KR20090003195A - 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 - Google Patents

배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20090003195A
KR20090003195A KR1020087021273A KR20087021273A KR20090003195A KR 20090003195 A KR20090003195 A KR 20090003195A KR 1020087021273 A KR1020087021273 A KR 1020087021273A KR 20087021273 A KR20087021273 A KR 20087021273A KR 20090003195 A KR20090003195 A KR 20090003195A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure
pipe
flow rate
value
inspected
Prior art date
Application number
KR1020087021273A
Other languages
English (en)
Inventor
기스케 코우노
테루오 혼이덴
아키히로 모리모토
나오후미 야스모토
코지 카와다
유타카 우에지
노부카즈 이케다
마사유키 하타노
미치오 쿠라모치
요시유키 킨다이
카즈히로 나가노
토시아키 와다
Original Assignee
가부시키가이샤 후지킨
에스.이.에스 카부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 후지킨, 에스.이.에스 카부시키가이샤 filed Critical 가부시키가이샤 후지킨
Publication of KR20090003195A publication Critical patent/KR20090003195A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/28—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds
    • G01M3/2807—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for pipes
    • G01M3/2815—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for pipes using pressure measurements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/24—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring the deformation in a solid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/08—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady tensile or compressive forces
    • G01N3/10—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady tensile or compressive forces generated by pneumatic or hydraulic pressure
    • G01N3/12—Pressure testing
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/022—Environment of the test
    • G01N2203/023—Pressure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

본 발명은 매우 소형의 검사 장치로 간단하고 또한 신속하게 배관로 내용적 및 누설량을 검출할 수 있고, 피검사 배관로의 내용적에 관련된 누설량으로 배관로의 검사 결과의 양부를 정확하게 판단할 수 있도록 한다. 본 발명의 배관로의 누설 검사 방법은 밀폐 상태로 한 피검사 배관로의 일단측 개구로부터 그 안쪽으로, 유량 계측기에 의해 유량을 및 압력 검출기에 의해 압력을 검출하면서 일정 유량의 검사용 가스를 공급함과 아울러 온도 검출기에 의해 상기 배관로 또는 배관로 내로 공급하는 검사용 가스의 온도를 검출하며, 상기 압력 검출값, 유량 검출값 및 온도 검출값을 연산 처리 장치에 입력하고, 피검사용 배관로 내의 압력 상승값(ΔP2)이 설정값이 될 때까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 검사용 가스의 공급 유량(Q)으로부터 피검사 배관로의 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하고, 다음으로 상기 피검사 배관로 내를 소정의 설정압으로 가압하고나서 소정의 압력 강하 시간(Δt')을 경과한 후의 압력 강하값(ΔP2')과 상기 연산한 배관로 내용적(VL)으로부터 피검사 배관로로부터의 누설량(QL)을 QL=압력 강하값(ΔP2')×배관로 내용적(VL)/압력 강하 시간(Δt')으로서 연산하도록 한다.
Figure P1020087021273
배관로의 누설 검사 방법, 누설 검사 장치

Description

배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치{LEAKAGE INSPECTING METHOD AND LEAKAGE INSPECTING DEVICE FOR PIPE LINES}
본 발명은 예를 들면 반도체 제조 설비나 화학품 제조 설비 등에 있어서 사용되는 것이고, 각종 가스의 공급용 배관로로부터의 가스의 누설 검사 방법 및 이에 사용하는 누설 검사 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 설비 등에서는 다수의 가스 공급 설비가 사용되고 있고, 유량 제어 밸브나 유량 계측기 등을 포함하는 가스 공급 배관로는 가스의 누설에 대하여 엄격한 관리하에 놓여 있다.
그리고, 이들 배관로의 누설 검사 기술로서는 종전부터 각종의 방법이 개발되고 또한 실용에 제공되어 오고 있다. 그러나, 현실에 이용되고 있는 기술은 이른바 가압 방치 방식의 누설 검사 방법이 그 대부분이다. 왜냐하면, 이 누설 검사 방법에 의하면 배관로의 실사용 조건에 가까운 상태하에서 배관로 전체의 누설의 유무를 확인할 수 있기 때문이다.
즉, 상기 가압 방치 시험에 있어서는 우선 피검사 배관로의 내부에 N2 등의 불활성 가스가 가압 충전되고, 일정 시간 경과 후의 압력 변동의 상태로부터 배관 로의 누설의 유무가 판정된다. 상기 검사 방법은 배관로 전체를 동시에 검사할 수 있음과 아울러 일정량 이상의 누설이면 놓치지 않고 이것을 검출할 수 있다는 특징을 갖고 있다.
그런데, 이 가압 방치 방식의 시험에는 가) 긴 검사 시간을 필요로 하는 점, 나) 누설 개소의 특정이 곤란한 점, 다) 압력 강하 속도가 피검사 배관로의 내용적에 의해 크게 변동되기 때문에 누설 검사의 결과의 양부를 판정하려면 피검사 배관로의 내용적을 정확하게 파악하는 것이 필요한 점, 등의 난점이 있다.
특히, 이러한 종류의 피검사 배관로는 그 형태가 다종다양하기 때문에 배관도 상으로부터 배관로 내용적을 정확하게 파악하는 것은 현실적으로 불가능한 것이다. 그 때문에, 실제 배관로의 누설 검사에 있어서는 배관로의 내용적과 관련된 누설량(Pa·㎥/sec)을 배관로의 누설 검사의 양부를 판단하는 기준으로서 이용할 수 없어서, 결과적으로 배관로 전체의 압력 강하율(%)로 배관로의 누설 검사의 양부를 판정하는 것이 많이 행해지고 있다.
한편, 상기 가압 방치 방식의 누설 검사에 있어서의 문제점을 해결하는 것으로서, 일본 특허 공개 평9-288031호와 같이, 측정기 본체에 배출 가스 처리 수단 또는 배관 용적 가변 수단 중 어느 하나를 설치하고, 밀폐된 상태에 있어서의 배관로의 일정 시간 내에서의 압력 강하량과, 배관로로부터 일정량의 가스를 연속적으로 배출시킨 상태하에 있어서의 일정 시간 내에서의 압력 강하량을 측정하여 이들 양 측정 데이터로부터 피검사 배관로의 내용적을 구하며, 또한 이 배관로 내용적과 상기 일정 시간 내에서의 압력 강하량에 기초하여 누설량을 연산하도록 한 기술이 나, 일본 특허 공개 2002-286579호와 같이, 검사 기구에 2종류의 가변 용적 부가 용기를 설치하고, 상기 제 1 또는 제 2 가변 용적 부가 용기를 변량 조작했을 때의 압력 변동을 압력계로 측정함으로써 피검사 배관로의 내용적의 연산 및 누설량 검출 등을 행하도록 한 기술이 개발되어 있다.
상기 각 기술은 피검사 배관로의 내용적 및 배관로로부터의 누설량을 비교적 정확하게 검지할 수 있기 때문에 누설량으로 피검사 배관로의 검사 결과의 양부를 판단할 수 있다는 우수한 효용을 갖고 있다.
그러나, 상기 각 기술에도 해결해야 할 많은 문제가 남겨져 있다. 예를 들면, 이들 각 기술은 종전의 「가스 누설 조견표」를 이용하여 압력 강하량으로부터 누설량을 추정하는 경우에 비해 정확하고 또한 신속하게 가스 누설량을 검출할 수 있지만, 가) 검사용 기구에 배출 가스 처리 수단이나 배관 용적 가변 수단(가변 용적 부가 용기)을 필요로 하기 때문에 검사용 기구의 소형화를 도모할 수 없는 점, 나) 배관 용적의 검출이나 누설량의 검출 조작이 복잡하여 많은 수고를 필요로 하는 점, 다) 가스 누설 검사시의 온도 변화에 대한 대응이 되어 있지 않기 때문에 고정밀도의 배관로 내용적의 검출이나 누설량의 검출이 불가능한 점, 등의 기본적인 문제가 해결해야 할 점으로서 남겨져 있다.
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평9-288031호
특허문헌 2 : 일본 특허 공개 2002-286579호
본원 발명은 이러한 종류의 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치에 있어서의 상술한 바와 같은 문제, 즉 가) 검사용 기구가 대형화되어 취급성이 결여되는 점, 나) 검출 조작이 복잡하여 배관로 내용적이나 누설량의 검출에 수고와 시간이 지나치게 드는 점, 다) 온도 변화 등에 의해 배관로 내용적이나 누설량의 검출값이 크게 변하여 검출 정밀도가 상대적으로 낮은 점 등의 문제를 해결하려고 하는 것이고, 매우 소형인 검사 장치로 간단하고 또한 신속하게 배관로 내용적 및 누설량을 검출할 수 있으며, 피검사 배관로의 내용적에 관련된 누설량으로 배관로의 검사 결과의 양부를 정확하게 판단할 수 있도록 한 누설 검사 방법과, 이에 이용하는 누설 검사 장치를 제공하는 것을 발명의 주된 목적으로 하는 것이다.
청구항 1의 발명은 밀폐 상태로 된 피검사 배관로의 일단측 개구로부터 그 안쪽으로 유량 계측기에 의해 유량을 및 압력 검출기에 의해 압력을 검출하면서 일정 유량의 검사용 가스를 공급함과 아울러 온도 검출기에 의해 상기 배관로 또는 배관로 내에 공급하는 검사용 가스의 온도를 검출하고, 상기 압력 검출값, 유량 검출값 및 온도 검출값을 연산 처리 장치에 입력하여 피검사용 배관로 내의 압력 상승값(ΔP2)이 설정값이 될 때까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 검사용 가스의 공급 유량(Q)으로부터 피검사 배관로의 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하며, 다음으로 상기 피검사 배관로 내를 소정의 설정압으로 가압하고나서 소정의 압력 강하 시간(Δt')을 경과한 후의 압력 강하값(ΔP2')과 상기 연산한 배관로 내용적(VL)으로부터 피검사 배관로로부터의 누설량(QL)을 QL=압력 강하값(ΔP2')×배관로 내용적(VL)/압력 강하 시간(Δt')으로서 연산하도록 한 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
청구항 2의 발명은 청구항 1의 발명에 있어서, 압력 검출 신호(P2)에 의한 압력값을 온도 검출 신호(T)에 의한 온도에 의해 보정하고, 미리 정한 기준 온도에 있어서의 값으로 보정한 압력값을 이용하여 피검사 배관로의 내용적(VL) 및 피검사 배관로의 누설량(QL)을 연산하도록 한 것이다.
청구항 3의 발명은 청구항 1 또는 청구항 2의 발명에 있어서, 배관로 내용적(VL)의 연산에 있어서의 배관로 내압을 0.1㎫~0.2㎫로 상승시킴과 아울러 누설량(QL)의 연산에 있어서의 배관로의 최대 가압값을 0.4㎫, 압력 강하 시간(Δt')을 1시간으로 하도록 한 것이다.
청구항 4의 발명은 청구항 1 또는 청구항 2의 발명에 있어서, 유량 계측기 및 압력 검출기로서 압력식 유량 제어 장치를 사용하고, 상기 압력식 유량 제어 장치의 유량 검사 신호 및 압력 검출 신호를 상기 유량 검출 신호(Q) 및 압력 검출 신호(P2)로서 이용하도록 한 것이다.
청구항 5의 발명은 밀폐 상태로 된 피검사 배관로의 일단측 개구로부터 그 안쪽으로 유량 계측기에 의해 유량을 및 압력 검출기에 의해 압력을 검출하면서 일정 유량의 검사용 가스를 공급함과 아울러 온도 검출기에 의해 상기 배관로 또는 배관로 내에 공급하는 검사용 가스의 온도를 검출하고, 상기 압력 검출값, 유량 검출값 및 온도 검출값을 연산 처리 장치에 입력하여 피검사용 배관로 내의 압력 상승값(ΔP2)이 설정값이 될 때까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 검사용 가스의 공급 유량(Q)으로부터 피검사 배관로의 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하며, 다음으로 상기 유량 계측기로부터 유량을 검출하면서 검사용 가스를 공급함과 아울러 자동 압력 제어 장치에 의해 피검사 배관로 내의 압력(P2)을 일정값으로 유지한 상태에서 상기 검사용 가스를 공급하고, 상기 유량 계측기에 의한 검출 유량(Q)으로부터 피검사용 배관로로부터의 누설량(QL)을 구하도록 한 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
청구항 6의 발명은 청구항 1 또는 청구항 5의 발명에 있어서, 승압시에 검사용 가스의 공급을 일시 정지하고, 피검사 배관로 내의 압력 변동을 확인하는 공정을 포함하는 것으로 한 것이다.
청구항 7의 발명은 피검사 배관로에 공급하는 검사용 가스의 공급원과, 상기 공급원으로부터 밀폐된 피검사 배관로 내로 유입되는 일정 유량의 검사용 가스의 공급 유량을 검출하는 유량 계측기 및 압력을 검출하는 압력 검사기와, 상기 피검사용 배관로의 온도 또는 검사용 가스의 온도를 검출하는 온도 검출기와, 상기 유량 계측기로부터의 유량 검출 신호(Q)와 압력 검출기로부터의 압력 검출 신호(P2)와 온도 검출기로부터의 온도 검출 신호(T)가 입력되어 피검사 배관로의 내압이 설정된 압력 상승값(ΔP2)에 이르기까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 피검사 가스의 공급 유량(Q)으로부터 배관로 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하는 배관로 내용적 연산부와, 소정 압력으로 가압한 피검사 배관로의 내압의 소정 압력 강하 시간(Δt') 경과 후의 압력 강하값(ΔP2')과 상기 연산한 배관로 내용적(VL)으로부터 누설량(QL)을 QL=압력 강하값(ΔP2')×배관로 내용적(VL)/압력 강하 시간(Δt')으로서 연산하는 누설량 연산부를 구비한 연산 처리 장치를 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
청구항 8의 발명은 청구항 7의 발명에 있어서 연산 처리 장치에 압력 검출 신호(P2)의 온도 보정부와 데이터 기억부를 설치하도록 한 것이다.
청구항 9의 발명은 청구항 7 또는 청구항 8의 발명에 있어서, 유량 계측기 및 압력 검출기로서 압력식 유량 제어 장치를 이용하도록 한 것이다.
(발명의 효과)
본 발명에 있어서는 유량 계측기로부터의 유량 검출 신호(Q)와 압력 검출기로부터의 압력 검출 신호(P2)와 온도 검출기로부터의 온도 검출 신호(T)를 이용하여 연산 처리 장치에 있어서 우선 피검사 배관로의 내용적을 연산함과 아울러 상기 연산한 내용적과 일정 시간 경과 후의 배관로 내의 압력 강하값으로부터 배관로의 누설량을 연산하는 구성으로 하고 있다.
그 결과, 종전의 이러한 종류의 누설 검사 방식에 비해 연산 처리 장치의 구조의 대폭적인 간소화를 도모할 수 있음과 아울러 보다 짧은 압력 상승 시간 및 압력 강하 시간으로 필요한 관로 내용적 및 누설량의 연산을 행할 수 있고, 검사 시간의 단축 및 검사 결과로부터의 합리적인 누설의 합격 여부 판정이 가능해진다.
또한, 본 발명에 있어서는 연산 처리 장치에 있어서 압력 검출값의 온도 보정을 행하는 구성으로 하고 있기 때문에 환경 온도의 변동에 기인하는 측정 오차가 적어져 고정밀도한 검사 결과를 얻을 수 있다.
또한, 압력식 유량 제어 장치를 활용함으로써 누설 검사 장치의 더 나은 간소화와 고정밀도화가 가능해진다.
도 1은 본 발명에 의한 누설 검사 방법의 제 1 실시형태에 따른 계통도이다.
도 2는 본 발명의 누설 검사 장치를 구성하는 연산 처리 장치의 구성도이다.
도 3은 본 발명에 의한 누설 검사 방법의 제 2 실시형태에 따른 계통도이다.
도 4는 본 발명의 누설 검사 방법의 제 3 실시형태에 따른 계통도이다.
도 5는 본 발명에 의한 누설 검사 방법의 실시예를 나타내는 계통도이다.
도 6은 피검사 배관로의 압력 공급(공급 압력 0.3㎫)시에 있어서의 배관로 내압과 시간의 관계(압력 상승률)를 나타내는 선도이다.
도 7은 피검사 배관로의 압력 봉입(봉입 압력 0.3㎫)시에 있어서의 배관로 내압과 시간의 관계(압력 강하율)를 나타내는 선도이다.
도 8은 공급 압력을 0.5㎫로 한 경우의 도 6과 마찬가지의 선도이다.
도 9는 봉입 압력을 0.5㎫로 한 경우의 도 7과 마찬가지의 선도이다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
A : 배관로의 누설 검사 장치 N2 : 검사용 가스
P2 : 압력 검출 신호 Q : 유량 검출 신호
T : 온도 검출 신호 VL : 배관로 내용적
Δt : 가압 시간 ΔP2 : 압력 상승값
t1 : 검사 가압의 개시 시각 ΔP2' : 압력 강하값
Δt' : 압력 강하 시간 S : 압력 강하 속도
QL : 누설량 Qs : 제어 신호
Sp : 제어 신호 V1, V2 : 밸브
P20 : 압력 검출값(P2)의 0℃의 상태하에 있어서의 값
1 : 감압 장치 2 : 압력 검출기
3 : 유량 계측기 4 : 압력 검출기
5 : 온도 검출기 6 : 피검사 배관로
7 : 연산 처리 장치 8 : 검사용 가스(N2)의 공급원
9 : 배관로 내용적 연산부 10 : 누설량 연산부
11 : 온도 보정부 12 : 데이터 기억부
13 : 표시부 14 : 설정·입력부
15 : 오리피스 16 : 자동 압력 제어 장치
17 : 컨트롤 밸브 18 : 압력 검출기
19 : 리크 샘플 20 : 블라인드
21 : SUS 배관로(φ 6.35㎜) 22 : SUS 배관로(φ 9.52㎜)
23 : 폐쇄 밸브
이하, 도면에 기초하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 배관로의 누설 검사 방법의 실시 계통도이고, 도 1에 있어서 1은 감압 장치, 2는 압력 검출기, 3은 유량 계측기, 5는 온도 검출기, 6은 피검사 배관로, 7은 연산 처리 장치, 8은 검사용 가스(N2)의 공급원, N2는 검사용 가스, Q는 유량 검출 신호, P2는 압력 검출 신호, T는 온도 검출 신호이다.
상기 감압 장치(1) 및 압력 검출기(2)는 어떠한 구조의 것이어도 좋고, 본 실시형태에서는 감압 장치(1)로서 압력 조정 밸브를, 또한 압력 검출기(2)로서 반도체형 압력 센서를 사용하고 있다.
또한, 상기 압력 검출기(4)는 검출값을 압력 검출 신호(P2)로서 외부로 출력할 수 있는 구성의 것이면 어떠한 것이어도 좋고, 본 실시형태에서는 반도체형 압력 트랜스 듀서를 사용하고 있다. 마찬가지로, 유량 계측기(3)는 검사용 가스(N2)의 유량의 계측값을 유량 검출 신호(Q)로서 외부로 출력할 수 있는 구성의 것이면 어떠한 것이어도 좋고, 예를 들면 검사용 가스(N2)의 유량 조정 기능과 유량 측정 기 능 양쪽을 구비한 열식 질량 유량 제어기나 압력식 유량 제어기 등이어도 또는 미리 레귤레이터로 원하는 일정 유량으로 조정한 검사용 가스(N2)의 유량을 측정하는 유량 측정 기능만을 구비한 열식 질량 유량 계측기 등이어도 좋다. 또한, 본 실시형태에서는 MFC(열식 질량 유량 제어기)를 유량 계측기(3)로서 사용하고 있다.
상기 온도 검출기(5)는 후술하는 피검사 배관로(6) 내의 가스(유체) 온도를 검출하는 것이지만, 통상은 배관로(6)의 외표면에 온도 검출기(5)를 고착하여 배관로 외표면의 온도를 가스 온도로 하도록 하고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 상기 온도 검출기(5)로서 열전대를 사용하고 있고, 검출값은 온도 검출 신호(T)로서 외부로 출력되어 간다.
상기 피검사 배관로(6)는 배관로나 배관로에 끼워 설치한 밸브, 필터 등의 각 기기류, 배관로 내에 끼워 설치한 챔버 등의 기기류 등을 포함하는 것이고, 생산 현물의 상황에 따라 피검사 배관로(6)의 형태나 범위는 적절하게 선정된다. 또한, 상기 피검사 배관로(6)가 밀봉된 배관로를 구성하는 것인 것은 물론이다.
상기 연산 처리 장치(7)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 설정·입력부(14), 배관로 내용적 연산부(9), 누설량 연산부(10), 온도 보정부(11), 데이터 기억부(12) 및 표시부(13) 등으로 구성되어 있고, 연산 처리 장치(7) 자체는 가반(可搬)형으로 형성되어 있다.
상기 설정·입력부(14)는 유량 검출 신호(Q), 압력 검출 신호(P2) 및 온도 검출 신호(T)의 각 검출 범위나 압력 변동의 검출 시간, (가압 시간(Δt), 압력 강 하 시간(Δt'))누설 유무의 판단 기준점 등의 각종 설정을 행함과 아울러 배관로 내용적(VL)이나 누설량(QL)의 연산에 필요한 각종 기초 데이터 등을 데이터 기억부(12)에 입력하기 위한 기구이다.
상기 배관로 내용적 연산부(9)는 입력되어 오는 유량 검출 신호(Q), 압력 검출 신호(P2), 온도 검출 신호(T)를 이용하여 피검사 배관로(6)의 내부 용적(VL)을 연산하는 기구이고, 시험용 가스 공급원(8)으로부터의 불활성 가스(N2)에 의해 피검사 배관로(6) 내를 가압할 때의 일정값으로 설정한 N2 유량(Q), 가압 시간(Δt), 온도 보정을 한 압력 상승값(ΔP2)으로부터 피검사 배관로(6)의 내부 용적(VL)을 VL=(유량(Q)×가압 시간(Δt))/압력 상승값(ΔP2)(온도 보정 완료)…(1)식으로서 연산하는 것이다.
또한, 피검사 배관로(6)의 길이나 내부 기기 등의 종류에 따라서도 다르지만, 통상은 감압 장치(1)의 출구측 압력을 일정값(0.5㎫)으로 조정 유지한 상태에서 압력 검출기(4)의 검출 압력(P2)이 0.1㎫로부터 0.2㎫를 넘어서는 압력으로 상승할 때까지 유량 계측기(3)에 의해 일정 유량(Q)으로 조정한 불활성 가스(N2)를 공급하고, 피검사 배관로(6)의 내부를 연속적으로 가압함과 아울러 검사 압력(P2)이 0.1㎫로부터 0.2㎫에 도달하기까지의 가압 시간(Δt)을 연산한다. 또한, 공급하는 불활성 가스(N2)의 유량(Q)은 유량 계측기(3)에 의해 일정 유량으로 자동적으로 유지 되고 있고, 그 결과 유량 검출 신호(Q)는 압력 검출값(P2)이 상승해도 가압 시간(Δt) 동안 일정한 설정값으로 유지된다.
상기 유량 검출 신호(Q), 압력 검출 신호(P2) 및 온도 검출 신호(T)는 누설 검사 개시 시간(t1)부터 연산 처리 장치(7)에 연속적으로 입력되지만, 연산 처리 장치(7)에 있어서는 검사 개시 시각(t1)부터 일정 시간 간격마다 상기 각 검출 신호(Q, P2, T)가 데이터 기억부(12)에 기억된다. 그리고, 압력 검출 신호(P2)의 검출값이 상한 설정값(예를 들면 0.2㎫)에 도달했을 때에 상기 (1)식에 의해 산출한 피검사 배관로(6)의 내용적(VL)의 연산값이 최종적으로 표시부(13)에 표시된다.
상기 온도 보정부(11)는 압력 검출 신호(P2)의 온도에 의한 변동을 보정하는 기능을 하는 것이다. 구체적으로는, 실내 온도(T)(℃)에 있어서의 압력 검출값(P2)(㎫)이 0℃에 있어서의 압력값으로 보정되고, 온도 보정 후의 압력(P20)(㎫)이 P20(㎫)= 〔〔(P2+0.101325)×273/(T+273)〕-0.101325〕로서 연산된다.
상기 온도 보정부(11)에서는 상술한 바와 같은 온도 보정을 행한 압력 검출 신호(P20)를 이용하여 압력 상승값이 연산되게 된다. 그 결과, 고정밀도한 피검사 배관로(6)의 내용적 연산이 가능해진다.
또한, 상기 피검사 배관로(6)의 내용적의 연산에 있어서는 피검사 배관로(6)로부터 약간의 리크가 있어도 큰 리크는 없는 것으로 하여 연산을 하고 있다. 또 한, 과대한 리크가 발생했는지의 여부를 확인하기 위해 승압의 과정에서 검사용 가스(N2)의 공급을 일시 정지하고, 피검사 관로(6) 내의 압력 변동 상태를 체크하는 것이 바람직하다.
상기 누설량 연산부(10)는 상기 배관로 내용적 연산부(9)에서 연산한 피검사 배관로(6)의 내용적(VL)을 이용하여 피검사 배관로(6)로부터의 누설량을 연산하는 것이다.
구체적으로는, 시험용 가스 공급원(8)으로부터 감압 장치(1)를 통해 피검사 배관로(6) 내에 N2 가스를 공급하고, 관로 내를 소정 압력(예를 들면 0.4㎫ 정도)으로 가압한다. 그 후, 일정 시간마다 배관로 내의 압력 검출값(P2)과 배관로의 온도 검출값(T)을 데이터 기억부(12)에 기억시킴과 아울러 온도 보정을 한 압력 강하값(ΔP2')과 압력 강하 시간(Δt')을 이용하여 하기의 (2)식에 의해 리크량(QL)을 연산한다.
누설량(QL)=압력 강하값(ΔP2')(온도 보정 완료)×배관로 내용적(VL)/압력 강하 시간(Δt')
=압력 강하 속도(S)×배관로 내용적(VL) …(2)식
또한, 누설 검사중의 각 시각에 있어서의 압력 강하값(ΔP2') 등이 데이터 기억부(12)에 적절하게 기억되는 것은 상기 피검사 배관로(6)의 내용적 연산(VL)의 연산의 경우와 마찬가지이다.
또한, (2)식으로 연산된 누설량(QL)은 표시부(13)에 표시됨과 아울러 미리 정한 허용 누설량으로부터 단위 시간당의 압력 강하량(S)(압력 강하 속도(S))이 하기의 (3)식을 이용하여 연산된다.
S=허용 리크량/배관로 내용적…(3)식
즉, (3)식으로 나타낸 압력 강하 속도(S)는 피검사 배관로(6)로부터의 누설량(QL)이 허용 범위 내인지의 여부를 판정하는 기준을 나타내는 것이고, 또한 피검사 배관로로부터의 상기 허용 누설량은 일반적으로 시험자 및 유저의 협의에 의해 미리 결정되는 것이다.
상기 (2)식으로 연산한 누설량(QL)으로부터 압력 강하 속도(S)가 연산되고, 이 연산한 압력 강하 속도(S)와 미리 정한 판단 기준(허용 누설량에 기초하여 결정한 압력 강하 속도)이 대비되어 검사 배관로(6)에 대한 이후의 처치가 결정된다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 누설 검출 방법의 실시 계통도이고, 유량 계측기(3)로서 공지의 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 이용하는 것이다.
압력식 유량 제어 장치(FCS)는 오리피스(15)의 상류측 압력(P1)을 제어함으로써 오리피스(15)를 유통하는 가스 유량을 제어하는 것이고, 제어 신호(Qs)로서 유량 설정 신호를 입력함으로써 피검사 배관로(6)에 공급하는 N2 유량이 자동적으로 설정값으로 유지됨과 아울러 유량 검사 신호(Q), 압력 검출 신호(P2) 등이 외부 출 력으로서 얻어진다.
또한, 시험용 가스 공급원(8)으로부터의 N2 공급압을 3~10㎫로 함으로써 압력식 유량 제어 장치(FCS)에 있어서는 오리피스(15)의 하류측 압력(P2)이 0.1~0.2㎫ 정도로 상승해도 매우 고정밀도한 유량 제어를 행할 수 있다. 그 결과, 보다 고정밀도한 피검사 배관로(6)의 내용적(VL)의 연산이나 누설량 연산을 행할 수 있게 된다.
도 4는 청구항 5에 따른 발명의 실시형태를 나타내는 것이고, 피검사 배관로(6) 내를 소정의 압력값(예를 들면 0.4~0.5㎫)으로 고정밀도로 일정하게 유지하는 것도 가능한 자동 압력 제어 장치(16)를 사용하는 구성으로 한 것이다.
상기 자동 압력 제어 장치(16)는 상기 도 3의 압력식 유량 제어 장치로부터 오리피스(15)를 제거한 것이고, 제어 신호(Sp)로서 설정 압력을 입력하면 2차측 관로의 내압(P2)이 설정값이 되도록 컨트롤 밸브(17)가 자동 개폐 조정되게 되며, 2차측 관로 내압(P2)이 항상 일정값으로 유지된다.
도 4를 참조하여 우선 유량 계측기(3)로부터 일정 유량(Q)의 검사용 가스(N2)를 공급하면서 피검사 배관로(6)의 내용적(VL)을 연산하는 과정이 끝나면 유량 계측기(3)를 자동 모드(공급 유량(Q)을 일정값으로 자동 조정하는 모드)로부터 통상의 유량 계측 모드로 전환함과 아울러 자동 압력 제어 장치(16)를 통상의 압력 검출 모드로부터 자동 압력 조정 모드(출력측 압력(P2)을 설정값으로 일정하게 유지 하는 모드)로 전환한다. 그 결과, 피시험 관로(6) 내로의 가스(N2) 공급 압력(예를 들면 0.4㎫)을 일정하게 유지한 상태 하에서 유량 계측기(3)에 의해 N2 유량을 검출함으로써 상기 N2 유량은 그대로 일정 N2 공급 압력(0.4㎫) 하에 있어서의 피검사 배관로(6)로부터의 누설량을 나타내게 되고, 연산 처리 장치(7)의 누설량 연산부(10)의 구성을 간소화하여 유량 검출 신호(Q)의 온도 보정만을 온도 보정부(11)에서 행함으로써 온도 보정을 한 유량 검출값(Q)이 그대로 피검사 배관로(6)로부터의 누설량을 나타내게 된다.
또한, 상기 도 1, 도 3 및 도 4에 나타낸 각 실시형태에 있어서는 피검사 배관로(6)가 수지제 배관재에 의해 형성되어 있는 경우의 특수한 문제, 즉 가압용 N2 가스 관벽 투과에 의한 압력 강하의 영향이 고려되어 있지 않다. 그러나, 만일 수지제 배관재가 이용되고 있는 배관로(6)에 있어서는 상기 관벽 투과의 압력 강하에 대한 영향을 미리 데이터화하고, 이것을 데이터 기억부(12)에 기억시켜 둘 필요가 있는 것은 물론이다.
(실시예 1)
도 5는 본 발명에 따른 누설 검사 방법의 실시예를 나타내는 계통도이고, 도 5에 있어서 1은 압력 조정기, 2 및 18은 압력 검출기(압력 트랜스듀서), 3은 열식 질량 유량계(매스 플로우 컨트롤러 유량·N2 100sccm), 5는 온도 검출기(서모스탯), 6은 피검사 배관로, 7은 연산 처리 장치(데이터 로거), 8은 N2 가스원, V1 및 V2는 금속 다이어프램 밸브, 19는 리크 샘플(10-6~10-5pa·㎥/sec 정도), 20은 블라인드, 21은 외경 6.35㎜·내경 4.35㎜의 스테인리스 강관, 22는 외경 9.52㎜·내경 7.52㎜의 스테인리스 강관이다.
우선, 가) 유량 계측기(MFC)(3)의 유량 설정을 행하여 피검사 배관로(6)로의 N2 가스의 공급 유량(Q)을 100sccm(0℃, 1atm의 표준 상태로 환산한 1분간당의 유량(㏄))으로 설정하고, 다음으로 나) 밸브(V1, V2)를 완전 개방하여 N2 가스를 유통시켜 유량 계량기(3)의 유량을 안정화시킨다. 또한, 다) 연산 처리 장치(데이터 로거)(7)를 시동시켜 작동 상태로 둔다.
또한, 라) 상기 연산 처리 장치(7)의 시동으로부터 60초 경과 후에 밸브(V2)를 완전 폐쇄하고, 5sec마다 각 압력(P2, P3) 및 N2 유량(Q), 온도(T)를 검출하여 그 각 검출값을 연산 처리 장치(7)에 입력한다.
연산 처리 장치(7)에서는 상기 가)~라)의 조작에 의해 얻어진 각 검출값을 이용하여 우선 피검사 배관로(6)의 내용적(VL)이 연산된다.
구체적으로는, 가) 우선 압력 검출값(P2)을 하기의 연산식을 이용하여 0℃의 값으로 환산한다.
P20= 〔(P2+0.101325)×273/(T+273)〕-0.101325(㎫)
단, P2는 압력 검출값(㎫), T는 온도 검출값(℃), P20은 0℃의 연산값(㎫)이 다.
다음으로, 나) 검출 압력(P2)의 연산값(P20)과 시간(sec)의 관계를 플롯함으로써 압력 상승률(㎫/sec)을 연산한다.
그 후, 다) 유량 계측기(3)의 유량(Q=100sccm)과 상기 압력 상승률(㎫/sec)로부터 표준 상태 하에 있어서의 배관로(6)의 내용적(VL)(㏄)을 하기 식에 의해 연산한다.
VL(㏄)=0.101325(㎫)×Q(sccm)/압력 상승률(㎫/sec)×60(sec)
또한, 상기 각 검출값 및 연산값이 연산 처리 장치(7)의 데이터 기억부(12)에 순차 기억되어 가는 것은 물론이다.
상기 배관로 내용적(VL)의 연산에 필요한 계측이 완료된 후에도 계속해서 N2 가스를 도입함으로써 배관로(6) 내를 설정압(0.45㎫)으로까지 가압하고, 밸브(V1)를 폐쇄한다. 그 후, 나) 압력 변동을 소정의 일정 시간에 걸쳐 측정함과 아울러 압력 변동의 측정이 완료되면 밸브(V2)를 열고, 유량 계측기(3)를 강제 개방으로 하여 검사 배관로(6) 내의 내압을 개방시킨다. 또한, 이번의 실시예에서는 상기 압력 변동을 5sec마다 5시간 측정하도록 했지만, 이들 측정 간격이나 측정 시간은 검사 배관(6)의 내용적이나 리크량의 대·소 등에 맞추어 적절하게 변경되는 것은 물론이다.
상기 연산 처리 장치(7)에서는 상기 압력 변동의 검출값을 이용하여 배관 로(6)의 누설량을 연산한다. 구체적으로는, 우선 가) 압력 검출값(P2)(㎫)을 0℃의 압력값(P20)(㎫)으로 환산한다(환산식은 P20= 〔(P2+0.101325)×273/(T+273)〕-0.101325(㎫)).
다음으로 나) 상기 환산한 압력 검출값(P20)(㎫)과 시간(sec)의 관계를 플롯함으로써 압력 강하율(㎫/sec)을 구한다.
또한 다) 상기 압력 강하율과 먼저 구한 배관로(6)의 내용적(VL)(㏄)으로부터 하기의 연산식에 의해 누설량(QL)(P·㎥/sec)을 연산한다.
누설량=압력 강하율(㎫/sec)×106×배관로 내용적(VL)(㏄)×10-6
또한, 상기 각 설명에 있어서는 압력 검출기(2)의 검출 압력(P2)을 이용하여 연산을 행하고 있지만, 본 실시예에 있어서는 리크 샘플(19) 바로 앞에 설치한 압력 검출기(18)의 검출 압력(P3)을 이용한 연산도 동시에 행하고 있다.
표 1은 사용 리크 샘플(19)이 2.1×10-5pa·㎥/sec정도이고 또한 N2 가스의 봉입 압력(가압 압력)을 0.3㎫로 했을 때의 검사 배관로(6)의 내용적(VL)의 연산값을 나타내는 것이고, P2는 압력 검출기(2)의 검출값을 이용한 경우, P3은 압력 검출기(18)의 검출값을 이용한 경우의 연산값을 각각 나타내는 것이다.
또한, 압력 공급시의 배관로 내압과 시간의 관계를 플롯한 것(압력 상승률) 이 도 6에 나타내어져 있다.
Figure 112008061795022-PCT00001
표 2는 표 1에 나타낸 내용적(VL)을 이용하여 누설량(QL)(pa·㎥/sec)을 연산한 결과를 나타내는 것이다.
또한, 압력 봉입시의 배관로 내압과 시간의 관계를 플롯한 것(압력 강하율)이 도 7에 나타내어져 있다.
Figure 112008061795022-PCT00002
표 3은 동일한 사용 리크 샘플(19)이고, N2 가스의 봉입 압력(가압 압력)을 0.5㎫로 상승시킨 경우의 배관로 내용적(VL)의 연산값을 나타내는 것이며, 또한 표 4는 표 3의 배관로 내용적(VL)을 이용한 경우의 배관로(6)의 누설량(Pa·㎥/sec)의 연산값을 나타내는 것이다. 또한, 상기 표 1과 표 3의 대비로부터도 알 수 있는 바와 같이, 배관 내용적의 연산 결과는 압력 범위가 달라도 거의 일정값이 되고, 어떠한 압력 범위여도 내용적의 연산이 가능한 것을 알 수 있다.
또한, 도 8은 도 6과 마찬가지의 압력 공급시의 배관로 내압과 시간의 관계를 플롯한 것(압력 상승률)을, 또한 도 9는 도 7과 마찬가지의 압력 봉입시의 배관로 내압과 시간의 관계를 플롯한 것(압력 강하율)을 각각 나타내는 것이다.
Figure 112008061795022-PCT00003
Figure 112008061795022-PCT00004
마지막으로, 도 5의 누설 검사의 실시에 사용한 리크 샘플(18)을 IPA 중에 침지시킴과 아울러 상기 리크 샘플(18)에 N2 가스를 공급하여 리크 샘플(18)로부터 누출되는 기포를 집기하는 방법으로 리크 샘플(18)로부터의 실제 리크량을 측정하는 시험을 행했다.
표 5는 상기 IPA 침지 시험의 결과 및 이것과 누설량(QL)의 연산값의 대비를 나타내는 것이다.
Figure 112008061795022-PCT00005
상기 표 5로부터도 알 수 있는 바와 같이, 피시험 배관로(6)의 내용적(VL)은 고정밀도로 연산하는 것이 가능하고, 또한 충분한 재현성을 갖는다는 것을 알 수 있다.
또한, 본 발명에 의해 연산한 배관로(6)의 누설량(QL)은 IPA 침지 시험에 의한 측정 결과와 거의 일치한다는 것을 알 수 있다.
시험 종료 후, 누설이 허용값 이상인 경우 다른 시험 방법으로 누설의 발생 장소를 확인할 필요가 있다. 통상은 누설 장소로부터 He 가스를 누설시키고, 그것을 헬륨 리크 디텍터로 검지함으로써 누설 장소를 특정하는 것이 일반적이다. 그래서, 검사 배관로(6) 내에 공급하는 가스를 N2 가스가 아니라 He 가스로 변경하고, 공급한 He 가스의 내압 등으로부터 내용적(VL) 및 누설량(QL)을 연산함과 아울러 He 누설 시험 방법의 하나인 스니퍼법을 이용하여 He 가스의 누설을 헬륨 리크 디텍터로 검지함으로써 장소를 특정한다,는 방법을 취하는 것도 가능하다.
본 발명은 반도체 제조 설비나 화학품 제조 설비뿐만 아니라, 식품 산업이나 도시 가스 공급 산업 등 각종 산업에 있어서의 배관로의 누설 검사에 적용할 수 있는 것이다.

Claims (9)

  1. 밀폐 상태로 된 피검사 배관로의 일단측 개구로부터 그 안쪽으로 유량 계측기에 의해 유량을 및 압력 검출기에 의해 압력을 검출하면서 일정 유량의 검사용 가스를 공급함과 아울러 온도 검출기에 의해 상기 배관로 또는 배관로 내에 공급하는 검사용 가스의 온도를 검출하고; 상기 압력 검출값, 유량 검출값 및 온도 검출값을 연산 처리 장치에 입력하여 피검사용 배관로 내의 압력 상승값(ΔP2)이 설정값이 될 때까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 검사용 가스의 공급 유량(Q)으로부터 피검사 배관로의 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하며; 다음으로 상기 피검사 배관로 내를 소정의 설정압으로 가압하고나서 소정의 압력 강하 시간(Δt')을 경과한 후의 압력 강하값(ΔP2')과 상기 연산한 배관로 내용적(VL)으로부터 피검사 배관로로부터의 누설량(QL)을 QL=압력 강하값(ΔP2')×배관로 내용적(VL)/압력 강하 시간(Δt')으로서 연산하도록 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 압력 검출 신호(P2)에 의한 압력값을 온도 검출 신호(T)에 의한 온도에 의해 보정하고, 미리 정한 기준 온도에 있어서의 값으로 보정한 압력값을 이용하여 상기 피검사 배관로의 내용적(VL) 및 상기 피검사 배관로의 누설 량(QL)을 연산하도록 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 배관로 내용적(VL)의 연산에 있어서의 배관로 내압을 0.1㎫~0.2㎫로 상승시킴과 아울러 상기 누설량(QL)의 연산에 있어서의 배관로의 최대 가압값을 0.4㎫, 상기 압력 강하 시간(Δt')을 1시간으로 하도록 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유량 계측기 및 압력 검출기로서 압력식 유량 제어 장치를 사용하고, 상기 압력식 유량 제어 장치의 유량 검사 신호 및 압력 검출 신호를 상기 유량 검출 신호(Q) 및 압력 검출 신호(P2)로서 이용하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 방법.
  5. 밀폐 상태로 된 피검사 배관로의 일단측 개구로부터 그 안쪽으로 유량 계측기에 의해 유량을 및 압력 검출기에 의해 압력을 검출하면서 일정 유량의 검사용 가스를 공급함과 아울러 온도 검출기에 의해 상기 배관로 또는 배관로 내에 공급하는 검사용 가스의 온도를 검출하고; 상기 압력 검출값, 유량 검출값 및 온도 검출값을 연산 처리 장치에 입력하여 피검사용 배관로 내의 압력 상승값(ΔP2)이 설정값이 될 때까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 검사용 가스의 공급 유량(Q)으로부터 피검사 배관로의 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하며; 다음으로 상기 유량 계측기로부터 유량을 검출하면서 검사용 가스를 공급함과 아울러 자동 압력 제어 장치에 의해 피검사 배관로 내의 압력(P2)을 일정값으로 유지한 상태에서 상기 검사용 가스를 공급하고, 상기 유량 계측기에 의한 검출 유량(Q)으로부터 피검사용 배관로로부터의 누설량(QL)을 구하도록 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 방법.
  6. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 승압시에 검사용 가스의 공급을 일시 정지하고, 피검사 배관로 내의 압력 변동을 확인하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 방법.
  7. 피검사 배관로에 공급하는 검사용 가스의 공급원;
    상기 공급원으로부터 밀폐된 피검사 배관로 내로 유입되는 일정 유량의 검사용 가스의 공급 유량을 검출하는 유량 계측기 및 압력을 검출하는 압력 검사기;
    상기 피검사용 배관로의 온도 또는 검사용 가스의 온도를 검출하는 온도 검출기;
    상기 유량 계측기로부터의 유량 검출 신호(Q)와 압력 검출기로부터의 압력 검출 신호(P2)와 온도 검출기로부터의 온도 검출 신호(T)가 입력되어 피검사 배관로 의 내압이 설정된 압력 상승값(ΔP2)에 이르기까지의 가압 시간(Δt)과 그동안의 피검사 가스의 공급 유량(Q)으로부터 배관로 내용적(VL)을 VL=공급 유량(Q)×가압 시간(Δt)/압력 상승값(ΔP2)으로서 연산하는 배관로 내용적 연산부; 및
    소정 압력으로 가압된 피검사 배관로의 내압의 소정 압력 강하 시간(Δt') 경과 후의 압력 강하값(ΔP2')과 상기 연산한 배관로 내용적(VL)으로부터 누설량(QL)을 QL=압력 강하값(ΔP2')×배관로 내용적(VL)/압력 강하 시간(Δt')으로서 연산하는 누설량 연산부를 구비한 연산 처리 장치로 구성된 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 연산 처리 장치에 압력 검출 신호(P2)의 온도 보정부와 데이터 기억부를 설치하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 유량 계측기 및 상기 압력 검출기로서 압력식 유량 제어 장치를 이용하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 배관로의 누설 검사 장치.
KR1020087021273A 2006-03-03 2007-03-02 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 KR20090003195A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006057327A JP4684135B2 (ja) 2006-03-03 2006-03-03 配管路の漏洩検査方法及び漏洩検査装置
JPJP-P-2006-00057327 2006-03-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20090003195A true KR20090003195A (ko) 2009-01-09

Family

ID=38509201

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087021273A KR20090003195A (ko) 2006-03-03 2007-03-02 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20090165534A1 (ko)
JP (1) JP4684135B2 (ko)
KR (1) KR20090003195A (ko)
WO (1) WO2007105360A1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190136174A (ko) 2018-05-30 2019-12-10 한국기계연구원 밴드형 배관 누설 검출 장치 및 이를 이용한 배관 누설 검출 시스템
KR20220042331A (ko) 2019-04-19 2022-04-05 한국기계연구원 배관 손상 검출장치, 이를 이용한 배관 손상 검출시스템, 및 이를 이용한 배관 손상 검출방법
KR102456928B1 (ko) * 2022-04-13 2022-10-20 주식회사 승우정밀 기밀 테스트 시스템

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100839615B1 (ko) 2008-03-13 2008-06-20 탑환경주식회사 환경오염 방지를 위한 상,하수관거시설의 누설검사장비
JP5314386B2 (ja) * 2008-10-31 2013-10-16 アズビル株式会社 密閉容器のリーク検出システム及びリーク検出方法
US8818740B2 (en) * 2010-02-17 2014-08-26 Pentair Thermal Management Llc Sensor-powered wireless cable leak detection
JP5394292B2 (ja) * 2010-03-12 2014-01-22 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置および圧力検知システムと温度センサの組合体
EP2672246B1 (en) * 2012-06-05 2017-07-19 Sciemetric Instruments Inc. Methods and Systems for Leak Testing
FR3000215B1 (fr) * 2012-12-21 2016-02-05 Aneolia Dispositif et procede de test d'un echantillon, en particulier de discrimination d'un gaz d'un echantillon
KR101494166B1 (ko) * 2013-09-17 2015-02-17 한국수력원자력 주식회사 원자력 발전소 출력운전 중 격납건물 누설율 측정 시스템
JP6131217B2 (ja) * 2014-05-28 2017-05-17 東京瓦斯株式会社 配管容量推定装置、ガス漏れ検査装置、配管容量推定方法、及び配管容量推定プログラム
WO2015187650A1 (en) * 2014-06-02 2015-12-10 Mechanical Testing Services, Llc Quantitative leak detection system and method
US10119882B2 (en) * 2015-03-10 2018-11-06 Edwards Lifesciences Corporation Surgical conduit leak testing
CN105042337B (zh) * 2015-06-15 2017-10-17 中国石油天然气股份有限公司 一种输油管道泄漏量计算方法
JP6739966B2 (ja) * 2016-03-31 2020-08-12 三菱重工業株式会社 加圧試験方法
CN105782728B (zh) * 2016-04-29 2018-07-13 刘金玉 一种流体漏失监控装置和监控方法
JP6732536B2 (ja) * 2016-05-24 2020-07-29 株式会社フクダ 密封された検査対象の評価方法及び評価装置
CN106015950A (zh) * 2016-06-28 2016-10-12 梁森 一种新型管路泄漏监控装置
US10035311B1 (en) * 2017-01-09 2018-07-31 GM Global Technology Operations LLC Method for manufacturing a leak tight porous component
JP2020139864A (ja) * 2019-02-28 2020-09-03 株式会社堀場エステック 流量算出システム、流量算出システム用プログラム、流量算出方法、及び、流量算出装置
CN112481564A (zh) * 2020-11-26 2021-03-12 海亮奥托铜管（广东）有限公司 一种合金铜管退火装置及合金铜管的退火处理方法
JP6956989B1 (ja) * 2021-02-12 2021-11-02 東京瓦斯株式会社 ガス配管気密検査装置、ガス配管気密検査システム及びプログラム
CN113405740B (zh) * 2021-06-21 2022-10-11 北京卫星环境工程研究所 一种氟化物泄漏检测设备及检测方法
CN113944891B (zh) * 2021-11-05 2023-04-18 中国安全生产科学研究院 一种化工装置设施泄漏检测修正方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6444824A (en) * 1987-08-14 1989-02-17 Kanto Jidosha Kogyo Kk Air leakage measuring apparatus
JPH10104114A (ja) * 1996-09-30 1998-04-24 Nissan Motor Co Ltd エンジンの蒸発燃料処理装置におけるリーク診断装置
JP2001108569A (ja) * 1999-10-13 2001-04-20 Ito Koki Kk ガス供給管路の内容積・漏洩量測定法およびその装置
US7024919B2 (en) * 2001-11-27 2006-04-11 Aim Tech Co., Ltd. Pressure measuring method and device
JP3483253B2 (ja) * 2001-11-27 2004-01-06 慎一郎 有馬 圧力計測方法及び装置
JP4082901B2 (ja) * 2001-12-28 2008-04-30 忠弘 大見 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190136174A (ko) 2018-05-30 2019-12-10 한국기계연구원 밴드형 배관 누설 검출 장치 및 이를 이용한 배관 누설 검출 시스템
KR20220042331A (ko) 2019-04-19 2022-04-05 한국기계연구원 배관 손상 검출장치, 이를 이용한 배관 손상 검출시스템, 및 이를 이용한 배관 손상 검출방법
KR102456928B1 (ko) * 2022-04-13 2022-10-20 주식회사 승우정밀 기밀 테스트 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007105360A1 (ja) 2007-09-20
JP2007232666A (ja) 2007-09-13
JP4684135B2 (ja) 2011-05-18
US20090165534A1 (en) 2009-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20090003195A (ko) 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치
KR102093571B1 (ko) 누설 검사 장치 및 방법
CN102483344B (zh) 上游体积质量流量检验***和方法
KR101606497B1 (ko) 유량함수 내장형 질량유량계 교정방법
EP2023114A1 (en) Leak inspection method and leak inspector
JP2008170410A (ja) 質量流量制御装置、その検定方法及び半導体製造装置
JPH0157728B2 (ko)
TWI494554B (zh) Method and device for differential pressure measurement
KR100907875B1 (ko) 가스미터기 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
JP5620184B2 (ja) 漏れ検査装置及び漏れ検査方法
CN107631773B (zh) 用于运行流量测量仪器的方法和流量测量仪器
KR20180030447A (ko) 가스 공급계의 검사 방법, 유량 제어기의 교정 방법, 및 2차 기준기의 교정 방법
KR20140135650A (ko) 과도 가스 흐름의 계측 방법
JP5113894B2 (ja) 流量計測方法及びそれを使った流量計測装置
JP4329921B2 (ja) 検査用ガスの混合装置および混合方法
JP2000039347A (ja) 流量検査装置
EP2933612A1 (en) Method of determining an internal volume of a filter or a bag device, computer program product and a testing apparatus for performing the method
JP2017129477A (ja) 漏れ検査装置及び方法
RU2805287C1 (ru) Способ определения интегральной утечки из замкнутого объема
JP2023043985A (ja) 欠陥検査方法
JP4281001B2 (ja) ガスリーク検査装置
CN114076660B (zh) 一种用于密闭空间内的管道泄漏点定位检测装置及方法
KR870003633Y1 (ko) 압력변화 검출식 누출 검사장치
JPH0812099B2 (ja) 容積測定装置及びその測定方法
JP2001027555A (ja) 流量計測装置およびリークテスタ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application