JP4408786B2 - 減圧乾燥装置および減圧乾燥方法 - Google Patents
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Description
図7は、上述した減圧乾燥動作時のチャンバ10内の真空度の変化を示す説明図である。
11 蓋部
12 パッキング
13 基部
14 上面
15 支持ピン
21 昇降ピン
22 支持板
31 排気口
32 管路
33 開閉弁
34 真空ポンプ
35 開口部
36 凸部
37 遮蔽部
38 連結部材
41 板状部材
43 エアシリンダ
W 基板
Claims (3)
- 基板の主面に形成された薄膜を減圧乾燥する減圧乾燥装置において、
基板の周囲を覆うチャンバと、
基板の下面に当接して基板を支持する複数の昇降部材と、
前記チャンバに形成された排気口と、
前記排気口を介して排気を行う排気手段と、
前記複数の昇降部材を連結するとともに、前記排気口における前記チャンバ側の開口部と対向する位置において当該昇降部材とともに昇降移動することにより、前記排気口との距離を変更することで当該排気口からの排気量を変更する支持板と、
前記チャンバ内に配設され、基板の減圧乾燥時に基板を支持する複数の支持部材と、
前記支持板を昇降させる昇降手段と、を備え、
前記支持板の昇降動作により前記昇降部材と前記支持部材との間で基板の受け渡しを実行するとともに、減圧乾燥時に前記支持部材により基板を支持することを特徴とする減圧乾燥装置。 - 請求項1に記載の減圧乾燥装置において、
前記排気口は、前記チャンバの底面における平面視において前記支持板と重複する位置に形成される減圧乾燥装置。 - 基板の周囲を覆うチャンバに形成された排気口から排気を行い、前記チャンバ内に配置された基板の主面に形成された薄膜を減圧乾燥する減圧乾燥方法において、
前記チャンバの蓋部を上昇させて前記チャンバを開放する工程と、
前記排気口における前記チャンバ側の開口部と対向する位置において昇降移動することにより、前記排気口との距離を変更することで当該排気口からの排気量を変更する支持板を、基板の受け渡し位置まで上昇させ、当該支持板に配設された昇降部材により基板を支持する工程と、
前記支持板を、当該支持板の下面と前記排気口における前記チャンバ側の開口部との距離が小さい第1の乾燥位置まで下降させるとともに、この支持板の下降動作により、前記昇降部材に支持された基板を前記チャンバ内に配設された支持部材に移載する工程と、
前記チャンバの蓋部を下降させて前記チャンバを閉止する工程と、
前記排気口から排気を行い、前記チャンバ内を減圧する工程と、
前記支持板を、当該支持板の下面と前記排気口における前記チャンバ側の開口部との距離が、前記第1の乾燥位置よりも大きくなる、第2の乾燥位置まで上昇させる工程と、
前記排気口からの排気を停止し、前記チャンバの蓋部を上昇させて前記チャンバを開放する工程と、
前記支持板を基板の受け渡し位置まで上昇させることにより、前記支持部材に支持された基板を、当該支持板に配設された複数の昇降部材に支持する工程と、
を備えたことを特徴とする減圧乾燥方法。
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