JPH08290382A - 吸着装置及び搬送装置 - Google Patents

吸着装置及び搬送装置

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JPH08290382A
JPH08290382A JP11513095A JP11513095A JPH08290382A JP H08290382 A JPH08290382 A JP H08290382A JP 11513095 A JP11513095 A JP 11513095A JP 11513095 A JP11513095 A JP 11513095A JP H08290382 A JPH08290382 A JP H08290382A
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JP
Japan
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suction
lcd panel
negative pressure
adsorbing
conveyed
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Application number
JP11513095A
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English (en)
Inventor
Masumi Sonoda
真澄 園田
Junichi Homitsu
順一 穂満
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、簡易な構成で被搬送物に傷を付ける
ことなく容易に吸着し搬送するようにする。 【構成】本発明は、被搬送物を吸着保持する吸着面を有
する吸着手段とその吸着手段が被搬送物に押し付けられ
たとき、吸着面が被搬送物の表面に対して平行になるよ
うに変形する可撓性の弾性部材とを設けるようにしたも
のを用いることにより、被搬送物を吸着保持することが
できる吸着装置を実現し得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段 作用 実施例(図1〜図6) 発明の効果
【0002】
【産業上の利用分野】本発明は吸着装置及び搬送装置に
関し、例えばLCD(Liquid Crystal Display)パネルを
吸着保持し、かつ搬送する吸着装置及び搬送装置に適用
して好適なものである。
【0003】
【従来の技術】従来、この種の吸着装置としては、LC
Dパネルを負圧空気により発生される吸引力を利用して
吸着保持するものが用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところでかかる構成の
吸着装置においては、先端にLCDパネルを吸着保持す
る吸着面を具えた剛体のチヤツク部が設けられており、
吸着装置としての動きが上下方向の移動だけに限られて
いることが多かつた。このような場合LCDパネルを載
せているトレイ等の変形によつてLCDパネルが傾いて
吸着面との平行度が出ていないと、吸着面がLCDパネ
ルに密着せず吸着面とLCDパネルとの隙間から負圧空
気が漏れてしまつていた。これにより、吸引力が弱まり
LCDパネルを吸着保持できないという問題があつた。
【0005】また吸着面がLCDパネルに対して平行に
当てなければ、吸着装置が金属で形成されているため、
LCDパネルと吸着装置が点接触してLCDパネルに対
して傷を付けてしまうという問題があつた。
【0006】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、簡易な構成でLCDパネルに傷を付けることなく容
易に吸着保持し確実に搬送することができる吸着装置及
び搬送装置を提案しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、被搬送物を吸着保持する吸着面を
有する吸着手段と、その吸着手段が被搬送物に押し付け
られたとき、吸着手段の吸着面が被搬送物の表面に対し
て平行になるように変形する可撓性の弾性部材とを設け
るようにする。
【0008】
【作用】被搬送物を吸着保持する吸着面を有する吸着手
段とその吸着手段の吸着面が被搬送物の表面に対して平
行になるように変形する可撓性の弾性部材とを設けるよ
うにしたものを用いることにより、吸着手段の吸着面と
被搬送物との平行度が出ていなくても吸着手段を被搬送
物に押し付けることで、弾性部材が撓み吸着手段の吸着
面と被搬送物とが平行になり被搬送物を吸着保持するこ
とができる。
【0009】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
【0010】図1は、本発明の実施例による例えばLC
Dパネルの搬送に用いる搬送装置1の全体構成を示す。
搬送装置1は、LCDパネルを吸着保持する吸着装置と
しての吸着ノズル2と、この吸着ノズル2を所定方向に
移動制御する移動制御手段としての直線運動案内機器
(以下、これをLMガイドという)3及びLCDパネル
を吸着保持するための負圧空気を発生させる負圧源4等
によつて構成されている。
【0011】搬送装置1は、垂直に配設された支柱5の
所定位置から水平に伸びる腕6を有し、その腕6の端部
に設けられた支点7を中心に駆動モータ(図示せず)に
よつて左右弧状に動くアーム8が設けられている。ま
た、アーム8は先端部から下方向にトラツクレール9と
そのトラツクレール9上を上下移動するガイド10によ
つて構成されるLMガイド3が設けられ、このLMガイ
ド3上にステンレス製の角柱状の吸着ノズル2が固定さ
れている。この吸着ノズル2は駆動モータ(図示せず)
によつてLMガイド3と共に上下の動きを制御され、樹
脂製のトレイ11上のLCDパネル12を吸着ノズル2
に吸着保持するために、負圧空気を導入するための自在
に曲がるパイプ13を介して負圧源4に接続されてい
る。
【0012】ここで吸着ノズル2は、吸着手段としての
吸着用チヤツク14の上面に弾性部材としてのクツシヨ
ン部15を搭載して固定し、さらにそのクツシヨン部1
5の上面に本体16を搭載して固定し一体化させた構成
となつている。
【0013】ここで、図2にクツシヨン部15の形状を
示す。クツシヨン部15は、ちりやほこりの出にくいス
ポンジ状のシリコンゴムで角柱状に形成されており、こ
のクツシヨン部15の上面の中央位置にはパイプ13を
挿通するための負圧空気導入孔17が下面まで貫通して
設けられている。また、クツシヨン部15は、クツシヨ
ン部15上面の対角線上4隅の所定位置に、本体16及
び吸着用チヤツク14を固定するためのピン用の貫通孔
18〜21が下面まで貫通して設けられている。
【0014】さらに、図3(A)に吸着用チヤツク14
の正面の状態を示し、図3(B)に吸着用チヤツク14
を下面方向から見た状態を示す。ここで吸着用チヤツク
14は、クツシヨン部15の負圧空気導入孔17に相対
する位置にパイプ13を挿通するための負圧空気導入孔
24が設けられ、クツシヨン部15の貫通孔20、21
に相対する位置にピン固定用孔22、23が設けられて
いる。
【0015】吸着用チヤツク14は、クツシヨン部15
と接合させる上面に対向する下面の周端面の縁部分を吸
着面14Aとするために、負圧空気導入孔24を中心と
して下面の外形に対して1周り小さい4角形型の凹部が
形成される。その結果、中央の負圧空気導入孔24が下
面に対して一段奥の凹部面14B上に設けられることに
なる。これにより、吸着用チヤツク14は負圧空気導入
孔24が設けられた凹部面14Bを吸着面とはせず、下
面の周端面の縁部分を吸着面14Aとすることができ
る。従つて、吸着面14AとLCDパネル12との接触
面積が減少されることにより、搬送装置1はLCDパネ
ル12面上に吸着用チヤツク14によるキズ等を付けず
に吸着保持できる。
【0016】また同様に、本体16はクツシヨン部15
の負圧空気導入孔17に相対する位置にパイプ13を挿
通するための負圧空気導入孔(図示せず)が設けられ、
負圧空気導入孔17、24及び本体16の負圧空気導入
孔を通つてパイプ13が挿通されている。また、クツシ
ヨン部15の貫通孔18、19にそれぞれ相対する位置
には、ピン固定用孔(図示せず)が設けられている。
【0017】このクツシヨン部15と吸着用チヤツク1
4は、クツシヨン部15の対角線上に設けられた一対の
貫通孔20、21と吸着用チヤツク14の対角線上に設
けられたピン固定用孔22、23とを互いに固定できる
長さのピン(図示せず)で固定し形成されている。同様
に、クツシヨン部15と本体16は、クツシヨン部15
の対角線上に設けられた一対の貫通孔18、19と本体
16の対角線上に設けられたピン固定用孔(図示せず)
とを互いに固定できる長さのピン(図示せず)で固定し
形成されている。
【0018】以上の構成において、搬送装置1はトレイ
11上のLCDパネル12が所定位置に来たとき、吸着
ノズル2を所定位置にセツトするため支点7を中心とし
てアーム8を回転させる。搬送装置1は吸着ノズル2が
所定位置にセツトされると、トラツクレール9上のガイ
ド10を下方に移動させてLCDパネル12と吸着ノズ
ル2とを密着させるまで押し付ける。搬送装置1はこの
状態で負圧源4から与えられる負圧空気によつてLCD
パネル12を吸着ノズル2で吸着保持し、その状態のま
まガイド10を上方に移動させてからアーム8を所定位
置まで回転させて搬送する。
【0019】ここで搬送装置1は、吸着ノズル2が樹脂
製のトレイ11上のLCDパネル12を吸着保持する
際、吸着ノズル2の吸着面14AとLCDパネル12が
平行になつていなくてもクツシヨン部15が可撓性部材
で形成されているため、LCDパネル12の状態に応じ
てクツシヨン部15自体を縮ませて、吸着面14AとL
CDパネル12を密着させて吸着保持することができ
る。例えば図5(A)、(B)に示すように搬送装置1
は、LCDパネル12が左右どちらに傾いていても、L
CDパネル12の傾きに応じて吸着ノズル2のクツシヨ
ン部15を縮ませて吸着用チヤツク14とLCDパネル
12とを密着させて吸着保持することができる。
【0020】以上の構成によれば、吸着ノズル2は本体
16と吸着用チヤツク14との間にクツシヨン部15が
設けられたことで、LCDパネル12の傾き等の状態に
応じてクツシヨン部15を縮ませて吸着面14AをLC
Dパネル12に対して密着させることができる。これに
より、搬送装置1は製品を確実に吸着保持でき搬送不良
を減少させることができる。
【0021】また吸着用チヤツク14は、負圧空気導入
孔24の設けられた凹部面14Bを吸着面とせず、下面
の周端面の縁部分を吸着面14Aとすることにより、吸
着面14AとLCDパネル12の接触面積を減少させる
ことができる。これにより、搬送装置1はLCDパネル
12面上に吸着用チヤツク14によるキズ等を付けずに
製品を確実に吸着保持できる。
【0022】なお上述の実施例においては、吸着ノズル
2の形状が角柱状とするようにした場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、円柱形状等の種々の形状の
吸着ノズルを用いるようにしても良い。
【0023】また上述の実施例においては、吸着ノズル
2が滑らかに上下移動できるようにするため吸着ノズル
2をLMガイド3に固定して用いるようにした場合につ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、上下移動を滑ら
かにするボールブツシユ等の種々の直線運動案内機器を
用いるようにしても良い。
【0024】また上述の実施例においては、吸着ノズル
2が本体16、クツシヨン部15及び吸着用チヤツク1
4内にパイプ13を挿通するようにした場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、吸着用チヤツク14か
らパイプ13を直接負電源4に接続して設けるようにし
ても良い。これにより、クツシヨン部15は簡易な構成
にすることができる。
【0025】また上述の実施例においては、吸着ノズル
2がLCDパネル12を吸着保持する部分に吸着用チヤ
ツク14を用いるようにした場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、クツシヨン部15の端面をそのま
ま吸着面として用いるように吸着ノズル2自体がクツシ
ヨン部15で形成されるようにしても良い。
【0026】また上述の実施例においては、吸着ノズル
2がクツシヨン部15としてシリコンゴムを用いるよう
にしたものについて述べたが、本発明はこれに限らず、
吸着面14AがLCDパネル12に対して密着させるこ
とができれば、吸着ノズル2はスポンジ(図示せず)
や、図6(A)に示すようにクツシヨン部15に代わつ
てジヤバラ26、図5(B)に示すようにクツシヨン部
15に代わつてバネ27を用いるようにしても良い。
【0027】また上述の実施例においては、吸着ノズル
2がクツシヨン部15としてシリコンゴムを用いるよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
クツシヨン部15の代わりに自在に曲げられるパイプ1
3だけで用いるようにしても良い。
【0028】また上述の実施例においては、吸着ノズル
2が本体16とクツシヨン部15及びクツシヨン部15
と吸着用チヤツク14をピンを用いて固定するようにし
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、本体
16とクツシヨン部15及びクツシヨン部15と吸着用
チヤツク14とを接着剤等で直接固定するようにしても
良い。
【0029】さらに上述の実施例においては、搬送装置
1は被搬送物としてLCDパネル12を用いるようにし
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、負圧
源4から与えられる負圧空気によつて吸着保持し搬送で
きるものであれば、半導体のウエーハ等の種々のものに
用いるようにしても良い。
【0030】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、被搬送物
を吸着保持する吸着手段とその吸着手段の吸着面が被搬
送物の表面に対して平行になるように吸着手段を保持す
る可撓性の弾性部材とを設けるようにしたものを用いる
ことにより、吸着手段の吸着面と被搬送物との平行度が
出ていなくても吸着手段を被搬送物に押し付けること
で、弾性部材が撓み吸着手段の吸着面と被搬送物が平行
になり被搬送物を吸着保持し確実に搬送できる搬送装置
を実現し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例による搬送装置の構成を示す略
線図である。
【図2】クツシヨン部の形状を示す斜視図である。
【図3】吸着用チヤツクの形状を示す略線図である。
【図4】吸着用チヤツクの形状を示す斜視図である。
【図5】吸着ノズルの吸着状態を示す略線図である。
【図6】他の実施例による吸着ノズルの構成を示す略線
図である。
【符号の説明】
1……搬送装置、2……吸着ノズル、3……LMガイ
ド、4……負圧源、5……支柱、6……腕、7……支
点、8……アーム、9……トラツクレール、10……ガ
イド、11……トレイ、12……LCDパネル、13…
…パイプ、14……吸着用チヤツク、14A……吸着
面、14B……凹部面、15……クツシヨン部、16…
…本体、17、24……負圧空気導入孔、18、19、
20、21……貫通孔、22、23……ピン固定用孔、
25……フレキシブルパイプ、26……ジヤバラ、27
……バネ。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被搬送物を吸着保持する吸着面を有する吸
    着手段と、 上記吸着手段が上記被搬送物に押し付けられたとき、上
    記吸着手段の吸着面が上記被搬送物の表面に対して平行
    になるように変形する可撓性の弾性部材とを具えること
    を特徴とする吸着装置。
  2. 【請求項2】上記吸着手段は、負圧空気により発生され
    る吸引力によつて上記被搬送物を吸着するようになされ
    ており、上記吸着面は負圧空気導入孔の開口が形成され
    ている面に対して一段高く形成された凸部表面に形成さ
    れていることを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。
  3. 【請求項3】上記弾性部材は、被搬送物を吸着保持する
    ための負圧空気導入孔を有することを特徴とする請求項
    1に記載の吸着装置。
  4. 【請求項4】上記弾性部材は、シリコンゴムでなること
    を特徴とする請求項1に記載の吸着装置。
  5. 【請求項5】上記弾性部材は、自在に曲がる自在管でな
    ることを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。
  6. 【請求項6】可撓性の弾性部材でなり、負圧空気導入孔
    を介して導入される負圧空気により発生される吸引力に
    よつて、被搬送物を吸着保持する吸着手段を具えること
    を特徴とする吸着装置。
  7. 【請求項7】被搬送物を吸着保持する吸着面を有する吸
    着手段と、上記吸着手段が上記被搬送物に押し付けられ
    たとき上記吸着手段の吸着面が上記被搬送物の表面に対
    して平行になるように変形する可撓性の弾性部材とを有
    する吸着装置と、 上記吸着装置を所定方向に移動制御する移動制御手段
    と、 上記被搬送物を上記吸着手段を介して吸着保持するため
    の負圧空気を発生させる負圧源とを具えることを特徴と
    する搬送装置。
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