KR100835202B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

평판형 기판을 이송하기 위한 장치에서, 상기 기판은 다수의 궤도판들이 서로 연결된 무한궤도 상에서 약 70° 이상의 경사각을 갖도록 지지된다. 상기 무한궤도는 회전력을 제공하는 구동부와 연결된 구동 풀리들에 의해 회전되며, 이에 따라 상기 기판의 이송이 이루어진다. 따라서, 상기 기판 이송 장치를 이용하는 기판 처리 설비 면적이 크게 감소될 수 있으며, 이들이 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 4는 도 1에 도시된 무한궤도를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 5a는 도 1에 도시된 무한궤도의 궤도판을 설명하기 위한 평면도이다.

도 5b는 도 1에 도시된 무한궤도의 궤도판을 설명하기 위한 정면도이다.

도 5c는 도 1에 도시된 무한궤도의 궤도판을 설명하기 위한 측면도이다.

도 6은 도 2에 도시된 궤도판의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 평판형 기판 100 : 기판 이송 장치

102 : 챔버 110 : 무한궤도

112 : 구동 풀리 114 : 구동부

120 : 궤도판 124 : 동력 전달부

126 : 제1 동력 전달부 128 : 제2 동력 전달부

130 : 타이밍 벨트 132 : 구동 기어

134 : 제1 구동축 136 : 제1 지지부재

138 : 피니언 기어 140 : 제1 아이들 기어

141 : 제2 아이들 기어 142 : 제1 마그네틱 동력 전달 부재

144 : 제2 마그네틱 동력 전달 부재

146 : 제2 구동축 148 : 제2 지지부재

150 : 기어부 152 : 롤러부

154 : 핀 156 : 랙 기어

158 : 아이들 풀리 160 : 아이들 롤러

162 : 걸림턱

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.

최근, 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능, 더욱 빨라진 정보 처리 속도 등에 대한 요구에 따라 급속하게 발전하고 있으며, 이들 정보 처리 기기는 가공된 정보를 표시하기 위한 디스플레이 장치를 요구한다. 상기와 같은 정보 디스플레이 장치들은 주로 CRT 모니터를 사용하였으나, 최근 휴대형 정보 기기의 발달에 따라 휴대의 편의성, 소형 경량화에 대한 요구를 실현하기 위하여 액정 디스플레이 장치 또는 OLED 디스플레이 장치 등에 대한 요구가 증가되고 있다. 또한, 가정용 또는 사무용 디스플레이 장치의 경우에도 보다 선명한 화질, 응답 속도, 작업자의 피로도 감소, 공간 확보 등을 위하여 상기 평판 디스플레이 장치에 대한 요구가 증가되고 있다.

예를 들면, 상기 액정 디스플레이 장치의 경우, 상부 기판과 하부 기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열 구조에 따른 광의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시 정보량의 증가와 이에 따른 표시 면적의 증가 요구에 부응하기 위하여 화면을 구성하는 모든 화소에 대하여 개별적으로 구동 신호를 인가하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정 디스플레이 장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.

상기 액정 디스플레이 장치는 화상 데이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 디스플레이하는 액정 패널과 이를 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 액정 패널 어셈블리와, 화면 표시를 위한 광을 제공하는 백라이트 어셈블리와, 이들을 고정 및 수용하는 몰드 프레임 등을 포함할 수 있다.

상기 액정 디스플레이 장치의 제조에는 대면적의 유리 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 전극 패턴들을 형성하기 위하여 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 성막 공정, 상기 막을 목 적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 필요에 따라 반복적으로 수행될 수 있다.

상기 공정들을 수행하기 위한 기판 처리 장치는 기판의 로딩을 위한 기판 로더와, 상기 로더에 의해 반입된 기판에 대한 식각 또는 세정 공정을 수행하기 위한 제1 처리부와, 상기 식각 또는 세정 처리된 기판을 린스액을 이용하여 린스 처리하기 위한 제2 처리부와, 린스 처리된 기판을 건조시키기 위한 제3 처리부와, 상기 기판을 반출하기 위한 언로더 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 장치는 필요에 따라 기판 상의 정전기를 제거하기 위한 제전 장치, 기판의 일시 대기를 위한 버퍼 챔버 등을 더 포함할 수도 있다.

상기 기판 처리 장치를 사용하여 유리 기판과 같은 평판형 기판을 처리하는 경우, 상기 기판은 다수의 회전 롤러들에 의해 상기 로더로부터 언로더를 향하여 이송될 수 있다. 상기 회전 롤러들은 상기 기판의 이송 방향으로 배열된 다수의 회전축들에 장착되며, 상기 회전 롤러들은 상기 기판 처리를 위한 각 챔버들의 외부에 배치되는 구동부에 의해 회전 가능하도록 설치된다.

최근, 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 기판을 처리하는 경우, 상기 처리액의 배수를 위하여 상기 기판을 약 5° 정도 경사지도록 배치하여 이송하는 방법이 사용되고 있다. 즉, 상기 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 기판이 기울어진 상태에서 이송되도록 하고 있다. 그러나, 상기 기울어진 방향으로 상기 기판이 미끄러져 내리는 현상을 방지하기 위한 가이드 부재들이 요구되 며, 상기 가이드 부재들과 상기 기판 사이의 속도 차이 또는 마찰에 의해 기판이 손상되는 경우가 발생될 수 있다.

최근, 상기 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있으며, 이에 따라 상기 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 따른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다.

상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위해서는 상기 기판의 경사도를 증가시키는 것이 바람직하다. 그러나, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 평판형 기판의 이송에서 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 다수의 궤도판들이 서로 연결되며 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 무한궤도와, 상기 무한궤도와 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 무한궤도를 회전시키는 구동 풀리들과, 상기 구동 풀리들과 연결되며 상기 무한궤도를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 궤도판들은 상기 궤도판들의 연결을 위한 핀 홀들을 가지며, 상기 핀 홀들에 삽입되는 핀들에 의해 서로 연결될 수 있 다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 궤도판들의 하부에는 상기 구동 풀리들과의 기어 결합을 위한 랙 기어가 구비되며, 상기 랙 기어의 잇수는 1 내지 5 정도일 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 랙 기어는 상기 각각의 궤도판들의 하부 중앙 부위에 배치될 수 있다. 각각의 구동 풀리는, 상기 무한궤도의 랙 기어들과 결합하는 기어부와, 상기 기어부의 외경보다 큰 직경을 갖고 상기 기어부의 양측에 배치되며 상기 궤도판들의 양측 부위를 지지하는 롤러부들을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 구동 풀리들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 무한궤도와 기어 결합하며 상기 무한궤도의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판은 상기 무한궤도 상에서 상기 무한궤도의 상부면에 대하여 경사각을 갖도록 배치되며, 상기 기판 이송 장치는 상기 무한궤도에 의해 지지된 기판의 일측에 배치되어 상기 기판의 이송 중에 상기 기판이 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 더 포함할 수 있다. 상기 경사각은 약 70° 이상 90° 미만 정도일 수 있다. 예를 들면, 상기 기판은 약 85° 정도의 경사각을 갖도록 배치될 수 있다. 또한, 각각의 궤도판들 상에는 상기 기판의 미끄러짐을 방지하기 위한 걸림턱이 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동부는, 상기 회전력을 제공하는 동력 제공부와, 상기 동력 제공부와 상기 구동 풀리들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 동력 전달부는, 상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 동력 전달 부재들을 포함하는 제1 동력 전달부와, 상기 제1 마그네틱 동력 전달 부재들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 동력 전달 부재들과, 상기 제2 마그네틱 동력 전달 부재들과 상기 구동 풀리들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함하는 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어질 수 있으며, 상기 제1 및 제2 동력 전달 부재들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 평판형 기판을 종래의 회전 롤러들이 아닌 무한궤도를 이용하여 이송함으로써 상기 기판의 경사도를 크게 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 이송 장치를 채용하는 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 크게 줄일 수 있으며, 또한 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 증가시킬 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나, 본 발명은 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 또는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 무한궤도를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(10)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(10)을 일 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.

상기 평판형 처리 공정의 예로는 기판(10) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(10) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(10)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(10)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(10)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(10)을 지지하며 일 방향으로 이송하기 위한 무한궤도(110)와, 상기 무한궤도(110)와 기어 결합하며 상기 기판(10)을 이송하기 위하여 상기 무한궤도(110)를 회전시키는 구동 풀리들(112)과, 상기 구동 풀리들(112)과 연결되며 상기 무한궤도(110)를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부(114)를 포함할 수 있다. 상기 무한궤도(110)는 서로 연결된 다수의 궤도판들(120)을 포함할 수 있다.

상기 무한궤도(110)는 상기 기판(10)을 처리하기 위한 챔버(102) 내에 배치되며, 상기 기판(10)은 상기 무한궤도(110) 상에서 경사각을 가지며 상기 기판(10)의 이송 방향, 즉 무한궤도(110)의 회전 방향으로 배치된다.

상기 구동부(114)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(122)와 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부(124)를 포함할 수 있다. 상기 동력 전달부(124)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달부(126)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(128)를 포함할 수 있다.

상기 동력 제공부(122)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다.

상기 제1 동력 전달부(124)는 타이밍 벨트(130)와 다수의 구동 기어들(132)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(132)은 상기 기판(10)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(134)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(134)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 지지부재(136)에 의해 지지된다. 상기 제1 지지부재(136)는 상기 챔버(102)의 일측 벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(134)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

상기 타이밍 벨트(130)는 상기 동력 제공부(122)의 피니언 기어(138)와 상기 구동 기어들(132)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(134) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.

상기 제1 구동 기어들(132) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears; 140)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(122)의 피니언 기어(138)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(130)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(141; 도 3 참조)가 배치될 수 있다.

한편, 상기 제1 구동축들(134)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(134)의 단부들에는 제1 마그네틱 동력 전달 부재들(142)이 각각 결합된다.

상기 제2 동력 전달부(128)는 상기 제1 마그네틱 동력 전달 부재들(142)과 각각 마주하여 배치되는 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(144)과, 상기 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(144)과 상기 구동 풀리들(112) 사이를 연결하는 제2 구동축들(146)을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(142, 144)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(142, 144) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(142, 144)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치된다.

또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(142, 144)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(122) 및 제1 동력 전달부(126)의 구동에 의해 발생되는 진동이 무한궤도(110)로 전달되는 것을 방지할 수 있다.

결과적으로, 상기 동력 제공부(122)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(130), 구동 기어들(132), 제1 구동축들(134), 제1 마그네틱 동력 전달 부재들(142), 제2 마그네틱 동력 전달 부재들(144), 제2 구동축들(146) 및 구동 풀리들(112)을 통해 상기 무한궤도(110)로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(122)로부터 상기 회전력이 각각의 구동 풀리들(112) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 무한궤도(110)의 회전이 원활하게 이루일 수 있다.

상기 제2 구동축들(146)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 지지부재들(148)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 지지부재들(148)은 상기 제2 구동축들(146)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

도 2를 참조하면, 각각의 구동 풀리들(112)은 상기 무한궤도(110)와의 기어 결합을 위한 기어부(150)와, 상기 기어부(150)를 사이에 두고 상기 기어부(150)의 양측에 배치되며 상기 무한궤도(110)의 궤도판들(120)을 지지하는 롤러부들(152)을 포함할 수 있다. 상기 롤러부들(152)은 상기 기어부(150)의 외경보다 큰 직경을 가지므로, 상기 각각의 구동 풀리들(112)에는 상기 롤러부들(112) 사이에서 그루브(112a)가 형성될 수 있다. 결과적으로, 상기 기어부(150)는 상기 그루브(112a)의 저면 부위에 형성될 수 있다.

도 5a는 도 1에 도시된 무한궤도의 궤도판을 설명하기 위한 평면도이며, 도 5b는 도 1에 도시된 무한궤도의 궤도판을 설명하기 위한 정면도이며, 도 5c는 도 1에 도시된 무한궤도의 궤도판을 설명하기 위한 측면도이다.

도 4 및 도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 상기 무한궤도(110)를 이루는 다수의 궤도판들(120) 각각은 서로를 연결하기 위한 핀 홀들(120a)을 갖는다. 또한, 상기 각각의 궤도판들(120)은 상기 기판(10)의 이송 방향으로 돌출된 전방부를 가지며, 후방의 궤도판(120)의 전방부가 삽입되는 홈이 형성된 후방부를 갖는다. 상기 핀 홀들(120a)은 상기 전방부와 후방부에 각각 형성될 수 있으며, 전방 궤도판(120)의 후방부 및 후방 궤도판의 전방부를 관통하여 핀(154)이 장착됨으로써 다수의 궤도판들(154)이 서로 연결될 수 있다.

도 2 및 도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 각각의 궤도판들(120)의 하부에는 상기 구동 풀리들(112)의 기어부(150)와 결합하기 위한 랙 기어(156)가 배치될 수 있다. 상기 랙 기어(156)는 상기 구동 풀리(112)의 그루브(112a)로 삽입되어 상기 기어부(150)와 결합될 수 있다. 또한, 상기 랙 기어(156)는 상기 궤도판(120)의 하부 중앙 부위에 배치될 수 있으며, 상기 궤도판(120)의 양측 부위들은 상기 구동 풀리들(112)의 롤러부들(152)에 의해 지지될 수 있다.

상기와 같이 궤도판들(120)의 하부에 배치되는 랙 기어들(156)이 상기 구동 풀리(112)의 그루브(112a)로 삽입되는 구조를 가짐으로써 상기 무한궤도(110)의 이탈을 방지할 수 있으며, 상기 롤러부들(152)에 의해 상기 궤도판들(120)의 양측 부위들이 지지되므로 보다 정숙한 운전이 가능해질 수 있다.

한편, 상기 구동 풀리들(112)의 장착 수량, 크기 등은 상기 기판(10)의 크기에 따라 다양하게 변경될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되지는 않을 것이다.

상기 각각의 랙 기어들(156)은 1 내지 5 정도의 잇수를 가질 수 있다. 가장 정숙한 운전을 위해서는 각각의 랙 기어들(156)의 잇수가 1인 것이 바람직하다. 그러나, 이 경우, 상기 궤도판들(120)의 크기가 작게 될 수 있으며, 상기 궤도판들(120)을 서로 연결하는 핀들(154)을 선택하는데 제약이 있을 수 있다. 이와 반대로, 상기 랙 기어들(156)의 잇수가 너무 클 경우, 원활한 회전이 이루어지지 않을 수도 있다. 따라서, 상기 랙 기어들(156)의 잇수는 상기 구동 풀리(112)의 기어부(150)가 갖는 피치와 상기 핀들(154)의 강도 및 회전의 정숙성 등을 충분히 고려하여 설정될 수 있다.

도 4를 다시 참조하면, 상기 기판(10)의 이송 방향으로 구동 풀리들(112)의 양측 부위들에는 상기 무한궤도(110)의 장력 조절 및 정숙한 운전을 목적으로 다수의 아이들 풀리들(158)이 배치될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 구동 풀리들(112)보다 작은 직경을 갖는 다수의 아이들 풀리들(158)이 상기 구동 풀리들(112)의 양측 부위들에 배치되어 있으나, 상기 아이들 풀리들(158)의 크기는 다 양하게 변화될 수 있다.

예를 들면, 상기 구동 풀리들(112)의 양측 부위에는 상기 구동 풀리들(112)보다 큰 직경을 갖는 한 쌍의 아이들 풀리들이 각각 배치될 수도 있다. 또한, 상기 각각의 아이들 풀리들은 상기 구동 풀리들(112)과 동일한 크기를 가질 수도 있으며, 상기 구동 풀리들(112)과 유사한 구조를 가질 수 있다. 즉, 상기 각각의 아이들 풀리들(158)은 상기 무한궤도(110)의 랙 기어들(156)이 삽입되는 그루브를 가질 수 있으며, 상기 그루브들 내에 상기 랙 기어들(156)과 결합하는 기어부를 가질 수 있다. 또한, 상기 각각의 아이들 풀리들(158)은 상기 궤도판들(120)을 지지하는 롤러부들을 가질 수 있다.

도 2를 다시 참조하면, 상기 기판(10)은 상기 무한궤도(110) 상에서 기 설정된 경사각을 갖도록 위치될 수 있으며, 상기 경사각을 갖는 기판(10)이 쓰러지지 않도록 상기 기판(10)의 일 면을 지지하는 아이들 롤러들(160)이 상기 챔버(102) 내에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 아이들 롤러들(160)은 상기 챔버(102)의 타측 벽(102b; 도 1 참조)에 구비될 수 있다. 그러나, 상기 아이들 롤러들(160)은 상기 챔버(102) 내에서 다양한 형태로 제공될 수 있으며, 상기 기판(10)의 이송 중에 상기 기판(10)의 쓰러짐을 방지할 수 있으면 충분하다.

또한, 상기 기판(10)의 경사각은 약 70° 이상 90° 미만인 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 기판(10)의 경사각은 약 85° 정도일 수 있다. 상기 기판(10)의 경사각이 약 70° 미만인 경우, 상기 아이들 롤러들(160)에 작용되는 기판(10)의 하중이 증가될 수 있으며, 이 경우 대면적 기판(10)의 지지하기 위해서는 매우 많은 수량의 아이들 롤러들(160)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게 될 수 있다. 그러나, 상기 기판(10)의 경사각이 70° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.

상기 궤도판들(120)은 상기 경사각을 갖도록 위치되는 기판(10)이 상기 궤도판들(120) 상에서 미끄러지는 것을 방지하기 위하여 고무와 같이 탄성을 갖는 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 금속 재질의 궤도판들(120) 상에 상기 기판(10)을 지지하기 위한 지지판들(미도시)이 각각 더 설치될 수도 있다. 이때, 상기 각각의 지지판들은 탄성 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.

도 6은 도 2에 도시된 궤도판의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 기판(10)을 지지하는 각각의 궤도판들(120) 상에는 상기 기판(10)이 지지되는 위치를 한정하기 위한 걸림턱들(162)이 각각 구비될 수도 있다. 즉, 상기 기판(10)이 경사진 방향에 대하여 반대 방향으로 상기 기판(10)이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여 상기 걸림턱들(162)이 사용될 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송하는 장치에서 상기 기판을 무한궤도를 이용하여 거의 수직에 가까운 정도로 배치하여 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다. 더 나아가, 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (13)

1. 다수의 궤도판들이 서로 연결되며 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 무한궤도;

   상기 무한궤도와 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 무한궤도를 회전시키는 구동 풀리들;

   상기 구동 풀리들과 연결되며 상기 무한궤도를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부; 및

   상기 무한궤도에 의해 지지된 기판의 일측에 배치되며, 상기 기판의 이송 중에 상기 기판이 쓰러지지 않고 상기 무한궤도 상에서 상기 기판이 상기 무한궤도의 상부면에 대하여 경사각을 갖도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 포함하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서, 각각의 궤도판들은 상기 궤도판들의 연결을 위한 핀 홀들을 가지며, 상기 핀 홀들에 삽입되는 핀들에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
3. 제1항에 있어서, 각각의 궤도판들의 하부에는 상기 구동 풀리들과의 기어 결합을 위한 랙 기어가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 랙 기어의 잇수는 1 내지 5인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 랙 기어는 상기 각각의 궤도판들의 하부 중앙 부위에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
6. 제5항에 있어서, 각각의 구동 풀리는,

   상기 무한궤도의 랙 기어들과 결합하는 기어부; 및

   상기 기어부의 외경보다 큰 직경을 갖고 상기 기어부의 양측에 배치되며 상기 궤도판들의 양측 부위를 지지하는 롤러부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 구동 풀리들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 무한궤도와 기어 결합하며 상기 무한궤도의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. 삭제
9. 제1항에 있어서, 상기 경사각은 70° 이상 90° 미만인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
10. 제1항에 있어서, 각각의 궤도판들 상에는 상기 기판이 상기 궤도판들 상에서 미끄러지는 것을 방지하기 위한 걸림턱이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
11. 제1항에 있어서, 상기 구동부는,

    상기 회전력을 제공하는 동력 제공부; 및

    상기 동력 제공부와 상기 구동 풀리들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 동력 전달부는,

    상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 동력 전달 부재들을 포함하는 제1 동력 전달부; 및

    상기 제1 마그네틱 동력 전달 부재들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 동력 전달 부재들과, 상기 제2 마그네틱 동력 전달 부재들과 상기 구동 풀리들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함하는 제2 동력 전달부를 포함하되,

    상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루 어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 제1 및 제2 마그네틱 동력 전달 부재들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

Images