pellicle, and 1620 ×. In the case of a 1780 mm photomask pellicle, it reaches about 90 kg. Therefore, the pellicle storage container bottom face 34 and the bottom buffer 18 around a leg part contact, and the load of the pellicle storage container 30 is disperse | distributed on the contact surface. By arranging the low hardness buffer layer 16 having a low hardness in a portion where the pellicle storage container bottom face 34 is always in contact with the pellicle container, the buffer against small impact is improved.

예를 들면, 수송 및 운반에 있어서 작은 충격을 받았을 경우 항상 펠리클 수납 용기 저면(34)과 접촉해서 하중을 받고 있는 저경도 완충체층(16)에 의해 그 충격을 흡수하고, 큰 충격을 받았을 경우 저경도 완충체층(16)이 그 충격에 의해 크게 압축되지만, 상층의 압축에 따라 하층인 경도가 높은 고경도 완충체층(15)의 변형이 시작되고, 고경도 완충체층(15)에 의해 그 충격을 흡수한다. 이에 따라, 저면 완충체(18)는 그 완충 기능이 없어질 정도로 압축됨으로써 다리부(33)를 저판(11)에 부딪치는 바터밍을 하지 않고, 뛰어난 완충 효과를 발휘할 수 있다.For example, in the case of a small impact in transportation and transportation, the impact is absorbed by the low hardness buffer layer 16 which is always in contact with the pellicle container bottom face 34 and is under load. In addition, although the buffer layer 16 is greatly compressed by the impact, deformation of the high hardness buffer layer 15 having a lower hardness is started by the compression of the upper layer, and the impact is prevented by the high hardness buffer layer 15. Absorb. As a result, the bottom buffer 18 is compressed to such an extent that its buffering function is lost, thereby exerting excellent buffering effect without hitting the leg 33 against the bottom plate 11.

이 저면 완충체(18)는 펠리클 수납 용기(30)의 중량, 수송 수단, 상정하는 충격의 정도 등에 의해 그 오목부(17)나 전체의 크기, 두께, 경도, 및 접촉 면적을 적당하게 선택하면 바람직하다. 또한, 저면 완충체(18)의 크기는 그 경도와 더불어 적당하게 선택되면 바람직하다.When the bottom cushion 18 is appropriately selected in size, thickness, hardness, and contact area of the concave portion 17 or the whole according to the weight of the pellicle storage container 30, the transportation means, and the degree of impact to be assumed. desirable. In addition, the size of the bottom buffer 18 is preferably appropriately selected together with its hardness.

저면 완충체(18)의 크기는 수평 방향으로의 전단 변형성을 확보하는 관점으로부터 한 변의 길이가 대강 200?400㎜의 범위이면 바람직하다.The size of the bottom shock absorber 18 is preferably in the range of approximately 200 to 400 mm in length from the viewpoint of securing the shear strain in the horizontal direction.

저면 완충체(18)의 두께는 150?400㎜이고, 펠리클 수납 용기(30)와의 접촉 면적은 30000?150000㎟이면 바람직하다.It is preferable that the thickness of the bottom buffer 18 is 150-400 mm, and the contact area with the pellicle container 30 is 30000-150000 mm <2>.

저면 완충체(18)의 경도는 SRIS0101(일본 고무 협회 표준 규격)에 규정된 듀로미터(스프링식 경도계) 중 하나인 아스카(ASKER) C 경도계에 있어서, 아스카 C20?70이면 바람직하다.The hardness of the bottom buffer 18 is preferably Asuka C20 to 70 in the Asker C hardness tester, which is one of the durometers (spring hardness testers) specified in SRIS0101 (Japanese Rubber Association Standard Standard).

저면 완충체(18)의 오목부(17)는 다리부(33)의 측면과 오목부(17)의 벽면이 알맞게 감합하는 정도로 접촉하는 폭, 또는 다리부(33)의 측면과 오목부(17)의 벽면이 최대로도 20㎜의 간극을 갖는 정도로 근접하는 폭이면 바람직하다.The recessed part 17 of the bottom buffer body 18 is the width which contacts the side surface of the leg part 33, and the wall surface of the recessed part 17 moderately fits, or the side part and the recessed part 17 of the leg part 33. It is preferable that the width of the wall) is as close as possible with a gap of up to 20 mm.

이 저면 완충체(18)에 대하여 정확하게 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)가 감합하고 있으므로, 펠리클 수납 용기(30)를 경사지게 하거나 탈락시키거나 하지 않고 안정되게 보관하고, 진동이나 충격을 펠리클 수납 용기(30)나 펠리클에 주지 않고 수송 및 운반할 수 있다.Since the leg portion 33 of the pellicle storage container 30 fits the bottom buffer body 18 accurately, the pellicle storage container 30 is stably stored without inclining or dropping out, and vibration and impact are prevented. The pellicle container 30 and the pellicle can be transported and transported.

또한, 저면 완충체(18)의 구조는 고경도 완충체층(15) 상에 저경도 완충체층(16)이 적층된 2층 구조이고, 그 저경도 완충체층(16)과 펠리클 수납 용기 저면(34)이 접촉하는 저면 완충체(18)를 예시했지만 이것에 한정되지 않는다. 그 구조는 다층 구조라도 좋고, 저경도 완충체층(16) 상에 고경도 완충체층(15)이 형성된 것이라도 좋고, 다리부 저면과 저면 완충체(18)의 오목부(17)가 접촉하고 펠리클 수납 용기 저면(34)과 저면 완충체(18)가 비접촉하게 되는 것이라도 좋다.The bottom buffer 18 has a two-layer structure in which the low hardness buffer layer 16 is stacked on the high hardness buffer layer 15, and the low hardness buffer layer 16 and the bottom surface of the pellicle storage container 34 are 34. Although illustrated the bottom shock absorber 18 which a) contacts, it is not limited to this. The structure may be a multilayered structure, or may be one in which the high hardness buffer layer 15 is formed on the low hardness buffer layer 16, and the bottom surface of the leg portion and the concave portion 17 of the bottom buffer body 18 come into contact with each other to form a pellicle. The storage container bottom face 34 and the bottom buffer 18 may be in non-contact contact.

펠리클용 곤포 상자의 다른 형태로서, 펠리클 수납 용기의 다리부 및 저면 완충체 부근의 일부 단면도를 도 6에 나타낸다.As another form of the pellicle packing box, FIG. 6 shows a partial cross-sectional view of the pellicle storage container in the vicinity of the leg portion and the bottom buffer.

도 6의 (a)에 나타나 있는 바와 같이, 저면 완충체(18)는 저경도 완충체층(16)에 고경도 완충체층(15)이 형성되고, 저경도 완충체층(16)에 다리부 저면이 접촉하고, 고경도 완충체층(15)과 펠리클 수납 용기 저면(34)이 비접촉하게 되는 것이라도 좋다. 이 구조는 저부 면적이 작은 다리부 저면에서 펠리클 수납 용기(30)의 하중을 받기 위해 하층인 저경도 완충체층(16)을 큰 두께로 배치하고 있다. 이러한 형태인 경우 초기 상태에서 저경도 완충체층(16)은 어느 정도 가라앉아 있다. 큰 충격을 받으면 하층의 저경도 완충체층(16)은 더욱 크게 가라앉지만, 어느 정도 가라앉았을 때에 고경도 완충체층(15)에 펠리클 수납 용기 저면(34)이 접촉하여 큰 면적으로 하중을 가하도록 되기 때문에 큰 반발력이 발생한다. 그 결과, 큰 충격에서도 저면 완충체(18)가 바터밍하는 일이 없어지고, 도 5에 나타내는 형태와 같은 완충 효과를 얻을 수 있다.As shown in FIG. 6A, in the bottom buffer 18, a high hardness buffer layer 15 is formed on the low hardness buffer layer 16, and the bottom surface of the leg is formed on the low hardness buffer layer 16. The high hardness buffer layer 15 and the pellicle storage container bottom face 34 may be in contact with each other. This structure arrange | positions the low hardness buffer layer 16 which is a lower layer in order to receive the load of the pellicle container 30 from the bottom face of a leg part with a small bottom area. In this form, the low-hardness buffer layer 16 is somewhat submerged in the initial state. Under low impact, the lower hardness buffer layer 16 sinks even more, but when the temperature falls to some extent, the pellicle container bottom face 34 contacts the high hardness buffer layer 15 to apply a large area load. Large repulsion occurs. As a result, even when the impact is great, the bottom buffer 18 does not change, and the buffering effect similar to the form shown in FIG. 5 can be obtained.

또한, 도 6의 (b)에 나타나 있는 바와 같이 저면 완충체(18)는 저경도 완충체층(16)을 고경도 완충체층(15) 사이에 끼워 3층 구조로 형성된 것이라도 좋다. 이러한 형태인 경우 저경도 완충체층(16)의 두께가 얇기 때문에 저하중에서의 완충성은 도 5에 나타내는 형태보다 약간 떨어지지만 최표면에 나와 있는 고경도 완충체층(15)인 완충재에 경도가 있고, 펠리클 수납 용기(30)를 탑재할 때의 위치 맞추기가 쉬운 등, 취급 상의 이점이 있다. 이들 완충체층의 경도는 3층 모두 다른 것이라도 좋다. 또한, 3층 이상의 다층화한 형태라도 좋다.In addition, as shown in FIG. 6B, the bottom buffer 18 may be formed in a three-layer structure by sandwiching the low hardness buffer layer 16 between the high hardness buffer layers 15. In this case, since the low-hardness buffer layer 16 has a thin thickness, the buffering property during the drop is slightly lower than that shown in FIG. 5, but the hardness of the high-hardness buffer layer 15 shown in the outermost surface is high. There are advantages in handling, such as being easy to align when mounting the storage container 30. The hardness of these buffer layers may be different in all three layers. Moreover, the multilayered form of three or more layers may be sufficient.

이들 저면 완충체(18)의 오목부(17)의 깊이는 다리부(33)가 모두 삽입되는 것이라도 좋고, 다리부(33)의 일부가 삽입되는 것이라도 좋다.The depth of the recessed part 17 of these bottom buffer bodies 18 may insert all the leg part 33, and a part of leg part 33 may be inserted.

이들 저면 완충체(18)는 그 경도와 층의 순서, 접촉 면적에 따라 다양한 완충 특성을 얻을 수 있기 때문에 사용하는 펠리클 수납 용기(30)의 중량, 수송 수단, 상정하는 충격의 정도를 종합적으로 고려하여 적당하게 선택하여 최적인 것을 사용하면 바람직하다. 특히, 상층의 완충체의 경도가 하층의 완충체의 경도에 비해서 낮으면 바람직하다.Since these bottom buffers 18 can obtain various buffer characteristics according to the hardness, order of layers, and contact area, the weight of the pellicle storage container 30 to be used, the means of transportation, and the degree of impact to be assumed are comprehensively taken into consideration. It is preferable to use a suitable one by selecting appropriately. In particular, the hardness of the upper buffer is preferably lower than the hardness of the lower buffer.

이러한 충격이나 진동을 완충시키는 저면 완충체(18), 측면 완충체(14), 및 상면 완충체(19)의 재료는 적절한 완충 능력을 갖는 것으로서, 예를 들면 우레탄 발포재, 폴리에틸렌 발포체, 에틸렌아세트산 비닐 코폴리머 발포체, 에틸렌-프로필렌-디엔-메틸렌 고무 발포체 등을 들 수 있다.The material of the bottom buffer 18, the side buffer 14, and the top buffer 19 which cushions such an impact and a vibration has suitable buffering ability, for example, urethane foam, polyethylene foam, ethylene acetic acid Vinyl copolymer foams, ethylene-propylene-diene-methylene rubber foams, and the like.

펠리클용 곤포 상자(1)에 사용되는 팰릿판(10), 저판(11), 벽재(13), 덮개체(20)는 충분한 강도를 갖는 재질로 형성된 것이다. 그 재질은 구체적으로 플라스틱 골판지, 강화 골판지, 알루미늄판, 알루미늄 허니콤판 등을 들 수 있다.The pallet plate 10, the bottom plate 11, the wall material 13, and the cover body 20 used for the pellicle packing box 1 are formed of a material having sufficient strength. Specifically, the material may be plastic corrugated cardboard, reinforced corrugated cardboard, aluminum sheet, aluminum honeycomb sheet, or the like.

펠리클용 곤포 상자(1)는 캐스터(23)의 대체로서, 어저스터(adjuster)나 다른 다리부 등의 블록 형상인 것이 부착되어 있어도 좋다.As a substitute for the caster 23, the pellicle packing box 1 may be attached to a block shape such as an adjuster or another leg.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들의 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although the Example of this invention is described in detail, the scope of the present invention is not limited to these Examples.

(실시예)(Example)

도 1 에 나타나 있는 바와 같은 펠리클용 곤포 상자(1)를 제작했다. 제작한 곤포 상자(1)의 바깥 치수는 2250×2000×높이 850㎜(캐스터부 포함)이다.The packing box 1 for pellicles as shown in FIG. 1 was produced. The outer dimension of the prepared packing box 1 is 2250 x 2000 x 850 mm in height (including a caster part).

팰릿판(10)은 알루미늄 합금 각파이프(square pipe)의 용접 구조로 되어 있고, 그 4개소의 코너부에는 캐스터(23)를 설치했다. 벽재(13)는 두께 12㎜의 플라스틱 골판지를 사용하여 제작했지만 코너부는 알루미늄 합금 압출재가 부착되어 있고, 이 알루미늄 합금 압출재는 서로 조합되어 접속할 수 있는 구조로 했다.The pallet board 10 has the welding structure of the aluminum alloy square pipe, and the caster 23 was provided in the four corner parts. The wall material 13 was produced using plastic corrugated cardboard having a thickness of 12 mm, but the aluminum alloy extruded material was affixed to the corner portion, and the aluminum alloy extruded material was configured to be connected to each other in combination.

팰릿판(10)의 상면은 두께 15㎜의 플라스틱 골판지제의 저판(11)을 리벳 및 에폭시계 접착제를 이용하여 부착하고 있고, 그 외주부는 벽재(13)와 감합되어 있다. 저판(11)의 상면에는 소정의 위치에 저면 완충재(18)를 양면 테이프로 고정했다. 이 저면 완충재(18)의 구조는 도 5에 나타나 있는 바와 같은 단면 구조로 되어 있고, 속에 탑재하는 펠리클 수납 용기(30)의 다리부(33)와 거의 감합하도록 오목부(17)를 형성했다. 또한, 이 저면 완충재(18)는 발포 우레탄[(주)브리지스톤 제품, 상품명; 에버라이트(EVERLIGHT)]으로 제작하고, 그 크기는 250×300×높이 250㎜로 했다. 그리고, 경도가 낮은 층(16)은 높이 150㎜로서 외관 밀도 25㎏/㎥인 것을 사용하고, 경도가 높은 층(15)은 높이 100㎜, 외관 밀도 35㎏/㎥인 것을 사용했다.The upper surface of the pallet plate 10 attaches the bottom plate 11 made of plastic corrugated cardboard having a thickness of 15 mm using a rivet and an epoxy adhesive, and its outer peripheral portion is fitted with the wall material 13. On the upper surface of the bottom plate 11, the bottom cushioning material 18 was fixed with a double-sided tape in a predetermined position. The bottom buffer member 18 has a cross-sectional structure as shown in FIG. 5, and the recessed portion 17 is formed so as to almost fit into the leg portion 33 of the pellicle storage container 30 mounted therein. In addition, this bottom cushioning material 18 is foamed urethane [Bridgestones make, brand name; Everlight], and the size was 250 x 300 x 250 mm in height. And the layer 16 with low hardness used the thing of 25 kg / m <3> of external appearance density as height 150mm, and the layer 15 of high hardness used the thing of 100 mm height and 35 kg / m <3> appearance density.

이 저면 완충재(18) 상에 탑재하는 펠리클 수납 용기(30)의 평면도를 도 7(a)에 나타내고, 그 D-D선 단면도를 도 7(b)에 나타낸다. 펠리클 수납 용기(30)는 1620×1780㎜ 마스크용 펠리클을 수납하기 위한 것으로, 펠리클(70)을 수납한 곳을 상방으로부터 투시할 수 있는 아크릴제 커버(31), 알루미늄 합금제 트레이(32), 스테인레스강제 다리부(33)로 이루어지는 바깥 치수 1940×1700×높이 190㎜인 본체 저부에 높이 100㎜의 다리부(33)가 부착되어 있고, 총 중량은 90㎏이다. 트레이(32) 상면에는 SUS304제의 프레임 유지 핀(75) 및 그것을 지지하는 ABS 수지제의 핀 홀더(74)가 부착되어 있다. 프레임 유지 핀(75)은 핀 홀더(74)의 구멍(도시하지 않음)에 감합 유지되고, 그 축방향으로 넣고 빼기가 가능한 구조로 되어 있다. 펠리클 수납 용기(30)에 수납되는 펠리클(70)은, 예를 들면 바깥 치수 1748×1526㎜, 높이 8㎜인 것이고, 펠리클 프레임(71)의 상면에 펠리클 막 접착제(도시하지 않음)로 펠리클 막(72)이 접착되고, 펠리클 프레임(71)의 하면에 마스크 점착층(73) 및 펠리클 사용시에 그 점착층으로부터 박리되는 세퍼레이터(도시하지 않음)가 설치되어 있는 것이다. 이 펠리클 프레임(71)의 4개소의 외측면 코너부 근방에는 φ 2.5㎜의 비관통의 둥근 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 프레임 유지 핀(75)의 선단을 삽입, 감합함으로써 트레이(32) 상에 있어서 펠리클(70)이 움직이지 않도록 고정되는 구조로 되어 있다.The top view of the pellicle storage container 30 mounted on this bottom buffer material 18 is shown to FIG. 7 (a), and the sectional drawing of the D-D line is shown to FIG. 7 (b). The pellicle container 30 is for storing a 1620 x 1780 mm mask pellicle, an acrylic cover 31 for viewing the pellicle 70 from above, an aluminum alloy tray 32, A leg portion 33 having a height of 100 mm is attached to the bottom of the main body having an outer dimension of 1940 × 1700 × height of 190 mm made of the stainless steel leg portion 33, and has a total weight of 90 kg. The frame holding pin 75 made of SUS304 and the pin holder 74 made from ABS resin which support it are attached to the tray 32 upper surface. The frame holding pin 75 is fitted into and held in a hole (not shown) of the pin holder 74, and has a structure that can be inserted and removed in the axial direction. The pellicle 70 accommodated in the pellicle storage container 30 is, for example, having an outer dimension of 1748 × 1526 mm and a height of 8 mm, and a pellicle film (not shown) on the upper surface of the pellicle frame 71. The 72 is adhere | attached, and the mask adhesion layer 73 and the separator (not shown) which peels from the adhesion layer at the time of using a pellicle are provided in the lower surface of the pellicle frame 71. As shown in FIG. In the vicinity of the four outer surface corners of the pellicle frame 71, a non-penetrating round hole (not shown) of φ 2.5 mm is formed, and the tip of the frame holding pin 75 is inserted and fitted into the tray ( The pellicle 70 is fixed so as not to move on the 32. FIG.

이 펠리클 수납 용기(30)를 Class10의 클린룸 내에서 계면활성제와 순수(純水)를 이용하여 세정하고, 바람으로 건조시킴으로써 완전하게 건조시켰다. 그 후에, 암실 내에서 40만럭스의 집광 램프에 의해 커버(31), 트레이(32)의 내측을 정성들여 이물 검사하고, 육안으로 확인할 수 있는 미세정된 이물은 점착 테이프에 의해 전사 제거하여 완전히 이물이 없는 상태로 했다. 또한, 이때에 육안 확인한 커버(31), 트레이(32) 상의 이물은 대강 10㎛ 이상인 크기의 것이다.This pellicle container 30 was cleaned in a clean room of Class 10 by using a surfactant and pure water, and dried completely by air drying. After that, the inside of the cover 31 and the tray 32 are carefully inspected by a 400,000 lux condensing lamp in the dark room, and foreign matters that can be seen with the naked eye are transferred by an adhesive tape and completely removed. There was no foreign object. In addition, the foreign material on the cover 31 and the tray 32 which were visually confirmed at this time is a thing of size about 10 micrometers or more.

그리고, 이물 검사 후에 커버(31)를 트레이(32) 상에 조심스럽게 적재하고, 감합부는 점착 테이프(도시하지 않음)로 간극 없이 밀봉했다. 또한, 대전 방지 폴리에틸렌 자루(도시하지 않음)에 수납하고, 가열 밀봉에 의해 밀봉했다.And after the foreign material inspection, the cover 31 was carefully mounted on the tray 32, and the fitting part was sealed with no gap by adhesive tape (not shown). In addition, it was housed in an antistatic polyethylene bag (not shown) and sealed by heat sealing.

펠리클 수납 용기(30)와 벽재(13)의 간극에는 우레탄 발포체로 이루어지는 측면 완충체(14)가 배치되어 있다. 덮개체(20)는 두께 9㎜ 플라스틱 골판지를 알루미늄 합금제 앵글로 보강해서 제작한 것이고, 벽재(13)의 외측을 덮는 치수로 되어 있다. 또한, 매우 큰 흔들림에 의해 펠리클 수납 용기(30)가 곤포 상자(1) 내에서 어지럽혀진 사태를 상정하여, 만약을 위해 덮개체(20)의 내측에는 우레탄 발포체제의 상면 완충체(19)를 부착했다. 그리고, 덮개체(20)를 적재한 후 폴리아미드 수지제의 고정용 밴드(21)로 전체를 체결했다.The side buffer body 14 which consists of a urethane foam is arrange | positioned at the clearance gap between the pellicle container 30 and the wall material 13. The lid 20 is produced by reinforcing a 9 mm thick plastic corrugated sheet with an aluminum alloy angle, and has a dimension covering the outer side of the wall material 13. In addition, it is assumed that the pellicle container 30 is cluttered in the packing box 1 due to a very large shaking, and the upper surface cushion body 19 made of urethane foam is placed inside the lid 20 for the purpose of emergency. Attached. And after loading the cover body 20, the whole was fastened with the fixing band 21 made of polyamide resin.

상기한 바와 같이 해서 펠리클 수납 용기(30)를 수납한 펠리클용 곤포 상자(1)를 군마켄 다카사키시-후쿠오카켄 후쿠오카시까지의 약 1000㎞ 사이를 트럭 수송에 의해 왕복시켰다. 이때, 트럭 차량으로의 싣고 부리기는 포크리프트를 이용할 수 있어 용이하게 작업할 수 있었다.As described above, the pellicle packing box 1 in which the pellicle storage container 30 was stored was reciprocated by truck transportation between about 1000 km from Takasaki-gun, Gunmaken to Fukuoka-shi, Fukuoka. At this time, the forklift can be used for easy loading and unloading to the truck vehicle.

왕복 수송 후, 다시 펠리클용 곤포 상자(1)를 개봉하여 펠리클 수납 용기(30)를 상기 클린룸에 반입했다. 그리고, 상기와 완전히 같은 공정에 의해 암실 내에서 커버(31), 트레이(32)의 내측에 부착되어 있는 이물을 재확인했다.After the reciprocation transport, the packaging box 1 for pellicle was opened again, and the pellicle container 30 was carried in the said clean room. And the foreign material adhering to the inside of the cover 31 and the tray 32 in the dark room was reconfirmed by the same process as the above.

그 결과, 육안에 의해 확인할 수 있었던 것은 커버(31)의 내측에서 겨우 1개, 트레이(32)의 내측에서 4개이고, 또한 모두가 에어 블로우에 의해 용이하게 제거될 수 있었다. 또한, 왕복 수송은 펠리클(70) 미수납의 펠리클 수납 용기(30)로 행해졌지만 펠리클(70)을 수용해도 같은 결과이다.As a result, only one could be confirmed by the naked eye inside the cover 31 and four inside the tray 32, and all could be easily removed by air blow. In addition, although the reciprocation conveyance was performed by the pellicle container 30 which has not been stored in the pellicle 70, it is the same result even if the pellicle 70 is accommodated.

(비교예)(Comparative Example)

도 1에 나타나 있는 바와 같은 외관에서, 내부 단면이 도 8에 나타내는 형태로 되어 있는 곤포 상자(80)를 제작했다. 이 외관, 치수는 실시예의 펠리클용 곤포 상자(1)와 완전히 동일하지만, 내부에서 사용되고 있는 저면 완충재의 구조가 다른 것이다. 탑재한 펠리클 수납 용기(30)는 실시예와 완전히 같은 것을 사용했다.In the external appearance as shown in FIG. 1, the packing box 80 which produced the internal cross section as shown in FIG. 8 was produced. This appearance and dimensions are exactly the same as those of the packing box 1 for pellicle of the embodiment, but the structure of the bottom cushion material used inside is different. The mounted pellicle storage container 30 used the same thing as the Example.

저면 완충재(81)는 발포 우레탄[(주)브리지스톤 제품, 상품명; 에버라이트, 외관 밀도 25㎏/㎥]을 사용해서 제작하고, 그 바깥 치수는 1400×1500×높이(최정부) 200㎜이다. 여기에서, 펠리클 수납 용기(30)와의 접촉부에는 도 8의 일부 확대도에 나타나 있는 바와 같은 사각뿔 형상으로 깊이 약 30㎜의 요철 가공을 실시했다. 이 저면 완충재(81) 이외의 부재는 상기 실시예와 모두 동일한 구성으로 했다.Bottom cushioning material 81 is a foamed urethane [Bridgestone Co., Ltd., brand name; Everlight, appearance density 25 kg / m <3>], and the outer dimension is 1400 * 1500 * height (outmost) 200mm. Here, the contact portion with the pellicle storage container 30 was subjected to uneven processing having a depth of about 30 mm in a square pyramid shape as shown in a partially enlarged view of FIG. 8. Members other than this bottom buffer material 81 were made into the same structure as the said Example.

이 곤포 상자(80)를 실시예와 완전히 같은 공정에 의해 수송 시험을 행하고, 같은 검사 방법으로 펠리클 수납 용기 내부의 이물 증가에 대해서 확인했다. 그 결과, 커버(31)의 내측에서 12개, 트레이(32)의 내측에서 34개의 이물이 확인되었다. 이물의 대부분은 에어 블로우에 의해 제거할 수 있는 것이었지만, 그 중에는 50㎛을 초과하는 큰 것도 있어 펠리클의 수송 수단으로서는 사용이 곤란한 레벨이었다.The packing box 80 was transported by the same process as in Example, and the increase in foreign matter inside the pellicle storage container was confirmed by the same inspection method. As a result, twelve foreign matters were found on the inside of the cover 31 and on the inside of the tray 32. Most of the foreign matters could be removed by air blow, but some of them were larger than 50 µm and were difficult to use as a means of transporting pellicles.

본 발명의 펠리클용 곤포 상자는 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 리소그래피용 펠리클, 특히 액정 제조 용도로 사용되는 대형의 펠리클을 수납하고 있는 용기를 보관 및/또는 수송하기 위해서 사용된다.The packaging box for pellicle of the present invention stores and stores a container containing a pellicle for lithography used as a dust shield when manufacturing a semiconductor device, a printed board or a liquid crystal display, and particularly a large pellicle used for liquid crystal manufacturing. Or for transportation.

1 : 펠리클용 곤포 상자 10 : 팰릿판
11 : 저판 12 : 가장자리
13 : 벽재 14 : 측면 완충체
15 : 고경도 완충체층 16 : 저경도 완충체층
17 : 오목부 18 : 저면 완충체
19 : 상면 완충체 20 : 덮개체
21 : 고정용 밴드 22 : 손잡이
23 : 캐스터 30 : 펠리클 수납 용기
31 : 커버 32 : 트레이
33 : 다리부 34 : 펠리클 수납 용기 저면
70 : 펠리클 71 : 펠리클 프레임
72 : 펠리클 막 73 : 마스크 점착층
74 : 핀 홀더 75 : 프레임 유지 핀
80 : 곤포 상자 81 : 저면 완충재
A-A, B-B, C-C, D-D : 단면선1: packing box for pellicle 10: pallet
11: base plate 12: edge
13: wall material 14: side buffer
15: high hardness buffer layer 16: low hardness buffer layer
17 concave portion 18 bottom buffer
19: upper buffer 20: cover body
21: fixing band 22: the handle
23: caster 30: pellicle container
31 cover 32 tray
33: leg 34: pellicle storage container bottom
70: pellicle 71: pellicle frame
72 pellicle film 73 mask adhesive layer
74: pin holder 75: frame holding pin
80: packing box 81: bottom cushioning material
AA, BB, CC, DD: Section Line

Claims

적어도 한 개의 변 길이가 1000㎜를 초과하는 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기를 보관 및/또는 수송하기 위한 곤포 상자로서: 상기 곤포 상자의 내부 저면에 상기 펠리클 수납 용기의 외부 저면으로부터 돌출된 복수의 다리부를 각각 삽입하는 오목부를 갖는 복수의 완충체가 분리되어서 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.A packing box for storing and / or transporting a pellicle container for storing pellicles having at least one side length greater than 1000 mm, the package comprising: a plurality of legs protruding from an outer bottom of the pellicle container on an inner bottom of the packing box; A packaging box for pellicles, characterized in that a plurality of buffers each having a recess for inserting the portions are separated and attached.

제 1 항에 있어서,
상기 완충체는 경도가 다른 복수의 층이 적층되어서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.The method of claim 1,
Said buffer is formed by laminating | stacking the several layer from which hardness differs, The packaging box for pellicles characterized by the above-mentioned.

제 2 항에 있어서,
상기 완충체는 2층 구조이고, 상층의 상기 경도에 비해서 하층의 상기 경도가 높은 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.The method of claim 2,
Said buffer is a two-layered structure, The said packing of the pellicle box of the lower layer is high compared with the said hardness of the upper layer.

제 1 항에 있어서,
상기 곤포 상자의 외부 저면에 적어도 4개의 다리부 또는 차륜이 부착되어 있음으로써 상기 외부 저면과 바닥면의 간극이 적어도 100㎜로 되어 있음과 아울러 직육면체를 이루는 상기 곤포 상자의 사방 측면 중 적어도 한 면의 벽재가 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 펠리클용 곤포 상자.The method of claim 1,
At least four legs or wheels are attached to the outer bottom of the packing box so that the gap between the outer bottom and the bottom is at least 100 mm and at least one side of the four sides of the packing box forming a rectangular parallelepiped. A packing box for pellicles, wherein the wall material is removable.