KR101300098B1 - 기판 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법은, 양측 방향에서 기판 검사가 가능하도록 기판을 움직일 수 있도록 이루어진 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지를 중심으로 일측과 타측 방향에서 상기 기판을 각각 검사할 수 있도록 이루어진 제 1 검사부 및 제 2 검사부를 포함하여 구성되어, 기판을 좌우로 회전시켜 양쪽에서 검사할 수 있도록 구성되기 때문에 기판이 대형화됨에 따라 조사 영역이 한정되어 검사에 어려움이 따르는 문제를 해결하고, 기판 검사 시간을 단축할 수 있게 되어 기판 검사의 편의성 및 효율성을 높일 수 있으며, 전체적으로 장비의 높이가 낮게 되어 장비의 레이아웃 설정에서도 유리해진다.
Figure R1020060075226
LCD, 기판 스테이지, 이동 레일, 조명 기구, 모니터, 베이스

Description

기판 검사 장치 및 방법{Device for inspecting substrate and method therefor}
도 1은 종래 기술의 기판 검사 장치가 도시된 사시도,
도 2는 종래 기술에서 기판의 중간 영역을 검사할 때의 상태를 나타낸 측면도,
도 3은 종래 기술에서 기판의 상부 영역을 검사할 때의 상태를 나타낸 측면도,
도 4는 종래 기술에서 기판의 하부 영역을 검사할 때의 상태를 나타낸 측면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치가 도시된 사시도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치의 개략적인 평면 구성도,
도 7은 도 5의 "A" 방향에서 본 개략적인 구성도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사 장치가 도시된 사시도,
도 9는 도 8의 "B" 방향에서 본 개략적인 구성도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
50 : 베이스 프레임 51 : 베이스
53 : 이동 레일 55 : 프레임
57, 57': 검사대 60 : 기판 스테이지
61 : 받침대 61a : 가이드
63 : 지지대 65 : 기판 홀더
80, 80' : 조명 기구 81 : 광원부
83 : 반사부 85 : 집광부 및 산란부
90, 90' : 모니터 95 : 조작부
P1 : 제 1 검사부 P2 : 제 2 검사부
본 발명은 LCD 등의 평판 표시 소자용 기판의 결함 여부를 검사하는 기판 검사 시스템에 관한 것으로서, 특히 좌우 방향에서 기판을 검사하여, 효율적으로 기판을 검사할 수 있도록 하는 기판 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 기판 검사 장치는 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등 평판표시소자의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 검사하기 위한 장치이다. 이러한 검사 장치는 통상 검사자의 육안으로 기판의 결함 여부를 직접 검사하게 되는데, 기판의 결함을 용이하게 검사할 수 있도록 대형 프레임에 조명 장치와 리뷰 카메라 등이 설치되는 구조로 이루어진다.
도 1은 종래 기술의 기판 검사 장치의 일례를 도시한 사시도로서, 이를 참조하여 종래 기판 검사 장치를 설명한다.
종래의 기판 검사 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 크게 베이스 프레임(10)과, 이 프레임에 설치되는 기판 스테이지(20), 조명 기구(30) 등으로 구성된다.
이러한 기판 검사 장치의 주요 구성 부분을 자세히 설명하면 다음과 같다.
상기 베이스 프레임(10)은 기판 검사 장치의 모든 장비를 지지하는 장치로서, 바닥을 구성하는 베이스(11)와, 이 베이스에 상부에 골조 구조로 설치되는 프레임(15)으로 이루어진다.
상기 기판 스테이지(20)는 상기 검사할 기판(S)을 안착 고정하는 장비로서, 상기 베이스(11) 위에서 전후 방향으로 이동 가능하게 설치되기도 한다.
이러한 기판 스테이지(20)는 베이스(11) 위에 고정된 받침대(21), 이 받침대에서 수직으로 세워진 한 쌍의 지지대(23), 이 지지대에 회전각도 조절이 가능하게 설치되어 검사할 기판이 안착되는 기판 홀더(25)로 이루어진다.
여기서 상기 기판 홀더(25)는 기판을 상하로 이동시면서 기판을 검사할 수 있도록 홀더 지지대(27)를 중심으로 상하 방향으로 슬라이딩 가능하게 구성된다.
상기 조명 기구(30)는 상기 기판 스테이지(20)의 상측에서 상기 프레임(15)에 설치되어 기판(S) 표면에 빛을 조사하는 장비로서, 크게 빛을 조사하는 광원부(31), 반사부(33), 집광부 및 산란부(35)로 구성되어 전체적으로 조사 각도 조절이 가능하도록 구성된다.
한편, 상기 베이스 프레임(10)의 일측(도면에서 좌측)에는 검사자가 기판을 검사할 수 있도록 검사대(17)가 위치되고, 이 검사대의 일측에는 상기 기판(S)을 리뷰 카메라를 통해 고배율로 촬영한 이미지를 보여주는 모니터(45) 및 전제 장비를 제어하고 조작할 수 있는 조작부(47)가 설치된다.
상기와 같이 구성되는 기판 검사 장치는 검사할 기판(S)을 기판 스테이지(20)에 고정한 다음, 조명 기구(30)를 통해 기판에 빛을 조사하면서 검사자가 검사대(17)에서 육안으로 기판(S)의 결함 여부를 검사하게 된다.
특히, 디스플레이 패널 등의 기판이 대형화되면서 검사할 기판의 모든 부분을 동시에 빛을 조사하면서 검사하기 어렵기 때문에 기판을 영역별로 나누어서 검사하고 있는 실정이다.
즉, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 검사자의 육안 검사 높이로 조명 기구(30)의 조사 영역을 고정한 상태에서, 홀더 지지대(27)를 중심으로 기판 홀더(25)를 상하로 슬라이딩 이동시키면서 기판을 영역별로 나누어서 검사하게 된다.
도 2는 기판(S)이 중앙에 위치시킨 상태로, 기판의 중앙 부분(S1)에 빛을 조사하면서 기판(S)을 검사하는 상태를 나타내고, 도 3은 기판 홀더(25)를 하부로 슬라이딩시켜 기판(S)의 상부 영역(S2)에 빛을 조사하면서 기판을 검사하는 상태를 나타내며, 도 4는 기판 홀더(25)를 상부로 슬라이딩시켜 기판(S)의 하부 영역(S3)에 빛을 조사하면서 기판을 검사하는 상태를 나타낸다.
그러나 상기와 같이 기판(S)의 위치를 상하로 이동시키면서 기판을 검사하게 되면, 작업자 한 사람이 기판(S)의 전 부분을 모두 검사하여야 하는 문제가 발생되고, 이 과정에서 기판을 상하로 슬라이딩시키면서 기판을 검사하여야 하므로, 기판 검사시의 전문성 확보가 어려울 뿐만 아니라 작업 시간도 많이 소요되는 문제점이 있다.
즉, 기판을 생산하는 과정에서 기판의 부분에 따라 결함 종류 및 상태가 달라질 수 있는데, 한 사람이 모든 결함을 검사하다보면 다양한 종류 및 상태의 결함을 보다 정확하게 검사하기가 쉽지 않은 문제가 발생된다.
또한 기판의 위치를 상하로 이동시키면서 기판을 검사하기 때문에 기판을 상하로 이동시키기 위해서 상하의 공간을 충분히 확보하여야 하고, 이에 따라 전체적으로 장비의 높이가 높아져서 검사 장비의 설치에도 제약이 따르는 문제점이 발생되고 있다.
즉, 최근 높이가 2m 이상인 대형화된 기판도 생산되고 있는 실정인 바, 이러한 대형 기판을 상하로 이동시키면서 기판을 검사하기 위해서는, 조명 기구(30)의 설치 영역을 포함하여 장비의 전체 높이가 6m 이상으로 높아져야 한다. 하지만 통상의 건축물은 하나의 층고가 6m 이상으로 설계된 경우가 많지 않기 때문에 검사 장비를 설치하는데 상당한 제약이 따르는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판을 좌우로 회전시켜 양쪽에서 검사할 수 있도록 구성함으로써 기판이 대형화됨에 따라 조 사 영역이 한정되어 검사에 어려움이 따르는 문제를 해결하고, 기판 부분 검사의 전문성을 실현함과 아울러 기판 검사의 신뢰성 및 효율성을 높일 수 있는 기판 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
또한 본 발명은 기판 검사 시간을 단축함과 아울러, 검사 장비의 설치상의 제약도 줄일 수 있는 기판 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 기판 검사 장치는, 검사할 기판이 안착되고, 적어도 두 방향에서 기판 검사가 가능하도록 기판을 움직일 수 있도록 이루어진 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지를 중심으로 일측 방향에서 상기 기판을 검사할 수 있도록 이루어진 제 1 검사부와; 상기 기판 스테이지를 중심으로 타측 방향에서 상기 기판을 검사할 수 있도록 이루어진 제 2 검사부를 포함한 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 제 1 검사부는 상기 기판 스테이지를 중심으로 좌측에 검사자가 위치된 상태에서 기판을 검사할 수 있도록 구성되고, 상기 제 2 검사부는 상기 기판 스테이지를 중심으로 우측에 검사자가 위치된 상태에서 기판을 검사할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는 상기 기판 스테이지를 중심으로 대칭적으로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는 별도의 공간에 배치되어 구성될 수 있다. 이때 상기 기판 스테이지는 상기 제 1 검사부와 제 2 검사부의 양쪽 공간으로 이동 가능하게 설치된다.
이와는 달리 상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는 하나의 공간에서 양쪽에 배치되어 구성될 수 있다.
또한 상기한 기판 스테이지는 상기 제 1 검사부의 검사 방향과 제 2 검사부의 검사 방향으로 기판을 회전시킬 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는 상기 기판에 빛을 조사하는 조명 기구가 각각 구비되는 것이 바람직하다.
다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 기판 검사 방법은, 기판 스테이지를 중심으로 일측 방향에서 기판을 위치시킨 상태에서 기판을 검사하는 제 1 단계와; 상기 기판을 타측 방향으로 회전시킨 후에 상기 기판 스테이지를 중심으로 타측 방향에서 기판을 검사하는 제 2 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 단계에서 기판의 검사 영역과 제 2 단계에서 기판의 검사 영역을 달리하면서 기판을 검사하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 제 1 단계와 제 2 단계에서 기판을 검사할 때 각 단계의 기판의 검사 영역에 빛을 조사하면서 기판을 검사하는 것이 바람직하다.
상기 제 1 단계와 제 2 단계의 검사 공간은 별개의 공간에서 이루어질 수 있고, 이때, 상기 제 1 단계와 제 2 단계 사이에는 상기 기판 스테이지를 제 1 단계의 검사 공간에서 제 2 단계의 검사 공간으로 이동시키는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
참고로, 도 5 내지 도 7에 예시된 실시예는 별도의 공간에서 기판 양쪽 검사가 이루어지도록 구성된 것이고, 도 8 내지 9에 예시된 실시예는 하나의 공간에서 기판 양쪽 검사가 이루어지도록 구성된 것이다. 이와 같은 실시예를 설명함에 있어서 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 중복 설명을 피하기 위해 동일한 참조 번호를 부여하고 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 5 내지 도 7을 참조하여 별도의 공간에서 기판의 양쪽 검사가 이루어지는 실시예를 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치가 도시된 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치의 개략적인 평면 구성도이며, 도 7은 도 5의 "A" 방향에서 본 개략적인 구성도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 장치는, 연속된 두 공간에 배치된 제 1 및 제 2 검사부(P1)(P2)를 갖도록 구성되고, 이 두 개의 검사부(P1)(P2)는 검사할 기판(S)이 안착된 기판 스테이지(60)가 두 공간을 이동할 수 있도록 구성된다.
상기 제 1 검사부(P1)는 상기 기판 스테이지(60)를 중심으로 도면상 좌측에 검사자가 위치된 상태에서 기판(S)을 검사할 수 있도록 구성되는 반면, 상기 제 2 검사부(P2)는 상기 기판 스테이지(60)를 중심으로 도면상 우측에 검사자가 위치된 상태에서 기판(S)을 검사할 수 있도록 구성된다.
이러한 상기 제 1 검사부(P1)와 제 2 검사부(P2)는 상기 기판 스테이지(60)를 중심으로 좌우 대칭적으로 구성되는 것이 바람직한데, 이와 같은 구성을 자세히 설명한다.
먼저, 상기 제 1 검사부(P1)는 하나의 검사 공간을 구성하도록 베이스(51) 및 골조 구조의 프레임(55)이 조합된 베이스 프레임(50)이 구비된다.
통상 상기 베이스 프레임(50)은 육면체 공간 구조로 형성될 수 있으며, 특히 베이스(51)에는 상기 기판 스테이지(60)가 이동할 수 있도록 이동 레일(53)이 구비된다.
또한 상기 베이스 프레임(50)의 도면상 좌측에는 검사자가 올라와서 검사할 수 있도록 검사대(57)가 위치되고, 이 검사대(57)에는 상기 기판(S)을 리뷰 카메라(미도시)를 통해 고배율로 촬영한 이미지를 보여주는 모니터(90)와 전제 장비를 제어하고 조작할 수 있는 조작부(95) 등이 설치될 수 있다.
또한 상기 베이스 프레임(50)의 상부에는 상기 기판 스테이지(60)를 중심으로 좌측 영역에 상기 기판(S)에 빛을 조사하는 조명 기구(80)가 설치된다. 이때 조명 기구(80)는 주로 기판(S)의 하부 영역(S1)에 빛을 조사할 수 있도록 배치되는 것이 바람직하다.
이러한 상기 조명 기구(80)는 빛을 조사하는 광원부(81), 이 광원부로부터 조사된 빛을 기판 방향으로 반사시키는 반사부(83), 이 반사부에서 반사된 빛을 집 광 산란시키는 집광부 및 산란부(85)로 구성된다.
상기 조명 기구(80)의 구성은 반드시 상기와 같은 구체적인 구성에 한정되지 않고, 실시 조건에 따라 공지의 검사 장비에 설치되는 조명 기구이면 필요에 따라 다양하게 선택하여 설치 가능하나, 바람직하게는 상기 광원부(81), 반사부(83), 집광부 및 산란부(85)가 모두 구성되는 것이 바람직하다.
다음, 상기 제 2 검사부(P2)는 상기 제 1 검사부(P1)와 대칭적으로 구성되는 바, 우측에 검사대(57')가 위치되고, 그 검사대(57') 위에 모니터(90') 및 조작부가 설치되며, 우측 상부에 조명 기구(80')가 설치된다.
이러한 제 2 검사부(P2)의 구성은 제 1 검사부(P1)의 구성과 동일하게 구성되는 것이 바람직하나, 기판의 검사 영역 및 조건에 따라서는 그 위치 및 구조를 변경하여 실시하는 것도 가능함은 물론이다.
즉, 제 1 검사부(P1)와 제 2 검사부(P2)가 기판 스테이지(60)를 중심으로 반드시 대칭적으로 구성될 필요는 없으며, 한 쪽 검사부에 구성되지 아니한 구성 요소를 더 포함하거나, 일부 구성을 삭제하여 구성하는 것도 가능하다.
다음, 상기와 같은 제 1 검사부(P1)와 제 2 검사부(P2) 사이를 이동하는 기판 스테이지(60)에 대하여 설명한다.
상기 기판 스테이지(60)는 상기 제 1 검사부(P1)의 검사 방향과 제 2 검사부(P2)의 검사 방향으로 기판(S)을 회전시켜 위치시킬 수 있도록 구성된 것으로서, 상기 베이스(51)에 이동 가능하게 지지되는 받침대(61)와, 이 받침대의 양쪽에 수직으로 세워지는 지지대(63)와, 이 지지대의 상부에 회전 가능하게 지지됨과 아울 러 기판(S)이 안착되는 기판 홀더(65)로 이루어진다.
여기서 상기 지지대(63)는 그 하부에 상기 양쪽 검사부(P1)(P2)의 베이스에 결합되는 가이드(61a)가 구성되고, 상기 베이스(51)에는 상기 지지대(63)의 가이드(61a)에 결합되어 직선 이동토록 안내하는 이동 레일(53)이 구성된다.
이러한 기판 스테이지(60)의 직선 이동 구조는 리니어 모터 및 볼 스크류, 구동 모터를 이용한 타이밍 벨트, 피니언 랙 기구 등 공지의 다양한 직선 이동 기구 중의 하나를 선택하여 적용할 수 있으므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
상기 기판 스테이지(60)는 기본적으로 제 1 검사부(P1)와 제 2 검사부(P2)의 양쪽 영역을 이동할 수 있도록 구성되는데, 필요에 따라서는 상기 기판 스테이지가 검사자 방향으로 이동하거나 멀어지도록 각 검사부(P1)(P2)에서 상기 이동 레일(53)과 직교하는 방향으로 좌우 방향으로 이동되게 구성하는 것도 가능하다.
또한 상기 기판 스테이지(60)는 상기 기판 홀더(65)가 홀더 지지대(63)로부터 상하 방향으로 슬라이딩 가능하게 구성하는 것도 가능하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예의 검사 순서를 설명하면 다음과 같다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제 1 검사부(P1)에서 기판(S)이 좌측을 향하도록 위치시킨 상태에서 기판을 검사한다.
이때에는 조명 기구(80)에서 조사된 빛은 기판의 하부 영역(S1)에 조사되고, 검사자는 자신의 눈높이에 있는 기판의 하부 영역(S1)의 결함을 육안으로 검사한다. 물론, 도면에 표현되지는 않았지만 리뷰 카메라가 설치된 경우에는 리뷰 카메라를 이용하여 기판의 특정 부분을 모니터(90)를 통해 디스플레이 하면서 보다 정밀하게 검사할 수도 있다.
이와 같이 하여, 기판의 하부 영역(S1)의 결함 검사가 끝나면 기판의 상부 영역(S2)의 검사가 진행되는데, 기판의 상부 영역의 검사는 제 2 검사부(P2)에서 이루어진다.
이를 위하여, 상기 제 1 검사부(P1)에서 검사된 기판을 제 2 검사부(P2)로 이동시키게 되는데, 기판 스테이지(60)를 직선 이동시키는 기구를 작동시키면 기판 스테이지(60)가 베이스(51)에 구비된 이동 레일(53)을 따라 제 2 검사부(P2)로 이동하게 된다.
제 2 검사부(P2)로 기판이 이동되면, 기판(S)이 우측을 향하도록 기판 홀더(65)를 회전시키고, 조명 기구(80')를 통해 기판에 빛을 조사하면서 기판의 상부 영역(S2)을 검사한다.
여기서 상기 기판 홀더(65)를 회전시키는 작동은 제 2 검사부(P2)에서만 이루어지지 않고, 제 1 검사부(P1)나 기판 이송 중에 이루어질 수도 있다.
그리고 상기 제 2 검사부(P2)에서 조명 기구(80')가 조사하는 빛은 기판의 하부 영역에 조사되나, 제 2 검사부(P2)에서는 제 1 검사부(P1)의 기판 위치에서 역전된 상태이므로, 사실상 기판의 상부 영역(S2)에 빛을 조사하는 것과 같고, 이때 검사 영역도 기판의 상부 영역의 검사가 이루어진다.
제 2 검사부(P2)에서도 필요에 따라서는 리뷰 카메라 등을 이용하여 특정 부분을 촬영된 영상을 모니터(90')를 통해서 관찰하면서 정밀하게 검사하는 것도 가능하다.
한편, 상기한 본 발명의 실시예에서는 두 개의 검사부(P1)(P2)를 갖는 구성을 예시하였으나 실시 조건에 따라서는 3개 이상의 검사부를 갖도록 구성되는 것도 가능하다. 이때, 검사 위치 및 방향은 좌우 번갈아가면서 이루어지도록 배치되는 것이 바람직하다.
이와는 달리 검사 방향을 좌우로 번갈아가면서 위치시키지 않더라도 일측에서 조명의 조사 위치 및 검사자가 위치하는 검사대(57)의 높이를 다르게 설정하는 등의 방법으로, 한쪽 방향(예를 들면 좌측 방향)에서만 기판을 영역별로 순차적으로 검사하는 것도 가능하다.
다음, 도 8 내지 도 9를 참조하여 상기한 실시예와 달리 하나의 공간에서 기판의 양쪽 검사가 이루어지는 실시예를 설명한다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사 장치가 도시된 사시도이고, 도 9는 도 8의 "B" 방향에서 본 개략적인 구성도이다.
본 발명의 다른 실시예에서는 하나의 공간에서 양쪽에 제 1 검사부(P1)와 제 2 검사부(P2)가 각각 배치되어 구성된다.
즉, 기판 스테이지(60)를 중심으로 도면에서 좌측에 제 1 검사부(P1)가 위치되고, 도면에서 우측에 제 2 검사부(P2)가 위치된다.
따라서 상기 기판 스테이지(60)는 기판(S)이 좌측 및 우측을 향하도록 회전시킬 수 있도록 구성되고, 필요한 경우에 좌우 방향으로 직선 이동되도록 구성하는 것도 가능하다.
또한 상기 각 검사부(P1)(P2)에는 전술한 일 실시예에서 설명한 바와 같은 조명 기구(80)(80')와, 검사대(57)(57'), 모니터(90)(90') 등이 각각 설치된다.
다만, 본 발명의 다른 실시예에서는 하나의 공간에 두 검사부(P1)(P2)가 설치되는 관계로, 하나의 베이스 프레임(50)이 사용된다.
상기와 같은 본 발명의 다른 실시예의 검사 순서를 설명하면 다음과 같다.
도 8과 도 9에 도시된 바와 같이 먼저, 기판(S)을 제 1 검사부(P1)를 향하도록 위치시킨 상태에서 기판을 검사한다. 이때 좌측 조명 기구(80)에서 조사된 빛은 기판의 하부 영역(S1)에 조사되고, 검사자도 기판의 하부 영역의 결함을 육안으로 검사한다.
기판의 하부 영역(S1)의 결함 검사가 끝나면 기판이 제 2 검사부(P2)를 향하도록 기판 홀더(65)를 우측으로 회전시키고, 조명 기구(80)를 통해 기판의 하부 영역에 빛을 조사하면서 실질적으로 역전된 기판의 상부 영역(S2)을 검사한다.
이와 같은 기판 검사 순서는 기판 스테이지(60)가 이동하는 순서를 제외하고는 전술한 일 실시예와 동일하게 이루어진다.
한편, 상기에 설명한 본 발명의 다른 실시예에서는 좌우 양측에서 기판(S)의 상부와 하부를 검사할 수 있도록 구성되어 있으나, 실시 조건에 따라서는 기판 스테이지(60) 전체가 베이스를 중심으로 회전할 수 있도록 구성하여, 상기와 같이 좌우측은 물론 베이스 프레임(50)의 전방측과 후방측에서도 기판을 검사할 수 있도록 구성하는 것이 가능하다. 이때 조명 장치도 프레임(50)의 좌측 및 우측, 그리고 전방측과 후방측에 모두 설치하여 구성할 수 있다.
상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 기판 검사 장치 및 방법은, 기판을 좌우로 회전시켜 양쪽에서 검사할 수 있도록 구성되기 때문에 기판이 대형화됨에 따라 조사 영역이 한정되어 검사에 어려움이 따르는 문제를 해결할 수 있고, 기판 검사시 특정 부분 검사에 대한 전문성을 실현할 수 있는 등 기판 검사의 편의성, 신뢰성 및 효율성을 높일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은 기판을 검사 영역을 나누어서 각 검사자가 검사할 수 있도록 구성되기 때문에 기판 검사 시간을 단축할 수 있고, 또한 전체적으로 장비의 높이를 크게 하지 않아도 되므로, 검사 장비를 설치하는데 있어서 레이아웃 구조도 유리해지는 이점이 있다.

Claims (13)

  1. 검사할 기판이 안착되고, 안착된 기판을 회전시킬 수 있게 구성되어 회전 각도에 따라 기판이 좌측이나 우측을 향하도록 위치시키는 기판 스테이지와; 상기 기판 스테이지를 중심으로 좌측과 우측 방향에서 각각 상기 기판을 검사할 수 있도록 이루어진 제 1 검사부 및 제 2 검사부를 포함하며,
    상기 제 1 검사부는, 좌측을 향하도록 회전된 기판의 상부 영역과 하부 영역 중 어느 하나에 육안 검사를 위한 빛을 조사하는 조명 기구를 포함하고,
    상기 제 2 검사부는, 우측을 향하도록 회전된 기판의 상부 영역과 하부 영역 중 상기 제 1 검사부에서 육안 검사가 이루어지지 않은 나머지 영역에 육안 검사를 위한 빛을 조사하는 조명 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는, 검사자가 위치되는 검사대를 각각 더 포함하는 기판 검사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는 상기 기판 스테이지를 중심으로 대칭적으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는 별도의 공간에 배치되어 구성된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 기판 스테이지는 상기 제 1 검사부와 제 2 검사부의 양쪽 공간으로 이동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 검사부와 제 2 검사부는, 각각 상기 기판을 촬영하는 리뷰 카메라 및 상기 리뷰 카메라에 의하여 촬영된 이미지를 표시하는 모니터를 더 포함하고,
    상기 제 1과 제 2 검사부의 모니터는, 각각 상기 제 1과 제 2 검사부의 검사대에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 기판 스테이지에 안착된 기판이 상기 기판 스테이지를 중심으로 좌측과 우측 중 어느 한쪽 방향을 향하도록 위치시키고, 상기 기판의 상부 영역과 하부 영역 중 어느 하나에 육안 검사를 위한 빛을 조사한 상태에서 상기 좌측과 우측 중 한쪽 방향에서 기판을 검사하는 제 1 단계와;
    상기 기판을 상기 좌측과 우측 중 다른 쪽 방향으로 회전시킨 후, 상기 기판의 상부 영역과 하부 영역 중 육안 검사가 이루어지지 않은 나머지 영역에 육안 검사를 위한 빛을 조사한 상태에서 상기 좌측과 우측 중 다른 쪽 방향에서 기판을 검사하는 제 2 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 청구항 9에 있어서,
    상기 제 1 단계와 제 2 단계의 검사 공간은 별개의 공간에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제 1 단계와 제 2 단계 사이에는 상기 기판 스테이지를 제 1 단계의 검사 공간에서 제 2 단계의 검사 공간으로 이동시키는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200010762A (ko) * 2018-07-23 2020-01-31 주식회사 신코 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101880272B1 (ko) * 2017-12-28 2018-07-19 주식회사 맥슨 통신장비용 pcb 제조장치 및 이를 이용하는 pcb 제조방법
CN108956641A (zh) * 2018-07-24 2018-12-07 武汉华星光电技术有限公司 基板检查装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10332600A (ja) * 1997-06-03 1998-12-18 Dainippon Printing Co Ltd 大型基板用検査台
JP2004286621A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Olympus Corp 基板検査装置
JP2004361178A (ja) * 2003-06-03 2004-12-24 Kurabo Ind Ltd 基板の外観検査装置
KR20060049154A (ko) * 2004-11-08 2006-05-18 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시용 패널의 검사장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10332600A (ja) * 1997-06-03 1998-12-18 Dainippon Printing Co Ltd 大型基板用検査台
JP2004286621A (ja) * 2003-03-24 2004-10-14 Olympus Corp 基板検査装置
JP2004361178A (ja) * 2003-06-03 2004-12-24 Kurabo Ind Ltd 基板の外観検査装置
KR20060049154A (ko) * 2004-11-08 2006-05-18 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시용 패널의 검사장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200010762A (ko) * 2018-07-23 2020-01-31 주식회사 신코 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치
KR102080043B1 (ko) 2018-07-23 2020-04-07 주식회사 신코 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치

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