KR100743427B1 - 평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치 - Google Patents

평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대형 유리기판 표면을 관찰하여 결함 등을 검출하기 위한 평판 디스플레이 패널 검사장치를 개시한다.
본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치는 검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더 양 측부를 지지하면서 기판 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과; 상기 기판 홀더의 배면부에서 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과; 상기 기판 홀더 위쪽에 배치되어 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 상부조명;을 포함한다. 상기 이동수단은, 베이스 상에서 상기 기판 홀더를 관측점을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구와, 상기 수평이동기구 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임과, 승강 프레임 상에서 기판 홀더를 지지하며, 상기 기판 홀더 양측부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 기판 홀더의 선회각을 조절하고 동시에 승강 프레임 상에서 전,후 방향으로 이동되는 각도조절기구를 구비한다.
평판 디스플레이 패널, 결함 검사, 전방향 자유도, 기판 홀더

Description

평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치{APPARATUS FOR MACRO INSPECTION OF FLAT DISPLAY PANEL}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체적인 구성을 나타낸 사시도.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 정면도 및 측면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치 주요부를 확대한 요부 확대사시도로서,
도 4a는 도 1에 도시된 기판 홀더를 일측을 지지하는 제1 슬라이딩 어셈블리 나타낸 사시도.
도 4b는 도 1에 도시된 기판 홀더를 타측을 지지하는 제2 슬라이딩 어셈블리 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체적인 동작방식을 보여주기 위한 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치에 있어서 기판 홀더의 다양한 동작상태를 보여주는 도면.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체 개략적인 구성을 나타낸 사시도.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체적인 동작방식을 보여주기 위한 도면.
도 9 내지 도 11은 각각 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 정면구성도와 측면구성도 및 평면구성도.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체적인 동작방식을 보여주기 위한 도면.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체 개략적인 구성을 나타낸 사시도.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 동작방식을 보여주기 위한 도면.
<도면의 주요부위에 대한 부호 설명>
10...기판 홀더
22...수평이동기구 23...수직 프레임
24...승강 프레임 26...각도조절기구
26-1...제1 슬라이딩 어셈블리 26-2...제2 슬라이딩 어셈블리
260...슬라이딩 블록 262...베어링 블록
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본 발명은 액정디스플레이에 이용되는 대형 유리기판 표면을 관찰하여 결함 등을 검출하기 위한 평판 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 특히 3차원내의 전방향 자유도를 지녀 보다 다양한 각도에서 패널의 표면 결함을 검출할 수 있는 평판 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것이다.
CRT(Cathode Ray Tube, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등은 TV나 PC의 모니터를 통하여 정보를 시각적으로 제공하는 영상 인터페이스 장치로서, 영상 정보를 디스플레이하는 원리는 다르지만 디스플레이를
실현시켜 주는 핵심부품의 하나로서 유리기판을 사용한다.
예로서, TFT(Thin Film Transistor) LCD 디스플레이를 제조하는 공정을 보면, 디스플레이에 사용되는 유리기판은 컷팅 및 액정 주입이 이루어지기 전에 블랙 매트릭스(BM) 공정, RGB 공정, ITO 공정을 거치는 데, 이 때 유리기판은 그 면상에 이물 부착, 번짐, 공정 불량 및 표면 흠집 등의 결함이 발생할 수 있다. 이러한 유리기판의 이물이나 번짐(얼룩) 및 표면 흠집 등은 TFT LCD디스플레이의 성능에 치명적 영향을 끼치므로 사전검사를 통해 철저히 검출/제거되어야만 한다. 이러한 유리기판의 이물이나 얼룩 등을 찾아내는 장치가 유리기판 검사장치이다.
유리기판 검사장치는 일반적으로 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사장치와 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사장치로 구분될 수 있다. 검사의 항목에 따라 매크로 검사와 마이크로 검사를 선택해야 하는 경우가 있기는 하지만, 작업자의 육안으로 유리기판 전체 에 대하여 이물질 부착 등의 불량 상태를 선(先)검사하고, 매크로 검사 결과에 따라 세밀한 검사가 요구되는 부분에 대하여 대물렌즈 기준 약 20배 내지 50배로 확대하여 마이크로 검사를 수행하는 것이 보통이다.
일본 특개평 5-322783호에는 기판을 X-Y 방향 이동이 가능한 X-Y 스테이지에 홀딩시키고 이 X-Y 스테이지를 매크로 관찰 기능을 갖춘 매크로 관찰 시스템 및 마이크로 관찰 기능을 갖춘 마이크로 관찰 시스템 상으로 2차원 이동시켜 결함 검사를 수행하는 장치를 개시하고 있다. 이 장치는 비교적 소형의 유리기판을 검사하기에 적합한 장치로서 최근의 대형화 추세에 있는 예를 들어, 소위 8세대와 9세대의 유리기판의 표면 결함 검사에는 부적합한 문제가 있다.
대한민국 등록실용신안공보 20-0238929호(2001년 10월 08일 공고)에서는 "기판검사장치"라는 제목으로 선회가능한 스테이지와 조명수단을 갖는 기판검사장치를 개시하고 있다. 상기 등록실용신안공보 20-0238929호는 1축 방향으로 선회가능한 스테이지 상에 기판을 홀딩시킨 다음, 매크로 관찰시 스테이지를 선회시켜 경사지게 한 상태에서 장치의 상부에 설치된 광원으로부터 조사되는 조명광을 이용하여 매크로 관찰 검사를 수행하고, 마이크로 관찰시에는 스테이지를 수평하게 한 상태에서 자체 조명이 구비된 마이크로 관찰 시스템을 스테이지 상에서 수평 이동시키며 검사를 수행한다. 이와 같은 검사장치는 다각도에서 기판 표면 불량 검사를 시행하므로 상기한 일본국 선행기술에 비해 보다 세밀한 관찰이 가능하다는 이점이 있다. 그러나, 스테이지 동선이 선회방향으로 한정되어 있어 보다 다양한 각도에서의 표면 결함 관찰이 불가능한 결점이 있다. 즉, 보다 세밀한 표면 이물 및 흠집등 의 불량을 검출하기에는 그 기능상 한계가 있는 것이다.
그 외에도 대한민국 특허출원 10-2004-117911호에서는 유리기판을 파지하는 글라스 홀더부를 다관절 로봇으로 지지함으로써 다양한 형태의 배치가 가능하면서도 공간을 상대적으로 적게 차지하는 매크로 검사장치가 제안된 바 있다. 이러한 구성을 갖는 매크로 검사장치에 따르면, 유리기판을 탑재한 상태로 로봇을 동작시키면 로봇의 아암과 글라스 홀더부의 연결부에 상당한 하중이 인가된다. 또한, 글라스 홀더부에서 위 연결부로부터 먼 쪽의 측부는 연결부가 있는 측부에 비하여 기계적 강성이 떨어지기 때문에 처짐이 발생하고, 이에 따라 유리기판이 안정적으로 배치되지 못하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 검사대상인 유리기판을 안착하는 기판 홀더가 3차원내 전방향으로 자유도를 지니도록 하고, 그에 따라 다양한 각도에서 보다 세밀하게 유리기판의 표면 결함을 검출할 수 있는 평판 디스플레이패널 검사장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 기판이 안착되어 홀딩되는 기판 홀더가 다양한 지지점을 통해 안정적으로 지지되도록 하여 스페이스를 많이 차지하지 않으면서 흔들림과 하중에 대한 안정성은 확보하며, 그 결과 보다 정밀하게 기판의 표면 결함을 검출할 수 있는 평판 디스플레이패널 검사장치를 제공하는 데에 다른 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로서 본 발명은, 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집등의 결함을 검사하는 기판검사장치로서, 검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더를 양측에서 지지하면서 기판 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과; 상기 기판 홀더의 배면부에서 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과; 상기 기판 홀더 위쪽에 배치되어 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 상부조명;을 포함하는 평판 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다. 여기서, 상기 이동수단은, 베이스 상에서 상기 기판 홀더를 관측점을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구와; 상기 수평이동기구 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 승강 프레임과; 승강 프레임 상에서 기판 홀더를 지지하며, 상기 기판 홀더 양측부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 기판 홀더의 선회각을 조절하고 동시에 승강 프레임 상에서 전,후 방향으로 이동되는 각도조절기구;를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치를 구비한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
우선 첨부된 도면을 간략히 살펴보면, 도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 전체적인 구성을 나타낸 사시도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 정면도 및 측면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치는 검사대상인 대형의 유리기판(P)을 홀딩시켜 지지하는 기판 홀더(10)와, 기판 홀더(10) 양 측부를 지지하면서 기판 홀더(10)가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되는 이동수단을 구비한다. 기판 홀더(10) 배면에는 기판 홀더(10) 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛(30)이 배치되고, 기판 홀더(10) 위쪽에는 상기와는 다른 각도에서 빛을 조사하는 상부조명(40)이 배치된다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 주요부 구성을 구체적으로 살펴본다.
기판 홀더(10)는 검사대상인 평판 디스플레이 패널(이하, '유리기판'이라 한다.)이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공한다. 유리기판(P)은 카세트 스테이션(미도시 됨)에 수납되어 있으며, 도 2의 로딩/언로딩 로봇(200)에 의하여 도시된 화살표 방향으로 기판 홀더(10)에 제공된다. 또한, 기판 홀더(10)는 검사를 위하여 홀더 상에 장착된 유리기판이 이탈하여 추락하지 않도록 유리기판을 기판 홀더(10) 상에서 파지하는 미도시된 클램핑 장치와 진공 흡착구를 구비하고 있다. 클램핑 장치는 기판 측부를 따라 다수개가 등간격에 걸쳐 배치되어 있으며, 진공 흡착구는 기판 홀더(10) 내측에서 다수개가 등간격에 걸쳐 이격 배치되어 있다. 따라서, 로딩/언로딩 로봇(200)에 의하여 유리기판(P)이 기판 홀더(10) 상에 얹혀지면, 진공 흡착구 및 클램핑 장치의 흡착력 및 고정력에 의하여 유리기판이 기판 홀더(10) 상에 홀딩되어 이탈되지 않는다.
이동수단은 베이스(B) 상에서 상기 기판 홀더(10)를 관측자가 위치하는 관측실(100)을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구(22)와, 상기 수평이동기구(22) 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2)을 구비한다. 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상에는 각도조절기구(26)가 마련되며, 이 각도조절기구(26)에는 기판 홀더(10) 양 측부가 선회 가능하게 연결되어 기판 홀더(10)의 선회각이 조절된다. 또한, 각도조절기구(26)는 상기 승강 프레임(24) 상에서 이 승강 프레임의 길이방향을 따라 전,후 방향으로 이동하면서 기판 홀더(10)의 고정위치를 변화시킨다. 이에 따라, 기판 홀더(10) 나아가 기판 홀더(10) 상에 장착된 유리기판(P)은 장치내에서 3차원내 전방향에 대하여 자유도를 갖는다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 실시예에 따른 상기 수평이동기구(22)는 레일(220)과, 레일(220) 상의 바닥 프레임(222) 및 바닥 프레임(222) 상에 수직으로 배치되는 다수의 수직 프레임(23)을 포함한다. 레일(220)은 관측점을 기준으로 장치의 좌,우 길이방향으로 한 쌍이 이격 배치되고, 바닥 프레임(222)은 예를 들어, LM블럭등을 매개로 레일(220) 상에 배치되어 레일(220)을 따라 관측실에 볼 때 좌,우방향으로 이동된다. 또한, 바닥 프레임(222) 상에는 그 내측에 승강수단을 갖는 다수의 수직 프레임(23)이 수직 배치되어 전체적으로 직육면체 형상을 이루며, 수직 프레임(23) 중 상기 바닥 프레임(222)의 이동 방향과 교차하는 방향으로 마주하는 두 개의 수직 프레임(23) 사이에는 상기한 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2)이 서로 마주하면서 승강 가능하게 설치된다. 따라서, 승강 프레임 상에서 각도조절기구(26)를 통해 지지되는 기판 홀더(10)는 회동 뿐만 아니라 상,하,좌,우 전방향에 대하여 자유도를 갖는다.
여기에서, 상기 승강수단은 예를 들어, 수직 프레임(23) 하단부에 마련되는 구동모터(M)와, 구동모터(M)와 연결되며 수직 프레임(23)에 배치되어 구동모터의 구동축과 동방향으로 회전하는 볼 스크류(미도시 됨)와, 상기 승강 프레임 양 측 선단에 연설되는 동시에 상기 볼 스크류에 끼워지는 볼 너트(미도시 됨)일 수 있다.
나아가, 본 발명의 실시예에 따른 상기 각도조절기구(26)는 상기 기판 홀더(10) 양 측벽 중앙으로부터 외부를 향하여(Outwardly) 뻗어나온 두 개의 회전축(S1,S2)과, 회전축(S1,S2)을 각각 마주보는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상에서 회전가능하게 지지하면서 승강 프레임의 길이방향을 따라서는 이동가능한 제1, 제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)를 포함한다. 기판 홀더(10) 양측 중앙으로부터 뻗어나온 상기 두 개의 회전축(S1)(S2) 중 어느 하나의 회전축(S1)은 제1 슬라이딩 어셈블리(26-1)의 구동모터(27-1)와 연결되어 회전축(S1)의 회전방향으로 기판 홀더(10)에 회전력이 제공되며, 다른 하나의 회전축(S2)은 제2 슬라이딩 어셈블리(26-2)의 슬리브(27-2)에 끼워져 회전과 동시에 길이방향으로 미끄럼 가능하게 지지된다.
이 때, 상기 제1,제2 승강프레임(24-1)(24-2) 및 제1 슬라이딩 어셈블리(26-1)와 제2 슬라이딩 어셈블리(26-2)는 마주하는 각각 수직 프레임(23)과 승강 프레임 상에서 각각의 미도시된 구동수단에 의해 서로 개별적으로 가동된다. 이에 따라, 도 6과 같이 기판 홀더(10)는 장치내에서 관측실을 기준으로 다양하게 틀어진 각도로 배치될 수 있다.
도 4a, 도 4b는 본 발명에 적용된 상기 슬라이딩 어셈블리를 확대 도시한 본 발명의 요부확대 사시도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 상기 제1,제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)는 각각, 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상에서 승강 프레임의 길이방향을 따라 이동 가능하게 장착되는 슬라이딩 블록(260)을 포함하며, 슬라이딩 블록(260)에는 힌지축(H)을 매개로 베어링 블록(262)이 선회가능하게 장착된다. 이에 따라, 베어링 블록(262)은 힌지점을 기준으로 승강 프레임의 길이방향과 평행한 선회축에 대하여 굴절될 수 있다. 동시에 베어링 블록(262)은 상기한 구동모터(27-1) 및 슬리브(27-2)를 각각 상기 선회방향과 교차하는 방향으로 회전가능하게 지지한다.
여기서, 상기 베어링 블록(262)은 위와 같이 슬라이딩 블록(260)과 힌지축을 매개로 상,하방향으로 선회가능하게 연결되는 중공의 베어링 케이싱(262a)을 포함한다. 베어링 케이싱(262a) 내측에는 회동축(262b)이 위치하며, 회동축(262b)과 베어링 케이싱(262a) 사이에는 상기 회동축의 회전을 지지하는 다수의 베어링(262c)이 개입된다. 또한, 상기 회동축(262b)은 베어링 케이싱(262a)의 개구된 상부로 돌출되어 그 선단은 제1 슬라이딩 어셈블리(26-1)의 모터(27-1) 및 제2 슬라이딩 어셈블리(26-2)의 슬리브(27-2) 하부측과 각각 연결되어 이들을 각각 지지한다.
따라서, 전술한 바와 같이 제1 승강 프레임(24-1)과 제2 승강 프레임(24-2)이 각각 독립적으로 가동되어 그 승강높이가 달라지거나 또는/및 승강 프레임 상에서의 제1,제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)의 슬라이딩 블록(260) 수평 이동거리 가 달라져 기판 홀더(10)가 다양한 각도로 경사지게 배치될 경우, 베어링 케이싱(262a)이 슬라이딩 블록(260)에 대해 굴절되거나 또는/및 베어링 케이싱(262a) 내측에 회동가능하게 배치된 회동축(262b)이 회전하면서 기판 홀더(10) 각도 변화량에 따른 회전축(S1,S2) 가변량을 보상한다.
도면상 미설명 부호 100은 관측자가 위치하는 관측실이며, 110은 매크로 검사를 보조하기 위해 관측실에 구비되는 실체 현미경이다.
다음은 상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치를 이용하여 수행되는 유리기판 상의 불량 검출 작업의 과정을 본 발명의 동작과 연계하여 설명한다.
기판 제조 공정에서 검사 대상으로 선정된 유리기판은 미도시된 카세트 스테이션에 저장된다. 이렇듯 저장되어 있던 유리기판은 기판 이송장치 로봇(200)에 의하여 도 2의 화살표 방향을 따라 본 발명의 실시예에 따른 검사장치에 제공된다. 이 때, 기판 홀더(10)는 유리기판이 공급되기 유리하게 배치된다. 예를 들어, 도 2에서와 같이 기판 홀더(10)는 바닥면에 대하여 수평을 이루도록 배치되는 것이 좋다.
상기와 같이 유리기판이 기판 홀더(10) 상에 공급되면 기판 홀더(10)에 마련되는 미도시된 기판 정렬장치가 기판을 적정한 위치로 배치시키며, 그 후 클램핑(미도시 됨) 장치 및 진공흡착장치(미도시 됨)가 작동하여 기판 홀더(10) 상에 놓인 유리기판을 파지 및 흡착 고정하여 이탈을 저지하게 된다. 작업자는 유리기판이 기판 홀더(10) 상에 안전하게 고정되었는지 여부를 확인한 후 본격적인 검사 작업 을 수행한다.
검사작업시에는 검사장치의 전방과 위쪽에 배치된 백라이트 유닛(30)과 상부조명(40)을 이용하여 기판 홀더(10) 상에 놓인 유리기판으로 빛을 조사한다. 동시에 이동수단, 구체적으로, 바닥 프레임(222)의 수평이동거리와 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2)의 승강거리 및, 승강 프레임 상의 제1,제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)의 이동거리를 제어하면서 유리기판이 장착된 기판 홀더(10)가 상기 백라이트 유닛(30) 및 상부조명(40)에 대하여 도 6의 (a)(b)에서와 같이 다양한 각도로 배치되도록 한다. 이러한 작업 과정 중, 유리기판을 통해 굴절되는 빛과 투과되는 빛을 이용해 작업자는 유리기판 상의 이물 및 표면 흠집등의 결함을 검사한다.
검사가 완료된 후에는, 이동수단이 기판 홀더(10)를 조절하여 유리기판을 언로딩하기 편리한 위치 즉, 처음의 유리기판 로딩 작업과 동일한 위치로 배치한다. 이상태에서 검사가 완료된 유리기판은 도 2에 도시된 화살표 방향과 반대 방향으로 기판 홀더(10)로부터 언로딩된다.
상기한 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 베이스(B) 상에 수평 이동되는 바닥 프레임(222)과, 바닥 프레임(222) 상의 수직 프레임(23) 상에서 승강되는 승강 프레임(24-1,24-2)과, 승강 프레임 상의 슬라이딩 어셈블리(26-,26-2)에 의한 기판 홀더(10)의 도 5에서와 같은 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직을 통하여 3차원내에서 전방향에 대한 자유도를 지닌다. 그 결과 다양한 각도에서 보다 세밀하게 유리기판의 표면 결함을 검출할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치의 개략적인 구성을 나타낸 사시도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사장치는 기판 홀더(10)가 사각 프레임(50) 상에 슬라이딩 장착되며, 이에 따라 전술한 제1 실시예에서와 같은 수평이동기구(22) 구체적으로, 베이스(B)와 바닥 프레임(222) 사이에 개입되는 레일이 요구되지 않는 구성을 제외하고는 전술한 제1 실시예와 동일한 구성 및 작용을 갖는다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 제2 실시예에 따른 주요부 구성만을 설명하며, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호 및 명칭을 사용하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사장치는 검사대상인 대형의 유리기판(P)을 홀딩시켜 지지하는 기판 홀더(10)와, 기판 홀더(10)가 슬라이딩 가능하게 장착되는 사각 프레임(50)을 포함한다. 사각 프레임(50)의 양측 외벽에는 회전축(도면상 미도시)이 외부를 향하여 돌출되어 있으며, 회전축은 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상의 제1, 제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)에 각각 연결된다.
나아가, 상기 제1,제2 승강 프레임은 바닥 프레임(222) 상에 수직 배치되는 수직 프레임(23)에 그 양측단이 승강 가능하게 장착된다. 수직 프레임(23)은 그 내측에 상기 제1, 제2 승강 프레임(24-1)(24-2)을 승강시키기 위한 승강수단을 구비한다. 승강수단은 전술한 제1 실시예와 마찬가지로 예를 들어, 구동모터와, 구동모 터 회전축과 연결되는 볼 스크류와, 상기 승강 프레임 양 측 선단에 연설되는 동시에 상기 볼 스크류에 끼워지는 볼 너트를 포함한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 제2 실시예에 따르면, 바닥 프레임(222) 상의 수직 프레임(23) 상에서 승강되는 승강 프레임(24-1)(24-2)과, 승강 프레임 상의 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)에 의한 사각 프레임의 슬라이딩과 회전, 그리고 사각 프레임 상에서의 기판 홀더(10)의 이동에 따라 기판 홀더(10)는 도 8에서와 같이 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직일 수 있다. 즉, 기판 홀더(10)는 장치내에서 3차원내에서 전방향에 대한 자유도를 지닌다. 그 결과 다양한 각도에서 보다 세밀하게 유리기판의 표면 결함을 검출 할 수 있다.
또한, 기판 홀더(10)가 사각 프레임 상에 슬라이딩 장착됨으로써 전술한 제1 실시예에서와 같은 수평이동기구(22) 구체적으로, 베이스(B)와 바닥 프레임(222) 사이에 개입되는 레일이 요구되지 않는다. 따라서, 유리기판 표면 검사를 위해 기판 홀더(10)를 다양하게 이동시킬 경우, 구체적으로 관측점에 대해 좌,우 방향으로 이동시킬 경우에, 전술한 실시예에서와 같이 수직,승강 프레임을 포함하는 수평이동기구(22) 전체를 이동시키지 않아도 된다. 그에 따라, 기판 이동에 따른 장치부하를 최소화시킬 수 있으면서 전술한 제1 실시예와 마찬가지로 기판 홀더를 위치를 다양하게 가변시키면서 보다 세밀한 검사를 수행할 수 있다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 정면구성도와 측면구성도 및 평면구성도를 각각 나타낸다.
도 9 내지 도 11을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사장치는 기판 홀더(10)가 검사자가 위치하는 관측실에 대하여 다양하게 틀어진 각도로 배치될 수 있도록 지지하는 이동수단의 주요부 구성상 차이점을 제외하고는 전술한 제1 실시예와 동일한 구성 및 작용을 갖는다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 제3 실시예에 따른 주요부 구성만을 설명하며, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호 및 명칭을 사용하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
구체적으로 살펴보면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 상기 이동수단은, 베이스(B) 상에서 상기 기판 홀더(10)를 관측점에 대하여 좌,우 요동시키기 위한 전술한 제1 실시예와 동일한 구성의 수평이동기구(22)와, 상기 수평이동기구(22) 상에 승강과 동시에 그 길이방향 중심축에 대하여 회전가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1,24-2)을 구비한다. 상기 제1, 제2 승강프레임(24-1,24-2) 상에는 슬라이딩 블록(28a,28b)이 슬라이딩 가능하게 장착되며, 슬라이딩 블록(28a,28b) 상에는 한 쌍의 LM가이드-블록(292a,292b)과 베어링(291a,291b)을 매개로 지지브래킷(29a,29b)이 슬라이딩과 동시에 회전가능하게 장착된다. 그리고 상기 지지브래킷(29a,29b) 양측부는 기판 홀더(10) 양측면 중앙을 상기 제1, 제2 승강프레임(24-1,24-2)의 길이방향과 교차하는 선회축에 대하여 회전가능하게 지지한다.
여기서, 상기 LM가이드-블록(292a,292b)은 지지브래킷(29a,29b)이 상기 슬라이딩 블록(28a,28b)의 이동방향과 수직 교차하는 방향으로 이동될 수 있도록 지지 하며, 베어링(291a,291b)은 LM가이드-블록(292a,292b) 상에서 상기 지지브래킷(29a,29b)이 평면 원주방향으로 회전될 수 있도록 지지한다. 이에 따라, 지지브래킷(29a,29b)은 슬라이딩 블록(28a,28b)의 슬라이딩 방향과 수직으로 교차하는 방향으로 슬라이딩되면서 동시에 슬라이딩 블록(28a,28b) 상에서 회전한다. 그 결과, 제1, 제2 승강프레임(24-1,24-2)이 서로 독립적으로 승강하여 기판 홀더(10)가 경사지게 배치되었을 경우에 기판 홀더(10) 경사배치에 따른 기판 홀더(10)의 좌,우 폭변화량을 보상한다.
계속해서, 상기 지지브래킷(29a,29b) 중 어느 한 지지브래킷(29a) 상에는 모터(290)가 마련된다. 모터(290)의 회전축은 기판 홀더(10) 일측면 중앙에 연결되어 상기 기판 홀더(10)에 승강프레임(24-1,24-2)의 길이방향과 수직으로 교차하는 선회축을 중심으로 하는 회전력을 제공하며, 기판 홀더(10) 타측면 중앙과 다른 하나의 지지브래킷(29b) 사이에는 베어링이 개입되어 상기 모터(290)에 의한 기판 홀더(10)의 회전을 지지한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 베이스(B) 상에 수평 이동되는 바닥 프레임(222)과, 바닥 프레임(222) 상의 수직 프레임(23) 상에서 승강되면서 그 길이방향의 중심축에 대하여 회전하는 승강 프레임(24-1,24-2)과, 승강 프레임(24-1,24-2) 상에 베어링(291a,291b)을 매개로 회전하는 지지브래킷(29a,29b)에 의한 기판 홀더(10)의 도 12에서와 같은 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직을 통하여 3차원내에서 전방향에 대한 자유도를 지닌다. 그 결과, 제1 실시예와 마찬가지로 기판 홀더를 위치를 다양하게 가변시켜 가면서 보다 세밀한 유리기판 검사를 수행할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 전체적인 구성을 나타낸 사시도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 검사장치는 기판 홀더(10)가 검사자가 위치하는 관측실에 대하여 다양하게 틀어진 각도로 배치될 수 있도록 지지하는 이동수단의 형상 및 일부 구성상 차이점을 제외하고는 전술한 제1 실시예와 동일한 구성 및 작용을 갖는다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 제4 실시예에 따른 주요부 구성만을 설명하며, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호 및 명칭을 사용하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다
본 실시예에 대해 구체적으로 살펴보면, 상기 이동수단은 베이스 상에서 기판 홀더를 관측점에 대해 좌,우 요동시키는 수평이동기구(22)와, 상기 수평이동기구(22) 상에 수직으로 배치되는 마주하는 한 쌍의 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b)을 포함한다. 수평이동기구(22)는 관측점에 대하여 좌,우 길이방향으로 베이스(B) 상에 이격 설치되는 한 쌍의 레일(220)과, 레일(220) 상에 슬라이딩 가능하게 배치되는 사각 프레임 형태의 바닥 프레임(222)으로 구성되며, 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b)은 상기 수평이동기구(22) 상에서 이 수평이동기구(22)의 좌,우 이동방향과 수직 교차하는 전,후 방향에 대해 독립적인 움직임을 갖도록 슬라이딩 가능하게 장착된다. 그리고 상기 각각의 이동 프레임(33a,33b) 상에는 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)이 이러한 이동 프레임(33a,33b)의 상,하 길이방향을 따라 승강가능하 게 설치되되, 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b) 역시 각각의 해당 이동 프레임(33a,33b) 상에서 서로 독립적임 움직임을 갖도록 설치된다.
여기서, 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)의 승강은 각각의 이동 프레임(33a,33b) 내측에 마련되는 승강수단 예를 들어, 전술한 제1 실시예에서와 같이, 구동모터와, 구동모터와 연결되며 이동 프레임에 내측에 배치되어 구동모터의 구동축과 동방향으로 회전하는 볼 스크류와, 힌지브래킷에 설치되면서 상기 볼 스크류를 따라 이동되는 볼 너트로 구성될 수 있다.
계속해서, 본 발명의 제4 실시예에 따르면, 상기 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b) 상의 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)에는 각도조절기구(36)가 이 힌지브래킷(34a,34b)의 좌,우 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되어 상기 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b) 상에서 유리기판이 장착되는 기판 홀더(10)를 지지한다. 구체적으로, 기판 홀더(10)는 상기 각도조절기구(36)에 그 양측면 중앙부가 선회가능하게 연결되어 상기 바닥 프레임(222)의 이동방향과 평행한 선회축에 대해 회전되며, 각도조절기구(36)는 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)의 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되어 다양하게 틀어진 각도로 배치되는 기판 홀더(10)의 각도변화에 추종하면서 이러한 기판 홀더(10)를 지지한다.
여기서, 본 발명의 제4 실시예에 따른 상기 각도조절기구(36)는 전술한 제1 실시예에서의 회전축과 슬라이딩 어셈블리의 일부구성을 포함하는 각도조절기구(26)와 동일한 구성으로 이루어지며, 다만 기판 홀더 양측으로부터 뻗어나온 회 전축(S1)(S2)을 지지하기 위한 두 구성요소 구체적으로, 전술한 제1 실시예의 제1, 제2 슬라이딩 어셈블리와는 달리 본 실시예에서는 회전축을 지지하기 위한 제1 베어링 블록(36-1)과 제2 베어링 블록(36-2)에 적용되는데, 이러한 제1, 제2 베어링 블록(36-1,36-2)은 Y축으로 슬라이딩을 위한 구성요소 구체적으로 제1 실시예에서의 슬라이딩 블록을 포함하지 않는 것을 제외하곤 제1 실시예의 베어링 블록의 구성과 동일하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 제4 실시예에 의하면, 베이스(B) 상에 수평 이동되는 바닥 프레임(222)과, 바닥 프레임(222) 상에 이 바닥 프레임의 이동방향과 수직 교차하는 방향으로 이동되는 이동 프레임과, 이동 프레임(33a,33b) 상에서 승강되는 힌지브래킷(34a,34b)과, 힌지브래킷(34a,34b)에 굴절가능하게 연결되면서 스스로 회전가능한 베어링 블록(36-1,36-2)에 의한 기판 홀더(10)의 도 14에서와 같은 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직을 통하여 기판 홀더 상에 안착되는 유리기판이 3차원내에서 전방향에 대한 자유도를 지닌다. 그 결과 다양한 각도에서 보다 세밀하게 유리기판의 표면 결함을 검출할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명인 패널 검사장치에 의하면, 검사대상인 유리기판이 안착되어 고정되는 기판 홀더가 3차원내에서 전방향으로 자유도를 지닌 다. 이에 따라, 다양한 각도에서 보다 세밀하게 유리기판의 표면 결함을 검사할 수 있다.
또한, 본 발명은 기판이 안착되어 홀딩되는 기판 홀더가 다양한 지지점을 통해 안정적으로 지지된다. 따라서, 스페이스를 많이 차지하지 않으면서 흔들림과 하중에 대한 안정성을 확보할 수 있다. 결과적으로, 대형 유리기판의 표면 결함 검사에 매우 적합하다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사장치를 실시하기 위한 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (30)

  1. 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집등의 결함을 검사하는 장치로서,
    검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판 홀더와;
    상기 기판 홀더 양 측부를 지지하면서 기판 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과;
    상기 기판 홀더의 배면부에서 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과;
    상기 기판 홀더 위쪽에 배치되어 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 상부조명;을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    베이스 상에서 상기 기판 홀더를 관측점을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구와,
    상기 수평이동기구 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임과,
    승강 프레임 상에서 기판 홀더를 지지하며, 상기 기판 홀더 양측부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 기판 홀더의 선회각을 조절하고 동시에 승강 프레임 상에서 전,후 방향으로 이동되는 각도조절기구를 구비하고,
    상기 각도조절기구는,
    상기 기판 홀더 양측 외벽 중앙으로부터 외부를 향하여 뻗어나온 두 개의 회전축과;
    상기 두 개의 회전축 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 구동모터를 포함하여 상기 기판 홀더에 회전력을 제공하는 제1 슬라이딩 어셈블리와;
    상기 두 개의 회전축 중 다른 하나의 회전축이 회전과 동시에 축방향으로는 미끄럼 가능하게 지지되는 슬리브를 포함하는 제2 슬라이딩 어셈블리;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 홀더는,
    진공을 이용하여 기판 홀더 상에 검사대상인 평판 디스플레이 패널을 흡착 고정시키는 복수개의 진공흡착구와, 검사를 위하여 홀더 상에 장착된 유리기판이 이탈하여 추락하지 않도록 유리기판을 기판 홀더 상에서 파지하는 클램핑 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 이동수단의 수평이동기구는,
    관측점을 기준으로 좌,우 길이방향으로 베이스 상에 이격 설치되는 한 쌍의 레일과;
    상기 레일 상에 배치되는 바닥 프레임과;
    상기 바닥 프레임 상에 수직 배치되며 그 내측에 승강수단을 갖는 수직 프레임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 승강수단은,
    구동모터와;
    상기 구동모터 회전축에서 연장되어 회전축과 동방향으로 회전하는 볼 스크류와;
    승강 프레임 양 측 선단에 구비되며 상기 볼 스크류에 끼워지는 볼 너트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1,제2 승강 프레임은 수평이동기구 상에서 서로 독립적으로 승강하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 슬라이딩 어셈블리와 제2 슬라이딩 어셈블리는 각각,
    마주하는 한 쌍의 승강 프레임 상에서 수평이동기구의 이동 방향에 대하여 교차하는 방향으로 이동 가능하게 장착되는 슬라이딩 블록과;
    상기 슬라이딩 블록에 힌지축을 매개로 선회가능하게 장착되어 힌지점을 기준으로 승강 프레임의 길이방향과 평행한 선회축에 대하여 선회하며, 상기 구동모터 및 슬리브를 각각 상기 선회축과 교차하는 방향으로 회전가능하게 지지하는 베어링 블록;을 포함하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 베어링 블록은,
    슬라이딩 블록과 힌지축을 매개로 선회가능하게 연결되는 중공의 베어링 케이싱과;
    상기 베어링 케이싱 내측에 위치하면서 그 상단부는 각각 제1 슬라이딩 어셈블리의 모터 및 제2 슬라이딩 어셈블리의 슬리브와 연결되어 이들을 지지하는 회동축과;
    상기 베어링 케이싱과 회동축 사이에 개입되는 적어도 1개 이상의 베어링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 슬라이딩 어셈블리와 제2 슬라이딩 어셈블리는 마주하는 한 쌍의 승강 프레임 상에서 각각 서로 독립적으로 가동되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  10. 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집등의 결함을 검사하는 장치로서,
    검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판 홀더와;
    상기 기판 홀더가 좌,우 슬라이딩 가능하게 장착되는 사각 프레임과;
    상기 사각 프레임 양 측부를 지지하면서 기판 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과;
    상기 기판 홀더의 배면부에서 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과;
    상기 기판 홀더 위쪽에 배치되어 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 상부조명;을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    바닥 프레임과;
    상기 바닥 프레임 상에 수직 배치되며 그 내측에 승강수단을 구비하는 수직 프레임들과;
    상기 수직 프레임 중 기판 홀더의 길이방향으로 서로 마주하는 한 쌍의 수직 프레임 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임과;
    제1,제2 승강 프레임 상에서 상기 사각 프레임을 지지하며, 상기 사각 프레임 양측부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 기판 홀더의 선회각을 조절하는 한편, 승강 프레임 상에서 전,후 방향으로 이동되는 각도조절기구;를 포함하고,
    상기 각도조절기구는,
    상기 사각 프레임의 양측 외벽 중앙으로부터 외부를 향하여 뻗어나온 두 개의 회전축과;
    상기 두 개의 회전축 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 구동모터를 포함하여 상기 기판 홀더에 회전력을 제공하는 제1 슬라이딩 어셈블리와;
    상기 두 개의 회전축 중 다른 하나의 회전축이 회전과 동시에 축방향으로는 미끄럼 가능하게 지지되는 슬리브를 포함하는 제2 슬라이딩 어셈블리;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 기판 홀더는,
    진공을 이용하여 기판 홀더 상에 검사대상인 평판 디스플레이 패널을 흡착 고정시키는 복수개의 진공흡착구와, 검사를 위하여 홀더 상에 장착된 유리기판이 이탈하여 추락하지 않도록 유리기판을 기판 홀더 상에서 파지하는 클램핑 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  12. 삭제
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1,제2 승강 프레임은 수직 프레임 상에서 서로 독립적으로 승강하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  14. 삭제
  15. 제 10 항에 있어서, 상기 제1 슬라이딩 어셈블리와 제2 슬라이딩 어셈블리는 각각,
    마주하는 한 쌍의 상기 승강 프레임 상에서 이 승강 프레임의 길이방향을 따라 이동 가능하게 장착되는 슬라이딩 블록과;
    상기 슬라이딩 블록에 힌지축을 매개로 선회가능하게 장착되어 힌지점을 기준으로 상기 승강 프레임의 길이방향과 평행한 선회축에 대하여 선회하며, 상기 구동모터 및 슬리브를 각각 상기 선회방향과 교차하는 방향으로 회전가능하게 지지하는 베어링 블록;을 포함하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 베어링 블록은,
    슬라이딩 블록과 힌지축을 매개로 선회가능하게 연결되는 중공의 베어링 케이싱과;
    상기 베어링 케이싱 내측에 위치하면서 그 상단부는 각각 제1 슬라이딩 어셈블리의 모터 및 제2 슬라이딩 어셈블리의 슬리브와 연결되어 이들을 지지하는 회동축과;
    상기 베어링 케이싱과 회동축 사이에 개입되는 적어도 1개 이상의 베어링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 슬라이딩 어셈블리와 제2 슬라이딩 어셈블리는 마주하는 한 쌍의 승강 프레임 상에서 각각 서로 독립적으로 가동되는 것을 특징으로 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  18. 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집등의 결함을 검사하는 장치로서,
    검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판 홀더와;
    상기 기판 홀더 양 측부를 지지하면서 기판 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과;
    상기 기판 홀더의 배면부에서 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과;
    상기 기판 홀더 위쪽에 배치되어 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 상부조명;을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    베이스 상에서 상기 기판 홀더를 관측점을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구와;
    상기 수평이동기구 상에 승강과 동시에 그 길이방향 중심축에 대하여 회전가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임과;
    상기 제1, 제2 승강프레임 상에 슬라이딩 가능하게 장착되는 슬라이딩 블록과;
    상기 슬라이딩 블록 상에 선회가능하게 마련되면서 기판 홀더의 양측면 중앙을 상기 제1, 제2 승강프레임의 길이방향과 수평으로 교차하는 선회축에 대하여 회전가능하게 지지하는 지지브래킷과;
    상기 지지브래킷 중 어느 한 지지브래킷 상에 마련되면서 그 회전축은 기판 홀더 일측면 중앙과 연결되어 승강프레임의 길이방향과 수직으로 교차하는 선회축에 대하여 기판 홀더에 회전력을 제공하는 모터; 및
    상기 슬라이딩 블록과 지지브래킷 사이 및 기판 홀더 타측면 중앙과 다른 하나의 지지브래킷 사이에 개입되는 베어링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 기판 홀더는,
    진공을 이용하여 기판 홀더 상에 검사대상인 평판 디스플레이 패널을 흡착 고정시키는 복수개의 진공흡착구와, 검사를 위하여 홀더 상에 장착된 유리기판이 이탈하여 추락하지 않도록 유리기판을 기판 홀더 상에서 파지하는 클램핑 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  20. 제 18 항에 있어서, 이동수단의 수평이동기구는,
    관측점을 기준으로 좌,우 길이방향으로 베이스 상에 이격 설치되는 한 쌍의 레일과;
    상기 레일 상에 배치되는 바닥 프레임과;
    상기 바닥 프레임 상에 수직 배치되며 그 내측에 승강수단을 갖는 수직 프레 임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 승강수단은,
    구동모터와;
    상기 구동모터 회전축에서 연장되어 회전축과 동방향으로 회전하는 볼 스크류와;
    승강 프레임 양 측 선단에 구비되며 상기 볼 스크류에 끼워지는 볼 너트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 제1,제2 승강 프레임은 수평이동기구 상에서 서로 독립적으로 승강하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  23. 제 18 항에 있어서,
    상기 슬라이딩 블록과 지지브래킷 사이에 개입된 베어링과 상기 지지브래킷 사이에는 이 지지브래킷을 슬라이딩 블록의 이동방향과 수직 교차하는 방향으로 이동가능하게 지지하는 한 쌍의 LM가이드-블록이 더 개입되는 것을 특징으로 하는 평 판 디스 플레이 패널 검사장치.
  24. 기판에 빛을 조사하여 기판 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집등의 결함을 검사하는 장치로서,
    검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 기판 홀더와;
    상기 기판 홀더 양 측부를 지지하면서 기판 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과;
    상기 기판 홀더의 배면부에서 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과;
    상기 기판 홀더 위쪽에 배치되어 기판 홀더 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 상부조명;을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    베이스 상에서 상기 기판 홀더를 관측점을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구와;
    상기 수평이동기구 상에 이 수평이동기구의 이동방향과 수직 교차하는 방향으로 슬라이딩 가능하게 장착되는 마주하는 한 쌍의 제1, 제2 이동 프레임과;
    상기 제1, 제2 이동 프레임 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1, 제2 힌지브래킷; 및
    상기 제1, 제2 이동 프레임 상의 제1, 제2 힌지브래킷에 이 힌지브래킷의 좌,우 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되어 제1, 제2 이동 프레임 상에서 상기 기판 홀더를 지지하되, 상기 기판 홀더 양측면 중앙부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 기판 홀더의 선회각을 조절하고 동시에 상기 제1, 제2 이동 프레임 상에서 제1, 제2 힌지브래킷의 좌,우 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절되는 각도조절기구;를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 기판 홀더는,
    진공을 이용하여 기판 홀더 상에 검사대상인 평판 디스플레이 패널을 흡착 고정시키는 복수개의 진공흡착구와, 검사를 위하여 홀더 상에 장착된 유리기판이 이탈하여 추락하지 않도록 유리기판을 기판 홀더 상에서 파지하는 클램핑 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  26. 제 24 항에 있어서, 이동수단의 수평이동기구는,
    관측점을 기준으로 좌,우 길이방향으로 베이스 상에 이격 설치되는 한 쌍의 레일과;
    상기 레일 상에 슬라이딩 가능하게 배치되는 사각 프레임 형태의 바닥 프레 임;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  27. 제 24 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 이동 프레임은 수평이동기구 상에서 서로 독립적으로 슬라이딩 하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  28. 제 24 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 힌지브래킷은 각각의 제1, 제2 이동 프레임 상에서 서로 독립적으로 승강하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  29. 제 24 항에 있어서, 상기 각도조절기구는,
    상기 기판 홀더 양측 외벽 중앙으로부터 외부를 향하여 뻗어나온 두 개의 회전축과;
    상기 두 개의 회전축 중 어느 하나의 회전축과 연결되는 구동모터를 포함하여 상기 기판 홀더에 회전력을 제공하면서 두개의 힌지브래킷 중 어느 하나의 힌지브래킷에 이 힌지브래킷의 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되는 제1 베어링 블록과;
    상기 두 개의 회전축 중 다른 하나의 회전축이 회전과 동시에 축방향으로는 미끄럼 가능하게 지지되는 슬리브를 포함하며, 두개의 힌지브래킷 중 다른 하나의 힌지브래킷에 이 힌지브래킷의 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되는 제2 베어링 블록;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  30. 제 29 항에 있어서, 상기 제1, 제2 베어링 블록은 각각,
    제1, 제2 힌지브래킷과 힌지축을 매개로 선회가능하게 연결되는 중공의 베어링 케이싱과;
    상기 베어링 케이싱 내측에 위치하면서 그 상단부는 각각 제1 베어링 블록의 모터 및 제2 베어링 블록의 슬리브 하부에 연결되어 이들을 지지하는 회동축과;
    상기 베어링 케이싱과 회동축 사이에 개입되는 적어도 1개 이상의 베어링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사장치.
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