KR20090064557A

KR20090064557A - 샘플의 표면을 관찰하기 위한 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20090064557A
Application number: KR1020097006757A
Authority: KR
Inventors: 십케 바트만
Original assignee: 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
Priority date: 2006-10-05
Filing date: 2007-09-28
Publication date: 2009-06-19
Also published as: EP2074408A1; BRPI0718200A2; BRPI0718200A8; RU2009116927A; CN101523195B; CN101523195A; RU2473887C2; JP2010506163A; JP5411698B2; US20100091291A1; WO2008041162A1; KR101396146B1; US8077319B2

Abstract

샘플(1)의 표면(2)의 외관을 관찰하기 위한 장치로서, 미리 결정된 방향으로부터 상기 표면(2)을 조명하기 위한 광원(11) 및 상기 표면(2)을 관찰하기 위한 수단을 포함하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치이다. 표면(2)을 관찰하는 수단은 상기 표면(2)에 대해 상이한 방향에 위치하는 다수의 실질적으로 평평한 거울들(8)을 포함한다. 상기 수단은 또한 상기 평평한 거울들(8)을 관찰하기 위한 광학 시스템(6, 14)을 포함한다. 각각의 평평한 거울(8)은 샘플(1)의 표면(2)의 이미지를 광학 시스템(6,14)의 이미지 수신 부분(6)으로 반사시킨다.

Description

샘플의 표면을 관찰하기 위한 장치 및 방법{AN APPARATUS AND A METHOD FOR OBSERVING THE SURFACE OF A SAMPLE}

본 발명은 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치와 관련이 있으며, 상기 장치는 미리 결정된 방향으로부터 상기 표면을 조명하기 위한 광원(light source)과 상기 표면을 관찰하기 위한 수단을 포함한다.

본 명세서에서 외관(appearance)이라는 표현은 샘플의 표면의 양상(aspect) 및/또는 특성(property)과, 표면의 고저(relief), 표면의 색, 표면의 광 반사 및 광 흡수 특성 등을 포함하는, 그 외관의 관찰자의 지각(perception)의 각각의 조합을 위해 사용되었다. 관찰(observing)은 일반적인 표현이며, 상기 표현은 표면의 외관의 검사(inspecting) 및/또는 기록(recording) 및/또는 분석(analyzing)을 포함할 수도 있다.

샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위해, 상기 표면은 특정한 방향에서 관찰될 수 있으며, 이에 의해, 광 빔이 다른 방향으로부터 그 표면으로 향해진다. 그에 의해, 그 광의 방향과 강도(intensity)와 색, 그리고 그 표면을 향하는 시야(view)의 방향에 의존하여, 상기 표면에 대한 상이한 정보가 얻어질 수 있다. 관찰되는 외관은 피부 위의 털 등과 같은 표면의 결(texture) 및/또는 고저 또는 돌출 또는 돌기 를 포함할 수 있으며, 표면 자체가 다소간 반투명인 경우, 상기 표면 밑, 즉 부 표면(sub-surface)의 결 및/또는 색 및/또는 형태(morphology)를 포함할 수 있다. 관찰은 기록되고/되거나 분석될 수 있다.

비접촉(non-contact) 및 비섭동(non-perturbing) 감시(monitor) 기술은 표면 및 부 표면의 형태를 측정(determine)하기 위한 많은 기술의 분야에서 유용하다. 또한, 이러한 기술을 이용하여, 기하학적 모양을 갖는, 물질 결함(material defect) 또는 다른 형상들의 유형 및 밀도가 특성화될 수 있다. 이러한 기술의 다른 용도는 사람의 피부의 특성 및 상태의 분석이다. 상이한 태양 조명 및 시야 각도에서의 지구의 공중 및 우주 사진 상에 나타나는 표면들의 광학적 특성들의 조정(calibration)을 위해 이 장치를 이용하는 것이 또한 가능하다. 그러한 목적을 위해, 지구의 표면의 영역들, 예컨대 상이한 종류의 토양, 도로 포장(road sealing) 또는 식물(vegetation)이 이러한 장치에 의해 관찰될 수 있으며, 그러한 관찰은 지구의 표면의 사진들과 비교될 수 있다.

특히 형태의 상세함(detail)이 분석되어야 할 때, 상이한 방향들로부터 표면의 외관을 관찰하는 것이 바람직하며, 이를 통해, 광원은 또한 하나 이상의 미리 결정된 방향들(표면의 평면에 대한 상이한 각도들)로부터 상기 표면을 조명할 수도 있다.

특히 상대적으로 큰 대상(object), 예컨대 인체의 피부의 한 부분의 표면이 관찰되어야 할 때, 샘플을 장치 내부에 배치시키는 것은 가능하지 않다. 그러한 경우, 상기 장치는 샘플 또는 상기 샘플의 한 부분 위에, 또는 상기 샘플 또는 상기 샘플의 한 부분을 향하여 배치되어야 하며, 관찰되어야 할 표면의 위치는 상기 장치의 외부 쪽에 있다.

본 발명의 목적은 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치이며, 이는 미리 결정된 방향으로부터 표면을 조명하기 위한 광원들 포함하고, 이를 통해, 샘플의 분석이 하나의 관찰에 기초를 둘 수 있도록, 상기 표면은 많은 상이한 방향들로부터 동시에 관찰된다.

본 발명의 다른 목적은 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치이며, 이는 미리 결정된 방향으로부터 상기 표면을 조명하기 위한 광원들을 포함하고, 상기 표면은 상이한 방향들로부터 동시에 관찰되며, 샘플은 상기 장치의 외부 쪽에 위치할 수 있다.

이러한 목적들 중의 하나 또는 둘 모두를 달성하기 위해, 표면을 관찰하는 수단은 관찰될 표면에 대해 상이한 방향들에 위치하는 다수의 실질적으로 평평한 거울 및 평평한 거울을 관찰하기 위한 광학 시스템을 포함하며, 이를 통해, 각각의 평평한 거울은 광학 시스템의 이미지(image) 수신 부분, 즉 렌즈 또는 거울 등과 같은 부분으로 샘플의 표면의 이미지를 반사시킨다. 그에 의해, 평평한 거울들의 위치는 고정되거나 또는 조정 가능할 수 있다. 거울들은 실질적으로 평평한데, 즉 거울들은 평평하거나 또는 그 거울들이 광학 시스템의 이미지 수신 부분을 향해 반사시키는 이미지를 확대시키거나 축소시키기 위해 평평한 형태에서 다소 벗어난다. 그러므로, 상기 거울들은 다소 볼록하거나 오목할 수도 있다. 그럼에도 불구하고, 본 설명에서 상기 거울들은 평평한 거울들로 지시될 것이다.

한 선호되는 실시예에서, 평평한 거울들은 관찰될 표면의 위치로부터 실질적으로 동일한 거리에, 즉 상기 표면의 위치 위에 있는 가상의 구면 돔(spherical dome)의 표면 근처에 위치하며, 이에 의해, 상기 표면의 위치는 돔의 중앙이다. 그에 의해, 평평한 거울들은 한 선, 즉 가상의 돔의 표면에 있는 한 원의 한 부분을 따라서 위치할 수 있으며, 또는 평평한 거울들은 상기 표면에 있는 격자(grid)에, 즉 가상의 돔의 표면 위에 분포되어(distributed), 위치할 수 있다. 상기 평평한 거울들의 위치들의 모든 다른 분포가 가능하다.

바람직하게, 평평한 거울들은, 평평한 거울들에 의해 반사되는 이미지들을 수신하는 광학 시스템의 이미지 수신 부분, 즉 렌즈 또는 거울 또는 이와 같은 부분으로부터 실질적으로 동일한 거리에 위치한다. 상술된 대로 평평한 거울들이 가상의 구면의 돔의 표면 근처에 위치하는 경우, 광학 시스템의 이미지 수신 부분은, 관찰될 표면과 같이, 돔의 중앙 근처에 위치하게 된다. 그에 의해, 이미지들이 비교 가능하도록, 광학 시스템은 상이한 거울들을 통해 동일한 거리로부터 상기 표면을 관찰한다.

한 선호되는 실시예에서, 광학 시스템의 이미지 수신 부분과 관찰될 표면은 서로 가까이 위치하며, 이에 의해, 관찰될 표면의 위치와 평평한 거울 사이의 평균 거리는, 관찰될 표면의 위치와 광학 시스템의 이미지 수신 부분의 위치 사이의 거리의 열 배 이상, 바람직하게 열 다섯 배 이상이다. 관찰될 표면의 위치와 상기 표면의 이미지를 수신하는 렌즈 또는 거울의 위치가 서로 가까울 때, 모든 평평한 거울은 상기 두 위치 모두로부터 실질적으로 동일한 거리에 위치할 수 있으며, 이에 의해, 광학 시스템은 실질적으로 동일한 거리로부터 모든 평평한 거울을 통해 상기 표면을 관찰한다.

광학 시스템에는, 상이한 방향들로부터 표면의 모든 이미지들을 수신하기 위해, 이른바 어안 렌즈(fish-eye lens) 또는 광각 렌즈(wide angle lens)인, 볼록 렌즈가 제공될 수도 있다. 그러나, 한 선호되는 실시예에서, 광학 시스템의 이미지 수신 부분은 실질적으로 구면 거울, 바람직하게 볼록 거울이며, 이에 의해, 상기 구면 거울을 통해 상기 표면의 상이한 이미지들이 관찰될 수 있도록, 평평한 거울들은 구면 거울을 향해 상기 표면의 이미지들을 반사시킨다. 그러한 거울의 반사시키는 표면은, 그러한 거울을 볼 때 그 거울 주위의 광각 시야가 보일 수 있도록, 실질적으로 구(globe)의 일부의 모양을 가지고 있다.

이미지들을 수신하기 위해 거울을 사용함으로써, 장치는, 광원과 평평한 거울들 그리고 상기 거울들을 포함하는 광학 시스템이, 관찰될 표면의 위치를 통과하는 한 평면의 한 쪽에 위치될 수 있는 방법으로, 설계될 수 있다. 그에 의해, 상대적으로 큰 샘플의 표면의 일부가 관찰될 수 있도록, 상기 장치가 샘플을 향해 배치될 수 있거나 또는 샘플이 상기 장치를 향해 배치될 수 있는 방법으로 설계될 수 있다. 상기 장치는 인체의 피부 위에 배치될 수 있는 핸드 헬드(hand-held) 디바이스로서 설계될 수 있다.

표면의 전체적인 분석을 하기 위해, 관찰될 표면의 상세함이 광학 시스템에 의해 많은 방향들로부터 동시에 보이도록, 바람직하게, 다섯 개 이상의 평평한 거울들이 제공되며, 더욱 바람직하게, 아홉 개 이상의 거울이 제공된다.

한 선호되는 실시예에서, 광학 시스템은 표면의 표현(representation)을 기록하기 위한 카메라를 포함하며, 상기 표현은, 상이한 방향들로부터 찍힌, 관찰될 표면의 많은 이미지를 포함하고, 이에 의해, 카메라 및 광원은 고정된 위치를 갖는다.

바람직하게, 샘플의 표면이 미리 결정된 상이한 방향들로부터 조명될 수 있도록, 즉 입사되는 광 빔이 상이한 각도들에서 샘플의 표면에 닿도록(hit) 광원의 위치는 조정 가능하다. 그에 의해, 카메라는 표현들을 기록할 수 있으며, 이를 통해, 상기 표면의 더욱 많은 정보가 얻어질 수 있도록 상기 표면은 상이하게 조명된다.

한 선호되는 실시예에서, 장치는 평평한 거울들 앞에 위치하는 구면 스크린을 포함하고, 상기 스크린에는 광 빔이 통과할 수 있는 하나 이상의 개구부(opening)들이 제공되며, 그리고 광학 시스템의 이미지 수신 부분이 관찰될 수 있는 하나의 개구부가 제공된다. 구면 스크린은, 확산성 물질(diffuse material)로 만들어진, 제거할 수 있는(removable) 돔일 수 있다. 그에 의해, 상기 장치는 추가적으로, 예컨대 WO-A-2004/077032에 설명된 장치인, 스캐터로미터(scatterometer)로서 사용될 수 있으며, 스캐터로미터는 또한 한 표면의 특성들을 분석하기 위한 장치이다. 그에 의해, 샘플의 표면의 이미지들 대신, 상기 표면으로부터 상이한 방향들에서의, 광 반사(복사)가 기록될 수 있으며, 이는 샘플의 표면의 양상들 및 특성들을 검출하고 분석하기 위한 다른 기술이다. 카메라가, 평평한 거울들을 통해 보이는, 관찰될 표면의 다수의 이미지와, 구면 스크린의 확산성인 부분을 향하는 미리 결정된 방향에서 관찰될 표면의 복사를 나타내는 하나 이상의 이미지를 포함하는, 하나의 사진을 찍을 수 있도록, 돔은 또한 부분적으로 확산성일 수 있다.

바람직하게, 구면 스크린은, 전자 명령 시에(on electronic command) 확산성으로 만들어질 수 있는 물질로 코팅된 투명한 재료로 만들어질 수 있다. 그에 의해, 장치가 스캐터로미터로 사용될 수 있도록 그리고 상술된 대로 상이한 방향들로부터 표면을 관찰하기 위해 사용될 수 있도록, 구면 스크린에 상기 코팅이 완전히 제공될 수 있다. 한 선호되는 실시예에서, 코팅은 스크린의 하나 이상의 위치에 적용될 수 있으며, 이는, 전자 명령 시에, 확산성 영역들과 투명한 영역들이 제공될 수 있는 돔을 초래한다.

확산성으로 만들어지거나 또는 전자 명령 시에 확산성으로 만들어질 수 있는 코팅이 알려져 있으며, 예컨대 중합체 분산 액정(PDLC: polymer-dispersed liquid crystals)으로 알려져있다. 전계를 이용하여 액정 분자들의 방위를 바꿈으로써 상기 물질의 투명한 정도가 달라질 수 있다.

본 발명은 또한 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 방법과 관련이 있으며, 이에 의해, 한 광원은 미리 결정된 방향으로부터 상기 표면을 조명하며, 상기 표면은 다른 방향으로부터 관찰되고, 이에 의해, 상기 표면은, 상기 표면에 대해 상이한 방향들에 위치하는 다수의 실질적으로 평평한 거울을 통해 관찰되며, 이에 의해, 각각의 평평한 거울은 샘플의 표면의 이미지를, 바람직하게 볼록 구면 거울인, 상기 표면을 관찰하는 광학 시스템의 이미지 수신 부분으로 반사시킨다.

본 발명은 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치의 두 실시예들의 설명에 의해 이제 더욱 명료해질 것이며, 이에 의해, 세 개의 개략적 도안들을 포함하는 도면을 참조한다.

도 1은 제 1 실시예를 도시하는 도면.

도 2는 카메라에 의해 기록되는 사진을 표시하는 도면.

도 3은 구면 스크린이 제공되는 제 2 실시예를 도시하는 도면.

상기의 세 개의 도면들은, 오직 본 발명의 설명과 관련이 있는 장치의 부분들만을 도시하는, 단지 개략적이며 도식적인 표현들이다. 상기 두 개의 실시예를 설명할 때, 도면에서, 유사한 부분들은 동일한 참조 번호들로 지시된다.

도 1은 장치의 제 1 실시예의 원리를 개략적 단면도로 도시한다. 도 1은 표면(2)을 기록하고 분석하기 위해 관찰될 표면(2)을 갖는 샘플(1)을 도식적으로 표현한다. 샘플(1)은 상기 표면(2)을 관찰하기 위한 상기 장치의 기초 기판(base substrate)(3) 밑에 위치한다. 기초 기판(3)은 원형 외부 가장자리(circular outer egde)(4) 및 중앙 개구부(5)를 갖는다. 상기 표면(2)은 개구부(5) 내에 위치한다. 볼록 구면 거울(6)은 기초 기판(3) 위에 제공되며 개구부(5)에 가깝게 위치한다. 기초 기판(3)의 원형 가장자리(4)는 대시 선(dashed line)(7)으로 지시된 반구면 프레임(half-spherical frame)으로 연결된다. 프레임(7)은 다수의 평평한 거울들(8)을 갖추며(carry), 거울들(8)은 프레임(7)의 내부 표면 위에 분포된다. 각각 의 평평한 거울(8)은, 대시-점-선(dash-dot-lines)(9, 10)으로 지시된 것과 같이, 각각의 거울이 샘플(1)의 표면(2)의 이미지를 볼록 거울(6)을 향해 반사시키는 방법으로 배치된다.

표면(2)은 광원(11)에 의해 조명되며, 광원(11)은 프레임(7) 외부에 위치한다. 광원(11)은 그 광원의 광 빔(12)(두 개의 대시 선으로 지시됨)을 거울(8)이 제공되지 않는 위치에 있는 프레임(7) 내의 개구부(13)를 통과하여 향하게 한다. 또한, 카메라(14)는 프레임(7) 외부에 제공되며, 상기 카메라(14)는 거울(8)이 제공되지 않는 위치에 있는 프레임(7) 내의 개구부(15)를 통과하여 볼록 거울(6)로 향해진다. 카메라(14)의 시야 방향은 대시-점-선(16)으로 지시된다.

상기 설명된 장치에서, 카메라(14)는 도 2에 도시된 것과 같이 사진을 찍을 수 있다. 사진은 샘플(1)의 표면(2)의 다수의 이미지들(23)을 포함하며, 이에 의해, 각각의 이미지(23)는 평평한 거울들(8) 중의 하나를 통해, 따라서 다른 방향으로부터, 보여진다. 상기 표면(2)의 분석은 도 2에 도시된 상이한 이미지들(23)을 포함하는 사진을 기초로 하여 이루어질 수 있다. 도 2의 사진에서, 이미지(23)가 제공되지 않는 세 개의 위치가 존재한다. 거울(8)이 제공되지 않는 프레임(7) 내의 제 1 개구부는 위치(24)에 있으며, 상기 개구부를 통해 상기 표면은(2), 상기 표면(2)에 수직인 빔에 의한 광원(11)에 의해 조명될 수 있다. 프레임(7) 내의 한 개구부는 특정한 각도에서 상기 표면(2)을 조명하기 위해 위치(25)에 있다. 그리고 프레임(7) 내의 한 개구부는 위치(26)에 있으며, 상기 개구부를 통해 카메라(14)가 사진을 찍었다. 한 대안으로서, 평평한 거울들 사이에 놓이는 작은 광원들의 배열 을 설치하는 것이 또한 가능하며, 이에 의해, 광원들은 개별적으로 켜지거나 꺼지도록 전환될 수 있다.

도 3은 도 1에 도시된 것과 동일한 장치를 도시하며, 그러나, 제거 가능한 반구면 스크린(17)이 프레임(7)과 거울들(8) 앞에 제공된다. 광원(11)의 빔(12)의 반사가 스크린(17) 위로 투영되도록(projected), 스크린(17)은 확산성 물질로 만들어진다. 그에 의해, 카메라(14)에 의해 찍히는 사진이 실질적으로 스크린(17) 전체의 외관을 나타내도록 하기 위해, 볼록 거울(6)은 스크린(17)의 내부 표면의 외관을 카메라(14)로 반사시킨다. 그러므로, 찍히는 사진은 거의 모든 방향에서의 표면(2)의 반사된 복사를 포함한다. 대시-점-선(18)은 한 방향의 그러한 복사를 표현하며, 대시-점-선(19, 20)에 의해 지시된 것과 같이, 볼록 거울(6)을 통해, 상기 복사의 색과 강도가 카메라(14)에게 보여진다. 스크린(17)은 개구부(21)를 가지며, 상기 개구부(21)를 통해 광 빔(12)이 통과할 수 있고, 카메라(14)가 볼록 거울(6)을 볼 수 있도록 개구부(22)를 갖는다. 스크린(17)의 내부 표면의 외관을 기초로 하여, 샘플(1)의 표면(2)의 그 이상의(further) 분석이 이루어질 수 있다.

상술된 두 실시예들은 오직 본 발명에 따른 장치의 예시들일 뿐이며 많은 다른 실시예들이 가능하다.

본 발명은 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치에 이용 가능하며, 본 발명은 또한 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 방법에 이용 가능하다.

Claims

샘플(1)의 표면(2)의 외관을 관찰하기 위한 장치로서, 미리 결정된 방향으로부터 상기 표면(2)을 조명하기 위한 광원(11) 및 상기 표면(2)을 관찰하기 위한 수단을 포함하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치에 있어서,

상기 표면(2)을 관찰하는 수단은, 상기 표면(2)에 대해 상이한 방향들에 위치하는, 다수의 실질적으로 평평한 거울들(8) 및 상기 평평한 거울들(8)을 관찰하기 위한 광학 시스템(6, 14)을 포함하며, 이를 통해, 각각의 평평한 거울(8)은 상기 샘플(1)의 표면의 한 이미지를 상기 광학 시스템(6, 14)의 이미지 수신 부분(6)으로 반사시키는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항에 있어서, 상기 평평한 거울들(8)은 관찰될 표면(2)의 위치로부터 실질적으로 동일한 거리들에 위치하는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 평평한 거울들(8)은 상기 광학 시스템(6, 14)의 이미지 수신 부분(6)으로부터 실질적으로 동일한 거리들에 위치하는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 시스템(6, 14)의 이미 지 수신 부분(6)과 관찰될 표면(2)은 서로 가까이 위치하며, 이를 통해, 관찰될 표면(2)과 평평한 거울(8)의 위치 사이의 평균 거리는, 관찰될 표면(2)의 위치와 상기 광학 시스템(6, 14)의 이미지 수신 부분(6) 사이의 거리의 열 배 이상인 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 시스템(6, 14)의 이미지 수신 부분은 구면 거울(6)이며, 이를 통해, 상기 표면(2)의 상이한 이미지들(23)이 상기 구면 거울(6)을 통해 관찰될 수 있도록, 상기 평평한 거울들(8)은 상기 표면(2)의 이미지들(23)을 상기 구면 거울(6)을 향해 반사시키는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 다섯 개 이상의 평평한 거울들(8)이 제공되는, 바람직하게, 아홉 개 이상의 거울(8)이 제공되는, 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 시스템은 상기 표면(2)의 표현(representation)을 기록하기 위한 카메라(14)를 포함하며, 상기 표현은, 상이한 방향들로부터 찍힌, 관찰될 표면(2)의 이미지들(23)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 샘플(1)의 표면(2)이 상이한 미리 결정된 방향들로부터 조명될 수 있도록 상기 광원(11)의 위치는 조정 가능한 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 평평한 거울들(8) 앞에 위치하는 구면 스크린(17)을 포함하며, 상기 스크린(17)에는 광 빔(12)이 통과할 수 있는 하나 이상의 개구부(21)와 상기 광학 시스템(6, 14)의 이미지 수신 부분(6)이 관찰될 수 있는 하나의 개구부(22)가 제공되는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
제9항에 있어서, 상기 구면 스크린(17)은 전자 명령 시에(on electronic command) 확산성(diffuse)으로 만들어질 수 있는 물질로 코팅된 투명한 물질로 만들어지는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 장치.
샘플(1)의 표면(2)의 외관을 관찰하기 위한 방법으로서, 이를 통해, 광원(11)은 미리 결정된 방향으로부터 상기 표면(2)을 조명하며, 상기 표면(2)은 다른 방향으로부터 관찰되는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 방법에 있어서,

상기 표면(2)은, 상기 표면(2)에 대해 상이한 방향에 위치하는 다수의 실질적으로 평평한 거울들(8)을 통해 관찰되며, 이를 통해, 각각의 평평한 거울(8)은 상기 샘플(1)의 표면(2)의 이미지(23)를 상기 표면(2)을 관찰하는 광학 시스템의 이미지 수신 부분(6)으로 반사시키는 것을 특징으로 하는, 샘플의 표면의 외관을 관찰하기 위한 방법.