JP5113894B2 - 流量計測方法及びそれを使った流量計測装置 - Google Patents
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そこで、従来はワークの漏れ量検査においてはワークからの漏れ量に対応する体積流量Qtを流量計20により計測し、演算装置30の流量換算部30Rにおいてその体積流量Qtを予め決めた標準状態、例えば20℃、1気圧(1013hPa)の流量Q20’に換算して表示している。具体的には、例えば計測環境での実体積流量Qtを質量流量ρtQtで考えると、標準状態に換算された質量流量ρ20Q20’と等しいので、次式
(a) 流量計を通してワークに供給する気体のテスト圧が所定の値となるように調整する過程と、
(b) 流量計による計測環境での実体積流量と、ワークに供給する気体の温度と、計測環境の気圧を測定する過程と、
(c) 上記温度と上記気圧により決まる所定の標準状態への換算係数を上記計測環境での実体積流量に乗算して標準状態での流量に換算する過程と、
(d) 上記換算流量を、上記換算係数の平方根で割り算し、割り算結果を計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量として得て、上記換算流量と上記等価な流量のいずれか一方又は両方を表示する過程と、
を含むことを特徴とする。
(a) 流量計を通してワークに供給する気体のテスト圧が所定の値となるように調整する過程と、
(b) 流量計による計測環境での実体積流量と、ワークに供給する気体の温度と、計測環境の気圧を測定する過程と、
(c) 上記実体積流量に対し、上記温度と上記気圧により決まる所定の標準状態への換算係数の平方根を乗算し、乗算結果を計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量として表示する過程と、
を含むことを特徴とする。
計測環境の気圧を測定する気圧計と、
空圧源からテスト導管を通してワークに供給する気体をテスト圧に設定する調圧弁と、
上記ワークに供給する気体の温度を測定する温度計と、
上記調圧弁の下流においてテスト導管に直列に挿入された流量計と、
上記流量計により計測された計測環境での実体積流量に対し、上記気体の温度と、上記計測環境の気圧とで決まる所定の標準状態への換算係数を乗算して換算流量を求める流量換算部と、
上記換算流量を、上記換算係数の平方根で割り算し、割り算結果を計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量として得る流量等価部と、
上記等価な流量を表示する表示部と、
を含むことを特徴とする。
計測環境の気圧を測定する気圧計と、
空圧源からテスト導管を通してワークに供給する気体をテスト圧に設定する調圧弁と、
上記ワークに供給する気体の温度を測定する温度計と、
調圧弁の下流においてテスト導管に直列に挿入された流量計と、
上記流量計により計測された計測環境での実体積流量に対し、上記気体の温度と、上記計測環境の気圧とで決まる所定の標準状態への換算係数の平方根を乗算し、乗算結果を計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量として得る流量等価部と、
上記等価な流量を表示する表示部と、
を含むことを特徴とする。
図1の流量計20によりワーク40に供給するテスト圧の気体の温度がt℃、計測環境の大気圧がB(hPa)の時、テスト圧ΔP1を与えて生じる漏れ流量(即ち、計測環境での流量)Qtは式(1) で与えられる。同じワーク40に対し標準状態(20℃、1013 hPa)で同じテスト圧ΔP1を与えて生じる漏れ流量(即ち、標準状態での流量)Q20は次式
図2は図1と同様に流量計を使用した流量計測装置の第1実施例を示し、図3はその計測方法の処理過程を示す。図1における流量計測装置230との差異は図1における演算装置30に流量等価部30Eが追加された演算装置30’を使用していることである。その他の構成は図1と全く同じである。従って、従来の演算装置30に流量等価部30Eの処理が新しく追加されており、その他は図1と同じである。
ステップS1:開閉弁16を開いて空圧源11から流量計20を通してワーク40に気体を供給し、調圧弁12を調整してテスト圧計13が示す気体圧力(大気圧との差圧ΔP1)が所定のテスト圧となるように設定する。
ステップS2:温度計32からの気体温度t及び気圧計33から計測環境の気圧Bを係数記憶部30Mに読み込む。
ステップS3:流量計20が計測した計測環境での実体積流量Qtを演算装置30’に取り込む。
ステップS4:流量換算部30Rにおいて計測環境での実体積流量Qtに対し、式(2)により気圧Bと温度tを使って計算した標準状態への換算係数を乗算して換算流量Q20’を得る。
ステップS5:流量等価部30Eにおいて式(10) により換算流量Q20’を換算係数の平方根で割り算して標準状態での流量と等価な流量Q20を得、換算流量及び/又は等価流量を表示部31に表示する。
図4はこの発明による流量計測装置の第2実施例を示し、図5はその計測方法の処理過程を示す。図1における流量計測装置230との差異は図1における演算装置30の流量換算部30Rの替わりに流量等価部30E’が設けられた演算装置30”を使用していることである。その他の構成は図1と全く同じである。従って、演算装置30”における流量等価部30E’の処理が新しく、その他は図1と同じである。
ステップS1:開閉弁16を開いて空圧源11から流量計20を通してワーク40に気体を供給し、調圧弁12を調整してテスト圧計13が示す気体圧力ΔP1が所定のテスト圧となるように設定する。
ステップS2:温度計32からの気体温度t及び気圧計33から計測環境の気圧Bを係数記憶部30Mに読み込む。
ステップS3:流量計20により計測した計測環境での実体積流量Qtを演算装置30”に取り込む。
ステップS4:流量等価部30E’において計測環境での実体積流量Qtに対し、式(2) により気圧Bと温度tを使って計算した標準状態への換算係数の平方根を乗算して式(12)の等価流量Q20を得て、表示部31に表示する。
Claims (4)
- (a) 流量計を通してワークに供給する気体のテスト圧が所定の値となるように調整する過程と、
(b) 流量計による計測環境での実体積流量と、ワークに供給する気体の温度と、計測環境の気圧を測定する過程と、
(c) 上記温度と上記気圧により決まる所定の標準状態への換算係数を上記計測環境での実体積流量に乗算して標準状態での流量に換算して換算流量を求める過程と、
(d) 上記換算流量を、上記換算係数の平方根で割り算し、割り算結果を計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量として得て、上記換算流量と上記等価な流量のいずれか一方又は両方を表示する過程と、
を含むことを特徴とする流量計測方法。 - 計測環境の気圧を測定する気圧計と、
空圧源からテスト導管を通してワークに供給する気体をテスト圧に設定する調圧弁と、
上記ワークに供給する気体の温度を測定する温度計と、
上記調圧弁の下流においてテスト導管に直列に挿入された流量計と、
上記流量計により計測された計測環境での実体積流量に対し、上記気体の温度と、上記計測環境の気圧とで決まる所定の標準状態への換算係数を乗算して換算流量を求める流量換算部と、
上記換算流量を、上記換算係数の平方根で割り算し、割り算結果を計測環境が標準状態での流量計測と等価な流量として得る流量等価部と、
表示部と、
上記換算流量と上記等価な流量の一方又は両方を選択して上記表示部に表示させる選択部と、
を含むことを特徴とする流量計測装置。
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