KR20050070938A - 시모스 이미지 센서 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 필드 영역에 의해 정의되는 액티브 영역을 구비하는 제 1 도전형의 반도체 기판;상기 액티브 영역의 소정 부위에 형성되어 있는 포토다이오드;상기 포토다이오드의 외곽 둘레를 따라 형성된 소자분리막;상기 소자분리막의 좌우 측부에 형성되어 있는 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 영역을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서, 상기 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 영역은 100∼300Å의 폭으로 형성하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 항에 있어서, 상기 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온은 붕소(B) 또는 불화붕소(BF2) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서.
- 제 1 도전형의 반도체 기판에 트렌치를 형성하는 단계;상기 트렌치의 좌우 측부의 기판 내부에 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 영역을 형성하는 단계;상기 트렌치에 절연막을 개재하여 소자분리막을 형성하는 단계;상기 반도체 기판 상에 게이트 절연막 및 게이트 전극을 순차적으로 형성하는 단계;상기 게이트 전극과 상기 소자분리막 사이의 기판 내부에 포토다이오드를 위한 제 2 도전형의 불순물 영역을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 트렌치를 형성하는 단계는,반도체 기판 상에 희생 산화막과 하드 마스크층을 순차적으로 적층하는 과정과,상기 기판의 필드 영역에 상기 희생 산화막 및 하드 마스크층의 개구부를 형성시켜 상기 개구부 내의 기판의 표면을 노출시키는 과정과,상기 하드 마스크층을 식각 마스크로 이용하여 상기 노출된 기판에 트렌치를 형성하는 과정으로 구성되는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 영역을 형성하는 단계는,고농도의 제 1 도전형 불순물 이온을 상기 기판에 소정 각도만큼 경사진 각도(θ)로 트렌치 일측부 또는 양측부에 주입하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 경사진 각도(θ)는tanθ = W/(H1+H2)의 식에 따르며,상기 W는 상기 소자분리막과 게이트 전극 사이의 폭을 말하며, 상기 H1은 포토다이오드 영역을 위한 제 2 도전형의 불순물 이온 영역의 깊이를 말하며, 상기 H2는 상기 중농도 또는 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 주입시 사용되는 감광막 패턴의 높이를 말하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서, 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 영역은 100∼300Å의 폭으로 형성하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온은 붕소(B) 또는 불화붕소(BF2) 이온 중 어느 한 이온인 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 고농도의 제 1 도전형 불순물 이온 영역은 제 1 도전형의 불순물 이온을 1E12∼1E15 ions/cm2의 농도로 주입하여 형성하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서의 제조방법.
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