KR20100030004A - 기판 부착 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 베이스 플레이트(110);상기 베이스 플레이트(110) 상면 일 측에 고정 설치되며, 하부 기판(1)을 고정하는 고정 롤러 유닛(120);상기 고정 롤러 유닛(120)과 일정 거리를 두고 상기 베이스 플레이트(110) 상면 타 측에 이동 가능하게 설치되며, 상부 기판(2)을 고정하는 가동 롤러 유닛(130); 및상기 베이스 플레이트(110) 상에 설치되며, 상기 가동 롤러 유닛(130)을 전후좌우로 이동시키면서 상기 가동 롤러 유닛(130)을 상기 고정 롤러 유닛(120)에 근접시켜 상기 상부 기판(2)과 상기 하부 기판(1)이 일정한 셀 갭을 유지한 상태로, 상기 상부 기판(2)과 상기 하부 기판(1) 중 어느 한쪽에 부착된 양면 접착 부재(3)를 통해서 상기 상부 기판(2)과 상기 하부 기판(1)을 서로 부착하도록 하는 가동 롤러 이송 유닛(140);을 포함하여 이루어지는 기판 부착장치.
- 제1항에 있어서,상기 고정 롤러 유닛(120)은상기 베이스 플레이트(110) 상에 일정간격을 두고 설치되는 한 쌍의 고정 롤러 지지 브래킷(121);상기 고정 롤러 지지 브래킷(121)에 회전 가능하게 설치되며, 외주 면에 하부 기판(1)이 안착되는 안착부(122)가 형성되고, 상기 안착부(122)에는 하부 기판(1)을 흡착하기 위한 다수의 진공 홀(123a)이 형성되는 고정 롤러(123);상기 고정 롤러(123)를 회전시키는 고정 롤러 구동모터(125); 및상기 안착부(122)에 안착된 상기 하부 기판(1)의 위치를 셋팅하기 위해 상기 고정 롤러(123)의 내부에 설치되는 하부 기판 셋팅 핀(127);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 부착장치.
- 제1항에 있어서,상기 가동 롤러 이송 유닛(140)은상기 가동 롤러 유닛(130)의 전후방향 이동을 위해 상기 베이스 플레이트(110)의 상면에 설치되는 전후방향 이송 스크류(141);상기 전후방향 이송 스크류(141)에 결합되는 전후방향 가동 플레이트(142);상기 전후방향 이송 스크류(141)를 구동하여 상기 전후방향 가동 플레이트(142)를 전후방향으로 구동시키는 제1 서보모터(143);상기 가동 롤러 유닛(130)의 좌우방향 이동을 위해 상기 전후방향 가동 플레이트(142) 상면에 설치되는 좌우방향 이송 스크류(144);상기 좌우방향 이송 스크류(144)에 결합되는 좌우방향 가동 플레이트(145); 및상기 좌우방향 이송 스크류(144)를 구동하여 상기 좌우방향 가동 플레이트(145)를 좌우방향으로 구동시키는 제2 서보모터(146);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 부착장치.
- 제3항에 있어서,상기 베이스 플레이트(110)와 상기 전후방향 가동 플레이트(142) 그리고 상기 전후방향 가동 플레이트(142)와 상기 좌우방향 가동 플레이트(145) 사이에는 가이드 부(G1)(G2)가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 부착장치.
- 제3항에 있어서,상기 가동 롤러 유닛(130)은상기 좌우방향 가동 플레이트(145)의 상에 일정간격을 두고 설치되는 한 쌍의 롤러 지지 브래킷(131);상기 롤러 지지 브래킷(131)에 회전 가능하게 설치되며, 외주 면에 상부 기판(2)이 안착되는 안착부(132)가 형성되고, 상기 안착부(132)에는 상기 상부 기판(2)을 흡착하기 위한 다수의 진공 홀(133a)이 형성되는 가동 롤러(133);상기 가동 롤러(133)를 회전시키는 가동 롤러 구동모터(135); 및상기 안착부(132)에 안착된 상기 상부 기판(2)의 위치를 셋팅하기 위해 상기 가동 롤러(133)의 내부에 설치되는 상부 기판 셋팅 핀(137);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 부착장치.
- 제2항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 홀(123a)(133a)에는 진공 라인이 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 부착 장치.
- 하부 기판 셋팅 핀을 이용하여, 하부 기판을 고정 롤러 유닛의 안착부에 안착시키고 그 위치를 셋팅하는 단계(S10);상부 기판 셋팅 핀을 이용하여, 상부 기판을 가동 롤러 유닛의 안착부에 안착시키고 그 위치를 셋팅하는 단계(S20);상기 안착부에 형성된 진공 홀을 통해 상기 하부 기판을 진공 흡착하여 상기 안착부에 고정하는 단계(S30);상기 안착부에 형성된 진공 홀을 통해 상기 상부 기판을 진공 흡착하여 상기 안착부에 고정하는 단계(S40);가동 롤러 이송 유닛의 제1 서보모터와 제2 서보모터를 구동하여, 상기 가동 롤러 유닛을 전후좌우로 이송시키면서 상기 고정 롤러 유닛에 근접시키는 단계(S50); 및상기 가동 롤러 유닛의 가동 롤러와 상기 고정 롤러 유닛의 고정 롤러를 일정각도로 회전시켜서 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 서로 부착하는 단계(S60);를 포함하여 이루어지는 기판 부착방법.
- 제7항에 있어서,상기 하부 기판과 상기 상부 기판 중 어느 하나의 기판에는 양면 접착 부재가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 부착방법.
- 제7항에 있어서,상기 가동 롤러 유닛을 전후좌우로 이송시키면서 상기 고정 롤러 유닛에 근접시키는 단계(S50)에서는,상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 항상 일정한 셀 갭을 유지한 상태에서 부착될 수 있도록 상기 가동 롤러 유닛을 상기 고정 롤러 유닛에 근접시키는 것을 특징으로 하는 기판 부착방법.
- 제7항에 있어서,상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 서로 부착하는 단계(S60)에서는,상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 서로 부착되는 순간에 그 부착위치에 해당하는 진공 홀의 진공을 순차적으로 해제하는 것을 특징으로 하는 기판 부착방법.
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