SU1326004A1

SU1326004A1 - Устройство дл контрол дефектов оптических поверхностей

Info

Publication number: SU1326004A1
Application number: SU853935286A
Authority: SU
Inventors: В.А. Стерлигов; Ю.В. Суббота; Ю.М. Ширшов
Original assignee: Институт Полупроводников Ан Усср
Priority date: 1985-07-30
Filing date: 1985-07-30
Publication date: 1990-07-23

Abstract

Изобретение относитс к метрологии поверхностей оптического качества и может примен тьс в микроэлектронике дл контрол поверхностных загр зиений полупроводниковых пластин, а также в оптическом производстве дл определени класса обработки оптических поверхиостей. Изобретение позвол ет получить изображение контролируемой поверхности в свете, рассе нном поверхностными дефектами. Повышение чувствительности прибора и устранение анизотропии чувствительности относ1 гтельно ориентации дефектов на контролируемой поверхности реализуетс путем вьтол- нени системы сбора рассе нного спета из двух вогнутьк зеркальных поверхностей , расположенных соосно навстречу друг другу так, что держатель образца находитс вблизи фокальной - плоскости зеркала с отверстием дл ввода падающего и вывода отраженного света, а фотоприёмник - вблизи фокальной плоскости другого зеркала. Сканирующее устройства, расположенное в фокусе системы фокусировки, формирует через отверстие в зеркале световой растр на контролируемой поверхности , при попадании сканируемого пучка на дефект pacceHBaeMbrfl им свет зеркалом преобразуетс в световой пучок, близкий к параллельному, а второе зеркало из него формирует изображение дефекта на поверхности фотоприемиика. I ил. g СО со ю С35 о о N{

Description

Изобретение относитс к контролй поверхности оптического качества и может примен тьс в микроэлектронике дл контрол поверхностных загр знений полупроводниковых пластин.

Цепью изобретени вл етс повышение чувствительности устройства и устранение анизотропии чувствительности относительно ориентации дефектов иа контролируемой поверхности.

На чертеже изображена схема устройства . Устройство содержит источник I излучени , коллиматор 2, двумерное сканирующее устройство 3, фиксирующий объектив Л, держатель 5 образца, вогнутое зеркало 6 с отверстием дл ввода и вывода отраженного излучени , вогнутое зеркало 7, фотоприемник 8, плоское зеркало 9, дополнительное наклонное зеркало 10 и дополнительный фотоприемник II.

Устройство работает следующим образом .

Излучение от источника 1 расшир етс до необходимого размера коллиматором 2 и двумерным сканирующим устройством 3 разворачиваетс в растр вдоль взаимно перпендикул рных направлений , а затем фокусирующим объективом 4 фокусируетс на иссле- дуем.ую поверхность, установленную в держателе 5. Свет, рассе нньш дефектом , наход щимс на исследуемой поверхности , преобразуетс зеркалом 6 в пучок, близкий.к параллельному, который затем зеркалом 7 фокусируетс в изображение дефекта на поверхности фотоприемника 8. При контроле . .прозрачных деталей прошедшие пучки света вьгаод тс из схемы после отражени от плоского зеркала 9.

При наличии поверхностных дефек- тов с размерами, значительно превышающими длину волны источника света, рассе нный свет направлен в основном под Малыми углами к отраженному пучку и выходит из отверсти в зеркале 6, что уменьшает . чувствительность системы регистрации. В зтом случае рассе нный свет собираетс дополнительным наклонным зеркалом 10 на поверхность

15

20

плоскости зеркала, можно согласовать размеры исследуемой поверхности и фотокатода фотоприемиика. В устройст ве рост чувствительности происходит за счет того, что практически весь рассе нный дефектом свет (не учиты- ва малые потери на отражение от поверхности зеркал 6 и 7) фокусируетс

Q на поверхность фотоприемника путем преобразовани расход щегос пучка в параллельньй пучок, переноса на второе зеркало и фокусировки на фото приемник. Особенно повышаетс чувствительность при регистрации частиц, размер которых гораздо меньше длины волны излучени , характеризуемых широкой индикатриссой рассе ни малой амплитуды. В силу осевой Ьимметрии устройства его чувствительность не. зависит от анизотропии индикатриссы рассе ни , например, царапин либо ограненных частиц.

Из-за того, что система сбора рас

25 се нного света в устройстве дрлжна лишь передать рассе нную энергию на фотоприемник, а качество изображени при зтом может быть низким, в схеме возможно применение сферических зер30 кал низкого качества без потери по- ложительного эффекта.

Claims

Формула изобретени

25 Устройство дл контрол дефектов оптических поверхностей, содержащее источник излучени , установленные последовательно, по ходу излучени коллиматор, двумерное сканирующее

(50 устройство, фокусирующий объектив, держатель образца, фотопрнемник, отличающеес тем, что, с целью повьппени чувствительности устройства и устранени анизотропии

45 чувствительности относительно ориентации дефектов на контролируемой поверхности, за фокусирующим объективом дополнительно установлены два вогнутых зеркала, расположенных со50 осио вогнутыми поверхност ми друг к другу, причем первое по ходу излучени зеркало выполнено с отверстием дл ввода и вывода излучени , двумерное сканирующее устройство располо-

дополнительного фотоприемника 11, что 55 жено в передней фокальной плоскости коьшенсирует снижение чувствитель-фокусирующего объектива, а держатель

ности системы регистрации.образца и фотоприемник - в фокальньпс

Мен положение исследуе юй по-плоскост х первого и второго вогнуверхности относительно фокальнойтых зеркал соответственно.

плоскости зеркала, можно согласовать размеры исследуемой поверхности и фотокатода фотоприемиика. В устройстве рост чувствительности происходит за счет того, что практически весь рассе нный дефектом свет (не учиты- ва малые потери на отражение от поверхности зеркал 6 и 7) фокусируетс

на поверхность фотоприемника путем преобразовани расход щегос пучка в параллельньй пучок, переноса на второе зеркало и фокусировки на фотоприемник . Особенно повышаетс чувствительность при регистрации частиц, размер которых гораздо меньше длины волны излучени , характеризуемых широкой индикатриссой рассе ни малой амплитуды. В силу осевой Ьимметрии устройства его чувствительность не. зависит от анизотропии индикатриссы рассе ни , например, царапин либо ограненных частиц.

Из-за того, что система сбора рассе нного света в устройстве дрлжна лишь передать рассе нную энергию на фотоприемник, а качество изображени при зтом может быть низким, в схеме возможно применение сферических зеркал низкого качества без потери по- ложительного эффекта.

Формула изобретени

Устройство дл контрол дефектов оптических поверхностей, содержащее источник излучени , установленные последовательно, по ходу излучени коллиматор, двумерное сканирующее

устройство, фокусирующий объектив, держатель образца, фотопрнемник, отличающеес тем, что, с целью повьппени чувствительности устройства и устранени анизотропии

чувствительности относительно ориентации дефектов на контролируемой поверхности, за фокусирующим объективом дополнительно установлены два вогнутых зеркала, расположенных соосио вогнутыми поверхност ми друг к другу, причем первое по ходу излучени зеркало выполнено с отверстием дл ввода и вывода излучени , двумерное сканирующее устройство располо-

7

Редактор Т.Иванова Заказ 2489

Составитель Н.Шандин Техред Л.Олийнык

Корректор

Тираж 512 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб, д 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, ГвУжгород, ул.Проектна , 4

Корректор В.Гирн к