JP2016103633A - Substrate transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate transfer apparatus that prevents generation of fine particles.SOLUTION: A substrate transfer apparatus comprises: a tray 100 on which a substrate is loaded; a magnetic transfer unit 200 provided at a lower side of the tray 100, magnetically levitating the tray 100, and transferring the tray by magnetic force; and a guide unit 300 for guiding the transfer of the tray 100 while not making contact with the tray 100.SELECTED DRAWING: Figure 8

Description

本発明は、基板搬送装置に係り、特に、基板が載置されたトレイを非接触方式で搬送する基板搬送装置に関する。   The present invention relates to a substrate transport apparatus, and more particularly to a substrate transport apparatus that transports a tray on which a substrate is placed in a non-contact manner.

一般に、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＬＣＤ）、プラズマ表示装置（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ ｄｅｖｉｃｅ：ＰＤＰ）、電界放出表示装置（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＦＥＤ）、電気発光表示装置（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＥＬＤ）などのフラットパネル表示装置（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＦＰＤ）は、基板の上に複数の工程を行って製造する。すなわち、基板の上に蒸着工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程が複数回繰り返し行われ、これらに加えて、洗浄、貼り合わせ、切断などの工程が行われてフラットパネル表示装置が製造される。   Generally, a liquid crystal display device (LCD), a plasma display device (PDP), a field emission display device (FED), an electroluminescent display device (DED), an electroluminescent display device (DED), an electroluminescent display device (DED), an electroluminescent display device (DED), an electroluminescent display device (DED), A flat panel display device (FPD) is manufactured by performing a plurality of processes on a substrate. That is, a vapor deposition process, a photolithography process, and an etching process are repeatedly performed on the substrate a plurality of times, and in addition to these processes, processes such as cleaning, bonding, and cutting are performed to manufacture a flat panel display device.

この種のフラットパネル表示装置の製造工程は、最適な環境が造成された複数のチャンバーの内部において行われる。このために、基板をトレイに載置した後、トレイを垂直に又は斜めに立てて複数のチャンバーの内部を通るように搬送するインライン方法が考えられている。   The manufacturing process of this type of flat panel display device is performed inside a plurality of chambers in which an optimum environment has been created. For this purpose, an in-line method is conceived in which after the substrate is placed on the tray, the tray is vertically or obliquely conveyed so as to pass through a plurality of chambers.

基板を搬送する搬送装置は、基板が載置されるトレイと、トレイの下部と接触されてモーターにより回転することによりトレイに推力を提供する駆動ローラーとを備える。すなわち、従来の搬送装置は、チャンバーの下側に設けられた駆動ローラーとトレイの下部とが接触され、駆動ローラーの回転力を用いてトレイを移動させる。この種の搬送装置の例が特許文献１に開示されている。   A transport device that transports a substrate includes a tray on which the substrate is placed, and a driving roller that is brought into contact with a lower portion of the tray and rotates by a motor to provide thrust to the tray. That is, in the conventional transport device, the driving roller provided on the lower side of the chamber is brought into contact with the lower portion of the tray, and the tray is moved using the rotational force of the driving roller. An example of this type of conveying apparatus is disclosed in Patent Document 1.

ところが、駆動ローラーとトレイ下部との間の摩擦力が増え、その結果、粉塵（particle）が発生するという問題がある。粉塵は搬送される基板に付着されて表示装置の不良を発生させ、高仕様及び高性能デバイスの開発に伴い、デバイスの不良を発生させる原因となる。なお、チャンバーの内部を真空引きするための真空ポンプの内部に粉塵が流入し、これは、真空ポンプの故障の発生につながる。   However, there is a problem that the frictional force between the driving roller and the lower part of the tray is increased, and as a result, particles are generated. The dust adheres to the substrate to be transported to cause a display device failure, and causes a device failure with the development of a high specification and high performance device. In addition, dust flows into the inside of the vacuum pump for evacuating the inside of the chamber, which leads to the failure of the vacuum pump.

特許文献１：大韓民国公開特許第２００３−００６８２９２号公報   Patent Document 1: Korean Patent No. 2003-0068292

本発明の目的は、トレイと接触されずに基板の搬送を行うことから、粉塵の発生を防ぐことのできる基板搬送装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus that can prevent generation of dust because the substrate is transported without being in contact with the tray.

本発明の他の目的は、トレイを磁気浮上させて搬送することから、粉塵の発生を防ぐことのできる基板搬送装置を提供することである。   Another object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus that can prevent dust from being generated by magnetically levitating and transporting a tray.

本発明の一態様による基板搬送装置は、基板が載置されるトレイと、前記トレイの下側に設けられ、前記トレイを磁気浮上させ、磁気力を用いて搬送する磁気搬送ユニットと、前記トレイと接触されずに前記トレイの搬送をガイドするガイドユニットとを備える。   A substrate transport apparatus according to an aspect of the present invention includes a tray on which a substrate is placed, a magnetic transport unit that is provided below the tray, magnetically levitates the tray, and transports using a magnetic force, and the tray And a guide unit that guides conveyance of the tray without being in contact with the tray.

好ましくは、本発明の一態様による基板搬送装置は、前記トレイの下側に接触されて設けられた接触領域と、前記接触領域の両側面から下側に延びた延長領域と、を有する搬送基台をさらに備える。   Preferably, the substrate transport apparatus according to one aspect of the present invention includes a transport base having a contact area provided in contact with the lower side of the tray and an extended area extending downward from both side surfaces of the contact area. A stand is further provided.

また、好ましくは、前記磁気搬送ユニットは、前記搬送基台の一領域に設けられて前記トレイを磁気浮上させる磁気浮上部と、前記磁気浮上部の下側に設けられて磁気力を用いて前記磁気浮上されたトレイを一方向に搬送する磁気搬送部とを備える。   Preferably, the magnetic transport unit is provided in a region of the transport base and magnetically levitates the tray, and is provided below the magnetic levitator and uses the magnetic force. A magnetic transport unit that transports the magnetically levitated tray in one direction.

さらに、好ましくは、前記磁気浮上部は、前記搬送基台に接触され、少なくとも一つのマグネットを有する第１磁気浮上手段と、前記第１磁気浮上手段から離隔され、少なくとも一つのマグネットを有して前記第１磁気浮上手段と引力及び斥力の少なくともいずれか一方が働く第２磁気浮上手段とを備える。   Further preferably, the magnetic levitation unit is in contact with the conveyance base and has at least one magnet, and is separated from the first magnetic levitation unit and has at least one magnet. The first magnetic levitation means and second magnetic levitation means that act on at least one of attraction and repulsion.

さらに、好ましくは、前記磁気搬送部は、回転軸と、前記回転軸を取り囲むように設けられた複数のマグネットとを有する磁気回転手段と、前記磁気回転手段から離隔され、複数のマグネットを有する磁気搬送手段とを備える。   Further preferably, the magnetic transport unit preferably includes a magnetic rotating unit having a rotating shaft and a plurality of magnets provided so as to surround the rotating shaft, and a magnetic member separated from the magnetic rotating unit and having a plurality of magnets. Transportation means.

さらに、好ましくは、本発明の一態様による基板搬送装置は、前記磁気回転手段を内部に収容し、上側に第２磁気浮上手段が接触される収容手段をさらに備える。   Further preferably, the substrate transfer apparatus according to one aspect of the present invention further includes a receiving unit that stores the magnetic rotating unit therein and is in contact with the second magnetic levitation unit.

さらに、好ましくは、前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、前記磁気回転手段に面する前記搬送基台の前記延長領域の少なくとも一領域に設けられる。   Further preferably, the plurality of magnets of the magnetic transfer means are provided in at least one area of the extended area of the transfer base facing the magnetic rotation means.

さらに、好ましくは、前記磁気回転手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記回転軸を所定の角度で取り囲むように設けられ、前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記磁気回転手段のマグネットと同じ角度で設けられる。   Further preferably, the plurality of magnets of the magnetic rotating means are provided so that different polarities are alternately provided so as to surround the rotating shaft at a predetermined angle, and the plurality of magnets of the magnetic conveying means are different from each other. The polarities are alternately provided and provided at the same angle as the magnet of the magnetic rotating means.

さらに、好ましくは、前記ガイドユニットは、前記トレイの上部に取り付けられる第１ガイドマグネットと、前記第１ガイドマグネットから所定の間隔を隔ててチャンバーの上側壁に設けられた第２ガイドマグネットとを備え、前記第１及び第２ガイドマグネットは、斥力及び引力の少なくともいずれか一方が働く。   Further preferably, the guide unit includes a first guide magnet attached to an upper portion of the tray, and a second guide magnet provided on the upper side wall of the chamber at a predetermined interval from the first guide magnet. The first and second guide magnets act at least one of repulsive force and attractive force.

さらに、好ましくは、前記ガイドユニットは、前記トレイと前記チャンバーの内側壁との間に設けられる搬送ガイドをさらに備える。   Further preferably, the guide unit further includes a conveyance guide provided between the tray and an inner wall of the chamber.

さらに、好ましくは、前記搬送ガイドは、前記延長領域と前記チャンバーの内側壁との間に設けられる。   Further preferably, the transport guide is provided between the extension region and the inner wall of the chamber.

さらに、好ましくは、本発明の一態様による基板搬送装置は、前記磁気搬送ユニットと前記ガイドユニットとの間の少なくとも一領域に設けられるスペーサ部材をさらに備える。   Further preferably, the substrate transfer apparatus according to an aspect of the present invention further includes a spacer member provided in at least one region between the magnetic transfer unit and the guide unit.

さらに、好ましくは、前記スペーサ部材は、前記延長領域と前記磁気浮上部との間及び前記延長領域と前記搬送ガイドとの間のうちの少なくとも一方の領域に設けられる。   Further preferably, the spacer member is provided in at least one region between the extension region and the magnetic levitation unit and between the extension region and the transport guide.

さらに、好ましくは、前記搬送ガイドの少なくとも一部は、前記トレイに近付く方向及び前記トレイから遠ざかる方向に移動する。   Further preferably, at least a part of the transport guide moves in a direction approaching the tray and a direction moving away from the tray.

さらに、好ましくは、トラバースチャンバー内に設けられる前記搬送ガイドは、前記トレイの搬送時に前記トレイに近い第１位置に位置し、前記トレイの返送時に前記トレイから遠い第２位置に位置する。   Further preferably, the transport guide provided in the traverse chamber is located at a first position close to the tray when the tray is transported, and is located at a second position far from the tray when the tray is returned.

本発明の実施形態による基板搬送装置は、基板が載置されるトレイの下側にトレイを磁気浮上させて搬送する磁気搬送ユニットが設けられ、トレイの上側及びトレイの側面にトレイの移動をガイドするガイドユニットが設けられる。このため、トレイと磁気搬送ユニットとの間に摩擦が生じないため粉塵が発生せず、これにより、粉塵による製品の不良が発生せず、真空ポンプなどの付属品の故障が発生しない。   In the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention, a magnetic transfer unit for magnetically levitating and transferring the tray is provided below the tray on which the substrate is placed, and guides the movement of the tray on the upper side of the tray and the side surface of the tray. A guide unit is provided. For this reason, no friction is generated between the tray and the magnetic transport unit, so that no dust is generated. As a result, product defects due to the dust do not occur and accessories such as a vacuum pump do not break down.

本発明の実施形態による基板搬送装置は、トレイの搬送をガイドする搬送ガイドの少なくとも一部がトレイに近付く方向及びトレイから遠ざかる方向に移動することができる。すなわち、トラバースチャンバーの搬送ガイドは、トレイの搬送時にはトレイと密接するように配置され、トレイの返送時にはトレイを位置移動し易くするためにトレイから遠くなるように配置される。このため、トラバースチャンバーにおけるトレイの位置移動時にトレイの移動マージンを増大させることができる。   The substrate transport apparatus according to the embodiment of the present invention can move in a direction in which at least a part of a transport guide that guides transport of the tray approaches and away from the tray. That is, the transport guide of the traverse chamber is disposed so as to be in close contact with the tray when the tray is transported, and is disposed so as to be far from the tray so that the position of the tray can be easily moved when the tray is returned. For this reason, the tray movement margin can be increased when the position of the tray in the traverse chamber is moved.

本発明の一実施形態による基板搬送装置の正面図である。It is a front view of the board | substrate conveyance apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による基板搬送装置の側面図である。It is a side view of the board | substrate conveyance apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。It is a side view of the magnetic conveyance unit of the board | substrate conveyance apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送部の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of the magnetic conveyance part of the board | substrate conveyance apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。It is a side view of the magnetic conveyance unit of the board | substrate conveyance apparatus by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。It is a side view of the magnetic conveyance unit of the board | substrate conveyance apparatus by 3rd Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による基板搬送装置のガイドユニットの側面図である。It is a side view of the guide unit of the board | substrate conveyance apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。It is a side view of the magnetic conveyance unit of the board | substrate conveyance apparatus by 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。It is a side view of the magnetic conveyance unit of the board | substrate conveyance apparatus by 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態による基板搬送装置の側面図である。It is a side view of the board | substrate conveyance apparatus by 6th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態による基板搬送装置の側面図である。It is a side view of the board | substrate conveyance apparatus by 6th Embodiment of this invention.

以下、添付図面に基づき、本発明の実施形態について詳細に説明する。しかしながら、本発明は以下に開示される実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる様々な形態として実現され、単にこれらの実施形態は本発明の開示を十分たるものにし、通常の知識を有する者に発明の範囲を十分に知らせるために提供されるものである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, and can be realized in various different forms, and these embodiments merely make the disclosure of the present invention sufficient and have ordinary knowledge. It is provided to fully inform the person of the scope of the invention.

図１は、本発明の一実施形態による基板搬送装置の正面図であり、図２は、本発明の一実施形態による基板搬送装置の側面図である。すなわち、基板が載置される方向からみて、図１は正面図であり、図２は側面図である。また、図３は、本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図であり、図４は、本発明の第１実施形態による基板搬送装置の磁気搬送部の概略を示す斜視図である。   FIG. 1 is a front view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. 1 is a front view and FIG. 2 is a side view as seen from the direction in which the substrate is placed. FIG. 3 is a side view of the magnetic transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 4 schematically shows the magnetic transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention. It is a perspective view.

図１から図４を参照すると、本発明の一実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられてトレイ１００を磁気浮上させ、磁気力を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の上部に設けられてトレイ１００の搬送をガイドするガイドユニット３００とを備える。   1 to 4, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes a tray 100 to which a substrate is attached and transferred, and a lower portion of the tray 100 that magnetically levitates the tray 100 and uses magnetic force. A magnetic transport unit 200 that transports the tray 100, and a guide unit 300 that is provided above the tray 100 and guides the transport of the tray 100.

トレイ１００は、中空の枠状に設けられてそこに基板が取り付けられる。すなわち、トレイ１００は、所定の長さを有する４本の棒が上下左右に所定の間隔を隔てて設けられ、棒の周縁が互いに接触されることにより中空の四角の枠状に製作される。また、トレイ１００には基板が着脱可能なように基板をクランプするクランプが複数設けられる。このとき、基板は、周縁が所定の幅にトレイ１００の四辺に接触され、クランプにより固定される。このようなトレイ１００は、基板を取り付けて垂直又は斜めの状態で搬送される。すなわち、複数のチャンバーが一方向に連結され、基板の取り付けられたトレイ１００が複数のチャンバーの内部を移動しながら基板の上に薄膜蒸着工程などの所定の工程が行われる。一方、トレイ１００が移動する複数のチャンバーは、トレイ１００に基板を載置する搬入チャンバーと、トレイ１００に載置された基板に所定の薄膜を蒸着する複数の蒸着チャンバーと、トレイ１００を持ち上げて位置を移動するトラバースチャンバーなどを備える。すなわち、トレイ１００が搬入チャンバー内において基板を載置した後に複数の蒸着チャンバーを移動しながら基板の上に複数の薄膜が蒸着され、トラバースチャンバーにおいて位置が移動して搬入チャンバーに向かって移動する。ここで、搬入チャンバーと、複数の蒸着チャンバー及びトラバースチャンバーは、真空引き状態を維持する。また、基板は、液晶表示装置をはじめとするフラットパネル表示装置を製作するための種々の基板であるが、例えば、ガラス、プラスチック、フィルムなどをはじめとする材質により作製される。さらに、トレイ１００の下部には、磁気搬送ユニット２００の一部と接触される搬送基台１１０が設けられる。搬送基台１１０は、トレイ１００の下部の全体の領域に亘って設けられる。すなわち、搬送基台１１０はトレイ１００の下部と同じ長さに設けられ、トレイ１００の下部と連結されて下側に所定の厚さを有する。このような搬送基台１１０は、トレイ１００の幅と同じ幅を有する第１領域１１１と、第１領域１１１の下側に設けられてトレイ１００の幅よりも狭く、例えば、トレイ１００よりも半分の幅に設けられた第２領域１１２とを備える。ここで、第２領域１１２に磁気搬送ユニット２００の一部が接触される。もちろん、搬送基台１１０は様々な形状に設けられる。   The tray 100 is provided in a hollow frame shape, and a substrate is attached thereto. That is, the tray 100 is manufactured in the shape of a hollow square frame by providing four bars having a predetermined length vertically and horizontally with a predetermined interval therebetween, and the peripheral edges of the bars contacting each other. The tray 100 is provided with a plurality of clamps for clamping the substrate so that the substrate can be attached and detached. At this time, the peripheral edge of the substrate is brought into contact with the four sides of the tray 100 with a predetermined width and is fixed by a clamp. Such a tray 100 is transported in a vertical or oblique state with a substrate attached. That is, a plurality of chambers are connected in one direction, and a predetermined process such as a thin film deposition process is performed on the substrate while the tray 100 to which the substrate is attached moves inside the plurality of chambers. On the other hand, the plurality of chambers in which the tray 100 moves include a carry-in chamber for placing a substrate on the tray 100, a plurality of deposition chambers for depositing a predetermined thin film on the substrate placed on the tray 100, and lifting the tray 100. It has a traverse chamber that moves its position. That is, a plurality of thin films are deposited on the substrate while moving the plurality of deposition chambers after the tray 100 places the substrate in the loading chamber, and the position moves in the traverse chamber and moves toward the loading chamber. Here, the carry-in chamber, the plurality of vapor deposition chambers, and the traverse chamber maintain a vacuumed state. The substrate is various substrates for manufacturing a flat panel display device such as a liquid crystal display device. For example, the substrate is made of a material such as glass, plastic, or film. Further, a transport base 110 that is in contact with a part of the magnetic transport unit 200 is provided at the bottom of the tray 100. The transport base 110 is provided over the entire area below the tray 100. That is, the conveyance base 110 is provided with the same length as the lower part of the tray 100 and is connected to the lower part of the tray 100 to have a predetermined thickness on the lower side. Such a conveyance base 110 is provided in the 1st area | region 111 which has the same width as the width | variety of the tray 100, and the lower side of the 1st area | region 111, and is narrower than the width | variety of the tray 100, for example, is half the tray 100. And a second region 112 provided with a width of. Here, a part of the magnetic transport unit 200 is brought into contact with the second region 112. Of course, the conveyance base 110 is provided in various shapes.

磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させてトレイ１００と非接触状態を維持しながらトレイ１００を搬送する。このような磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気浮上部２１０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部２１０により磁気浮上されたトレイ１００を搬送する磁気搬送部２２０とを備える。   The magnetic transport unit 200 transports the tray 100 while magnetically levitating the tray 100 and maintaining a non-contact state with the tray 100. Such a magnetic transport unit 200 includes a magnetic levitation unit 210 that magnetically levitates the tray 100, and a magnetic transport unit that conveys the tray 100 that is magnetically levitated by the magnetic levitation unit 210 so as to act on the magnetic levitation unit 210. Part 220.

磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０と接触されて設けられる第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２とを備える。ここで、第２磁気浮上手段２１２は、トレイ１００とトレイ１００が搬送される複数のチャンバーの内壁との間に設けられる。このとき、第２磁気浮上手段２１２は、トレイ１００が搬送される複数のチャンバーの内壁に固定され、チャンバーの底部から所定の高さに固定される。すなわち、基板が載置されたトレイ１００は、直列に連結された複数のチャンバーにより搬送されるが、第１磁気浮上手段２１１はトレイ１００の下部の搬送基台１１０の第２領域１１２の両側面に取り付けられ、第２磁気浮上手段２１２は第１磁気浮上手段２１１に面してトレイ１００とチャンバーとの間に設けられてチャンバー内壁又は底面に取り付けられる。このような第１磁気浮上手段２１１は、図３に示すように、搬送基台１１０の第２領域１１２の両側面に固定される第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの側面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット２１１ｃとを備える。すなわち、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃはそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられてもよい。第１固定部材２１１ａは、所定の高さ及び幅を有する略直方体状に設けられるが、搬送基台１１０の第２領域１１２に沿って第２領域１１２と同じ長さ、第２領域１１２の凹み深さ及び幅に設けられる。このため、第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０と同じ平面をなす。すなわち、第１固定部材２１１ａとその間の第２領域１１２がなす幅が、搬送基台１１０の第１領域１１１又はトレイ１００の幅と等しい。もちろん、第２領域１１２とその一方及び他方の第１磁気浮上手段２１１がなす幅が、搬送基台１１０又はトレイ１００の幅よりも広くても狭くてもよい。また、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃは、第１固定部材２１１ａに所定の深さに埋め込まれる。すなわち、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃの表面が第１固定部材２１１ａの表面と同じ平面をなすように、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃは第１固定部材２１１ａに所定の深さに設けられる。一方、第１固定部材２１１ａは、マグネットによる磁力に反応しない金属、セラミック、プラスチックなどの物質により作製されるが、例えば、タングステンにより作製される。第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。すなわち、第２磁気浮上手段２１２はチャンバーの内壁側に設けられ、第１磁気浮上手段２１１から離れて内面が第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の第１マグネット２１１ｂ及び第２マグネット２１１ｃにそれぞれ面する第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃとを備える。ここで、第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃは、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃの数に対応してそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられる場合、第３マグネット２１２ｂが一つ設けられ、第４マグネット２１２ｃが２以上設けられてもよい。また、第２固定部材２１２ａは、チャンバーの内壁又はチャンバーの底面と連結されて固定され、断面が矩形状を呈する第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる。一方、第１マグネット２１１ｂ及び第３マグネット２１２ｂは互いに異なる極性を有し、これにより、引力が働く。しかしながら、第２マグネット２１１ｃ及び第４マグネット２１２ｃは互いに同じ極性を有し、これにより、斥力が働く。第２及び第４マグネット２１１ｃ，２１２ｃの間に斥力が働くので、トレイ１００を磁気浮上させることができ、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂの間に引力が働くので、トレイ１００の上下動を防ぐことができる。すなわち、第２及び第４マグネット２１１ｃ，２１２ｃの間の斥力によりトレイ１００が磁気浮上して上側に移動するが、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂの間に引力が働くので、これを抑えることができる。一方、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａと同様に、マグネットによる磁力に反応しない金属、セラミック、プラスチックなどの物質により作製されるが、例えば、タングステンにより作製される。一方、第１磁気浮上手段２１１は、トレイ１００の長手方向、すなわち、トレイ１００の進行方向に搬送基台１１０の全体の領域に亘って設けられ、第２磁気浮上手段２１２は、トレイ１００が移動する領域の全体に亘って設けられる。すなわち、トレイ１００が複数のチャンバーの内部を通るため、第２磁気浮上手段２１２は第１磁気浮上手段２１１に面する領域の複数のチャンバー内壁に設けられる。しかしながら、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の少なくともいずれか一方は所定の間隔を隔てて複数設けられる。例えば、第２磁気浮上手段２１２が長手方向に全体の領域に亘って設けられ、第１磁気浮上手段２１１が所定の間隔を隔てて複数設けられる。また、第１磁気浮上手段２１１の第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃと、第２磁気浮上手段２１２の第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃは、長手方向に全体の領域に亘って設けられ、所定の間隔を隔てて複数設けられる。例えば、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃが全体の領域に亘って設けられ、第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃが所定の間隔を隔てて設けられる。一方、第１磁気浮上手段２１１と第２磁気浮上手段２１２との間にこれらの間の間隔を維持するためのスペーサ部材２１３が設けられる。すなわち、互いに面する第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂは引力が働くので、トレイ１００が磁気浮上により移動する間に第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間隔が狭くなったり、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂがくっついたりすることがあるが、スペーサ部材２１３が設けられるので、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間隔を維持することができる。このようなスペーサ部材２１３は、第１及び第３マグネット２１１ｂ，２１２ｂの下側領域に設けられる。すなわち、スペーサ部材２１３は、第１磁気浮上手段２１１の外側面と第２磁気浮上手段２１２の内側面との間に設けられる。なお、スペーサ部材２１３は、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間に長手方向に全体の領域に亘って所定の間隔を隔てて複数設けられる。   The magnetic levitation unit 210 includes first magnetic levitation means 211 provided in contact with the transport base 110 and second magnetic levitation means 212 provided apart from the first magnetic levitation means 211. Here, the second magnetic levitation means 212 is provided between the tray 100 and the inner walls of a plurality of chambers in which the tray 100 is conveyed. At this time, the second magnetic levitation means 212 is fixed to the inner walls of the plurality of chambers to which the tray 100 is conveyed, and is fixed to a predetermined height from the bottom of the chamber. That is, the tray 100 on which the substrate is placed is transported by a plurality of chambers connected in series, but the first magnetic levitation means 211 is provided on both side surfaces of the second region 112 of the transport base 110 below the tray 100. The second magnetic levitation means 212 is provided between the tray 100 and the chamber so as to face the first magnetic levitation means 211 and is attached to the inner wall or bottom surface of the chamber. As shown in FIG. 3, the first magnetic levitation means 211 has a first fixing member 211a fixed to both side surfaces of the second region 112 of the transport base 110, and a predetermined side surface of the first fixing member 211a. At least one first magnet 211b provided in the region, and at least one second magnet 211c provided in a predetermined region on the lower surface of the first fixing member 211a. That is, one each of the first and second magnets 211b and 211c may be provided, and at least one of the first and second magnets 211b and 211c may be provided two or more. For example, one first magnet 211b may be provided and two or more second magnets 211c may be provided. The first fixing member 211 a is provided in a substantially rectangular parallelepiped shape having a predetermined height and width, but has the same length as the second region 112 along the second region 112 of the transport base 110, and a recess in the second region 112. Provided in depth and width. For this reason, the first magnetic levitation means 211 is on the same plane as the transport base 110. That is, the width formed by the first fixing member 211 a and the second region 112 therebetween is equal to the width of the first region 111 of the transport base 110 or the tray 100. Of course, the width formed by the second region 112 and the first and other first magnetic levitation means 211 may be wider or narrower than the width of the transport base 110 or the tray 100. The first and second magnets 211b and 211c are embedded in the first fixing member 211a at a predetermined depth. That is, the first and second magnets 211b and 211c have a predetermined depth relative to the first fixing member 211a so that the surfaces of the first and second magnets 211b and 211c are flush with the surface of the first fixing member 211a. Provided. On the other hand, the first fixing member 211a is made of a material such as metal, ceramic, or plastic that does not react to the magnetic force generated by the magnet, and is made of, for example, tungsten. The second magnetic levitation means 212 is provided so as to face the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval from the first magnetic levitation means 211. That is, the second magnetic levitation means 212 is provided on the inner wall side of the chamber, and is provided so that the inner surface faces the first magnetic levitation means 211 away from the first magnetic levitation means 211. Such second magnetic levitation means 212 includes a second fixing member 212a facing the first fixing member 211a of the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval, and a first magnet 211b of the first magnetic levitation means 211. And third and fourth magnets 212b and 212c facing the second magnet 211c, respectively. Here, the third and fourth magnets 212b and 212c may be provided one by one in accordance with the number of the first and second magnets 211b and 211c, respectively, of the first and second magnets 211b and 211c. Two or more of at least any one of may be provided. For example, when one first magnet 211b is provided and two or more second magnets 211c are provided, one third magnet 212b may be provided and two or more fourth magnets 212c may be provided. The second fixing member 212a is connected and fixed to the inner wall of the chamber or the bottom surface of the chamber, and is provided with an L shape on one side at a predetermined interval from the first fixing member 211a having a rectangular cross section. The other side is provided in an L-shaped symmetrical shape. On the other hand, the first magnet 211b and the third magnet 212b have different polarities, so that attractive force works. However, the second magnet 211c and the fourth magnet 212c have the same polarity, and thus repulsive force works. Since a repulsive force acts between the second and fourth magnets 211c and 212c, the tray 100 can be magnetically levitated, and an attractive force acts between the first and third magnets 211b and 212b. Can be prevented. That is, although the tray 100 is magnetically levitated and moved upward by the repulsive force between the second and fourth magnets 211c and 212c, an attractive force acts between the first and third magnets 211b and 212b. Can do. On the other hand, like the first fixing member 211a, the second fixing member 212a is made of a material such as a metal, ceramic, or plastic that does not react to the magnetic force of the magnet, but is made of tungsten, for example. On the other hand, the first magnetic levitation means 211 is provided over the entire area of the transport base 110 in the longitudinal direction of the tray 100, that is, the traveling direction of the tray 100, and the second magnetic levitation means 212 is moved by the tray 100. It is provided over the entire area. That is, since the tray 100 passes through the inside of the plurality of chambers, the second magnetic levitation means 212 is provided on the inner walls of the plurality of chambers in the region facing the first magnetic levitation means 211. However, at least one of the first and second magnetic levitation means 211 and 212 is provided in a plurality at a predetermined interval. For example, the second magnetic levitation means 212 is provided over the entire region in the longitudinal direction, and a plurality of the first magnetic levitation means 211 are provided at a predetermined interval. The first and second magnets 211b and 211c of the first magnetic levitation means 211 and the third and fourth magnets 212b and 212c of the second magnetic levitation means 212 are provided over the entire area in the longitudinal direction. A plurality are provided at predetermined intervals. For example, the first and second magnets 211b and 211c are provided over the entire area, and the third and fourth magnets 212b and 212c are provided at a predetermined interval. On the other hand, a spacer member 213 is provided between the first magnetic levitation means 211 and the second magnetic levitation means 212 to maintain a gap between them. That is, since the first and third magnets 211b and 212b facing each other are attracted, the interval between the first and second magnetic levitation means 211 and 212 is reduced while the tray 100 is moved by magnetic levitation. The third magnets 211b and 212b may stick to each other, but since the spacer member 213 is provided, the distance between the first and second magnetic levitation means 211 and 212 can be maintained. Such a spacer member 213 is provided in the lower region of the first and third magnets 211b and 212b. That is, the spacer member 213 is provided between the outer surface of the first magnetic levitation means 211 and the inner surface of the second magnetic levitation means 212. A plurality of spacer members 213 are provided between the first and second magnetic levitation means 211 and 212 at a predetermined interval across the entire region in the longitudinal direction.

磁気搬送部２２０は、搬送基台１１０の下側から所定の間隔を隔てて設けられる磁気回転手段２２１と、搬送基台１１０の下側に磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段２２２とを備える。磁気回転手段２２１は、搬送基台１１０の下側から所定の間隔を隔てて設けられる。ここで、磁気回転手段２２１は、トレイ１００の幅と等しく設けられてもよく、トレイ１００の幅よりも広く又は狭くなるように設けられてもよい。このような磁気回転手段２２１は、図３及び図４に示すように、回転軸２２１ａと、回転軸２２１ａの表面に形成される複数の第５マグネット２２１ｂとを備える。回転軸２２１ａは、略円形の棒状に設けられて回転モーター（図示せず）により一方向及び他方向に回転する。また、複数の第５マグネット２２１ｂは、回転軸２２１ａの表面を所定の角度で取り囲む形状に設けられるが、例えば、ねじ山状に形成される。すなわち、複数の第５マグネット２２１ｂは、図４に示すように、回転軸２２１ａの上に、例えば、４５°の角度で取り囲むように複数設けられる。このとき、複数の第５マグネット２２１ｂは、回転軸２２１ａを例えば、４５°の角度で取り囲みながらＳ極及びＮ極が交互に設けられる。磁気搬送手段２２２は、搬送基台１１０の下側に設けられる。すなわち、磁気搬送手段２２２は、磁気浮上部２１０の間の搬送基台１１０の第２領域１１２の下側に設けられる。このような磁気搬送手段２２２は、互いに異なる極性のマグネットが繰り返し設けられる。すなわち、磁気搬送手段２２２は、図４に示すように、搬送基台１１０の第２領域１１２の下側に固定される第３固定部材２２２ａと、第３固定部材２２２ａの一方の面に設けられる複数の第６マグネット２２２ｂとを備え、複数の第６マグネット２２２ｂは、互いに異なる極性、すなわち、Ｓ極及びＮ極が交互に設けられる。このとき、磁気搬送手段２２２の複数の第６マグネット２２２ｂは、磁気回転手段２２１の複数の第５マグネット２２１ｂと同じ角度、例えば、４５°の角度を有するように設けられる。このため、磁気回転手段２２１の回転による極性と磁気搬送手段２２２の極性が互いに異なるか、あるいは、互いに同じであり、これにより、引力又は斥力が働くので、磁気回転手段２２１の回転につれて磁気搬送手段２２２が一方向に移動する。すなわち、磁気回転手段２２１の回転運動が磁気搬送手段２２２により直線運動に変換されて磁気浮上されたトレイ１００を移動させる。   The magnetic transfer unit 220 is provided with a magnetic rotation unit 221 provided at a predetermined interval from the lower side of the transfer base 110, and a magnetism provided at a predetermined interval from the magnetic rotation unit 221 at the lower side of the transfer base 110. A transport unit 222. The magnetic rotating means 221 is provided at a predetermined interval from the lower side of the transport base 110. Here, the magnetic rotating means 221 may be provided to be equal to the width of the tray 100, or may be provided to be wider or narrower than the width of the tray 100. As shown in FIGS. 3 and 4, the magnetic rotating unit 221 includes a rotating shaft 221a and a plurality of fifth magnets 221b formed on the surface of the rotating shaft 221a. The rotation shaft 221a is provided in a substantially circular rod shape, and is rotated in one direction and the other direction by a rotation motor (not shown). In addition, the plurality of fifth magnets 221b are provided in a shape that surrounds the surface of the rotating shaft 221a at a predetermined angle, and are formed in, for example, a screw thread shape. That is, as shown in FIG. 4, the plurality of fifth magnets 221b are provided on the rotating shaft 221a, for example, so as to surround at an angle of 45 °. At this time, the plurality of fifth magnets 221b are alternately provided with S poles and N poles while surrounding the rotating shaft 221a at an angle of 45 °, for example. The magnetic transfer means 222 is provided below the transfer base 110. That is, the magnetic transport unit 222 is provided below the second region 112 of the transport base 110 between the magnetic levitation units 210. Such magnetic transport means 222 is repeatedly provided with magnets having different polarities. That is, as shown in FIG. 4, the magnetic transfer means 222 is provided on the third fixing member 222a fixed to the lower side of the second region 112 of the transfer base 110 and one surface of the third fixing member 222a. A plurality of sixth magnets 222b are provided, and the plurality of sixth magnets 222b are alternately provided with different polarities, that is, S poles and N poles. At this time, the plurality of sixth magnets 222b of the magnetic transport unit 222 are provided to have the same angle as the plurality of fifth magnets 221b of the magnetic rotation unit 221, for example, 45 °. For this reason, the polarity due to the rotation of the magnetic rotating means 221 and the polarity of the magnetic conveying means 222 are different from each other, or are the same as each other. 222 moves in one direction. That is, the rotary motion of the magnetic rotating means 221 is converted into a linear motion by the magnetic transport means 222 and the tray 100 that has been magnetically levitated is moved.

ガイドユニット３００は、トレイ１００の上部に取り付けられる第１ガイドマグネット３１０と、第１ガイドマグネット３１０から所定の間隔を隔ててチャンバーの上側壁に設けられる第２ガイドマグネット３２０とを備える。ここで、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０は、互いに斥力が働くように同じ極性を有していてもよく、互いに引力が働くように互いに異なる極性を有していてもよい。また、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０は、様々な形状に設けられる。例えば、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０が互いに面する直線状に設けられる。また、第１ガイドマグネット３１０は円形の棒状に設けられ、第２ガイドマグネット３２０は、第１ガイドマグネット３１０を上側から取り囲むように、例えば、逆Ｕ字状に折れ曲がった断面を有する。すなわち、第２ガイドマグネット３２０は、第１ガイドマグネット３１０を所定の間隔を隔てて取り囲むように設けられる。このため、トレイ１００の上端部は、第１ガイドマグネット３１０の両側面において第２ガイドマグネット３２０により第１ガイドマグネット３１０を押したり引っ張ったりする力が働くので、トレイ１００が搬送されながら倒れないようにガイドされる。   The guide unit 300 includes a first guide magnet 310 attached to the upper portion of the tray 100 and a second guide magnet 320 provided on the upper side wall of the chamber at a predetermined interval from the first guide magnet 310. Here, the first and second guide magnets 310 and 320 may have the same polarity so that a repulsive force acts on each other, or may have different polarities so that an attractive force acts on each other. The first and second guide magnets 310 and 320 are provided in various shapes. For example, the first and second guide magnets 310 and 320 are provided in a linear shape facing each other. Further, the first guide magnet 310 is provided in a circular bar shape, and the second guide magnet 320 has a cross section bent into, for example, an inverted U shape so as to surround the first guide magnet 310 from above. That is, the second guide magnet 320 is provided so as to surround the first guide magnet 310 at a predetermined interval. For this reason, the upper end of the tray 100 has a force that pushes or pulls the first guide magnet 310 by the second guide magnet 320 on both side surfaces of the first guide magnet 310, so that the tray 100 does not fall down while being transported. Guided by

一方、本発明のマグネットは、コアとコイルが組み合わせられた電磁石を用いるか、永久磁石を用いるか、あるいは、電磁石と永久磁石を組み合わせて用いる。   On the other hand, the magnet of the present invention uses an electromagnet in which a core and a coil are combined, a permanent magnet, or a combination of an electromagnet and a permanent magnet.

上述したように、本発明の一実施形態による基板搬送装置は、基板が載置されるトレイ１００の下側にトレイ１００を磁気浮上させて搬送する磁気搬送ユニット２００が設けられ、トレイ１００の上側にトレイ１００をガイドするガイドユニット３００が設けられる。また、磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気力を用いて回転運動を直線運動に変換して磁気浮上されたトレイ１００を移動させる磁気搬送部２２０とを備える。このため、本発明の一実施形態による基板搬送装置は、磁気浮上部２１０を用いてトレイ１００を磁気浮上させた後、磁気搬送部２２０が一方向に回転して磁気浮上されたトレイ１００を一方向に移動させる。このような本発明の一実施形態は、トレイ１００と磁気搬送ユニット２００との間に摩擦が生じないため粉塵が発生しない。このため、粉塵による製品の不良が発生せず、真空ポンプなどの付属品の故障が発生しない。   As described above, the substrate transport apparatus according to the embodiment of the present invention includes the magnetic transport unit 200 that magnetically floats and transports the tray 100 below the tray 100 on which the substrate is placed. A guide unit 300 for guiding the tray 100 is provided. In addition, the magnetic transport unit 200 includes a magnetic levitation unit 210 that magnetically levitates the tray 100, and a magnetic transport unit 220 that moves the magnetically levitated tray 100 by converting a rotational motion into a linear motion using a magnetic force. . For this reason, the substrate transport apparatus according to the embodiment of the present invention causes the tray 100 to be magnetically levitated by rotating the magnetic conveyance unit 220 in one direction after the tray 100 is magnetically levitated using the magnetic levitation portion 210. Move in the direction. In such an embodiment of the present invention, since no friction is generated between the tray 100 and the magnetic transport unit 200, no dust is generated. For this reason, product defects due to dust do not occur, and accessories such as vacuum pumps do not fail.

一方、本発明による基板搬送装置は、トレイ１００の下部からトレイ１００を磁気浮上させ、磁気力を用いてトレイ１００を搬送する種々の方式により実現可能である。すなわち、トレイ１００の下部の構造が種々に変更可能である。このような本発明の他の例が、図５及び図６に示されている。図５は、本発明の第２実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図であり、これを用いて本発明の第２実施形態を説明すれば、下記の通りである。   On the other hand, the substrate transfer apparatus according to the present invention can be realized by various methods in which the tray 100 is magnetically levitated from the lower portion of the tray 100 and the tray 100 is transferred using magnetic force. That is, the structure below the tray 100 can be variously changed. Another example of the present invention is shown in FIGS. FIG. 5 is a side view of the magnetic transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention. The second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図５を参照すると、本発明の第２実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の上部に設けられてトレイ１００の搬送をガイドするガイドユニット３００とを備える。ここで、本発明の第１実施形態と同じ構成についての説明を省略するか、あるいは、簡略化する。   Referring to FIG. 5, the substrate transport apparatus according to the second embodiment of the present invention includes a tray 100 to which a substrate is attached and transported, and a magnetic transport unit that is provided below the tray 100 and transports the tray 100 using magnetic levitation. 200 and a guide unit 300 that is provided at an upper portion of the tray 100 and guides the conveyance of the tray 100. Here, the description of the same configuration as that of the first embodiment of the present invention is omitted or simplified.

トレイ１００の下側に搬送基台１１０が設けられるが、搬送基台１１０は、トレイ１００の幅と同じ第１領域１１１と、第１領域１１１の下側に設けられて第１領域１１１よりも狭い第２領域１１２と、第２領域１１２の下側に磁気回転手段２２１を取り囲むように設けられる第３領域１１３とを備える。第３領域１１３は、第２領域１１２から下側に延びる延長部と、延長部の下側に水平に設けられる水平部１１３ａと、水平部１１３ａの両側から下側に延びる垂直部１１３ｂ，１１３ｃとを備える。ここで、水平部１１３ａは、磁気回転手段２２１の幅よりも広く設けられ、垂直部１１３ｂ，１１３ｃは、磁気回転手段２２１の高さよりも高く設けられる。このため、水平部１１３ａと、その両側の垂直部１１３ｂ，１１３ｃが磁気回転手段２２１の上部及び側部を取り囲むように設けられる。   The transport base 110 is provided on the lower side of the tray 100. The transport base 110 is provided on the lower side of the first area 111, which is the same as the width of the tray 100, and on the lower side of the first area 111. The narrow 2nd area | region 112 and the 3rd area | region 113 provided so that the magnetic rotation means 221 may be enclosed under the 2nd area | region 112 are provided. The third region 113 includes an extension portion extending downward from the second region 112, a horizontal portion 113a provided horizontally below the extension portion, and vertical portions 113b and 113c extending downward from both sides of the horizontal portion 113a. Is provided. Here, the horizontal portion 113 a is provided wider than the width of the magnetic rotating means 221, and the vertical portions 113 b and 113 c are provided higher than the height of the magnetic rotating means 221. For this reason, the horizontal portion 113 a and the vertical portions 113 b and 113 c on both sides thereof are provided so as to surround the upper portion and the side portion of the magnetic rotating means 221.

磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気浮上部２１０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部２１０により磁気浮上されたトレイ１００を搬送する磁気搬送部２２０とを備える。磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０の第２領域１１２に設けられる第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２と、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間の間隔を維持するためのスペーサ部材２１３と、第２磁気浮上手段２１２を支持する支持手段２１４とを備える。第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０の第２領域１１２の側面及び下面に固定される第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの側面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット２１１ｃとを備える。第１固定部材２１１ａは、一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる。このとき、第１固定部材２１１ａは、搬送基台１１０の第１領域１１１よりも突出して設けられる。すなわち、第１固定部材２１１ａとその間の第２領域１１２がなす幅が、搬送基台１１０の第１領域１１１又はトレイ１００の幅よりも広い。また、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃはそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられてもよい。第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の第１マグネット２１１ｂ及び第２マグネット２１１ｃにそれぞれ面する第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃとを備える。ここで、第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃは、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃの数に対応してそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第１及び第２マグネット２１１ｂ，２１１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット２１１ｂが一つ設けられ、第２マグネット２１１ｃが２以上設けられる場合、第３マグネット２１２ｂが一つ設けられ、第４マグネット２１２ｃが２以上設けられる。また、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てるように一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる。支持手段２１４は、第２磁気浮上手段２１２の下側に設けられて第２磁気浮上手段２１２を支持する。すなわち、支持手段２１４は、第２磁気浮上手段２１２の水平部とチャンバーの底面との間に設けられて第２磁気浮上手段２１２の水平部を支持する。支持手段２１４が第２磁気浮上手段２１２の水平部を支持するので、第２磁気浮上手段２１２を一層安定的に支持することができる。すなわち、第２磁気浮上手段２１２の垂直部は、チャンバーの内壁から固定され、水平部が支持手段２１４に支持されるので、一層安定的に第２磁気浮上手段２１２が実現可能である。支持手段２１４の内側には搬送基台１１０の一部及び磁気搬送部２２０が設けられる。すなわち、支持手段２１４の内側に搬送基台１１０の第３領域１１３が設けられ、第３領域１１３の内側に磁気搬送部２２０が設けられる。   The magnetic conveyance unit 200 includes a magnetic levitation unit 210 that magnetically levitates the tray 100, and a magnetic conveyance unit 220 that conveys the tray 100 that has been magnetically levitated by the magnetic levitation unit 210 so as to act on the magnetic levitation unit 210. Is provided. The magnetic levitation unit 210 includes a first magnetic levitation unit 211 provided in the second region 112 of the transport base 110, a second magnetic levitation unit 212 provided apart from the first magnetic levitation unit 211, and first and second A spacer member 213 for maintaining a gap between the magnetic levitation means 211 and 212 and a support means 214 for supporting the second magnetic levitation means 212 are provided. The first magnetic levitation means 211 includes at least one first fixing member 211a that is fixed to the side surface and the lower surface of the second region 112 of the transport base 110 and a predetermined region on the side surface of the first fixing member 211a. 1 magnet 211b and at least one 2nd magnet 211c provided in the predetermined field of the undersurface of the 1st fixing member 211a. The first fixing member 211a is provided in a left-right symmetrical shape in which one side is provided in an L shape and the other side is provided in an L shape. At this time, the first fixing member 211 a is provided so as to protrude from the first region 111 of the transport base 110. That is, the width formed by the first fixing member 211 a and the second region 112 therebetween is wider than the width of the first region 111 of the transport base 110 or the tray 100. Further, one each of the first and second magnets 211b and 211c may be provided, and at least one of the first and second magnets 211b and 211c may be provided two or more. For example, one first magnet 211b may be provided and two or more second magnets 211c may be provided. The second magnetic levitation means 212 is provided so as to face the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval from the first magnetic levitation means 211. Such second magnetic levitation means 212 includes a second fixing member 212a facing the first fixing member 211a of the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval, and a first magnet 211b of the first magnetic levitation means 211. And third and fourth magnets 212b and 212c facing the second magnet 211c, respectively. Here, the third and fourth magnets 212b and 212c may be provided one by one in accordance with the number of the first and second magnets 211b and 211c, respectively, of the first and second magnets 211b and 211c. Two or more of at least any one of may be provided. For example, when one first magnet 211b is provided and two or more second magnets 211c are provided, one third magnet 212b is provided and two or more fourth magnets 212c are provided. In addition, the second fixing member 212a is provided in an L shape so that one side is spaced apart from the first fixing member 211a, and the other side is provided in an L-shaped symmetrical shape. The support means 214 is provided below the second magnetic levitation means 212 and supports the second magnetic levitation means 212. That is, the support means 214 is provided between the horizontal portion of the second magnetic levitation means 212 and the bottom surface of the chamber, and supports the horizontal portion of the second magnetic levitation means 212. Since the support means 214 supports the horizontal portion of the second magnetic levitation means 212, the second magnetic levitation means 212 can be supported more stably. That is, the vertical part of the second magnetic levitation means 212 is fixed from the inner wall of the chamber, and the horizontal part is supported by the support means 214. Therefore, the second magnetic levitation means 212 can be realized more stably. A part of the conveyance base 110 and the magnetic conveyance unit 220 are provided inside the support unit 214. That is, the third region 113 of the transport base 110 is provided inside the support unit 214, and the magnetic transport unit 220 is provided inside the third region 113.

磁気搬送部２２０は、磁気回転手段２２１と、磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段２２２とを備えるが、磁気回転手段２２１は、搬送基台１１０の水平部１１３ａ及び垂直部１１３ｂ，１１３ｃから所定の間隔を隔ててその内側に設けられ、磁気搬送手段２２２は、水平部１１３ａ及び垂直部１１３ｂ，１１３ｃの少なくとも一領域に設けられる。磁気回転手段２２１は、本発明の一実施形態と同様に、回転軸２２１ａと、回転軸２２１ａの表面を所定の角度で取り囲むように設けられる複数の第５マグネット２２１ｂとを備える。磁気搬送手段２２２は、垂直部１１３ｂ，１１３ｃに設けられる。すなわち、磁気搬送手段２２２は、磁気回転手段２２１の両側に設けられる。もちろん、磁気搬送手段２２２は、水平部１１３ａに設けられてもよく、水平部１１３ａ及び垂直部１１３ｂ，１１３ｃの両方に設けられてもよい。このような磁気搬送手段２２２は、所定の固定部材が設けられ、固定部材の上にＳ極及びＮ極の極性が交互に設けられる。このとき、磁気搬送手段２２２は、磁気回転手段２２１の第５マグネット２２１ｂと同じ角度、例えば、４５°の角度を有するように設けられる。このため、磁気回転手段２２１の回転による極性と磁気搬送手段２２２の極性が同じ極性を有し、これにより、引力が働くので、磁気回転手段２２１の回転につれて磁気搬送手段２２２が一方向に移動する。すなわち、磁気回転手段２２１の回転運動が磁気搬送手段２２２により直線運動に変換されて磁気浮上されたトレイ１００を移動させる。   The magnetic conveyance unit 220 includes a magnetic rotation unit 221 and a magnetic conveyance unit 222 provided at a predetermined interval from the magnetic rotation unit 221. The magnetic rotation unit 221 includes a horizontal part 113a and a vertical unit of the conveyance base 110. The magnetic transporting means 222 is provided in at least one region of the horizontal portion 113a and the vertical portions 113b and 113c with a predetermined distance from the portions 113b and 113c. Similarly to the embodiment of the present invention, the magnetic rotating means 221 includes a rotating shaft 221a and a plurality of fifth magnets 221b provided so as to surround the surface of the rotating shaft 221a at a predetermined angle. The magnetic transfer means 222 is provided in the vertical portions 113b and 113c. That is, the magnetic transport unit 222 is provided on both sides of the magnetic rotation unit 221. Of course, the magnetic conveying means 222 may be provided in the horizontal part 113a, and may be provided in both the horizontal part 113a and the vertical parts 113b and 113c. Such a magnetic transport means 222 is provided with a predetermined fixing member, and the polarities of the S pole and the N pole are alternately provided on the fixing member. At this time, the magnetic transport unit 222 is provided to have the same angle as the fifth magnet 221b of the magnetic rotation unit 221, for example, an angle of 45 °. For this reason, the polarity by rotation of the magnetic rotating means 221 and the polarity of the magnetic conveying means 222 have the same polarity, so that attractive force works, so that the magnetic conveying means 222 moves in one direction as the magnetic rotating means 221 rotates. . That is, the rotary motion of the magnetic rotating means 221 is converted into a linear motion by the magnetic transport means 222 and the tray 100 that has been magnetically levitated is moved.

図６は、本発明の第３実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。   FIG. 6 is a side view of the magnetic transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention.

図６を参照すると、本発明の第３実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の上部に設けられてトレイ１００の搬送をガイドするガイドユニット３００とを備える。ここで、本発明の第３実施形態は、図５を用いて説明した本発明の第２実施形態と磁気搬送ユニット２００の磁気浮上部２１０の構造に相違点があり、これを中心として本発明の他の実施形態について説明すれば、下記の通りである。   Referring to FIG. 6, a substrate transport apparatus according to a third embodiment of the present invention includes a tray 100 to which a substrate is attached and transported, and a magnetic transport unit that is provided below the tray 100 and transports the tray 100 using magnetic levitation. 200 and a guide unit 300 that is provided at an upper portion of the tray 100 and guides the conveyance of the tray 100. Here, the third embodiment of the present invention is different from the second embodiment of the present invention described with reference to FIG. 5 in the structure of the magnetic levitation unit 210 of the magnetic transport unit 200. Another embodiment will be described as follows.

磁気搬送ユニット２００の磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０の第２領域１１２に設けられる第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２と、第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間の間隔を維持するためのスペーサ部材２１３と、第２磁気浮上手段２１２を支持する支持手段２１４とを備える。第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０の第２領域１１２の側面及び下面に固定され、一方の側がＬ字状に設けられ、他方の側がＬ字の左右対称形状に設けられる第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの上面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット２１１ｃとを備える。すなわち、本発明の第１及び第２実施形態においては、第１マグネット２１１ｂが第１固定部材２１１ａの側面に設けられていたが、本発明の第３実施形態においては、第１マグネット２１１ｂが第１固定部材２１１ａの上面に設けられる。ここで、第１マグネット２１１ｂは、搬送基台１１０の第１領域１１１の側面から離れて第１固定部材２１１ａの上面に設けられる。また、第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の第１マグネット２１１ｂ及び第２マグネット２１１ｃにそれぞれ面する第３及び第４マグネット２１２ｂ，２１２ｃとを備える。ここで、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて第１固定部材２１１ａの上面と向かい合うように一方の側が「逆コ」字状に設けられ、他方の側が「コ」字状に設けられる。ところが、第２固定部材２１２ａは上側が短くて下側が長い形状に設けられ、全領域に亘って第１固定部材２１１ａと等間隔を隔てている。ここで、第１マグネット２１１ｂ及び第３マグネット２１２ｂは互いに異なる極性を有し、これにより、引力が働き、第２マグネット２１１ｃ及び第４マグネット２１２ｃは互いに同じ極性を有し、これにより、斥力が働く。なお、第１固定部材２１１ａの側面及びこれに面する第２固定部材２１２ａの側面にも互いに引力が働くマグネットがさらに設けられる。   The magnetic levitation unit 210 of the magnetic conveyance unit 200 includes a first magnetic levitation unit 211 provided in the second region 112 of the conveyance base 110, a second magnetic levitation unit 212 provided away from the first magnetic levitation unit 211, and A spacer member 213 for maintaining a distance between the first and second magnetic levitation means 211 and 212 and a support means 214 for supporting the second magnetic levitation means 212 are provided. The first magnetic levitation means 211 is fixed to the side surface and the lower surface of the second region 112 of the transport base 110, and is provided with a L-shaped one side and a L-shaped symmetrical first side. A member 211a, at least one first magnet 211b provided in a predetermined region on the upper surface of the first fixing member 211a, and at least one second magnet 211c provided in a predetermined region on the lower surface of the first fixing member 211a. Prepare. That is, in the first and second embodiments of the present invention, the first magnet 211b is provided on the side surface of the first fixing member 211a. However, in the third embodiment of the present invention, the first magnet 211b is the first magnet 211b. 1 is provided on the upper surface of the fixing member 211a. Here, the first magnet 211 b is provided on the upper surface of the first fixing member 211 a apart from the side surface of the first region 111 of the transport base 110. The second magnetic levitation means 212 is provided so as to face the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval from the first magnetic levitation means 211. Such second magnetic levitation means 212 includes a second fixing member 212a facing the first fixing member 211a of the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval, and a first magnet 211b of the first magnetic levitation means 211. And third and fourth magnets 212b and 212c facing the second magnet 211c, respectively. Here, the second fixing member 212a is provided in a “reverse U” shape on one side so as to face the upper surface of the first fixing member 211a at a predetermined interval from the first fixing member 211a, and the other side is “ It is provided in a U shape. However, the second fixing member 212a is provided with a shape in which the upper side is short and the lower side is long, and is spaced equidistant from the first fixing member 211a over the entire region. Here, the first magnet 211b and the third magnet 212b have different polarities, thereby causing an attractive force, and the second magnet 211c and the fourth magnet 212c have the same polarity with each other, whereby a repulsive force is exerted. . In addition, a magnet that acts on the side surface of the first fixing member 211a and the side surface of the second fixing member 212a facing the first fixing member 211a is further provided.

図７は、本発明の一実施形態によるガイドユニット３００の側面図である。   FIG. 7 is a side view of the guide unit 300 according to an embodiment of the present invention.

図７を参照すると、本発明の一実施形態によるガイドユニット３００は、トレイ１００の上部に取り付けられる第１プレート３１１と、第１プレート３１１の上に設けられる第１ガイドマグネット３１０と、チャンバーの上側壁に固定される第２プレート３２１と、第１ガイドマグネット３１０から所定の間隔を隔てて第２プレート３２１の上に設けられる第２ガイドマグネット３２０と、第２プレート３２１の側面からその下側に延びる側面プレート３３０と、第１プレート３１１の側面に設けられる第３ガイドマグネット３４０と、第３ガイドマグネット３４０から所定の間隔を隔てて面し、側面プレート３３０に設けられる第４ガイドマグネット３５０と、側面プレート３３０の所定の領域に設けられて側面プレート３３０とガイドマグネット３１０，３２０，３４０，３５０との間の間隔を維持する第２スペーサ部材３６０とを備える。ここで、第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０は、第２ガイドマグネット３２０の上側の第２プレート３２１及びこれに面する側面プレート３３０の間に設けられてもよく、第１プレート３１１及びこれに面する側面プレート３３０の間と第２プレート３２１及びこれに面する側面プレート３３０の間の両領域に設けられてもよい。また、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０は互いに斥力が働くように同じ極性を有していてもよく、互いに引力が働くように互いに異なる極性を有していてもよい。さらに、第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０は、互いに斥力が働くように同じ極性を有していてもよい。このため、トレイ１００の上端部は、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０の引力又は斥力及び第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０の斥力によりトレイ１００が倒れないようにガイドされながら搬送される。すなわち、第３及び第４ガイドマグネット３４０，３５０により側面において斥力が働くので、第１及び第２ガイドマグネット３１０，３２０を用いる場合に比べてトレイ１００の垂直搬送が一層円滑になる。なお、第２スペーサ部材３６０がさらに設けられるので、トレイ１００の揺動幅を一定に維持することができ、これにより、トレイ１００の垂直搬送が一層円滑になる。   Referring to FIG. 7, a guide unit 300 according to an embodiment of the present invention includes a first plate 311 attached to an upper portion of the tray 100, a first guide magnet 310 provided on the first plate 311, and an upper portion of the chamber. A second plate 321 fixed to the side wall, a second guide magnet 320 provided on the second plate 321 at a predetermined interval from the first guide magnet 310, and a side surface of the second plate 321 to the lower side thereof. A side plate 330 that extends, a third guide magnet 340 provided on the side surface of the first plate 311, a fourth guide magnet 350 provided on the side plate 330 that faces the third guide magnet 340 at a predetermined interval, The side plate 330 and the guide plate are provided in a predetermined region of the side plate 330. And a second spacer member 360 to maintain the spacing between the net 310,320,340,350. Here, the third and fourth guide magnets 340 and 350 may be provided between the second plate 321 on the upper side of the second guide magnet 320 and the side plate 330 facing the first plate 311 and the second plate 321. May be provided in both regions between the side plates 330 facing each other and between the second plate 321 and the side plates 330 facing this. In addition, the first and second guide magnets 310 and 320 may have the same polarity so that repulsive force acts on each other, or may have different polarities so that attractive force acts on each other. Further, the third and fourth guide magnets 340 and 350 may have the same polarity so that repulsive force acts on each other. Therefore, the upper end portion of the tray 100 is conveyed while being guided so as not to fall down by the attractive force or repulsive force of the first and second guide magnets 310 and 320 and the repulsive force of the third and fourth guide magnets 340 and 350. The That is, since the repulsive force acts on the side surfaces by the third and fourth guide magnets 340 and 350, the vertical conveyance of the tray 100 becomes smoother than when the first and second guide magnets 310 and 320 are used. In addition, since the second spacer member 360 is further provided, the swinging width of the tray 100 can be kept constant, and thereby the vertical conveyance of the tray 100 becomes smoother.

一方、トレイ１００の下側にトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイドがさらに設けられる。搬送ガイドは、トレイ１００を間に挟んでトレイ１００から所定の間隔を隔てて設けられる。搬送ガイドは、トレイ１００とチャンバー内壁との間に設けられる。すなわち、搬送ガイドは、チャンバーの側面とトレイ１００との間にトレイ１００から所定の間隔を隔てて２つ設けられる。例えば、搬送ガイドは、図３、図５及び図６の磁気浮上部２１０の外側に設けられる。すなわち、搬送ガイドは、磁気浮上部２１０の第２磁気浮上手段２１２とチャンバー内壁との間に設けられる。搬送ガイドが第２磁気浮上手段２１２とチャンバー内壁との間に設けられる場合、第２磁気浮上手段２１２はチャンバーの底面から固定される。このような搬送ガイドを備える基板搬送装置を図８及び図９を用いて説明すれば、下記の通りである。   On the other hand, a conveyance guide for guiding conveyance of the tray 100 is further provided below the tray 100. The conveyance guide is provided at a predetermined interval from the tray 100 with the tray 100 interposed therebetween. The conveyance guide is provided between the tray 100 and the inner wall of the chamber. That is, two transport guides are provided between the side surface of the chamber and the tray 100 at a predetermined interval from the tray 100. For example, the conveyance guide is provided outside the magnetic levitation unit 210 in FIGS. 3, 5, and 6. That is, the conveyance guide is provided between the second magnetic levitation means 212 of the magnetic levitation unit 210 and the inner wall of the chamber. When the conveyance guide is provided between the second magnetic levitation means 212 and the inner wall of the chamber, the second magnetic levitation means 212 is fixed from the bottom surface of the chamber. A substrate transfer apparatus including such a transfer guide will be described with reference to FIGS.

図８は、本発明の第４実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。   FIG. 8 is a side view of the magnetic transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.

図８を参照すると、本発明の第４実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００をガイドするためのガイドユニット３００とを備える。ガイドユニット３００は、トレイ１００の上側及び下側に設けられるが、トレイ１００の上側には、図７に示す構成要素が設けられ、トレイ１００の下側にはトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０が設けられる。ここで、本発明の第４実施形態を説明するに当たって、前記第１から第３実施形態と同じ構成についてはその説明を簡略化するか、又は、省略する。   Referring to FIG. 8, a substrate transport apparatus according to a fourth embodiment of the present invention includes a tray 100 to which a substrate is attached and transported, and a magnetic transport unit that is provided below the tray 100 and transports the tray 100 using magnetic levitation. 200 and a guide unit 300 for guiding the tray 100. The guide unit 300 is provided on the upper side and the lower side of the tray 100. The components shown in FIG. 7 are provided on the upper side of the tray 100, and the conveyance guide for guiding the conveyance of the tray 100 is provided on the lower side of the tray 100. 370 is provided. Here, in describing the fourth embodiment of the present invention, the description of the same configuration as that of the first to third embodiments is simplified or omitted.

トレイ１００は、下側に搬送基台１１０が設けられるが、搬送基台１１０は、トレイ１００の幅と同じ幅を有する第１領域１１１と、第１領域１１１の側面に設けられ、磁気回転手段２２１を取り囲むように設けられる延長領域１１４とを備える。すなわち、延長領域１１４は、第１領域１１１の側面から下側に延びて設けられる。ここで、延長領域１１４は、磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて磁気回転手段２２１の幅よりも広く設けられる。このような延長領域１１４は、所定の幅及び長さを有するプレート状に設けられる。また、延長領域１１４の内側の所定の領域にはスペーサ部材２１３が設けられる。すなわち、図６を用いて説明した本発明の第３実施形態は、スペーサ部材２１３が第１及び第２磁気浮上手段２１１，２１２の間の間隔を維持するためにこれらの間に設けられるが、本発明の第４実施形態においては、トレイ１００に繋がる延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間の間隔を維持するために、延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間の延長領域１１４の内側にスペーサ部材２１３が設けられる。もちろん、スペーサ部材２１３は、磁気搬送部２２０の一領域に設けられてもよい。すなわち、スペーサ部材２１３は、延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間に、且つ、延長領域１１４又は磁気搬送部２２０の所定の領域に固定される。一方、延長領域１１４の少なくとも一領域、すなわち、外側領域には少なくとも一つの第７マグネット１１５が設けられる。   The tray 100 is provided with a transport base 110 on the lower side. The transport base 110 is provided on the first region 111 having the same width as the tray 100 and on the side surface of the first region 111, and magnetic rotating means. And an extension region 114 provided so as to surround 221. That is, the extension region 114 is provided to extend downward from the side surface of the first region 111. Here, the extension region 114 is provided wider than the width of the magnetic rotating means 221 at a predetermined interval from the magnetic rotating means 221. Such an extension region 114 is provided in a plate shape having a predetermined width and length. A spacer member 213 is provided in a predetermined area inside the extended area 114. That is, in the third embodiment of the present invention described with reference to FIG. 6, the spacer member 213 is provided between the first and second magnetic levitation means 211 and 212 in order to maintain the distance between them. In the fourth embodiment of the present invention, in order to maintain the distance between the extension region 114 connected to the tray 100 and the magnetic transport unit 220, the inside of the extension region 114 between the extension region 114 and the magnetic transport unit 220. A spacer member 213 is provided. Of course, the spacer member 213 may be provided in one region of the magnetic transport unit 220. That is, the spacer member 213 is fixed between the extension region 114 and the magnetic transport unit 220 and in a predetermined region of the extension region 114 or the magnetic transport unit 220. On the other hand, at least one seventh magnet 115 is provided in at least one region of the extended region 114, that is, in the outer region.

磁気搬送ユニット２００は、トレイ１００を磁気浮上させる磁気浮上部２１０と、磁気浮上部２１０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部２１０により磁気浮上されたトレイ１００を搬送する磁気搬送部２２０とを備える。磁気浮上部２１０は、搬送基台１１０の第１領域１１１に固定される第１磁気浮上手段２１１と、第１磁気浮上手段２１１から離れて設けられる第２磁気浮上手段２１２とを備える。第１磁気浮上手段２１１は、搬送基台１１０の第１領域１１１の下面に固定される第１固定部材２１１ａと、第１固定部材２１１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂとを備える。第１固定部材２１１ａは、上側が第１領域１１１の下側に結合され、底面が水平をなす。このとき、第１固定部材２１１ａの幅は、第１領域１１１の幅よりも広く設けられる。第１固定部材２１１ａが第１領域１１１の幅よりも広く設けられるため、第１固定部材２１１ａの側面に接触されて下側に延びる延長領域１１４が第１領域１１１の幅よりも広く設けられる。また、第１固定部材２１１ａの下側の第１マグネット２１１ｂは少なくとも一つ設けられるが、例えば、等間隔にて３つ設けられる。第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段２１１に面するように設けられる。このような第２磁気浮上手段２１２は、第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて面する第２固定部材２１２ａと、第１磁気浮上手段２１１の少なくとも一つの第１マグネット２１１ｂに面する少なくとも一つの第３マグネット２１２ｂとを備える。さらに、第２固定部材２１２ａは、第１固定部材２１１ａから所定の間隔を隔てて第１固定部材２１１ａと同じ形状に設けられる。例えば、第１及び第２固定部材２１１ａ，２１２ａは、矩形の断面形状を有する。このとき、第２磁気浮上手段２１２の第２固定部材２１２ａは、磁気搬送部２２０の一領域に固定される。   The magnetic conveyance unit 200 includes a magnetic levitation unit 210 that magnetically levitates the tray 100, and a magnetic conveyance unit 220 that conveys the tray 100 that has been magnetically levitated by the magnetic levitation unit 210 so as to act on the magnetic levitation unit 210. Is provided. The magnetic levitation unit 210 includes first magnetic levitation means 211 fixed to the first region 111 of the transport base 110 and second magnetic levitation means 212 provided away from the first magnetic levitation means 211. The first magnetic levitation means 211 includes a first fixing member 211a fixed to the lower surface of the first region 111 of the transport base 110, and at least one first magnet provided in a predetermined region of the lower surface of the first fixing member 211a. 211b. The upper side of the first fixing member 211a is coupled to the lower side of the first region 111, and the bottom surface is horizontal. At this time, the first fixing member 211 a is wider than the first region 111. Since the first fixing member 211 a is provided wider than the width of the first region 111, the extension region 114 that is in contact with the side surface of the first fixing member 211 a and extends downward is provided wider than the width of the first region 111. In addition, at least one first magnet 211b on the lower side of the first fixing member 211a is provided, but for example, three are provided at equal intervals. The second magnetic levitation means 212 is provided so as to face the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval from the first magnetic levitation means 211. The second magnetic levitation means 212 includes a second fixing member 212a facing the first fixing member 211a of the first magnetic levitation means 211 at a predetermined interval, and at least one first magnetic levitation means 211. And at least one third magnet 212b facing one magnet 211b. Further, the second fixing member 212a is provided in the same shape as the first fixing member 211a at a predetermined interval from the first fixing member 211a. For example, the first and second fixing members 211a and 212a have a rectangular cross-sectional shape. At this time, the second fixing member 212 a of the second magnetic levitation means 212 is fixed to one region of the magnetic transport unit 220.

磁気搬送部２２０は、磁気回転手段２２１と、磁気回転手段２２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段２２２と、磁気回転手段２２１を内側に収容する収容手段２２３とを備える。収容手段２２３は、内部に磁気回転手段２２１を収容し、下側がチャンバーの底面に固定される。このとき、収容手段２２３は、中空状に設けられて磁気回転手段２２１が内部に収容されて回転自在となる。また、収容手段２２３は、側面において磁気搬送手段２２２の少なくとも一部が露出されるように設けられる。さらに、収容手段２２３の上部面には第２磁気浮上手段２１２が設けられる。すなわち、収容手段２２３の上部に第２磁気浮上手段２１２の第２固定部材２１２ａが固定される。磁気搬送手段２２２は、少なくとも一つのマグネットを備え、磁気回転手段２２１に面する延長領域１１４に設けられる。すなわち、延長領域１１４が収容手段２２３から所定の間隔を隔てて収容手段２２３の外側に設けられ、延長領域１１４の内側には収容手段２２３内に収容される磁気回転手段２２１に面するように少なくとも一つのマグネットを有する磁気搬送手段２２２が設けられる。   The magnetic conveyance unit 220 includes a magnetic rotation unit 221, a magnetic conveyance unit 222 provided at a predetermined interval from the magnetic rotation unit 221, and a storage unit 223 that stores the magnetic rotation unit 221 inside. The accommodating means 223 accommodates the magnetic rotating means 221 inside, and the lower side is fixed to the bottom surface of the chamber. At this time, the accommodating means 223 is provided in a hollow shape, and the magnetic rotating means 221 is accommodated therein so as to be rotatable. The accommodating means 223 is provided such that at least a part of the magnetic conveying means 222 is exposed on the side surface. Furthermore, a second magnetic levitation means 212 is provided on the upper surface of the accommodation means 223. That is, the second fixing member 212 a of the second magnetic levitation means 212 is fixed to the upper part of the housing means 223. The magnetic transport unit 222 includes at least one magnet and is provided in the extension region 114 facing the magnetic rotation unit 221. That is, the extension area 114 is provided outside the accommodation means 223 at a predetermined interval from the accommodation means 223, and at least the inside of the extension area 114 faces the magnetic rotation means 221 accommodated in the accommodation means 223. A magnetic conveying means 222 having one magnet is provided.

一方、磁気搬送ユニット２００とチャンバーとの間には搬送ガイド３７０が設けられる。すなわち、ガイドユニット３００が上側及び下側においてトレイ１００の搬送をガイドするが、トレイ１００の下側に磁気搬送ユニット２００の側面において磁気搬送ユニット２００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０が設けられる。このような搬送ガイド３７０は、磁気搬送ユニット２００とチャンバーの内側面との間に設けられ、所定の幅及び高さを有する。また、搬送ガイド３７０は、内側の所定の領域に少なくとも一つのマグネットが設けられる。すなわち、搬送ガイド３７０は、磁気搬送ユニット２００とチャンバーとの間に高さ方向に設けられる垂直プレート３７１と、垂直プレート３７１の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第８マグネット３７２とを備える。垂直プレート３７１は、例えば、第１磁気浮上手段２１１の高さに設けられる。すなわち、垂直プレート３７１は、搬送基台１１０の第１領域１１１と第１磁気浮上手段２１１の第１固定部材２１１ａとの間の境界面までの高さに設けられる。また、垂直プレート３７１には少なくとも一つの第８マグネット３７２が設けられるが、第８マグネット３７２は、延長領域１１４に設けられる第７マグネット１１５に面するように設けられる。このとき、延長領域１１４の第７マグネット１１５及び垂直プレート３７１の第８マグネット３７２は、互いに異なる極性又は同じ極性を有していてもよく、これにより、引力又は斥力が働く。一方、蒸着チャンバー内の搬送ガイド３７０は固定され、トラバースチャンバー内の搬送ガイド３７０は、トレイ１００から遠ざかる方向及びトレイ１００に近付く方向に移動する。このとき、トラバースチャンバー内の搬送ガイドは、磁気浮上を用いて非接触式で移動する。すなわち、トラバースチャンバーの搬送ガイド３７０は、図４を用いて説明した磁気搬送部と同じ原理を利用する。例えば、垂直プレート３７１の下側に垂直プレート３７１から離れて回転軸（図示せず）と、回転軸の表面に複数のマグネット（図示せず）が設けられる磁気回転手段が設けられ、磁気回転手段から離れて垂直プレート３７１の下面に互いに異なる極性のマグネットが所定の間隔を隔てて設けられる。このため、垂直プレート３７１の下側の磁気回転手段の回転による極性とその上側の磁気搬送手段の極性が互いに同一又は異なり、これにより、引力又は斥力が働くので、磁気回転手段の回転につれて磁気搬送手段が一方向又は他方向に移動する。すなわち、磁気回転手段の回転運動が磁気搬送手段により直線運動に変換されて磁気浮上された垂直プレート３７１を移動させる。   On the other hand, a conveyance guide 370 is provided between the magnetic conveyance unit 200 and the chamber. That is, the guide unit 300 guides the conveyance of the tray 100 on the upper side and the lower side, but the conveyance guide 370 that guides the conveyance of the magnetic conveyance unit 200 on the side surface of the magnetic conveyance unit 200 is provided below the tray 100. Such a conveyance guide 370 is provided between the magnetic conveyance unit 200 and the inner side surface of the chamber, and has a predetermined width and height. Further, the transport guide 370 is provided with at least one magnet in a predetermined region inside. That is, the transport guide 370 includes a vertical plate 371 provided in the height direction between the magnetic transport unit 200 and the chamber, and at least one eighth magnet 372 provided in a predetermined region of the vertical plate 371. The vertical plate 371 is provided at the height of the first magnetic levitation means 211, for example. That is, the vertical plate 371 is provided at a height up to the boundary surface between the first region 111 of the transport base 110 and the first fixing member 211 a of the first magnetic levitation means 211. The vertical plate 371 is provided with at least one eighth magnet 372, and the eighth magnet 372 is provided so as to face the seventh magnet 115 provided in the extension region 114. At this time, the seventh magnet 115 of the extension region 114 and the eighth magnet 372 of the vertical plate 371 may have different polarities or the same polarity, and thereby attractive force or repulsive force acts. On the other hand, the transport guide 370 in the vapor deposition chamber is fixed, and the transport guide 370 in the traverse chamber moves in a direction away from the tray 100 and a direction approaching the tray 100. At this time, the conveyance guide in the traverse chamber moves in a non-contact manner using magnetic levitation. That is, the traverse chamber transport guide 370 uses the same principle as the magnetic transport unit described with reference to FIG. For example, a rotating shaft (not shown) that is separated from the vertical plate 371 and a magnetic rotating means in which a plurality of magnets (not shown) are provided on the surface of the rotating shaft are provided below the vertical plate 371. Apart from the above, magnets having different polarities are provided on the lower surface of the vertical plate 371 at a predetermined interval. For this reason, the polarity due to the rotation of the magnetic rotating means on the lower side of the vertical plate 371 and the polarity of the magnetic conveying means on the upper side thereof are the same or different from each other. The means moves in one direction or the other. That is, the rotary motion of the magnetic rotating means is converted into a linear motion by the magnetic conveying means to move the magnetically levitated vertical plate 371.

図９は、本発明の第５実施形態による基板搬送装置の磁気搬送ユニットの側面図である。   FIG. 9 is a side view of the magnetic transfer unit of the substrate transfer apparatus according to the fifth embodiment of the present invention.

図９を参照すると、本発明の第５実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００をガイドするためのガイドユニット３００とを備える。ガイドユニット３００は、トレイ１００の上側及び下側に設けられるが、トレイ１００の上側には図７に示す構成要素が設けられ、トレイ１００の下側にはトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０が設けられる。ここで、本発明の第５実施形態は、図８を用いて説明した本発明の第４実施形態とはスペーサ部材２１３の形成位置に相違点がある。すなわち、本発明の第５実施形態による基板搬送装置は、本発明の第４実施形態による基板搬送装置と全ての構成が同じであり、スペーサ部材２１３が搬送ガイド３７０と延長領域１１４との間に設けられる点に相違点がある。スペーサ部材２１３は、搬送ガイド３７０と延長領域１１４との間の延長領域１１４又は搬送ガイド３７０の所定の領域に設けられる。例えば、延長領域１１４の第７マグネット１１５の下側に設けられる。このようにスペーサ部材２１３が磁気搬送ユニット２００と搬送ガイド３７０との間に設けられるので、磁気搬送ユニット２００が揺動する場合であっても、磁気搬送ユニット２００が搬送ガイド３７０の内側において搬送可能である。もちろん、スペーサ部材２１３は、搬送ガイド３７０と延長領域１１４との間だけではなく、延長領域１１４と磁気搬送部２２０との間に設けられる。すなわち、スペーサ部材２１３は、少なくとも２以上の領域に少なくとも２以上設けられる。   Referring to FIG. 9, a substrate transport apparatus according to a fifth embodiment of the present invention includes a tray 100 to which a substrate is attached and transported, and a magnetic transport unit that is provided at the bottom of the tray 100 and transports the tray 100 using magnetic levitation. 200 and a guide unit 300 for guiding the tray 100. The guide unit 300 is provided on the upper side and the lower side of the tray 100. The components shown in FIG. 7 are provided on the upper side of the tray 100, and the conveyance guide 370 for guiding the conveyance of the tray 100 is provided on the lower side of the tray 100. Is provided. Here, the fifth embodiment of the present invention is different from the fourth embodiment of the present invention described with reference to FIG. 8 in the formation position of the spacer member 213. That is, the substrate transport apparatus according to the fifth embodiment of the present invention has the same configuration as the substrate transport apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, and the spacer member 213 is interposed between the transport guide 370 and the extension region 114. There is a difference in the provision. The spacer member 213 is provided in the extension region 114 between the conveyance guide 370 and the extension region 114 or a predetermined region of the conveyance guide 370. For example, the extension region 114 is provided below the seventh magnet 115. Thus, since the spacer member 213 is provided between the magnetic transport unit 200 and the transport guide 370, the magnetic transport unit 200 can be transported inside the transport guide 370 even when the magnetic transport unit 200 swings. It is. Of course, the spacer member 213 is provided not only between the conveyance guide 370 and the extension region 114 but also between the extension region 114 and the magnetic conveyance unit 220. That is, at least two spacer members 213 are provided in at least two regions.

一方、搬送ガイド３７０は、少なくとも一部が一方向及びこれと向かい合う他の方向に移動する。例えば、蒸着チャンバー内の搬送ガイドは固定され、トラバースチャンバー内の搬送ガイドは可動である。すなわち、トラバースチャンバー内に設けられる搬送ガイドはトレイ１００が蒸着チャンバーから移動する場合、トレイ１００と第１間隔を維持してトレイ１００の搬送をガイドし、トレイ１００の搬送が終わって搬入チャンバーに向かって返送される場合、チャンバーの内壁に向かって移動してトレイ１００とは第１間隔よりも広い第２間隔を維持する。トラバースチャンバー内において搬送ガイドが移動することにより、トレイ１００の位置移動時にトレイ１００の移動マージンが大きくなる。すなわち、トレイ１００が磁力に影響されなくなって円滑なトラバース、すなわち、レーンが変更可能になる。このような搬送ガイド３７０が移動する基板搬送装置を図１０及び図１１を用いて説明すれば、下記の通りである。   On the other hand, the conveyance guide 370 moves at least partially in one direction and the other direction facing the one direction. For example, the transport guide in the deposition chamber is fixed, and the transport guide in the traverse chamber is movable. That is, when the tray 100 moves from the vapor deposition chamber, the conveyance guide provided in the traverse chamber guides the conveyance of the tray 100 while maintaining the first distance from the tray 100, and the conveyance of the tray 100 is finished and moves toward the loading chamber. When the paper is returned, it moves toward the inner wall of the chamber and maintains a second interval wider than the first interval from the tray 100. When the transport guide moves in the traverse chamber, the movement margin of the tray 100 increases when the position of the tray 100 moves. That is, the tray 100 is not affected by the magnetic force, and the smooth traverse, that is, the lane can be changed. A substrate transfer apparatus in which the transfer guide 370 moves will be described as follows with reference to FIGS.

図１０及び図１１を参照すると、本発明の第６実施形態による基板搬送装置は、基板を取り付けて搬送するトレイ１００と、トレイ１００の下部に設けられて磁気浮上を用いてトレイ１００を搬送する磁気搬送ユニット２００と、トレイ１００の下側に設けられてトレイ１００の搬送をガイドする搬送ガイド３７０を有するガイドユニット３００とを備える。搬送ガイド３７０は、向かい合う一方向及び他方向に移動可能であるが、トレイ１００に近付く方向及びトレイ１００から遠ざかる方向に移動可能である。このような移動可能な搬送ガイド３７０は、少なくともトラバースチャンバー内に設けられる。   Referring to FIGS. 10 and 11, the substrate transport apparatus according to the sixth embodiment of the present invention transports the tray 100 using the magnetic levitation provided at the bottom of the tray 100 and the tray 100 to which the substrate is attached and transported. A magnetic transport unit 200 and a guide unit 300 provided on the lower side of the tray 100 and having a transport guide 370 for guiding the transport of the tray 100 are provided. The conveyance guide 370 can move in one direction and the other direction facing each other, but can move in a direction approaching the tray 100 and a direction away from the tray 100. Such a movable conveyance guide 370 is provided at least in the traverse chamber.

搬送ガイド３７０は、垂直プレート３７１ａ及び水平プレート３７１ｂを備え、垂直プレート３７１ａが水平プレート３７１ｂの上側に設けられる。すなわち、垂直プレート３７１ａは、水平プレート３７１ｂの所定の領域から上方に垂直に設けられる。また、垂直プレート３７１ａには、トレイ１００の延長領域１１４に設けられる第７マグネット１１５に面するように少なくとも一つの第８マグネット３７２が設けられる。水平プレート３７１ｂは、垂直プレート３７１ａの下側に水平に設けられる。ここで、水平プレート３７１ｂの下側には移動部３９５が設けられる。移動部３９５は、下側の少なくとも一部の領域がガイドレール３９０を取り囲むように設けられ、ガイドレール３９０に沿って向かい合う一方向及び他方向に移動可能である。移動部３９５が移動するにつれて、その上側に配設される搬送ガイド３７０が移動する。ガイドレール３９０の下側には、支持部３８０が設けられる。支持部３８０は、ガイドレール３９０とその上側の搬送ガイド３７０を支持する。また、支持部３８０の内部には、移動部３９５を駆動するための駆動手段（図示せず）が設けられる。駆動手段としては、シリンダー、モーターなどが挙げられ、移動部３９５を、図１０に示すように、トレイ１００に近付く一方向に移動させ、且つ、図１１に示すように、トレイ１００から遠ざかる他の方向に移動させる。ここで、搬送ガイド３７０は、蒸着チャンバーからトレイ１００が搬送される場合、トレイ１００に近付く第１位置に位置する。ところが、トレイ１００を搬入チャンバーに向かって返送するためにレーンが変更される場合、すなわち、トラバースされる場合、駆動手段により移動部３９５が駆動されて搬送ガイド３７０がトレイ１００から遠ざかる方向に移動して第２位置に位置する。搬送ガイド３７０が移動した後、トレイ１００は持ち上げられた後にトラバースされて搬入チャンバーに向かって返送され、次いで、搬送ガイド３７０は再び第１位置に移動する。   The conveyance guide 370 includes a vertical plate 371a and a horizontal plate 371b, and the vertical plate 371a is provided above the horizontal plate 371b. That is, the vertical plate 371a is provided vertically upward from a predetermined region of the horizontal plate 371b. The vertical plate 371 a is provided with at least one eighth magnet 372 so as to face the seventh magnet 115 provided in the extension region 114 of the tray 100. The horizontal plate 371b is provided horizontally below the vertical plate 371a. Here, a moving unit 395 is provided below the horizontal plate 371b. The moving unit 395 is provided such that at least a part of the lower region surrounds the guide rail 390 and is movable in one direction and the other direction facing each other along the guide rail 390. As the moving unit 395 moves, the conveyance guide 370 disposed on the upper side thereof moves. A support portion 380 is provided below the guide rail 390. The support part 380 supports the guide rail 390 and the conveyance guide 370 on the upper side thereof. In addition, driving means (not shown) for driving the moving part 395 is provided inside the support part 380. Examples of the driving means include a cylinder, a motor, and the like. The moving unit 395 is moved in one direction approaching the tray 100 as shown in FIG. 10 and is moved away from the tray 100 as shown in FIG. Move in the direction. Here, the conveyance guide 370 is located in the 1st position which approaches the tray 100, when the tray 100 is conveyed from a vapor deposition chamber. However, when the lane is changed in order to return the tray 100 toward the carry-in chamber, that is, when traversed, the moving unit 395 is driven by the driving means, and the conveyance guide 370 moves away from the tray 100. In the second position. After the transport guide 370 is moved, the tray 100 is lifted and traversed and returned toward the loading chamber, and then the transport guide 370 is moved again to the first position.

一方、本発明の技術的思想は前記実施形態により具体的に記述されたが、前記実施形態はその説明のためのものであり、その制限のためのものではない。なお、本発明の技術分野における当業者は、本発明の技術思想の範囲内において種々の実施形態が採用可能であるということが理解できる筈である。   On the other hand, although the technical idea of the present invention has been specifically described by the embodiment, the embodiment is for the purpose of explanation and not for the limitation. It should be noted that those skilled in the art of the present invention can understand that various embodiments can be employed within the scope of the technical idea of the present invention.

１００ トレイ
１１０ 搬送基台
１１１ 第１領域
１１２ 第２領域
１１３ 第３領域
１１３ａ 水平部
１１３ｂ，１１３ｃ 垂直部
１１４ 延長領域
１１５ 第７マグネット
２００ 磁気搬送ユニット
２１０ 磁気浮上部
２１１ 第１磁気浮上手段
２１１ａ 第１固定部材
２１１ｂ 第１マグネット
２１１ｃ 第２マグネット
２１２ 第２磁気浮上手段
２１２ａ 第２固定部材
２１２ｂ 第３マグネット
２１２ｃ 第４マグネット
２１３ スペーサ部材
２１４ 支持手段
２２０ 磁気搬送部
２２１ 磁気回転手段
２２１ａ 回転軸
２２１ｂ 第５マグネット
２２２ 磁気搬送手段
２２２ａ 第３固定部材
２２２ｂ 第６マグネット
２２３ 収容手段
３００ ガイドユニット
３１０ 第１ガイドマグネット
３１１ 第１プレート
３２０ 第２ガイドマグネット
３２１ 第２プレート
３３０ 側面プレート
３４０ 第３ガイドマグネット
３５０ 第４ガイドマグネット
３６０ 第２スペーサ部材
３７０ 搬送ガイド
３７１ 垂直プレート
３７１ａ 垂直プレート
３７１ｂ 水平プレート
３７２ 第８マグネット
３８０ 支持部
３９０ ガイドレール
３９５ 移動部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Tray 110 Conveyance base 111 1st area | region 112 2nd area | region 113 3rd area | region 113a Horizontal part 113b, 113c Vertical part 114 Extension area | region 115 7th magnet 200 Magnetic conveyance unit 210 Magnetic floating part 211 1st magnetic levitation means 211a 1st Fixing member 211b First magnet 211c Second magnet 212 Second magnetic levitation means 212a Second fixing member 212b Third magnet 212c Fourth magnet 213 Spacer member 214 Support means 220 Magnetic transport section 221 Magnetic rotation means 221a Rotating shaft 221b Fifth magnet 222 Magnetic conveying means 222a Third fixing member 222b Sixth magnet 223 Accommodation means 300 Guide unit 310 First guide magnet 311 First plate 320 Second guide magnet 321 Second plate 330 Side plate 340 Third guide magnet 350 Fourth guide magnet 360 Second spacer member 370 Transport guide 371 Vertical plate 371a Vertical plate 371b Horizontal plate 372 Eight magnet 380 Supporting portion 390 Guide rail 395 Moving portion

Claims (15)

基板が載置されるトレイと、
前記トレイの下側に設けられ、前記トレイを磁気浮上させ、磁気力を用いて搬送する磁気搬送ユニットと、
前記トレイと接触されずに前記トレイの搬送をガイドするガイドユニットと、
を備える
ことを特徴とする基板搬送装置。 A tray on which substrates are placed;
A magnetic transport unit that is provided below the tray, levitates the tray, and transports it using magnetic force;
A guide unit that guides conveyance of the tray without being in contact with the tray;
The board | substrate conveyance apparatus characterized by the above-mentioned. 前記トレイの下側に接触されて設けられた接触領域と、前記接触領域の両側面から下側に延びた延長領域と、を有する搬送基台をさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。 2. The conveyance base according to claim 1, further comprising a contact area provided in contact with the lower side of the tray and an extended area extending downward from both side surfaces of the contact area. Substrate transfer device. 前記磁気搬送ユニットは、
前記搬送基台の一領域に設けられて前記トレイを磁気浮上させる磁気浮上部と、
前記磁気浮上部の下側に設けられて磁気力を用いて前記磁気浮上されたトレイを一方向に搬送する磁気搬送部と、
を備える
ことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。 The magnetic transport unit is
A magnetic levitation unit provided in a region of the transport base and magnetically levitating the tray;
A magnetic transport unit that is provided below the magnetic levitation unit and conveys the magnetically levitated tray in one direction using a magnetic force;
The substrate transfer apparatus according to claim 2, further comprising: 前記磁気浮上部は、
前記搬送基台に接触され、少なくとも一つのマグネットを有する第１磁気浮上手段と、
前記第１磁気浮上手段から離隔され、少なくとも一つのマグネットを有して前記第１磁気浮上手段と引力及び斥力の少なくともいずれか一方が働く第２磁気浮上手段と、
を備える
ことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。 The magnetic levitation is
First magnetic levitation means in contact with the transport base and having at least one magnet;
A second magnetic levitation means spaced from the first magnetic levitation means and having at least one magnet and acting on at least one of attraction and repulsion with the first magnetic levitation means;
The substrate transfer apparatus according to claim 3, further comprising: 前記磁気搬送部は、
回転軸と、前記回転軸を取り囲むように設けられた複数のマグネットとを有する磁気回転手段と、
前記磁気回転手段から離隔され、複数のマグネットを有する磁気搬送手段と、
を備える
ことを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。 The magnetic transport unit is
Magnetic rotating means having a rotating shaft and a plurality of magnets provided so as to surround the rotating shaft;
A magnetic conveying means spaced apart from the magnetic rotating means and having a plurality of magnets;
The board | substrate conveyance apparatus of Claim 4 characterized by the above-mentioned. 前記磁気回転手段を内部に収容し、上側に第２磁気浮上手段が接触される収容手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。 6. The substrate transfer apparatus according to claim 5, further comprising: a receiving unit that stores the magnetic rotating unit inside, and a second magnetic levitation unit that contacts the upper side. 前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、前記磁気回転手段に面する前記搬送基台の前記延長領域の少なくとも一領域に設けられる
ことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 6, wherein the plurality of magnets of the magnetic transfer means are provided in at least one area of the extended area of the transfer base facing the magnetic rotation means. 前記磁気回転手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記回転軸を所定の角度で取り囲むように設けられ、前記磁気搬送手段の複数のマグネットは、互いに異なる極性が交互に設けられて前記磁気回転手段のマグネットと同じ角度で設けられる
ことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。 The plurality of magnets of the magnetic rotation means are alternately provided with different polarities so as to surround the rotation shaft at a predetermined angle, and the plurality of magnets of the magnetic transport means are alternately provided with different polarities. The substrate transfer apparatus according to claim 7, wherein the substrate transfer device is provided at the same angle as the magnet of the magnetic rotating means. 前記ガイドユニットは、
前記トレイの上部に取り付けられる第１ガイドマグネットと、
前記第１ガイドマグネットから所定の間隔を隔ててチャンバーの上側壁に設けられた第２ガイドマグネットと、
を備え、
前記第１及び第２ガイドマグネットは、斥力及び引力の少なくともいずれか一方が働く
ことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。 The guide unit is
A first guide magnet attached to the top of the tray;
A second guide magnet provided on the upper side wall of the chamber at a predetermined interval from the first guide magnet;
With
The substrate transfer apparatus according to claim 3, wherein at least one of repulsive force and attractive force acts on the first and second guide magnets. 前記ガイドユニットは、前記トレイと前記チャンバーの内側壁との間に設けられる搬送ガイドをさらに備える
ことを特徴とする請求項９に記載の基板搬送装置。 The substrate transport apparatus according to claim 9, wherein the guide unit further includes a transport guide provided between the tray and an inner wall of the chamber. 前記搬送ガイドは、前記延長領域と前記チャンバーの内側壁との間に設けられる
ことを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 10, wherein the transfer guide is provided between the extension region and an inner wall of the chamber. 前記磁気搬送ユニットと前記ガイドユニットとの間の少なくとも一領域に設けられるスペーサ部材をさらに備える
ことを特徴とする請求項１１に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 11, further comprising a spacer member provided in at least one region between the magnetic transfer unit and the guide unit. 前記スペーサ部材は、前記延長領域と前記磁気浮上部との間及び前記延長領域と前記搬送ガイドとの間のうちの少なくとも一方の領域に設けられる
ことを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送装置。 The substrate transport according to claim 12, wherein the spacer member is provided in at least one region between the extension region and the magnetic levitation unit and between the extension region and the transport guide. apparatus. 前記搬送ガイドの少なくとも一部は、前記トレイに近付く方向及び前記トレイから遠ざかる方向に移動する
ことを特徴とする請求項１１に記載の基板搬送装置。 The substrate transfer apparatus according to claim 11, wherein at least a part of the transfer guide moves in a direction approaching the tray and a direction moving away from the tray. トラバースチャンバー内に設けられる前記搬送ガイドは、前記トレイの搬送時に前記トレイに近い第１位置に位置し、前記トレイの返送時に前記トレイから遠い第２位置に位置する
ことを特徴とする請求項１４に記載の基板搬送装置。 15. The conveyance guide provided in the traverse chamber is located at a first position close to the tray when the tray is conveyed, and is located at a second position far from the tray when the tray is returned. The board | substrate conveyance apparatus of description.
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