KR20050000477A - Driving structure of a disk brush for glass washing - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판디스플레이용 글라스의 표면에 존재하는 파티클(Particle)을 제거함은 물론, 브러쉬의 모(毛) 사이에 존재하는 파티클을 동시에 제거할 수 있도록 함으로써 브러쉬 모에 존재하는 파티클이 글라스를 재 오염시키는 것을 방지하도록 하는 한편, 전동모터의 구동이 아닌 세정액의 수압에 의해 회동되도록 함으로써 구동에 따른 전력 소모를 최소화하고, 글라스 표면에 무리한 압력이 가해지는 것을 방지하여 스크래치 발생을 자제토록 하는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조에 관한 것이다.The present invention relates to a drive structure of a disk brush for flat panel display glass cleaning, and more particularly, to remove particles present on the surface of the flat panel display glass, as well as particles existing between hairs of the brush. It can be removed at the same time to prevent the particles present in the brush hair to re-contaminate the glass, whilst being rotated by the hydraulic pressure of the cleaning liquid rather than the driving of the electric motor to minimize the power consumption of the drive, and to the surface of the glass The present invention relates to a drive structure of a flat panel display glass cleaning disk brush which prevents excessive pressure from being applied to prevent scratches.
일반적으로, 반도체 부품 및 소자 등은 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는 것으로, 미세한 먼지 단 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다.In general, semiconductor components, devices, and the like react very sensitively to fine dust (particles), and only one fine dust influences the characteristics of a small component and a device.
상기와 같은 이유로 해서 반도체 제조 공정에서는 파티클을 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정작업을 반복하여 실시하고 있는 것이 보통이다.For the above reason, the semiconductor manufacturing process is focused on minimizing particles, and the cleaning operation is usually performed repeatedly according to the progress of the process.
특히, 최근 들어 전자디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 대형 액정표시장치들이 선보이고 있는데, 이와 같은 액정표시장치들의 글라스를에 피막 형성 등의 많은 표면처리 공정이 진행되며 이때, 세정작업은 필수적이며, 이와 같은 세정작업은 전용 세정장치를 이용하여 수행하게 된다.In particular, as the electronic display industry has developed rapidly in recent years, large liquid crystal displays have been introduced, and many surface treatment processes such as film formation on glass of such liquid crystal display devices are performed, and cleaning is essential. The cleaning operation is performed using a dedicated cleaning device.
이러한 세정처리를 하는 장치로서는 디스크 브러쉬 혹은 로울 브러쉬를 사용하여 표면에 부착되어 있는 파티클을 배출하는 장치가 알려져 있다.As a device for performing such cleaning treatment, a device for discharging particles adhered to the surface by using a disk brush or a roll brush is known.
상기와 같이, 브러쉬에 의해 파티클을 배출하는 경우에는 브러쉬에 파티클이 부착되기 쉽고, 이로 인해 파티클이 글라스의 표면에 재 오염되는 등 세정능력이 저하되는 원인이 되기도 하며, 이를 해소하기 위해서 세정시간이 매우 오래 걸리는 문제점이 있는 것이었다.As described above, when the particles are discharged by the brush, the particles are easily attached to the brush, which may cause the particles to be recontaminated on the surface of the glass, thereby degrading the cleaning ability. There was a very long problem.
또한, 브러쉬 디스크의 구동이 전동 모터에 의해 이루어지게 되므로, 비교적 입자가 크고 경질인 파티클이 글라스 표면에 있을 경우, 이를 무리하게 회전시키게 되면 글라스의 표면에 스크래치(흠집)이 발생되는 문제점도 있는 것이었다.In addition, since the drive of the brush disk is made by the electric motor, if there are relatively large and hard particles on the surface of the glass, if it is excessively rotated, scratches (scratches) may occur on the surface of the glass. .
상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 표면에 존재하는 파티클(Particle)을 제거함은 물론, 브러쉬의 모(毛) 사이에 존재하는 파티클을 동시에 제거할 수 있도록 함으로써 브러쉬 모에 존재하는 파티클이 글라스를 재 오염시키는 것을 방지하도록 하는 한편, 전동모터의 구동이 아닌 세정액의 수압에 의해 회동되도록 함으로써 구동에 따른 전력 소모를 최소화하고, 글라스 표면에 무리한 압력이 가해지는 것을 방지하여 스크래치 발생을 자제토록 하는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조를 제공함을 기술적 과제로 삼는다.The present invention devised in consideration of the above problems, as well as remove the particles (Particle) present on the surface of the glass for flat panel display, as well as to remove the particles present between the hair of the brush at the same time brush hair While preventing the particles from re-contaminating the glass, it is rotated by the hydraulic pressure of the cleaning liquid rather than the driving of the electric motor to minimize the power consumption of the drive, and to prevent excessive pressure on the glass surface scratch It is a technical problem to provide a drive structure of a disk brush for cleaning flat panel display glass to prevent generation.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 양 표면을 디스크 브러쉬로 세정하도록 하는 세정장치에 있어서, 밀폐된 하우징 내부에 임펠러가 축 설치되어서 이루어진 터빈과, 터빈의 하우징 상부면 중앙에 세척액을 공급할 수 있도록 설치되는 세척액 공급라인과, 내부에 공간을 형성하되, 공간을 통해 상부면에 형성되는 유입공과 하부면에 형성되는 다수개의 분사공이 관통되도록 이루어진 하부면에 다수의 브러쉬가 삽입 설치된 원판 형상의 브러쉬 디스크와, 일측 단이 터빈의 하단 중앙으로 삽입되어 임펠러의 축과 커플링 연결되고, 타측 단이 브러쉬 디스크의 유입공에 삽입 설치되어 터빈 내부로 공급되는 세척액과 세척액의 압력으로 회전하는 임펠러의 회전력을 브러쉬 디스크에 전달하도록 된 원통형상의 회전축으로 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a cleaning device for cleaning both surfaces of a flat panel display glass with a disk brush, the impeller is installed in the sealed housing shaft, the cleaning liquid in the center of the housing upper surface of the turbine The disk is provided with a plurality of brushes are inserted into the cleaning solution supply line is installed to supply the supply, and a space therein, a plurality of injection holes formed in the upper surface through the inlet hole formed in the upper surface and a plurality of injection holes formed in the lower surface through the space The brush disk of the shape and one end is inserted into the center of the lower end of the turbine and coupled to the shaft of the impeller, and the other end is inserted into the inlet hole of the brush disk and rotated by the pressure of the cleaning liquid and the cleaning liquid supplied into the turbine. A cylindrical axis of rotation designed to transmit the impeller's rotational force to the brush disk It characterized by true.
도 1은 본 발명의 구성을 보인 부분 절개 단면 사시도1 is a partial cutaway cross-sectional perspective view showing the configuration of the present invention
도 2는 본 발명의 세부 구성을 보인 정 단면도2 is a cross-sectional view showing a detailed configuration of the present invention
도 3은 본 발명의 설치 상태 및 작동 상태를 보인 설치 상태 단면도3 is an installation state sectional view showing an installation state and an operation state of the present invention;
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명><Description of Signs of Major Parts of Drawings>
100 : 디스크 브러쉬의 구동장치 110 : 터빈100: drive device for the disc brush 110: turbine
111 : 하우징 112 : 내부공간111 housing 112 internal space
113 : 임펠러 114 : 축113: impeller 114: shaft
120 : 세척액 공급라인 130 : 브러쉬 디스크120: washing liquid supply line 130: brush disk
131 : 공간 132 : 유입공131: space 132: inlet hole
133 : 분사공 134 : 브러쉬133: injection hole 134: brush
140 : 회전축 141 : 통공140: rotation axis 141: through hole
150 : 베이스 플레이트 160 : 베어링150: base plate 160: bearing
G : 글라스 W : 세척액G: Glass W: Washing Liquid
본 발명의 설명에 참고가 되는 첨부 도면 도 1은 본 발명의 구성을 보인 부분 절개 단면 사시도이고, 도 2는 본 발명의 세부 구성을 보인 정 단면도이며, 도 3은 본 발명의 설치 상태 및 작동 상태를 보인 설치 상태 단면도로서, 이중 도면 부호 100은 본 발명인 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동장치를 나타낸 것이다.1 is a partial cross-sectional perspective view showing a configuration of the present invention, Figure 2 is a front sectional view showing a detailed configuration of the present invention, Figure 3 is an installation state and an operating state of the present invention As a cross-sectional view showing the installation state, the double reference numeral 100 shows the driving device of the disk brush for cleaning glass of the present invention.
본 발명은 첨부 도면 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 평판디스플레이용 글라스(G)의 양 표면을 디스크 브러쉬(134)로 세정하도록 하는 세정장치(100)에 있어서, 밀폐된 하우징(111) 내부 공간(112)에 임펠러(113)가 축(114)설치되어서 이루어진 터빈(110)과, 터빈(110)의 하우징(111)상부면 중앙에 세척액(W)을 공급할 수 있도록 설치되는 세척액 공급라인(120)과, 내부에 공간(131)을 형성하되, 공간(131)을 통해 상부면에 형성되는 유입공(132)과 하부면에 형성되는 다수개의 분사공(133)이 관통되도록 이루어진 하부면에 다수의 브러쉬(134)가 삽입 설치된 원판 형상의 브러쉬 디스크(130)와, 일측 단이 터빈(110)의 하단 중앙으로 삽입되어 임펠러(113)의 축(114)과 커플링 연결되고, 타측 단이 브러쉬 디스크(130)의 유입공(132)에 삽입 설치되어 터빈(110) 내부로 공급되는 세척액(W)과 세척액의 압력으로 회전하는 임펠러(113)의 회전력을 브러쉬 디스크(130)에 전달하도록 된 원통형상의 회전축(140)으로 이루어진 것이다.1 and 2, in the cleaning apparatus 100 for cleaning both surfaces of the flat panel display glass G with the disc brush 134, the interior of the sealed housing 111 Turbine 110 formed by the impeller 113 in the space 112, the shaft 114, and the washing liquid supply line is installed to supply the washing liquid (W) in the center of the upper surface of the housing 111 of the turbine 110 ( 120 and a space 131 is formed therein, but the lower surface is formed to pass through the inlet hole 132 formed on the upper surface and the plurality of injection holes 133 formed on the lower surface through the space 131. A disk-shaped brush disk 130 having a plurality of brushes 134 inserted therein, and one end is inserted into the lower center of the turbine 110 to be coupled to the shaft 114 of the impeller 113, the other end is Cleaning is inserted into the inlet hole 132 of the brush disk 130 and supplied into the turbine 110 It is made of a (W) and pressure impeller 113, a cylindrical rotary shaft 140 on the rotational force so transmitted to the brush disc 130 rotating in the washing liquid.
이와 같이 이루어진 본 발명은 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 회전축(140)이 베이스 플레이트(150)에 설치되어 있는 베어링(160)에 삽입 설치되어 회전하게 된다.The present invention made as described above, as shown in Figure 2, the rotating shaft 140 is inserted into the bearing 160 is installed on the base plate 150 is rotated.
즉, 세척액 공급라인(120)으로부터 세척액(W)이 소정의 압력을 갖고 공급되면, 터빈(110)의 하우징(111) 내부공간(112)에 축 설치된 임펠러(113)가 세척액(W)의 분사 압력에 의해 회전하게 되고, 임펠러(113)의 회전력은 전술한 바와 같이, 임펠러(113)의 축(114) 일측 단과 커플링 연결된 회전축(140)이 브러쉬 디스크(130)로 전달하여 회전시키게 된다.That is, when the washing liquid W is supplied with a predetermined pressure from the washing liquid supply line 120, the impeller 113 axially installed in the inner space 112 of the housing 111 of the turbine 110 is sprayed with the washing liquid W. The rotation force of the impeller 113 is rotated by the pressure, and as described above, the rotary shaft 140 coupled to one end of the shaft 114 of the impeller 113 is transmitted to the brush disk 130 to rotate.
이때, 회전축(140)은 내부 중앙에 통공(141)이 형성되어 있어, 터빈(110)의 내부공간(112)로 공급된 세척액(W)이 통공(141)을 통해 브러쉬 디스크(130)로 전달되며, 브러쉬 디스크(130)로 전달된 세척액(W)은 유입공(132)을 통해 공간(131)으로 확산 충진됨과 동시에 분사공(133)을 통해 외부로 분사되게 된다.At this time, the rotating shaft 140 has a through-hole 141 is formed in the inner center, the cleaning liquid (W) supplied to the internal space 112 of the turbine 110 is transferred to the brush disk 130 through the through-hole 141. The washing liquid W transferred to the brush disk 130 is diffused and filled into the space 131 through the inlet hole 132 and is sprayed to the outside through the injection hole 133.
이와 같이, 브러쉬 디스크(130)의 분사공(133)으로 분사되는 세척액(W)은 글라스(G) 표면에서 회전하는 브러쉬(134)와 글라스(G)의 마찰이 부드럽게 이루어지도록 하는 윤활제 역할을 하면서 브러쉬(134)의 모(母) 사시사이에 부착되어 있는 파티클을 탈리시켜 글라스(G) 표면 외부로 배출시키게 된다.As such, the washing liquid W injected into the injection hole 133 of the brush disk 130 serves as a lubricant to smoothly friction between the brush 134 and the glass G rotating on the glass G surface. Particles attached between the parent strabismus of the brush 134 are detached and discharged to the outside of the glass G surface.
상기와 같은 본 발명은 첨부 도면 도 3에서 보는 바와 같이, 글라스(G)의 상부면과 하부면을 세정할 수 있도록 상, 하부의 베이스 플레이트(150)에 다수개가 배열된 것이다.The present invention as described above is shown in Figure 3, a plurality of upper and lower base plates 150 are arranged to clean the upper and lower surfaces of the glass (G).
본 발명에서 터빈(110)의 임펠러(113) 구조는 유체역학적인 사항을 고려하여 개선될 수 있으며, 이와 같이 개선되는 구조라 할지라도 본 발명의 권리범위에 속하는 것이며, 프로펠러 구조 또한, 본 발명의 권리 범위에 속한다 할 것이다.In the present invention, the structure of the impeller 113 of the turbine 110 may be improved in consideration of hydrodynamic matters, and even the structure which is thus improved is within the scope of the present invention, and the propeller structure is also a right of the present invention. Will belong to the range.
또한, 임펠러(113)의 축(114)과 브러쉬 디스크(130)를 연결하는 회전축(140)의 커플링 구조 역시, 공지된 어떠한 기구 및 방법을 적용할 수 있는 것이다.In addition, the coupling structure of the rotating shaft 140 connecting the shaft 114 of the impeller 113 and the brush disk 130 can be applied to any known mechanism and method.
참고로, 본 발명을 설명하기 위한 명세서는 공급되는 세척액(W)의 수압에 의해 구동되는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조를 설명하기 위한 내용으로 작성되었기에 일반적인 방수 구조에 대한 설명은 생략하였다.For reference, the description for describing the present invention has been made to describe the drive structure of the flat disk display glass cleaning disk brush driven by the water pressure of the supplied cleaning liquid (W), so the description of the general waterproof structure is omitted. .
이와 같이 되는 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 표면에 존재하는 파티클(Particle)을 제거함은 물론, 브러쉬의 모(毛) 사이에 존재하는 파티클을 동시에 제거할 수 있도록 함으로써 브러쉬 모에 존재하는 파티클이 글라스를 재 오염시키는 것을 방지하도록 하는 한편, 전동모터의 구동이 아닌 세정액의 수압에 의해 회동되도록 함으로써 구동에 따른 전력 소모를 최소화하고, 글라스 표면에 무리한 압력이 가해지는 것을 방지하여 스크래치 발생을 자제토록 하는 효과를 갖는다.The present invention as described above, as well as to remove the particles (Particle) existing on the surface of the glass for flat panel display, as well as to remove the particles present between the hair of the brush at the same time the particles present in the brush hair to remove the glass While preventing re-contamination, the motor rotates by the hydraulic pressure of the cleaning liquid rather than the driving of the electric motor, thereby minimizing the power consumption caused by the driving and preventing the excessive pressure on the glass surface to prevent scratches. Has
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