KR20080003443A - 개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치 - Google Patents

개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20080003443A
KR20080003443A KR20077027303A KR20077027303A KR20080003443A KR 20080003443 A KR20080003443 A KR 20080003443A KR 20077027303 A KR20077027303 A KR 20077027303A KR 20077027303 A KR20077027303 A KR 20077027303A KR 20080003443 A KR20080003443 A KR 20080003443A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
orifice
pressure
outlet side
control device
flow control
Prior art date
Application number
KR20077027303A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100919449B1 (ko
Inventor
타다히로 오미
코우지 니시노
료우스케 도히
노부카즈 이케다
마사아키 나가세
카오루 히라타
카츠유키 스기타
츠토무 시노하라
타카시 히로세
토모카즈 이마이
토시히데 요시다
히사시 다나카
Original Assignee
가부시키가이샤 후지킨
고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 후지킨, 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠 filed Critical 가부시키가이샤 후지킨
Publication of KR20080003443A publication Critical patent/KR20080003443A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100919449B1 publication Critical patent/KR100919449B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L55/00—Devices or appurtenances for use in, or in connection with, pipes or pipe systems
    • F16L55/02—Energy absorbers; Noise absorbers
    • F16L55/027—Throttle passages
    • F16L55/02709—Throttle passages in the form of perforated plates
    • F16L55/02718—Throttle passages in the form of perforated plates placed transversely
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/001—Means for regulating or setting the meter for a predetermined quantity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/005—Valves
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Flow Control (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Pipe Accessories (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

본 발명은 압력식 유량 제어 장치를 분해, 조립하지 않고, 그 오리피스를 간단하게 교환할 수 있도록 함으로써 제어 유량의 스위칭을 용이하게 행하도록 한다. 본 발명의 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치는 유량 공급용 배관의 접속부를 구비한 입구측 설치용 블록(39)과 유체 설치용 배관의 접속부를 구비한 출구측 설치용 블록(43) 사이에 압력식 유량 제어 장치(A)의 컨트롤 밸브(2)의 밸브 본체(23)를 설치하여 해당 밸브 본체(23)의 유체 입구측과 상기 입규측 설치용 블록(39), 및 상기 밸브 본체(23)의 유체 출구측과 상기 출구측 설치용 블록(43)을 각각 해리 가능하게 기밀상으로 연결함으로써 상기 밸브 본체(23)의 출구측에 형성된 개스킷형 오리피스 삽입 구멍(42c)과 출구측 설치용 블록(43)의 개스킷형 오리피스 삽입 구멍(43b) 사이에 압력식 유량 제어 장치(A)의 개스킷형 오리피스(38)를 착탈가능하게 삽입 장착하는 구성이다.
개스킷형 오리피스, 압력식 유량 제어 장치

Description

개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치{GASKET TYPE ORIFICE AND PRESSURE TYPE FLOW CONTROLLER USING THE SAME}
본 발명은 개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치의 개량에 관한 것이다. 보다 구체적으로 저렴하고 고효율로 또한 안정하게 제조되도록 한 얇은 금속판을 사용한 고정밀도의 구멍 직경을 갖는 개스킷형 오리피스, 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치, 오리피스의 교환을 리크 프리(leak free)로 신속하게 행하고, 필드 설치 후의 압력식 유량 제어 장치의 유량 범위의 변경을 용이하게 할 수 있음과 아울러, 유량 제어 정밀도를 ±1%FS이내의 고정밀도로 유지하도록 한 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치에 관한 것이다.
종래부터, 오리피스로서는 오리피스 플레이트(orifice plate)에 기계 가공 등에 의해 직접 오리피스 구멍을 뚫어서 형성하고, 이 오리피스 플레이트를 배관로의 이음매부나 기기와 관로의 접속부 등의 적절한 장소에 있어서의 관로 내에 삽입하고, 기밀상으로 이를 직접 클램프 고정하는 구조의 것이 대부분 사용되어 왔다.
그러나, 상기 직접 클램프 고정형의 오리피스에는 클램프 고정에 의해 오리피스 플레이트에 변형을 발생시킬 우려가 있으므로 오리피스 플레이트를 대폭 얇게 할 수 없다. 그 때문에 얇은 오리피스 플레이트를 사용하여 소정의 구멍 직경 및 형태를 갖는 유량 특성에 편차 없는 고정밀도의 오리피스를 안정하고 또한 저렴하게 제조할 수 없는 문제가 있다.
또한, 상기와 같은 문제를 해결하는 것으로서 오리피스 플레이트를 적당한 지지 기구에 용접하고, 이 지지 기구에 용접된 오리피스 플레이트를 관로 내에 삽입 고정하도록 한 오리피스가 개발되어왔다.
그러나, 용접을 행하면 열에 의한 영향으로 오리피스 구멍 직경에 변화가 생김과 아울러, 열응력에 의해 얇은 오리피스 플레이트에 크랙(crack)을 발생시킬 경우가 있으며, 오리피스 플레이트의 내식성이 저하하는 난점이 있다.
이와 같이, 오리피스, 특히 압력식 유량 제어 장치 등에서 사용되는 형상이나 구멍 직경 등에 일정한 제약을 갖는 고정밀도의 오리피스는 저렴하게 제조할 수 없음과 아울러, 관로 등으로의 삽입 고정에도 구조상 곤란한 문제가 많이 있고, 실용상 여러 가지 문제점이 남아있다.
한편, 오리피스를 그 필수적 구성 부재로 하는 압력식 유량 제어 장치는 매스 플로우 컨트롤러(mass flow controller)로 대표되는 열식 질량 유량 제어 장치(MFC)와 비교해서 응답성이나 제어 정밀도, 제조 코스트, 제어의 안정성, 유지성 등의 점에서 우수한 특성을 구비하고 있고, 반도체 제조 기술 분야 등에 있어서 널리 실용적으로 제공되어 있다.
도 7(a) 및 도 7(b)는 상기 종전의 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 기본 구성 도를 나타내는 것이며, 컨트롤 밸브(2), 압력 검출기(6), 오리피스(8), 유량 연산 회로(13 및 31), 유량 설정 회로(14), 연산 제어 회로(16), 유량 출력 회로(12) 등 으로 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 요부가 형성되어 있다.
더욱이, 도 7(a) 및 도 7(b)에 있어서, 3은 오리피스 상류측 배관, 4는 밸브 구동부, 5는 오리피스 하류측 배관, 7은 온도 검출기, 9는 밸브, 15는 유량 변환 회로, 10, 11, 22, 28은 증폭기, 17, 18, 29는 A/D 변환기, 19는 온도 보정 회로, 20, 30은 연산 회로, 21은 비교 회로, Qc는 연산 유량 신호, Qf는 전환 연산 유량 신호, Qe는 유량 설정 신호, Qo는 유량 출력 신호, Qy는 유량 제어 신호, Po는 기체의 공급 압력, P1은 오리피스 상류측 기체 압력, P2는 오리피스 하류측 기체 압력, k는 유량 변환율이다.
상기 도 7(a)의 압력식 유량 제어 장치(FCS)는 오리피스 상류측 기체 압력(P1)과 오리피스 하류측 기체 압력(P2)의 비(P1/P2)가 유체의 임계치와 같거나 낮은 경우(소위 기체의 흐름이 임계 상태 하에 있을 때)에 주로 사용되는 것이며, 오리피스(8)을 유통하는 기체 유량(Qc)은 Qc = KP(단지, K는 비례 정수)로 주어진다.
또한, 상기 도 7(b)의 압력식 유량 제어 장치(FCS)는 임계 상태와 비임계 상태의 양쪽의 흐름 상태가 되는 기체의 유량 제어에 주로 사용되는 것이며, 오리피스(8)에 흐르는 기체의 유량은 Qc = KP2 m(P1 - P2)n(K는 비례 정수, m과 n은 정수)로 주어진다.
또한, 상기 도 7(a) 및 도 7(b)의 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 유량 제어의 유량 설정값은 유량 설정 신호(Qe)로서 전압값으로 주어진다. 예를 들면, 상류측 압력(P1)의 압력 제어 범위[0 ∼ 3(kgf/㎠abs)]를 전압 범위(0 ∼ 5V)로 표시 하면 Qe = 5V(풀 스케일 값)는 3(kgf/㎠abs)의 압력(P1)에 있어서의 유량 Qc = KP1에 해당하는 것이 된다.
구체적으로는 지금 유량 변환 회로(15)의 변환율(k)이 1로 설정되어 있을 때 유량 설정 신호 Qe = 5V가 입력되면 스위칭 연산 유량 신호(Qf)[Qf = kQc]는 5V가 되고, 상류측 압력(P1)이 3(kgf/㎠abs)이 될 때까지 컨트롤 밸브(2)가 개폐 조작된다. 그 결과, P1 = 3(kgf/㎠abs)에 대응하는 유량 Qc = KP1의 기체가 오리피스(8)를 유통하게 된다.
또한, 제어해야 할 압력 범위를 O ∼ 2(kgf/㎠abs)로 스위칭하고, 이 압력 범위를 O ∼ 5V의 유량 설정 신호(Qe)로 표시할 경우[즉, 풀 스케일 값 5V가 2(kgf/㎠abs)를 제공할 경우]에는 상기 유량 변환율(k)이 2/3로 설정된다.
그 결과, 유량 설정 신호(Qe = 5V)가 입력되면 Qf = kQc로부터 스위칭 연산 유량 신호(Qf)는 Qf = 5×2/3V가 되고, 상류측 압력(P1)이 3×2/3 = 2(kgf/㎠abs)로 될 때까지 컨트롤 밸브(2)가 개폐 조작된다.
즉, Qe = 5V가 P1 = 2(kgf/㎠abs)에 해당하는 유량(Qc = KP1)을 나타내도록 풀 스케일의 유량이 변환된다.
더욱이, 상기 도 7(b)의 압력식 유량 제어 장치에 있어서도 마찬가지이고, 오리피스(8)를 유통하는 기체의 유량(Qc)은 Qc = KP2 m(P1 - P2)n(K는 비례 정수, m과 n은 정수)로 주어져서 가스 종류가 바뀌면 상기 비례 정수(K)가 변화된다.
상술한 바와 같이, 종전의 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 유량 변환 회로(15)의 변환율(k)을 조정함으로써 Qe = 5V(풀 스케일·F.S.)에 대응하는 오리피스 상류측 압력(P1)에 있어서의 유량(Qc = KP1)을 스위칭할 수 있는 구성이다. 그러나, 그 유량 전환 범위는 어디까지나 상기 Qe = 5V(F.S.값)에 대응하는 상류측 압력(P1)에 있어서의 유량(Qc = KP1)보다도 소유량의 범위이며, 상류측 압력(P1)에 있어서의 유량(Qc)은 오리피스의 직경 등에 의해 정해지는 정수(k)에 의해 일의적으로 결정된 유량값이 된다.
다른 말로, 오리피스 상류측 압력(P1)의 압력 제어 범위 O ∼ 3(kgf/㎠abs)을 전압 범위 0 ∼ 5V로 표시하고, Qe = 5V에 있어서의 유량치(Qc) 그 자체를 예를 들면, 5배의 유량으로 확대 스위칭하기 위해서는 오리피스 그 자체를 정수(K)가 5배의 값을 갖는 오리피스로 변환할 필요가 있다.
도 8은 상기 오리피스 교환을 가능하게 한 압력식 유량 제어 장치의 일례를 나타내는 것이며, 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 형성하는 컨트롤 밸브(2)의 밸브 본체(23)의 유체 출구측에 오리피스 삽입 구멍(24)을 형성하고, 해당 오리피스 삽입 구멍(24) 내에 적당한 구멍 직경을 갖는 오리피스(8)를 교환 가능하게 삽입 장착함과 아울러, 압압 기구(32), 베어링(33) 및 밀봉재(35a)를 거쳐서 유체 통로(34)의 기밀성을 확보하도록 한 것이다.
[특허문헌1] 일본 특허 공개 평8-338546호 공보
[특허문헌2] 일본 특허 공개 제2000-66732호 공보
[특허문헌3] 일본 특허 공개 제2000-322130호 공보
[특허문헌4] 일본 특허 공개 제2003-195948호 공보
[특허문헌5] 일본 특허 공개 제2004-199109호 공보
여기서, 종전의 상기 도 7(a) 및 도 7(b)의 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 피제어 유체의 공급압(Po)은 보통 일정값으로 유지되어 있기 때문에 제어 유량의 최대값(Qc)은 사용하는 오리피스(8)에 의해 일의적으로 결정되고, 오리피스(8) 그자체를 변환하지 않는 한, 상기 유체의 제어 유량의 최대 또는 최소 유량(Qc)을 크게 변경하는 것은 곤란하다.
또한, 종전의 도 8에 있어서, 오리피스(8)의 교환시마다 압압 기구(32)를 제거함과 아울러, 경우에 따라서는 밀봉재(35a)를 교환할 필요가 있고, 오리피스(8)의 교환에 많은 수고를 필요로 함과 아울러, 배관 경로의 해체에 시간이 걸리는 문제가 있다.
또한, 도 8의 오리피스 교환방식에 있어서, 오리피스(8)의 밀봉 기구를 오리피스(8)의 표면측에 접촉하는 밀봉재(35a)와 오리피스(5)의 배면측에 접촉하는 밸브 본체측의 밀봉용 접촉 시트(35b)로 구성함과 아울러, 압압 기구(32)의 스크류인(screw-in) 압압력에 의해 오리피스(8) 양면의 밀봉성을 확보하는 구성으로 하기 때문에 소위 오리피스 밀봉부로부터의 외부 리크를 완전히 방지하는 것이 현저하게 곤란한 문제가 있다.
또한, 오리피스(8)로서는, 도 8에 도시된 바와 같이, 얇은 금속제 오리피스 플레이트에 기계 가공에 의해 소정의 내경의 오리피스 구멍을 뚫어서 설치한 것으 로 하지만, 전술한 바와 같이, 직접적으로 오리피스(8)를 클램프 고정하는 구성이므로 오리피스 플레이트의 두께를 극히 얇게 할 수 없고, 그 결과 고정밀도의 오리피스를 저렴하게 제조할 수 없는 문제가 있다.
또한, 오리피스 지지 기구에 얇은 오리피스 플레이트를 용접함과 아울러, 해당 오리피스 지지 기구를 끼워 누름 고정하는 구성으로 한 오리피스에 있어서도 전술한 바와 같이, 용접열에 의한 오리피스 플레이트의 비틀어짐이나 크랙의 발생, 부식의 발생 등을 방지할 수 없는 문제가 있다.
본 발명은 종전의 오리피스 및 오리피스를 사용한 압력식 유량 제어 장치에 있어서의 상술한 바와 같은 문제, 즉, (가) 얇은 오리피스 플레이트를 이용하여 소정의 구멍 직경 및 형태를 갖는 유량 특성의 안정한 오리피스를 용이하게 제조할 수 없는 것, (나) 용접형의 오리피스에 있어서는 열응력에 의한 오리피스 구멍의 변형이나 오리피스 플레이트의 크랙을 발생시키기 용이한 것, (다) 또한, 오리피스를 사용한 압력식 유량 제어 장치에 있어서는, 유량 연산 회로의 변환율(k)을 변경하는 것만으로 유량 범위의 대폭적인 확대에 대응할 수 없는 것, (라) 종전의 오리피스 교환 방식에서는 오리피스의 교환에 많은 시간이 걸리며 외부 리크를 발생시킬 가능성이 높은 것 등의 문제를 해결하지 않는다고 하는 것이며, 매우 얇은 오리피스 플레이트를 이용하여 고정밀도이고 또한 안정한 유량 특성을 얻고, 유체 통로 내에 간단하게 삽입 장착해서 리크 프리로 끼워 누름 고정할 수 있고, 게다가, 저렴하고 또한 용이하게 제조할 수 있도록 한 오리피스 및 이를 사용한 압력식 유량 제어 장치를 제공하는 것, 및 공장 출시후에도 현지에서 오리피스(8)를 변환해서 유량 레인지를 간단 또한 신속하게 변경할 수 있음과 아울러, 오리피스(8)로부터의 외부 리크를 제거해서, 유량 제어 정밀도의 대폭적인 향상을 가능하게 한 오리피스 가변형 압력식 유량 제어 장치의 제공을 발명의 주목적으로 하는 것이다.
청구항 1의 발명의 개스킷형 오리피스는 끼워맞춤용 볼록부(38a1)를 구비한 오리피스 베이스(38a)[orifice base]와 끼워맞춤용 오목부(38b1)를 구비한 오리피스 베이스(38b)를 조합시키고; 양자의 단면 간에 오리피스 플레이트(38c)를 기밀상으로 삽입 장착함과 아울러, 양 오리피스 베이스(38a 및 38b)의 양단면(38a3 및 38b3)을 개스킷의 실링면으로 한 것을 발명의 기본 구성으로 한다.
청구항 2의 개스킷형 오리피스는 양측의 단면을 실링면으로 하는 단원통형의 오리피스 베이스(38d)의 편측 근방의 내부에 안쪽으로 돌출하는 플랜지부(38d1)를 형성하고; 해당 플랜지부(38d1)의 외측면으로 오리피스 구멍을 형성한 박판 형상의 오리피스 플레이트(38c)를 전체 둘레에 걸쳐 레이저 용접 고정한 것을 발명의 기본 구성으로 한다.
청구항 3의 발명의 압력식 유량 제어 장치는 컨트롤 밸브, 압력 검출기, 오리피스, 유량 연산 회로, 및 연산 제어 회로를 구비한 압력식 유량 제어 장치(A)에 있어서, 상기 오리피스를 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 개스킷형 오리피스로 한 것을 발명의 기본 구성으로 한다.
청구항 4의 발명은 청구항 3의 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 압력식 유량 제어 장치(A)를 형성하는 컨트롤 밸브의 밸브 본체(23)를 유체 유통로(40a)를 갖는 입구측 블록(40)과, 밸브 시트(2b)를 구비한 중앙 블록(41)과, 출구측 유체 통로(42a)를 구비한 출구측 블록(42)을 기밀상으로 연결하는 구성으로 한 것이다.
청구항 5의 발명은 청구항 4의 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 압력식 유량 제어 장치(A)를 구성하는 오리피스의 설치 장소를 컨트롤 밸브의 중앙 블록(41)의 유체 출구측과 출구측 설치용 블록(42)의 유체 입구측 사이에 설치하도록 한 것이다.
청구항 6의 발명의 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치는 유체 공급용 배관의 접속부를 구비한 입구측 설치용 블록(39)과 유체 취출용 배관의 접속부를 구비한 출구측 설치용 블록(43) 사이에 압력식 유량 제어 장치(A)의 컨트롤 밸브(2)의 밸브 본체(23)를 설치하고; 해당 밸브 본체(23)의 유체 입구측과 상기 입구측 설치용 블록(39)의 유체 출구측, 및 상기 밸브 본체(23)의 유체 출구측과 상기출구측 설치용 블록(43)의 유체 입구측을 각각 해리 가능하게 기밀상으로 연결함으로써 상기 컨트롤 밸브(2)를 통해서 기체가 유통하는 유로를 형성함과 아울러, 상기 밸브 본체(23)의 출구측에 형성된 개스킷형 오리피스 삽입 구멍(42c)과 출구측 설치용 블록(43)의 유체 입구측에 형성된 개스킷형 오리피스 삽입 구멍(43b) 사이에 압력식 유량 제어 장치(A)의 개스킷형 오리피스(38)를 제거가능하게 삽입 장착하는 구성으로 한 것을 발명의 기본 구성으로 한다.
청구항 7의 발명은 청구항 6의 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 압력식 유량 제어 장치(A)를 형성하는 컨트롤 밸브(2)의 밸브 본체(23)를 유체 유통로(40a)를 갖는 입구측 블록(40), 밸브 시트(2b)를 구비한 중앙 블록(41), 및 출구측 유체 통로(42a)를 구비한 출구측 블록(42)을 기밀상으로 연결하는 구성으로 한 것이다.
청구항 8의 발명은 청구항 7의 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치에 있어서, 중앙 블록(41)에 압력식 유량 제어 장치(A)의 압력 검출기(6)를 삽입 장착하는 압력 검출기 삽입 구멍(41e)을 형성한 구성으로 한 것이다.
본 발명 청구항 1에 의한 개스킷형 오리피스(38)는 오리피스 플레이트(38c)를 양쪽 오리피스 베이스(38a 및 38b) 사이에 기밀상으로 밀착 접착시키는 구성이므로, 매우 얇은 금속 플레이트 또는 금속막이어도 변형 등을 발생시키는 것 없이 양쪽 오리피스 베이스(38a 및 38b) 사이에 끼워져 지지될 수 있다.
그 결과, 보다 고정밀도의 오리피스 구멍을 갖는 오리피스 플레이트(38c)의 사용이 가능하고, 양쪽오리피스 베이스의 외측단을 실링면으로 이용함으로써 오리피스 그 자체를 개스킷으로서 긴밀하게 관로 등에 수축 고정할 수 있다.
청구항 2의 개스킷형 오리피스(38)에서는 오리피스 플레이트(38c)의 전체 둘레를 플랜지부(38d1)의 외측면으로 레이저 용접하는 구성이므로, 청구항 1의 경우 와 같이, 오리피스 플레이트(38c)에 거의 가열 변형이 발생하지 않고 고정밀도의 오리피스 구멍을 갖는 개스킷형 오리피스(38)의 제작이 가능해 진다.
본 발명의 청구항 3에 의한 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 청구항 1 또는 청구항 2의 개스킷형 오리피스(38)를 사용하고 있으므로, 오리피스(38) 그 자체의 고밀도화를 도모함과 아울러, 오리피스(38)의 부착에 있어서의 기밀성의 확보나 변형 방지를 거의 완전하게 달성할 수 있다.
본 발명의 청구항 6의 오리피스 변환형 압력식 유량 제어 장치에 있어서는 오리피스의 교환을 매우 용이하게 행할 수 있고, 오리피스(38)의 부착에 있어서의 기밀성의 확보나 변형 방지를 대략 완전하게 행할 수 있으므로 고정밀도의 유량 제어를 행할 수 있다.
도 1은 오리피스 가변형 압력식 유량 제어 장치의 요부를 절단한 정면도이다.
도 2는 본 발명에서 사용하는 제 1 실시예에 따른 개스킷형 오리피스의 단면 개요도이다.
도 3은 도 2의 개스킷형 오리피스의 제조 방법의 설명도이다.
도 4는 본 발명에서 사용하는 제 2 실시예에 따른 개스킷형 오리피스의 단면 개요도이다.
도 5는 개스킷형 오리피스의 교환의 설명도이다.
도 6은 개스킷형 오리피스 교환 후의 유량 제어 정밀도의 보정의 설명도이다.
도 7은 종전의 압력식 유량 제어 장치의 구성 설명도이다.
도 8은 종전의 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치의 일례를 나타내는 단면 개요도이다.
[부호의 설명]
A: 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치 1: 제어부
2: 컨트롤 밸브 2a: 밸브 본체
2b: 밸브 시트 6: 압력 검출기
23: 밸브 본체 36: 개스킷형 필터
37: 개스킷 38: 개스킷형 오리피스
38a: 오리피스 베이스(1) 38a1: 끼워맞춤용 볼록부
38a2: 외주면 38a3: 상단면
38b: 오리피스 베이스(2) 38b1: 끼워맞춤용 오목부
38b2: 내주면 38b3: 하단면
38c: 오리피스 플레이트 38d: 오리피스 베이스
38d1: 가장자리부 39: 입구측 설치용 블록
39a: 유체 통로 40: 입구측 블록
40a: 유체 통로 40b: 리크 검사 구멍
40c: 개스킷 삽입 구멍 41: 중앙 블록
41a: 입구측 유체 통로 41b: 출구측 유체 통로
41c: 밸브 본체 삽입 구멍 41d: 개스킷 삽입 구멍
41e: 압력 검출기 삽입 구멍 42: 출구측 블록
42a: 유체 통로 42b: 리크 검사 구멍
42c: 개스킷형 오리피스 삽입 구멍 43: 출구측 설치용 블록
43a: 유체 통로 43b: 개스킷형 오리피스 삽입 구멍
44: 압력 검출기의 고정구 45: 압력 검출기의 고정용 볼트
이하, 도면에 의거하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도 1은 본원 발명의 청구항 6에 관련되는 오리피스 가변형 압력식 유량 제어 장치(A)의 요부를 자른 정면도이며, 도 1에 있어서 1은 제어부, 2는 컨트롤 밸브, 2a는 컨트롤 밸브(2)의 밸브 본체, 2b는 밸브 시트, 23은 밸브 본체, 35는 개스킷, 36은 개스킷형 필터, 6은 압력 검출기, 37은 개스킷, 38은 개스킷형 오리피스이다.
상기 밸브 본체(23)는 입구측 블록(40), 중앙 블록(41), 및 출구측 블록(42)의 3부재로 조립하여 형성되어 있다. 또한, 입구측 설치용 블록(39)과 입구측 블록(40)은 개스킷(35)을 거쳐서 고정용 볼트(도시 생략)에 의해 연결되어 있다.
상기 입구측 블록(40)과 중앙 블록(41)은 개스킷형 필터(36)를 거쳐서 고정용 볼트(도시 생략)에 의해 연결되어 있다.
또한, 상기 중앙 블록(41)과 출구측 블록(42)은 개스킷(37)을 거쳐서 고정용 볼트(도시 생략)에 의해 연결되어 있다. 또한, 상기 출구측 블록(42)과 출구측 설치용 블록(43)은 개스킷형 오리피스(38)를 거쳐서 고정용 볼트(도시 생략)에 의해 기밀상으로 또는 해리 가능하게 연결 고정되어 있다.
상기 각 블록(39 내지 43)은 어느 SUS316L-P(W 멜트)재로 형성되고, 입구측 설치용 블록(39)에는 유입측 배관용 이음매(도시 생략), 유체 통로(39a) 및 고정용 볼트 스크류인 구멍(도시 생략) 등이 형성되어 있다.
또한, 상기 입구측블록(40)에는 유체 통로(40a), 고정용 볼트 삽입 통과 구멍(도시 생략), 리크 검사 구멍(40b), 개스킷 삽입 구멍(40c) 등이 형성되어 있다.
또한, 중앙 블록(41)에는 입구측 유체 통로(41a), 출구측 유체 통로(41b), 밸브 시트(2b)를 구비한 밸브 본체(2a)의 삽입 구멍(41c), 개스킷 삽입 구멍(41d), 압력 검출기 삽입 구멍(41e), 고정용 볼트 스크류인 구멍(도시 생략) 등이 형성되어 있다.
상기 출구측 블록(42)에는 출구측 유체 통로(42a), 리크 검사 구멍(42b), 유체 출구측에 위치하는 오리피스 개스킷 삽입 구멍(42c), 고정용 볼트 삽입 통과 구멍(도시 생략) 등이 형성되어 있다.
상기 출구측 설치용 블록(43)은 출구측 배관용 이음매(도시 생략), 유체 통로(43a) 및 고정용 볼트 스크류인 구멍(도시 생략)을 구비하고 있어 상기 입구측 설치용 블록(39)과 거의 같은 형태로 구성되어 있다. 단, 유체 입구측에 개스킷형 오리피스(38)의 삽입 구멍(43c)이 형성되어 있는 점이 상기 입구측 설치용 블록(39)과 다르다.
또한, 도 1에 있어서 44는 압력 검출기의 고정구, 45는 압력 검출기의 고정용 볼트이다.
도 2는 본 발명의 청구항 1에 의한 개스킷형 오리피스의 일례를 나타내는 단면 개요도이며, 소위 압입 방식으로 제작된 것이다. 즉, 해당 개스킷형 오리피 스(38)는 오리피스 베이스(1)(38a)와 오리피스 베이스(2)(38b) 사이에 원하는 오리피스 지름(φ)을 구비한 원형 오리피스 플레이트(38c)를 개설하고, 도 3에 도시된 바와 같이, 추진력 약 90N의 프레스기에 의해 오리피스 베이스(38a)를 오리피스 베이스(38b) 내에 압입해서 양자를 기밀상으로 일체화 고정함으로써 형성되어 있다. 한편, 개스킷형 오리피스(38)를 구성하는 주요 부재는 모두 SUS316L-LM(W 멜트)재에 의해 형성되어 있다.
또한, 해당 개스킷형 오리피스(38)는 본원 발명의 청구항 3에 의한 압력식 유량 제어 장치 및 본원 발명의 청구항 6에 의한 오리피스 변환형 압력식 유량 제어 장치에 있어서 각각 사용되는 것이다.
즉, 오리피스 베이스(38a)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 디스크 형체의 하단면에 끼워맞춤용 볼록부(38a1)를 형성한 것이며, 그 외주면(38a2)이 타방의 디스크 형체의 오리피스 베이스(38b)의 상단면에 형성한 끼워맞춤용 오목부(38b1)의 내벽면(38b2)과 기밀상으로 밀접함으로써 양자의 단면 간에 오리피스 플레이트(38c)가 기밀상으로 삽입 유지된다.
또한, 조립된 개스킷형 오리피스(38)의 링 형상의 상단면(38a2) 및 링 형상의 하단면(38b3)은 각각 블록(42, 43) 사이의 밀봉용 개스킷의 실링면으로서의 기능을 달성하는 것은 물론이다.
도 4는 본 발명의 청구항 2에 의한 개스킷형 오리피스(38)를 나타내는 것이 다. 해당 개스킷형 오리피스(38)는 오리피스 베이스(38d)의 내부의 한 쪽에 설치한 플랜지부(38d)의 외측면에 오리피스 플레이트(38c)를 레이저 용접(W)[전체 둘레]함으로써 형성되며, 원통형의 오리피스 베이스(38d)의 상단면과 하단면이 각각 실링면이 되는 것이다. 한편, 오리피스 베이스(38d)는 SUS316L-LM(W 멜트)재에 의해 형성되며 또한, 오리피스 플레이트(38c)는 베이스(38d)와 동질 또는 기타의 Ni-Cr합금이 사용되고, 중앙에 소정의 내경(φ)의 오리피스 구멍이 형성되어 있다.
다음, 개스킷형 오리피스(38)의 변경(또는, 교환)에 관하여 설명한다. 가스의 제어 유량이나 가스 종류 등의 변경에 의해 개스킷형 오리피스(38)를 교환할 필요가 발생할 경우에는 우선, 도 5에 도시된 바와 같이, 입구측 블록(40)과 입구측 설치용 블록(입구측 베이스 블록)(39)을 연결하는 고정용 볼트(도시생략·4개) 및 출구측 블록(42)과 출구측 설치용 블록(출구측 베이스 블록)(43)을 연결하는 고정용 볼트(도시생략·4개)를 제거한다.
다음, 새로운 개스킷형 오리피스(38)를 상기 출구측 블록(42)의 개스킷 삽입 구멍(42c) 내에 삽입하고, 그 후 양쪽 블록(40, 42)을 이전과 같이, 설치용 블록(39, 43)에 각각 고정한다.
이때, 가스 입구측 배관 및 가스 출구측 배관은 어느 쪽 입구측 설치용 블록(39) 및 출구측 설치용 블록(43)의 각 접속용 이음매에 연결되어 또한, 양쪽 블록(39, 43)은 일체 이동시키지 않으므로, 개스킷 오리피스(38)의 교환시에 배관계를 제거할 필요가 전혀 없다.
상기 개스킷형 오리피스(38)의 교환이 완료되면 새로운 설정 유량과 제어 유 량과의 관계를 조정하고 예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 스팬 오차(ΔQ)가 소정 치(예를 들면, ±5%F.S.)를 넘을 경우나 스팬 오차(ΔQ)를 소정 치(예를 들면, ±1%F.S.) 이하에 유지할 필요가 있는 경우에는 해당 교환 후의 개스킷형 오리피스(38)에 고유 정수(K)에 관한 데이터를 오리피스 데이터 리더(도시 생략)를 거쳐서 제어부(A)에 등록하고, 해당 교환 후의 개스킷형 오리피스(38)에 고유 정수(K)에 관한 데이터를 이용하여 유량 스팬 오차(ΔQ)나 유량 직선성 오차(도시 생략)를 보정해서 스팬 오차(ΔQ) 등을 소정 치 이하가 되도록 보정한다.
본 발명은 오리피스를 사용하는 유체 설비나 오리피스를 이용하여 유체의 유량 제어를 행하는 구성의 유체 유량 제어 장치의 모두에 적용가능한 것이며 반도체제조나 화학 산업, 약품 산업, 식품 산업 등의 분야에 있어서 주로 이용되는 것이다.

Claims (8)

  1. 끼워맞춤용 볼록부(38a1)를 구비한 오리피스 베이스(38a)와 끼워맞춤용 오목부(38b1)를 구비한 오리피스 베이스(38b)를 조합시키고; 양자의 단면 간에 오리피스 플레이트(38c)를 기밀상으로 삽입 장착함과 아울러, 양 오리피스 베이스(38a) (38b)의 양단면(38a3)(38b3)을 개스킷의 실링면으로 한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  2. 양측의 단면을 실링면으로 하는 단원통형의 오리피스 베이스(38d)의 편측 근방의 내부에 안쪽으로 돌출하는 가장자리부(38d1)를 형성하고; 상기 가장자리부(38d1)의 외측면으로 오리피스 구멍을 형성한 박판 형상의 오리피스 플레이트(38c)를 전체 둘레에 걸쳐 레이저 용접 고정한 것을 특징으로 하는 개스킷형 오리피스.
  3. 컨트롤 밸브, 압력 검출기, 오리피스, 유량 연산 회로, 및 연산 제어 회로를 구비한 압력식 유량 제어 장치(A)에 있어서, 상기 오리피스를 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 개스킷형 오리피스로 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    압력식 유량 제어 장치(A)를 형성하는 컨트롤 밸브의 밸브 본체(23)를 유체 유통로(40a)를 갖는 입구측 블록(40), 밸브 시트(2b)를 구비한 중앙 블록(41), 및 출구측 유체 통로(42a)를 구비한 출구측 블록(42)을 기밀상으로 연결하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    압력식 유량 제어 장치(A)를 구성하는 오리피스의 설치 장소를 컨트롤 밸브의 중앙 블록(41)의 유체 출구측과 출구측 설치용 블록(42)의 유체 입구측 사이에 설치하도록 한 것을 특징으로 하는 압력식 유량 제어 장치.
  6. 유체 공급용 배관의 접속부를 구비한 입구측 설치용 블록(39)과 유체 취출용 배관의 접속부를 구비한 출구측 설치용 블록(43) 사이에 압력식 유량 제어 장치(A)의 컨트롤 배관의 밸브 본체(23)를 설치하고; 상기 밸브 본체(23)의 유체 입구측과 상기 입구측 설치용 블록(39)의 유체 출구측, 및 상기 밸브 본체(23)의 유체 출구측과 상기 출구측 설치용 블록(43)의 유체 입구측을 각각 해리 가능하게 기밀상으로 연결함으로써 상기 컨트롤 밸브를 통해서 기체가 유통하는 유로를 형성함과 아울러, 상기 밸브 본체(23)의 출구측에 형성된 개스킷형 오리피스 삽입 구멍(42c)과 출구측 설치용 블록(43)의 유체 입구측에 형성된 개스킷형 오리피스 삽입 구멍(43b) 사이에 압력식 유량 제어 장치(A)의 개스킷형 오리피스(38)를 착탈가능하 게 삽입 장착하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    압력식 유량 제어 장치(A)를 형성하는 컨트롤 밸브의 밸브 본체(23)를 유체 유통로(40a)를 갖는 입구측 블록(40), 밸브 시트(2b)를 구비한 중앙 블록(41), 및 출구측 유체 통로(42a)를 구비한 출구측 블록(42)을 기밀상으로 연결하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    중앙 블록(41)에 압력식 유량 제어 장치(A)의 압력 검출기(6)를 삽입 장착하는 압력 검출기 삽입 구멍(41e)을 형성한 구성으로 한 것을 특징으로 하는 오리피스 교환형 압력식 유량 제어 장치.
KR1020077027303A 2005-08-26 2007-11-23 개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치 KR100919449B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005245804A JP4690827B2 (ja) 2005-08-26 2005-08-26 ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置
JPJP-P-2005-00245804 2005-08-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080003443A true KR20080003443A (ko) 2008-01-07
KR100919449B1 KR100919449B1 (ko) 2009-09-29

Family

ID=37771350

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077027303A KR100919449B1 (ko) 2005-08-26 2007-11-23 개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9133951B2 (ko)
EP (1) EP1918799A4 (ko)
JP (1) JP4690827B2 (ko)
KR (1) KR100919449B1 (ko)
CN (1) CN101253458B (ko)
TW (1) TW200710623A (ko)
WO (1) WO2007023597A1 (ko)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7784497B2 (en) * 2007-07-12 2010-08-31 Eriksson Mark L MSM component and associated gas panel assembly
JP5301983B2 (ja) * 2008-12-26 2013-09-25 株式会社フジキン ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置
WO2011067877A1 (ja) * 2009-12-01 2011-06-09 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
CN102934202B (zh) * 2010-02-22 2015-05-13 株式会社富士金 混合气体供给装置
US9557747B2 (en) 2010-12-23 2017-01-31 Lincoln Global, Inc. Gas flow regulator with multiple gas flow passages
CN103917787B (zh) * 2011-11-02 2017-05-24 Smc株式会社 流量控制设备
JP5665793B2 (ja) * 2012-04-26 2015-02-04 株式会社フジキン 可変オリフィス型圧力制御式流量制御器
KR101401086B1 (ko) * 2012-07-17 2014-05-29 이명상 조립식 고압유량제어밸브
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
KR101388176B1 (ko) * 2013-08-19 2014-04-22 알피엠컨트롤 주식회사 캐비테이션-수충격 방지구를 구비하는 컨트롤 밸브
JP6372998B2 (ja) * 2013-12-05 2018-08-15 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
JP5982355B2 (ja) * 2013-12-26 2016-08-31 株式会社フジキン 流路シール構造
US10107700B2 (en) 2014-03-24 2018-10-23 Rosemount Inc. Process variable transmitter with process variable sensor carried by process gasket
JP6416529B2 (ja) * 2014-07-23 2018-10-31 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
WO2017150331A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 株式会社フジキン 流量制御装置
US11585444B2 (en) * 2019-08-05 2023-02-21 Ichor Systems, Inc. Seal for a flow restrictor
CN109477586B (zh) 2016-07-29 2020-01-14 株式会社富士金 流孔内置阀以及压力式流量控制装置
US10983538B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
US20220186845A1 (en) * 2019-01-31 2022-06-16 Fujikin Incorporated Flow path assembly, valve device, fluid control device, semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using said flow path assembly
JP7333577B2 (ja) * 2019-03-27 2023-08-25 株式会社フジキン バルブ装置、このバルブ装置を用いた流体制御装置および半導体製造装置
WO2021044721A1 (ja) * 2019-09-05 2021-03-11 株式会社堀場エステック 流量制御弁又は流量制御装置

Family Cites Families (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1938460A (en) * 1933-12-05 Orifice fitting
US2229903A (en) 1939-02-04 1941-01-28 Arthur L Parker Metering valve
US3081942A (en) 1961-09-18 1963-03-19 Ibm Digital-to-analog control system
US3375845A (en) 1964-04-21 1968-04-02 Houdaille Industries Inc Fluid flow device
US3411669A (en) * 1966-09-08 1968-11-19 Reynolds Metals Co Beverage dispenser regulation and the like
GB1364841A (en) 1971-08-12 1974-08-29 British Oxygen Co Ltd Fluid mixing
US3827457A (en) 1973-06-22 1974-08-06 Westinghouse Air Brake Co Fluid pressure system for converting digital signals to analog signals
US3831845A (en) 1973-08-17 1974-08-27 Partek Corp Of Houston Fluid delivery system
US3905394A (en) 1974-04-12 1975-09-16 Digital Dynamics Inc Flow control system
US3963043A (en) 1975-01-02 1976-06-15 Motorola, Inc. Pressure sensing method and apparatus for gases
US3999572A (en) 1975-03-24 1976-12-28 The Garrett Corporation Fluid flow instrumentality
US4030523A (en) 1976-04-19 1977-06-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Digital flow control system
US4089007A (en) 1976-05-24 1978-05-09 International Business Machines Corporation Digital flow pressure regulator
DE2751743C2 (de) 1977-11-19 1985-04-18 Pierburg Luftfahrtgeräte Union GmbH, 4040 Neuss Verfahren und Regeleinrichtung zum Zumessen strömender Medien
DE3130056C2 (de) 1981-07-30 1983-11-17 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Steuerventilanordnung für einen Druckmittel-Arbeitszylinder
US4478246A (en) 1981-08-10 1984-10-23 Donnell Sherrod Method and apparatus for proportioning of fuel usage by a fluid fueled apparatus
US4431020A (en) 1981-10-08 1984-02-14 Marotta Scientific Controls, Inc. Flow-control system having a wide range of flow-rate control
JPS60139987A (ja) * 1983-12-27 1985-07-24 アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 チュ−ブ取付用パッキン
US4633911A (en) * 1985-01-18 1987-01-06 Control Specialties Co., Inc. Orifice plate seal
US4979639A (en) 1989-05-23 1990-12-25 The Coca-Cola Company Beverage dispenser control valve and ratio control method therefor
JPH0333566A (ja) * 1989-06-29 1991-02-13 Hitachi Metals Ltd デジタルバルブ
US5069252A (en) * 1990-12-18 1991-12-03 Daniel Industries, Inc. Orifice system intermediate interface
JPH064139A (ja) 1992-06-17 1994-01-14 Seiko Epson Corp 流量コントローラー
US5269334A (en) 1992-06-22 1993-12-14 New York State Electric & Gas Corporation Fluid flow control system
DE4236460C2 (de) 1992-10-29 1995-11-23 Battenfeld Gmbh Drucksteuer- und/oder Regelvorrichtung für ein fluidisches Medium, insbesondere Luft oder Gas
US5329965A (en) 1993-07-30 1994-07-19 The Perkin-Elmer Corporation Hybrid valving system for varying fluid flow rate
DE4400489C2 (de) 1994-01-11 1996-03-28 Filtan Gmbh Zentrifugalabscheider, Vorrichtung und Verfahren
JP3818547B2 (ja) 1994-09-16 2006-09-06 株式会社堀場エステック 質量流量制御装置
JP3291161B2 (ja) 1995-06-12 2002-06-10 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
CA2183478C (en) 1995-08-17 2004-02-24 Stephen A. Carter Digital gas metering system using tri-stable and bi-stable solenoids
JPH09330128A (ja) 1996-06-13 1997-12-22 Fujitsu Ltd マスフローコントローラ
DE19627539A1 (de) 1996-07-09 1998-01-15 Gaggenau Werke Verfahren und Vorrichtung zum Steuern der Flammengröße gasbetriebener Koch- oder Backgeräte
JP3580645B2 (ja) * 1996-08-12 2004-10-27 忠弘 大見 圧力式流量制御装置
JPH11125398A (ja) * 1997-10-20 1999-05-11 Ckd Corp 流量制限機構
JP3971840B2 (ja) * 1998-03-17 2007-09-05 大見 忠弘 圧力式流量制御装置
JPH11265216A (ja) 1998-03-17 1999-09-28 Omi Tadahiro 圧力式流量制御装置
JP2000020135A (ja) 1998-06-29 2000-01-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 流量制御装置
JP3522544B2 (ja) 1998-08-24 2004-04-26 忠弘 大見 流体可変型流量制御装置
JP4370369B2 (ja) * 1998-12-01 2009-11-25 株式会社フジキン ガスケットフィルタ
DE19914282A1 (de) 1999-03-30 2000-10-05 Leybold Vakuum Gmbh Sperrgas-Ventileinrichtung
KR100427563B1 (ko) 1999-04-16 2004-04-27 가부시키가이샤 후지킨 병렬분류형 유체공급장치와, 이것에 사용하는 유체가변형압력식 유량제어방법 및 유체가변형 압력식 유량제어장치
JP3387849B2 (ja) 1999-05-10 2003-03-17 株式会社フジキン フローファクターによる流体可変型流量制御方法およびその装置
US6539968B1 (en) 2000-09-20 2003-04-01 Fugasity Corporation Fluid flow controller and method of operation
JP4102564B2 (ja) 2001-12-28 2008-06-18 忠弘 大見 改良型圧力式流量制御装置
JP3910139B2 (ja) 2002-12-16 2007-04-25 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置を用いた流体の流量制御方法
US6997202B2 (en) 2002-12-17 2006-02-14 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system for variable conductance dispensing of gas at constant flow rate
JP2004243333A (ja) * 2003-02-12 2004-09-02 Hitachi Ltd 溶接装置および溶接方法
JP2004278614A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Tlv Co Ltd ウエハー型オリフィストラップ
JP4399227B2 (ja) 2003-10-06 2010-01-13 株式会社フジキン チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ
CN2658512Y (zh) * 2003-11-12 2004-11-24 江苏神通阀门有限公司 上游多级降压调压阀组
JP4298476B2 (ja) * 2003-11-14 2009-07-22 株式会社フジキン 流体制御装置
JP4184252B2 (ja) * 2003-12-18 2008-11-19 シーケーディ株式会社 リーク弁

Also Published As

Publication number Publication date
EP1918799A1 (en) 2008-05-07
US20090171507A1 (en) 2009-07-02
TWI322342B (ko) 2010-03-21
US9133951B2 (en) 2015-09-15
WO2007023597A1 (ja) 2007-03-01
CN101253458A (zh) 2008-08-27
TW200710623A (en) 2007-03-16
JP2007057474A (ja) 2007-03-08
EP1918799A4 (en) 2009-05-06
JP4690827B2 (ja) 2011-06-01
KR100919449B1 (ko) 2009-09-29
CN101253458B (zh) 2011-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100919449B1 (ko) 개스킷형 오리피스와 이것을 사용한 압력식 유량 제어 장치
US11427911B2 (en) Valve device, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device
TW300947B (ko)
US5836355A (en) Building blocks for integrated gas panel
JP4955394B2 (ja) 圧力モジュール
US7213618B2 (en) Gas-panel assembly
KR100329977B1 (ko) 유체가변형 유량제어장치
JP3260454B2 (ja) 質量流量計、流体の質量測定方法及び粘度測定装置
US6302141B1 (en) Building blocks for integrated gas panel
JP2007133829A (ja) 流体制御装置と圧力調節弁と制御方法
KR20070020203A (ko) 내식 금속제 유체용 센서 및 이것을 이용한 유체 공급 기기
JPH10311450A (ja) 流体制御器用継手
US11365830B2 (en) Valve device, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device
KR20180020151A (ko) 압전 구동기 유형 밸브
WO2006039205A2 (en) Gasket arrangement for sanitary process flow meter
US6953048B2 (en) Modular surface-mount fluid-flow system
JP6231998B2 (ja) ガスケット一体型セラミックオリフィスプレート
US20220186845A1 (en) Flow path assembly, valve device, fluid control device, semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using said flow path assembly
WO2008062679A1 (fr) Coupleur hydraulique
JP2006242222A (ja) 集積化ガス制御装置と集積化ガス制御方法
EP0777259A1 (en) Apparatus for delivering fluid to a point of use location
JP2005180527A (ja) リーク弁
JPS62180200A (ja) ユニツト式高純度配管構造
JP2022513958A (ja) シールポート付きユニバーサルチューブスタブプラグ
JP2002174400A (ja) 集積化ユニット

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130716

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140715

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150709

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160708

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170818

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180903

Year of fee payment: 10