KR20060028283A - 기판의 보호필름 제거장치 및 이를 이용한 필름 제거방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소음 발생이 적고, 기판으로부터 보호필름을 완벽하게 제거할 수 있는 기판의 보호필름 제거장치 및 이를 이용한 보호필름 제거방법에 관한 것으로, 보호필름이 부착된 기판과, 상기 기판을 이송하는 기판 이송롤러 및 상기 기판에 부착된 보호필름을 흡착하는 복수의 흡착바를 포함하여 구성된 기판의 보호필름 제거장치를 제공한다.

보호필름, 흡착바, 이송롤러

Description

기판의 보호필름 제거장치 및 이를 이용한 필름 제거방법{APARATUS FOR REMOVING PROTECTING FILM OF SUNSTRATE AND REMOVING METHOD PROTECTING FILM OF SUBSTRATE USING THE SAME}

도 1은 일반적인 액정표시장치의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도.

도 2는 보호필름이 부착된 기판을 나타낸 도면.

도 3은 종래 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 도면.

도 4는 본 발명에 의한 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 도면.

도 5는 본 발명의 흡착바를 상세하게 나타내 도면.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

31: 기판 33: 이송롤러

35: 흡착바 35'; 지지바

35a: 흡착홀 36: 보호필름 수거박스

37: 에어공급부 38: 진공펌프

본 발명은 기판의 보호필름 제거장치에 관한 것으로, 특히, 소음 발생을 줄여 작업환경을 개선할 수 있도록 한 기판의 보호필름 제거장치 및 이를 이용한 보호필름 제거방법에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

도1은 일반적인 액정표시소자의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로써, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing material)(9)에 의해 합 착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

상기한 바와 같이, 액정표시소자는 투명한 유리기판 상에 형성되며, 상기 유리기판 상에 소자가 형성되기 전에 상기 기판을 보호하기 위한 보호필름이 부착되어 있다.

도2는 소자가 만들어지기 전, 유리기판을 도시한 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 소자가 만들어지기 전, 상기 유리기판(10)은 그 상부 및 하부면에 상부보호필름(11A) 및 하부보호필름(11B)이 부착되어 있다. 상기 보호필름(11A,11B)은 유리기판(10)이 이물질로부터 오염되는 것을 방지하고, 표면을 보호하여 스크레치(scratch)가 발생하는 것을 방지하기 위한 것으로, 액정표시소자의 공정을 진행하기 전에 상기 보호필름은 제거된다. 또한, 상기 보호필름(11A,11B)은 기판(10)으로부터 용이하게 분리될 수 있도록, 보호필름의 일측이 기판을 모두 커버하고, 남은 더미영역이 형성되어 있다.

상기 보호필름은 작업자에 의해 수동으로 제거될 수 있으나, 이러한 수작업은 작업자의 손에 의해 기판의 오염이 발생하고, 작업효율이 떨어지기 때문에, 상기 기판의 보호필름을 자동으로 제거하기 위한 기판의 보호필름 제거장치를 사용하게 된다.

도3은 종래 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 종래 기판의 보호필름 제거장치(20)는 기판(21)에 부착된 보호 필름(29)을 흡입하는 필름 흡입롤(25)과 상기 보호필름(29)이 상기 필름 흡입롤(25)에 흡착될 수 있도록 에어를 공급하는 에어공급부(27)로 구성된다.

상기 필름 흡입롤(25)의 표면에는 상기 기판부터 분리된 보호필름(29)을 흡입할 수 있는 흡입구(25a)가 마련되어 있으며, 그 일측에는 상기 흡입구(25a)에 흡입된 보호필름(29)을 수거하는 필름 수거박스(26)이 구비되어 있다.

보호필름(29)이 부착된 기판(21)이 상기와 같이 구성된 보호필름 제거장치(20)에 이송되어 오면, 상기 기판(21)의 앞단에 구비된 에어공급부(27)로부터 에어(화살표로 표기)가 배출되고, 기판(21)의 일측에 튀어나온 필름이 상기 필름 흡입롤(25)에 밀착된다. 계속해서, 상기 필름 흡입롤(25)은 상기 흡입구(25a)를 통해 필름 흡입롤(25) 표면에 근접하는 보호필름(29)을 흡입하고, 흡입된 보호필름(29)을 필름수거박스(26)에 자동투입 시키게 된다. 기판(21)이 이송로울러(25)에 의해 이송되어, 상기 보호필름 제거장치를 통과하게 되면, 상기 기판(21)에 부착된 보호필름(29)이 모두 분리되고, 보호필름이 제거된 기판은 다음공정(세정공정)을 위해 준비된다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래 기판의 보호필름 제거장치는 기판으로부터 보호필름이 정상적으로 분리되지 않은 상태에서도 기판이 계속 이송되기 때문에, 기판으로부터 보호필름이 완벽하게 제거되는 않는 경우가 종종 발생하게 된다.

아울러, 상기 필름 흡입롤에 형성된 필름 흡입구가 상기 보호필름을 기판으로부터 분리시키고, 이를 흡입시킬 수 있을 정도의 흡입력이 필요로하기 때문에, 필름이 상기 필름흡입구에 흡입되는 동안 작업장 내부의 소음 발생이 큰 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 기판에 부착된 보호필름을 완벽하게 제거할 수 있는 기판의 보호필름 제거장치를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 소음을 줄일수 있는 기판의 보호필름 제거장치를 제공하는 데 있다.

기판, 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 더욱 상세하게 설명될 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판의 보호필름 제거장치는 보호필름이 부착된 기판과, 상기 기판을 이송하는 기판 이송롤러 및 상기 기판에 부착된 보호필름을 흡착하는 복수의 흡착바를 포함하여 구성된다.

상기 보호필름은 상기 기판의 일측으로 튀어나온 더미필름을 가지고 있으며, 상기 더미필름이 흡착바에 밀착되도록 에어를 공급하는 에어공급부가 마련된다.

그리고, 상기 흡착바와 연결되어, 상기 흡착바가 더미필름을 흡착할 수 있도록 하는 진공펌프가 구성되어 있으며, 상기 흡착바는 지지바에 의해 지지된다.

또한, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 수거하는 보호필름 수거박스를 더 포함하여 구성될 수 있다.

또한, 본 발명에 의한 기판의 보호필름 제거방법은 보호필름이 부착되어 있 으며, 일측에 더미필름을 가지는 기판이 기판 이송롤러에 의해 흡착바까지 이송되는 단계와, 에어공급부로부터 상기 더미필름에 에어를 공급하여, 상기 흡착바에 더미필름을 흡착시키는 단계와, 상기 기판 이송롤에 의해 기판을 이송하면서, 상기 기판으로부터 보호필름을 분리시키는 단계로 이루어진다. 그리고, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 보호필름 수거박스에 수거하는 단계를 더 포함할 수 있다.

이때, 상기 흡착바와 일체로 형성되며, 상기 흡착바를 지지하는 지지바를 회전시켜, 상기 흡착바를 상기 보호필름 수거박스 상부에 위치시키는 단계 및 상기 흡착바로부터 보호필름을 분리시킴으로써, 상기 보호필름 수거박스 내부에 수거하는 단계로 이루어진다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 흡착바를 이용하여 기판에 부착된 보호필름을 제거함으로써, 기판으로부터 보호필름을 완전히 제거하고, 소음을 줄일 수 있도록 한다. 즉, 본 발명은 보호필름을 흡입하지 않고, 상기 흡착바에 흡착시킨 상태에서 기판을 이송시킴에 따라, 기판으로부터 보호필름이 자동으로 분리되기 때문에 종래에 비해 소음을 줄일 수가 있다. 또한, 본 발명은 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 시작점으로 하여 기판에 걸쳐 일괄적으로 분리되기 때문에, 기판에 보호필름이 잔류하는 것을 막을 수가 있다.

이하, 첨부한 도면을 통하여 상기한 바와 같은 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명하도록 한다.

도4는 본 발명에 의한 기판의 보호필름 제거장치를 개략적으로 나타낸 것이고, 도5는 본 발명의 흡착바의 상세도이다.

먼저, 도4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판의 보호필름 제거장치(30)는 기판(31)에 부착된 보호필름(39)을 흡착하는 흡입바(35)와 상기 보호필름(39)이 상기 흡입바(35)에 정상적으로 흡착될 수 있도록 에어를 공급하는 에어공급부(37)로 구성된다. 그리고, 상기 보호필름(39)이 부착된 기판(31)은 기판 이송롤러(33)에 의해 흡착바(39)까지 이송된다.

상기 흡착바(35)는 흡착바(35)와 일체로 구성된 지지바(35')에 지지되어 있으며, 상기 지지바(35')의 일단부에는 상기 흡착바(35)가 보호필름(39)을 흡착할 수 있도록 하는 진공펌프(38)가 설치되어 있다. 즉, 상기 전공펌프(38)의 구동에 의해서 상기 흡착바(35)가 외부 공기를 흡입하게 되며, 외부 공기의 흡입에 의해 보호필름(39)이 흡착바(35)에 흡착된다. 따라서, 상기 흡착바(35)의 일단부에는 외부공기를 흡입하기 위한 흡입홀(35a; 도5 참조)이 형성되어 있으며, 상기 흡입홀(35a)은 하나 또는 그 이상 형성될 수 있다. 그리고, 그 형태도 스트라이프(stripe), 원형(circle)등 다양하게 형성될 수 있다.

한편, 상기 흡착바(35)의 전단에는 에어를 공급하는 에어공급부(37)가 설치되어 있으며, 상기 에어공급부(37)는 기판(31)이 흡착바(35)의 위치에 이송되면, 상기 기판(31)에 부착된 보호필름(39)의 일측에 에어를 공급함으로써, 상기 보호필름(39)이 흡착바(35)에 흡착되는 것을 도와준다. 그리고, 상기 지지바(35')와 인접하는 영역에 상기 기판으로부터 보호필름을 제거하고, 상기 제거된 보호필름을 수거하기 위한 보호필름 수거박스(26)가 설치되어 있다.

상기한 바와 같이 구성된 기판의 보호필름 제거장치는, 다음과 같은 과정을 통해 기판에 부착된 보호필름을 제거하게 된다.

먼저, 상기 보호필름(39)이 부착된 기판(31)이 이송롤러(33)에 의해 흡착바(35)의 위치에 이송된다. 이때, 도면에는 구체적으로 도시하지 않았으나, 상기 보호필름(39)은 기판(31)의 상부 및 하부면에 각각 부착되어 있으며, 상부 및 하부면에 부착된 상,하부 보호필름이 기판의 일측으로 일정한 폭을 가지고 튀어나와 있다(도2 참조).

상기 흡착바(35)에 이송된 기판(31)의 일측에 에어공급부(37)을 통해 에어를 공급한다. 이때, 상기 에어공급부(37)에서 공급된 에어에 의해서 상기 기판의 일측으로 튀어나온 더미필름이 수직방향으로 세워져, 흡착바의 위치까지 올라오게 된다. 그리고, 상기 흡착바(35)에 의해 더미필름이 흡착바(35)에 흡착된다. 여기서, 더미필름은 기판의 일측으로 튀어나온 영역의 보호필름을 의미하며, 상기 더미필름은 상기 흡착바에 보호필름이 정상적으로 흡착되는 것을 용이하게 하기 위해 만들어 놓은 것이다.

상기 흡착바(35)에 보호필름(39)이 흡착된 상태에서 상기 기판 이송롤러(33)의 회전에 의해 기판(31)이 이동하여, 상기 흡착바(35)를 통과하게 되면, 상기 보호필름(39)이 기판으로 부터 완전히 분리된다. 이때, 상기 흡착바(35)는 진공펌프(38)의 구동에 의해 보호필름(39)을 흡착하기 때문에, 종래에 비해 소음발생이 매우 적다. 즉, 종래에는 흡입롤에 형성된 흡입구를 통해 보호필름이 흡입되기 때문에, 상기 보호필름이 흡입되면서 발생되는 소음이 매우 컷으나, 본 발명에서는 보호필름이 단순히 흡착바에 흡착된 상태에서 기판의 이동에 의해 기판으로부터 보호 필름이 제거되기 때문에 종래에 비해 발생되는 소음이 적다.

아울러, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 시작점으로하여 기판이 이동함에 따라, 보호필름이 연속적, 일괄적으로 제거되기 때문에, 기판으로부터 보호필름을 완전히 제거할 수가 있다.

또한, 상기 흡착바(35)에 흡착된 보호필름(39)은 미리 마련된 보호필름 수거박스(36)에 버려지게 된다. 상기 지지바(35')가 회전하여, 상기 보호필름 수거박스(36)가 위치한 곳에 흡착바(35)을 위치시킨 후, 상기 진공펌프의 구동을 정지시킴으로써, 흡착바(35)로부터 보호필름(39)을 분리시킬 수가 있으며, 상기 흡착바(35)로부터 분리된 보호필름(39)은 그 하부에 위치하는 보호필름 수거박스(36)에 버려지게 된다.

한편, 상기 보호필름 수거박스(36)을 별도로 두지 않고, 기판에서 완전히 분리된 보호필름(39)을 작업자가 직접 흡착바(35)로부터 제거할 수도 있으나, 지지바(35')가 회전하는 경우, 작업자가 불필요하기 때문에, 생산성 향상을 꾀할 수 있다.

상기한 바와 같이, 보호필름(39)이 완전히 제거된 기판(31)은 다음 공정(예를들면, 세정공정등..)을 위해 준비되며, 계속해서 다음 기판이 보호필름을 제거하기 위해 이송롤러(33)에 의해 흡착바의 위치로 이송되고, 상기한 바와 같은 과정을 진행하여 보호필름을 제거하게 된다.

한편, 본 발명의 실시예에는 설명되어 있지 않지만, 기판의 상부면 및 하부면에 부착된 보호필름을 동시에 제거할 수도 있다. 즉, 기판이 상부 및 하부에 흡 착바를 동시에 형성하는 경우, 상하부 보호필름을 동시에 제거할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 기판의 보호필름 제거장치와 이를 이용한 보호필름 제거방법에 관한 것으로, 특히, 소음이 적고, 기판으로부터 보호필름을 남기지 않고 완전히 제거할 수 있는 보호필름 제거장치 및 그 제거방법을 제공한다. 종래에는 흡입롤 표면에 형성된 흡입구에 보호필름을 흡입시킴으로써, 기판으로부터 보호필름을 제거하였다. 그러나, 기판에 부착된 보호필름을 기판으로부터 분리시키고, 이를 다시 흡입구에 흡입하기 위해서는 흡입구의 흡입능력이 매우 우수해야 하며, 이에따라, 소음 발생이 매우 큰 문제점이 있었다. 반면에, 본 발명에서는 종래 흡입롤 대신에 흡착바를 사용하여, 보호필름을 흡착바에 흡착시킨 후, 기판의 이동을 통해 보호필름을 제거하기 때문에, 종래에 비해 소음 발생이 적다.

또한, 종래에는 단순히 흡입롤의 흡입에 의해 보호필름이 기판으로부터 분리되었으나, 본 발명에서는 흡착바를 사용하여 더미필름을 흡착시킨 후, 기판을 이동에 의해, 보호필름을 분리하기 때문에, 기판으로부터 보호필름을 완벽하게 제거할 수가 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 흡착바를 사용하여 기판에 부착된 보호필름을 제거함으로써, 소음발생을 줄일 수가 있다. 이와 같이, 작업장의 소음발생을 줄임으로써, 작업환경을 개선할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 흡착바를 사용하여 기판에 부착된 보호필름을 제거함으로써, 기판으로부터 보호필름을 완벽하게 제거할 수 있으며, 이에 따라, 생산성을 더 욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

1. 보호필름이 부착된 기판;

   상기 기판을 이송하는 기판 이송롤러; 및

   상기 기판에 부착된 보호필름을 흡착하는 복수의 흡착바를 포함하여 구성된 기판의 보호필름 제거장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 보호필름은 상기 기판의 일측으로 튀어나온 영역의 더미필름을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 보호필름 제거장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 더미필름이 흡착바에 밀착되도록 에어를 공급하는 에어공급부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 보호필름 제거장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 흡착바와 일체로 형성되어, 상기 흡착바를 지지하는 지지바를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 보호필름 제거장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 지지바의 일단에 연결되어, 상기 흡착바가 외부 공기를 흡입할 수 있도록 하는 진공펌프를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 보호필름 제거장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 수거하는 보호필름 수거박스를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 보호필름 제거장치.
7. 보호필름이 부착되어 있으며, 일측에 더미필름을 가지는 기판이 기판 이송롤러에 의해 흡착바까지 이송되는 단계;

   에어공급부로부터 상기 더미필름에 에어를 공급하여, 상기 흡착바에 더미필름을 흡착시키는 단계;

   상기 기판 이송롤에 의해 기판을 이송하면서, 상기 기판으로부터 보호필름을 분리시키는 단계로 이루어지는 기판의 보호필름 제거방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 흡착바에 흡착된 보호필름을 보호필름 수거박스에 수거하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 보호필름 제거방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 흡착바로부터 보호필름을 상기 보호필름 수거박스에 수거하는 단계는,

   상기 흡착바와 일체로 형성되며, 상기 흡착바를 지지하는 지지바를 회전시켜, 상기 흡착바를 상기 보호필름 수거박스 상부에 위치시키는 단계; 및

   상기 흡착바로부터 보호필름을 분리시킴으로써, 상기 보호필름 수거박스 내부에 수거하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 보호필름 제거방법.

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