KR100874819B1 - 평판디스플레이 에칭가공용 컨베이어장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 평판디스플레이패널에 에칭가공을 하기 위한 컨베이어장치에 있어서, 구동모터(10)와, 이 구동모터(10)에 의해 회전되는 축부재(11)에 길이방향을 따라 동축으로 이격 설치된 복수개의 구동자석(21)과, 상기 축부재(11)에 직교되는 방향으로 배치된 복수개의 이송롤러(40)와, 이 이송롤러(40)의 일단부에 각각 동축으로 설치되고 상기 구동자석(20)과 근접 배치된 복수개의 피동자석(31)과, 상기 피동자석(31)을 구동자석(21)과 격리시키며 상기 이송롤러(40)가 내부에 수납되는 챔버(50)를 포함하며, 상기 구동자석(21)과 피동자석(31) 각각의 외주면에는 서로 다른 극성이 원주방향을 따라 교대로 배열되어, 구동자석(21)의 회전에 따라 상기 구동자석(21)과 피동자석(31)간의 인력과 척력에 의해 이송롤러(40)가 회전되고, 상기 챔버(50)에는 에칭액을 분사하는 다수개의 분사노즐(61)이 설치되며, 상기 이송롤러(40)는 회전가능하게 설치되는 롤러축(41)과, 이 롤러축(41)의 외주면을 감싸며 상기 평판디스플레이패널의 직립상태의 하단부가 안착되는 안착홈(43)이 원주방향을 따라 형성된 완충부재(42)로 이루어지고, 상기 롤러축(41)에는 상기 피동체(30)가 축결합되며, 상기 피동체(30)와 완충부재(42)는 서로 접근 또는 후퇴되도록 형성되고, 서로 대향하는 상기 완충부재(42) 또는 피동체(30)의 일측면에는 상기 롤러축(41)과 동축적으로 탄성부재(46)가 배치되며, 이 탄성부재(46)의 전방에 배치되며 이 탄성부재(46)에 의해 가압되는 제1마찰판(47)이 구비되고, 이 제1마찰판(47)에 대향하여 상기 피동체(30)또는 완충부재(42)의 타측면에 제2마찰판(48)이 장착되며, 상기 롤러축(41)에 나사결합되어 피동체(30)와 이송롤러(40)의 간격을 조절하는 조절너트(49)가 구비된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 에칭가공용 컨베이어장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 피동자석(31)의 외주면에는 수지층(32)이 형성되어, 피동자석(31)이 에칭액에 의해 손상되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 에칭가공용 컨베이어장치.
- 제1항에 있어서, 상기 챔버(50)의 상면판의 저면에는 상기 완충부재(42)의 안착홈(43)과 대응되는 위치에 상기 평판디스플레이패널의 직립상태의 상단부를 가이드하는 가이드홈 또는 가이드부재(51)가 설치된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 에칭가공용 컨베이어장치.
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ID=40372844
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20200113114A (ko) * | 2019-03-22 | 2020-10-06 | 주식회사 티케이씨 | 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치 |
KR20200113113A (ko) * | 2019-03-22 | 2020-10-06 | 주식회사 티케이씨 | 기판의 비접촉식 수직 처리시스템 |
Citations (1)
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JP2002329761A (ja) | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置、洗浄装置及び現像装置 |
-
2007
- 2007-10-02 KR KR1020070099179A patent/KR100874819B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
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KR102172665B1 (ko) * | 2019-03-22 | 2020-11-03 | 주식회사 티케이씨 | 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 이송장치 |
KR102172662B1 (ko) * | 2019-03-22 | 2020-11-03 | 주식회사 티케이씨 | 기판의 비접촉식 수직 처리시스템 |
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