JP5364736B2

JP5364736B2 - ペリクル用梱包箱

Info

Publication number: JP5364736B2
Application number: JP2011019967A
Authority: JP
Inventors: 一敏関原
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2011-02-01
Filing date: 2011-02-01
Publication date: 2013-12-11
Anticipated expiration: 2031-02-01
Also published as: KR101910850B1; JP2012158370A; CN102673890A; KR20120089188A; TW201238864A

Description

本発明は、半導体デバイス、プリント基板、大規模集積回路、液晶ディスプレイを製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルを収納している容器を輸送及び保管する梱包箱に関するものである。

大規模集積回路などの製造において、半導体ウエハや液晶用ガラス原板に光を照射してパターンを作製する際に用いるレチクルであるフォトマスクにゴミが付着していると、このゴミが光を遮ったり、曲げたりしてしまうために、転写したパターンが損なわれるという問題があった。このため、これらの作業は通常クリーンルーム内で行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つ事が難しく、フォトマスク表面にゴミよけとして、ペリクルを貼付する方法が取られている。

貼付けられたペリクルにより、異物はフォトマスクの表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。このペリクルは、ペリクルフレームの上端面に、通常光を十分に透過させる透明なペリクル膜が、溶媒を塗布して風乾させ接着され、又は接着剤で接着され、更にペリクルフレームの下端面に、フォトマスクに装着するための粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層(セパレータ）が設けられているものである。

また、近年、液晶ディスプレイの大型化に伴い、液晶用フォトマスクやペリクルも大型化が進んでおり、辺長が１０００ｍｍを超えるような極めて大きなものが出現している。このようなペリクルは当然、それを収納する容器も大型になり、かつ大型化に伴い収納容器の剛性を高める必要が出てくるため、それに伴う重量の増加も著しい。

このようなペリクル収納容器を運搬する場合、重量、サイズの問題から、人手での運搬が困難になってくる。辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルの運搬作業は、工数が極めて大きなものであるとともに、落下等させた場合には作業者に重大な損傷を与える恐れがあり、極めて危険が伴う作業であるため、フォークリフトなどのフォーク型搬送手段が用いられる。そのため、ペリクル収納容器の外部底部にはフォーク差込みを考慮して、突出した脚部が設けられる。

このようなペリクル収納容器を収納し、輸送するための梱包箱は、図８に示すようにペリクル収納容器に衝撃を与えないようにするため、内部底面に底面緩衝体８１及び内部側面に側面緩衝体１４を配置し、ペリクル収納容器３０を支持するように構成される。ここで、ペリクル辺長が５００ｍｍを超えるような大型のペリクル収納容器の場合、緩衝体の単位面積当たりの荷重が小さくなり、緩衝能力が発揮できないことがある。その様な場合、緩衝体の接触面積を減少させることで、緩衝能力を高めることができる（特許文献１）。一方、辺長が１０００ｍｍを超えるような極めて大型のペリクルの場合、ペリクル収納容器がかなりの重量となるため、硬度を適切に設計することが難しい。緩衝体の沈み込み初期の緩衝性と大きな衝撃が加わった際の底付き防止との両立が難しいためである。

さらには、水平方向の衝撃に対して緩衝能力を発揮しにくいという問題がある。ペリクル収納容器の重量が軽い場合には、緩衝体へのペリクル収納容器の沈み込みは少ないものとなり、水平方向から衝撃が加わった際には、緩衝体の上でペリクル収納容器がいくらか横滑りすることができた。側面に配置された緩衝体は、主として、横滑りしたペリクル収納容器をここで受け止めて衝撃を緩和するために配置されたものである。しかし、ペリクル収納容器の重量が極めて重い場合、そして、底面積が極めて大きい場合は、ペリクル収納容器は緩衝体に沈み込んでいるか、又は非常に摩擦の高い状態で載っている状態となる。したがって、水平方向の衝撃緩和には下面の緩衝体が水平方向にせん断変形することが必要となるが、大きな平板状の緩衝体はこの方向にはほとんど変形することはできないため、十分な緩衝能力が発揮できない。

これに対して、緩衝体の形状を、水平面の面積を小さく、厚さを極めて高くする、すなわち柱のような形状とすることで、水平方向への変形を向上することは可能である。しかし、単純に厚さを増すと無駄なスペースが増大することに加えて、さらにはペリクル収納容器の搭載時に極めて正確にペリクル収納容器を緩衝体上に載せないと、バランスの崩れから傾斜及び脱落する恐れがあり好ましくない。これらの点から、これまでペリクル収納容器の収納、取り出しが容易であるとともに、緩衝性が適切に設計され、異物付着の恐れがないペリクル用梱包箱は存在しなかった。

特開２００８−１００７３３号公報

本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルを収納したペリクル収納容器を傾斜及び脱落させることなく安定にかつ清浄な状態を保って保管するとともに、ペリクル収納容器及び収納されているペリクルに十分な緩衝能力を発揮して衝撃や振動を与えず、輸送及び運搬することが可能なペリクル用梱包箱を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するためになされた、特許請求の範囲の請求項１に記載されたペリクル用梱包箱は、少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器を保管及び／又は輸送するための梱包箱であって、該梱包箱の内部底面に、該ペリクル収納容器の外部底面から突出した複数の脚部を夫々挿入する凹みを有する複数の緩衝体が、分離して取り付けられており、該凹みは、該脚部が挿入されて該外部底面が該緩衝体の上面に接触したとき、該脚部の底面が該凹みの底面緩衝体に接触しない深さを有することを特徴とする。

請求項２に記載されたペリクル用梱包箱は、請求項１に記載されたものであって、前記緩衝体は、硬度の異なる複数の層が積層されて形成されていることを特徴とする。

請求項３に記載されたペリクル用梱包箱は、請求項２に記載されたものであって、前記緩衝体が２層構造であって、上層の前記硬度に比べて下層の前記硬度が高いことを特徴とする。

請求項４に記載されたペリクル用梱包箱は、請求項１に記載されたものであって、前記梱包箱の外部底面に少なくとも４つの脚部又は車輪が取り付けられていることによって、該外部底面と床面との間隙が少なくとも１００ｍｍとなっているとともに、直方体をなす該梱包箱の四方側面のうち少なくとも一面の壁材が着脱可能であることを特徴とする。

本発明のペリクル用梱包箱は、ひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるような特に大型で重いペリクルを収納しているペリクル収納容器から突出した複数の脚部を、各脚部夫々に対して個別に独立して梱包箱の内部底面に固定され設置されている底面緩衝体の凹みに挿入することで、ペリクル収納容器を支持し、安定にかつ清浄な状態を保って保管することができる。高さのある底面緩衝体に対して、正確にペリクル収納容器が搭載され、なおかつその脚部が各底面緩衝体の凹みに嵌合しているので、ペリクル収納容器が底面緩衝体から傾斜及び脱落する恐れがない。このため、輸送及び運搬の際に、収納されたペリクル及びペリクル収納容器にかかる垂直方向及び水平方向への振動及び衝撃を緩衝することができる。

また、このペリクル用梱包箱の底面緩衝体は、硬度の異なる複数の層が積層されており、重量の重いペリクル収納容器に対して、底面緩衝体の厚みを制御しつつ、小さな衝撃から緩衝性を発揮し、大きな衝撃に対しても底面緩衝体の緩衝機能が無くなる程に圧縮されたり底突きしたりすることなく、十分に緩衝能力を発揮することができる。ペリクル収納容器の重量、輸送手段、想定する衝撃の程度により、底面緩衝体の大きさ、厚み、硬度、層の組合せを調整することで、十分な緩衝能力を発揮し、収納されたペリクル及びペリクル収納容器に振動や衝撃を与えず、安全に輸送及び運搬することができる。

さらに、本発明のペリクル用梱包箱は、直方体をなす梱包箱の四方側面の少なくとも一面の壁材が取り外し可能であるため、ペリクル収納容器の搭載や取り出しにおいてフォーク型搬送手段を用いることができる。同様に、ペリクル用梱包箱の移動においても、梱包箱の外部底面と床面との間隙が確保されているため、フォーク型搬送手段を用いることができる。従って、移動、輸送、運搬などにおける作業の安全性を確保するとともに、作業効率の向上を図ることができる。

本発明を適用するペリクル用梱包箱の斜視図である。本発明を適用するペリクル用梱包箱のＡ−Ａ線正面断面図である。本発明を適用するペリクル用梱包箱のＢ−Ｂ線平面断面図である。本発明を適用するペリクル用梱包箱のＣ−Ｃ線平面断面図である。本発明を適用するペリクル用梱包箱の底面緩衝体とペリクル収納容器の脚部との嵌合前後における底面緩衝体付近の一部断面図である。本発明を適用する別のペリクル用梱包箱におけるペリクル収納容器の脚部及び底面緩衝体付近の一部断面図である。本発明を適用するペリクル用梱包箱に搭載するペリクル収納容器の平面図及びそのＤ−Ｄ線断面図である。本発明を適用外である従来のペリクル用梱包箱の正面断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。

本発明のペリクル用梱包箱は、一辺が１０００ｍｍを超えるような大型のペリクルを収納するペリクル収納容器を安定に保管し輸送及び運搬するためのものであって、ペリクル収納容器底面から突出した複数の脚部を嵌め合せる複数の底面緩衝体が梱包箱内の底面に設置されているものである。

このペリクル用梱包箱のペリクル収納容器を搭載した使用状態における一実施形態を図１〜５に示す。

ペリクル用梱包箱１は、図１の斜視図に示されるように、四方側面が壁材１３で覆われており、また天面が蓋体２０で覆われている直方体の箱状のものである。その蓋体２０は、固定用バンド２１にて梱包箱全体に締結されている。壁材１３の一部には、取っ手２２が設けられており、このペリクル用梱包箱１の外部底面の角部には４つのキャスタ２３がそれぞれ取り付けられている。ペリクル用梱包箱１は、キャスタ２３により、ペリクル用梱包箱の外部底面と床面との間隔が１００ｍｍ以上確保されていると好ましい。間隙が確保されることで、ペリクル用梱包箱１の移動、収納及び取り出しに際して、例えばフォークリフトやパレットリフターやハンドリフターなどの搬送機を容易に使用することができる。

図１のＡ−Ａ断面線における正面断面図を図２に示す。

搭載されているペリクル収納容器３０は、トレイ３２と、それと対向配置されるカバー３１との間に形成される空間にペリクルを収納しているものである。また、このペリクル収納容器３０は、その外部底面から突出した４つの脚部３３を有する。収納されるペリクルは、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面に、通常光を十分に透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース又はフッ素系樹脂などからなる透明なペリクル膜が、溶媒を塗布して風乾させ接着され、又はアクリル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着され、更にペリクルフレームの下端面に、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂などからなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層(セパレータ）が設けられるものである。また、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた状態において、ペリクル内部に囲まれた空間と外部との気圧差をなくすために、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐためのフィルターが設置されることもある。

カバー３１、トレイ３２及び脚部３３からなるペリクル収納容器３０を搭載する内部底面では、パレット板１０の上面に底板１１がリベット及び／又はエポキシ系接着剤のような接着剤を用いて取り付けられている。その底板１１上の四隅に、四方側面を覆い壁面となる壁材１３に当接しているＬ字型の側面緩衝体１４が固定され設置されている。また、底板１１上であって、その側面緩衝体１４より内側で、ペリクル収納容器３０の搭載時における各脚部３３の位置に、天面側に凹部１７を有する凹型の底面緩衝体１８がそれぞれ両面テープで固定され設置されている。底面緩衝体１８の固定は、底板１１上に固定できればよく、両面テープのような粘着テープだけでなく、粘着剤や接着剤やリベットを用いてもよい。

この側面緩衝体１４が当接している壁材１３は、その四方側面が別々に構成された板状であって、底板１１上の周囲に形成された縁１２で着脱可能に嵌め合わされ互いに固定されているものである。この壁材１３は、所望の面を１面ずつ取り外しが可能となっていると好ましい。必要なところだけ壁材を取り外して、ペリクル収納容器３０をフォークリフトのような搬送機（非図示）により収納、取出しすることが可能となり、作業性が向上する。また、壁材１３は、底板１１上に形成された溝やパレット板１０と底板１１とで形成された溝に、着脱可能に嵌め合わされ互いに固定されていてもよい。

天面を覆う蓋体２０は、ペリクル収納容器３０側の一部に、ペリクル収納容器３０に当接又は近接する程度の高さを有する上面緩衝体１９が形成されているものである。この上面緩衝体１９は、直方体でペリクル収納容器３０のカバー３１との接触面が平面状のものである。上面緩衝体１９は、ペリクル収納容器３０の上面に接触又は近接しており蓋体２０とペリクル収納容器３０との間隙を埋めるものである。この蓋体２０は、バックルで固定されていてもよい。

図２のＢ−Ｂ断面線における平面断面図を図３に示し、また、図２のＣ−Ｃ断面線における平面断面図を図４に示す。

Ｌ字型の側面緩衝体１４は、底板１１上の四隅において直方体の側面緩衝体１４を２つ接合することで形成されている。この側面緩衝体１４は、底面緩衝体１８の凹部１７にペリクル収納容器３０の脚部３３が嵌合されると、そのペリクル収納容器３０の四隅が側面緩衝体１４のＬ字型にそれぞれ接触又は近接する位置に設けられているものである。側面緩衝体１４の接触面は、平面状である。この側面緩衝体１４は、ペリクル収納容器３０の側面に接触又は近接しており輸送及び運搬における水平方向にかかる衝撃や振動を緩衝することができる。側面緩衝体１４とペリクル収納容器３０とは、程よく嵌り合う程度に接触しているか、最大でも３０ｍｍの隙間を有する程度に近接している。

４つの底面緩衝体１８は、ペリクル収納容器３０の脚部３３と嵌合される凹部１７を天面側に向けそれぞれ分離されて設置されている。ペリクル収納容器３０の脚部３３と底面緩衝体１８周辺との一部断面図である図５に示すように、底面緩衝体１８は、２種類の硬度の異なる緩衝体層が積層されたものであり、高硬度緩衝体層１５に低硬度緩衝体層１６が積層されて形成されている。この底面緩衝体１８の凹部１７にペリクル収納容器３０の底面から突出した４つの脚部３３がそれぞれ嵌合することで、ペリクル収納容器３０がペリクル用梱包箱内に安定に収納される。この脚部３３は、人手での運搬の場合、１２２０×１４００ｍｍフォトマスク用ペリクルで少なくとも２人、１６２０×１７８０ｍｍフォトマスク用ペリクルで最低４人、好ましくは６人以上が必要となるペリクル収納容器３０を、フォーク型搬送手段を用いて運搬するために設けたもので、９０〜２００ｍｍの高さである。底面緩衝体１８は、ペリクル収納容器３０を支持すると同時に、輸送及び運搬による垂直方向及び水平方向の衝撃や振動を吸収し緩和させるものである。硬度の異なるものを積層することで、厚みを抑制しつつ、さらに小さな衝撃から緩衝性を発揮し、大きな衝撃にも底突きすることなく緩衝する高い緩衝機能を確保することができる。

この底面緩衝体１８は、脚部３３に合わせその側面に当接又は近接する幅と、脚部３３を全て挿入することができ且つ脚部底面が底面緩衝体１８に接しない深さとからなる凹部１７を有しており、輸送や運搬における振動及び衝撃を吸収するために十分な大きさ及び厚みを有する。ペリクル収納容器３０に収納されるペリクルは、例えば、５２０×８００ｍｍフォトマスク用ペリクルの場合は６ｋｇに過ぎないが、１２２０×１４００ｍｍフォトマスク用ペリクルの場合はおよそ４０ｋｇ、さらに、１６２０×１７８０ｍｍフォトマスク用ペリクルの場合では、およそ９０ｋｇにも達する。従って、脚部周辺のペリクル収納容器底面３４と底面緩衝体１８とが接触し、その接触面でペリクル収納容器３０の荷重を分散して受けている。常にペリクル収納容器底面３４と接触する部分に硬度の低い低硬度緩衝体層１６を配置することで、小さな衝撃に対する緩衝性を高めている。

例えば、輸送及び運搬において小さな衝撃を受けた場合、常にペリクル収納容器底面３４と接触して荷重を受けている低硬度緩衝体層１６によりその衝撃を吸収し、大きな衝撃を受けた場合、低硬度緩衝体層１６がその衝撃により大きく圧縮されるが、上層の圧縮に伴い下層である硬度の高い高硬度緩衝体層１５の変形が始まり、高硬度緩衝体層１５によりその衝撃を吸収する。これより、底面緩衝体１８は、その緩衝機能が無くなる程に圧縮されることで脚部３３を底板１１に打ちつけるような底突きをすることなく、優れた緩衝効果を発揮することができる。

この底面緩衝体１８は、ペリクル収納容器３０の重量、輸送手段、想定する衝撃の程度などにより、その凹部１７や全体の大きさ、厚み、硬度、及び接触面積を適宜選択すると好ましい。また、底面緩衝体１８の大きさは、その硬度と合わせて適宜選択されると好ましい。

底面緩衝体１８の大きさは、水平方位へのせん断変形性を確保する観点から、一辺の長さが概ね２００〜４００ｍｍの範囲であると好ましい。

底面緩衝体１８の厚みは、１５０〜４００ｍｍであり、ペリクル収納容器３０との接触面積は、３００００〜１５００００ｍｍ^２であると好ましい。

底面緩衝体１８の硬度は、ＳＲＩＳ０１０１（日本ゴム協会標準規格）に規定されたデュロメータ（スプリング式硬度計）の一つであるアスカーＣ硬度計において、アスカーＣ２０〜７０であると好ましい。

底面緩衝体１８の凹部１７は、脚部３３の側面と凹部１７の壁面とが程よく嵌り合う程度に接触する幅、又は脚部３３の側面と凹部１７の壁面とが最大でも２０ｍｍの隙間を有する程度に近接する幅であると好ましい。

この底面緩衝体１８に対して正確にペリクル収納容器３０の脚部３３が嵌合しているので、ペリクル収納容器３０を傾斜させたり脱落させたりすることなく、安定に保管し、振動や衝撃をペリクル収納容器３０やペリクルに与えることなく輸送及び運搬することができる。

また、底面緩衝体１８の構造は、高硬度緩衝体層１５上に低硬度緩衝体層１６が積層された２層構造で、その低硬度緩衝体層１６とペリクル収納容器底面３４とが接触する底面緩衝体１８を例示したが、これに限られない。その構造は、多層構造であってもよく、低硬度緩衝体層１６上に高硬度緩衝体層１５が形成されたものであってもよく、脚部底面と底面緩衝体１８の凹部１７とが接触しペリクル収納容器底面３４と底面緩衝体１８とが非接触となるものであってもよい。

ペリクル用梱包箱の別の形態として、ペリクル収納容器の脚部及び底面緩衝体付近の一部断面図を図６に示す。

図６の（ａ）に示すように、底面緩衝体１８は、低硬度緩衝体層１６に高硬度緩衝体層１５が形成され、低硬度緩衝体層１６に脚部底面が接触し、高硬度緩衝体層１５とペリクル収納容器底面３４とが非接触となるものであってもよい。この構造は、底面積の小さい脚部底面でペリクル収納容器３０の荷重を受けるため、下層である低硬度緩衝体層１６を大きな厚みで配置している。このような形態の場合、初期状態で低硬度緩衝体層１６はある程度沈みこんでいる。大きな衝撃を受けると、下層の低硬度緩衝体層１６はさらに大きく沈みこむが、ある程度沈みこんだところで高硬度緩衝体層１５にペリクル収納容器底面３４が接触し、大きな面積で荷重をかけるようになることから、大きな反発力が発生する。その結果、大きな衝撃でも底面緩衝体１８が底突きすることがなくなり、図５に示す形態と同様の緩衝効果を得ることができる。

また、図６の（ｂ）に示すように、底面緩衝体１８は、低硬度緩衝体層１６を高硬度緩衝体層１５で挟み３層構造で形成されたものであってもよい。このような形態の場合、低硬度緩衝体層１６の厚さが薄いため、低荷重での緩衝性は図５に示す形態よりも若干劣るが、最表面に出ている高硬度緩衝体層１５である緩衝材に硬さがあり、ペリクル収納容器３０を搭載する際の位置あわせがしやすいなど、取り扱い上の利点がある。これらの緩衝体層の硬度は、３層とも異なるものであってもよい。さらに３層以上の多層化した形態であってもよい。

これらの底面緩衝体１８の凹部１７の深さは、脚部３３が全て挿入されるものであってもよく、脚部３３の一部が挿入されるのであってもよい。

これらの底面緩衝体１８は、その硬度と層の順番、接触面積により様々な緩衝特性を得ることができるため、使用するペリクル収納容器３０の重量、輸送手段、想定する衝撃の程度を総合的に考慮して、適宜選択し最適なものを使用すると好ましい。特には、上層の緩衝体の硬度が下層の緩衝体の硬度に比べて低いと好ましい。

このような衝撃や振動を緩衝する底面緩衝体１８、側面緩衝体１４、及び上面緩衝体１９の材料は、適切な緩衝能力を有するものであって、例えば、ウレタン発泡材、ポリエチレン発泡体、エチレン酢酸ビニルコポリマー発泡体、エチレン−プロピレン−ジエン−メチレンゴム発泡体などが挙げられる。

ペリクル用梱包箱１に用いられるパレット板１０、底板１１、壁材１３、蓋体２０は、十分な強度を有する材質で形成されたものである。その材質は、具体的に、プラスチックダンボール、強化ダンボール、アルミニウム板、アルミハニカム板などが挙げられる。

ペリクル用梱包箱１は、キャスタ２３の代替として、アジャスタや他の脚部などのブロック状のものが付いていてもよい。

以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例）
図１に示すようなペリクル用梱包箱１を製作した。製作した梱包箱１の外寸は、２２５０×２０００×高さ８５０ｍｍ（キャスタ部含む）である。

パレット板１０はアルミニウム合金角パイプの溶接構造となっており、その４箇所の角部にはキャスタ２３を設けた。壁材１３は厚さ１２ｍｍのプラスチックダンボールを用いて製作したが、角部はアルミニウム合金押し出し材が取り付けられており、このアルミニウム合金押し出し材は相互に組み合わせて接続できる構造とした。

パレット板１０の上面は厚さ１５ｍｍのプラスチックダンボール製の底板１１をリベット及びエポキシ系接着剤を用いて取り付けており、その外周部は壁材１３と嵌め合いになっている。底板１１の上面には所定の位置に底面緩衝材１８を両面テープで固定した。この底面緩衝材１８の構造は、図５に示すような断面構造となっており、中に搭載するペリクル収納容器３０の脚部３３とほぼ嵌合するように凹部１７を設けた。なお、この底面緩衝材１８は発泡ウレタン（（株）ブリジストン製、商品名；エバーライト）で製作し、その大きさは、２５０×３００×高さ２５０ｍｍとした。そして、硬度の低い層１６は高さ１５０ｍｍとして見掛密度２５ｋｇ／ｍ^３のものを用い、硬度の高い層１５は高さ１００ｍｍ、見掛密度３５ｋｇ／ｍ^３のものを用いた。

この底面緩衝材１８上に搭載するペリクル収納容器３０の平面図を図７（ａ）に示し、そのＤ−Ｄ線断面図を図７（ｂ）に示す。ペリクル収納容器３０は、１６２０×１７８０ｍｍマスク用ペリクルを収納するためのもので、ペリクル７０を収納したところを上方より透視できるアクリル製カバー３１、アルミニウム合金製トレイ３２、ステンレス鋼製脚部３３からなる外寸１９４０×１７００×高さ１９０ｍｍの本体底部に高さ１００ｍｍの脚部３３が取り付けられており、総重量は９０ｋｇである。トレイ３２上面にはＳＵＳ３０４製のフレーム保持ピン７５及びそれを支持するＡＢＳ樹脂製のピンホルダ７４が取り付けられている。フレーム保持ピン７５はピンホルダ７４の孔（非図示）に嵌合保持され、その軸方向に抜き差しが可能な構造となっている。ペリクル収納容器３０に収納されるペリクル７０は、例えば、外寸１７４８×１５２６ｍｍ、高さ８ｍｍのもので、ペリクルフレーム７１の上面にペリクル膜接着剤（非図示）でペリクル膜７２が接着され、ペリクルフレーム７１の下面にマスク粘着層７３及びペリクル使用時にその粘着層から剥がされるセパレータ（非図示）が設けられているものである。このペリクルフレーム７１の４箇所の外側面角部近傍にはφ２．５ｍｍの非貫通の丸孔（非図示）が設けられており、フレーム保持ピン７５の先端を挿入、嵌合することでトレイ３２上においてペリクル７０が動かないように固定される構造となっている。

このペリクル収納容器３０を、Ｃｌａｓｓ１０のクリーンルーム内にて界面活性剤と純水を用いて洗浄し、風乾により完全に乾燥させた。その後、暗室内にて４０万ルクスの集光ランプにてカバー３１、トレイ３２の内側を念入りに異物検査し、目視で確認できる洗浄残りの異物は粘着テープにて転写除去して、全く異物がない状態とした。なお、この時に目視確認したカバー３１、トレイ３２上の異物は概ね１０μｍ以上の大きさのものである。

そして、異物検査後にカバー３１をトレイ３２上に注意深く載せ、嵌合部は粘着テープ（非図示）で隙間無くシールした。さらには、帯電防止ポリエチレン袋（非図示）に収納し、ヒートシールにて密封した。

ペリクル収納容器３０と壁材１３の間隙には、ウレタン発泡体からなる側面緩衝体１４が配置されている。蓋体２０は厚さ９ｍｍプラスチックダンボールをアルミニウム合金製アングルで補強して製作したもので、壁材１３の外側を覆うような寸法となっている。さらに、極めて大きな揺れによりペリクル収納容器３０が梱包箱１内で暴れた事態を想定し、念のため、蓋体２０の内側にはウレタン発泡体製の上面緩衝体１９を取り付けた。そして、蓋体２０を載せた後、ポリアミド樹脂製の固定用バンド２１で全体を締結した。

前記のようにしてペリクル収納容器３０を収納したペリクル用梱包箱１を、群馬県高崎市―福岡県福岡市までの約１０００ｋｍの間をトラック輸送にて往復させた。このとき、トラック車両への積み下ろしはフォークリフトが利用でき、容易に作業することができた。

往復輸送後、再びペリクル用梱包箱１を開梱し、ペリクル収納容器３０を前記クリーンルームに搬入した。そして、前記と全く同じ工程により暗室内にてカバー３１、トレイ３２の内側に付着している異物を再確認した。

その結果、目視にて確認できたのはカバー３１の内側でわずかに１個、トレイ３２の内側で４個であり、しかも全てがエアブローにて容易に除去することができた。なお、往復輸送はペリクル７０未収納のペリクル収納容器３０で行ったが、ペリクル７０を収容しても同様の結果である。

（比較例）
図１に示すような外観で、内部断面が図８に示す形態となっている梱包箱８０を製作した。この外観、寸法は実施例のペリクル用梱包箱１と全く同一であるが、内部で使用されている底面緩衝材の構造が異なるものである。搭載したペリクル収納容器３０は実施例と全く同じものを用いた。

底面緩衝材８１は発泡ウレタン（（株）ブリジストン製、商品名；エバーライト、見掛密度２５ｋｇ／ｍ^３）を用いて製作し、その外寸は１４００×１５００×高さ（最頂部）２００ｍｍである。ここで、ペリクル収納容器３０との接触部には図８の一部拡大図に示すような四角錐状で深さ約３０ｍｍの凹凸加工を施した。この底面緩衝材８１以外の部材は上記実施例と全て同一の構成とした。

この梱包箱８０を実施例と全く同じ工程にて輸送試験を行い、同じ検査方法にてペリクル収納容器内部の異物増加について確認した。その結果、カバー３１の内側で１２個、トレイ３２の内側で３４個の異物が確認された。異物の多くはエアブローにて除去できるものであったが、中には５０μｍを超えるような大きなものもあり、ペリクルの輸送手段としては使用が困難なレベルであった。

本発明のペリクル用梱包箱は、半導体デバイス、プリント基板又は液晶ディスプレイなどを製造する際のゴミよけとして使用される、リソグラフィー用ペリクル、特には液晶製造用途で使用される大型のペリクルを収納している容器を保管及び／又は輸送するために用いられる。

１はペリクル用梱包箱、１０はパレット板、１１は底板、１２は縁、１３は壁材、１４は側面緩衝体、１５は高硬度緩衝体層、１６は低硬度緩衝体層、１７は凹部、１８は底面緩衝体、１９は上面緩衝体、２０は蓋体、２１は固定用バンド、２２は取っ手、２３はキャスタ、３０はペリクル収納容器、３１はカバー、３２はトレイ、３３は脚部、３４はペリクル収納容器底面、７０はペリクル、７１はペリクルフレーム、７２はペリクル膜、７３はマスク粘着層、７４はピンホルダ、７５はフレーム保持ピン、８０は梱包箱、８１は底面緩衝材、Ａ−Ａ，Ｂ−Ｂ，Ｃ−Ｃ，Ｄ−Ｄは断面線である。

Claims

少なくともひとつの辺長が１０００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器を保管及び／又は輸送するための梱包箱であって、
該梱包箱の内部底面に、該ペリクル収納容器の外部底面から突出した複数の脚部を夫々挿入する凹みを有する複数の緩衝体が、分離して取り付けられており、
該凹みは、該脚部が挿入されて該外部底面が該緩衝体の上面に接触したとき、該脚部の底面が該凹みの底面緩衝体に接触しない深さを有することを特徴とするペクリル用梱包箱。
前記緩衝体は、硬度の異なる複数の層が積層されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル用梱包箱。
前記緩衝体が２層構造であって、上層の前記硬度に比べて下層の前記硬度が高いことを特徴とする請求項２に記載のペリクル用梱包箱。
前記梱包箱の外部底面に少なくとも４つの脚部又は車輪が取り付けられていることによって、該外部底面と床面との間隙が少なくとも１００ｍｍとなっているとともに、直方体をなす該梱包箱の四方側面のうち少なくとも一面の壁材が着脱可能であることを特徴とする請求項１に記載のペリクル用梱包箱。