KR20120004134A - Non-contact transfer system using magnet in different region - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A contactless transfer system which uses a magnet in different regions is provided to arrange a corresponding position of a driven magnet and driving magnet in an asymmetric way, thereby preventing a backlash phenomenon which is able to be generated between the magnets in operation. CONSTITUTION: A transfer stage(111) which is transferred in a z-direction is arranged in a vacuum chamber(110). A guide slot(112a) is arranged in a lower end part in both sides of the transfer stage. The guide slot is comprised in order to be transferred by a rail(113a). A first driving magnet(119) is installed in a corresponding position by facing a first driven magnet(117). A second driving magnet(120) is installed in a corresponding position by facing a second driven magnet(118).

Description

이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템{NON-CONTACT TRANSFER SYSTEM USING MAGNET IN DIFFERENT REGION}Non-contact transfer system using magnet in heterogeneous area {NON-CONTACT TRANSFER SYSTEM USING MAGNET IN DIFFERENT REGION}

본 발명은 마그네트를 이용한 이송시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공영역과 에어영역 사이에서 진공챔버 내의 이송 스테이지를 마그네트의 자력에 의해 외부에서 제어할 수 있는 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a transfer system using a magnet, and more particularly, a non-contact transfer system using a magnet in a heterogeneous region that can externally control a transfer stage in a vacuum chamber between a vacuum region and an air region by magnetic force of the magnet. It is about.

최근 정보통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자의 개발이 활성화되어 가고, 또한 반도체 웨이퍼 개발 및 반도체 기판의 개발이 더욱 발전하고 있다.Recently, with the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, the development of flat panel display devices as display devices has been activated, and the development of semiconductor wafers and semiconductor substrates has been further developed.

이러한 소자나 웨이퍼 등의 제조는 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행되는데, 이러한 챔버는 공정순으로 배치될 수 있고, 다수의 챔버가 이송챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수 있다.The manufacturing of such devices or wafers is carried out in a chamber in which an optimal environment is formed. The chambers may be arranged in a process order, and the plurality of chambers may be arranged in a cluster form in which a plurality of chambers are coupled around the transfer chamber.

또한, 이러한 챔버들은 소자나 반도체의 특성상 진공상태의 챔버내에서 공정이 이루어지는 경우가 많다.In addition, these chambers are often processed in a vacuum chamber due to the characteristics of devices and semiconductors.

진공처리장치의 경우 진공챔버내에 이송 스테이지를 레일에 의해 이송하도록 하며, 이송 매개체로서 기어, LM 가이드 및 볼스크류와 같은 부품들을 주로 이용하게 된다.In the case of the vacuum processing apparatus, the transfer stage is transferred by the rail in the vacuum chamber, and as the transfer medium, parts such as gears, LM guides and ball screws are mainly used.

하지만, 진공상태에 놓인 진공챔버 내에서 이송 매개체로서 다수개의 부품들을 사용하는 것은 그 부품들의 사용에 따라 미세입자, 파티클 등이 발생할 수 있고, 이러한 파티클에 의해 진공처리시 원제품의 불량을 초래하는 경우가 많아지게 된다.
However, the use of a plurality of parts as a transport medium in the vacuum chamber in a vacuum state may generate fine particles, particles, etc., depending on the use of the parts, which causes defects in the original product during the vacuum treatment. There are many cases.

상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 진공챔버 내에서 공정 및 이송이 이루어지는 시스템에서 진공과 대기의 밀폐된 공간에서의 이송력을 전달하도록 마그네트를 이용하여 비접촉으로 이송되는 이송시스템을 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above-mentioned problems is a conveying system in which a non-contact conveying system uses a magnet to transmit a conveying force in a closed space of vacuum and atmosphere in a system in which a process and a conveying are made in a vacuum chamber. To provide.

또한, 이송에 따른 이송 부품들을 진공영역이 아닌 대기영역에 형성하여 이송 부품들로부터 발생되는 파티클에 의한 제품 불량 요소를 완전히 제거할 수 있도록 하기 위함이다.
In addition, it is to form a conveying parts according to the transfer in the standby region rather than the vacuum region to completely remove the defective products caused by the particles generated from the conveying components.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템은, 진공상태의 챔버 내에서 레일을 통해 왕복 이동되는 이송 스테이지와; 상기 챔버의 일측면을 이루며, 단면이 '

Figure pat00001
' 형상을 이루는 측면프레임과; 상기 측면프레임의 단면 중 'ㄷ'자 부분을 감싸는 형태로 상하에 설치되는 LM 가이드와; 상기 이송 스테이지의 편측 상하면에 접착된 상태로 형성되는 제1 및 제2 피동 마그네트와; 상기 LM 가이드 상하 내측에 접착된 상태로 형성되며, 상기 측면프레임을 매개로 하여 상기 제1 및 제2 피동 마그네트와 각각 대응되는 위치에 형성되는 제1 및 제2 구동 마그네트;를 포함하여 이루어진다. In order to solve the above problems, a non-contact transfer system using a magnet in a heterogeneous region includes: a transfer stage reciprocating through a rail in a vacuum chamber; It forms one side of the chamber, the cross section '
Figure pat00001
A side frame forming a shape; An LM guide installed above and below to form a 'c' part of the cross section of the side frame; First and second driven magnets formed in a state where they are bonded to one side of the upper and lower surfaces of the transfer stage; And first and second driving magnets formed on upper and lower sides of the LM guide and formed at positions corresponding to the first and second driven magnets, respectively, via the side frames.

여기서, 상기 제1 피동 마그네트와 제1 구동 마그네트는 서로 흡입력이 생기는 방향으로 자력을 갖으며, 상기 제2 피동 마그네트와 제2 구동 마그네트는 서로 흡입력이 생기는 방향으로 자력을 갖도록 구현되는 것이 바람직하다.Here, the first driven magnet and the first driving magnet has a magnetic force in the direction in which the suction force is generated, and the second driven magnet and the second driving magnet is preferably implemented to have a magnetic force in the direction in which the suction force is generated.

여기서, 상기 LM 가이드는 상기 측면프레임의 상하 수직면에 레일을 매개로 하여 단면이 'ㄷ'자 형태로 형성되는 것이 바람직하다.Here, the LM guide is preferably formed in the shape of the letter 'c' cross section through the rail on the vertical surface of the side frame.

여기서, 상기 제1 및 제2 피동 마그네트의 위치는 동일한 중심선상에 놓이며, 상기 제1 구동 마그네트의 중심 위치는 상기 제1 피동 마그네트의 중심선에서 좌측으로 편측되어 형성되고, 상기 제2 구동 마그네트의 중심 위치는 상기 제2 피동 마그네트의 중심선에서 우측으로 편측되어 형성되어 이송 스테이지의 백래쉬 현상을 최소화하도록 구성하는 것이 바람직하다.
Here, the positions of the first and second driven magnets are on the same center line, and the center positions of the first driving magnets are formed to be lateral to the left side from the center line of the first driven magnets. The center position is preferably formed to be unilaterally rightward from the center line of the second driven magnet so as to minimize the backlash of the transfer stage.

상술한 본 발명의 구성에 따르면, 진공챔버 내에서 공정 및 이송이 이루어지는 시스템에서 진공과 대기의 밀폐된 공간에서의 이송력을 전달하도록 마그네트를 이용하여 비접촉으로 이송되는 이송시스템을 제공하는 것이 가능하게 된다.According to the above-described configuration of the present invention, it is possible to provide a conveying system which is conveyed in a non-contact manner by using a magnet to transmit a conveying force in a closed space of vacuum and atmosphere in a system where processing and conveying are performed in a vacuum chamber. do.

또한, 이러한 이송시스템에 따른 이송 부품들을 진공영역이 아닌 대기영역에 형성하여 이송 부품들로부터 발생되는 파티클에 의한 제품 불량 요소를 완전히 제거할 수 있게 된다.In addition, it is possible to completely remove the product defects caused by the particles generated from the conveying parts by forming the conveying parts according to the conveying system in the standby region rather than the vacuum region.

또한, 구동 마그네트와 피동 마그네트의 대응 위치를 비대칭으로 형성시켜 구동시 마그네트 간에 발생될 수 있는 백래쉬(Backlash) 현상을 줄일 수 있게 된다.
In addition, by forming the corresponding positions of the driving magnets and the driven magnets asymmetrically, it is possible to reduce the backlash phenomenon that may occur between the driving magnets.

도 1은 본 발명에 따른 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템의 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도로서 마그네트의 배열 위치의 일실시예를 도시한 것이다.
도 3은 도 1의 A-A 단면도로서 마그네트의 배열 위치의 다른 실시예를 도시한 것이다.1 is a schematic cross-sectional view of a non-contact transfer system using a magnet in a heterogeneous region according to the present invention.
FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, showing an embodiment of an arrangement position of a magnet.
3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, showing another embodiment of the arrangement position of the magnet.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템의 구조, 동작 및 작용효과를 살펴본다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings looks at the structure, operation and effect of the non-contact transfer system using a magnet in a heterogeneous region according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템의 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.1 is a schematic cross-sectional view of a non-contact transfer system using a magnet in a heterogeneous region according to the present invention.

본 발명에 따른 비접촉 이송시스템은 진공상태의 진공챔버 영역과 진공챔버 외부의 대기상태의 영역인 이종 영역을 갖는 조건에서 그 구성이 이루어진다.The non-contact conveying system according to the present invention is constructed under conditions having a heterogeneous region which is a vacuum chamber region in a vacuum state and an atmospheric region outside the vacuum chamber.

진공챔버(110) 내에는 진공상태로 존재하며, 그 내부에는 반도체나 기판 등의 제품이 수평 이동되도록 z방향으로 이송되는 이송 스테이지(111)가 마련된다.The vacuum chamber 110 is provided in a vacuum state, and a transfer stage 111 is provided in the z-direction so that a product such as a semiconductor or a substrate is horizontally moved.

이송 스테이지(111)는 양측 하단부에 가이드 슬롯(112a)이 형성되어 가이드 슬롯(112a)이 레일(113a)을 타고 이동되도록 구성되며, 레일(113a) 하단부에는 이를 지지하는 지지체(114)가 형성된다.The transfer stage 111 has guide slots 112a formed at both lower ends thereof, and the guide slots 112a are configured to move on the rails 113a, and a support 114 for supporting them is formed at the lower ends of the rails 113a. .

진공챔버(110)는 한쪽 측면의 단면이 '

Figure pat00002
' 형상을 갖으며, 이송 스테이지(111) 편측이 '
Figure pat00003
' 내부로 삽입되도록 구성된다.The vacuum chamber 110 has a cross section of one side '
Figure pat00002
'Has a shape, one side of the transfer stage 111 is'
Figure pat00003
It is configured to be inserted into it.

이송 스테이지(111)의 편측에는 상하부에 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)이 접착된 상태로 형성된다.On one side of the transfer stage 111, first and second driven magnets 117 and 118 are formed in a state where the upper and lower portions are bonded to each other.

'

Figure pat00004
' 형상의 진공챔버(110) 상하부에는 LM 가이드(115)가 'ㄷ'자 형태의 진공챔버(110) 플랜지를 감싸는 형태로 설치되고, LM가이드 슬롯(112b)과 LM가이드 레일(113b)을 매개로 장착되어 볼스크류(116)에 의해 z축 방향으로 수평이동된다.'
Figure pat00004
LM guide 115 is installed to surround the flange of the vacuum chamber 110 of the '-' shape in the upper and lower portions of the vacuum chamber 110 of the 'shape, and mediates the LM guide slot 112b and the LM guide rail 113b. It is mounted to be moved horizontally in the z-axis direction by the ball screw 116.

LM 가이드(115)의 상하부 내측으로는 제1 피동 마그네트(117)와 마주보도록 대응되는 위치에 제1 구동 마그네트(119)가 설치되고, 제2 피동 마그네트(118)와 마주보도록 대응되는 위치에 제2 구동 마그네트(120)가 설치된다.The first driving magnet 119 is installed at a position corresponding to the first driven magnet 117 in the upper and lower portions of the LM guide 115, and the first driving magnet 119 is disposed at the position corresponding to the second driven magnet 118. Two driving magnets 120 are installed.

제1 피동 마그네트(117)는 제1 구동 마그네트(119)의 구동에 따라 제1 피동 마그네트(117)와 제1 구동 마그네트(119) 간의 자력에 의해 발생되는 흡입력에 의해 연동하여 이송되며, 제2 피동 마그네트(118)는 제2 구동 마그네트(120)의 구동에 따라 제2 피동 마그네트(118)와 제2 구동 마그네트(120) 간의 자력에 의해 발생되는 흡입력에 의해 연동하여 이송된다.The first driven magnet 117 is interlocked and transferred by a suction force generated by a magnetic force between the first driven magnet 117 and the first driving magnet 119 according to the driving of the first driving magnet 119. The driven magnet 118 is interlocked and transferred by the suction force generated by the magnetic force between the second driven magnet 118 and the second driving magnet 120 according to the driving of the second driving magnet 120.

제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)과 제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)간의 자력이 발생될 수 있도록 진공챔버(110)의 재질은 비자성체로 제작되는 것이 바람직하다.The material of the vacuum chamber 110 may be made of a nonmagnetic material so that magnetic force may be generated between the first and second driven magnets 117 and 118 and the first and second driving magnets 119 and 120.

또한, 이송 스테이지(111)를 기준으로 상측이나 하측 어느 한쪽에만 피동 및 구동 마그네트를 구성하여 이송시스템을 구축할 경우 상방향이나 하방향으로 편심이 발생하여 이송 스테이지(111)의 기계적 하중 및 이송 결함 등의 문제가 발생하므로 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)와 제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)의 상하 각각 한 쌍으로 구성하여 이송시스템을 구축하는 것이 바람직하다. In addition, when constructing a conveying system by configuring driven and driving magnets only on either the upper or lower side with respect to the conveying stage 111, an eccentricity occurs in the upward or downward direction, thereby causing a mechanical load and a conveying defect of the conveying stage 111. It is preferable to construct a transfer system by configuring a pair of upper and lower pairs of the first and second driven magnets 117 and 118 and the first and second driving magnets 119 and 120, respectively.

도 2는 도 1의 A-A 단면도로서 마그네트의 배열 위치의 일실시예를 도시한 것이다.FIG. 2 is a sectional view taken along the line A-A of FIG. 1, showing an embodiment of the arrangement position of the magnet.

도 1의 경우는 정면 단면도이고 도 2는 측면 단면도로서, 이송 스테이지(111)의 상하면에 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)가 장착되고, 진공챔버(110)의 플랜지 면을 사이에 두고 제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)가 LM 가이드(115) 상하부 내측에 각각 형성된다.1 is a front cross-sectional view and FIG. 2 is a side cross-sectional view, in which first and second driven magnets 117 and 118 are mounted on the upper and lower surfaces of the transfer stage 111, and the flange surface of the vacuum chamber 110 is interposed between them. First and second driving magnets 119 and 120 are formed inside and below the LM guide 115, respectively.

제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)는 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)가 대응되는 위치에 형성되고, 제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)와 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)의 극성을 서로 다른 이극을 갖도록 구성하여 제1 구동 마그네트(119)와 제1 피동 마그네트(117)간의 흡입력이 발생하고, 제2 구동 마그네트(120)와 제2 피동 마그네트(118)간의 흡입력이 발생하여 LM 가이드(115)의 이송시 제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)가 연동되어 이송되고 또한 마그네트간에 발생되는 흡입 자력에 의해 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)도 연동되어 이송된다. 제1 및 제2 피동 마그네트(117, 118)의 수평이동에 따라 이송 스테이지(111)가 이송되도록 구성된다.The first and second driving magnets 119 and 120 are formed at positions where the first and second driven magnets 117 and 118 correspond to each other, and the first and second driving magnets 119 and 120 and the first and second driving magnets 119 and 120 are formed. The polarities of the two driven magnets 117 and 118 are configured to have different polarities so that a suction force between the first driving magnet 119 and the first driven magnet 117 is generated, and the second driving magnet 120 and the second driven The suction force between the magnets 118 is generated, and the first and second driving magnets 119 and 120 interlock with each other when the LM guide 115 is transferred, and the first and second driven magnets are caused by suction magnetic force generated between the magnets. 117 and 118 are also conveyed in conjunction. The transfer stage 111 is configured to be transferred according to the horizontal movement of the first and second driven magnets 117 and 118.

이러한 구성은 진공챔버(110) 내부에 이송시스템 구축을 위한 각종 이송 부품들을 구성시킬 경우, 이송 부품들로부터 발생되는 파티클 등이 진공 상태에서의 제품 불량을 초래할 수 있기 때문에 가능한한 진공챔버(110) 외부에서 이송시스템을 구축시키되 마그네트를 이용하여 비접촉 이송이 가능한 시스템을 제안한다.Such a configuration is such that when particles are formed in the vacuum chamber 110 in order to construct various conveying parts for the construction of the conveying system, particles generated from the conveying parts may cause product defects in the vacuum state, so that the vacuum chamber 110 is possible. We propose a system that can build a transport system from the outside but use a magnet for contactless transport.

도 3은 도 1의 A-A 단면도로서 마그네트의 배열 위치의 다른 실시예를 도시한 것이다.FIG. 3 is a sectional view taken along the line A-A of FIG. 1, showing another embodiment of the arrangement position of the magnet.

도 3은 도 2와 마찬가지로 도 1의 A-A 단면도로서, 제1 및 제2 구동 마그네트(119, 120)의 위치를 좌측 또는 우측으로 편심시켜 설치한 구조를 보인 것이다.FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 1 and shows a structure in which the positions of the first and second driving magnets 119 and 120 are eccentrically installed to the left or the right.

이러한 이유는 이송 스테이지(111)가 정지된 상태에서 수평 전후로 이동될 때 구동 마그네트와 피동 마그네트간에 발생되는 백래쉬(Backlash) 현상을 최소화시키기 위한 것으로서, 제1 구동 마그네트(119)를 도면상의 좌측 방향으로 편심되도록 위치시키거나 제2 구동 마그네트(120)를 도면상의 우측 방향으로 편심되도록 위치시킴으로써 이송 스테이지(111)의 백래쉬 량을 조정할 수 있으며 주행방향으로의 밀림 현상을 최소화시키는 것이 가능하게 된다.The reason for this is to minimize backlash occurring between the driving magnet and the driven magnet when the transfer stage 111 is moved horizontally back and forth in the stopped state, and the first driving magnet 119 is moved in the left direction on the drawing. By positioning eccentrically or by positioning the second driving magnet 120 in the right direction on the drawing, it is possible to adjust the amount of backlash of the transfer stage 111 and to minimize the sliding phenomenon in the driving direction.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, As will be understood by those skilled in the art. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, the scope of the invention being indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

110 : 진공챔버 111 : 이송 스테이지
112a : 가이드 슬롯 112b : LM가이드 슬롯
113a : 레일 113b : LM가이드 레일
114 : 지지체 115 : LM 가이드
116 : 볼 스크류 117 : 제1 피동 마그네트
118 : 제2 피동 마그네트 119 : 제1 구동 마그네트
120 : 제2 구동 마그네트 110: vacuum chamber 111: transfer stage
112a: guide slot 112b: LM guide slot
113a: Rail 113b: LM Guide Rail
114: support 115: LM guide
116: ball screw 117: first driven magnet
118: second driven magnet 119: first driving magnet
120: second driving magnet

Claims (4)

진공상태의 챔버 내에서 레일을 통해 왕복 이동되는 이송 스테이지와;
상기 챔버의 일측면을 이루며, 단면이 '
Figure pat00005
' 형상을 이루는 측면프레임과;
상기 측면프레임의 단면 중 'ㄷ'자 부분을 감싸는 형태로 상하에 설치되는 LM 가이드와;
상기 이송 스테이지의 편측 상하면에 접착된 상태로 형성되는 제1 및 제2 피동 마그네트와;
상기 LM 가이드 상하 내측에 접착된 상태로 형성되며, 상기 측면프레임을 매개로 하여 상기 제1 및 제2 피동 마그네트와 각각 대응되는 위치에 형성되는 제1 및 제2 구동 마그네트;를 포함하여 이루어지는, 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템.A transfer stage reciprocated through the rail in the vacuum chamber;
It forms one side of the chamber, the cross section '
Figure pat00005
A side frame forming a shape;
An LM guide installed above and below to form a 'c' part of the cross section of the side frame;
First and second driven magnets formed in a state where they are bonded to one side of the upper and lower surfaces of the transfer stage;
And first and second driving magnets formed in a state in which the LM guides are attached to upper and lower sides and formed at positions corresponding to the first and second driven magnets, respectively, via the side frames. Non-contact transfer system using magnet in the area. 제1항에 있어서,
상기 제1 피동 마그네트와 제1 구동 마그네트는 서로 흡입력이 생기는 방향으로 자력을 갖으며,
상기 제2 피동 마그네트와 제2 구동 마그네트는 서로 흡입력이 생기는 방향으로 자력을 갖는, 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템.The method of claim 1,
The first driven magnet and the first driving magnet has a magnetic force in the direction in which suction force is generated,
And the second driven magnet and the second driving magnet have magnetic force in a direction in which suction force is generated. 제1항에 있어서,
상기 LM 가이드는 상기 측면프레임의 상하 수직면에 레일을 매개로 하여 단면이 'ㄷ'자 형태로 형성되는, 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템.The method of claim 1,
The LM guide is a non-contact conveying system using a magnet in a heterogeneous region, the cross-section is formed in the 'c' shape on the upper and lower vertical surfaces of the side frame via a rail. 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 피동 마그네트의 위치는 동일한 중심선상에 놓이며,
상기 제1 구동 마그네트의 중심 위치는 상기 제1 피동 마그네트의 중심선에서 좌측으로 편측되어 형성되고, 상기 제2 구동 마그네트의 중심 위치는 상기 제2 피동 마그네트의 중심선에서 우측으로 편측되어 형성되는, 이종영역에서의 마그네트를 이용한 비접촉 이송시스템.The method of claim 1,
The positions of the first and second driven magnets lie on the same center line,
The heterogeneous region is formed so that the center position of the first driving magnet is one side to the left from the center line of the first driven magnet, and the center position of the second driving magnet is one side to the right from the center line of the second driven magnet. Contactless transfer system using magnets
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