JP2010064775A - ペリクル梱包構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクル、該ペリクルを内部に収納した略直方体の形状を有する収納容器、及び該収納容器を内部に収納した略直方体の形状を有する梱包箱からなるペリクル梱包構造体であって、収納容器が収納容器底面の外側面において間隔をあけて配置された複数の脚部を有し、梱包箱が該収納容器底面の下に位置する梱包箱底面の内側面において単数または間隔をあけて配置された複数の凸部を有し、該凸部と該脚部とが互いに接触しない配置であって、該凸部の高さが該脚部の高さより小さいペリクル梱包構造体。
【選択図】図2
Description
従来、シリコンウエハへの半導体回路パターン形成、及び液晶パネル等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクル(以下「マスク等」という。)への異物の付着を防止することが行われている。
ペリクルはマスク等の形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ10μm以下の透明な高分子膜(以下、「ペリクル膜」という)を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着したものである。通常ペリクルは、マスク等に装着される前は、該ペリクルの粘着材からなる粘着材層上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させた形態で扱われるが、以下では保護フィルムの有無を区別せずに両方ともペリクルと呼ぶ。前記粘着材は、ペリクルをマスク等に固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、粘着材層の表面を保護するものである。
しかしながら、従来の収納容器の底面は平坦であり、梱包箱に収納された状態ではフォークリフトの爪を入れ込むスペースが確保できない。また、梱包箱底面の内側面の4隅に収納容器を衝撃から守るための緩衝材を配置して、梱包箱が衝撃を受けた場合であっても収容容器がその衝撃を直接受けないようにした場合であっても、緩衝材による隙間ではフォークリフトの爪を入れ込むスペースが十分確保できない場合もある。さらには、収納容器を防塵用の袋で覆って密閉している場合には、スペースがあったとしても該袋がたるむことによって、フォークリフトの爪を入れるスペースが益々確保しづらくなっている。
本発明は、ペリクル用の収納容器を発塵の心配なく、且つ、機械により、容易に梱包箱に収納、または取り出しを行うためのペリクル梱包構造体を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、以下のペリクル梱包構造体、およびその製造方法である。
2.ペリクル、該ペリクルを内部に収納した略直方体の形状を有する収納容器、及び該収納容器を内部に収納した略直方体の形状を有する梱包箱からなるペリクル梱包構造体であって、収納容器が収納容器底面の外側面において間隔をあけて配置された複数の脚部を有し、梱包箱が該収納容器底面の下に位置する梱包箱底面の内側面において単数または間隔をあけて配置された複数の凸部を有するとともに該収納容器の各脚部の下に位置する梱包箱底面の内側面において緩衝部を有し、該凸部と該脚部とが互いに接触しない配置であって、該凸部の高さが該脚部の高さと該緩衝部の高さとの和より小さいペリクル梱包構造体。
4.凸部が、収納容器の対向する2辺と略平行に配置された3組の直方体の形状を有する上記1〜3のいずれかに記載のペリクル梱包構造体。
5.収納容器が、高分子フィルム製の袋で密閉されるように覆われている状態で梱包箱に収納されている上記1〜4のいずれかに記載のペリクル梱包構造体。
6.ペリクルを底面の外側面に脚部を有するトレイと蓋からなる収納容器に収納する工程、該収納容器を高分子フィルム製の袋に入れて密閉する工程、袋に入れた該収納容器を底面の内側面に凸部を有する梱包箱に収納する工程からなる上記5に記載のペリクル梱包構造体の製造方法。
図1は、従来のペリクル梱包構造体の縦断面説明図であり、ペリクルがトレイと蓋からなる収納容器に収納され、該収納容器が高分子フィルム製の防塵袋で密閉された状態で、梱包箱に収納された状態が表されている。
該梱包構造体の開梱にあたっては、まず梱包箱上面をはずし、緩衝材(図示せず)を除去した後、梱包箱側面をはずす。しかしながら、図1のペリクル梱包構造体では、収納容器底面と梱包箱底面の間のスペースがないために、フォークリフトの爪部を入れることは困難である。
図1のペリクル梱包構造体において、梱包箱底面の内側面の4隅に緩衝材を入れることによって収納容器底面と梱包箱底面の間にスペースを設けることも考えられる。しかしながら、フォークリフトの爪部を入れるのに十分なスペースを設けたとしても、該スペースに防塵袋がたれ下がるためフォークリフトの爪を入れることは困難である。
ここで、上記収納容器は、収納容器底面の外側面に間隔をあけて配置された複数の脚部を有する。該脚部は、バランス上の理由で収納容器の4辺上に配置されていることが好ましく、フオークリフトの爪部を入れる部分を確保するために収納容器底面の4隅、または対向する2辺上に配置されていることがより好ましい。脚部の高さは、10〜30cmが好ましい。高さが10cm以上であればフォークリフトの爪部を入れる部分を確保しやすく、30cm以内であれば無駄な空間の増加を防ぐことができる。
該梱包構造体の開梱にあたっては、まず梱包箱上面をはずし、緩衝材(図示せず)を除去した後、梱包箱側面をはずす。図2のペリクル梱包構造体では、収納容器底面と梱包箱底面の間に凸部により区切られた脚部によるスペースがあるために、該スペースに防塵袋がたれ下がることなくフォークリフトの爪を入れることが可能である。
該収納容器については、脚部の高さを後述する緩衝部の高さとの合計で、20〜60cmとすることが好ましいことを除いて、本発明の第一の態様のペリクル梱包構造体と同じであるので説明を省略する。なお、脚部と緩衝部の高さの合計は、静置状態のペリクルを含む収納容器の荷重により緩衝部が変形した状態で測定するものとする。
本発明のペリクル梱包構造体の製造方法は、ペリクルを底面の外側面に脚部を有するトレイと蓋からなる収納容器に収納する工程、該収納容器を高分子フィルム製の袋に入れて密閉する工程、及び袋に入れた該収納容器を底面の内側面に凸部を有する梱包箱に収納する工程からなる。
ペリクルは、枠体と、枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、枠体の下縁面に塗着された粘着材層と、粘着材層を保護するために粘着材層に粘着された保護フィルムとからなる。ここでペリクル膜は枠体の上縁面に接着剤層を介して接着されている。なお、ペリクル膜の面積は、枠体の外形面積に相当する。
接着剤としては、紫外線硬化型接着剤、フッ素樹脂系接着剤などの従来一般的に用いられているものを使用することができる。また、粘着材としては、公知のものを用いることが可能である。一般的には、粘着材として、スチレンエチレンブチレンスチレン系、スチレンエチレンプロピレンスチレン系、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、または発泡フィルム等の基材からなる両面粘着テープを用いることが可能である。ホットメルト粘着材に関しては、通常のシリンジ等を用いる押出し塗布によって枠体に配置することができる。さらに、押出し塗布後、熱、圧力をかけながら平面板のような成型盤でプレス等を行っても良い。
第一の工程においては、上述したペリクルを底面の外側面に脚部を有するトレイと蓋からなる収納容器に収納する。蓋とトレイとの嵌合面は全周にわたり、テープでシールするか、または、トレイと蓋とのコーナー部にクリップを取り付けることで固定してもよい。
収納容器の材質は、ポリエチレンテレフタレート樹脂や、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等の樹脂が使用できる。また、帯電防止タイプの樹脂を用いてもよい。さらに、アルミニウムやその合金、例えばジュラルミン、または鉄やその合金、例えばステンレス等のペリクル収納容器に用いられているものであれば金属材料も使用できる。これら金属材料を用いた収納容器の場合は、塗装等の表面処理されたものであってもかまわない。特に、アウトガスの発生量が少ないものを使用することが好ましい。
また、凸部の材質は、紙や発泡体・弾性体等のプラスチックが使用できる。特にポリスチレンやポリウレタン等の発泡体が好ましい。これらの凸部は接着剤によって梱包箱底面に直接、または前記板状部材に取り付けることができる。
凸部の好ましい形状及び配置としては、図5に示したように、収納容器の対向する2辺と略平行に配置された3組の直方体の形状を有する凸部があげられる。この場合フォークリフトの爪部の幅及び間隔を、これらの凸部と凸部との間に爪が入るようにあわせることで、フォークリフトによる運搬作業を容易に行うことが可能となる。また、図6に示したように、収納容器の対向する2辺と略平行に配置された9組の直方体の形状を有する凸部があげられる。この場合は、フォークリフトの爪部の幅及び間隔を、これらの凸部と凸部との間に爪が入るようにあわせることで、二方向からのフォークリフトによる運搬作業を容易に行うことが可能となる。
なお、梱包箱への収納にあたっては、梱包箱と袋で密閉した収納容器のすきまにクッション材等をつめてもかまない。また、ペリクル梱包構造体の運送にあたっては、ペリクル梱包構造体の外側に梱包用のテープや紐等をかけて縛って固定してもよいし、ペリクル梱包構造体を運送用のパレットの上に載せた上で、該パレットごと固定した構造体としてもよい。
外形寸法が170cm×160cmの矩形で、幅12mmのアルミニウム合金製の枠体の、上縁面にセルロースからなるペリクル膜を接着し、下縁面に粘着材を塗布したペリクルを準備した。
トレイと蓋からなり蓋を閉めた時の外寸が幅180cm奥行き170cm高さ18cmの略直方体の形状を有し、底面の外側面の4隅には、幅9cm奥行き15cm高さ15cmの超高分子ポリエチレンからなる脚部がネジ止めによって固定された収納容器を準備し、上記ペリクルをトレイに固定した上で蓋をしめて収納した。
幅210cm奥行き200cm高さ70cmの紙製段ボール箱からなる梱包箱を用意した。該箱は梱包箱底面、梱包箱側面、梱包箱上面の3つに分かれた構造を有する。図5の形状の凸部(幅20cm奥行き170cm高さ30cmの直方体が40cmの間隔をおいて3つ配置)と緩衝部(幅15cm奥行き20cm高さ20cmの直方体が4つ)を有する段ボール紙製の板状部材(厚み5mm)を用意して、梱包箱底面の上に重ねた。該板状部材の上に袋で密閉した上記収納容器を積載し、該梱包箱底面の上に梱包箱側面をのせ、該梱包箱側面の上に梱包箱上面をのせて、ペリクル梱包構造体とした。
上記ペリクル梱包構造体を、以下のように開梱した。まず梱包箱上面を除去した。次に梱包箱側面をはずして、フォークリフトの爪(爪の幅20cm、長さ210cm、間隔40cm)を、収納容器底面と、梱包箱底面(板状部材)と3つの凸部によって形成されたスペースに入れて持ち上げることで容易に取り出すことができた。
2 枠体
3 ペリクル
4 蓋
5 トレイ
6 収納容器
7 袋
8 梱包箱上面
9 梱包箱側面
10 梱包箱底面
11 脚部
12 凸部
13 緩衝部
14 板状部材
Claims (6)
- ペリクル、該ペリクルを内部に収納した略直方体の形状を有する収納容器、及び該収納容器を内部に収納した略直方体の形状を有する梱包箱からなるペリクル梱包構造体であって、
収納容器が収納容器底面の外側面において間隔をあけて配置された複数の脚部を有し、梱包箱が該収納容器底面の下に位置する梱包箱底面の内側面において単数または間隔をあけて配置された複数の凸部を有し、該凸部と該脚部とが互いに接触しない配置であって、該凸部の高さが該脚部の高さより小さいペリクル梱包構造体。 - ペリクル、該ペリクルを内部に収納した略直方体の形状を有する収納容器、及び該収納容器を内部に収納した略直方体の形状を有する梱包箱からなるペリクル梱包構造体であって、
収納容器が収納容器底面の外側面において間隔をあけて配置された複数の脚部を有し、梱包箱が該収納容器底面の下に位置する梱包箱底面の内側面において単数または間隔をあけて配置された複数の凸部を有するとともに該収納容器の各脚部の下に位置する梱包箱底面の内側面において緩衝部を有し、該凸部と該脚部とが互いに接触しない配置であって、該凸部の高さが該脚部の高さと該緩衝部の高さとの和より小さいペリクル梱包構造体。 - 脚部が、収納容器底面の4隅上、または対向する2辺上に配置されている請求項1または2のいずれか1項に記載のペリクル梱包構造体。
- 凸部が、収納容器の対向する2辺と略平行に配置された3組の直方体の形状を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のペリクル梱包構造体。
- 収納容器が、高分子フィルム製の袋で密閉されるように覆われている状態で梱包箱に収納されている請求項1〜4のいずれか1項に記載のペリクル梱包構造体。
- ペリクルを底面の外側面に脚部を有するトレイと蓋からなる収納容器に収納する工程、該収納容器を高分子フィルム製の袋に入れて密閉する工程、袋に入れた該収納容器を底面の内側面に凸部を有する梱包箱に収納する工程からなる請求項5に記載のペリクル梱包構造体の製造方法。
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