KR20080038019A

KR20080038019A - 감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법

Info

Publication number: KR20080038019A
Application number: KR1020070106537A
Authority: KR
Inventors: 마사유키 나카기리; 마코토 시미즈; 야스히사 와타나베; 카즈요시 수에하라
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2006-10-27
Filing date: 2007-10-23
Publication date: 2008-05-02
Also published as: JP4769165B2; CN101219592A; JP2008110492A; CN101219592B; TW200831291A

Abstract

유리기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 후단부 및 선단부의 위치관계를 CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 검출하고, 그 위치 어긋남량을 산출해서 감광성 웹(22a, 22b)의 이송량을 조정하거나 또는 감광성 수지층(28)에 형성하는 하프컷 부위의 위치를 조정한다.

감광성 적층체

Description

감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 기판과, 지지체 상에 감광재료층이 형성된 긴형상 감광성 웹(web)을 한쌍의 압착 롤러 사이에 송출하고, 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.

예를 들면 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는 감광성 수지층(감광재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판표면에 부착해서 구성되어 있다. 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호필름이 순서대로 적층되어 있다.

이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조장치는 통상 유리기판이나 수지기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층의 범위에 대응해서 상기 감광성 시트체로부터 보호필름을 박리하는 방식이 채용되어 있다.

예를 들면 일본 특허공개 평11-34280호 공보에 개시되어 있는 제조장치에서 는 도 9에 나타내듯이 필름 롤(1)로부터 풀려지는 적층체 필름(감광성 시트체)(1a)은 가이드 롤러(2a, 2b)에 감겨져서 수평의 필름 반송면을 따라 연장되어 있다. 이 가이드 롤러(2b)에는 적층체 필름(1a)의 이송량에 따른 수의 펄스 신호를 출력하는 로터리 인코더(3)가 부착되어 있다.

수평의 필름 반송면을 따라 연장되는 적층체 필름(1a)은 석션 롤러(4)에 감겨짐과 아울러, 상기 가이드 롤러(2b)와 상기 석션 롤러(4) 사이에는 하프 커터(5)와 커버 필름 박리장치(6)가 설치되어 있다.

하프 커터(5)는 적층체 필름(1a)의 반송방향으로 소정 간격 이간되는 한쌍의 디스크 커터(5a, 5b)를 구비하고 있다. 디스크 커터(5a, 5b)는 적층체 필름(1a)의 필름 폭방향을 따라 이동함으로써 상기 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시 생략)에 있어서의 박리부분과 잔존부분의 2개소의 경계부분을 그 이면측의 감광성 수지층(도시 생략)과 일체로 절단한다.

커버 필름 박리장치(6)는 점착 테이프롤(7)로부터 풀려지는 점착 테이프(7a)를 압압 롤러(8a, 8b)사이에서 커버 필름의 박리부분에 강하게 압착시킨 후, 권취롤(9)에 의해 권취한다. 이것에 의해, 커버 필름의 박리부분은 감광성 수지층으로부터 박리되어서 부착 테이프(7a)와 함께 권취롤(9)에 권취된다.

석션 롤러(4)의 하류에는 기판 반송장치(10)에 의해 소정의 간격으로 반송되는 복수의 기판(11)의 상면에 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리부분을 겹쳐서 압착하는 한쌍의 라미네이션 롤러(12a, 12b)가 설치되어 있다. 이 라미네이션 롤러(12a, 12b)의 하류측에는 지지 필름 권취롤(13)이 배치되어 있다. 기판(11) 에 부착되어 있는 투광성 지지필름(도시 생략)은 기판(11)에 감광성 수지층을 잔존시킨 상태에서 커버 필름의 잔존부분과 함께 지지 필름 권취롤(13)에 권취된다.

그런데, 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리부분을 기판(11)의 원하는 범위에 정확하게 부착하기 위해서는 커버 필름의 박리부분과 잔존부분의 경계부분을 기준으로 해서 적층체 필름(1a)을 라미네이션 롤러(12a, 12b) 사이에 고정밀도로 송출할 필요가 있다.

그러나, 적층체 필름(1a)은 가요성의 지지 필름 상에 감광성 수지층을 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되므로, 반송중에 발생된 신장의 영향에 의해 상기 경계부분의 위치가 어긋나 버릴 우려가 있다. 또한 라미네이션 롤러(12a, 12b)는 적층체 필름(1a)과 기판(11)을 가열한 상태에서 붙이기 때문에 특히 라미네이션 롤러(12a, 12b)의 근방에서의 적층체 필름(1a)의 신장이 커져 버린다.

이 경우, 라미네이션 롤러(12a, 12b) 사이에 있어서, 상기 적층체 필름(1a)의 상기 경계부분의 위치를 검출할 수 있으면, 그 위치를 조정해서 고정밀도의 부착처리를 행하는 것이 가능하다. 그러나, 적층체 필름(1a) 및 기판(11)을 라미네이션 롤러(12a, 12b)로 끼운 채 경계부분의 위치를 검출하는 것은 라미네이션 롤러(12a, 12b)가 검출을 저해하기 때문에 현실적으로는 불가능하다.

그 때문에 제조된 감광성 적층체를 샘플링해서 검사하여, 부착위치 정밀도가 저하된 경우, 적층체 필름(1a)의 이송량을 조정하는 등의 처리를 행하게 되어, 제조 효율이 저하됨과 아울러 허용범위로부터 벗어난 감광성 적층체가 제조됨으로써 수율이 저하되는 문제가 지적되고 있다.

본 발명은 기판에 대한 감광재료층의 부착상태를 용이하고 또한 고정밀도로 검출하고, 또한 감광재료층의 부착위치를 조정해서 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있는 감광성 적층체의 제조장치 및 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어서 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조장치에 있어서, 상기 압착 롤러의 하류측에 설치되고, 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 검출부와, 상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 거리 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아 울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조방법에 있어서, 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 스텝과, 상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는 기판의 단부와 그것에 부착된 긴형상 감광성 웹의 가공부위를 검출함으로써 기판에 대한 감광재료층의 부착상태를 용이하고 또한 고정밀도로 검출할 수 있다. 또한 검출된 부착상태에 기초해서 기판에 대한 감광재료층의 부착위치를 조정함으로써 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있다.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조장치(20)의 개략 구성도이며, 이 제조장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러필터 등의 제작공정에서 긴형상 감광성 웹(22a, 22b)의 각 감광성 수지층(28)(후술함)을 병렬해서 유리기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다. 감광성 웹(22a, 22b)은 각각 소정의 폭치수로 설정되어 있으며, 예를 들면 상기 감광성 웹(22a)이 상기 감광성 웹(22b)보다 폭넓게 구성되어 있다.

도 2는 제조장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22a, 22b)의 단면도이다. 이 감광성 웹(22a, 22b)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광재료층)(28)과, 보호필름(30)을 적층해서 구성된다.

도 1에 나타내듯이, 제조장치(20)는 감광성 웹(22a, 22b)을 롤러형상으로 권취한 2개(2개이상이면 좋음)의 감광성 웹롤(23a, 23b)을 수용하고, 각 감광성 웹롤(23a, 23b)로부터 상기 감광성 웹(22a, 22b)을 동기해서 송출 가능한 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)와, 송출된 각 감광성 웹(22a, 22b)의 보호필름(30)에 폭방향으로 절단 가능한 경계위치인 하프컷 부위(가공부위)(34)를 형성하는 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(138)(도 3 참조)을 각 보호필름(30)에 접착시키는 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)를 구비한다.

제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)의 하류에는 각 감광성 웹(22a, 22b)을 택트 이송으로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)와, 각 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 보호필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)와, 유리기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 부착위치로 반송하는 기판 반송기구(45)와, 상기 보호필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리기판(24)에 일체적으로 또한 병렬로 부착하는 부착기구(46)가 설치된다.

부착기구(46)에 있어서의 부착위치의 상류 근방에는 각 감광성 웹(22a, 22b)의 경계위치인 각각의 하프컷 부위(34)를 직접 검출하는 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)가 설치된다.

제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 감광성 웹(22a, 22b)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22a, 22b)의 선단을 부 착하는 각각의 부착대(49)가 설치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23a, 23b)의 권취 어긋남에 의한 폭방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(51)가 설치된다. 여기에서, 필름 단말 위치조정은 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)를 폭방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합한 위치 조정기구를 부설해서 행해도 좋다. 또, 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)는 감광성 웹롤(23a, 23b)을 장전해서 감광성 웹(22a, 22b)을 풀어내는 풀림축을 2축 또는 3축 등의 다축으로 구성해도 좋다.

제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)에 수용 권취되어 있는 각 감광성 웹롤(23a, 23b)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)는 각각 단일의 둥근 칼날(52)을 구비하고, 이 둥근 칼날(52)은 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 주행해서 보호필름(30)의 잔존부분(30b)(도2)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다.

도 2에 나타내듯이, 하프컷 부위(34)는 적어도 보호필름(30)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 이 보호필름(30)을 확실하게 절단하기 위해서 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 컷팅되도록 둥근 칼날(52)의 컷팅 깊이가 설정된다. 둥근 칼날(52)은 회전하지 않고 고정된 상태에서, 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 이동해서 하프컷 부위(34)를 형성하는 방식이나, 상기 감광성 웹(22a, 22b) 위를 미끄러지지 않고 회전하면서 상기 폭방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34)는 둥근 칼날(52) 대신에 예를 들면 레이저광이나 초음파를 사용한 컷 방식 외에, 나이프 칼날, 압절 칼날(톰슨 칼날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.

또, 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)는 각각 감광성 웹(22a, 22b)의 반송방향(화살표 A방향)으로 잔존부분(30b)의 폭에 대응한 거리(L)만큼 이간해서 2대 설치하고, 보호필름(30)의 잔존부분(30b)(도 2)을 사이에 두고 2개의 하프컷 부위(34)를 동시에 형성해도 좋다.

하프컷 부위(34)는 예를 들면 양측의 상기 유리기판(24)에 각각 10mm씩 들어간 위치에 설정된다. 유리기판(24) 사이의 하프컷 부위(34)에 의해 끼워진 부분은 후술하는 부착기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리기판(24)에 테두리형상으로 접착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.

제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)는 유리기판(24) 사이에 대응해서 보호필름(30)의 잔존부분(30b)을 남기므로 박리측 전방의 박리부분(30aa)과 박리측 후방의 박리부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내듯이, 보호필름(30)은 잔존부분(30b)을 사이에 두고 먼저 박리되는 부분을 전방 박리부분(30aa)으로 하는 한편, 나중에 박리되는 부분을 후방 박리부분(30ab)으로 한다.

도 3에 나타내듯이, 접착 라벨(38)은 가늘고 긴 형상으로 구성되어 있으며, 예를 들면 보호필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미(微)점착을 포함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이방향 양단부에 전방의 박리부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.

도 1에 나타내듯이, 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)는 각각 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착 가능한 흡착 패드(54a∼54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a∼54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착위치에는 감광성 웹(22a, 22b)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하게 배치된다.

제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)는 상류측의 감광성 웹(22a, 22b)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22a, 22b)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서, 화살표방향으로 요동가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다. 제 2 리저버기구(42b)에는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 송출되는 각 감광성 웹(22a, 22b)이 부착기구(46)에 이르기까지의 각 반송로 길이를 동일하게 조정하기 위한 댄서 롤러(61)가 설치된다.

제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)의 하류에 배치되는 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)는 각각 감광성 웹(22a, 22b)의 송출측의 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 각 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호필름(30)은 잔존부분(30b)을 제외하고 각각 보호필름 권취부(64)에 권취된다.

제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)의 하류측에는 감광성 웹(22a, 22b)에 텐션을 부여할 수 있는 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)가 설치된다. 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)는 각각 실린더(68)를 구비하고, 상기 실린더(68)의 구동 작용하에 각각 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 각 텐션 댄서(70)가 슬라이딩 접촉하는 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션이 조정 가능하다. 또, 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)는 필요에 따라서 사용되면 되고, 삭제할 수도 있다.

제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)는 감광성 웹(22a, 22b)에 형성된 하프컷 부위(34)를 검출하는 예를 들면 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)를 갖는다.

기판 반송기구(45)는 유리기판(24)을 끼우도록 설치되는 복수 조의 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 이 유리기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리기판(24)의 온도를 상시 감시하여 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생함과 아울러, 이상정보를 발신해서 이상한 유리기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질관리 또는 생산관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도면에 나타내지 않은 에어 부상 플레이트가 설치되어 유리기판(24)이 부상되어 화살표(C) 방향으로 반송된다. 유리기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.

유리기판(24)의 온도측정은 기판 가열부(74)내 또는 부착위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정방법으로서는 접촉식(예를 들면 열전대) 외에 비접촉이어도 좋다.

기판 가열부(74)의 상류에는 복수의 유리기판(24)이 수용되는 기판 스토커(71)가 설치된다. 이 기판 스토커(71)에 수용되어 있는 각 유리기판(24)은 로봇(75)의 핸드부(75a)에 설치된 흡착 패드(79)에 흡착되어서 인출되고, 기판 가열 부(74)에 삽입된다.

부착기구(46)는 상하에 설치됨과 아울러 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84a, 84b)에 의해 고무 롤러(80b)측에 압압된다.

고무 롤러(80a)의 근방에는 감광성 웹(22a, 22b)이 상기 고무 롤러(80a)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(86)가 이동 가능하게 설치된다. 부착기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22a, 22b)을 미리 소정 온도로 예비 가열하기 위한 예비 가열부(87)가 설치된다. 이 예비 가열부(87)는 예를 들면 적외선 바 히터 등의 가열수단을 구비한다.

유리기판(24)은 부착기구(46)로부터 화살표(C) 방향으로 연장되는 반송로(88)를 통해 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(92)가 설치된다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리기판(24)의 1장분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다. 기판 반송 롤러(92)의 하류측 근방에는 반송된 유리기판(24)의 선단부(하류측 단부)를 검지하는 기판선단 검지센서(94)가 설치된다.

또한 기판선단 검지센서(94)에 근접하는 하류측에는 도 4에 나타내듯이 유리기판(24)의 반송방향 양단부와, 유리기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)에 잔존하는 보호필름(30)의 양단부를 각각 검출하는, 예를 들면 에리어 센서로 이루어지는 3대의 CCD 카메라(96a∼96c)(검출부)가 설치된다. 이들 CCD 카메라(96a∼96c)는 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 소정 간격 이간되어 배치된다. 각 CCD 카메라(96a∼96c)에는 감광성 수지층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 광을 감광성 웹(22a, 22b)을 통해 CCD 카메라(96a∼96c)에 조사하는 조명광원(98a∼98c)이 대향해서 설치된다.

기판 반송 롤러(92)의 하류에는 냉각기구(123)와 베이스 자동 박리기구(142)가 설치된다. 베이스 자동 박리기구(142)는 소정 간격씩 이간되는 각 유리기판(24)에 부착되어 있는 긴 베이스 필름(26)을 연속해서 박리하는 것이며, 프리 박리부(144)와, 비교적 작은 직경의 박리 롤러(146)와, 권취축(148)과, 자동 부착기(150)를 구비하고 있다. 권취축(148)은 구동시에 토크를 제어해서 베이스 필름(26)에 장력을 부여하는 한편, 예를 들면 박리 롤러(146)에 장력 검출기(도시 생략)를 설치함으로써 장력의 피드백제어를 행하는 것이 바람직하다. 프리 박리부(144)는 유리기판(24) 사이에서 승강 가능한 박리 바(156)를 구비한다.

베이스 자동 박리기구(142)의 하류에는 유리기판(24)에 실제로 부착된 감광성 수지층(28)의 에리어 위치를 측정하는 측정기(158)가 설치된다. 이 측정기(158)는 예를 들면 감광성 수지층(28)이 부착된 유리기판(24)을 촬영하는 CCD 등의 카메라(160)를 구비한다.

또한 베이스 자동 박리기구(142)의 하류에는 측정기(158)에 의해 감광성 수지층(28)에 에리어 위치가 측정된 복수의 감광성 적층체(106)가 수용되는 감광성 적층체 스토커(132)가 설치된다. 베이스 자동 박리기구(142)에 의해 베이스 필름(26) 및 잔존부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(106)는 로봇(134)의 핸드 부(134a)에 형성된 흡착 패드(136)에 흡착되어 인출되고, 감광성 적층체 스토커(133)에 수용된다.

또, 이상과 같이 구성되는 제조장치(20)에서는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b) 그리고 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)가 부착기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로 상기 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 상기 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)까지를 상기 부착기구(46)의 하방에 배치하고, 감광성 웹(22a, 22b)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)이 유리기판(24)의 하측에 부착되어도 좋고, 또한 상기 제조장치(20) 전체를 직선형상으로 구성해도 좋다.

도 1에 나타내듯이, 제조장치(20)는 라미네이트 공정 제어부(100)에 의해 전체가 제어되어 있고, 이 제조장치(20)의 각 기능부 마다 예를 들면 라미네이트 제어부(102), 기판가열 제어부(104) 및 하프컷 제어부(108) 등이 설치되고, 이들이 공정내 네트워크에 의해 서로 접속되어 있다. 또한, 라미네이트 공정 제어부(100)는 공장 네트워크에 접속되어 있으며, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건설정이나 생산정보)의 생산관리나 가동관리 등 생산을 위한 정보처리를 행한다.

기판가열 제어부(104)는 상류공정으로부터 유리기판(24)을 수용하고, 이 유리기판(24)을 원하는 온도까지 가열해서 부착기구(46)에 공급하는 동작 및 상기 유 리기판(24)의 정보의 핸들링 등을 제어한다.

라미네이트 제어부(102)는 공정전체의 마스터로서 각 기능부의 제어를 행하는 것이며, 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)에 의해 검출된 감광성 웹(22a, 22b)의 하프컷 부위(34)의 위치정보에 기초해서 부착위치에 있어서의 각 경계위치와 유리기판(24)의 상대위치 및 각 경계위치 끼리의 상대위치를 제어 가능한 제어기구를 구성하고 있다.

하프컷 제어부(108)는 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)를 제어하고, 감광성 웹(22a, 22b)의 소정 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다.

도 5는 라미네이트 제어부(102) 및 하프컷 제어부(108)에 의한 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착상태를 검출하고, 그 위치를 조정하는 기능의 블록을 나타낸다.

라미네이트 제어부(102) 및 하프컷 제어부(108)는 롤러 이송 펄스에 기초하여 고무 롤러(80a)를 회전 구동하는 롤러 구동 모터(120)를 제어하는 롤러 제어부(123)를 갖는다. 롤러 제어부(123)는 기판선단 검지센서(94)에 의한 유리기판(24)의 선단부의 검지신호와, 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)에 의한 하프컷 부위(34)의 검지신호에 따라 고무 롤러(80a)의 회전을 제어한다.

또한 라미네이트 제어부(102) 및 하프컷 제어부(108)는 CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 검출된 유리기판(24) 및 보호필름(30)의 양단부에 기초해서 유리기판(24)에 대한 보호필름(30)의 부착위치를 산출하는 부착위치 산출부(124)와, 상기 부착위치에 따라서 부착상태를 판정하는 부착상태 판정부(126)를 갖는다.

부착상태 판정부(126)는 부착상태의 판정결과에 따라 롤러 이송 펄스 보정부(128) 또는 하프컷 위치 보정부(130)에 보정 데이터를 공급한다. 롤러 이송 펄스 보정부(128)는 보정 데이터에 따라 롤러 제어부(123)에 공급하는 롤러 이송 펄스를 조정한다. 또한 하프컷 위치 보정부(130)는 보정 데이터에 따라 가공기구 제어부(133)에 의한 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)의 가공 타이밍을 조정한다.

제조장치(20)내에는 구획벽(110)을 통해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린룸(112a)에는 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 제 1 및 제 2 텐션 제어기구(66a, 66b)까지가 수용됨과 아울러, 제 2 클린룸(112b)에는 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b) 이후가 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)를 통해 연통된다.

이상과 같이 구성되는 제조장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조방법에 관련해서 이하에 설명한다.

우선, 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)에 부착되어 있는 각 감광성 웹롤(23a, 23b)로부터 감광성 웹(22a, 22b)이 송출된다. 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)에 반송된다.

제 1 및 제 2 가공기구(36a, 36b)에서는 둥근 칼날(52)이 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 이동하고, 상기 감광성 웹(22a, 22b)을 보호필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 컷팅해서 하프컷 부위(34)를 형성한다.(도 2 참조). 또한, 감광성 웹(22a, 22b)은 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭(L)(도 2)에 대응해서 화살표(A) 방향으로 반송된 후에 정지되고, 둥근 칼날(52) 의 주행 작용하에 하프컷 부위(34)가 형성된다. 이것에 의해, 감광성 웹(22a, 22b)에는 잔존부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리부분(30aa)과 후방의 박리부분(30ab)이 형성된다.

또, 잔존부분(30b)의 폭(L)은 감광성 웹(22a, 22b)이 신장되지 않는 것을 전제로 하고, 부착기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정되어 있는 것으로 한다.

계속해서, 각 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)에 반송되어서, 보호필름(30)의 소정의 부착부위가 받침대(56) 상에 배치된다. 제 1 및 제 2 라벨 접착기구(40a, 40b)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착패드(54b∼54g)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호필름(30)의 잔존부분(30b)에 걸쳐져 전방의 박리부분(30aa)과 후방의 박리부분(30ab)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).

예를 들면 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22a, 22b)은 도 1에 나타내듯이, 제 1 및 제 2 리저버기구(42a, 42b)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)에 연속적으로 반송된다. 제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)에서는 감광성 웹(22a, 22b)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호필름(30)이 잔존부분(30b)을 남기고 상기 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 박리된다. 이 보호필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되고 보호필름 권취부(64)에 권취된다.

제 1 및 제 2 박리기구(44a, 44b)의 작용하에 보호필름(30)이 잔존부분(30b) 을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2텐션 제어기구(66a, 66b)에 의해 텐션조정이 행해지고, 또한, 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)의 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)에 의해 하프컷 부위(34)의 검출이 행해진다.

이 경우, 감광성 웹(22a, 22b)이 신장되지 않는 것을 전제로 해서, 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)가 후방의 박리부분(30ab)측의 하프컷 부위(34)(도 2)를 검출했을 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 선행하는 전방의 박리부분(30aa)측의 하프컷 부위(34)가 배치되도록 제 1 및 제 2 검출기구(47a, 47b)와 부착기구(46) 사이의 반송로의 길이가 설정되어 있는 것으로 한다.

그래서, 레이저 변위계나 CCD 카메라(72a, 72b)가 후방의 박리부분(30ab)측의 하프컷 부위(34)를 검지한 후, 감광성 웹(22a, 22b)을 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭에 대응한 거리(L)만큼 반송해서 정지시키는 한편, 유리기판(24)을 기판 반송기구(45)의 작용하에 미리 가열된 상태에서 부착위치에 반송한다. 유리기판(24)은 병렬되어 있는 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)의 부착부분에 대응해서 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 일단 배치된다.

이어서, 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시킴으로써, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워넣어진다. 롤러 제어부(123)(도 5)는 롤러 이송 펄스에 기초하여 롤러 구동 모터(120)를 구동하고, 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 감광성 웹(22a, 22b) 및 유리기판(24)을 화살표(C)방향으로 반송한다. 이 결과, 병렬되어 있는 각 감광성 수지층(28)이 유리기 판(24)에 전사(라미네이트)된다. 이 경우, 감광성 웹(22a, 22b)에 신장이 없는 것으로 하면, 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)이 후방의 박리부분(30ab)측의 하프컷 부위(34)로부터 유리기판(24)의 소정 부위에 정확하게 전사되게 된다.

또, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min∼10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃∼140℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40℃∼90℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/cm∼400N/cm이다.

기판선단 검지센서(94)가 유리기판(24)의 선단을 검지하고, 고무 롤러(80a, 80b)를 통해 유리기판(24)에 감광성 웹(22a, 22b)의 1장분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(80a)의 회전이 정지되는 한편, 상기 감광성 웹(22a, 22b)이 라미네이트된 상기 유리기판(24)(이하, 부착기판(24a)이라고도 함)이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램프된다. 이 때, 후술하는 바와 같이, 선행하는 유리기판(24)의 후단부 및 감광성 수지층(28)의 후단부의 위치가 CCD 카메라(96a∼96c)를 이용해서 검출된다.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되고, 부착기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭에 대응되는 거리(L)만큼 반송되고, 보호필름(30)의 후방의 하프컷 부위(34)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치로 이동한다. 이 때, 후술하는 바와 같이, 라미네이트가 완료된 유리기판(24)의 선단부 및 감광성 수지층(28)의 선단부의 위치가 CCD 카메라(96a∼96c)를 이용하여 검출된다.

한편, 기판 반송기구(45)를 통해 다음의 유리기판(24)이 부착위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 부착기판(24a)이 연속적으로 제조된다.

그 때, 부착기판(24a)은 도 4에 나타내듯이, 각각의 단부끼리가 잔존부분(30b)에 의해 덮여져 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.

부착기구(46)에 의해 라미네이트된 부착기판(24a)은 냉각기구(122)를 통해 냉각된 후, 프리 박리부(144)에 이송된다. 이 프리 박리부(144)에서는 박리 바(156)가 유리기판(24) 사이에 들어가서 상승되고, 이것에 의해, 유리기판(24) 사이의 보호필름(30)이 들어올려져 인접하는 유리기판(24)의 후단 및 선단으로부터 박리된다.

이어서, 베이스 자동 박리기구(142)에서는 권취축(148)의 회전 작용하에 부착기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 연속해서 권취된다. 또한, 트러블 정지에서의 분리나 불량품 분리시의 절단후, 새롭게 라미네이트 처리가 개시된 부착기판(24a)의 베이스 필름(26)의 선단과, 권취축(148)에 권취되어 있는 베이스 필름(26)의 후단은 자동 부착기(150)를 통해 자동적으로 부착된다.

베이스 필름(26)이 박리된 부착기판(24a)은 측정기(158)에 대응되는 검사 스테이션에 배치된다. 이 검사 스테이션에서는 유리기판(24)이 위치 결정이 고정된 상태에서 4대의 카메라(160)에 의해 유리기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 입력한다. 그리고, 화상처리가 실시됨으로써 부착위치가 연산된다.

감광성 수지층(28)의 부착위치가 확인된 부착기판(24a)은 로봇(134)에 의해 인출되고, 감광성 적층체(106)로서 감광성 적층체 스토커(132)에 수용된다.

그런데, 이상의 설명에서는, 제 1 및 제 2 웹 송출기구(32a, 32b)로부터 송출된 감광성 웹(22a, 22b)이 신장되지 않고 부착기구(46)에 공급되는 것을 전제로 하고 있지만, 실제로는, 가요성을 갖는 감광성 웹(22a, 22b)이 텐션이나 열의 영향을 받아서 소정량 신장되어 버리므로, 유리기판(24)의 소정 위치에 감광성 수지층(28)이 고정밀도로 전사되지 않는 것이 우려된다.

그래서, 도 5∼도 7에 기초해서 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착위치의 보정방법에 대해서 설명한다.

우선, 1장분의 라미네이트가 완료되고, 기판선단 검지센서(94)가 유리기판(24)의 선단부를 검지하면(스텝S1), 롤러 제어부(123)는 롤러 구동 모터(120)를 제어해서 고무 롤러(80a)의 회전을 정지시킨다. 이것에 의해, 감광성 웹(22a, 22b)의 반송이 정지된다(스텝S2).

이어서, 조명 광원(98a∼98c)으로부터의 조명광이 유리기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 후단부에 조사되고, 이들을 투과한 조명광을 CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 수광함으로써, 상기 후단부에 있어서의 부착상태를 나타내는 화상정보가 검출된다(스텝S3). CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 검출된 상기 화상정보는 부착위치 산출부(124)에 공급되고, 소정의 화상처리가 실시됨으로써 후단부의 부착위치가 산출된다(스텝S4).

이 경우, 부착위치 산출부(124)는 도 7의 (A)에 나타내듯이, CCD 카메라(96a∼96c)에 의해 취득한 화상정보에 기초해서 유리기판(24)의 후단부와, 그것에 부착 된 감광성 웹(22a, 22b)에 있어서의 감광성 수지층(28)후단부 사이의 거리(EB1, EB2 및 EA1, EA2)를 산출한다. 또한 부착위치 산출부(124)는 유리기판(24)의 측부와 감광성 웹(22a, 22b) 사이 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 거리(EB3, EA3, EA4)를 산출한다.

다음에 감광성 웹(22a, 22b)을 보호필름(30)의 잔존부분(30b)의 폭에 대응되는 거리(L)만큼 반송하는 기판간 이송을 행해 반송을 정지시킨 후(스텝S5), 다시, CCD 카메라(96a∼96c)를 이용하여 유리기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 선단부에 있어서의 부착상태를 나타내는 화상정보를 검출하고(스텝S6), 부착위치 산출부(124)에 있어서 선단부의 부착위치를 산출한다(스텝S7).

이 경우, 부착위치 산출부(124)는 도 7의 (B)에 나타내듯이, 유리기판(24)의 선단부와, 그것에 부착된 감광성 웹(22a, 22b)에 있어서의 감광성 수지층(28)의 선단부 사이의 거리(FB1, FB2 및 FA1, FA2)를 산출한다. 또한 부착위치 산출부(124)는 유리기판(24)의 측부와 감광성 웹(22a, 22b) 사이 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 거리(FB3, FA3, FA4)를 산출한다.

부착상태 판정부(126)는 부착위치 산출부(124)에 의해 산출된 각 부착위치에 기초해서 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착상태를 판정한다(스텝S8).

예를 들면 산출된 각 거리(EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2)가 모두 허용범위내이면, 위치 어긋남이 없는 것이라고 판정하고(스텝S9), 위치 어긋남의 보정을 행하지 않고 부착처리를 계속한다.

한편, 각 거리(EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2) 중 어느 하나가 허 용범위를 초과하고 있지만, 유리기판(24)과 감광성 웹(2252a, 22b)의 상대적인 위치 관계를 조정함으로써 허용범위내로 할 수 있는 경우, 부착상태 판정부(126)는 유리기판(24) 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 위치 어긋남으로 판정하고(스텝S10), 기판간 이송을 행하는 롤러 이송 펄스를 보정하는 보정 데이터를 롤러 이송 펄스 보정부(128)에 공급한다. 롤러 이송 펄스 보정부(128)는 상기 보정 데이터에 따라 롤러 이송 펄스를 보정하고, 롤러 제어부(123)에 공급한다. 롤러 제어부(123)는 감광성 웹(22a, 22b)의 잔존부분(30b)의 폭(L)에 대응되는 거리를 상기 보정 데이터에 따른 양만큼 보정하고, 감광성 웹(22a, 22b)을 반송한다(스텝S11). 이 결과, 유리기판(24)의 양단부와 감광성 수지층(28)의 양단부 사이의 위치 어긋남을 허용범위내로 할 수 있다.

또한 각 거리(EB1, EB2, EA1, EA2, FB1, FB2, FA1, FA2) 중 어느 하나가 허용범위를 초과하고 있고, 유리기판(24)과 감광성 웹(22a, 22b)의 상대적인 위치 관계를 조정해도, 위치 어긋남을 허용범위내로 보정할 수 없는 경우, 감광성 웹(22a, 22b)이 허용 이상으로 신장되거나 또는 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 특성의 차이가 큰 것이 상정된다. 이 경우, 부착상태 판정부(126)는 하프컷 부위(34)의 위치를 보정하는 보정 데이터를 하프컷 위치 보정부(130)에 공급한다. 하프컷 위치 보정부(130)는 가공기구 제어부(133)에 보정 데이터에 따라서 보정된 가공 위치 데이터를 공급하고, 가공기구 제어부(133)는 보정된 가공 위치 데이터에 따른 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다(스텝S12).

또, 부착기판(24a)의 측부와 감광성 웹(22a, 22b)의 측부의 거리(EB3, EA4) 및 감광성 웹(22a, 22b) 사이의 거리(EA3)가 허용범위를 초과되고 있는 경우에는 예를 들면 각 감광성 웹(22a, 22b)을 공급하는 반송계 또는 감광성 웹(22a, 22b)을 이들 거리의 보정 데이터에 따라서 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시킴으로써 조정하는 것이 가능하다.

이상과 같이 해서, 유리기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착위치를 조정함으로써 고품질의 부착기판(24a)을 제조할 수 있다.

또, 제 1 실시형태에서는 2개의 감광성 웹롤(23a, 23b)을 사용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개의 감광성 웹 롤러나, 3개이상의 감광성 웹롤러를 채용해도 좋다. 또한 이하에 설명하는 제 2 실시형태에 있어서도 마찬가지이다.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조장치(300)의 개략 구성도이다. 또, 제 1 실시형태에 따른 제조장치(20)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.

제조장치(300)는 부착기구(46)의 하류에 배치되고, 각 유리기판(24) 사이의 감광성 웹(22a, 22b)을 일체적으로 절단 가능한 기판간 웹 절단기구(48)를 구비한다.

이렇게 구성되는 제조장치(300)에서는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 부착기구(46)에 의해 라미네이트된 부착기판(24a)은 화살표(C) 방향으로 반송된다. 그리고, 부착기판(24a) 사이가 기판간 웹 절단기구(48)에 대응되는 위치에 이르면, 이 기판간 웹 절단기구(48)는 상기 부착기판(24a)과 동일한 반송속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서 상기 부착기판(24a) 사이에서 2개의 감광성 웹(22a, 22b)을 일체적으로 절단한다.

이 절단후에 기판간 웹 절단기구(48)는 소정의 대기위치로 되돌려지는 한편, 부착기판(24a)에서는 베이스 필름(26) 및 잔존부분(30b)이 순차적으로 박리(매엽박리)되어서 감광성 적층체(106)가 제조된다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 제조장치의 개략 구성도이다.

도 2는 상기 제조장치에 사용되는 긴형상 감광성 웹의 단면도이다.

도 3은 상기 긴형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.

도 4는 부착기구 및 그 하류측에 설치되는 부착상태를 검출하는 검출부의 설명도이다.

도 5는 부착상태를 검출해서 위치조정을 행하는 기능의 블럭도이다.

도 6은 부착상태를 검출해서 보정하는 처리의 플로우챠트이다.

도 7은 유리기판에 부착된 2장의 감광성 웹의 부착상태의 설명도이다.

도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조장치의 개략 구성도이다.

도 9는 종래기술의 제조장치의 개략 구성도이다.

Claims

지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조장치에 있어서:

상기 압착 롤러의 하류측에 설치되고, 상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 검출부; 및

상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 거리 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 거리 산출부는 상기 기판의 상류측 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리와, 상기 기판의 하류측 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 조정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광 성 적층체의 제조장치.
제 3 항에 있어서, 상기 조정부는 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 긴형상 감광성 웹의 이송량을 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
제 3 항에 있어서, 상기 조정부는 상기 거리에 기초해서 상기 가공부위의 가공위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 긴형상 감광성 웹을 투과하는 광의 광량에 기초해서 상기 기판의 단부 및 상기 가공부위를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
제 1 항에 있어서, 상기 기판에는 복수매의 긴형상 감광성 웹의 감광재료층이 병렬로 부착되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
제 7 항에 있어서, 상기 검출부는 상기 각 긴형상 감광성 웹의 상기 각 가공부위를 검출하는 복수의 상기 검출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조장치.
지지체 상에 감광재료층과 보호필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호필름에 박리부분과 잔존부분의 경계위치에 대응하는 가공부위를 형성하고, 상기 보호필름의 상기 박리부분을 박리해서 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판간에 상기 보호필름의 상기 잔존부분을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 제조방법에 있어서:

상기 기판의 단부와 상기 기판에 부착된 상기 긴형상 감광성 웹의 상기 가공부위를 검출하는 스텝; 및

상기 단부 및 상기 가공부위 사이의 거리를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.
제 9 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.
제 10 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 기판에 대한 상기 긴형상 감광성 웹의 이송량을 조정함으로써 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.
제 10 항에 있어서, 상기 거리에 기초해서 상기 가공부위의 가공위치를 조정 함으로써 상기 감광재료층의 부착위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.
제 9 항에 있어서, 상기 기판에는 복수매의 상기 긴형상 감광성 웹이 병렬로 부착되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조방법.