KR100756229B1 - Array tester - Google Patents

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KR100756229B1
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김희근
김준영
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

An array test apparatus is provided to prevent the static electricity from being generated relating to the panel before and after the test of the panel. A loading member(110) has a loading plate for transferring a panel to be tested to a test plate. A test member(120) is arranged at a side of the loading member and has a transparent test plate for testing an electrical defect of the panel loaded from the loading member. An unloading member(130) is arranged at a side of the test plate of the test member and has an unloading plate for transferring the test completed panel. A test module(140) includes a light source arranged at the front or rear direction of the panels located at the test member, a modulator and a defect detecting member sequentially arranged with the panel as the reference and detects the existence of the electric defect in an electrode of the panel according to the amount of light via the modulator. An anti-static member(150) inhibits the generation of static electricity between the test plate and the panel and supplies positive or negative ions between the test plate and the panel in order to remove the generated static electricity.

Description

어레이 테스트 장비{Array tester}Array test equipment

도 1은 종래의 어레이 테스트 장비를 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a conventional array test equipment.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비를 도시한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an array test equipment according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 변형예를 도시한 개념도이다. 3 is a conceptual diagram illustrating a modification of FIG. 2.

도 4는 도 2의 테스트부 및 테스트 모듈을 확대 도시한 단면도이다.4 is an enlarged cross-sectional view of the test unit and the test module of FIG. 2.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

2: 패널5: 패널 전극2: panel 5: panel electrode

100: 어레이 테스트 장비 110: 로딩부100: array test equipment 110: loading unit

112:언로딩 플레이트 120: 테스트부112: unloading plate 120: test section

122: 테스트 플레이트 130: 언로딩부122: test plate 130: unloading unit

140: 테스트 모듈 141: 광원140: test module 141: light source

142: 모듈레이터 142a: 모듈레이터 입사면142: modulator 142a: modulator entrance surface

142b: 모듈레이터 출사면 144: 전광 물질층142b: modulator exit surface 144: electroluminescent layer

145: 모듈레이터 전극부 147: 결함 검출부145: modulator electrode portion 147: defect detection portion

150: 제전부 151: 이온나이저용 홀150: static eliminator 151: ionizer hole

153: 배관형 이온나이저 251: 브라켓부153: piping type ionizer 251: bracket portion

253: 광 조사형 이온나이저 253: light irradiation type ionizer

본 발명은 평판 디스플레이용 어레이 테스트 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전광 기기용 모듈레이터를 구비하여 패널 전극의 결함 여부를 테스트하는 평판 디스플레이용 어레이 테스트 장비에 관한 것이다.The present invention relates to an array test equipment for a flat panel display, and more particularly, to an array test equipment for a flat panel display having a modulator for an all-optical device to test whether a panel electrode is defective.

전광 기기 중 하나인 평판 디스플레이 패널은, 통상 상부 및 하부 기판 사이에 전극들이 형성되어 있다. 예를 들어 TFT LCD 기판은, 하부 기판 상에 TFT가 형성된 TFT 패널과, 칼라 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 패널과 대향 배치된 필터 패널과, 상기 TFT 패널과 필터 패널 사이에 주입된 액정과, 백라이트를 구비한다. In the flat panel display panel, which is one of the all-optical devices, electrodes are usually formed between the upper and lower substrates. For example, a TFT LCD substrate may include a TFT panel having a TFT formed on a lower substrate, a filter panel having a color filter and a common electrode formed to face the TFT panel, a liquid crystal injected between the TFT panel and the filter panel; And a backlight.

여기서 하부 기판 위에 형성된 TFT의 결함은 어레이 테스트 장비에 의하여 검사된다. 이를 상세히 설명하면, 전광 기기에 설치된 모듈레이터 및 TFT 패널에 일정한 전압을 인가한 상태에서, 상기 모듈레이터가 TFT 패널에 근접하도록 하여서 이들 사이에 전기장이 발생하도록 한다. 이때에, TFT 패널에 형성된 전극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 상기 전기장의 크기가 작아지게 되며, 따라서 상기 검출된 전기장의 크기에 따라서 TFT 패널의 결함여부를 검출하게 된다. Here, the defect of the TFT formed on the lower substrate is inspected by the array test equipment. In detail, in a state where a constant voltage is applied to the modulator and the TFT panel installed in the all-optical device, the modulator is brought close to the TFT panel so that an electric field is generated therebetween. At this time, when the electrode formed on the TFT panel has a defect, the size of the electric field becomes smaller than when there is no defect, and thus, whether the TFT panel is defective is detected according to the size of the detected electric field.

종래의 통상적인 어레이 테스트 장비(10)가 도 1에 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 종래의 어레이 테스트 장비(10)가 로딩부(11)와, 테스트부(12)와, 언로 딩부(13)와, 파지 척(15)과, 테스트 모듈(40)을 구비한다. 파지 척(15)이 로딩부(11) 상에 배치된 어레이 테스트 받을 패널(2)을 파지한 후에 테스트부(12)에 상기 패널(2)을 이동한다. 그 후에 테스트 모듈(40)이 상기 패널(2)의 어레이 테스트를 실시한다. 이 경우 상기 파지 척(15)이 상기 패널(2)을 이동시키며 패널(2)의 각 영역에서의 테스트를 실시 할 수 있다. 그 후에 테스트 완료된 패널(2)은 언로딩부(13)로 안내되어 외부로 언로딩하게 된다. Conventional conventional array test equipment 10 is shown in FIG. 1. Referring to FIG. 1, a conventional array test apparatus 10 includes a loading unit 11, a test unit 12, an unloading unit 13, a grip chuck 15, and a test module 40. do. The gripping chuck 15 moves the panel 2 to the test unit 12 after holding the panel 2 to be tested on the array arranged on the loading unit 11. The test module 40 then performs an array test of the panel 2. In this case, the gripping chuck 15 may move the panel 2 to perform a test in each area of the panel 2. After that, the tested panel 2 is guided to the unloading unit 13 to be unloaded to the outside.

이 경우, 테스트 모듈(40)은 광원(41)과, 모듈레이터(43)와, 카메라(44)를 구비하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 모듈레이터(43)는 반사층(43a)과, 전광 물질층(43b)과, 투명 기판층(43c)을 구비할 수 있다. 상기 테스트 모듈(40)은 미국특허 6,151,153호에 기재된 바와 동일 또한 극히 유사하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. In this case, the test module 40 may include a light source 41, a modulator 43, and a camera 44. In this case, the modulator 43 may include a reflective layer 43a, an all-optical material layer 43b, and a transparent substrate layer 43c. Since the test module 40 is the same as that described in US Pat. No. 6,151,153 and is very similar, detailed description thereof will be omitted.

그런데, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 광원(41)과 카메라(11)가 모두 패널(2)의 일측 방향에 배치되어 있으므로, 광원(41)으로부터의 빛이 미러 등을 통과하여 모듈레이터(30)로 입사된 빛이 상기 모듈레이터의 반사층(43a)에 의하여 반사되어 다시 모듈레이터에 입사된 방향과 반대 방향으로 모듈레이터에서 출사된다. 따라서 광원(41)에서 모듈레이터(43)까지의 광로가 모듈레이터(43)에서 카메라(44)까지의 광로와 적어도 일부가 동일하다. 따라서 광원(41)과 카메라(44)가 서로 간섭이 일어나지 않도록 하여야 하며, 이를 위하여 어레이 테스트 장비는 미러 등의 광 방향 조절 장치(42)가 필요하게 된다. However, as shown in FIG. 1, since both the light source 41 and the camera 11 are disposed in one direction of the panel 2, light from the light source 41 passes through a mirror or the like and modulator 30. The incident light is reflected by the reflective layer 43a of the modulator and is emitted from the modulator in a direction opposite to the direction of incidence. Therefore, the light path from the light source 41 to the modulator 43 is at least partly the same as the light path from the modulator 43 to the camera 44. Therefore, the light source 41 and the camera 44 should not interfere with each other. For this purpose, the array test equipment requires a light direction adjusting device 42 such as a mirror.

또한, 전광 물질층(43b)을 통과한 빛이 반사되어서 다시 상기 전광 물질 층(43b)으로 유입되어서 이를 통과하므로, 빛의 손실이 커지게 된다. 따라서 상기 빛의 손실을 보상하기 위해서는 광원(41)으로부터 방출되는 빛의 세기를 크게 할 필요가 있다.In addition, since the light passing through the all-optical material layer 43b is reflected and flows back into the all-optical material layer 43b and passes therethrough, the loss of light increases. Therefore, in order to compensate for the loss of light, it is necessary to increase the intensity of light emitted from the light source 41.

한편, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 상기 테스트 모듈(40)에 구비된 광원(41)을 상기 패널(2)의 배면 측에, 모듈레이터(43) 및 카메라(44)를 상기 패널(2)의 전면 측에 배치하고, 모듈레이터(43)에 반사층(43a)을 제거하도록 할 수 있다. On the other hand, in order to solve the above problems, the light source 41 provided in the test module 40 on the back side of the panel 2, the modulator 43 and the camera 44 to the panel 2 It can be arranged on the front side of the side, and the modulator 43 can be made to remove the reflective layer 43a.

이 경우에는 상기 테스트부(12)에 배치된 패널 안착 플레이트가 투명 재질의 통상 유리로 제작된다. 그러나 상기 패널 안착 플레이트와 패널(2)이 동일 분자를 가짐으로 해서, 상기 패널(2) 안착 플레이트와 패널(2) 사이에 정전기가 발생하게 된다. 상기 정전기가 발생하게 되면, 상기 패널 전극(5)에 손상이 발생하게 되거나, 어레이 테스트 장비에 전기적 손상을 줄 수 있다. In this case, the panel seating plate disposed in the test part 12 is made of ordinary glass of transparent material. However, since the panel seating plate and the panel 2 have the same molecules, static electricity is generated between the panel 2 seating plate and the panel 2. When the static electricity is generated, damage may occur to the panel electrode 5 or electrical damage to the array test equipment.

따라서 본 발명은, 미러나, 빔 스플리트 등의 광 방향 조절 장치 및 반사층이 불필요함과 동시에, 광원으로부터 발생하는 빛의 손실이 커지 않아서 광원의 세기를 적정 이상 크게 할 필요가 없는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, the present invention is an array having a structure such that a mirror, a light direction control device such as a beam split, and a reflection layer are unnecessary, and the loss of light generated from the light source is not large, so that the intensity of the light source does not need to be increased more than appropriate. The purpose is to provide test equipment.

본 발명의 다른 목적은, 상기 패널의 테스트 전후에 상기 패널과의 사이에 정전기가 발생하지 않도록 하는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an array test apparatus having a structure in which static electricity is not generated between the panel before and after the test of the panel.

따라서 본 발명은, 패널의 전면에 형성된 패널 전극들의 전기적 결함을 테스트하는 장비로서, 로딩부와, 테스트부와, 언로딩부와, 테스트 모듈과, 제전부를 구비하는 어레이 테스트 장비를 제공한다. Accordingly, the present invention provides an array test apparatus including a loading unit, a test unit, an unloading unit, a test module, and an electrostatic unit as an apparatus for testing electrical defects of panel electrodes formed on a front surface of a panel.

로딩부는 상기 패널을 로딩한다. 테스트부는 상기 로딩부로부터 이송된 패널이 안착되는 투명 재질의 테스트 플레이트를 구비한다. 언로딩부는 상기 테스트 완료된 패널이 테스트부로부터 이송되어 외부로 반출된다. 테스투부는 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출한다. 제전부는 상기 테스트 플레이트와 패널 사이에 정전기 발생을 억제하거나, 발생한 정전기를 제거한다.The loading unit loads the panel. The test unit includes a test plate made of a transparent material on which the panel transferred from the loading unit is mounted. The unloading unit is transported from the test unit to the tested panel is taken out to the outside. The test part detects whether the panel electrode has an electrical defect. The static eliminator suppresses static electricity or removes static electricity generated between the test plate and the panel.

이 경우, 상기 테스트부는, 상기 테스트부에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 차례로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비한다.In this case, the test unit includes a light source disposed in one of the front side and the rear side of the panel positioned in the test unit, a modulator and a defect detector disposed in the opposite direction to the light source with respect to the panel. .

이어서 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 구성도이다. 이 경우, 어레이 테스트 장비(100)란 패널(2)의 전면에 형성된 패널 전극(5)들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다. Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 2 is a block diagram of the array test equipment 100 according to a preferred embodiment of the present invention. In this case, the array test equipment 100 is a device for testing electrical defects of the panel electrodes 5 formed on the front surface of the panel 2.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 로딩부(110)와, 테스트부(120)와, 언로딩부(130)와, 테스트 모듈(140)과, 제전부(150)를 구비한다. As shown in FIG. 2, the array test equipment 100 according to the embodiment of the present invention includes a loading unit 110, a test unit 120, an unloading unit 130, a test module 140, And an antistatic part 150.

로딩부(110)는 테스트하고자 하는 패널(2)을 로딩한다. 상기 로딩부(110)는 로딩 플레이트(112)를 구비할 수 있다. 상기 로딩 플레이트(112)는 상기 테스트될 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 테스트부(120)로 이동되도록 한다.The loading unit 110 loads the panel 2 to be tested. The loading unit 110 may include a loading plate 112. The loading plate 112 allows the panel 2 to be tested to be moved to the test unit 120 by being seated or floating at predetermined intervals.

테스트부(120)는 테스트 플레이트(122)를 구비한다. 상기 테스트 플레이트(122)는 투명 재질 소재로서, 상기 로딩부(110)로부터 이송된 패널(2)이 여기에 안착된다. 이 경우 상기 테스트 플레이트(122)는 유리 소재로 이루어질 수 있다. 이에 상기 테스트부(120)는 상기 테스트 플레이트(122) 외곽에 배치된 패널 안착부(124)를 더 구비할 수 있다. 상기 패널 안착부(124)는, 상기 패널(2)이 손상이 발생하지 않고 테스트부에 안착되도록 하는 것으로서, 후술할 패널 클램프가 패널을 내려놓을 때 범핑 역할을 하여 안착되도록 일정 이상의 소프트한 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. The test unit 120 includes a test plate 122. The test plate 122 is a transparent material, and the panel 2 transferred from the loading unit 110 is seated therein. In this case, the test plate 122 may be made of a glass material. Accordingly, the test unit 120 may further include a panel seating part 124 disposed outside the test plate 122. The panel seating portion 124 is to allow the panel 2 to be seated on the test unit without damage, and the panel clamp to be described later is made of a soft material of at least a predetermined amount to serve as a bump when the panel is laid down. It is preferable to make.

언로딩부(130)는 상기 테스트 완료된 패널(2)이 테스트부(120)로부터 이송되어 외부로 반출된다. 이 경우 언로딩부(130)는 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)는 상기 테스트 완료된 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 이동되도록 한다. In the unloading unit 130, the tested panel 2 is transferred from the test unit 120 to be taken out to the outside. In this case, the unloading unit 130 may include an unloading plate 132. The unloading plate 132 allows the tested panel 2 to be seated thereon or to be floated at a predetermined interval.

이 경우, 어레이 테스트 장비(100)는 패널 클램프(150)를 더 구비할 수 있다. 상기 패널 클램프(150)는 패널(2)을 파지한 채로 로딩부(110)로부터 언로딩부(130)로 이동하여, 상기 패널(2)을 이동시킬 수 있다. 이 경우 상기 로딩부(110)의 로딩 플레이트(112) 및 언로딩부(130)의 언로딩 플레이트(132)에는, 상 기 패널(2)을 소정의 유격을 가지고 부양되도록 하측으로부터 상측으로 공기를 분사하는 복수의 공기분사 홀(114)(134)들이 배치될 수 있다. In this case, the array test equipment 100 may further include a panel clamp 150. The panel clamp 150 may move from the loading unit 110 to the unloading unit 130 while holding the panel 2 to move the panel 2. In this case, air is supplied from the lower side to the upper side of the loading plate 112 of the loading unit 110 and the unloading plate 132 of the unloading unit 130 to support the panel 2 with a predetermined clearance. A plurality of air injection holes 114 and 134 that spray may be disposed.

테스트 모듈(140)은 광원(141)과, 모듈레이터(142)와, 결함 검출부(147)를 구비한다. 이 경우, 광원(141)은 상기 패널(2)의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치되고, 상기 모듈레이터(142) 및 결함 검출부(147)는 상기 패널(2)을 기준으로 상기 광원(141)과 반대 방향에 위치한다. The test module 140 includes a light source 141, a modulator 142, and a defect detector 147. In this case, the light source 141 is disposed in one of the front side and the rear side of the panel 2, and the modulator 142 and the defect detection unit 147 are configured based on the panel 2. 141) in the opposite direction.

광원(141)은 상기 패널(2)의 전면에 배치된 전극(5)을 테스트하기 위한 광을 조사한다. The light source 141 irradiates light for testing the electrode 5 disposed on the front surface of the panel 2.

모듈레이터(142)는 모듈레이터 전극부(145)와 전광 물질층(144)을 구비한다. 모듈레이터 전극부(145)는 패널(2)의 전극들과 함께 전압을 인가받아서 그들 사이에 전기장이 형성되도록 한다. 상기 전광 물질층(144)에 전기장이 형성되는 경우, 상기 전광 물질층(144)을 이루는 물질들이 일정한 방향으로 배열되어서, 광이 전광 물질층(144)을 통과하도록 한다. 상기 전광 물질층(144)은 투광 기판(146)에 지지되어 있을 수 있다.The modulator 142 includes a modulator electrode portion 145 and an all-optical material layer 144. The modulator electrode portion 145 receives a voltage together with the electrodes of the panel 2 to form an electric field therebetween. When an electric field is formed in the allergen layer 144, the materials forming the allergen layer 144 are arranged in a predetermined direction so that light passes through the allergen layer 144. The all-optical material layer 144 may be supported by the transparent substrate 146.

결함 검출부(147)는 상기 모듈레이터(142)를 직선적으로 통과한 빛의 양에 따라서 패널 전극(5)의 결함 여부를 검출한다. The defect detector 147 detects whether or not the panel electrode 5 is defective according to the amount of light passing linearly through the modulator 142.

이 경우, 상기 결함 검출부(147) 및 모듈레이터(142)는 패널(2) 전면측에 배치되고, 상기 광원(141)은 상기 패널(2) 배면측에 배치될 수 있다.  In this case, the defect detector 147 and the modulator 142 may be disposed at the front side of the panel 2, and the light source 141 may be disposed at the rear side of the panel 2.

상기 테스트 모듈(140)에 대하여는 후에 상술한다. The test module 140 will be described later in detail.

한편 테스트 플레이트(122)의 테스트 모듈(140)의 광원(141)과 전광 기기용 모듈레이터(142) 사이에 배치된 테스트 플레이트(122)는 상기한 바와 같이 광을 투과할 수 있도록 투명하여야 한다. 따라서 테스트 플레이트(122)는 통상 유리 또는 투명 폴리머 재질로 이루어질 수 있다. 이와 더불어 상기 테스트 받는 패널(2) 또한 유리 또는 투명 폴리머 재질로 이루어져 있다. Meanwhile, the test plate 122 disposed between the light source 141 of the test module 140 of the test plate 122 and the modulator 142 for the all-optical device should be transparent to transmit light as described above. Therefore, the test plate 122 may be generally made of glass or transparent polymer material. In addition, the panel under test 2 is also made of glass or transparent polymer material.

상기 패널(2)이 테스트 받는 시기에 상기 패널(2)은 테스트 플레이트(122)에 안착되어 있고, 이에 따라서 상기 패널(2)과 테스트 플레이트(122) 사이에 정전기가 발생하게 된다. 상기 정전기 발생 및 정전기에 의하여 충전된 먼지 입자는 생산의 부정확성과 품질 저하 및 화재를 야기할 수 있다. 이와 함께 패널(2)의 전극들은 작은 전압의 정전기에 의해서도 파괴될 수 있다. At the time when the panel 2 is tested, the panel 2 is seated on the test plate 122, and thus static electricity is generated between the panel 2 and the test plate 122. The generation of static electricity and dust particles charged by static electricity may cause production inaccuracy, deterioration of quality and fire. In addition, the electrodes of the panel 2 may be destroyed by static electricity of a small voltage.

따라서 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 제전부(150)를 더 구비한다. 상기 제전부(150)는 상기 테스트 플레이트(122)와 패널(2) 사이에 정전기 발생을 억제하거나, 발생한 정전기를 제거하는 기능을 한다. Therefore, the array test equipment 100 according to the embodiment of the present invention further includes a static eliminator 150. The antistatic unit 150 functions to suppress the generation of static electricity between the test plate 122 and the panel 2 or to remove the generated static electricity.

상기 제전부(150)는, 상기 테스트부(120)의 테스트 플레이트(122) 상측으로 양, 음이온을 보내는 이온나이저를 구비할 수 있다. 상기 이온나이저는 고전압을 방전시켜 얻어지는 양,음이온을 테스트 플레이트(122)와 패널(2) 사이에 보내어 대전된 정전기와 반대극성으로 중화 소멸시키는 장치이다. 상기 이온나이저는 패널(2) 소재에 대하여 접촉되지 않고 사용하므로 패널(2)이 손상되지 않는다. The static eliminator 150 may include an ionizer that sends positive and negative ions to the upper side of the test plate 122 of the test unit 120. The ionizer is a device that neutralizes and dissipates positive and negative ions obtained by discharging a high voltage between the test plate 122 and the panel 2 in the opposite polarity to the charged static electricity. Since the ionizer is used without contacting the material of the panel 2, the panel 2 is not damaged.

이 경우, 상기 제전부(150)가 도 2에 도시된 바와 같이, 이온나이저용 홀(151)과 배관용 이온나이저(153)를 구비할 수 있다. 상기 이온나이저용 홀(151)은 로딩 플레이트(112)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 출구측 단부에 형성 되고, 상기 배관형 이온나이저(153)는 상기 이온나이저용 홀(151)에 삽입되어 양이온 또는 음이온을 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 방출시킬 수 있다. 이렇게 방출된 양이온과 음이온은, 패널(2) 및 테스트 플레이트(122)에 분포되어 있는 소량의 불균형한 이온들을 덮어서 그 이온의 불균형을 상쇄함으로써, 정전기를 제거할 수 있다. In this case, as shown in FIG. 2, the static eliminator 150 may include an ionizer hole 151 and a pipe ionizer 153. The ionizer hole 151 is formed at an exit side end adjacent to the test plate 122 of the loading plate 112, the pipe-type ionizer 153 is inserted into the ionizer hole 151 Positive or negative ions may be released toward the test plate 122. The positive and negative ions thus released can remove static electricity by covering a small amount of unbalanced ions distributed in the panel 2 and the test plate 122 and canceling the unbalance of the ions.

한편, 도시되지 않으나, 상기 제전부(150)가 상기 언로딩 플레이트(132)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 입구측 단부에 배치될 수도 있다. 이 경우, 상기 언로딩 플레이트(132)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 입구측 단부에 이온나이저용 홀이 형성되고, 배관형 이온나이저(153)가 상기 이온나이저용 홀을 통하여 양이온 또는 음이온을 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 방출시킬 수도 있다.Although not shown, the static eliminator 150 may be disposed at an inlet side end adjacent to the test plate 122 of the unloading plate 132. In this case, an ionizer hole is formed at an inlet end of the unloading plate 132 adjacent to the test plate 122, and the tubular ionizer 153 receives positive or negative ions through the hole for the ionizer. It may be discharged in the test plate 122 direction.

이 경우, 상기 이온나이저용 홀(151) 및 배관형 이온나이저(153)는 상측이 하측보다 상기 테스트 플레이트(122)보다 가깝도록 경사질 수 있으며, 이로써 상기 이온이 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 향할 수 있다. In this case, the ionizer hole 151 and the tubular ionizer 153 may be inclined so that an upper side thereof is closer to the test plate 122 than a lower side, whereby the ions are directed toward the test plate 122. Can head.

이와 달리, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제전부(150)가, X-ray를 방출하는 광 조사식 이온나이저(253)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제전부(150)는, 상기 언로딩 플레이트(132)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 입구측 단부로부터 돌출 형성된 브라켓부(251)와, 상기 브라켓부에 결합되어서 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 X-ray를 발생시키는 광 조사식 이온나이저(253)를 구비할 수 있다. 상기 광 조사식 이온나이저(253)는 X-ray를 상기 테스트 플레이트(122)에 조사하여서 상기 테스트 플레이트(122)와 패널(2) 사이의 가스분자를 이온화하여, 정전기 및 미세먼지를 제거한다. Alternatively, as shown in FIG. 3, the static eliminator 150 may include a light irradiating ionizer 253 that emits X-rays. In this case, the antistatic part 150 may include a bracket part 251 protruding from an inlet end portion adjacent to the test plate 122 of the unloading plate 132, and the test plate ( 122 may be provided with a light irradiating ionizer 253 for generating X-rays. The light irradiation ionizer 253 irradiates X-rays to the test plate 122 to ionize gas molecules between the test plate 122 and the panel 2 to remove static electricity and fine dust.

이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)에 구비된 테스트 모듈(140)에 대하여 보다 상세히 설명한다. Hereinafter, the test module 140 provided in the array test equipment 100 of the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 4.

먼저, 광원(141)은 패널(2)의 배면 측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 광원(141)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프, 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다. First, the light source 141 may be disposed on the back side of the panel 2. In this case, the light emitted from the light source 141 may be various kinds of light including xenon, sodium, quartz crystal lamp, laser, and the like.

모듈레이터(142)는 패널(2)의 전면 측에 배치되며, 입사면(142a)과, 모듈레이터 전극부(145)와, 전광 물질층(144)과, 출사면(142b)을 구비한다. 입사면(142a)은, 상기 광원(141)부로부터 상기 패널(2)의 배면(2a) 측으로 입사하여 전면(2b) 측으로 출사된 빛이 입사되는 부분이다. The modulator 142 is disposed on the front side of the panel 2, and includes an incident surface 142a, a modulator electrode portion 145, an electroluminescent material layer 144, and an exit surface 142b. The incident surface 142a is a portion where the light incident from the light source 141 enters the rear surface 2a side of the panel 2 and exits to the front surface 2b side.

모듈레이터 전극부(145)는 상기 패널 전극(5)들과 평행하게 배치되어 상기 패널 전극(5)들과 전기장을 형성한다. 보다 상세히 설명하면, 상기 모듈레이터 전극부(145)는 외부로부터 일정한 전압을 인가받는 공통전극의 기능을 한다. 따라서 상기 모듈레이터 전극부(145)가 패널(2)의 패널 전극(5)과 일정 간격 이하의 간격을 가지도록 배치하고, 상기 패널 전극(5) 및 모듈레이터 전극부(145)에 각각 소정의 전압을 인가하는 경우 이들 사이에 전기장이 형성된다. The modulator electrode part 145 is disposed in parallel with the panel electrodes 5 to form an electric field with the panel electrodes 5. In more detail, the modulator electrode unit 145 functions as a common electrode to which a constant voltage is applied from the outside. Accordingly, the modulator electrode part 145 is disposed to have a predetermined interval or less with the panel electrode 5 of the panel 2, and a predetermined voltage is applied to the panel electrode 5 and the modulator electrode part 145, respectively. When applied, an electric field is formed between them.

전광 물질층(144)은 상기 모듈레이터 전극부(145)와 패널 전극(5) 사이에 배치된 것으로 상기 모듈레이터 전극부(145)와 패널 전극(5) 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 상기 입사면(142a)을 통하여 입사되는 빛의 통과 량이 변경되도 록 한다. 이를 위하여 상기 전광 물질층(144)은 전기장의 세기에 따라서 입사되는 빛을 편광시키는 소재를 구비할 수 있다. The all-optical material layer 144 is disposed between the modulator electrode part 145 and the panel electrode 5, and the incident surface is formed according to the size of the electric field formed between the modulator electrode part 145 and the panel electrode 5. The amount of light passing through 142a is changed. To this end, the electro-optical material layer 144 may be provided with a material for polarizing the incident light according to the intensity of the electric field.

출사면(142b)은 상기 전광 물질층(144)을 통과한 빛을 외부로 출사하는 부분이다. The emission surface 142b is a portion that emits light passing through the electroluminescent material layer 144 to the outside.

결함 검출부(147)는 상기 모듈레이터(142)의 출사면(142b)을 통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극(5)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 이 경우 상기 결함 검출부(147)는 비전(vision) 장치(148) 및 상기 비전 장비와 연결된 모니터(149)를 구비할 수 있으며, 이로써 육안으로 상기 패널 전극(5)의 결함을 검출할 수 있다. 이 경우 상기 모니터는 컴퓨터에 구비되어 있을 수 있다.The defect detector 147 detects whether the panel electrode 5 is electrically defective according to the amount of light emitted through the exit surface 142b of the modulator 142. In this case, the defect detection unit 147 may include a vision device 148 and a monitor 149 connected to the vision equipment, thereby visually detecting a defect of the panel electrode 5. In this case, the monitor may be provided in the computer.

이 경우 패널(2)은 전광 기기에 사용되는 패널(2)로서, 그 전면에 패널 전극(5)들이 배치되어 있다. 이 경우 상기 패널(2)이 평판 디스플레이용 패널일 수 있으며, 그 일예로서 상기 패널(2)이 그 전면에 TFT가 형성된 TFT 패널일 수가 있다. In this case, the panel 2 is a panel 2 used in the all-optical device, and the panel electrodes 5 are disposed on the front surface thereof. In this case, the panel 2 may be a flat panel display panel. For example, the panel 2 may be a TFT panel having a TFT formed on the front surface thereof.

본 발명에 의하면, 광원(141)에서 출사되는 빛이 먼저 패널(2)의 배면으로 입사되어 패널 전극(5)이 형성된 전면으로 출사된다. 그 후 모듈레이터(142)로 입사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양이 조절되고 난 후에, 상기 모듈레이터(142)의 출사면(142b)을 통하여 외부로 출사된다. 상기 출사면(142b)으로 출사된 빛은 결함 검출부(147)에서 확인된다. According to the present invention, the light emitted from the light source 141 first enters the rear surface of the panel 2 and exits to the front surface where the panel electrode 5 is formed. Thereafter, the amount of light incident on the modulator 142 and emitted to the outside according to the defect of the panel 2 is adjusted, and then emitted to the outside through the exit surface 142b of the modulator 142. The light emitted to the exit surface 142b is confirmed by the defect detector 147.

통상 LCD의 경우 TFT 패널의 배면에 위치한 백라이트로부터 빛이 TFT 패널과 액정을 통과하여 상기 TFT 패널의 전면에 합착되며 공통전극이 형성된 필터 패널 전면으로 방출되며, 상기 방출된 빛을 육안으로 보게 된다. In general, in the case of LCD, light passes from the backlight positioned on the back of the TFT panel, passes through the TFT panel and the liquid crystal, is bonded to the front of the TFT panel, and is emitted to the front of the filter panel where the common electrode is formed.

본 발명의 어레이 테스트 장비(100)가 실제 육안으로 화면을 감상하는 메카니즘과 동일한 구조를 가지고 있음으로써, 실질적으로 정확하게 패널(2)의 결함여부를 검출할 수 있다.Since the array test equipment 100 of the present invention has the same structure as the mechanism for viewing the screen with the naked eye, it is possible to detect whether the panel 2 is substantially accurate.

또한, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는 결함 검출부(147)와 모듈레이터(142) 사이의 광로에 패널 전극(5)과 같은 별도의 부재가 배치되지 않는다. In the array test equipment 100 of the present invention, a separate member such as the panel electrode 5 is not disposed in the optical path between the defect detector 147 and the modulator 142.

만약 결함 검출부(147)가 패널 전극(5) 배면에 배치되고, 상기 광원(141)으로부터의 빛이 모듈레이터(142)를 통과한 후 패널(2)을 통과하여 상기 결함 검출부(147)에 수광된다면, 상기 결함 검출부(147)가 모듈레이터(142)에서의 편광 정도와 함께 패널(2)에 의한 빛 왜곡현상을 함께 검출하게 된다. 다시 말하면, 모듈레이터(142)를 통과한 빛이 패널(2)을 통과하면서 다시 산란 또는 반사를 일으키게 되어서 모듈레이터(142)를 통과한 빛의 편광 정도를 직접적으로 검출할 수 없다. 이에 따라서 상기 결함 검출부(147)가 모듈레이터(142)로 입사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양을 정확하게 검출하기 어렵게 된다. 또한 상기 정확한 검출을 위해서는 모듈레이터(142)를 통과하는 빛과 다른 요인을 제거하는 작업이 필요하게 되어서 보다 많은 시간이 필요하게 된다. If the defect detector 147 is disposed on the rear surface of the panel electrode 5, the light from the light source 141 passes through the modulator 142 and then passes through the panel 2 to be received by the defect detector 147. In addition, the defect detector 147 detects light distortion caused by the panel 2 together with the degree of polarization of the modulator 142. In other words, the light passing through the modulator 142 passes through the panel 2 again to cause scattering or reflection and thus cannot directly detect the degree of polarization of the light passing through the modulator 142. Accordingly, the defect detection unit 147 is incident to the modulator 142, so that it is difficult to accurately detect the amount of light emitted to the outside depending on whether the panel 2 is defective. In addition, the accurate detection requires the operation of removing light and other factors passing through the modulator 142, which requires more time.

본 발명에서는 결함 검출부(147)가 모듈레이터(142)로부터 통과하는 빛을 직접적으로 수광할 수 있다. 이로 인하여 별도 부품에 의하여 산란 등을 받지 않게 되어서 정확하고 신속하게 패널 전극(5)의 결함 여부를 파악할 수 있게 된다. In the present invention, the defect detector 147 may directly receive the light passing from the modulator 142. As a result, scattering, etc. are not received by separate parts, thereby making it possible to accurately and quickly determine whether the panel electrode 5 is defective.

이 경우, 상기 광원(141)과, 패널(2)의 테스트할 패널 전극(5)과, 모듈레이 터(142)와, 비전 장치(148)는 일렬로 배치될 수 있으며, 이로써 미러 등의 광로를 변경하는 부재가 별도로 배치될 필요가 없게 된다. In this case, the light source 141, the panel electrode 5 to be tested of the panel 2, the modulator 142, and the vision device 148 may be arranged in a line, thereby forming an optical path such as a mirror. There is no need to separately arrange the member for changing the.

이하에서는 본 발명에 구비된 모듈레이터(142)의 구조에 대하여 보다 상세히 설명한다. 상기 모듈레이터(142)는 상기 결함 검출부(147) 쪽으로부터 순차적으로 투광 기판(146)과, 모듈레이터 전극부(145)와, 전광 물질층(144)을 구비한다. 이 경우, 상기 전광 물질층(144)은 PDLC(polymer dispersed liquid crystal)일 수 있다.Hereinafter, the structure of the modulator 142 provided in the present invention will be described in more detail. The modulator 142 includes a light transmitting substrate 146, a modulator electrode part 145, and an all-optical material layer 144 sequentially from the defect detection unit 147. In this case, the electroluminescent material layer 144 may be a polymer dispersed liquid crystal (PDLC).

투광 기판(146)은 빛을 통과시키는 소재로 이루어지며, 후술하는 모듈레이터 전극부(145)와, 전광 물질층(144)이 이에 지지된다. 따라서 상기 투광 기판(146)은 통상 유리 기판과 같이 투명하며 소정 이상의 강성을 가진 소재로 이루어진다. 상기 투광 기판(146) 측면에는 도시되지는 않으나 골드층이 배치될 수 있다. The light transmissive substrate 146 is made of a material that allows light to pass through, and the modulator electrode unit 145 and the all-optical material layer 144 described later are supported thereon. Therefore, the light-transmitting substrate 146 is made of a transparent material, such as a glass substrate, having a predetermined or more rigidity. Although not shown, a gold layer may be disposed on the side of the light transmissive substrate 146.

모듈레이터 전극부(145)는 상기 투광 기판(146) 전면에 배치된다. 이 경우 상기 모듈레이터 전극부(145)는 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 CNT(Carbon Nano Tube) 등의 소재로 상기 투광 기판(146) 상에 증착됨으로써 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 모듈레이터 전극부(145)는 상기 골드층과 접촉될 수 있다. The modulator electrode part 145 is disposed in front of the light transmissive substrate 146. In this case, the modulator electrode part 145 may be formed by depositing on the light-transmitting substrate 146 with a material such as indium tin oxide (ITO) or carbon nanotube (CNT). In this case, the modulator electrode part 145 may be in contact with the gold layer.

전광 물질층(144)은 상기 모듈레이터 전극부(145) 전면에 일정한 높이로 분산 배치된다. 상기 PDLC의 특성은 구동 전압 30V이하, 콘트라스트 40:1, 라이징 타임(Rising time) 1.7ms, 폴링타임(Falling time) 3ms, 최소 보유시간(minimum retention time ) 30ms인 것이 바람직하다. 상기 전광 물질층(144)은 투광 기판(146) 상에 폴리머 및 액정을 포함하는 액정 배합액을 도포한 후에 이를 경화시 킴으로써 이루어질 수 있다.The all-optical material layer 144 is disposed in a predetermined height on the entire surface of the modulator electrode 145. The characteristic of the PDLC is 30 V or less, a contrast voltage of 40: 1, a rising time of 1.7 ms, a falling time of 3 ms, and a minimum retention time of 30 ms. The all-optical material layer 144 may be formed by applying a liquid crystal formulation including a polymer and a liquid crystal on the light transmissive substrate 146 and then curing the liquid crystal compound.

한편, 상기 전광 물질층(144) 전면에는 상기 패널(2)의 전극과 접하거나 인접하도록 배치된 투명 보호층(143)을 더 구비할 수 있다. 상기 투명 보호층(143)은 상기 PDLC가 패널 전극(5) 또는 외부 물질에 의하여 흠집 등이 발생하지 않도록 보호한다. Meanwhile, a transparent protective layer 143 disposed on the front surface of the electroluminescent material layer 144 may be further provided to be in contact with or adjacent to the electrode of the panel 2. The transparent protective layer 143 protects the PDLC from being scratched by the panel electrode 5 or an external material.

이 경우 상기 투명 보호층(143)이 내식성, 내수성, 및 내화학성이 우수한 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 따라서 상기 투명 보호층(143)은 페럴린 코팅층일 수 있다. 상기 페럴린 코팅층은 상온의 진공 상태에서 가스상의 형태로 증착되어 이루어진 층이다. 상기 페럴린 코팅층을 이루는 폴리머는 자연상태에서 다결정적이고 선형적이며, 우수한 보호 특성 및 극심한 화학반응을 일으키지 않는다. 상기 페럴린 코팅은 밀봉성이 우수하여 높은 방수성을 가지고, 산, 알칼리 또는 솔벤트 등의 대부분의 화학 약품에 거의 영향을 받지 않아서 우수한 내식성 및 내화학성을 가지며, -200℃ 내지 150℃ 사이의 범위에서 열적, 기계적 변형이나 특성 변화가 발생하지 않아서 우수한 열 안정성을 가진다. 이와 더불어 페럴린 코팅은 침투력이 뛰어나서 균일한 코팅층의 형성 및 두께 조절이 가능하게 된다. In this case, it is preferable that the transparent protective layer 143 is made of a material having excellent corrosion resistance, water resistance, and chemical resistance, and thus, the transparent protective layer 143 may be a perelin coating layer. The perelin coating layer is a layer formed by depositing in a gaseous state in a vacuum at room temperature. The polymer constituting the perelin coating layer is polycrystalline and linear in nature and does not cause good protective properties and extreme chemical reactions. The perylene coating has excellent sealing properties, has high water resistance, is almost unaffected by most chemicals such as acids, alkalis, or solvents, and has excellent corrosion resistance and chemical resistance, and is in a range of -200 ° C to 150 ° C. No thermal, mechanical deformation or property change occurs, resulting in excellent thermal stability. In addition, the ferrule coating is excellent in penetration ability to form a uniform coating layer and the thickness can be adjusted.

이 경우, 상기 페럴린 코팅층은 화학기상성장법(chemical vapor deposition)에 의하여 이루어질 수 있다. 이를 위하여, 먼저 페럴린 코팅 원자재인 다이머(dimer)를 증발기에 분말 형재로 장입시켜서 가스상으로 승화되도록 한다. 그 후에 기체로 변화된 다이머를 열분해기에 통과시켜서 단량체로 쪼개지도록 한다. 그 후에 단량체로 쪼개진 다이머를 진공챔버 내 처리물 표면에서 중합체로 재구성 되어 코팅하도록 한다. In this case, the perelin coating layer may be made by chemical vapor deposition. For this purpose, a dimer, which is a raw material for ferrule coating, is first charged to the evaporator as a powder and then sublimed into the gas phase. Thereafter, the gaseous dimer is passed through a pyrolyzer to split into monomers. The dimer cleaved with monomer is then reconstituted with polymer at the surface of the treatment in the vacuum chamber to allow coating.

본 발명에 의하면, 빛이 모듈레이터를 반사하지 않고 투과하도록 어레이 테스트 장비가 배치됨으로써, 별도의 광 방향 조절 장치가 불필요하여 어레이 테스트 장비의 사이즈가 작아지는 동시에 패널의 정전기 발생을 방지하거나, 발생된 정전기를 제거할 수 있다. According to the present invention, the array test equipment is arranged to transmit light without reflecting the modulator, thereby eliminating the need for a separate light direction control device, thereby reducing the size of the array test equipment and preventing static electricity generated from the panel or generating generated static electricity. Can be removed.

또한, 광원으로부터의 빛이 순차적으로 패널 및 모듈레이터를 통과하여 결함 검출부에 수광됨으로써, 실제 육안으로 화상을 보는 조건과 같은 조건으로 패널 전극의 결함 여부를 검사할 수 있다.In addition, the light from the light source sequentially passes through the panel and the modulator and is received by the defect detection unit, whereby the panel electrode can be inspected for defects under the same conditions as those for viewing images with the naked eye.

또한, 상기 모듈레이터와 결함 검출부 사이의 광로에 별도의 부재가 삽입되지 않아서 보다 정확하게 패널 전극의 결함 여부를 검사할 수 있다.In addition, since a separate member is not inserted into the optical path between the modulator and the defect detector, the panel electrode may be more accurately inspected for defects.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may have various modifications and equivalent other embodiments. Will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (5)

패널의 전면에 형성된 패널 전극들의 전기적 결함을 테스트하는 장비로서,Equipment for testing electrical defects of the panel electrodes formed on the front of the panel, 상기 테스트될 패널이 이에 안착 또는 이에 소정의 간격을 가지고 이격되어서 상기 테스트 플레이트로 이송되도록 하는 로딩 플레이트를 구비하는 로딩부;A loading unit having a loading plate for allowing the panel to be tested to be seated thereon or spaced at predetermined intervals and transferred to the test plate; 상기 로딩부의 로딩 플레이트 일측에 배치된 것으로, 상기 로딩부로부터 이송된 패널이 이에 안착되거나, 이에 소정 간격을 가지고 이격되어서 전기적 결함을 테스트받는 투명 재질의 테스트 플레이트를 구비하는 테스트부;A test unit disposed at one side of the loading plate of the loading unit, the test unit including a test plate made of a transparent material that is seated thereon or is spaced at a predetermined distance and tested for electrical defects; 상기 테스트부의 테스트 플레이트 일측에 배치된 것으로, 상기 테스트 완료된 패널이 이에 안착 또는 이에 소정의 간격을 가지고 이격되어서 상기 테스트 플레이트로부터 이송되도록 하는 언로딩 플레이트를 구비하는 언로딩부;An unloading unit disposed on one side of the test plate of the test unit, the unloading unit having the unloading plate seated thereon or separated from the test plate at a predetermined interval to be transferred from the test plate; 상기 테스트부에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 순차적으로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비하여, 상기 광원으로부터 발생한 빛 중에서 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 양에 따라서 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출하는 테스트 모듈; 및The light generated from the light source includes a light source disposed in one of the front side and the back side of the panel positioned in the test unit, and a modulator and a defect detector arranged sequentially in the opposite direction to the light source with respect to the panel. A test module for detecting whether the panel electrode is electrically defective according to an amount passing through the exit surface of the modulator; And 상기 테스트 플레이트와 패널 사이에 정전기 발생을 억제하거나, 발생한 정전기를 제거하도록 상기 테스트 플레이트와 패널 사이에 양이온 또는 음이온을 공급하는 제전부를 구비하는 어레이 테스트 장비.And an electrostatic unit for supplying positive or negative ions between the test plate and the panel to suppress the generation of static electricity or to remove the static electricity generated between the test plate and the panel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 로딩부는, 상기 테스트될 패널이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 상기 테스트 플레이트로 이동되도록 하며, 상기 테스트 플레이트와 인접한 출구측 단부에는 이온나이저용 홀이 형성된 로딩 플레이트를 구비하며,The loading unit includes a loading plate on which the panel to be tested is seated or floated at a predetermined interval to be moved to the test plate, and an ionizer hole is formed at an outlet end adjacent to the test plate. 상기 제전부는, 상기 이온나이저용 홀을 통하여 양이온 또는 음이온을 상기 테스트 플레이트 방향으로 방출시키는 배관형 이온나이저인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.The static charge unit is an array test equipment, characterized in that the pipe-type ionizer for releasing cations or anions in the test plate direction through the hole for the ionizer. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 언로딩 플레이트는, 상기 테스트 플레이트와 인접한 입구측 단부에 이온나이저용 홀이 형성되고,The unloading plate has an ionizer hole formed at an inlet side end adjacent to the test plate, 상기 제전부는, 상기 이온나이저용 홀을 통하여서 양이온 또는 음이온을 상기 테스트 플레이트 방향으로 방출하는 배관형 이온나이저인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장비.And said static eliminator is a pipe-type ionizer which discharges positive or negative ions toward said test plate through said ionizer hole. 삭제delete 삭제delete
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101089059B1 (en) * 2009-08-03 2011-12-05 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for array test with cleaner of optic chuck
KR101519618B1 (en) * 2008-08-06 2015-05-13 주식회사 탑 엔지니어링 Optic chuck for array tester and array tester having the same
CN112201186A (en) * 2020-10-10 2021-01-08 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Test component group

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101604075B (en) * 2008-06-13 2013-04-10 统宝光电股份有限公司 Lighting test electrostatic defending device of liquid crystal display panel and method
KR101470591B1 (en) * 2008-08-04 2014-12-11 주식회사 탑 엔지니어링 An array tester
KR101002429B1 (en) * 2008-10-06 2010-12-21 주식회사 탑 엔지니어링 Array tester
KR100911330B1 (en) * 2008-12-30 2009-08-07 주식회사 탑 엔지니어링 Array tester, method for measuring a point of substrate of the same and method for measuring a position cordinate
KR100911331B1 (en) * 2008-12-30 2009-08-07 주식회사 탑 엔지니어링 Array tester and method for measuring a point of substrate of the same
CN101833179B (en) * 2009-03-13 2012-02-15 华映视讯（吴江）有限公司 Detection gauge and method
KR101115879B1 (en) * 2009-12-11 2012-02-22 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for testing array
KR101052490B1 (en) * 2009-12-31 2011-07-29 주식회사 탑 엔지니어링 Array test device
TWI467162B (en) * 2011-04-18 2015-01-01 Ind Tech Res Inst Electro optical modulator electro optical sensor and detecting method thereof
KR20130005128A (en) * 2011-07-05 2013-01-15 주식회사 탑 엔지니어링 Glass panel tranferring apparatus
KR101316812B1 (en) * 2012-02-22 2013-10-23 주식회사 넥스트아이 A inspecting apparatus of LCD panel
KR20170055064A (en) 2015-11-10 2017-05-19 삼성전자주식회사 Fabricating method of substrate
CN107741658A (en) * 2017-10-25 2018-02-27 武汉华星光电技术有限公司 A kind of panel apparatus for baking
CN108563047B (en) * 2018-03-15 2021-10-01 京东方科技集团股份有限公司 Line detection device and line detection method
CN108572470B (en) * 2018-04-24 2021-03-26 京东方科技集团股份有限公司 Electrical measurement jig and control method thereof
CN110715942A (en) * 2018-07-11 2020-01-21 皓琪科技股份有限公司 Automatic detection method and system for circuit board
JP7143134B2 (en) * 2018-07-26 2022-09-28 株式会社アドバンテスト Load board and electronic component test equipment
CN110596147A (en) * 2019-08-23 2019-12-20 深圳市华星光电技术有限公司 Method for reducing static electricity generation of array electrical property testing machine
CN116386488B (en) * 2023-03-31 2024-05-28 惠科股份有限公司 Detection method and detection equipment for electronic paper array substrate
CN116609604B (en) * 2023-05-31 2024-05-10 武汉云岭光电股份有限公司 Electrostatic discharge testing system and method
CN117630020B (en) * 2024-01-25 2024-05-10 上海波创电气有限公司 Detection device for surface defects of materials

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304852A (en) * 1995-04-28 1996-11-22 Nec Corp Method and device for inspecting liquid crystal display substrate
JPH11271800A (en) 1998-03-25 1999-10-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Device and method for inspecting liquid crystal driving substrate
KR20050020574A (en) * 2003-08-20 2005-03-04 레자 텍쿠 가부시키가이샤 Pattern Substrate Defect Correction Method and Apparatus and Pattern Substrate Manufacturing Method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08316284A (en) * 1995-05-15 1996-11-29 Sony Corp Conveyor for photomask
JPH1152551A (en) * 1997-07-29 1999-02-26 Toshiba Corp Exposure mask and method and device for evaluating its pattern
JP3378795B2 (en) * 1998-03-27 2003-02-17 シャープ株式会社 Display device inspection apparatus and inspection method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304852A (en) * 1995-04-28 1996-11-22 Nec Corp Method and device for inspecting liquid crystal display substrate
JPH11271800A (en) 1998-03-25 1999-10-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Device and method for inspecting liquid crystal driving substrate
KR20050020574A (en) * 2003-08-20 2005-03-04 레자 텍쿠 가부시키가이샤 Pattern Substrate Defect Correction Method and Apparatus and Pattern Substrate Manufacturing Method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101519618B1 (en) * 2008-08-06 2015-05-13 주식회사 탑 엔지니어링 Optic chuck for array tester and array tester having the same
KR101089059B1 (en) * 2009-08-03 2011-12-05 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for array test with cleaner of optic chuck
CN112201186A (en) * 2020-10-10 2021-01-08 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Test component group

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Publication number Publication date
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