KR20080074559A - Array tester - Google Patents

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Abstract

An array tester is provided to remove the necessity for a special light direction control device, thereby reducing its size and preventing generation of static electricity of a panel or removing generated static electricity. A loading unit(110) includes at least two or more loading plates(112) disposed in parallel at a predetermined interval. On the loading plates, a panel(2) to be tested is loaded. A test unit(120) is disposed in one side of the loading unit, and tests an electric defect of the panel transferred along the loading plate. An unloading unit(130) is disposed in one side of the test unit. In the unloading unit, the tested panel is transferred from the test unit and unloaded. At least one panel transfer assembly(160) moves the panel from at least the loading unit to the test unit. The panel transfer assembly includes at least one guide rail(162), a first moving member and a suction plate.

Description

어레이 테스트 장비{Array tester}Array test equipment {Array tester}

도 1은 종래의 어레이 테스트 장비를 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram showing a conventional array test equipment.

도 2는 중래의 테스트 모듈을 도시한 단면도이다.Fig. 2 is a cross-sectional view showing a test module of the invention; Fig.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating an array test equipment according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 4는 도 3에서 패널 이송 어셈블리를 도시한 사시도이다.Figure 4 is a perspective view of the panel transfer assembly in Figure 3;

도 5는 도 4의 A부를 확대 도시한 사시도이다.5 is an enlarged perspective view of part A of FIG.

도 6a 및 도 6b는 패널 이송 어셈블리의 패널 회전 기구를 도시한 평면도들이다. 6A and 6B are plan views showing a panel rotating mechanism of the panel transfer assembly.

도 7은 도 3에서 테스트 모듈을 도시한 개념도이다.7 is a conceptual diagram showing a test module in FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Description of the Related Art [0002]

2: 패널 5: 패널 전극2: Panel 5: Panel electrode

110: 로딩부 112: 로딩 플레이트110: loading part 112: loading plate

114, 134: 블로잉 홀 120: 테스트부114, 134: Blowing hole 120: Test section

122: 테스트 플레이트 130: 언로딩부122: test plate 130: unloading part

132: 언로딩 플레이트 150: 테스트 모듈132: unloading plate 150: test module

151: 광원 152: 모듈레이터151: light source 152: modulator

152a: 모듈레이터 입사면 152b: 모듈레이터 출사면152a: modulator entrance surface 152b: modulator exit surface

154: 전광 물질층 155: 모듈레이터 전극층154: all-optical material layer 155: modulator electrode layer

157: 결함 검출부 160: 패널 이송 어셈블리157: defect detection unit 160: panel transfer assembly

162: 가이드 레일 164: 제1 이동 부재162: guide rail 164: first movable member

166: 흡착판 167: 흡착 홀166: suction plate 167: suction hole

168: 제2 이동 부재 172: 실린더 장치168: second moving member 172: cylinder device

본 발명은 어레이 테스트 장비에 관한 것으로서, 보다 평판 디스플레이 패널과 같은 패널의 전기적 결함 여부를 테스트하는 어레이 테스트 장비에 관한 것이다.The present invention relates to an array test equipment, and more particularly, to an array test equipment for testing whether a panel such as a flat panel display panel is electrically defective.

평판 디스플레이 패널은, 통상 상부 및 하부 기판 사이에 전극들이 형성되어 있다. 예를 들어 TFT LCD 패널은, 하부 기판 상에 TFT가 형성된 TFT 패널과, 칼라 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 패널과 대향 배치된 필터 패널과, 상기 TFT 패널과 필터 패널 사이에 주입된 액정과, 백라이트를 구비한다. In the flat panel display panel, electrodes are usually formed between the upper and lower substrates. For example, the TFT LCD panel includes a TFT panel on which a TFT is formed on a lower substrate, a filter panel having a color filter and a common electrode formed thereon and opposed to the TFT panel, a liquid crystal injected between the TFT panel and the filter panel, , And a backlight.

상기 TFT 패널과 같은 패널의 결함은 어레이 테스트 장비에 의하여 검사된다. Defects of the panel such as the TFT panel are inspected by the array test equipment.

도 1은 종래의 어레이 테스트 장비를 도시한 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 어레이 테스트 장비(10)는 테스트 베이스(20)와, 패널 안착판(30)과, 모듈 이동 기구(40)와, 테스트 모듈(50)을 구비한다. 패널 안착판(30)은 테스 트 베이스(20)에 설치되어서, 테스트 받을 적어도 하나 이상의 패널(2)을 하측으로부터 지지한다. 이 경우 후술할 테스트 모듈(50)은 그 구성요소들이 모두 패널 안착판(30)의 일측 방향에 위치하므로, 상기 패널 안착판(30)은 투명한 소재로 이루어지지 않는다. 1 is a perspective view showing a conventional array test equipment. 1, the conventional array test equipment 10 includes a test base 20, a panel seating plate 30, a module moving mechanism 40, and a test module 50. As shown in FIG. The panel seating plate 30 is installed in the test base 20 and supports at least one panel 2 to be tested from below. In this case, since all the components of the test module 50 to be described later are located in one direction of the panel seating plate 30, the panel seating plate 30 is not made of a transparent material.

테스트 모듈(50)은 패널(2)의 전극들의 결함을 검출한다. The test module 50 detects defects in the electrodes of the panel 2.

모듈 이동 기구(40)는 상기 테스트 베이스(20)에 설치되어서 테스트 모듈(50)을 수평 이동시키는 기능을 한다. 이 경우 상기 모듈 이동 기구(40)는 X축 겐트리(42) 및 Y축 겐트리(44)를 구비한다. Y축 겐트리(44)는 상기 테스트 베이스(20)의 양측부에서 Y축 방향으로 연장되도록 설치되고, X축 겐트리(42)는 그 양단부가 상기 Y축 겐트리(44)들에 결합되어서 전체적으로 X축 방향으로 연장 형성된다. 상기 X축 겐트리(42)는 상기 Y축 겐트리(44)를 따라서 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 테스트 모듈(50)은 상기 X축을 따라서 이동되도록 상기 X축 겐트리(44)에 결합된다. The module moving mechanism 40 is installed in the test base 20 and horizontally moves the test module 50. In this case, the module moving mechanism 40 has the X-axis gantry 42 and the Y-axis gantry 44. The Y-axis gantry 44 is installed on both sides of the test base 20 so as to extend in the Y-axis direction. Both ends of the X-axis gantry 42 are coupled to the Y-axis gantry 44 And extends in the X-axis direction as a whole. The X-axis gantry 42 can be moved along the Y-axis gantry 44 in the Y-axis direction. The test module 50 is coupled to the X-axis gantry 44 to be moved along the X-axis.

따라서 상기 테스트 모듈(50)은 X축 겐트리(44)와 연동하여 Y축 방향으로 이동하고, 상기 X축 겐트리(42)를 따라 X축 방향으로 이동가능하게 된다. Accordingly, the test module 50 moves in the Y-axis direction in conjunction with the X-axis gantry 44 and is movable in the X-axis direction along the X-axis gantry 42.

즉, 패널(2)은 고정된 채로, 테스트 모듈(50)이 X, Y축 방향으로 이동하면서 패널의 결함 여부를 검출한다. 이로 인하여, 테스트 모듈이 이동하면서 진동이 발생하게 되고, 상기 진동으로 인하여 미세입자들이 상기 패널 상에 떨어지는 문제가 발생한다. That is, while the panel 2 is fixed, the test module 50 detects whether or not the panel is defective while moving in the X and Y axis directions. As a result, vibrations are generated while the test module moves, and the vibration of the test module causes the fine particles to fall on the panel.

이와 더불어, 상기 패널(2)을 상기 패널 안착부(30)에 로딩하거나 상기 패널 안착부(30)로부터 언로딩하는 작업이 상기 패널을 테스트하는 작업과 동시에 행해지기 어렵다. 또한, 패널(2)이 패널 안착부(30)에 로딩하거나 패널 안착부(30)로부터 언로딩하는 경우, 상기 테스트 모듈(50)이 방해가 되지 않는 위치에 있어야 한다. 이로 인하여 상기 어레이 테스트 장비의 테스트 시간이 증가하게 된다는 문제점이 있다. In addition, it is difficult to perform the operation of loading or unloading the panel 2 onto the panel seating portion 30 or the panel seating portion 30 simultaneously with the operation of testing the panel. In addition, when the panel 2 is loaded on the panel seating portion 30 or unloaded from the panel seating portion 30, the test module 50 should be in a position where it is not disturbed. This increases the test time of the array test equipment.

한편, 도 2는 미국특허 6,151,153호에 기재된 바와 같은 종래의 테스트 모듈(50)의 일예를 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 테스트 모듈(50)은 광원(51)과, 모듈레이터(53)와, 카메라(54)를 구비하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 모듈레이터(53)는 반사층(53a)과, 전광 물질층(53b)과, 모듈레이터 전극층(53c)과, 투명 기판층(53d)을 구비할 수 있다. 상기 모듈레이터(53)는 테스트 받을 패널(2)에 근접되어서, 패널 전극(5)들과 모듈레이터 전극층(53c) 사이에 전기장이 발생하도록 한다. 이때에, 패널 전극(5)에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 상기 모듈레이터의 전광 물질층(53b)에서 전기장의 크기가 작아지게 되며, 따라서 상기 검출된 전기장의 크기에 따라서 패널의 결함여부를 검출하게 된다. 2 is a diagram showing an example of a conventional test module 50 as described in U.S. Patent No. 6,151,153. As shown in FIG. 2, the conventional test module 50 may include a light source 51, a modulator 53, and a camera 54. In this case, the modulator 53 may include a reflective layer 53a, an all-optical material layer 53b, a modulator electrode layer 53c, and a transparent substrate layer 53d. The modulator 53 is brought close to the panel 2 to be tested so that an electric field is generated between the panel electrodes 5 and the modulator electrode layer 53c. At this time, the size of the electric field in the all-optical material layer 53b of the modulator becomes smaller than that in the case where there is no defect in the panel electrode 5, and therefore, according to the magnitude of the detected electric field, .

이 경우, 상기 광원(51)과 카메라(54)가 모두 패널(2)의 일측(도 2에서는 상측) 방향에 배치되어 있다. 따라서, 상기 광원(51)으로부터의 빛이 미러 등을 통과하여 모듈레이터(30)로 입사된 빛이 상기 모듈레이터의 반사층(53a)에 의하여 반사되어 다시 모듈레이터에 입사된 방향과 반대 방향으로 모듈레이터(53)에서 출사된다. 따라서 광원(51)에서 모듈레이터(53)까지의 광로가 모듈레이터(53)에서 카 메라(54)까지의 광로와 적어도 일부가 동일하다. 따라서 광원(51)과 카메라(54)가 서로 간섭이 일어나지 않도록 하여야 하며, 이를 위하여 어레이 테스트 장비는 미러 등의 광 방향 조절 장치(52)가 필요하게 된다. In this case, both the light source 51 and the camera 54 are disposed on one side (upper side in Fig. 2) of the panel 2. Therefore, the light from the light source 51 passes through the mirror or the like, and the light incident on the modulator 30 is reflected by the reflection layer 53a of the modulator 53, Lt; / RTI > The optical path from the light source 51 to the modulator 53 is at least partially the same as the optical path from the modulator 53 to the camera 54. [ Therefore, the light source 51 and the camera 54 should not interfere with each other. For this purpose, the optical direction adjusting device 52 such as a mirror is required for the array test equipment.

또한, 전광 물질층(53b)을 통과한 빛이 반사되어서 다시 상기 전광 물질층(53b)으로 유입되어서 이를 통과하므로, 빛의 손실이 커지게 된다. 따라서 상기 빛의 손실을 보상하기 위해서는 광원(51)으로부터 방출되는 빛의 세기를 크게 할 필요가 있다.In addition, the light passing through the all-optical material layer 53b is reflected and then flows into the total-optical material layer 53b and passes through the entire optical material layer 53b, thereby increasing the loss of light. Therefore, in order to compensate for the loss of light, it is necessary to increase the intensity of the light emitted from the light source 51.

다시 도 1로 되돌아가서, 상기한 바와 같이 테스트 받을 패널(2)은 상기 패널 안착판(30) 상에 안착되어 있고, 상기 테스트 모듈(50)이 수평 및 수직 방향으로 움직이면서 패널의 결함 여부를 검사하게 된다. 즉, 패널(2)을 검사하기 위하여, 도2에서와 같이 테스트 모듈에 구비된 광원(51)과, 모듈레이터(53)와, 카메라(54)가 이동되어야 한다. 그런데, 테스트 모듈의 광원과 모듈레이터와 카메라 사이에 정확한 정렬이 필요한데, 상기 패널의 결함 여부 검출을 위하여 테스트 모듈이 이동하여야 함에 따라 상기 광원과 모듈레이터와 카메라 사이의 정렬이 어긋날 수 있게 되며, 상기 정렬이 어긋날 경우 다시 상기 광원과 모듈레이터와 카메라 사이의 정렬을 다시 맞추어야한다는 문제점이 있다. Referring again to FIG. 1, as described above, the panel 2 to be tested is seated on the panel seating plate 30, and the test module 50 is moved horizontally and vertically to check whether the panel is defective. . That is, in order to inspect the panel 2, the light source 51, the modulator 53, and the camera 54 provided in the test module must be moved as shown in FIG. However, precise alignment between the light source of the test module and the modulator and the camera is required. As the test module must be moved in order to detect the defect of the panel, the alignment between the light source and the modulator and the camera may be dislocated, There is a problem that the alignment between the light source, the modulator, and the camera must be adjusted again.

따라서 본 발명은, 미러나, 빔 스플리트 등의 광 방향 조절 장치 및 반사층이 불필요함과 동시에, 광원으로부터 발생하는 빛의 손실이 커지 않아서 광원의 세기를 적정 이상 크게 할 필요가 없는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, it is an object of the present invention to provide an array structure in which a light direction adjusting device such as a mirror, a beam splitter, and a reflecting layer are unnecessary and the loss of light generated from the light source is not large, It is intended to provide test equipment.

본 발명의 다른 목적은, 테스트 장비의 테스트 시간을 감축시킬 수 있고, 테스트 모듈을 구성하는 구성요소간의 정렬이 어긋나지 않는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다. It is another object of the present invention to provide an array test equipment capable of reducing the test time of the test equipment and having a structure in which the alignment between the components constituting the test module does not deviate.

본 발명의 또 다른 목적은, 패널의 결함을 검출하기 위하여 테스트 모듈이 이동하지 않거나, 최소한의 거리를 이동하는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide an array test equipment having a structure in which a test module does not move or moves a minimum distance in order to detect a defect in a panel.

따라서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비는: 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 받을 패널이 그 상측에 로딩하는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트들을 구비하는 로딩부와; 상기 로딩부의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩 플레이트를 따라 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부와; 상기 테스트부 일측에 배치되며 상기 테스트 완료된 패널이 상기 테스트부로부터 여기로 이송되어 언로딩되는 언로딩부와; 상기 패널을 적어도 상기 로딩부로부터 테스트부로 이동시키는 적어도 하나의 패널 이송 어셈블리를 구비하고, 상기 패널 이송 어셈블리는: 상기 로딩 플레이트들 사이에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된 적어도 하나의 가이드 레일과; 상기 가이드 레일을 따라서 이동 가능하게 설치된 제1 이동 부재와; 상기 제1 이동 부재 상측에 설치되며 상기 테스트용 패널을 하측으로부터 흡착하는 흡착판을 구비한다.Therefore, the array test equipment according to the preferred embodiment of the present invention includes: a loading unit having at least two loading plates arranged side by side with each other spaced apart from each other to load a test panel thereon; A testing unit disposed at one side of the loading unit, wherein the testing unit tests an electrical defect of the panel transferred along the loading plate; An unloading unit disposed at one side of the test unit and having the tested panel transferred from the test unit to the unloading unit; And at least one panel transfer assembly for moving the panel from at least the loading portion to the test portion, wherein the panel transfer assembly comprises: at least one panel transfer assembly between the loading plates in a first axis direction, A guide rail; A first moving member movably installed along the guide rail; And a suction plate installed on the first moving member and sucking the test panel from below.

이 경우, 상기 흡착판에는, 상기 흡착판을 상하로 관통하는 적어도 하나의 흡착 홀이 형성되고, 상기 흡착 홀에 부압을 제공하는 부압 제공 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다. In this case, it is preferable that the adsorption plate further includes at least one adsorption hole passing through the adsorption plate up and down, and a negative pressure providing device for providing a negative pressure to the adsorption hole.

또한, 상기 가이드 레일은 LM 가이드(linear motion guide) 레일이고, 상기 제1 이동 부재는 상기 LM 가이드 레일을 따라서 이동하는 런너 블록인 것이 바람직하다.Preferably, the guide rail is a linear motion guide rail, and the first moving member is a runner block moving along the LM guide rail.

또한, 상기 패널 이송 어셈블리는: 상기 제1 이동 부재의 이동 방향과 수직방향인 제2축 방향으로 피스톤 리더들이 이동 가능하도록, 상기 제1 이동 부재에 설치된 실린더 장치와; 그 일측은 상기 피스톤 리더와 연동하여 상기 제2축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동 부재와 결합되고, 다른 일측은 상기 흡착판과 결합되는 제2 이동 부재를 더 구비하는 것이 바람직하다.The panel transfer assembly may further include: a cylinder device installed on the first moving member such that piston readers are movable in a second axis direction perpendicular to the moving direction of the first moving member; And the second moving member is coupled to the first moving member so as to be movable in the second axial direction in cooperation with the piston leader, and the other movable member is coupled to the suction plate.

또한, 상기 로딩 플레이트에는, 상기 로딩 플레이트의 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀들이 형성되고, 상기 블로잉 홀들을 통하여 상기 패널의 하면에 정압을 공급하는 정압 공급 장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.The loading plate may further include a plurality of blowing holes passing through the upper and lower portions of the loading plate and a static pressure supplying device for supplying a static pressure to the lower surface of the panel through the blowing holes .

또한, 상기 언로딩부는, 서로 유격을 가지고 나란히 배치되며 테스트 완료된 패널이 그 상측에 배치된 적어도 두 개 이상의 언로딩 플레이트들을 구비하고, 상기 패널 이동 어셈블리는 상기 언로딩 플레이트들 사이에 더 배치될 수 있다.The unloading unit may further include at least two unloading plates spaced apart from each other and arranged side by side and having a tested panel disposed thereon, and the panel moving assembly may be further disposed between the unloading plates have.

한편, 상기 테스트부는: 적어도 패널의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어 상기 패널이 그 상측에서 테스트 받으며, 투광 소재의 테스트 플레이트와; 상기 테스트 플레이트 상측에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 차례로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비하여, 상기 광원으로부터 발생한 빛이 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 테스트 모듈을 구비하는 것이 바람직하다.On the other hand, the test unit includes: a test plate of a light transmitting material; at least a test region of the panel is disposed on the upper side thereof and the panel is tested on the upper side thereof; A light source arranged in a direction of one of a front side and a back side of a panel positioned above the test plate and a modulator and a defect detecting unit arranged in order in a direction opposite to the light source with respect to the panel, And a test module for detecting whether or not the panel electrode is electrically defective according to an amount of the panel electrode passing through the exit surface of the modulator.

이어서 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. The present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 사시도이다. 이 경우, 어레이 테스트 장비(100)란 패널(2)에 형성된 패널 전극(5; 도 7 참조)들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다. 이 경우, 패널(2)이란 전광기기에 구비된 패널일 수 있으며, 예를 들어 TFT LCD 기판 중 TFT가 형성된 TFT 패널일 수 있다.3 is a perspective view of an array test equipment 100 according to a preferred embodiment of the present invention. In this case, the array test equipment 100 is an equipment for testing electrical defects of the panel electrodes 5 (see FIG. 7) formed on the panel 2. FIG. In this case, the panel 2 may be a panel provided in an electro-optical device, for example, a TFT panel in which a TFT is formed among TFT LCD substrates.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 로딩부(110)와, 테스트부(120)와, 언로딩부(130)와, 테스트 모듈(150)을 구비한다. 3, the array test equipment 100 according to the embodiment of the present invention includes a loading unit 110, a test unit 120, an unloading unit 130, and a test module 150 Respectively.

로딩부(110)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(112)를 구비한다. 상기 로딩 플레이트(112)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 받을 패널(2)이 그 상측에 로딩된다. 상기 로딩 플레이트(112)는 상기 테스트될 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 테스트부(120)로 이동되도록 한다.The loading unit 110 includes at least two loading plates 112. The loading plates 112 are spaced apart from one another and arranged side by side so that the panel 2 to be tested is loaded thereon. The loading plate 112 allows the panel 2 to be tested to be seated or spaced at a predetermined interval to be moved to the test unit 120.

테스트부(120)는 상기 로딩부(110)의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩 플레이트(112)를 따라 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트된다. 상기 테스트부(120)는, 투광 소재로 이루어진 테스트 플레이트(122) 및 상기 테스트 플레이 트(122) 상에 배치된 패널의 오류 여부를 검출하는 테스트 모듈(150)을 구비할 수 있다. 상기 테스트 모듈(150)에 대해서는 후에 상세히 설명한다. The test section 120 is disposed at one side of the loading section 110 where electrical defects of the panel transferred along the loading plate 112 are tested. The test unit 120 may include a test plate 122 made of a light-transmitting material and a test module 150 for detecting whether or not the panel is disposed on the test plate 122. The test module 150 will be described later in detail.

언로딩부(130)는 상기 테스트부(120) 일측에 배치되며 상기 테스트 완료된 패널(2)이 상기 테스트부(120)로부터 여기로 이송되어 언로딩된다. 이 경우 언로딩부(130)는 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)는 상기 테스트 완료된 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 한다. The unloading unit 130 is disposed on one side of the test unit 120 and the tested panel 2 is transferred from the test unit 120 to the unloaded unit. In this case, the unloading portion 130 may include the unloading plate 132. The unloading plate 132 allows the tested panel 2 to be floated or lifted with a predetermined gap therebetween.

패널은 적어도 하나의 패널 이송 어셈블리(160)에 의하여 적어도 상기 로딩부(110)로부터 테스트부(120)로 이동된다. 도 4는 도 3 중 패널 이송 어셈블리(160)를 도시한 사시도로서, 로딩부에서 로딩 플레이트를 제외한 구조를 도시하고 있다. 도 4를 참조하면, 패널 이송 어셈블리(160)는 적어도 하나의 가이드 레일(162)과, 제1 이동 부재(164)와, 흡착판(166)을 구비한다. 가이드 레일(162)은 상기 로딩 플레이트(112; 도 3참조)들 사이에 상기 패널(2)의 진행 방향과 나란한 제1축(도 4에서는 Y축)으로 설치된다. 제1 이동 부재(164)는 상기 가이드 레일(162)을 따라서 이동 가능하게 설치된다. 흡착판(166)은 상기 제1 이동 부재(164) 상측에 설치되며 상기 테스트용 패널을 하측으로부터 흡착한다.The panel is moved from at least the loading portion 110 to the test portion 120 by at least one panel transfer assembly 160. FIG. 4 is a perspective view illustrating the panel transfer assembly 160 of FIG. 3, showing the structure except for the loading plate at the loading section. 4, the panel transfer assembly 160 includes at least one guide rail 162, a first shifting member 164, and a suction plate 166. As shown in FIG. The guide rail 162 is installed between the loading plate 112 (see FIG. 3) and a first axis (Y axis in FIG. 4) parallel to the traveling direction of the panel 2. The first movable member 164 is movably installed along the guide rail 162. The attracting plate 166 is disposed above the first moving member 164 and adsorbs the test panel from below.

즉, 로딩 플레이트 상에 테스트용 패널(2)이 로딩되면, 흡착판(166)이 상기 패널을 하측에서 접하면서 지지한다. 이 상태에서 상기 제1 이동 부재(164)가 가이드 레일(162)을 따라서 이동하면서 상기 패널을 테스트부(120)로 이동시킨다. 이 경우 가이드 레일(162)은 LM(liner motion) 가이드 레일이고, 제1 이동 부 재(164)는 상기 LM 가이드 레일 상에 배치된 런너 블록일 수 있으며, 따라서 상기 가이드 레일 및 제1 이동 부재는 LM 가이드 결합되어 있을 수 있다. 이로 인하여 패널 이송 어셈블리(160)가 패널을 정확한 위치로 이동 시킬 수 있다. That is, when the test panel 2 is loaded on the loading plate, the attracting plate 166 supports the panel while contacting the lower side. In this state, the first moving member 164 moves along the guide rail 162 to move the panel to the test unit 120. In this case, the guide rail 162 may be a linear motion (LM) guide rail, and the first moving member 164 may be a runner block disposed on the LM guide rail, so that the guide rail and the first moving member LM guide can be combined. This allows the panel transfer assembly 160 to move the panel to the correct position.

상기 흡착판(166)에는, 상기 흡착판(166)을 상하로 관통하는 적어도 하나의 흡착 홀(167)이 형성될 수 있다. 이 경우, 패널 이송 어셈블리(160)는, 상기 흡착 홀(167)에 부압을 제공하는 부압 제공 장치를 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 흡착판은 고무 재질로 이루어질 수 있다.At least one suction hole 167 passing through the adsorption plate 166 may be formed in the adsorption plate 166. In this case, the panel transfer assembly 160 may further include a negative pressure providing device for providing a negative pressure to the suction hole 167. In addition, the attracting plate may be made of a rubber material.

다시 도 3으로 되돌아가서, 상기 언로딩부(130)는 적어도 두 개 이상의 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 완료된 패널이 그 상측에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 패널 이송 어셈블리(160)는 상기 언로딩 플레이트(132)들 사이에도 배치될 수도 있다. 즉, 가이드 레일(162)이 상기 언로딩 플레이트(132)들 사이에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치되고, 제1 이동 부재(164)는 상기 가이드 레일(162)을 따라서 이동 가능하게 설치되며, 흡착판(166)이 상기 제1 이동 부재(164) 상측에 설치되며 상기 테스트용 패널을 하측으로부터 흡착하도록 배치될 수 있다. 이로 인하여 로딩부(110)에 배치된 패널 이송 어셈블리(160)가 패널을 흡착하여 테스트부(120)로 이동시키고, 상기 테스트부(120)로부터 언로딩부(130)로는 언로딩부(130)에 배치된 패널 이송 어셈블리(160)가 패널을 이동시킬 수 있게 된다. Referring again to FIG. 3, the unloading unit 130 may include at least two unloading plates 132. The unloading plates 132 are spaced apart from one another and arranged side by side so that the tested panel is positioned on the upper side thereof. In this case, the panel transfer assembly 160 may also be disposed between the unloading plates 132. That is, a guide rail 162 is installed between the unloading plates 132 in a first axial direction parallel to the moving direction of the panel, and the first moving member 164 moves along the guide rail 162 And a sucking plate 166 may be disposed above the first moving member 164 and may be arranged to suck the test panel from the lower side. The panel transfer assembly 160 disposed on the loading unit 110 may adsorb the panel to the test unit 120 and the unloading unit 130 may be moved from the test unit 120 to the unloading unit 130. [ The panel transfer assembly 160 disposed in the panel transfer assembly 160 can move the panel.

이로 인하여 패널을 테스트부(120)로 이동시키는 작업과, 테스트 완료된 패 널을 언로딩부(130)로 이동시키는 작업을 연동하여 실시할 수 있으며, 결과적으로 상기 어레이 테스트 장비의 작업 속도가 증가하게 된다. As a result, the operation of moving the panel to the test unit 120 and the operation of moving the panel that has been tested to the unloading unit 130 can be interlocked with each other. As a result, the operation speed of the array test equipment is increased do.

한편, 상기 로딩 플레이트(112)에는 상기 로딩 플레이트(112)의 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀(114)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는, 상기 블로잉 홀(114)들을 통하여 상기 패널의 하면에 정압을 공급하여 상기 패널이 상기 로딩 플레이트(112)로부터 소정 거리의 유격을 가지고 부양되도록 하는 정압 공급 장치(미도시)를 더 구비할 수 있다. A plurality of blowing holes 114 may be formed in the loading plate 112 to pass through the loading plate 112. In this case, the array test equipment 100 of the present invention supplies static pressure to the lower surface of the panel through the blowing holes 114 to allow the panel to be lifted up at a predetermined distance from the loading plate 112 And a static pressure supply device (not shown).

이와 함께, 상기 언로딩 플레이트(132)에도 상기 언로딩 플레이트(132)의 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀(134)들이 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 어레이 테스트 장비는, 상기 언로딩 플레이트에 형성된 블로잉 홀(134)들을 통하여 상기 패널의 하면에 정압을 공급하여 상기 패널이 상기 언로딩 플레이트(132)로부터 소정 거리의 유격을 가지고 부양되도록 하는 정압 공급 장치(미도시)를 더 구비할 수 있다.In addition, the unloading plate 132 may have a plurality of blowing holes 134 passing through the unloading plate 132. In this case, the array test equipment of the present invention supplies static pressure to the lower surface of the panel through the blowing holes 134 formed in the unloading plate so that the panel has a clearance of a predetermined distance from the unloading plate 132 And a static pressure supply device (not shown) for floatation.

따라서 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132)의 블로잉 홀(114, 134)을 통하여 정압이 상기 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132) 상에 형성되면, 패널이 상기 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132) 상측에 부양되고, 이 상태에서 흡착판(166)에 지지된 채로 제1축 방향을 따라서 이동하게 된다. 본 발명에 의하면 상기 패널(2)이 로딩 플레이트(112) 또는 언로딩 플레이트(132)에 접하지 않은 상태에서 이동되므로, 패널(2)과 로딩 플레이트(112) 또는 패널(2)과 언로딩 플레이트(132) 간의 접촉 저항력이 발생하지 않는다. 이로 인하 여 흡착판(166)이 작은 힘을 가지고도 상기 패널을 이동시킬 수 있다.When a positive pressure is formed on the loading plate 112 or the unloading plate 132 through the loading holes 114 and 134 of the loading plate 112 or the unloading plate 132, Or is lifted above the unloading plate 132 and is moved along the first axial direction while being supported by the attracting plate 166 in this state. According to the present invention, since the panel 2 is moved without being in contact with the loading plate 112 or the unloading plate 132, the panel 2, the loading plate 112 or the panel 2, The contact resistance between the contact portions 132 does not occur. This allows the suction plate 166 to move the panel even with a small force.

도 5는 도 4의 A부를 확대 도시한 도면이다. 도 5를 참조하면, 상기 패널 이송 어셈블리(160)는 실린더 장치(172)와, 제2 이동 부재(168)를 더 구비할 수 있다. 상기 실린더 장치(172)는 실린더(173)와, 피스톤 로더(174)를 구비할 수 있다. 실린더(173)는 상기 제1 이동 부재(164)에 설치될 수 있고, 그 내측 공간에 피스톤이 이동될 수 있는 공간을 가진다. 상기 피스톤 로더(174)는 상기 제1 이동 부재(164)의 이동 방향과 수직방향인 제2축(도면에서는 X축)으로 이동 가능하도록 상기 실린더(173)에 결합된다. 5 is an enlarged view of part A of Fig. Referring to FIG. 5, the panel transfer assembly 160 may further include a cylinder device 172 and a second moving member 168. The cylinder device 172 may include a cylinder 173 and a piston loader 174. [ The cylinder 173 can be installed in the first moving member 164 and has a space in which the piston can be moved in the inner space. The piston loader 174 is coupled to the cylinder 173 so as to be movable in a second axis (X-axis in the drawing) perpendicular to the moving direction of the first moving member 164.

제2 이동 부재(168)는, 그 일측이 상기 피스톤 로더(174)와 연동하여 상기 제2축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동 부재(164)에 결합되고, 다른 일측이 상기 흡착판(166)과 결합된다. One end of the second moving member 168 is coupled to the first moving member 164 so as to be movable in the second axial direction in cooperation with the piston loader 174 and the other end is coupled to the suction plate 166, Lt; / RTI >

이로 인하여 상기 흡착판(166)이 제1 이동 부재(162)에 의하여 제1축 방향으로 이동될 수 있음과 함께, 제2 이동 부재(168)에 의하여 제2축 방향으로 소정의 거리만큼 이동 가능하게 되어서, 상기 흡착판(166)에 지지된 패널이 제1축 및 제2축 방향으로 이동 가능하게 된다. 상기 패널이 제1축 및 제2축 방향으로 이동 가능하게 됨으로써, 패널을 정확한 위치에 정렬하는 것이 흡착판(166)을 통하여 가능하게 된다. The attracting plate 166 can be moved in the first axis direction by the first moving member 162 and can be moved by the second moving member 168 in the second axis direction by a predetermined distance So that the panel supported by the attracting plate 166 is movable in the first axis direction and the second axis direction. The panel is movable in the first axis and the second axis direction, so that it is possible to align the panel at the correct position through the suction plate 166.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 로딩 플레이트(112) 3개 이상이 나란히 배치되고, 각각의 패널 이송 어셈블리(160)가, 서로 인접하는 로딩 플레이트(112) 사이 중 적어도 2영역에 배치될 수 있다. 즉, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 로딩부(110) 좌측에 제1패널 이송 어셈블리(160a)가 배치되고, 로딩부 우측에 제2패널 이송 어셈블리(160b)가 배치될 수 있다. 이 경우 상기 제1, 2패널 이송 어셈블리(160a, 160b)들의 흡착판(166a, 166b)에 패널(2)을 안착시킨 후, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 제1패널 이송 어셈블리(160a)에 구비된 흡착판(166a)의 제1축 이송 거리와 제2패널 이송 어셈블리(160b)에 구비된 흡착판(166b)의 제1축 이송 거리를 다르게 하면, 상기 패널(2)을 회전시킬 수도 있다. 이로써 패널 이송 어셈블리(160)에 의하여, 패널이 제1, 2축 이동과 함께, 회전도 가능하게 된다. 3, three or more of the loading plates 112 are arranged side by side, and each of the panel transfer assemblies 160 is disposed in at least two of the adjacent loading plates 112 . That is, as shown in FIGS. 6A and 6B, the first panel transfer assembly 160a may be disposed on the left side of the loading unit 110, and the second panel transfer assembly 160b may be disposed on the right side of the loading unit. In this case, after the panel 2 is mounted on the suction plates 166a and 166b of the first and second panel transfer assemblies 160a and 160b, the panel 2 is mounted on the first panel transfer assembly 160a as shown in FIG. The panel 2 may be rotated by making the first axis conveying distance of the attracting plate 166a and the first axis conveying distance of the attracting plate 166b provided on the second panel conveying assembly 160b different. Whereby the panel transfer assembly 160 allows the panel to rotate with the first and second axis movements.

다시 도 3으로 돌아가서, 상기 테스트부(120)는 투광 플레이트(122)와, 테스트 모듈(150)을 구비한다. 투광 플레이트(122)는 적어도 패널의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어서, 패널(2)이 상기 투광 플레이트(122) 상측에서 테스트 받도록 한다. Referring back to FIG. 3, the test unit 120 includes a light-transmitting plate 122 and a test module 150. The light-transmitting plate 122 has at least a test region of the panel disposed thereon, so that the panel 2 is tested above the light-transmitting plate 122.

테스트 모듈(150)은 상기 패널(2)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 상기 테스트 모듈(150)에 관하여는 후에 상세히 설명한다. The test module 150 detects whether the panel 2 is electrically defective. The test module 150 will be described later in detail.

이 경우 테스트 모듈(150)은 고정되어 있을 수도 있고, 이와 달리 모듈 이동 기구(125)를 따라서 제2축 방향으로 이동할 수 있다. 이는 상기 패널이 패널 이송 어셈블리(160)에 의하여 제1축 방향으로 이동되므로, 상기 테스트 모듈(150)을 적어도 제1축 방향으로는 이동시킬 필요가 없기 때문이다. 이 경우 상기 모듈 이동 기구(125)는 상기 어레이 테스트 장비의 본체에 설치된 LM 가이드일 수 있다. In this case, the test module 150 may be fixed or alternatively may move in the second axial direction along the module moving mechanism 125. This is because the panel is moved in the first axial direction by the panel transfer assembly 160 so that it is not necessary to move the test module 150 at least in the first axial direction. In this case, the module moving mechanism 125 may be an LM guide installed in the main body of the array test equipment.

이하 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비의 작동을 설명한다. The operation of the array test equipment according to the embodiment of the present invention will be described below.

패널이 사용자나 로딩 장비에 의하여 먼저 로딩 플레이트(112) 상측으로 이동된다. 이 경우, 로딩 플레이트(112)의 상측에는 블로잉 홀(114)을 통하여 정압이 형성되어 있으며, 이로 인하여 패널(2)이 로딩 플레이트(112) 상측에 일정 유격을 가지고 부양된다. 그 상태에서 흡착판이 상기 패널(2)을 흡착하게 되고, 상기 패널(2)을 흡착한 상태에서 흡착판(166)이 테스트부(120) 방향으로 이동하게 된다. 상기 테스트부(120)에 이동된 패널(2)은 테스트부에 설치된 테스트 모듈(150)에 의하여 결함 여부를 테스트 받게 된다. 이 경우 상기 테스트 모듈(150)은 테스트부 상측에 고정된 상태로 또는 모듈 이동 기구(125)에 의하여 제2축 방향(도면에서는 X축 방향)으로 이동하면서 패널의 결함 여부를 검출한다. 그 후에 테스트 완료된 패널(2)은 언로딩부(130)의 언로딩 플레이트(132) 상측으로 이동된다. 이 경우 상기 언로딩 플레이트(132) 상측에도 블로잉 홀(134)을 통한 정압이 형성되어 있으므로, 상기 패널(2)은 상기 언로딩 플레이트(132)에 부양된다. 패널의 일정 부분 이상이 언로딩부(130)에 위치하게 되면, 상기 언로딩부에 배치된 패널 이송 어셈블리(160)가 상기 패널의 선단을 지지하여서 이동시킨다. 그 후에 작업자나 언로딩 장치에 의하여 패널이 상기 어레이 테스트 장비로부터 언로딩 된다. The panel is first moved by the user or the loading equipment onto the loading plate 112. In this case, a positive pressure is formed on the upper side of the loading plate 112 through the blowing hole 114, so that the panel 2 floats above the loading plate 112 with a certain clearance. In this state, the adsorption plate adsorbs the panel 2, and the adsorption plate 166 moves in the direction of the test unit 120 in a state in which the panel 2 is adsorbed. The panel 2 moved to the test unit 120 is tested for defects by the test module 150 installed in the test unit. In this case, the test module 150 detects whether the panel is defective by moving in the second axial direction (X-axis direction in the drawing) while being fixed on the test part or by the module moving mechanism 125. After that, the tested panel 2 is moved to the upper side of the unloading plate 132 of the unloading portion 130. In this case, the panel 2 is floated on the unloading plate 132 since a positive pressure is also formed on the unloading plate 132 through the blowing hole 134. When more than a certain portion of the panel is positioned at the unloading portion 130, the panel transfer assembly 160 disposed at the unloading portion supports and moves the tip of the panel. The panel is then unloaded from the array test equipment by an operator or unloading device.

도 7은 본 발명의 어레이 테스트 장비에 구비된 테스트 모듈(150)을 도시한 도면이다. 도 7을 참조하면, 테스트 모듈(150)은 광원(151)과, 모듈레이터(152)와, 결함 검출부(157)를 구비한다. 이 경우, 광원(151)은 상기 패널(2)의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치되고, 상기 모듈레이터(152) 및 결함 검출부(157)는 상기 패널(2)을 기준으로 상기 광원(151)과 반대 방향에 위치한다. 7 is a diagram illustrating a test module 150 included in the array test equipment of the present invention. Referring to FIG. 7, the test module 150 includes a light source 151, a modulator 152, and a defect detector 157. In this case, the light source 151 is disposed in one of the front side and the back side of the panel 2, and the modulator 152 and the defect detection unit 157 are arranged in the direction of the light source 151).

광원(151)은 상기 패널(2)의 전면에 배치된 전극(5)을 테스트하기 위한 광을 조사한다. 상기 광원(151)은 패널(2)의 배면 측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 광원(151)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프, 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다. The light source 151 irradiates light for testing the electrode 5 disposed on the front surface of the panel 2. [ The light source 151 may be disposed on the rear side of the panel 2. [ In this case, the light emitted from the light source 151 may be various kinds of light including xenon, sodium, quartz halogen lamp, laser, and the like.

모듈레이터(152)는 패널을 기준으로 상기 광원과 반대방향에 배치된다. 도 7에는 상기 광원이 패널의 배면에 위치하므로, 모듈레이터는 패널(2)의 전면 측에 배치된다. The modulator 152 is disposed in a direction opposite to the light source with respect to the panel. 7, since the light source is located on the back surface of the panel, the modulator is disposed on the front side of the panel 2. [

상기 모듈레이터는 입사면(152a)과, 모듈레이터 전극층(155)과, 전광 물질층(154)과, 출사면(152b)을 구비한다. 입사면(152a)은, 상기 광원(151)부로부터 상기 패널(2)의 배면(2a) 측으로 입사하여 전면(2b) 측으로 출사된 빛이 입사되는 부분이다. The modulator has an incident surface 152a, a modulator electrode layer 155, an all-optical material layer 154, and an exit surface 152b. The incident surface 152a is a portion where the light emitted from the light source 151 to the back surface 2a of the panel 2 and emitted to the front surface 2b is incident.

모듈레이터 전극층(155)은 상기 패널 전극(5)들과 평행하게 배치되어 상기 패널 전극(5)들과 전기장을 형성한다. 보다 상세히 설명하면, 상기 모듈레이터 전극층(155)은 외부로부터 일정한 전압을 인가받는 공통전극의 기능을 한다. 따라서 상기 모듈레이터 전극층(155)이 패널 전극(5)과 일정 간격 이하의 간격을 가지도록 배치하고, 상기 패널 전극(5) 및 모듈레이터 전극층(155)에 각각 소정의 전압을 인가하는 경우 이들 사이에 전기장이 형성된다.The modulator electrode layer 155 is disposed in parallel with the panel electrodes 5 to form an electric field with the panel electrodes 5. More specifically, the modulator electrode layer 155 functions as a common electrode to which a constant voltage is applied from the outside. When the predetermined voltage is applied to the panel electrode 5 and the modulator electrode layer 155, the modulator electrode layer 155 is disposed between the panel electrode 5 and the panel electrode 5, .

전광 물질층(154)은 상기 모듈레이터 전극층(155)과 패널 전극(5) 사이에 배치된 것으로, 상기 모듈레이터 전극층(155)과 패널 전극(5) 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 상기 입사면(152a)을 통하여 입사되는 빛의 통과 량이 변경되 도록 한다. 이를 위하여 상기 전광 물질층(154)은 전기장의 세기에 따라서 입사되는 빛을 편광시키는 소재를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 전광 물질층(154)은 PDLC(polymer dispersed liquid crystal)일 수 있다.The optoelectronic material layer 154 is disposed between the modulator electrode layer 155 and the panel electrode 5. The optoelectronic material layer 154 is formed between the modulator electrode layer 155 and the panel electrode 5 in accordance with the size of the electric field formed between the modulator electrode layer 155 and the panel electrode 5, So that the amount of light incident through the light guide plate 152a is changed. To this end, the front light material layer 154 may include a material for polarizing incident light according to the intensity of the electric field. In this case, the front light material layer 154 may be a PDLC (polymer dispersed liquid crystal).

상기 전광 물질층(154)의 출사면에는 투광 기판(156)이 결합되어서, 상기 투광 기판(156)에 상기 전광 물질층(154)이 지지되어 있을 수 있다. 또한, 상기 전광 물질층(154)의 입사면에는 상기 전광 물질층(154)을 보호하는 보호층(153)이 결합될 수 있다.The light transmitting substrate 156 may be coupled to the exit surface of the front light material layer 154 to support the front light material layer 154 on the light transmitting substrate 156. In addition, a protective layer 153 for protecting the front light material layer 154 may be coupled to an incident surface of the front light material layer 154.

출사면(152b)은 상기 전광 물질층(154)을 통과한 빛을 외부로 출사하는 부분이다. The exit surface 152b is a portion that exits the light that has passed through the front light material layer 154 to the outside.

결함 검출부(157)는 상기 모듈레이터(152)의 출사면(152b)을 통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극(5)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 이 경우 상기 결함 검출부(157)는 비전(vision) 장치(158) 및 상기 비전 장비와 연결된 모니터(159)를 구비할 수 있으며, 이로써 육안으로 상기 패널 전극(5)의 결함을 검출할 수 있다. 이 경우 상기 모니터는 컴퓨터에 구비되어 있을 수 있다.The defect detection unit 157 detects whether or not the panel electrode 5 is electrically defective according to the amount of light emitted through the exit surface 152b of the modulator 152. [ In this case, the defect detector 157 may include a vision device 158 and a monitor 159 connected to the vision device, thereby detecting a defect of the panel electrode 5 with the naked eye. In this case, the monitor may be provided in a computer.

이 경우 패널(2)은 전광 기기에 사용되는 패널(2)로서, 그 전면에 패널 전극(5)들이 배치되어 있다. 이 경우 상기 패널(2)이 평판 디스플레이용 패널일 수 있으며, 그 일예로서 상기 패널(2)이 그 전면에 TFT가 형성된 LCD용 TFT 패널일 수가 있다. In this case, the panel 2 is a panel 2 used for an electro-optical device, and panel electrodes 5 are disposed on the entire surface thereof. In this case, the panel 2 may be a panel for a flat panel display. For example, the panel 2 may be an LCD TFT panel having a TFT formed on the entire surface thereof.

본 발명에 의하면, 광원(151)에서 출사되는 빛이 먼저 패널(2)의 배면으로 입사되어 패널 전극(5)이 형성된 전면으로 출사된다. 그 후 모듈레이터(152)로 입 사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양이 조절되고 난 후에, 상기 모듈레이터(152)의 출사면(152b)을 통하여 외부로 출사된다. 상기 출사면(152b)으로 출사된 빛은 결함 검출부(157)에서 확인된다. According to the present invention, the light emitted from the light source 151 is first incident on the back surface of the panel 2 and is emitted to the front surface where the panel electrode 5 is formed. Then, the light is input to the modulator 152 and is output to the outside through the exit surface 152b of the modulator 152 after the amount of light emitted to the outside is controlled according to whether the panel 2 is defective or not . The light emitted to the exit surface 152b is confirmed by the defect detector 157. [

통상 LCD의 경우 TFT 패널의 배면에 위치한 백라이트로부터 빛이 TFT 패널과 액정을 통과하여 상기 TFT 패널의 전면에 합착되며 공통전극이 형성된 필터 패널 전면으로 방출되며, 상기 필터 패널 전면으로 방출된 빛을 육안으로 보게 된다. In general, in the case of an LCD, light from a backlight located on the back surface of a TFT panel passes through a TFT panel and a liquid crystal, is adhered to a front surface of the TFT panel, and is emitted to a front surface of a filter panel having a common electrode. .

실제, 시청자가 LCD를 통하여 시청하는 경우, 필터 패널 전방에 시청자가 위치하여 LCD 화면을 감상하게 된다. 따라서 본 발명인 어레이 테스트 장비(100)는 실제적으로 LCD 화면을 감상하는 메카니즘과 동일한 구조를 가지고 있다. 이로 인하여 테스트 장비(100)는 패널의 검출 여부를 보다 정확하게 검출할 수 있다.Actually, when a viewer watches through the LCD, a viewer is positioned in front of the filter panel to view the LCD screen. Therefore, the array test equipment 100 of the present invention has the same structure as the mechanism for actually viewing the LCD screen. Thus, the test equipment 100 can more accurately detect whether the panel is detected.

또한, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는 결함 검출부(157)와 모듈레이터(152) 사이의 광로에 패널 전극(5)과 같은 별도의 부재가 배치되지 않는다.  In the array test equipment 100 of the present invention, a separate member such as the panel electrode 5 is not disposed in the optical path between the defect detecting unit 157 and the modulator 152.

만약 결함 검출부(157)가 패널 전극(5) 배면에 배치되고, 상기 광원(151)으로부터의 빛이 모듈레이터(152)를 통과한 후 패널(2)을 통과하여 상기 결함 검출부(157)에 수광된다면, 상기 결함 검출부(157)가 모듈레이터(152)에서의 편광 정도와 함께 패널(2)에 의한 빛 왜곡현상을 함께 검출하게 된다. 다시 말하면, 모듈레이터(152)를 통과한 빛이 패널(2)을 통과하면서 다시 산란 또는 반사를 일으키게 되어서 모듈레이터(152)를 통과한 빛의 편광 정도를 직접적으로 검출할 수 없다. 이에 따라서 상기 결함 검출부(157)가 모듈레이터(152)로 입사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양을 정확하게 검출하기 어렵게 된 다. 또한 상기 정확한 검출을 위해서는 모듈레이터(152)를 통과하는 빛과 다른 요인을 제거하는 작업이 필요하게 되어서 보다 많은 시간이 필요하게 된다. If a defect detector 157 is disposed on the back surface of the panel electrode 5 and light from the light source 151 passes through the modulator 152 and then passes through the panel 2 and is received by the defect detector 157 , The defect detector 157 detects the degree of polarization of the modulator 152 and the light distortion of the panel 2 together. In other words, light passing through the modulator 152 is scattered or reflected again while passing through the panel 2, so that the degree of polarization of light passing through the modulator 152 can not be directly detected. Accordingly, the defect detector 157 is incident on the modulator 152, and it is difficult to accurately detect the amount of light emitted to the outside depending on whether the panel 2 is defective or not. Further, in order to perform the accurate detection, it becomes necessary to remove the light passing through the modulator 152 and other factors, which requires more time.

본 발명에서는 결함 검출부(157)가 모듈레이터(152)로부터 통과하는 빛을 직접적으로 수광할 수 있다. 이로 인하여 별도 부품에 의하여 산란 등을 받지 않게 되어서 정확하고 신속하게 패널 전극(5)의 결함 여부를 파악할 수 있게 된다. In the present invention, the defect detector 157 can directly receive light passing through the modulator 152. Thus, scattering or the like is not caused by the separate parts, and it is possible to accurately and quickly grasp the defect of the panel electrode 5.

이 경우, 상기 광원(151)과, 패널(2)의 테스트할 패널 전극(5)과, 모듈레이터(152)와, 비전 장치(158)는 일렬로 배치될 수 있으며, 이로써 미러 등의 광로를 변경하는 부재가 별도로 배치될 필요가 없게 된다. In this case, the light source 151, the panel electrode 5 to be tested of the panel 2, the modulator 152 and the vision device 158 can be arranged in a line, thereby changing the optical path of the mirror or the like So that it is not necessary to arrange the members separately.

본 발명에 의하면, 빛이 모듈레이터를 반사하지 않고 투과하도록 어레이 테스트 장비가 배치됨으로써, 별도의 광 방향 조절 장치가 불필요하여 어레이 테스트 장비의 사이즈가 작아지는 동시에 패널의 정전기 발생을 방지하거나, 발생된 정전기를 제거할 수 있다. According to the present invention, since the array test equipment is disposed such that light is transmitted without reflecting the modulator, a separate optical direction adjusting device is not required, so that the size of the array test equipment is reduced and the generation of static electricity in the panel is prevented, Can be removed.

또한, 복수의 패널들을 순차적으로 이동시키면서 패널 로딩, 패널 테스트 및 패널 언로딩 작업을 동시에 행할 수 있음으로써, 테스트 장비의 테스트 시간을 감축시킬 수 있다. In addition, since the panel loading, the panel test, and the panel unloading operation can be performed simultaneously while sequentially moving the plurality of panels, the test time of the test equipment can be reduced.

또한, 테스트 모듈이 패널 검사를 위하여 이동하는 거리가 짧거나, 이동하지 않게 되어서 상기 테스트 모듈을 구비하는 카메라와 모듈레이터와 광원 사이의 정렬이 쉽게 어긋나지 않게 된다. In addition, since the test module moves for the panel inspection is short or does not move, alignment between the camera and the modulator equipped with the test module and the light source is not easily deviated.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. . Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

Claims (8)

서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 받을 패널이 그 상측에 로딩하는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트들을 구비하는 로딩부;A loading unit having at least two loading plates arranged side by side with each other spaced apart from each other to load a test panel thereon; 상기 로딩부의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩 플레이트를 따라 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트되는 테스트부;A test portion disposed at one side of the loading portion, wherein the test portion is tested for electrical defects of the panel transferred along the loading plate; 상기 테스트부 일측에 배치되며 상기 테스트 완료된 패널이 상기 테스트부로부터 여기로 이송되어 언로딩되는 언로딩부; 및 An unloading unit disposed at one side of the test unit and having the test panel transferred from the test unit to the unloading unit; And 상기 패널을 적어도 상기 로딩부로부터 테스트부로 이동시키는 적어도 하나의 패널 이송 어셈블리를 구비하고,And at least one panel transfer assembly for moving the panel from at least the loading portion to the test portion, 상기 패널 이송 어셈블리는: 상기 로딩 플레이트들 사이에 상기 패널의 진행 방향과 나란한 제1축 방향으로 설치된 적어도 하나의 가이드 레일과; 상기 가이드 레일을 따라서 이동 가능하게 설치된 제1 이동 부재와; 상기 제1 이동 부재 상측에 설치되며 상기 테스트용 패널을 하측으로부터 흡착하는 흡착판을 구비하는 어레이 테스트 장비. Wherein the panel transfer assembly comprises: at least one guide rail disposed between the loading plates in a first axis direction parallel to the advancing direction of the panel; A first moving member movably installed along the guide rail; And an attracting plate provided on the first moving member for attracting the test panel from the lower side. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 흡착판에는, 상기 흡착판을 상하로 관통하는 적어도 하나의 흡착 홀이 형성되고, Wherein at least one suction hole penetrating the adsorption plate vertically is formed in the adsorption plate, 상기 흡착 홀에 부압을 제공하는 부압 제공 장치를 더 구비하는 것을 특징으 로 하는 어레이 테스트 장비. Further comprising a negative pressure providing device for providing a negative pressure to the suction hole. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 가이드 레일은 LM 가이드(linear motion guide) 레일이고, 상기 제1 이동 부재는 상기 LM 가이드 레일을 따라서 이동하는 런너 블록인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.Wherein the guide rail is a linear motion guide rail and the first moving member is a runner block moving along the LM guide rail. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 패널 이송 어셈블리는: The panel transfer assembly comprising: 상기 제1 이동 부재의 이동 방향과 수직방향인 제2축 방향으로 피스톤 리더들이 이동 가능하도록, 상기 제1 이동 부재에 설치된 실린더 장치와;A cylinder device installed on the first moving member such that piston readers are movable in a second axial direction perpendicular to the moving direction of the first moving member; 그 일측은 상기 피스톤 리더와 연동하여 상기 제2축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동 부재와 결합되고, 다른 일측은 상기 흡착판과 결합되는 제2 이동 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.Further comprising a second moving member which is coupled to the first moving member so as to be movable in the second axial direction in cooperation with the piston leader, and the other moving member is coupled to the attracting plate on the other side thereof. . 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 로딩 플레이트에는, 상기 로딩 플레이트의 상하를 관통하는 복수의 블로잉(blowing) 홀들이 형성되고,Wherein a plurality of blowing holes are formed in the loading plate, the blowing holes passing through upper and lower portions of the loading plate, 상기 블로잉 홀들을 통하여 상기 패널의 하면에 정압을 공급하는 정압 공급 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.Further comprising a static pressure supply device for supplying a static pressure to the lower surface of the panel through the blowing holes. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 언로딩부는, 서로 유격을 가지고 나란히 배치되며 테스트 완료된 패널이 그 상측에 배치된 적어도 두 개 이상의 언로딩 플레이트들을 구비하고,Wherein the unloading portion includes at least two unloading plates arranged on the upper side thereof with the test panel disposed side by side spaced apart from each other, 상기 패널 이동 어셈블리는 상기 언로딩 플레이트들 사이에 더 배치되는 것을 구비하는 어레이 테스트 장비. Wherein the panel moving assembly is further disposed between the unloading plates. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 7. The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 테스트부는: The test unit includes: 적어도 패널의 테스트 영역이 그 상측에 배치되어 상기 패널이 그 상측에서 테스트 받으며, 투광 소재의 테스트 플레이트; 및At least a test region of the panel is disposed on the upper side thereof, and the panel is tested on the upper side thereof; And 상기 테스트 플레이트 상측에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 차례로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비하여, 상기 광원으로부터 발생한 빛이 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 테스트 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.A light source arranged in a direction of one of a front side and a back side of a panel positioned above the test plate and a modulator and a defect detecting unit arranged in order in a direction opposite to the light source with respect to the panel, And a test module for detecting whether or not the panel electrode is electrically defective according to an amount of the panel electrode passing through the exit surface of the modulator. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 7. The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 테스트 모듈이 제2축 방향으로 이동 가능하도록 결합된 제2축 이송 어셈블리를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.Further comprising a second axis transfer assembly coupled to move the test module in a second axial direction.
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