KR20120080135A - 기판 검사 시스템 - Google Patents

Abstract

대형 기판용의 기판 검사 시스템에서, 생산 효율 및 검사 성능을 떨어뜨리지 않고 공간 절약화를 도모한다. 피검사 대상 기판(G)을 복수의 검사 방법에 의해 검사하는 기판 검사 시스템(31)에 있어서, 피검사 대상 기판(G)을 촬상부에서 촬상하여 검사하는 자동 검사 장치(50)와, 이 자동 검사 장치(50)에 걸치는 문형 형상의 다리부를 갖는 가대와, 이 가대 상에 배치되며, 피검사 대상 기판(G)을 직시하여 목시 검사하기 위한 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와, 자동 검사 장치(50)와 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)에 피검사 대상 기판(G)을 반입출시키는 기판 반송 로봇을 구비하고, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)는, 상기 가대를 개재하여 자동 검사 장치(50)의 상방에 독립시켜 배치되어 있다.

Description

기판 검사 시스템{SUBSTRATE INSPECTION SYSTEM}

본 발명은, 액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP) 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조에 이용되는 대형 기판의 검사를 행하는 기판 검사 시스템에 관한 것이다.

종래, 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 기판의 검사에는, 기판을 소정 각도로 상승시킨 상태에서 기판 표면측으로부터 매크로 조명광을 조사하여 기판으로부터의 반사광의 산란 상황으로부터 목시에 의해 결함을 판별하거나, 또는 기판을 수직으로 상승시킨 상태에서 기판 이면측으로부터 백라이트 조명광을 조사하여 투과광의 산란 상황으로부터 목시에 의해 결함을 판별하는 목시 검사(메뉴얼 매크로 검사)가 있다. 또한, 기판 상의 임의 부위를 현미경 등의 마이크로 검사부에 의해 확대하여 결함을 관찰하는 마이크로 검사가 있다.

그런데, 최근의 플랫 디스플레이의 대형화에 수반하여, 플랫 디스플레이를 다면취하는 마더 글래스 기판도 대형화되고, 예를 들면 1500㎜×1800㎜ 이상의 대형 마더 글래스 기판이 등장하였다. 이 마더 글래스의 대형화에 수반하여, 메뉴얼 매크로 검사 장치 및 마이크로 검사 장치를 포함하는 기판의 제조 라인도 대형화되고 있다.

따라서, 단일의 장치에 의해 메뉴얼 매크로 검사 및 마이크로 검사를 행함으로써 공간 절약화를 도모하는 기술이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 및 2 참조). 이와 같은 메뉴얼 매크로 검사 및 마이크로 검사를 행하는 장치는, 예를 들면, 마이크로 검사 장치의 기판 탑재부(기판 홀더)를 작업자측으로 상승시키는 구동부를 구비하고, 기판 탑재부를 상승시킨 상태에서 기판의 상방으로부터 매크로 조명광을 조사하여 목시로 검사를 행할 수 있도록 하고 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특개 2003-344294호 공보 [특허 문헌 2] 일본 특개 2000-28537호 공보

그런데, 종래의 메뉴얼 매크로 검사에서는, 기판을 보유 지지한 기판 홀더를 검사자의 목시 관찰에 적합한 경사 각도로 상승시킨 상태에서, 매크로 조명광을 기판의 상방으로부터 조사하여 반사광을 검출시키거나, 혹은, 기판 홀더를 수직으로 상승시킨 상태에서, 백라이트 조명광을 기판의 후방으로부터 조사하여 투과광을 검출시키기 때문에, 기판 홀더는, 기판의 주연만을 보유 지지하는 중공 구조의 것을 이용하는 것이 바람직하다.

그러나, 중공의 기판 홀더를 이용하면, 기판 중간부에서의 기판 보유 지지력이 약하기 때문에 기판에 흔들림이 발생하기 쉬워, 확대 관찰을 행하는 마이크로 검사에서는 상 흔들림 등의 문제점이 발생한다. 그 때문에, 마이크로 검사에서는, 기판 전체를 수평으로 보유 지지하는 1장 판으로 형성된 기판 홀더를 이용하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 메뉴얼 매크로 검사와 마이크로 검사를 단일의 장치에 의해 행하는 경우, 마이크로 검사를 우선시키면, 1장 판으로 형성된 기판 홀더를 선택하게 된다. 1장 판의 기판 홀더를 이용하면, 글래스 기판이 투명하기 때문에 기판 홀더 상의 손상 등이 보여 오검출의 요인으로 될 뿐만 아니라, 백라이트 조명에 의한 목시 검사를 할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사와 마이크로 검사를 공통의 기판 홀더를 이용하여 행하는 경우, 마이크로 검사 장치의 기판 탑재부를 상승시킴으로써 메뉴얼 매크로 검사를 행하게 하기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사와 마이크로 검사를 동시에 행할 수 없어, 검사 택트 타임이 길어지고, 나아가서는 기판의 생산 효율을 높일 수 없다고 하는 문제도 생긴다.

본 발명의 과제는, 상기 종래의 실정을 감안하여, 생산 효율 및 검사 성능을 떨어뜨리지 않고 공간 절약화를 도모할 수 있는 대형 기판용의 기판 검사 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 기판 검사 시스템은, 피검사 대상 기판을 복수의 검사 방법에 의해 검사하는 기판 검사 시스템에 있어서, 상기 피검사 대상 기판을 촬상부에서 촬상하여 검사하는 자동 검사 장치와, 상기 자동 검사 장치에 걸치는 문형 형상의 다리부를 갖는 가대와, 상기 가대 상에 배치되며, 상기 피검사 대상 기판을 직시하여 목시 검사하는 메뉴얼 매크로 검사 장치와, 상기 자동 검사 장치와 상기 메뉴얼 매크로 검사 장치에 상기 피검사 대상 기판을 반입출시키는 기판 반송 로봇을 구비하고, 상기 메뉴얼 매크로 검사 장치는, 상기 가대를 개재하여 상기 자동 검사 장치의 상방에 독립시켜 배치되어 있다.

본 발명에서는, 메뉴얼 매크로 검사 장치와 자동 검사 장치가 서로 독립된 장치이기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 장치와 자동 검사 장치에 의한 검사를 동시에 행할 수 있어, 양쪽 검사의 가동 효율을 저하시키는 일이 없고, 메뉴얼 매크로 검사 장치를 자동 검사 장치의 상방에 배치하여 공간 절약화를 도모해도 생산 효율이 떨어지지 않는다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치와 자동 검사 장치에서 공통의 기판 보유 지지부를 이용하지 않고 각 검사 장치에 적합한 기판 보유 지지부를 이용할 수 있기 때문에, 검사 성능이 떨어지지 않는다.

따라서, 본 발명에 따르면, 생산 효율 및 검사 성능을 떨어뜨리지 않고 기판 검사 시스템의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 검사 시스템의 내부 구조를 투시적으로 도시하는 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 검사 시스템의 기판 반입 상태를 도시하는 개략 좌측면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 기판 검사 시스템의 내부 구조를 투시적으로 도시하는 정면도.

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 검사 시스템에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.

<일 실시 형태>

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 검사 시스템(1)의 내부 구조를 투시적으로 도시하는 정면도이다.

도 2는 기판 검사 시스템(1)의 기판 반입 상태를 도시하는 개략 좌측면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 기판 검사 시스템(1)은, 목시 관찰 장치로서 작업자가 목시로 관찰하는 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와, 자동 검사 장치로서 디지털 현미경(촬상부)에 의해 촬상한 화상을 화상 처리하여 결함을 검출하는 마이크로 검사 장치(20)와, 외장(2)(이점쇄선으로 도시)을 구비하고, 피검사 대상 기판으로서 예를 들면 한 변이 1500㎜ 이상의 대형 글래스 기판인 플랫 패널 디스플레이용의 마더 글래스 기판(이후, 간단히 글래스 기판이라고 부름) G를 검사한다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(10)는, 기판 보유 지지부로서 글래스 기판 G를 보유 지지하는 기판 홀더(11)와, 이 기판 홀더(11)를 작업자의 목시 검사에 적합한 각도로 기울이는 요동 기구와, 이 요동 기구에 의해 기울어진 기판 홀더(11)에 보유 지지된 글래스 기판 G의 상방으로부터 조사하는 매크로 조명 광원(16)을 갖는다. 또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)는, 기판 홀더(11)를 상승시킨 상태에서 글래스 기판 G의 이면측으로부터 투과광을 조사하는 백라이트 조명 광원(17)(이점 쇄선으로 도시)을 갖는다.

요동 기구는, 기판 홀더(11)의 양쪽 측변의 거의 중앙에 설치된 홀더 회동축(11a)을 축 지지하는 2개의 슬라이드부(12)와, 이 슬라이드부(12)를 슬라이드 가능하게 지지하는 2개의 프레임(13)과, 이들 프레임(13)을 소정의 각도로 회동시키는 구동부를 갖는다. 구동부는, 예를 들면, 각 프레임(13)을 메뉴얼 매크로 검사 장치의 가대에 회전 가능하게 지지하고, 이 회전 지지축과 반대측의 각 프레임(13)의 일단에 2개의 아암부(14)를 연결하고, 이들 아암부(14)를 상하 이동시키는 슬라이드축 구동부로서의 2개의 틸트축(15)으로 구성되어 있다. 구동부는, 2개의 프레임(13)의 회전축에 구동 모터를 연결시킨 것이어도 된다.

또한, 슬라이드부(12), 프레임(13), 아암부(14) 및 틸트축(15)은, 각각 2개씩 배치되어 있지만, 도 1의 정면도에서는 겹쳐서 위치하기 때문에, 전방측만이 도면에 도시되어 있다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(10)는, 마이크로 검사 장치(20)의 상방에 배치되고, 이 마이크로 검사 장치(20)에 의한 마이크로 검사와 독립하여 목시 검사 가능하게 되어 있다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(10)에 채용되는 기판 홀더(11)는, 사각 형상으로 형성된 글래스 기판 G의 주연을 보유 지지하는 중공의 사각형 틀 구조를 나타내고, 홀더 회동축(11a)을 중심으로 하여 회동 가능하게 되어 있다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 기판 홀더(11)는, 복수의 주연 보유 지지부(11b)에 의해 글래스 기판 G의 주연을 보유 지지하고 있다.

이 기판 홀더(11)는, 얇은 글래스 기판 G가 휘지 않을 정도로 수평하게 보유 지지하기 위해서, 사각형 틀의 내부에 단면 형상이 직사각형으로 형성된 지지 부재를 기판 홀더(11)의 상면보다 낮아지도록 격자 형상으로 배치하고, 지지 부재 상에 글래스 기판 G를 흡착 보유 지지하는 흡착 패드를 설치하는 것이 바람직하다. 이 흡착 패드에 의해 글래스 기판 G의 이면을 흡착함으로써, 기판 홀더(11)가 요동할 때에 글래스 기판 G의 흔들림을 억제할 수 있다.

슬라이드부(12)는, 기판 홀더(11)를 예를 들면 기판 홀더(11)의 서로 대향하는 2변의 중앙에서 축 지지하는 좌우 한 쌍의 1조로 배치되며, 평행하게 배치된 한 쌍의 프레임(13)에 대하여 도시 실선과 도시 일점쇄선으로 나타내는 위치로 슬라이드 가능하게 걸어 맞춤되어 있다(부호 12-2, 12-3). 이 슬라이드부(12)가 프레임(13)을 따라서 슬라이드함으로써, 슬라이드부(12)에 축 지지된 기판 홀더(11)도 프레임(13)을 따라서 도시 실선과 도시 이점 쇄선으로 나타내는 위치로 슬라이드 한다(부호 11-2, 11-3).

각 프레임(13)은, 아암부(14)가 연결된 반대측의 일단측에 형성된 축받이부로서 플랜지(13a)에 의해, 도시하지 않은 목시 검사용 가대에 고정된 고정축(18)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 프레임(13)에 연결되어 있는 아암부(14)가, 연직 방향으로 연장되는 틸트축(15)을 따라서 상하 이동함으로써(부호 14-1, 14-2), 각 프레임(13)은, 글래스 기판 G의 반출입시의 수평 상태(부호 13-1)와, 검사자(3)의 목시 관찰에 적합한 경사 상태(부호 13-2)로 회동한다. 또한, 이들 프레임(13)의 회동에 의해, 기판 홀더(11) 및 슬라이드부(12)도 함께 회동한다(부호 11-1, 11-2, 12-1, 12-2).

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치용의 가대는, 문형 형상의 다리부를 갖고, 자동 검사 장치인 마이크로 검사 장치(20)에 걸치도록 배치되어 있다. 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)의 가대는, 마이크로 검사 장치(20)의 가대와 독립하여 별체(別體)로 배치된다. 이 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)는, 검사자(3)가 글래스 기판을 목시하여 관찰하는 장치이기 때문에, 외부 및 내부로부터의 진동의 영향이 적어, 클린 룸의 바닥에 대하여 제진대(除振台)를 설치하지 않고 바로 놓을 수 있다. 자동 검사 장치인 마이크로 검사 장치는, 외부로부터의 진동의 영향에 의해 촬상된 화상이 흔들려서 정확한 검사를 할 수 없게 되기 때문에, 가대에 외부로부터의 진동을 감쇠시키는 제진대를 설치하는 것이 바람직하다. 이와 같이 메뉴얼 매크로 검사 장치용 가대와 마이크로 검사용 가대(24)를 별체로 구성하는 것이 바람직하다.

마이크로 검사 장치(20)는, 마이크로 검사 장치용 가대(24)에 부착되며 글래스 기판 G를 수평하게 재치(載置)하는 스테이지(21)와, 이 스테이지(21)에 걸치도록 배치되며 문형 형상을 나타내는 고정식의 갠트리(22)와, 이 갠트리(22)에 설치되어 리니어 모터 등의 구동 수단에 의해 글래스 기판 G의 반송 방향과 직교하는 1축 방향(도 1의 지면에 수직한 방향)으로 이동하는 현미경(23)과, 글래스 기판 G를 보유 지지하여 반송 방향으로 반송하는 도시하지 않은 기판 반송부를 갖는다.

스테이지(21)로서는, 예를 들면, 에어에 의해 글래스 기판 G를 부상시킨 상태에서 글래스 기판 G의 단부 또는 글래스 기판 G의 무게 중심을 통과하는 센터 라인 상을 기판 반송부에 의해 보유 지지하여 반송하는 부상 스테이지나, 글래스 기판 G를 프리 롤러 등의 회전체로 지지한 상태에서 글래스 기판 G를 기판 반송부에 의해 보유 지지하여 반송하는 구름 스테이지나, 글래스 기판 G의 이면에 접촉하여 글래스 기판 G를 지지한 상태에서 회전 구동하는 구동 롤러에 의해 반송하는 롤러 컨베이어 등의 기판 반송 스테이지를 이용할 수 있다.

또한, 갠트리(22)를 스테이지(21)를 따라서 이동시키는 이동형 갠트리를 채용한 경우에는, 스테이지(21)를 가대(24) 상에 고정시킨 고정형 스테이지를 채용할 수 있다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(10)의 기판 홀더(11) 및 프레임(13) 등은, 마이크로 검사 장치(20)의 갠트리(22), 스테이지(21), 또는 기판 반송 로봇(4)의 핸드 아암(4a)과 간섭하지 않도록 마이크로 검사 장치(20)의 공간 영역에 배치되어 있다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)의 전체를 덮는 외장(2)에는, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)에서의 글래스 기판 G의 반출입에 이용되는 기판 반출입용 창부(2a)와, 마이크로 검사 장치(20)에서의 글래스 기판 G의 반출입에 이용되는 기판 반출입용 창부(2b)가 형성되어 있다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(10)측의 기판 반출입용 창부(2a)는, 마이크로 검사 장치(20)측의 기판 반출입용 창부(2b)와 동일 형상ㆍ동일 면적이며 또한 창부(2b)의 바로 위에 설치되어 있다. 기판 반출입용 창부(2a와 2b)는, 글래스 기판 G를 1층의 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)와 2층의 메뉴얼 매크로 검사 장치에 반송하는 도 2에 도시한 기판 반송 로봇(4)의 핸드 아암(4a)의 상하 이동 방향과 일치하도록 배치된다. 이와 같이 기판 반출입용 창부(2a와 2b)에 대응하는 양쪽 장치의 기판 반입 스페이스가 상하에서 동일한 관계로 되도록 배치함으로써, 하나의 기판 반송 로봇(4)에 의해 글래스 기판 G를 1층에 배치되는 마이크로 검사 장치(20)의 기판 반입 스페이스와, 2층에 배치되는 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)의 기판 반입 스페이스에 공급할 수 있다. 또한, 기판 반송 로봇(4)을 바닥에 고정한 상태에서 핸드 아암(4a)을 상하 이동시키는 것만으로, 기판 반출입용 창부(2a와 2b)에 핸드 아암(4a)의 위치 정렬이 용이해지고 있다. 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)의 가대에는, 검사자(3)가 목시 검사를 행하기 위한 검사 작업 스페이스(2c)로 되는 검사 작업대가 형성되어 있다.

이하, 상술한 기판 검사 시스템(1)을 이용한 글래스 기판 G의 검사에 대하여 설명한다.

기판 검사 시스템(1)은, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(20)가 서로 독립된 장치이기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 및 마이크로 검사를 동시에 행할 수 있다.

우선, 메뉴얼 매크로 검사에 대하여 설명한다.

도 2에 도시한 기판 반송 로봇(4)에 의해, 복수개의 핸드 아암(4a)으로 지지한 글래스 기판 G를, 외장(2)의 기판 반출입용 창부(2a)로부터 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)에 반입한다. 이때에는, 틸트축(15)이 아암부(14)를 하방으로 이동시키고 있고, 프레임(13)은 수평 상태(13-1)로 유지되어 있다. 또한, 기판 홀더(11)도 프레임(13)과 평행한 수평 상태(11-1)로 유지되어 있다.

기판 홀더(11) 상의 기준 위치에 글래스 기판 G가 위치 결정되어 보유 지지되면, 틸트축(15)이 아암부(14)를 상방으로 이동시킨다. 이에 의해, 아암부(14)에 연결된 프레임(13)은, 고정축(18)을 중심으로 회동하여, 검사자(3)가 목시 검사를 행하는 위치까지 경사진다(13-2).

그리고, 홀더 회동축(11a)을 중심으로 기판 홀더(11)를 요동시킴과 함께 슬라이드부(12)에 의해 기판 홀더(11)를 검사자의 시야 위치(눈의 높이 위치)에 대하여 상하 방향으로 이동시키면서, 매크로 조명 광원(16)에 의한 반사광 또는 백라이트 조명 광원(17)에 의한 투과광을 검사자(3)가 목시함으로써 글래스 기판 G의 메뉴얼 매크로 검사를 행한다. 또한, 글래스 기판 G의 이면을 메뉴얼 매크로 검사하는 경우에는, 기판 홀더(11)가 반전될 때에 매크로 조명 광원(16)과 간섭하지 않는 위치까지 프레임(13)을 조금 눕힌 상태에서, 홀더 회동축(11a)을 중심으로 기판 홀더(11)를 반전시킨다.

또한, 백라이트 조명 광원(17)에 의한 투과광을 이용하여 목시에 의해 매크로 검사하는 경우에는, 기판 홀더(11)가 매크로 조명 광원(16)에 간섭하지 않을 정도로 기판 홀더(11)를 상승시킴과 함께, 기판 홀더(11)가 검사자(3)에게 근접하도록 프레임(13)을 상승시키도록 해도 된다. 또한, 기판 홀더(11)를 상승시킨 상태에서, 백라이트 조명 광원(17)이 기판 홀더(11)의 이면에 근접하도록 이동 가능하게 설치해도 된다. 매크로 검사가 종료된 후, 틸트축(15)에 의해 아암부(14)를 하강시킴으로써 프레임(13)을 수평 상태로 회동시킴과 함께 기판 홀더(11)를 수평 상태로 되돌리고, 기판 반송 로봇(4)에 의해 기판 반출입용 창부(2a)로부터 글래스 기판 G를 반출한다.

마이크로 검사에 대해서는, 우선, 도 2에 도시한 기판 반송 로봇(4)에 의해, 외장(2)의 반출입용 창부(2b)로부터 글래스 기판 G를 마이크로 검사 장치(20)에 반입한다.

스테이지(21) 상에 글래스 기판 G가 재치되면, 이 글래스 기판 G를 기준 위치에 위치 결정한다. 위치 결정한 후, 도시하지 않은 기판 반송부에 의해 글래스 기판 G를 소정 위치까지 이동시키고, 이 기판 반송부의 반송 방향(도 1의 좌우 방향)과 직교하는 방향(도 1의 지면과 수직한 방향)으로 현미경(23)이 이동함으로써, 현미경(23)에 의해 글래스 기판 G의 마이크로 검사를 행한다.

마이크로 검사가 종료된 후, 도시하지 않은 기판 반송부에 의해 글래스 기판 G를 반출 위치로 되돌리고, 기판 반송 로봇(4)에 의해 창부(2b)로부터 글래스 기판 G를 반출한다.

이상 설명한 본 실시 형태에서는, 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)의 장치 내에 검사자(3)가 검사를 위해서 개재하지 않기 때문에, 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)의 높이를 갠트리(22)와 동등한 높이로 낮게 억제할 수 있다. 이 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)의 상공의 공간을 이용하여 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)를 배치하여 2층 건물 구조로 함으로써, 양쪽 장치를 병설한 것에 비해 설치 스페이스를 작게 할 수 있다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)가 서로 독립된 장치이기 때문에, 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)에 의한 검사를 동시에 행할 수 있어, 양쪽 검사의 가동 효율을 저하시키는 일이 없고, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)를 마이크로 검사 장치(20)의 상방에 배치하여 공간 절약화를 도모해도 생산 효율이 떨어지지 않는다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)에서 공통의 기판 보유 지지부를 이용하지 않고 각 검사 장치(10, 20)에 적합한 기판 보유 지지부(기판 홀더(11), 스테이지(21))를 이용할 수 있기 때문에, 검사 성능이 떨어지지 않는다.

따라서, 본 실시 형태에 따르면, 생산 효율 및 검사 성능을 떨어뜨리지 않고 기판 검사 시스템(1)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)보다도 진동의 영향을 받기 쉬운 마이크로 검사 장치(20)를 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)의 하방에 배치하고, 또한 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(20)를 분리시켜 바닥에 설치할 수 있기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)로부터의 진동이 마이크로 검사 장치(20)에 전달되는 일이 없어 정밀도가 높은 마이크로 검사가 가능해진다. 또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(20)를 별체 구조로 함으로써, 현장에서의 조립이 용이해지고, 또한 메뉴얼 매크로 검사 장치(10)와 마이크로 검사 장치(20)를 나누어 용이하게 수송하는 것이 가능해진다.

또한, 자동 검사 장치로서는, 본 실시 형태의 마이크로 검사 장치(20)에 한하지 않고, 예를 들면, 선폭 측정 장치, 분광 측광 장치, 레이저 리페어 장치 등과 같이, 확대 검사부(예를 들면 현미경)와 확대 검사부에 의해 확대된 상을 촬상하는 촬상부를 갖는 확대 검사 장치를 포함하는 것으로 한다. 또한, 자동 검사 장치로서는, 라인 센서 카메라에 의해 글래스 기판 전체를 촬상하는 자동 매크로 검사 장치도 포함된다. 즉, 자동 검사 장치는, 메뉴얼 검사 장치와 같이 검사자가 장치에 붙어서 글래스 기판을 직시하여 검사하는 것과는 달리, 검사자가 장치로부터 이격된 위치에서 작업할 수 있는 것이면 된다. 이 자동 검사 장치는, 검사ㆍ관찰시에 검사자가 붙어 있을 필요가 없다. 이 때문에, 자동 검사 장치에서는, 검사자가 가동 중인 장치 내에 들어가 검사하는 일이 없기 때문에, 검사자가 이동하는 검사 작업 스페이스가 불필요해지는 분만큼 자동 검사 장치의 최대 높이를 낮게 억제할 수 있다.

예를 들면, 자동 검사 장치의 최대 높이는, 검사 헤드를 지지하는 문형의 갠트리의 상면이 최대 높이로 된다. 자동 검사 장치에서는, 기판을 촬상하는 검사 헤드가 장치의 높이의 결정 요인으로 되기 때문에, 이 검사 헤드가 부착되는 갠트리의 상면이 자동 검사 장치의 최대 높이 위치로 된다. 이 자동 검사 장치의 갠트리에 간섭하지 않도록 메뉴얼 매크로 검사 장치를 근접시켜 배치함으로써 메뉴얼 매크로 검사 장치의 설치 높이를 낮게 할 수 있다.

또한, 본 실시 형태의 마이크로 검사 장치(20)는, 갠트리(22)가 고정식이며 글래스 기판 G를 스테이지(21) 상에서 반송하는 예에 대하여 설명하였지만, 갠트리(22)를 이동식으로 하여 글래스 기판 G를 정지시킨 상태에서 검사 또는 관찰을 행함으로써, 글래스 기판 G를 수평하게 재치하는 스테이지를 작게 할 수 있어, 한층 더한 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 이동형 갠트리를 채용한 경우, 갠트리의 이동 스페이스 공간보다 위에 메뉴얼 매크로 검사 장치의 검사 작업대를 배치함으로써, 검사 작업대를 내린 분만큼 메뉴얼 매크로 검사 장치의 설치 높이를 낮게 억제할 수 있다. 이와 같이 검사 작업대를 내린 분만큼, 메뉴얼 매크로 검사 장치의 높이를 낮게 억제할 수 있다.

이 경우, 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)의 기판 반입 스페이스를 메뉴얼 매크로 검사 장치의 검사 작업대측에 설정하고, 이 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)를 메뉴얼 매크로 검사 장치의 검사 작업대로부터 이격되는 방향으로 어긋나게 하여 배치함으로써, 마이크로 검사 장치를 어긋나게 한 1층 부분의 공간 영역에 메뉴얼 매크로 검사 장치의 검사 작업대를 배치하는 것이 가능해진다. 이 공간 영역을 설치함으로써, 마이크로 검사 장치에 간섭하지 않고 메뉴얼 매크로 검사 장치의 검사 작업대를 낮은 위치에 배치하는 것이 가능해진다.

<다른 실시 형태>

도 3은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 기판 검사 시스템(31)의 내부 구조를 투시적으로 도시하는 정면도이다.

상술한 일 실시 형태의 기판 검사 시스템(1)은, 마이크로 검사 장치(20)의 상방의 스페이스에서 대형 기판인 글래스 기판 G의 메뉴얼 매크로 검사를 행하기 때문에, 장치의 총 높이가 예를 들면 6m를 초과하는 경우도 있고, 공장에 따라서는 천장 높이 때문에 기판 검사 시스템(1)을 배치할 수 없는 경우가 있다.

따라서, 본 실시 형태의 기판 검사 시스템(31)은, 상기 기판 검사 시스템(1)보다도 더욱 높이를 억제할 수 있는 구성으로 하고 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 기판 검사 시스템(31)은, 메뉴얼 검사 장치로서의 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와, 자동 검사 장치로서의 마이크로 검사 장치(50)와, 외장(32)을 구비한다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(40)는, 대형 기판으로서의 글래스 기판 G를 보유 지지하는 기판 홀더(41)와, 이 기판 홀더(41)를 검사자(33)의 목시 관찰에 적합한 각도로 기울이는 요동 기구와, 이 요동 기구에 의해 기울어진 기판 홀더(41)에 보유 지지된 피검사 대상 기판(글래스 기판) G의 상방으로부터 조사하는 매크로 조명 광원(46)을 갖는다. 또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)는, 투과광에 의한 검사에 이용하는 백라이트 조명 광원(47)을 갖는다.

요동 기구는, 기판 홀더(41)의 홀더 회동축(41a)을 축 지지하는 2개의 슬라이드부(42)와, 이 슬라이드부(42)를 슬라이드 가능하게 지지하는 2개의 프레임(43)과, 이들 프레임(43)을 소정 각도로 회동시키는 구동부를 갖는다. 이 구동부는, 일단이 각 프레임(43)에 연결된 2개의 아암부(44)와, 마이크로 검사 장치(50)의 상방에 경사져 배치되며 아암부(44)의 남은 타단을 압인하는 2개의 틸트축(45)을 갖는다. 이 실시 형태의 경우, 프레임(43)은, 소정 각도로 기울어진 상태이면 되고, 예를 들면 프레임(43)을 도 3의 실선으로 나타내는 소정의 각도로 기울인 상태에서 고정시켜도 된다. 이 경우, 프레임(43)을 소정 각도로 기울인 상태에서, 프레임(43)의 일단측(기단측)이 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 최대 높이 위치 S보다도 낮은 위치까지 연장되어 있으면, 기판 홀더(41)를 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 외측으로 밀어내게 할 수 있다. 바람직하게는, 프레임(43)을 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 스테이지(51)의 외측으로 연장시킴으로써, 기판 홀더(41)를 스테이지(51)의 외측으로 밀어내게 할 수 있다.

프레임(43)을 소정 각도로 고정한 경우, 기판 홀더(41)를 반송 로봇(4)에 의한 기판 반입 위치에서 수평 상태로 회동시킴과 함께, 기판 홀더(41)를 목시 관찰 위치에서 기판 목시 관찰에 적합한 각도로 회동시키면 된다.

또한, 본 실시 형태에서도, 슬라이드부(42), 프레임(43), 아암부(44) 및 틸트축(45)은, 각각 2개씩 배치되어 있지만, 도 3의 정면도에서는 겹쳐서 위치하기 때문에, 전방측만이 도면에 도시되어 있다.

메뉴얼 매크로 검사 장치(40)는, 프레임(43)의 일부, 아암부(44), 틸트축(45), 백라이트 조명 광원(47) 등(일시적으로는 기판 홀더(41) 및 슬라이드부(42))이 마이크로 검사 장치(50)의 상방에 배치된다. 이 경우, 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)는, 상방에 배치되는 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 검사 작업 스페이스(32c)에 가까운 측에 글래스 기판 G의 기판 반입 스페이스(32b)가 설정되고, 이 기판 반입 스페이스(32b)의 안쪽에 스테이지(51)에 걸치도록 문형 형상을 나타내는 고정식의 갠트리(52)가 배치되어 있다. 이 마이크로 검사 장치(50)의 기판 반입 스페이스(32b)에는, 도 2에 도시한 반송 로봇(4)이 글래스 기판 G를 스테이지(51) 상에 반입ㆍ반출시키기 위한 핸드 아암(4a)의 상하 이동 동작 스페이스가 설정된다.

마이크로 검사 장치(50)의 기판 반입 스페이스(32b)와 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 반입 스페이스(32a)가 일치하도록 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)를 마이크로 검사 장치(50)의 상방에 배치함으로써, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)를 마이크로 검사 장치(50)와 간섭하지 않는 낮은 위치까지 내려서 설치할 수 있다.

기판 홀더(41)는, 사각 형상으로 형성된 글래스 기판 G의 주연을 유지하는 중공의 사각형 틀 구조를 나타내고, 홀더 회동축(41a)을 중심으로 회동 가능하게 되어 있다.

슬라이드부(42)는, 기판 홀더(41)를 예를 들면 기판 홀더(41)의 서로 대향하는 2변의 중앙에서 축 지지하는 좌우 한 쌍의 1조로 배치되며, 평행하게 배치된 한 쌍의 프레임(43)에 대하여 이동 가능하게 걸어 맞춤되어 있다(부호 42-2, 42-3). 이 슬라이드부(42)의 이동에 의해, 슬라이드부(42)에 축 지지된 기판 홀더(41)도 이동한다(부호 41-2, 41-3).

또한, 기판 홀더(41)는, 마이크로 검사 장치(50)의 상방에 있는 위치(부호 41-2)와, 일부(전부이어도 됨)가 마이크로 검사 장치(50)의 상단(면 S)보다도 하방에 있는 위치(부호 41-3)로, 프레임(43)을 따라서 이동한다.

각 프레임(43)은, 일단(하측)에 형성된 플랜지(43a)에 의해, 도시하지 않은 가대에 고정된 고정축(48)에 연결되어 있다. 이 고정축(48)은, 마이크로 검사 장치(50)의 스테이지(51)보다도 전방이며, 또한 마이크로 검사 장치(50)의 최상 높이 위치(면 S)보다도 하방에 설치된다. 프레임(43)은, 고정축(48)을 회전 중심으로 하여 마이크로 검사 장치(50)의 스테이지(51)와 간섭하지 않도록 도시된 화살표의 범위에서 회동한다.

이와 같이 고정축(48)을 마이크로 검사 장치(50)의 스테이지(51)로부터 벗어나는 전방에 배치시켜, 프레임(43)의 일단측(기단측)을 마이크로 검사 장치(50)의 스테이지(51)보다도 외측으로 밀어내게 한다. 이 밀어낸 프레임(43)의 부분으로 슬라이드부(42)를 이동시킴으로써, 슬라이드부(42)로 이동 가능하게 설치된 기판 홀더(41)를 마이크로 검사 장치(50)의 최상 높이 위치보다도 낮은 스테이지(51)의 전방까지 밀어내게 할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 기판 홀더(41)를 자동 검사 장치인 마이크로 검사 장치(50)의 전방으로 밀어내게 함으로써, 검사 작업 스페이스(32c)로 되는 검사 작업대를 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)로부터 벗어난 전방에 설치하는 것이 가능해진다.

검사 작업 스페이스(32c)는, 검사자(33)가 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 목시 관찰용 창을 따라서 배치되어 있다. 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 목시 관찰용 창은, 프레임(43)을 따라서 가장 하방으로 이동시켰을 때의 기판 홀더(41)의 정지 위치에 맞추어 설치되어 있다. 검사 작업 스페이스(32c)의 검사 작업대(작업용 바닥 부분)는, 목시 관찰용 창보다도 하측에 배치되며, 검사자(33)가 목시 관찰을 위해서 이동하는 통로로 되어 있다. 이 검사 작업대는, 목시 관찰용 창의 하측 개구변보다도 낮은 위치, 예를 들면 검사자의 허리의 위치가 하측 개구변으로 되도록 750∼1000㎜ 내린 위치에 설치된다. 이 검사 작업대를 내림으로써, 기판 상방으로부터 매크로 조명광을 조사하는 매크로 조명 광원(46)의 부착 위치를 낮게 하는 것이 가능해지기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 높이를 낮게 할 수 있다.

검사자(33)의 관찰 높이 위치로 되는 목시 관찰용 창과 매크로 조명 광원(46)의 배치 위치 관계는 일정 거리로 되기 때문에, 목시 관찰용 창을 내린 분만큼 매크로 조명 광원(46)의 부착 위치를 내릴 수 있어, 장치 전체의 높이를 낮게 억제할 수 있다.

또한, 검사 작업 스페이스(32c)의 적어도 한쪽의 끝에는, 검사자(33)가 올라갈 수 있는 계단이 설치되어 있다.

각 프레임(43)의 타단측에는 아암부(44)가 연결되어 있다. 이 아암부(44)가, 경사져 배치된 틸트축(45)에 의해 압인됨으로써, 각 프레임(43)은, 수평면에 대하여 경사진 범위 내, 본 실시 형태에서는, 글래스 기판 G의 반출입시의 경사 상태(부호 43-1)와 검사자(33)의 목시 관찰에 적합한 경사 상태(부호 43-2) 사이에서 회동한다. 이 프레임(43)의 회동에 의해, 기판 홀더(41) 및 슬라이드부(42)도 함께 회동한다(부호 41-1, 41-2, 42-1, 42-2).

또한, 고정축(48)이 마이크로 검사 장치(50)의 최대 높이 위치로 되는 갠트리(52)의 상단(면 S)보다도 하방에 위치하기 때문에, 프레임(43)의 일부가 마이크로 검사 장치(50)의 최대 높이보다도 하방에 위치한다.

마이크로 검사 장치(50)는, 상술한 일 실시 형태의 마이크로 검사 장치(20)와 마찬가지로, 스테이지(51)와, 고정식의 갠트리(52)와, 검사부로서의 현미경(53)과, 가대(54)와, 도시하지 않은 기판 반송부를 갖는다. 또한, 마이크로 검사 장치(50)의 최대 높이로 되는 상단(면 S)은, 본 실시 형태에서는, 갠트리(52)의 상단이다.

외장(32)에는, 상술한 일 실시 형태의 외장(2)과 마찬가지로, 2개의 기판 반출입용 창부(32a, 32b)와 검사 작업 스페이스(32c)가 형성되어 있다.

이하, 상술한 기판 검사 시스템(31)을 이용한 기판 검사에 대하여 설명한다.

우선, 메뉴얼 매크로 검사에 대하여 설명한다.

상기 제1 실시 형태와 마찬가지로 기판 반송 로봇(4)에 의해, 외장(32)의 기판 반출입용 창부(32a)로부터 글래스 기판 G를 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)에 반입한다. 이때, 프레임(43)은, 상술한 바와 같이 수평 상태로부터 경사진 범위 내에서 회동하기 때문에 수평 상태로는 회동하지 않지만(43-1), 기판 홀더(41)는, 홀더 회동축(41a)을 중심으로 프레임(43)과는 독립하여 수평 상태로 회동한다(41-1).

수평 상태의 기판 홀더(41)에 글래스 기판 G가 보유 지지되면, 우선, 홀더 회동축(41a)을 중심으로 기판 홀더(41)를 프레임(43)과 평행한 상태까지 회동시킨다. 그리고, 틸트축(45)이 아암부(44)를 누름으로써, 아암부(44)에 연결된 프레임(43)은, 고정축(48)을 중심으로 회동하여, 검사자(33)가 목시 검사를 행하는 위치까지 경사진다(43-2). 이와 같이 기판 홀더(41), 프레임(43)의 순으로 회동시키거나, 혹은, 기판 홀더(41) 및 프레임(43)을 동시에 회동시킴으로써, 기판 홀더(41)의 이동 스페이스를 작게 할 수 있다.

그리고, 기판 홀더(43)를 요동시킴과 함께 슬라이드부(42)에 의해 기판 홀더(41)를 이동시키면서, 매크로 조명 광원(46)에 의한 반사광 또는 백라이트 조명 광원(47)에 의한 투과광을 검사자(33)가 목시함으로써 글래스 기판 G의 메뉴얼 매크로 검사를 행한다. 또한, 글래스 기판 G의 이면을 메뉴얼 매크로 검사하는 경우에는, 매크로 조명 광원(46)과 간섭하지 않도록, 프레임(43)을 조금 눕힌 상태에서, 홀더 회동축(41a)을 중심으로 기판 홀더(41)를 반전시킨다.

메뉴얼 매크로 검사가 종료된 후, 틸트축(45)에 의해 아암부(44)를 본래대로 되돌려 프레임(43)을 눕힌 후(43-1), 기판 홀더(41)를 수평 상태로 회동시키고(41-1), 도시하지 않은 기판 반송 로봇에 의해 기판 반출입용 창부(32a)로부터 글래스 기판 G를 반출한다. 이때에는, 프레임(43), 기판 홀더(41)의 순으로 회동시키거나, 혹은, 프레임(43) 및 기판 홀더(41)를 동시에 회동시킴으로써, 기판 홀더(41)의 이동 스페이스를 작게 할 수 있다.

마이크로 검사에 대해서는, 상술한 일 실시 형태와 마찬가지이기 때문에 설명을 생략한다.

이상 설명한 본 실시 형태에서도, 상술한 일 실시 형태와 마찬가지로, 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 장치 내에 검사자(33)가 검사를 위해서 개재하지 않기 때문에, 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 높이를 갠트리(52)와 동등한 높이로 낮게 억제할 수 있다. 이 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 상공의 공간을 이용하여 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)를 배치함으로써, 양쪽 장치를 병설한 것에 비해 설치 스페이스를 작게 할 수 있다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)가 서로 독립된 장치이기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)에 의한 마이크로 검사를 동시에 행할 수 있어, 양쪽 검사의 가동 효율을 저하시키는 일이 없고, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)를 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 상방에 배치하여 공간 절약화를 도모해도 생산 효율이 떨어지지 않는다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)에서 공통의 기판 보유 지지부(기판 홀더(41))를 이용하지 않고 각 검사 장치(40, 50)에 적합한 기판 보유 지지부를 이용할 수 있기 때문에, 검사 성능이 떨어지지 않는다.

따라서, 본 실시 형태에 의해서도, 생산 효율 및 검사 성능을 떨어뜨리지 않고 기판 검사 시스템(31)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)보다도 진동의 영향을 받기 쉬운 마이크로 검사 장치(50)를 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 하방에 배치하고, 또한 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와 마이크로 검사 장치(50)를 분리시켜 바닥에 설치할 수 있기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)로부터의 진동이 마이크로 검사 장치(50)에 전달되는 일이 없어 정밀도가 높은 마이크로 검사가 가능해진다. 또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)와 마이크로 검사 장치(50)를 분리시킴으로써, 현장에서의 조립이 용이해지고, 또한 수송도 용이해진다.

또한, 검사 작업 스페이스(32c)측에 글래스 기판 G의 반입 스페이스를 설정하고, 이 기판 반입 스페이스로 되는 도 2에 도시한 기판 반송 로봇(4)의 핸드 아암(4a)의 상하 이동 동작 스페이스로부터 벗어난 위치에 갠트리(52)를 고정하여 설치한다. 이 갠트리(52)를 검사 작업 스페이스(검사 작업대)(32c)측으로부터 멀리 떼어놓음으로써, 검사 작업 스페이스(32c)측의 스테이지(51)의 상방으로 되는 기판 반입 스페이스(32b), 즉 핸드 아암(4a)의 상하 이동 동작 스페이스 상에 넓은 공간을 만드는 것이 가능해진다.

이와 같이 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 검사 작업 스페이스(검사 작업대)를 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)와 간섭하지 않는 공간 영역에 배치함으로써, 검사 작업대를 낮은 위치로 내려 설치할 수 있어, 이 검사 작업대를 내린 분만큼 장치 전체의 높이를 낮게 억제할 수 있다.

또한, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)를 마이크로 검사 장치(50)의 기판 반입 스페이스의 상방에 있는 공간에 배치함으로써, 마이크로 검사 장치(50)의 일부에 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 일부를 겹쳐서 배치하는 것이 가능해지기 때문에, 마이크로 검사 장치(50)와 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)를 나란히 배치한 경우에 비해, 서로 겹쳐진 분만큼 기판 검사 시스템(31)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 프레임(43)의 회동 중심인 고정축(48)은, 마이크로 검사 장치(50)의 최대 높이 위치로 되는 상단(면 S)보다도 하방에 위치하기 때문에, 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 프레임(43)을 마이크로 검사 장치(50)의 스테이지(51)의 전방, 또한 하방으로 밀어내게 할 수 있다. 이에 의해, 프레임(43)을 하방으로 밀어낸 분만큼 메뉴얼 매크로 검사 장치(40)의 목시 관찰용 창을 하방으로 내리는 것이 가능해지기 때문에, 장치 전체의 높이를 더욱 낮게 억제할 수 있다.

또한, 프레임(43)에 슬라이드부(42)를 이동 가능하게 설치하고, 또한 이 슬라이드부(42)에 기판 홀더(41)를 이동 가능하게 설치함으로써, 프레임(43)의 기단부보다도 더욱 하방으로 기판 홀더(41)를 이동시키는 것이 가능해진다. 이와 같이 기판 홀더(41)를 2단계로 슬라이드시키는 구성으로 함으로써, 기판 홀더(41)를 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)(50)의 최상 높이 위치보다도 더욱 낮은 위치로 이동시키는 것이 가능해진다. 이에 의해, 목시 관찰용 창을 낮게 하고, 이 목시 관찰용 창과 일정한 거리 관계를 갖는 매크로 조명 위치를 낮게 억제할 수 있기 때문에, 용이하게 장치 전체의 높이를 억제할 수 있다.

또한, 틸트축(45)이 마이크로 검사 장치(50)의 상방에 위치함으로써, 기판 검사 시스템(31)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 프레임(43)은, 수평면에 대하여 경사진 범위 내에서 회동하고(43-1, 43-2), 기판 홀더(41)는, 글래스 기판 G의 반출입시에, 프레임(43)과는 독립하여 수평 상태로 회동한다. 이에 의해, 프레임(43)의 이동 스페이스를 억제할 수 있어, 보다 한층 더, 기판 검사 시스템(31)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태와 같이, 글래스 기판 G의 반입시에는, 기판 홀더(41), 프레임(43)의 순(또는 동시)으로 회동시키고, 글래스 기판 G의 반출시에는, 프레임(43), 기판 홀더(41)의 순(또는 동시)으로 회동시킴으로써, 기판 홀더(41)의 이동 스페이스를 작게 할 수 있고, 따라서, 보다 한층 더, 기판 검사 시스템(31)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 프레임 구동부로서의 틸트축(45)을 마이크로 검사 장치의 상방에 배치하도록 하고 있기 때문에 기판 검사 시스템(31)의 보다 한층 더한 공간 절약화를 도모할 수 있지만, 프레임 구동부를 고정축(48)에 직접 접속된 것으로 해도 된다. 그 경우, 구동계 용량은 커지지만, 프레임 구동부가 글래스 기판 G의 상방이 아니라 측방에 배치됨으로써, 클린성이 우수한 검사를 행할 수 있어, 검사 성능을 보다 한층 더 높일 수 있다.

또한, 상기의 각 실시 형태에서는, 자동 검사 장치의 갠트리를 기판 반입 스페이스로부터 벗어난 위치에 고정한 예로 설명하였지만, 기판 반입 스페이스로 이동 가능하게 설치된 이동식 갠트리를 채용할 수도 있다. 이 이동식 갠트리를 채용한 경우, 프레임(13, 43)의 기단(하단)을 기판 반송 로봇의 상하 이동 동작 스페이스보다도 위의 위치까지 연장시키는 것도 가능하다.

1 : 기판 검사 시스템
2 : 외장
2a, 2b : 기판 반출입용 창부
2c : 검사 작업 스페이스
3 : 검사자
4 : 기판 반송 로봇
4a : 핸드 아암
10 : 메뉴얼 매크로 검사 장치
11 : 기판 홀더
11a : 홀더 회동축
11b : 주연 보유 지지부
12 : 슬라이드부
13 : 프레임
13a : 플랜지
14 : 아암부
15 : 틸트축
16 : 매크로 조명 광원
17 : 백라이트 조명 광원
18 : 고정축
20 : 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)
21 : 스테이지
22 : 갠트리
23 : 현미경
24 : 가대
31 : 기판 검사 시스템
32 : 외장
32a, 32b : 기판 반출입용 창부
32c : 검사 작업 스페이스
33 : 검사자
40 : 메뉴얼 매크로 검사 장치
41 : 기판 홀더
41a : 홀더 회동축
42 : 슬라이드부
43 : 프레임
43a : 플랜지
44 : 아암부
45 : 틸트축
46 : 매크로 조명 광원
47 : 백라이트 조명 광원
48 : 고정축
50 : 마이크로 검사 장치(자동 검사 장치)
51 : 스테이지
52 : 갠트리
53 : 현미경
54 : 가대

Claims (12)

1. 피검사 대상 기판을 복수의 검사 방법에 의해 검사하는 기판 검사 시스템으로서,
   상기 피검사 대상 기판을 촬상부에서 촬상하여 검사하는 자동 검사 장치와,
   상기 자동 검사 장치에 걸치는 문형(門型) 형상의 다리부를 갖는 가대(架台)와,
   상기 가대 상에 배치되며, 상기 피검사 대상 기판을 직시하여 목시(目視) 검사하는 메뉴얼 매크로 검사 장치와,
   상기 자동 검사 장치와 상기 메뉴얼 매크로 검사 장치에 상기 피검사 대상 기판을 반입출시키는 기판 반송 로봇을 구비하고,
   상기 메뉴얼 매크로 검사 장치는, 상기 가대를 개재하여 상기 자동 검사 장치의 상방에 독립시켜 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
2. 제1항에 있어서,
   상기 메뉴얼 매크로 검사 장치는, 상기 피검사 대상 기판을 보유 지지하는 기판 보유 지지부와, 소정의 각도를 갖고 배치되며 상기 기판 보유 지지부를 슬라이드 가능하게 지지하는 한 쌍의 프레임을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
3. 제2항에 있어서,
   상기 프레임은, 기단측이 상기 자동 검사 장치의 최대 높이 위치보다도 낮은 위치로 연장되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
4. 제3항에 있어서,
   상기 자동 검사 장치는, 상기 최대 높이 위치로 되는, 촬상부를 지지하는 갠트리를 갖고, 이 갠트리가 상기 기판 반송 로봇의 상하 이동 동작 스페이스보다 외측에 고정되어 설치되고, 상기 프레임의 기단측이 상기 갠트리 및 상기 상하 이동 동작 스페이스와 간섭하지 않는 위치로 연장되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
5. 제3항에 있어서,
   상기 자동 검사 장치는, 상기 최대 높이 위치로 되는, 촬상부를 지지하는 갠트리를 갖고, 이 갠트리가 상기 피검사 대상 기판의 반입 스페이스를 따라서 이동 가능하게 설치되고, 상기 프레임의 기단부가 상기 갠트리의 이동 영역과 간섭하지 않는 위치로 연장되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
6. 제2항에 있어서,
   상기 프레임은, 기단측이 상기 자동 검사 장치의 스테이지보다 외측으로 밀어내어져 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
7. 제1항에 있어서,
   상기 기판 보유 지지부는, 적어도 일부가 상기 자동 검사 장치의 상단보다도 하방에 있는 위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
8. 제1항에 있어서,
   상기 메뉴얼 매크로 검사 장치는, 검사자가 목시 관찰하는 검사 작업대를 갖고,
   이 검사 작업대는, 상기 자동 검사 장치와 간섭하지 않는 공간 영역에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
9. 제8항에 있어서,
   상기 검사 작업대는, 상기 메뉴얼 매크로 검사 장치에 대하여 상기 자동 검사 장치를 어긋나게 하여 배치한 공간 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
10. 제8항에 있어서,
    상기 자동 검사 장치는, 검사 헤드를 부착할 수 있는 이동형 갠트리를 갖고,
    상기 검사 작업대는, 상기 이동형 갠트리의 이동 스페이스보다 위의 공간 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
11. 제1항에 있어서,
    상기 자동 검사 장치는, 바닥에 제진대를 개재하여 설치되고,
    상기 메뉴얼 매크로 검사 장치는, 바닥에 상기 가대를 개재하여 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.
12. 제1항에 있어서,
    상기 기판 반송 로봇은, 1층에 배치된 상기 자동 검사 장치와 2층에 배치된 상기 메뉴얼 매크로 검사 장치로 이동 가능한 핸드 아암을 갖고,
    상기 핸드 아암의 상하 이동 방향을 따르도록 상기 자동 검사 장치의 기판 반입 스페이스 상에 상기 메뉴얼 매크로 검사 장치의 기판 반입 스페이스가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 시스템.

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