JPH064139A - 流量コントローラー - Google Patents
流量コントローラーInfo
- Publication number
- JPH064139A JPH064139A JP15815792A JP15815792A JPH064139A JP H064139 A JPH064139 A JP H064139A JP 15815792 A JP15815792 A JP 15815792A JP 15815792 A JP15815792 A JP 15815792A JP H064139 A JPH064139 A JP H064139A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- gas
- bypass
- valve
- small
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造に用いられるガスの流量を制御する
流量コントローラーにおいて、ガスを小流量から大流量
まで広範囲にわたって制御することができる流量コント
ローラーを提供する。 【構成】 ガスを小流量に制御するための、バルブ4、
小流量用バイパス2、小流量用コントロールバルブ6を
有する小流量ガスラインと、大流量に制御するための、
バルブ5、大流量用バイパス3、大流量用コントロール
バルブ7を有する大流量ガスラインを並列に設けている
流量コントローラー。 【効果】小流量用ガスラインと大流量用ガスラインの2
系統のガスラインを有し、小流量用ガスラインと大流量
用ガスラインの2系統のガスラインを切り替えることに
依り、小流量から大流量まで広範囲にわたっての制御が
可能となる。
流量コントローラーにおいて、ガスを小流量から大流量
まで広範囲にわたって制御することができる流量コント
ローラーを提供する。 【構成】 ガスを小流量に制御するための、バルブ4、
小流量用バイパス2、小流量用コントロールバルブ6を
有する小流量ガスラインと、大流量に制御するための、
バルブ5、大流量用バイパス3、大流量用コントロール
バルブ7を有する大流量ガスラインを並列に設けている
流量コントローラー。 【効果】小流量用ガスラインと大流量用ガスラインの2
系統のガスラインを有し、小流量用ガスラインと大流量
用ガスラインの2系統のガスラインを切り替えることに
依り、小流量から大流量まで広範囲にわたっての制御が
可能となる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造に用いられ
るガスの流量を制御する流量コントローラーに関する。
るガスの流量を制御する流量コントローラーに関する。
【0002】
【従来の技術】流量コントローラーは、ガスの流量を測
定し制御するもので、ガスは、温度、圧力といった周囲
条件に関しては、絶えず変化するが、質量に関しては変
化しないので、単位時間に流れる流体の質量(質量流
量)を測定し制御している。
定し制御するもので、ガスは、温度、圧力といった周囲
条件に関しては、絶えず変化するが、質量に関しては変
化しないので、単位時間に流れる流体の質量(質量流
量)を測定し制御している。
【0003】流量コントローラーの構成図を図2に示
す。
す。
【0004】流量コントローラーは、大きく分けてセン
サー部、バイパス部、コントロールバルブ部、電気回路
部に分けられる。
サー部、バイパス部、コントロールバルブ部、電気回路
部に分けられる。
【0005】センサー部では、一般的に図2の15の様
なセンサー管と呼ばれる金属性の毛細管の外側に2本の
自己発熱抵抗体を巻いた構造をしている。毛細管は定電
流に制御された自己発熱抵抗体によって加熱され、流量
が0の場合、毛細管の中心に対して左右対称な温度分布
となる。しかし、センサー管15内をガスが流れる場
合、図2に於ける左側(上流側)の抵抗と右側(下流
側)の抵抗には温度差が生じる。また、質量流量は温度
差に比例するので、温度差を図2の17のブリッジ回路
のような回路によって検出し、質量流量を測定してい
る。
なセンサー管と呼ばれる金属性の毛細管の外側に2本の
自己発熱抵抗体を巻いた構造をしている。毛細管は定電
流に制御された自己発熱抵抗体によって加熱され、流量
が0の場合、毛細管の中心に対して左右対称な温度分布
となる。しかし、センサー管15内をガスが流れる場
合、図2に於ける左側(上流側)の抵抗と右側(下流
側)の抵抗には温度差が生じる。また、質量流量は温度
差に比例するので、温度差を図2の17のブリッジ回路
のような回路によって検出し、質量流量を測定してい
る。
【0006】図2の16のバイパス部では、センサー管
15の中を流れるガスの流量に限界があるため、センサ
ー管15と別に並列な流路を設けて分流させている。こ
こで、センサー管15内の流量とバイパス16内の流量
との比は常に一定となっている。
15の中を流れるガスの流量に限界があるため、センサ
ー管15と別に並列な流路を設けて分流させている。こ
こで、センサー管15内の流量とバイパス16内の流量
との比は常に一定となっている。
【0007】図2の22のコントロールバルブ部では、
設定した流量になるように、バルブの開度を調整しガス
の流量を制御している。
設定した流量になるように、バルブの開度を調整しガス
の流量を制御している。
【0008】電気回路部では、一例として図2に示すよ
うなブリッジ回路17、増幅回路18、補正回路19、
比較制御回路20、バルブ駆動回路21、等様々な回路
に依って構成されているが、ブリッジ回路17のような
回路に依って温度差を測定し、質量流量に応じた出力電
圧を検出する。これを増幅回路18に依って増幅してい
る。そして、補正回路19に依って周囲温度による影響
を補正し、得られた出力電圧に基いて、比較制御回路2
0、バルブ駆動回路21でバルブを動作させている。
うなブリッジ回路17、増幅回路18、補正回路19、
比較制御回路20、バルブ駆動回路21、等様々な回路
に依って構成されているが、ブリッジ回路17のような
回路に依って温度差を測定し、質量流量に応じた出力電
圧を検出する。これを増幅回路18に依って増幅してい
る。そして、補正回路19に依って周囲温度による影響
を補正し、得られた出力電圧に基いて、比較制御回路2
0、バルブ駆動回路21でバルブを動作させている。
【0009】以上のような原理に依って、従来の一般的
な流量コントローラーは、流量を検出し、コントロール
バルブ22に依り制御している。
な流量コントローラーは、流量を検出し、コントロール
バルブ22に依り制御している。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流量コ
ントローラーで制御できる最大のガスの流量は、センサ
ー管15内の流量とバイパス16内の流量との比に依っ
て決まっていて、センサー管15内の流量とバイパス1
6内の流量との比を小さくすることに依って小流量の制
御をするか、センサー管15内の流量とバイパス16内
の流量との比を大きくすることに依って大流量の制御を
するかのどちらかの制御しかできない。
ントローラーで制御できる最大のガスの流量は、センサ
ー管15内の流量とバイパス16内の流量との比に依っ
て決まっていて、センサー管15内の流量とバイパス1
6内の流量との比を小さくすることに依って小流量の制
御をするか、センサー管15内の流量とバイパス16内
の流量との比を大きくすることに依って大流量の制御を
するかのどちらかの制御しかできない。
【0011】そこで、本発明は、このような問題点を解
決するもので、その目的は、小流量から大流量まで広範
囲に制御することが可能であるところにある。
決するもので、その目的は、小流量から大流量まで広範
囲に制御することが可能であるところにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の流量コントロー
ラーは、センサー管内の流量とバイパス内の流量との比
を小さくして小流量の制御をするガスラインに加え、セ
ンサー管内の流量とバイパス内の流量との比を大きくし
て大流量の制御をするガスラインを並列に設け、小流量
制御の場合は、小流量用バイパスと小流量用コントロー
ルバルブに依って制御し、大流量制御の場合は、大流量
用バイパスと大流量用コントロールバルブに依って制御
するという特徴を有する。
ラーは、センサー管内の流量とバイパス内の流量との比
を小さくして小流量の制御をするガスラインに加え、セ
ンサー管内の流量とバイパス内の流量との比を大きくし
て大流量の制御をするガスラインを並列に設け、小流量
制御の場合は、小流量用バイパスと小流量用コントロー
ルバルブに依って制御し、大流量制御の場合は、大流量
用バイパスと大流量用コントロールバルブに依って制御
するという特徴を有する。
【0013】
【実施例】以下、本発明について実施例に基いて説明す
る。
る。
【0014】図1は、本発明に依る流量コントローラー
の構成図である。
の構成図である。
【0015】流量コントローラーで制御できる最大のガ
スの流量は、センサー管内の流量とバイパスの流量との
比に依って決まってくる。小流量制御する場合、小流量
用バイパス2を、センサー管1内の流量と小流量用バイ
パス2内の流量との比が小さくなるように、配管径を小
さくすることに依って小流量制御を行うことが可能であ
る。また、大流量制御する場合、大流量用バイパス3
を、センサー管1内の流量と大流量用バイパス3内の流
量との比が大きくなるように、配管径を大きくすること
に依って大流量制御を行うことが可能である。
スの流量は、センサー管内の流量とバイパスの流量との
比に依って決まってくる。小流量制御する場合、小流量
用バイパス2を、センサー管1内の流量と小流量用バイ
パス2内の流量との比が小さくなるように、配管径を小
さくすることに依って小流量制御を行うことが可能であ
る。また、大流量制御する場合、大流量用バイパス3
を、センサー管1内の流量と大流量用バイパス3内の流
量との比が大きくなるように、配管径を大きくすること
に依って大流量制御を行うことが可能である。
【0016】そこで、本発明に依る流量コントローラー
は、図1に示すように、バルブ4、小流量用バイパス
2、小流量用コントロールバルブ6を有する小流量ガス
ラインとバルブ5、大流量用バイパス3、大流量用コン
トロールバルブ7を有する大流量ガスラインの2系統の
ガスラインを並列に設けている。ガスを小流量制御する
場合、まず、バルブ5及び、コントロールバルブ7を閉
じる。そして、ブリッジ回路8のような回路に依って温
度差を測定し、質量流量に応じた出力電圧を検出する。
これを増幅回路9に依って増幅している。そして、補正
回路10に依って周囲温度による影響を補正し、得られ
た出力電圧に基いて、比較制御回路11、バルブ駆動回
路12でコントロールバルブ6を動作させてガスを小流
量に制御する。ガスを大流量制御する場合、まず、バル
ブ4及び、コントロールバルブ6を閉じる。そして、ブ
リッジ回路8のような回路に依って温度差を測定し、質
量流量に応じた出力電圧を検出する。これを増幅回路9
に依って増幅している。そして、補正回路10に依って
周囲温度による影響を補正し、得られた出力電圧に基い
て、比較制御回路11、バルブ駆動回路12でコントロ
ールバルブ7を動作させてガスを大流量に制御する。つ
まり、小流量のガスラインと大流量のガスラインの切り
替えに依って小流量から大流量まで広範囲に制御するこ
とを可能としている。
は、図1に示すように、バルブ4、小流量用バイパス
2、小流量用コントロールバルブ6を有する小流量ガス
ラインとバルブ5、大流量用バイパス3、大流量用コン
トロールバルブ7を有する大流量ガスラインの2系統の
ガスラインを並列に設けている。ガスを小流量制御する
場合、まず、バルブ5及び、コントロールバルブ7を閉
じる。そして、ブリッジ回路8のような回路に依って温
度差を測定し、質量流量に応じた出力電圧を検出する。
これを増幅回路9に依って増幅している。そして、補正
回路10に依って周囲温度による影響を補正し、得られ
た出力電圧に基いて、比較制御回路11、バルブ駆動回
路12でコントロールバルブ6を動作させてガスを小流
量に制御する。ガスを大流量制御する場合、まず、バル
ブ4及び、コントロールバルブ6を閉じる。そして、ブ
リッジ回路8のような回路に依って温度差を測定し、質
量流量に応じた出力電圧を検出する。これを増幅回路9
に依って増幅している。そして、補正回路10に依って
周囲温度による影響を補正し、得られた出力電圧に基い
て、比較制御回路11、バルブ駆動回路12でコントロ
ールバルブ7を動作させてガスを大流量に制御する。つ
まり、小流量のガスラインと大流量のガスラインの切り
替えに依って小流量から大流量まで広範囲に制御するこ
とを可能としている。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、小流量バイパスと
大流量バイパスを設けることに依り小流量から大流量ま
で広範囲に制御することが可能となる。
大流量バイパスを設けることに依り小流量から大流量ま
で広範囲に制御することが可能となる。
【図1】本発明に依る流量コントローラーの構成図。
【図2】従来の流量コントローラーの構成図。
1・・・・センサー管 2・・・・小流量用バイパス 3・・・・大流量用バイパス管 4・・・・バルブ 5・・・・バルブ 6・・・・小流量用コントロールバルブ 7・・・・大流量用コントロールバルブ 8・・・・ブリッジ回路 9・・・・増幅回路 10・・・・補正回路 11・・・・比較制御回路 12・・・・バルブ駆動回路 13・・・・センサー管 14・・・・バイパス 15・・・・ブリッジ回路 16・・・・増幅回路 17・・・・補正回路 18・・・・比較制御回路 19・・・・バルブ駆動回路 20・・・・コントロールバルブ
Claims (1)
- 【請求項1】センサー管の中を流れるガスの流量を検出
し、コントロールバルブに依ってバルブの開度を調整
し、設定流量になるように流量を制御する流量コントロ
ーラーに於て、流量コントローラー内に小流量用バイパ
スと大流量バイパスの2系統のバイパスを設け、小流量
から大流量まで広範囲に制御が可能であるという特徴を
持った流量コントローラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15815792A JPH064139A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 流量コントローラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15815792A JPH064139A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 流量コントローラー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH064139A true JPH064139A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15665516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15815792A Pending JPH064139A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 流量コントローラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH064139A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007001041A1 (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-04 | Fujikin Incorporated | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
JP2014032635A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Horiba Ltd | 流量制御装置 |
US9133951B2 (en) | 2005-08-26 | 2015-09-15 | Fujikin Incorporated | Gasket type orifice and pressure type flow rate control apparatus for which the orifice is employed |
US9383758B2 (en) | 2005-06-27 | 2016-07-05 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
US9921089B2 (en) | 2005-06-27 | 2018-03-20 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
CN113295486A (zh) * | 2021-04-25 | 2021-08-24 | 华电电力科学研究院有限公司 | 一种pH表在线检验用标准溶液制备方法 |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP15815792A patent/JPH064139A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007001041A1 (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-04 | Fujikin Incorporated | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
JP2007004644A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Tohoku Univ | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
US8418714B2 (en) | 2005-06-27 | 2013-04-16 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
US9010369B2 (en) | 2005-06-27 | 2015-04-21 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
US9383758B2 (en) | 2005-06-27 | 2016-07-05 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
US9921089B2 (en) | 2005-06-27 | 2018-03-20 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
US9133951B2 (en) | 2005-08-26 | 2015-09-15 | Fujikin Incorporated | Gasket type orifice and pressure type flow rate control apparatus for which the orifice is employed |
JP2014032635A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Horiba Ltd | 流量制御装置 |
US9494946B2 (en) | 2012-08-06 | 2016-11-15 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow rate control device |
CN113295486A (zh) * | 2021-04-25 | 2021-08-24 | 华电电力科学研究院有限公司 | 一种pH表在线检验用标准溶液制备方法 |
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