KR102033349B1

KR102033349B1 - 커버기판 제조방법, 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법

Info

Publication number: KR102033349B1
Application number: KR1020130034922A
Authority: KR
Inventors: 오재영; 이대훈; 황영근; 이재원; 김진경; 권기현
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-03-30
Filing date: 2013-03-30
Publication date: 2019-10-17
Also published as: KR20140119400A

Abstract

본 발명은 커버기판을 제조하기 위한 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계, 상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 정전기 방지층을 형성하는 단계, 상기 캐리어기판 및 상기 정전기 방지층이 형성된 모기판을 분리하는 단계, 및 상기 캐리어기판이 분리된 모기판이 복수개의 커버기판으로 분리되도록 상기 캐리어기판이 분리된 모기판을 스크라이빙하는 단계를 포함하는 커버기판 제조방법, 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 식각액을 이용하지 않고도 제조과정에서 커버기판이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 커버기판에 대한 수율 및 품질을 향상시킬 수 있고, 공정 비용을 줄일 수 있으며, 식각액으로 인해 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

커버기판 제조방법, 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법{Method for Manufacturing Cover Substrate, Apparatus for Separating Carrier Substrate and Method for Manufacturing Display Panel Device}

본 발명은 디스플레이패널을 제조하기 위한 커버기판 제조방법, 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 커버기판에 정전기 방지층을 형성하는 공정 등이 포함된다.

최근 업계에서는 디스플레이장치에 대한 중량 감소, 배치 용이성, 디자인적 측면 강조 등을 위해 얇은 두께로 제조된 슬림(Slim) 디스플레이장치에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 따라, 최근 업계에서는 슬림 디스플레이장치에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 슬림 디스플레이장치를 제조하기 방안으로, 커버기판의 두께를 줄인 슬림 디스플레이 패널을 제조하는 방안이 있다.

이와 같이 커버기판의 두께를 줄이기 위해 얇은 두께로 형성된 커버기판을 이용하는 방법이 제안되었으나, 커버기판이 얇은 두께로 형성됨에 따라 패널기판이 갖는 내구성이 저하되므로, 정전기 방지층을 형성하는 공정 등이 수행되는 과정에서 커버기판이 쉽게 손상되는 문제가 있다.

이를 해결하기 위해, 최종적으로 디스플레이장치에 구비되는 커버기판에 비해 두꺼운 두께로 형성된 커버기판을 제조한 후에, 커버기판의 일부를 식각함으로써 슬림 디스플레이패널을 제조하는 방안이 제안되었다. 그러나, 이와 같은 종래 기술은 다음과 같은 문제가 있다.

첫째, 종래 기술은 커버기판 전체를 식각하기 위해 많은 양의 식각액이 소모될 뿐만 아니라, 커버기판을 식각함에 따라 발생하는 이물질 등으로 인해 식각액이 오염되므로 식각액을 주기적으로 교체하여야 한다. 따라서, 종래 기술은 식각액 사용으로 인해 소모품에 대한 공정 비용을 상승시키고, 이에 따라 커버기판에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.

둘째, 종래 기술은 커버기판을 식각하는 공정이 이루어지는 챔버 내부가 식각액, 패널기판을 식각함에 따라 발생하는 이물질 등으로 인해 오염되므로, 챔버 내부를 주기적으로 세정하는 작업이 필요하다. 따라서, 종래 기술은 주기적인 세정 작업 수행으로 인해 공정 비용이 상승할 뿐만 아니라, 세정 작업이 이루어지는 동안 커버기판을 제조하는 공정을 중지하여야 하므로, 공정 시간에 손실이 발생함에 따라 커버기판에 대한 생산성을 저하시키는 문제가 있다.

셋째, 종래 기술은 식각액으로 불화수소(HF, Hydrogen Fluoride) 등과 같은 환경 오염 물질을 사용함에 따라, 환경 오염 문제를 발생시킬 우려가 있는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 슬림 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 커버기판이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있는 커버기판 제조방법, 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명은 식각액을 이용하지 않고도 슬림 디스플레이패널을 제조할 수 있는 커버기판 제조방법, 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 커버기판을 제조하기 위한 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계; 상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 정전기 방지층을 형성하는 단계; 상기 캐리어기판 및 상기 정전기 방지층이 형성된 모기판을 분리하는 단계; 및 상기 캐리어기판이 분리된 모기판이 복수개의 커버기판으로 분리되도록 상기 캐리어기판이 분리된 모기판을 스크라이빙하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치는 커버기판을 제조하기 위한 모기판에 결합된 캐리어기판을 지지하기 위한 제1스테이지; 상기 제1스테이지로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지; 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출되게 상기 제2스테이지에 결합되는 밀폐기구; 상기 밀폐기구가 상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 접촉되어 상기 모기판 및 상기 제2스테이지 사이에 밀폐공간이 형성되도록 상기 제2스테이지를 승강(昇降)시키는 승강기구; 및 상기 제2스테이지에 형성된 흡착공에 연결되게 상기 제2스테이지에 설치되고, 상기 흡착공을 통해 상기 밀폐공간으로부터 유체를 흡입하여 상기 모기판이 상기 캐리어기판으로부터 분리되도록 상기 모기판을 흡착하는 분리기구를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 커버기판을 제조하기 위한 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계; 상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 정전기 방지층을 형성하는 단계; 상기 캐리어기판 및 상기 정전기 방지층이 형성된 모기판을 분리하는 단계; 상기 캐리어기판이 분리된 모기판이 복수개의 커버기판으로 분리되도록 상기 캐리어기판이 분리된 모기판을 스크라이빙하는 단계; 챔버유닛 내부에서 제1패널기판과 제2패널기판이 합착된 합착기판 및 상기 커버기판을 접촉시키는 단계; 및 상기 합착기판과 상기 커버기판이 접촉되면, 상기 합착기판과 상기 커버기판이 합착되도록 상기 챔버유닛 내부의 압력을 낮추는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.

본 발명은 제조과정에서 커버기판이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 커버기판에 대한 수율 및 품질을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 슬림 디스플레이패널에 대한 수율 및 품질을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 식각액을 이용하지 않고도 제조과정에서 커버기판이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구현됨으로써, 공정 비용을 줄일 수 있고, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 커버기판 및 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 환경 오염 물질인 식각액을 이용하지 않으므로, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지함으로써, 커버기판 및 디스플레이패널을 제조하기 위한 제조공정을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.

도 1은 본 발명에 있어서 캐리어기판을 이용하여 커버기판을 제조함에 따른 작용 효과를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치의 개략적인 단면도
도 6은 본 발명에 따른 제1밀폐부재의 개략적인 평면도 및 I-I 선을 기준으로 한 일부 확대 단면도
도 7은 본 발명에 따른 제1밀폐부재와 제2밀폐부재가 제2스테이지에 결합된 모습을 나타낸 제2스테이지의 개략적인 저면도
도 8은 본 발명에 따른 커버기판 제조방법의 개략적인 순서도
도 9는 본 발명에 따른 커버기판 제조방법에 있어서 모기판과 캐리어기판을 결합시키는 결합장치의 일례에 대한 개략적인 단면도
도 10은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법의 개략적인 순서도
도 11은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법에 있어서 합착기판과 커버기판을 합착시키는 합착장치의 일례에 대한 개략적인 단면도

이하에서는 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1, 도 3에 도시됨)는 커버기판(100)을 제조하기 위한 모기판(200)을 캐리어기판(Carrier Substrate)(200)으로부터 분리하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)를 설명하기에 앞서, 상기 커버기판(100), 상기 모기판(200) 및 상기 캐리어기판(300)에 대해 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 커버기판(100)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치에 사용되는 것이다. 상기 커버기판(100)은 디스플레이장치에서 패널기판에 부착됨으로써, 패널기판을 보호하는 기능을 담당한다. 상기 커버기판(100)은 글래스(Glass)로 제조될 수 있다. 상기 커버기판(100)은 플라스틱(Plastic), 메탈(Metal) 등으로 제조될 수도 있다.

다음, 상기 모기판(200)은 복수개의 커버기판(100)을 한번의 공정을 통해 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 모기판(200)은 상기 패널기판에서 정전기가 발생하는 것을 방지하기 정전기 방지층(210)이 형성된 후에, 스크라이빙 공정을 통해 절단됨으로써 복수개의 커버기판(100)으로 제조될 수 있다. 상기 모기판(200)에는 상기 정전기 방지층(210) 및 복수개의 커버기판(100)을 구획하기 위한 구획라인(220)이 형성된 후에, 상기 구획라인(220)을 따라 스크라이빙 공정을 통해 절단됨으로써 복수개의 커버기판(100)으로 제조될 수도 있다.

다음, 상기 캐리어기판(300)은 상기 모기판(200)에 결합됨으로써, 상기 모기판(200)의 내구성을 보강한다. 상기 캐리어기판(300)은 상기 모기판(200)에 비해 두꺼운 두께로 형성됨으로써, 상기 모기판(200)의 내구성을 보강한다. 상기 캐리어기판(300)은 글래스, 플라스틱, 메탈 등으로 제조될 수 있다.

이러한 모기판(200)은 상기 스크라이빙 공정이 수행되기 이전에, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 의해 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리됨으로써, 슬림 디스플레이장치가 구현될 수 있도록 한다.

이를 위해, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 모기판(200)에 결합된 캐리어기판(300)을 지지하기 위한 제1스테이지(2), 상기 제1스테이지(2)로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지(3), 상기 캐리어기판(300) 및 상기 모기판(200)을 분리하기 위한 분리기구(4), 상기 제2스테이지(3)에 결합되는 밀폐기구(5), 및 상기 제2스테이지(3)를 승강(昇降)시키는 승강기구(6)를 포함한다.

상기 제2스테이지(3)는 상기 분리기구(4)에 연결되게 형성되는 흡착공(31)을 포함한다. 상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)을 통해 상기 모기판(200)을 흡착함으로써, 상기 모기판(200)을 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.

첫째, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)이 상기 캐리어기판(300)에 의해 내구성이 보강된 상태로 상기 커버기판(100)을 제조하는 공정이 이루어지도록 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도, 상기 커버기판(100)을 제조하는 과정에서 상기 모기판(200)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 예컨대, 상기 모기판(200)은 상기 캐리어기판(300)이 결합된 상태로 상기 정전기 방지층(210)을 형성하는 공정이 수행됨으로써, 상기 정전기 방지층(210)을 형성하는 과정에서 손상되는 것이 방지될 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 커버기판(100)을 제조하는 과정에서 상기 모기판(200)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 커버기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 모기판(200)이 손상되는 것을 방지하면서 얇은 두께의 커버기판(100)이 제조되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 비교할 때, 소모품인 식각액을 사용하지 않음으로써 공정 비용을 줄일 수 있고, 이에 따라 얇은 두께의 커버기판(100)에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액 사용으로 인한 챔버 세정 작업을 생략할 수 있으므로, 공정 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 얇은 두께의 커버기판(100)에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.

셋째, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 환경 오염 물질인 식각액을 이용하지 않으므로, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 커버기판(100)을 제조하기 위한 공정라인을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.

이하에서는 상기 제1스테이지(2), 상기 제2스테이지(3), 상기 밀폐기구(5), 상기 승강기구(6), 및 상기 분리기구(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

도 3을 참고하면, 상기 제1스테이지(2)는 상기 모기판(200)에 결합된 캐리어기판(300)을 지지한다. 상기 모기판(200)은 상기 정전기 방지층(210)이 형성된 상태로, 상기 캐리어기판(300)이 상기 제1스테이지(2)에 지지됨으로서 상기 제1스테이지(2)에 지지될 수 있다. 이에 따라, 상기 모기판(200)은 상기 제2스테이지(2)를 향하도록 상기 제1스테이지(2)에 지지된다. 상기 모기판(200)은 상기 정전기 방지층(210) 및 상기 구획라인(220)이 형성된 상태로 상기 제1스테이지(2)에 지지될 수 있다. 상기 모기판(200)은 별도의 이송장치(미도시)에 의해 이송됨으로써, 상기 제1스테이지(2)에 안착될 수 있다.

상기 제1스테이지(2)는 챔버모듈(미도시) 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 캐리어기판(300)을 분리하는 공정은 상기 챔버모듈 내부에서 이루어질 수 있다. 상기 챔버모듈은 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 캐리어기판(300)을 분리하는 공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 제1스테이지(2)는 상기 캐리어기판(300)이 상기 모기판(200)으로부터 분리될 때, 상기 캐리어기판(300)을 고정할 수 있다. 이를 위해, 상기 제1스테이지(2)는 흡입기구(10)로부터 제공된 흡입력을 상기 캐리어기판(300)에 전달하기 위한 흡입공(21)을 포함할 수 있다. 상기 흡입기구(10)는 상기 흡입공(21)에 연결되게 상기 제1스테이지(2)에 설치될 수 있다. 상기 흡입기구(10)는 상기 흡입공(21)에 연결되게 상기 챔버모듈에 설치될 수도 있다. 상기 흡입공(21)은 상기 흡입기구(10)에 연결될 수 있도록 상기 제1스테이지(2)를 관통하여 형성된다.

상기 흡입기구(10)가 상기 흡입공(21)을 통해 유체를 흡입함에 따라, 상기 캐리어기판(300)은 상기 제1스테이지(2)에 흡착되어 고정된다. 상기 제1스테이지(2)는 상기 흡입공(21)을 복수개 포함할 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1스테이지(2)는 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)일 수도 있다. 이 경우, 상기 캐리어기판(300)은 정전력에 의해 상기 제1스테이지(2)에 고정될 수 있다. 상기 제1스테이지(2)는 상기 캐리어기판(300)을 상기 제1스테이지(2)에 부착시키기 위한 적어도 하나의 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1스테이지(2)는 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 캐리어기판(300)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 제1스테이지(2)에 고정될 수 있다.

도 3을 참고하면, 상기 제2스테이지(3)는 상기 제1스테이지(2)로부터 이격되게 설치된다. 상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)은 상기 제2스테이지(3)와 상기 제1스테이지(2) 사이에 위치되게 상기 제1스테이지(2)에 지지될 수 있다. 상기 제2스테이지(3)는 상기 제1스테이지(2)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2스테이지(3)는 상기 챔버모듈(미도시) 내부에 위치되게 설치될 수 있다.

상기 제2스테이지(3)는 상기 모기판(200)으로부터 상기 캐리어기판(300)을 분리하기 위한 흡착공(31)을 포함한다. 상기 흡착공(31)은 상기 분리기구(4)에 연결된다. 상기 흡착공(31)은 상기 분리기구(4)로부터 제공되는 흡입력을 상기 캐리어기판(300)에 전달할 수 있도록 상기 제2스테이지(3)를 관통하여 형성된다.

상기 흡착공(31)은 일측이 상기 모기판(200) 쪽을 향하도록 상기 제2스테이지(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 흡착공(31)은 타측이 상기 분리기구(4)에 연결되도록 상기 제2스테이지(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 흡착공(31)의 일측은 상기 분리기구(4)로부터 제공되는 흡입력이 상기 모기판(200)에 면압으로 전달될 수 있도록 복수개로 나누어져서 상기 제2스테이지(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2스테이지(3)는 상기 분리기구(4)로부터 제공되는 흡입력이 상기 모기판(200)에 면압으로 전달될 수 있도록 상기 흡착공(31)을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 분리기구(4)를 복수개 포함할 수도 있다.

상기 캐리어기판(300)이 상기 제1스테이지(2)에 지지된 상태에서, 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리할 모기판(200) 및 상기 제2스테이지(3)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어질 수 있다. 상기 모기판(200) 및 상기 제2스테이지(3)의 위치를 정렬하는 공정은, 상기 제2스테이지(3) 및 상기 제1스테이지(2) 중에서 적어도 하나가 이동됨으로써 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)과 상기 제2스테이지(3)의 위치를 정렬하기 위해 상기 제2스테이지(3) 및 상기 제1스테이지(2) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동수단을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 제2스테이지(3) 및 상기 제1스테이지(2) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)에 연결되게 설치된다. 상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)에 연결되게 상기 제2스테이지(3)에 설치될 수 있다. 상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)에 연결되게 상기 챔버모듈에 설치될 수도 있다.

상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)을 통해 유체를 흡입함으로써, 상기 모기판(200)을 흡착할 수 있다. 이에 따라, 상기 분리기구(4)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 상기 모기판(200)을 분리할 수 있다. 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리된 모기판(200)은 상기 분리기구(4)가 제공하는 흡입력에 의해 상기 제2스테이지(3)에 부착될 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)이 상기 캐리어기판(300)에 의해 내구성이 보강된 상태로 상기 커버기판(100)을 제조하기 위한 공정이 이루어지도록 함으로써, 상기 모기판(200)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도, 상기 커버기판(100)을 제조하는 과정에서 상기 모기판(200)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 모기판(200)이 손상되는 것을 방지하면서 얇은 두께의 커버기판(100)이 제조되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 비교할 때, 공정 비용 절감, 생산선 향상 및 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있는 작용 효과를 도모할 수 있다.

상기 분리기구(4)는 상기 모기판(200)이 순간 흡착될 수 있도록 빠른 흡착속도로 상기 캐리어기판(300)을 흡착할 수 있다. 예컨대, 상기 분리기구(4)는 상기 흡입기구(10)가 상기 캐리어기판(300)을 상기 제1스테이지(2)에 흡착시키는 합착속도에 비해 더 빠른 흡착속도로 상기 모기판(200)을 흡착할 수 있다.

상기 분리기구(4)는 상기 제2스테이지(3)가 상기 모기판(200)으로부터 소정 거리 이격된 상태에서 상기 흡착공(31)을 통해 유체를 흡입할 수 있다. 이 경우, 상기 분리기구(4)가 발생시킨 흡입력이 상기 제2스테이지(3)와 상기 모기판(200) 사이로부터 누설됨에 따라 상기 캐리어기판(300)으로부터 상기 모기판(200)을 분리하는데 걸리는 시간이 증가할 수 있다.

이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 밀폐기구(5)를 포함할 수 있다.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 밀폐기구(5)는 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 상기 밀폐기구(5)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2스테이지(3)에 결합될 수 있다. 상기 밀폐기구(5)는 상기 모기판(200)에 접촉됨으로써, 상기 모기판(200)과 상기 제2스테이지(3) 사이에 밀폐공간(B)을 형성한다. 상기 밀폐기구(5)는 상기 흡착공(31)들이 상기 밀폐공간(B) 내부에 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 이에 따라, 상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)을 통해 상기 밀폐공간(B)으로부터 유체를 흡입하여 상기 모기판(200)을 흡착함으로써, 상기 캐리어기판(300)으로부터 상기 모기판(200)을 분리할 수 있다. 이 과정에서, 상기 밀폐기구(5)는 상기 분리기구(4)가 발생시킨 흡입력이 상기 밀폐공간(B)으로부터 누설되는 것을 차단함으로써, 상기 분리기구(4)가 발생시킨 흡입력이 상기 모기판(200)에 전달되는 양을 증대시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 상기 모기판(200)을 분리하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 커버기판(100)에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.

도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 밀폐기구(5)는 상기 제2스테이지(3)에 결합되는 제1밀폐부재(51), 및 상기 제1밀폐부재(51)의 내측에 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합되는 제2밀폐부재(52)를 포함한다.

상기 제1밀폐부재(51)는 상기 제2밀폐부재(52)의 외측에 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 상기 제1밀폐부재(51)는 내측에 위치된 제2밀폐부재(52)를 감싸도록 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 상기 제1밀폐부재(51)는 상기 제2스테이지(3)에 결합되는 결합부재(511, 도 6에 도시됨), 상기 밀폐기구(5)를 관통하여 형성되는 밀폐공(512, 도 6에 도시됨), 및 상기 모기판(200)에 접촉되기 위한 접촉부재(513, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 결합부재(511)는 상기 제2스테이지(3)에 삽입된다. 이에 따라, 상기 제1밀폐부재(51)는 상기 접촉부재(513)가 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2스테이지(3)에 결합될 수 있다. 상기 결합부재(511)는 전체적으로 모서리가 라운드 처리된 사각 고리 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 밀폐공(512)은 상기 결합부재(511) 및 상기 접촉부재(513) 내측에 위치되게 형성된다. 상기 제1밀폐부재(51)는 상기 밀폐공(512)에 상기 흡착공(31)이 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 이에 따라, 상기 분사기구(23)가 발생시킨 흡입력은 상기 흡착공(31) 및 상기 밀폐공(512)을 통해 상기 모기판(200)에 전달될 수 있다. 상기 밀폐공(512)은 상기 모기판(200)과 대략 일치하거나 상기 모기판(200)에 비해 작은 크기로 형성될 수 있다. 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 밀폐공(512)에 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합될 수 있다.

상기 접촉부재(513)는 상기 모기판(200)에 접촉됨으로써, 상기 제2스테이지(200) 및 상기 모기판(200) 사이에 상기 밀폐공간(B)을 형성한다. 이 경우, 상기 접촉부재(513)가 상기 모기판(200)에 접촉됨에 따라, 상기 밀폐공(512)은 상기 접촉부재(513), 상기 모기판(200) 및 상기 제2스테이지(200)에 의해 폐쇄됨으로써 상기 밀폐공간(B)으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 접촉부재(513)는 상기 모기판(200)에 접촉되어 상기 분리기구(4)가 발생시킨 흡입력이 상기 밀폐공간(B)으로부터 누설되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 상기 접촉부재(513)는 상기 분리기구(4)가 발생시킨 흡입력이 상기 모기판(200)에 전달되는 양을 증대시킴으로써, 상기 캐리어기판(300)으로부터 상기 모기판(200)이 분리되는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.

상기 접촉부재(513)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출될수록 상기 밀폐공(22) 외측 방향으로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 상기 접촉부재(513)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 상기 밀폐공(22)의 크기가 증가하도록 상기 밀폐공(22) 외측 방향으로 경사지게 형성될 수 있다.

이에 따라, 상기 모기판(200)이 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리됨에 따라 상기 접촉부재(513)를 가압하면, 상기 접촉부재(513)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리된 모기판(200)에 가압됨으로써 도 5에 도시된 바와 같이 상기 밀폐공(512) 외측 방향으로 접혀질 수 있다. 이 경우, 상기 제2스테이지(3)는 상기 접촉부재(513)를 수용하기 위한 수용홈(32)을 포함한다. 상기 수용홈(32)은 상기 접촉부재(513)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 수용홈(32)은 상기 접촉부재(513)가 수용될 수 있도록 상기 접촉부재(513)와 대략 일치하거나 상기 접촉부재(513) 보다 큰 크기를 갖도록 형성될 수 있다.

상기 접촉부재(513)는 상기 모기판(200)에 가압되어 접혀지면서 상기 수용홈(32)에 삽입된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되는 모기판(200)이 상기 접촉부재(513)에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 접촉부재(513)가 상기 모기판(200)에 가압되어 접혀지지 않게 구현되는 경우, 상기 접촉부재(513)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되어 상기 제2스테이지(3)에 흡착되는 모기판(200)을 가압하게 된다. 이에 따라, 상기 모기판(200)은 상기 접촉부재(513)에 접촉되는 부분이 휘어지거나, 손상 내지 파손되는 문제가 있다.

다음, 상기 접촉부재(513)가 상기 캐리어기판(20)에 가압되어 접혀지면서 상기 수용홈(32)에 삽입되는 경우, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 접촉부재(513)가 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되어 상기 제2스테이지(3)에 흡착되는 모기판(200)을 가압하는 가압력을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)을 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리하는 과정에서 상기 모기판(200)이 손상되는 것을 방지함으로써, 상기 커버기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 접촉부재(513)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출될수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 접촉부재(513)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출될수록 크기가 감소되면서 끝단이 첨단(尖端)을 이루도록 형성될 수도 있다. 즉, 상기 접촉부재(513)는 끝단이 뾰족하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 접촉부재(513)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되는 모기판(200)에 가압되어 용이하게 접혀짐으로써, 상기 수용홈(32)에 삽입될 수 있다. 또한, 상기 접촉부재(513)는 상기 모기판(200)에 접촉되는 부분의 면적을 줄임으로써, 상기 모기판(200)이 손상될 가능성을 더 줄일 수 있다.

도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 제1밀폐부재(51)의 내측에 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 밀폐공(512)에 위치되게 상기 제2스테이지(3)에 결합될 수 있다.

상기 제2밀폐부재(52)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되는 모기판(200) 및 상기 제2스테이지(3) 사이에 위치된다. 따라서, 상기 모기판(200)은 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리된 후에 상기 제2밀폐부재(52)로 인해 상기 제2스테이지(3)로부터 이격된 상태로 상기 제2스테이지(3)에 흡착된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)을 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리하는 과정에서, 상기 모기판(200)이 상기 제2스테이지(3)에 직접 접촉됨에 따라 손상되거나 스크래치(Scratch)가 발생되는 것을 방지함으로써, 상기 커버기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

상기 제2밀폐부재(52)는 상기 모기판(200)에 접촉되더라도, 상기 모기판(200)을 손상시키거나 스크래치를 발생시키지 않는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제2밀폐부재(52)는 실리콘(Silicon)이 포함된 혼합물로부터 제조될 수 있다. 상기 제2밀폐부재(52)는 폴리에텔에텔케톤(Polyetherether Ketone, PEEK) 또는 폴리플루오린화비닐리덴(Polyvinylidene Fluoride)으로 형성될 수도 있다.

상기 제2밀폐부재(52)는 상기 제1밀폐부재(51) 내측에서 상기 모기판(200)에 형성된 구획라인(220)을 따라 상기 제2스테이지(3)에 결합될 수 있다. 상기 모기판(200)에 있어서 상기 스크라이빙 공정을 통해 복수개의 커버기판(100, 도 2에 도시됨)으로 제조되는 부분은, 상기 구획라인(220)에 의해 구획되어 있다. 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 구획라인(220)을 따라 상기 제2스테이지(3)에 결합됨으로써, 상기 모기판(200)에 있어서 상기 스크라이빙 공정을 통해 복수개의 커버기판(100, 도 2에 도시됨)으로 제조되는 부분을 제외한 나머지 부분(이하, '더미부분'이라 함)에 접촉되게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 모기판(200)이 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되는 과정에서 상기 모기판(200)이 상기 제2밀폐부재(52)에 접촉됨에 따라 손상되거나 스크래치가 발생되더라도, 손상 내지 스크래치가 발생되는 부분을 상기 더비부분으로 국한시킴으로써 상기 커버기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

상기 제2밀폐부재(52)는 상기 모기판(200)에 접촉되는 이격부재(521, 도 7에 도시됨), 및 상기 제2밀폐부재(52)를 관통하여 형성되는 이격홈(522, 도 7에 도시됨)을 포함할 수 있다.

상기 이격부재(521)는 상기 제2스테이지(3)에서 상기 제1스테이지(2)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 상기 이격부재(521)는 상기 이격홈(522)에 의해 상기 구획라인(220)을 따라 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 이격부재(521)는 상기 이격홈(522)에 의해 격자 형태를 이루도록 형성될 수 있다. 상기 이격부재(521)는, 상기 모기판(200)에 있어서 상기 더비부분에 대응되는 위치에 위치되도록 상기 제2스테이지(3)에 결합된다.

상기 이격홈(522)은 상기 제2밀폐부재(52)를 관통하여 형성된다. 상기 이격홈(522)은 상기 모기판(200)에 있어서 상기 스크라이빙 공정을 통해 복수개의 커버기판(100, 도 2에 도시됨)으로 제조되는 부분과 대략 일치하는 크기를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 이격홈(522)은, 상기 모기판(200)에 있어서 상기 스크라이빙 공정을 통해 복수개의 커버기판(100, 도 2에 도시됨)으로 제조되는 부분에 대응되는 위치에 위치될 수 있다.

상기 제2밀폐부재(52)는 상기 모기판(200)으로부터 상기 스크라이빙 공정을 통해 제조되는 커버기판(100)의 개수와 동일한 개수의 이격홈(522)을 포함할 수 있다. 상기 이격홈(522)들은 상기 이격부재(521)에 의해 서로 소정 거리 이격되게 형성된다. 도 7에는 상기 제2밀폐부재(52)가 행렬을 이루며 배치되는 6개의 이격홈(522)을 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2밀폐부재(52)는 2개 이상 6개 미만, 7개 이상의 이격홈(522)을 포함할 수도 있다.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 승강기구(6)는 상기 제2스테이지(3)에 결합된다. 상기 승강기구(6)는 상기 챔버모듈에 설치될 수도 있다.

상기 승강기구(6)는 상기 제2스테이지(3)를 승강시킬 수 있다. 상기 승강기구(6)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 제2스테이지(3)를 승강시킬 수 있다.

상기 승강기구(6)는 상기 모기판(200)에 결합된 캐리어기판(300)이 상기 제1스테이지(2)에 안착되기 이전에, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제2스테이지(3)를 상승시킨다. 이에 따라, 상기 승강기구(6)는 상기 제1스테이지(2)와 상기 제2스테이지(3) 사이의 간격을 늘림으로써, 상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)이 상기 제1스테이지(2)에 안착되는 과정에서 상기 제2스테이지(3), 상기 밀폐기구(5) 등에 충돌하지 않고 용이하게 상기 제1스테이지(2)에 안착되도록 할 수 있다.

상기 승강기구(6)는 상기 모기판(200)에 결합된 캐리어기판(300)이 상기 제1스테이지(2)에 안착되면, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제2스테이지(3)를 하강시킨다. 상기 승강기구(6)는 상기 밀폐기구(5)가 상기 모기판(200)에 접촉되어 상기 밀폐공간(B)이 형성되도록 상기 제2스테이지(3)를 하강시킬 수 있다. 이 경우, 상기 승강기구(6)는 상기 접촉부재(513)가 상기 밀폐공간(B)이 형성되도록 상기 모기판(200)에 접촉되면, 상기 제2스테이지(3)의 하강을 정지시킬 수 있다. 이 상태에서, 상기 분리기구(4)는 상기 흡착공(31)을 통해 상기 밀폐공간(B)으로부터 유체를 흡입함으로써, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 캐리어기판(300)으로부터 상기 모기판(200)이 분리되도록 상기 모기판(200)을 흡착할 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 승강기구(6)는 상기 모기판(200)이 상기 캐리어판(300)으로부터 분리되면, 상기 모기판(200) 및 상기 캐리어기판(300)이 용이하게 반출될 수 있도록 상기 제2스테이지(3)를 상승시킬 수 있다.

이하에서는 본 발명에 따른 커버기판 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상술한 본 발명에 따른 캐리어기판 분리장치(1)를 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.

우선, 상기 모기판(200)에 상기 캐리어기판(300)을 결합시킨다(S10). 이러한 공정(S10)은 상기 모기판(200) 및 상기 캐리어기판(300)을 결합시키기 위한 결합장치(400, 도 9에 도시됨)에 의해 수행될 수 있다.

예컨대, 상기 결합장치(400)는 도 9에 도시된 바와 같이, 챔버기구(410), 제1정반(420), 제2정반(430), 및 압력조절부(440)를 포함할 수 있다. 상기 모기판(200)은 상기 제1정반(420)에 지지되고, 상기 캐리어기판(300)은 상기 제2정반(430)에 흡착력, 정전력, 점착력 중 적어도 하나를 이용하여 부착된다. 이 상태에서 상기 결합장치(400)는 상기 모기판(200)에 상기 캐리어기판(300)을 결합시킬 수 있다.

이 경우, 상기 모기판(200)에 캐리어기판(300)을 결합시키는 공정(S10)은, 상기 챔버기구(410) 내부에서 상기 모기판(200)에 상기 캐리어기판(300)을 접촉시키는 공정, 및 상기 챔버기구(410) 내부의 압력을 낮추는 공정을 포함할 수 있다.

상기 모기판(200)에 상기 캐리어기판(300)을 접촉시키는 공정은, 상기 제2정반(430)에 부착되어 있던 캐리어기판(300)을 상기 제2정반(430)으로부터 이격시킴으로써 이루어질 수 있다. 이는 상기 결합장치(400)가 상기 캐리어기판(300)을 상기 제2정반(430)에 부착시키고 있던 부착력을 제거함으로써 이루어질 수 있다. 예컨대, 상기 캐리어기판(300)은 상기 제2정반(430)으로부터 제공되는 흡착력, 정전력, 점착력 등이 제거됨으로써, 상기 제2정반(430)으로부터 자중에 의해 낙하된 후에 상기 제1정반(420)에 지지된 모기판(200)에 접촉될 수 있다.

상기 챔버기구(410) 내부의 압력을 낮추는 공정은, 상기 캐리어기판(300)이 상기 제2정반(430)으로부터 이격되어 상기 모기판(200)에 접촉되면, 상기 압력조절부(440)가 상기 챔버기구(410) 내부의 압력을 소정의 진공압력으로 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절부(440)는 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300) 사이에 잔존하는 기체 등을 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300)을 실런트 등과 같은 접착제 없이 분자 결합을 이용하여 결합시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300)을 결합시키기 위해 실런트를 도포하는 공정, 실런트를 경화시키는 공정 등을 생략할 수 있으므로, 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300)을 결합시키기 위한 공정 수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300)을 결합시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써 상기 커버기판(100)을 제조하는 공정에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 모기판(200)과 상기 캐리어기판(300)을 결합시키데 필요한 장치 수를 줄일 수 있으므로, 상기 커버기판(100)을 제조하는 공정에 대한 공정비용 및 운영비용을 절감할 수 있다.

다음, 상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)에 정전기 방지층(210)을 형성한다(S20). 이러한 공정(S20)은 스퍼터링(Sputtering) 장치(미도시)가 상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)에 상기 정전기 방지층(210)을 형성함으로써 이루어질 수 있다. 상기 스퍼터링 장치가 상기 정전기 방지층(210)을 형성할 때, 상기 모기판(200)에는 상기 캐리어기판(300)이 결합되어 있는 상태이다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 캐리어기판(300)을 이용하여 상기 모기판(200)의 내구성을 강화함으로써, 상기 모기판(200)에 상기 정전기 방지층(210)을 형성하는 과정에서 상기 모기판(200)이 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다. 상기 정전기 방지층(210)은 ITO(Indium Tin Oxide)일 수 있다.

상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)에 정전기 방지층(210)을 형성하는 공정(S20)은, 상기 모기판(200)에 상기 구획라인(220)을 형성하는 공정을 더 포함할 수도 있다. 상기 모기판(200)에 상기 구획라인(220)을 형성하는 공정은, 코팅장치가 상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)에 상기 구획라인(220)을 형성하기 위한 물질을 코팅함으로써 이루어질 수 있다. 상기 구획라인(220)을 형성하기 위한 물질은, 디스플레이장치에서 블랙매트릭스(Black Matrix, BM)를 형성하기 위한 물질과 동일한 물질이 이용될 수 있다. 상기 코팅장치가 상기 구획라인(220)을 형성할 때, 상기 모기판(200)에는 상기 캐리어기판(300)이 결합되어 있는 상태이다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 캐리어기판(300)을 이용하여 상기 모기판(200)의 내구성을 강화함으로써, 상기 모기판(200)에 상기 구획라인(220)을 형성하는 과정에서 상기 모기판(200)이 손상 내지 파손되는 것을 방지할 수 있다.

다음, 상기 캐리어기판(300) 및 상기 모기판(200)을 분리한다(S30). 이러한 공정(S30)은 상술한 본 발명에 따른 캐리어기판 분리장치(1)에 의해 수행될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.

첫째, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 모기판(200)이 손상되는 것을 방지하면서 얇은 두께의 커버기판(100)을 제조할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 종래 기술과 비교할 때, 소모품인 식각액을 사용하지 않음으로써 공정 비용을 줄일 수 있고, 이에 따라 얇은 두께의 커버기판(100)에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 종래 기술과 같이 식각액 사용으로 인한 챔버 세정 작업을 생략할 수 있으므로, 공정 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 얇은 두께의 커버기판(100)에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 종래 기술과 같이 환경 오염 물질인 식각액을 이용하지 않으므로, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 커버기판(100)을 제조하기 위한 공정라인을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.

다음, 상기 캐리어기판(300)이 분리된 모기판(200)을 스크라이빙한다(S40). 이러한 공정(S40)은 스크라이빙 장치(미도시)가 상기 캐리어기판(300)이 분리된 모기판(200)을 절단하여 상기 모기판(200)을 복수개의 커버기판(100)으로 분리함으로써 이루어질 수 있다.

이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 캐리어기판(300)에 대해 상기 스크라이빙 공정이 수행되지 않도록 구현됨으로써, 상기 모기판(200)으로부터 분리한 캐리어기판(300)을 다른 커버기판(100)을 제조하는데 재사용할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 슬림화된 커버기판(100)을 제조하는 과정에서 상기 캐리어기판(300)에 대한 소모량을 줄임으로써, 공정 비용을 절감할 수 있다. 상기 스크라이빙 장치는 다이아몬드 휠, 레이져 빔 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 모기판(200)에 대한 스크라이빙공정을 수행할 수 있다.

여기서, 상기 캐리어기판(300) 및 상기 모기판(200)을 분리하는 공정(S30)은, 다음과 같은 공정을 포함할 수 있다.

우선, 상기 캐리어기판(300)을 고정한다(S31). 이러한 공정(S31)은, 상기 캐리어기판(300)이 결합된 모기판(200)이 상기 제1스테이지(2)와 상기 제2스테이지(3) 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지(2)에 안착시킨 후에, 상기 캐리어기판(300)을 상기 제2스테이지(3)에 흡착하여 고정함으로써 이루어질 수 있다.

다음, 상기 밀폐기구(5)를 상기 모기판(200)에 접촉시킨다(S32). 이러한 공정(S32)은 상기 승강기구(6)가 상기 제2스테이지(3)를 상기 제1스테이지(2)에 지지된 모기판(200) 쪽으로 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 승강기구(6)는 상기 밀폐기구(5)가 상기 모기판(200)에 접촉되면, 상기 제2스테이지(3)를 정지시킬 수 있다.

상기 밀폐기구(5)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정(S32)은, 상기 제1밀폐부재(51)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정, 및 상기 제2밀폐부재(52)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정을 포함할 수 있다. 상기 제1밀폐부재(51)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정, 및 상기 제2밀폐부재(52)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정은, 상기 승강기구(6)가 상기 제2스테이지(3)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 제1밀폐부재(51)가 상기 모기판(200)에 접촉된 후에 상기 모기판(200)에 접촉될 수 있다. 상기 제2밀폐부재(52) 및 상기 제1밀폐부재(51)는 상기 모기판(200)에 동시에 접촉될 수도 있다.

상기 제2밀폐부재(52)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정을 수행함에 따라, 상기 제2밀폐부재(52)는 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되는 모기판(200) 및 상기 제2스테이지(3) 사이에 위치된다. 이에 따라, 상기 모기판(200)은 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리된 후에 상기 제2밀폐부재(52)로 인해 상기 제2스테이지(3)로부터 이격된 상태로 상기 제2스테이지(3)에 흡착된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 모기판(200)을 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리하는 과정에서, 상기 모기판(200)이 상기 제2스테이지(3)에 직접 접촉됨에 따라 손상되거나 스크래치가 발생되는 것을 방지함으로써, 상기 커버기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

상기 제2밀폐부재(52)를 상기 모기판(200)에 접촉시키는 공정은, 상기 모기판(200)에 형성된 구획라인(220)에 대응되는 부분에 상기 제2밀폐부재(52)를 접촉시킴으로써 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 커버기판 제조방법은 상기 모기판(200)이 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리되는 과정에서 상기 제2밀폐부재(52)에 접촉됨에 따라 손상되거나 스크래치가 발생되더라도, 손상 내지 스크래치가 발생되는 부분을 상기 더비부분으로 국한시킴으로써 상기 커버기판(100)에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.

다음, 상기 모기판(200)을 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리한다(S33). 이러한 공정(S33)은, 상기 밀폐기구(5)가 상기 모기판(200)에 접촉된 상태에서, 상기 분리기구(4)가 유체를 흡입하여 상기 모기판(200)을 상기 제2스테이지(3)에 흡착시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 모기판(200)은 상기 분리기구(4)에 의해 상기 제2스테이지(3)에 흡착됨에 따라 상기 캐리어기판(300)으로부터 분리된다.

이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상술한 본 발명에 따른 커버기판 제조방법에 의해 제조된 커버기판을 이용하여 수행될 수 있다. 본 발명에 다른 디스플레이패널 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.

우선, 상기 커버기판(100)을 제조한다(S100). 이러한 공정(S100)은 상술한 본 발명에 따른 커버기판 제조방법에서 설명한 바와 같으므로, 구체적인 설명은 생략한다.

다음, 상기 커버기판(100) 및 합착기판(500)을 접촉시킨다(S200). 이러한 공정(S200)은 상기 커버기판(100) 및 상기 합착기판(500)을 결합시키기 위한 합착장치(600, 도 9에 도시됨)에 의해 수행될 수 있다. 상기 합착기판(500) 및 상기 합착장치(600)에 관해 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 합착기판(500)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치에 사용되는 것이다. 상기 합착기판(500)은 제1패널기판(510)과 제2패널기판(520)이 합착공정을 거쳐 합착된 것이다. 상기 제1패널기판(510)과 상기 제2패널기판(520) 사이에는 중간층(530)이 형성되어 있다. 상기 중간층(530)은 디스플레이장치의 종류에 따라 서로 다른 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 디스플레이장치가 LCD인 경우, 상기 중간층(530)은 액정(Liquid Crystal) 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 OLED인 경우, 상기 중간층(530)은 형광성 유기화합물 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 PDP인 경우, 상기 중간층(530)은 불활성기체 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 EPD인 경우, 상기 중간층(530)은 전기영동 분산액 등을 포함할 수 있다. 상기 제1패널기판(510)과 상기 제2패널기판(520)은 각각 글래스로 제조될 수 있다. 상기 제1패널기판(510)과 상기 제2패널기판(520)은 플라스틱, 메탈 등으로 제조될 수도 있다. 상기 제1패널기판(510)은 박막 트랜지스터 어레이를 포함할 수 있다. 상기 제2패널기판(520)은 컬러필터 어레이를 포함할 수 있다. 상기 제2패널기판(520)은 터치 스크린을 구현하기 위한 터치전극을 더 포함할 수도 있다.

다음, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 합착장치(600)는 챔버유닛(610), 제1워크테이블(620), 제2워크테이블(630) 및 압력조절기구(640)를 포함할 수 있다. 상기 합착기판(500)은 상기 제1워크테이블(620)에 지지된다. 상기 합착기판(500)은 상기 제2패널기판(520)이 상기 제2워크테이블(630)을 향하도록 상기 제1워크테이블(620)에 지지된다. 상기 커버기판(100)은 상기 제2워크테이블(630)에 흡착력, 정전력, 점착력 중 적어도 하나를 이용하여 부착된다. 이 경우, 상기 커버기판(100)은 상기 정전기 방지층(210, 도 2에 도시됨)이 상기 제1워크테이블(620)을 향하도록 상기 제2워크테이블(630)에 부착될 수 있다. 이 상태에서, 상기 합착장치(600)는 상기 제2워크테이블(630)에 부착되어 있던 커버기판(100)을 상기 제2워크테이블(630)로부터 이격시킨다. 이에 따라, 상기 커버기판(100)은 자중에 의해 낙하된 후에, 상기 제1워크테이블(620)에 지지된 합착기판(500)에 접촉될 수 있다. 이 경우, 상기 합착장치(600)는 상기 커버기판(100)을 상기 제2워크테이블(630)에 부착시키고 있던 부착력을 제거함으로써, 상기 커버기판(100)을 상기 제2워크테이블(630)로부터 이격시킬 수 있다. 예컨대, 상기 커버기판(100)은 상기 제2워크테이블(630)로부터 제공되는 흡착력, 정전력, 점착력 등이 제거됨으로써, 상기 제2워크테이블(630)로부터 이격되어 상기 합착기판(500)에 접촉될 수 있다.

다음, 상기 합착기판(500) 및 상기 커버기판(100)을 합착시킨다(S300). 이러한 공정(300)은 상기 합착기판(500) 및 상기 커버기판(100)이 접촉되면, 상기 챔버유닛(610) 내부의 압력을 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 상기 챔버유닛(610) 내부의 압력을 낮추는 공정은, 상기 합착기판(500) 및 상기 커버기판(100)이 접촉되면, 상기 압력조절기구(640)가 상기 챔버유닛(610) 내부의 압력을 소정의 진공압력으로 낮춤으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 압력조절기구(640)는 상기 합착기판(500) 및 상기 커버기판(100) 사이에 존재하는 기체 등을 상기 합착기판(500) 및 상기 커버기판(100) 사이로부터 배출시킴으로써, 상기 합착기판(500) 및 상기 커버기판(100)을 실런트 등과 같은 접착제 없이 분자 결합을 이용하여 합착시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 커버기판(100)과 상기 합착기판(500)을 합착시키기 위해 실런트를 도포하는 공정, 실런트를 경화시키는 공정 등을 생략할 수 있으므로, 상기 커버기판(100)과 상기 합착기판(500)을 합착시키기 위한 공정 수를 줄일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 커버기판(100)과 상기 합착기판(500)을 합착시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써 디스플레이패널을 제조하는 공정에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 커버기판(100)과 상기 합착기판(500)을 결합시키데 필요한 장치 수를 줄일 수 있으므로, 디스플레이패널을 제조하는 공정에 대한 공정비용 및 운영비용을 절감할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

1 : 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치 2 : 제1스테이지
3 : 제2스테이지 4 : 분리기구
5 : 밀폐기구 6 : 승강기구
100 : 커버기판 200 : 모기판
300 : 캐리어기판 400 : 결합장치
500 : 합착기판 600 : 합착장치

Claims

커버기판을 제조하기 위한 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계;
상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 정전기 방지층을 형성하는 단계;
상기 캐리어기판 및 상기 정전기 방지층이 형성된 모기판을 분리하는 단계; 및
상기 캐리어기판이 분리된 모기판이 복수개의 커버기판으로 분리되도록 상기 캐리어기판이 분리된 모기판을 스크라이빙하는 단계를 포함하고,
상기 캐리어기판 및 상기 모기판을 분리하는 단계는,
상기 캐리어기판이 결합된 모기판이 제1스테이지와 제2스테이지 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지에 안착시키고, 상기 캐리어기판을 흡착하여 고정하는 단계;
상기 제2스테이지를 하강시켜서 상기 제2스테이지에 결합된 밀폐기구를 상기 모기판에 접촉시키는 단계; 및
상기 모기판을 상기 제2스테이지에 흡착시켜서 상기 모기판을 상기 캐리어기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 커버기판 제조방법.
제1항에 있어서, 상기 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계는,
챔버기구 내부에서 상기 모기판에 상기 캐리어기판을 접촉시키는 단계; 및
상기 모기판에 상기 캐리어기판이 접촉되면, 상기 모기판과 상기 캐리어기판이 결합되도록 상기 챔버기구 내부의 압력을 낮추는 단계를 포함하는 커버기판 제조방법.
삭제
제1항에 있어서, 상기 밀폐기구를 상기 모기판에 접촉시키는 단계는,
상기 밀폐기구의 제1밀폐부재를 상기 모기판에 접촉시키는 단계; 및
상기 제1밀폐부재의 내측에서 상기 모기판에 형성된 구획라인을 따라 설치된 제2밀폐부재를 상기 모기판에 접촉시키는 단계를 포함하는 커버기판 제조방법.
커버기판을 제조하기 위한 모기판에 결합된 캐리어기판을 지지하기 위한 제1스테이지;
상기 제1스테이지로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지;
상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출되게 상기 제2스테이지에 결합되는 밀폐기구;
상기 밀폐기구가 상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 접촉되어 상기 모기판 및 상기 제2스테이지 사이에 밀폐공간이 형성되도록 상기 제2스테이지를 승강(昇降)시키는 승강기구; 및
상기 제2스테이지에 형성된 흡착공에 연결되게 상기 제2스테이지에 설치되고, 상기 흡착공을 통해 상기 밀폐공간으로부터 유체를 흡입하여 상기 모기판이 상기 캐리어기판으로부터 분리되도록 상기 모기판을 흡착하는 분리기구를 포함하고,
상기 밀폐기구는,
상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출되게 상기 제2스테이지에 결합되는 제1밀폐부재; 및
상기 캐리어기판으로부터 분리되는 모기판이 상기 제2스테이지로부터 이격되도록 상기 제1밀폐부재의 내측에서 상기 모기판에 형성된 구획라인을 따라 상기 제2스테이지에 결합되는 제2밀폐부재를 포함하는 커버기판 제조용 캐리어기판 분리장치.
삭제
커버기판을 제조하기 위한 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계;
상기 캐리어기판이 결합된 모기판에 정전기 방지층을 형성하는 단계;
상기 캐리어기판 및 상기 정전기 방지층이 형성된 모기판을 분리하는 단계;
상기 캐리어기판이 분리된 모기판이 복수개의 커버기판으로 분리되도록 상기 캐리어기판이 분리된 모기판을 스크라이빙하는 단계;
챔버유닛 내부에서 제1패널기판과 제2패널기판이 합착된 합착기판 및 상기 커버기판을 접촉시키는 단계; 및
상기 합착기판과 상기 커버기판이 접촉되면, 상기 합착기판과 상기 커버기판이 합착되도록 상기 챔버유닛 내부의 압력을 낮추는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법.
제7항에 있어서, 상기 모기판에 캐리어기판을 결합시키는 단계는,
챔버기구 내부에서 상기 모기판에 상기 캐리어기판을 접촉시키는 단계; 및
상기 모기판에 상기 캐리어기판이 접촉되면, 상기 모기판과 상기 캐리어기판이 결합되도록 상기 챔버기구 내부의 압력을 낮추는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법.
제7항에 있어서, 상기 캐리어기판 및 상기 모기판을 분리하는 단계는,
상기 캐리어기판이 결합된 모기판이 제1스테이지와 제2스테이지 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지에 안착시키고, 상기 캐리어기판을 흡착하여 고정하는 단계;
상기 제2스테이지를 하강시켜서 상기 제2스테이지에 결합된 밀폐기구를 상기 모기판에 접촉시키는 단계; 및
상기 모기판을 상기 제2스테이지에 흡착시켜서 상기 모기판을 상기 캐리어기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법.
제9항에 있어서, 상기 밀폐기구를 상기 모기판에 접촉시키는 단계는,
상기 밀폐기구의 제1밀폐부재를 상기 모기판에 접촉시키는 단계; 및
상기 제1밀폐부재의 내측에서 상기 모기판에 형성된 구획라인을 따라 설치된 제2밀폐부재를 상기 모기판에 접촉시키는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법.