KR20060052069A - 감압 건조 장치 및 감압 건조 방법 - Google Patents
감압 건조 장치 및 감압 건조 방법 Download PDFInfo
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- 기판의 주면에 형성된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 장치에 있어서,기판의 주위를 덮는 챔버와,그 주면이 위쪽을 향한 기판을 수평으로 지지하는 지지 부재와,상기 지지 부재를 승강시키는 승강 수단과,상기 챔버에 있어서의 상기 지지 수단에 의해 지지된 기판의 주면과는 대향하지 않는 위치에 형성된 배기구와,상기 배기구를 통해 배기를 행하는 배기 수단과,상기 배기 수단에 의한 배기량을 적어도 2단계로 제어하는 배기량 제어 수단을 구비하고,상기 승강 수단에 의해 기판을 지지한 지지 부재를 상승시켜, 기판의 주면과 상기 챔버의 상면의 거리를 작게 한 상태에서, 상기 배기 제어 수단에 의해 소량의 배기량으로 배기를 행한 후, 상기 승강 수단에 의해 기판을 지지한 지지 부재를 하강시켜, 기판의 주면과 상기 챔버의 상면의 거리를 크게 한 상태에서, 상기 배기 제어 수단에 의해 다량의 배기량으로 배기를 행하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 배기구는, 상기 챔버의 저면에 형성되는 감압 건조 장치.
- 기판의 주면에 형성된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 장치에 있어서,기판의 주위를 덮는 챔버와,그 주면이 위쪽을 향한 기판을 수평으로 지지하는 지지 부재와,상기 지지 부재에 의해 지지된 기판의 주면과 대향하는 위치에 설치된 판 형상 부재와,상기 판 형상 부재를 승강시키는 승강 수단과,상기 판 형상 부재에 대해, 상기 기판과는 반대측에 형성된 배기구와,상기 배기구를 통해 배기를 행하는 배기 수단과,상기 배기 수단에 의한 배기량을 적어도 2단계로 제어하는 배기량 제어 수단을 구비하고,상기 승강 수단에 의해 판 형상 부재를 하강시켜, 기판의 주면과 상기 판 형상 부재의 거리를 작게 한 상태에서, 상기 배기 제어 수단에 의해 소량의 배기량으로 배기를 행한 후, 상기 승강 수단에 의해 상기 판 형상 부재를 상승시켜, 기판의 주면과 상기 판 형상 부재와의 거리를 크게 한 상태에서, 상기 배기 제어 수단에 의해 다량의 배기량으로 배기를 행하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
- 기판의 주면에 형성된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 장치에 있어서,기판의 주위를 덮는 챔버와,그 주면이 위쪽을 향한 기판을 수평으로 지지하는 지지 부재와,상기 챔버에 있어서의 상기 지지 수단에 의해 지지된 기판의 주면과는 대향하지 않는 위치에 형성된 배기구와,상기 배기구를 통해 배기를 행하는 배기 수단과,상기 배기 수단에 의한 배기량을 적어도 2단계로 제어하는 배기량 제어 수단을 구비하고, 상기 챔버에 있어서의 상기 지지 부재에 의해 지지된 기판의 주면과 대향하는 위치에는, 상기 기판의 주면 중앙부에 있어서 기판의 주면부에서 가장 멀리 떨어지고, 상기 기판의 주면 단 가장자리에 근접함에 따라서 기판의 주면에 근접하는 형상의 오목부가 형성되어 있고,상기 배기 제어 수단에 의해 소량의 배기량으로 배기를 행한 후, 다량의 배기량으로 배기를 행하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
- 제4항에 있어서,상기 배기구는, 상기 챔버의 저면에 형성되는 감압 건조 장치.
- 기판의 주면에 형성된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 방법에 있어서,기판을 챔버 내에 반입하여 지지 부재상에 얹는 반입 공정과,기판의 주면과 상기 챔버의 상면의 거리를 작게 한 상태에서, 상기 챔버에 있어서의 상기 지지 수단에 의해 지지된 기판의 주면과는 대향하지 않는 위치에 형성된 배기구에서 소량의 배기량으로 배기를 행하는 제1 건조 공정과,기판의 주면과 상기 챔버의 상면과의 거리를 크게 한 상태에서, 상기 배기구 에서 다량의 배기량으로 배기를 행하는 제2 건조 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 방법.
- 기판의 주면에 형성된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 방법에 있어서,기판을 챔버 내에 반입하여, 기판의 주면이 챔버 내에 설치된 판 형상 부재와 대향하는 상태에서 기판을 지지 부재상에 얹는 반입 공정과,기판의 주면과 상기 판 형상 부재의 거리를 작게 한 상태에서, 상기 판 형상 부재에 대해 상기 기판과는 반대측에 형성된 배기구에서 소량의 배기량으로 배기를 행하는 제1 건조 공정과,기판의 주면과 상기 판 형상 부재의 거리를 크게 한 상태에서, 상기 배기구에서 다량의 배기량으로 배기를 행하는 제2 건조 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 방법.
- 기판의 주면에 형성된 박막을 감압 건조하는 감압 건조 방법에 있어서,상기 기판의 주면 중앙부에 있어서 기판의 주면에서 가장 멀리 떨어지고, 상기 기판의 주면 단 가장자리에 근접함에 따라서 기판의 주면에 근접하는 형상의 오목부가 형성된 상면을 갖는 챔버 내에 기판을 반입하여 지지 부재상에 얹는 반입 공정과,상기 챔버에 있어서의 상기 지지 수단에 의해 지지된 기판의 주면과는 대향하지 않는 위치에 형성된 배기구에서 소량의 배기량으로 배기를 행하는 제1 건조 공정과,상기 배기구에서 다량의 배기량으로 배기를 행하는 제2 건조 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 감압 건조 방법.
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