KR100885455B1 - Apparatus for driving brush shaft - Google Patents

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Abstract

A drive device of a brush shaft is provided to exclude leakage of fume within a bath, which is generated from an axis driving mode, and to prevent deterioration of a driving force for the brush shaft, which is generated from a magnet driving mode. A rotator(111) rotates by air. A rotation axis(112) is connected to a brush shaft(210). A rotation driver(110) includes a housing(113) for receiving the rotator and the rotation axis rotatably. An air supplier supplies the air to the rotation driver. An air discharge unit discharges the air exhausted from the rotation driver in connection with an exhaust pipe. The rotation driver and the brush shaft are connected by a separate power delivery unit. The power delivery unit is a gear apparatus. The rotation driver and the brush shaft are connected in serial structure.

Description

브러시 샤프트의 구동장치 {Apparatus for driving brush shaft}Driving device for brush shaft {Apparatus for driving brush shaft}

본 발명은 브러시 샤프트의 구동장치에 관한 것으로서, 특히 평판 디스플레이용 기판 등의 세정공정에서 사용되는 브러시의 브러시 샤프트를 구동하는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive device for a brush shaft, and more particularly, to an apparatus for driving a brush shaft of a brush used in a cleaning process such as a substrate for a flat panel display.

평판 디스플레이 기판 등의 제조공정 중, 세정공정은 그 이전의 각 공정을 거치는 과정에서 세정 대상물인 기판의 피세정면에 부착된 입자나 유기물 또는 불순물 등의 오염물질을 제거하는 공정이다. 이러한 세정공정은 탈이온수나 세제 등의 세정액을 기판의 피세정면에 노즐로 분사하고, 세정액에 의해 젖은 피세정면을 롤 브러시 등으로 스크러빙하는 과정으로 이루어진다.In the manufacturing process of a flat panel display board | substrate etc., a washing | cleaning process is a process of removing contaminants, such as a particle | grain, organic substance, or an impurity which adhered to the to-be-cleaned surface of the board | substrate which is a cleaning object in the process of each previous process. This cleaning process consists of spraying cleaning liquid, such as deionized water or detergent, onto the surface to be cleaned of the substrate with a nozzle, and scrubbing the surface to be wet with the cleaning liquid with a roll brush or the like.

세정공정이 이루어지는 세정설비는 배스(bath) 내에 설치되는 브러시와 브러시 샤프트, 그리고 브러시 샤프트를 구동하는 구동장치를 주된 구성부로 하고 있다. 이 가운데, 구동장치는 주로 모터와 같은 구동부로부터 제공되는 동력을 사용하게 되는데, 특히 브러시 샤프트의 구동방식으로는 현재 두 가지가 보편화되어 있다. 첫째는 첨부도면 도 1에 예시된 축 구동방식이고, 둘째는 도 2에 예시된 마그네트 구동방식으로서, 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.The washing | cleaning installation in which a washing | cleaning process is performed has main components as the brush and brush shaft which are installed in a bath, and the drive device which drives a brush shaft. Among these, the driving device mainly uses power provided from a driving unit such as a motor, and in particular, two types of driving methods of the brush shaft are currently common. The first is the shaft driving method illustrated in FIG. 1 and the second is the magnet driving method illustrated in FIG. 2.

먼저, 축 구동방식은, 도 1에 도시된 바와 같이, 배스(11) 내에 설치된 브러시 샤프트(12)가 배스(11)의 외벽(11a)을 관통하여 배스(11) 외부의 모터와 같은 구동부(13)와 연결축(14)으로 직접 연결된 구조를 채용한 것이다. 그런데, 이러한 축 구동방식에 있어서 배스(11)의 외벽(11a)에 브러시 샤프트(12)가 관통하면서 브러시 샤프트(12)의 상하 높이를 조절할 수 있도록 하는 호울(11b)이 형성되어 있는데, 이 호울(11b)을 통해 배스(11) 내의 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 유출됨으로써, 구동부(13)의 구성부품들이 부식되는 문제가 있다.First, as shown in FIG. 1, in the shaft driving method, a brush shaft 12 installed in the bath 11 penetrates through the outer wall 11a of the bath 11, such as a driving unit such as a motor outside the bath 11 ( 13) and the structure connected directly to the connecting shaft (14). By the way, in this shaft driving method, a hole 11b is formed on the outer wall 11a of the bath 11 to adjust the height of the brush shaft 12 while the brush shaft 12 penetrates. The fume generated from the cleaning liquid in the bath 11 is leaked through the 11b, so that components of the driving unit 13 are corroded.

다음으로, 마그네트 구동방식은, 도 2에 도시된 바와 같이, 배스(21) 내에 브러시 샤프트(22)가 설치되고 배스(21)의 외부에는 구동부(23)가 설치됨과 아울러, 브러시 샤프트(22)와 구동부(23)의 연결이 배스(21)의 외벽(21a)을 뚫고 이루어지는 것이 아니라 마그네트에 의해 간접적으로 연결되는 구조를 갖는다. 즉, 구동부(23)로부터 배스(21) 내의 브러시 샤프트(22)를 향하여 구동축(23a)이 설치되고, 이 구동축(23a)의 말단부와 브러시 샤프트(22)의 말단부에 서로 마주보면서 인력을 작용하는 한 쌍의 마그네트(23b,22a)가 설치되어 있다. 따라서, 구동부(23)에 의해 구동축(23a)이 회전하면 이 구동축(23a)의 마그네트(23b)와 마주하고 있는 마그네트(22a)를 가진 브러시 샤프트(22)가 자력에 의해 회전하게 된다. 이러한 마그네트 구동방식에서는 배스(21)의 외벽(21a)에 브러시 샤프트(22)를 구동하기 위한 축이 관통하는 호울이 형성되지 않기 때문에, 배스(21) 내의 흄이 외부로 유출 될 염려가 없어 축 구동방식에서와 같은 구동부의 구성부품에 대한 부식의 우려가 없다는 장점이 있다. 그러나, 마그네트 구동방식의 경우에는 브러시 샤프트(22)의 마그네트(22a)로부터 구동부(23) 측 마그네트(23b) 사이에 이르는 간격이 클수록 자력이 떨어져 브러시 샤프트(22)에 대한 구동력이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 마그네트 구동방식에서는 세정공정의 진행 중에 배스(21) 내의 온도가 상승하는 경우, 마그네트(22a,23b)들 간의 자력이 저하되어 브러시 샤프트(22)가 원활하게 구동되지 못하는 문제점도 있다.Next, in the magnet driving method, as shown in FIG. 2, the brush shaft 22 is installed in the bath 21, and the driving unit 23 is installed outside the bath 21, and the brush shaft 22 is provided. And the driving unit 23 are not formed through the outer wall 21a of the bath 21 but have a structure indirectly connected by a magnet. That is, the drive shaft 23a is provided from the drive unit 23 toward the brush shaft 22 in the bath 21, and the attraction force is applied while facing the end of the drive shaft 23a and the end of the brush shaft 22. A pair of magnets 23b and 22a are provided. Therefore, when the drive shaft 23a rotates by the drive part 23, the brush shaft 22 which has the magnet 22a facing the magnet 23b of this drive shaft 23a will rotate by magnetic force. In this magnet driving method, since the hole through which the shaft for driving the brush shaft 22 penetrates is not formed in the outer wall 21a of the bath 21, there is no fear that the fume in the bath 21 may leak out. There is an advantage that there is no fear of corrosion on the components of the drive unit as in the drive method. However, in the case of the magnet drive method, the larger the distance between the magnet 22a of the brush shaft 22 and the magnet 23b on the driving unit 23 side, the lower the magnetic force and the lower the driving force on the brush shaft 22 is. have. In addition, in the magnet driving method, when the temperature in the bath 21 rises during the cleaning process, the magnetic force between the magnets 22a and 23b is lowered, so that the brush shaft 22 may not be smoothly driven.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은, 축 구동방식에서 발생하는 배스 내 흄의 유출현상을 배제함과 아울러, 마그네트 구동방식에서 발생하는 브러시 샤프트에 대한 구동력의 저하를 방지할 수 있는 브러시 샤프트의 구동장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to improve the above-mentioned problems, and an object thereof is to eliminate the phenomenon of fume in the bath generated in the shaft driving method, and to provide a brush shaft generated in the magnet driving method. An object of the present invention is to provide a drive device for a brush shaft that can prevent a decrease in driving force.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판 세정용 배스 내에 설치되며 에어의 흐름에 의해 브러시 샤프트를 회전시킬 회전력을 발하는 회전구동부와, 상기 회전구동부로 상기 에어를 공급하는 에어 공급부 및, 상기 회전구동부로부터 배기되는 에어가 배출되는 에어 배출부를 포함하여 이루어진 브러시 샤프트의 구동장치를 개시한다.The present invention for achieving the above object, the rotary drive unit is installed in the bath for cleaning the substrate and the rotational force for rotating the brush shaft by the flow of air, the air supply unit for supplying the air to the rotary drive unit, and the rotation Disclosed is a drive device for a brush shaft including an air discharge part through which air exhausted from the drive part is discharged.

여기서, 상기 회전구동부와 상기 브러시 샤프트는 별개의 동력전달부에 의해 연결된 구조로 개시될 수 있으며, 상기 동력전달부는 구체적으로 기어기구가 적용될 수 있다. 또는, 상기 회전구동부와 상기 브러시 샤프트는 직결구조로 연결될 수도 있다.Here, the rotary drive unit and the brush shaft may be started in a structure connected by a separate power transmission unit, the power transmission unit may be specifically applied to the gear mechanism. Alternatively, the rotation driving unit and the brush shaft may be connected in a direct structure.

그리고, 상기 회전구동부는, 상기 에어에 의해 회전하는 회전체와, 상기 회전체와 함께 회전하도록 회전체에 설치되며 상기 브러시 샤프트와 연결되는 회전축과, 상기 에어 공급부와 연통하는 급기구 및 상기 에어 배출부를 구성하는 배기구 를 구비하며 상기 회전체와 회전축을 회전가능하게 수용하는 하우징을 포함하여 이루어질 수 있다.The rotary drive unit may include a rotating body rotating by the air, a rotating shaft installed on the rotating body so as to rotate together with the rotating body, and connected to the brush shaft, an air supply unit communicating with the air supply unit, and the air discharge unit. It may include a housing having an exhaust port constituting the part and rotatably housing the rotating body and the rotating shaft.

또, 상기 에어 배출부는 타 공정의 에어 소비 모듈과 연결된 구성이 개시될 수 있다.In addition, the air discharge unit may be configured to be connected to the air consumption module of the other process.

전술한 바와 같이 구성된 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.The present invention configured as described above has the following effects.

첫째, 브러시 샤프트를 회전구동시키는 회전구동부가 배스의 내부에 설치되기 때문에, 배스의 외벽을 통한 흄의 유출이 발생하지 않는다. 따라서, 본 발명은 종래의 축 구동방식에서 발생하던 흄의 유출로 인한 모터 구동부의 부식 문제를 배제할 수 있어, 설비의 유지 보수 비용이 절감되는 효과가 있다.First, because the rotary drive unit for rotating the brush shaft is installed inside the bath, the outflow of the fume through the outer wall of the bath does not occur. Therefore, the present invention can eliminate the problem of corrosion of the motor drive unit due to the outflow of the fume generated in the conventional shaft drive method, there is an effect that the maintenance cost of the equipment is reduced.

둘째, 본 발명의 구동장치는 회전구동부의 회전축이 브러시 샤프트와 직결되거나 동력전달부를 통해 연결되는 구조를 갖기 때문에, 종래의 마그네트 구동방식과 달리 구동력의 저하 없이 브러시 샤프트를 원활하게 구동할 수 있는 효과가 있다.Secondly, since the driving device of the present invention has a structure in which the rotating shaft of the rotary driving unit is directly connected to the brush shaft or connected through the power transmission unit, unlike the conventional magnet driving method, the brush shaft can be driven smoothly without deterioration of the driving force. There is.

셋째, 본 발명에서 브러시 샤프트의 구동에 사용된 에어는 타 공정에서 재활용될 수 있어, 공정 수행의 비용이 절감되는 효과가 있다.Third, the air used to drive the brush shaft in the present invention can be recycled in other processes, thereby reducing the cost of performing the process.

넷째, 종래의 축 구동방식과 마그네트 구동방식에서 통상적으로 사용되는 전동모터는 배스 내에 케미컬이 상존하는 환경에서 전원 공급시 정전기 발생으로 발화의 위험이 있으나, 본 발명에 따른 구동장치는 비전기적 구성 요소들로 이루어져 있어 발화위험의 요소가 없이 안전성이 우수한 효과가 있다.Fourth, the electric motors commonly used in the conventional shaft drive and the magnet drive method, there is a risk of ignition due to the generation of static electricity when power is supplied in an environment where chemicals are present in the bath, the drive device according to the present invention is a non-electric component It is composed of two components, so there is no risk of ignition and safety has an excellent effect.

다섯째, 본 발명의 구동장치는 배스 내부에 설치되기 때문에, 배스의 형태가 종래에 비해 간소화됨으로써 설비의 레이아웃에 유리한 효과가 있다.Fifth, since the drive device of the present invention is installed inside the bath, the shape of the bath is simplified compared to the conventional method, which is advantageous in the layout of equipment.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment according to the present invention. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It doesn't happen.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 브러시 샤프트의 구동장치에 대한 전체 개념도이고, 도 4는 도 3에 개시된 구동장치의 회전구동부가 적용된 브러시 샤프트의 설치구조를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4의 상부 브러시 샤프트에 연결된 회전구동부의 측단면 구성도이다. 본 발명의 구동장치는 상부 브러시 샤프트 측과 하부 브러시 샤프트 측에 공통적으로 적용이 되는바, 편의상 상부 브러시 샤프트 측에 설치된 구동장치를 위주로 설명한다.3 is an overall conceptual view of a driving device of the brush shaft according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a view showing the installation structure of the brush shaft to which the rotary drive unit of the driving device disclosed in Figure 3 applied, Figure 5 Side cross-sectional view of the rotary drive unit connected to the upper brush shaft of the. The driving apparatus of the present invention is commonly applied to the upper brush shaft side and the lower brush shaft side, and will be described mainly for the driving apparatus installed on the upper brush shaft side for convenience.

상기 도면에 나타난 바와 같이, 본 실시예에 따른 브러시 샤프트의 구동장치는 회전구동부(110)와 에어 공급부(120) 및 에어 배출부(130)로 이루어져 있으며, 각 구성요소별로 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.As shown in the drawings, the driving device of the brush shaft according to the present embodiment is composed of a rotary drive unit 110, the air supply unit 120 and the air discharge unit 130, looking at each component in detail as follows. .

먼저, 회전구동부(110)는 평판 디스플레이 기판과 같은 기판을 세정하기 위 한 배스(B)의 내부에 설치되는데, 이는 종래의 구동부가 배스의 외부에 설치되는 것과는 중요한 차이점이라 할 수 있다. 이렇게 배스(B)의 내부에 설치된 회전구동부(110)는 에어 공급부(120)로부터 제공되는 에어의 흐름에 의해 회전력을 발함으로써 브러시 샤프트(210)를 회전시키게 된다. 도 4와 도 5는 회전구동부(110)의 실시예를 보여주고 있는데, 회전체(111)와 회전축(112) 및 이들을 회전 가능하게 수용하는 하우징(113)으로 구성되어 있다. 회전체(111)는 에어 공급부(120)로부터 공급된 에어에 의해 회전하는 요소로서, 팬(fan)으로 구체화될 수 있다. 회전축(112)은 회전체(111)의 중심부에 설치되어 회전체(111)의 회전시 회전체(111)와 함께 회전하게 되는데, 회전축(112)의 일단부는 하우징(113) 내에 베어링(114)으로 지지가 되고, 다른 일단부는 브러시 샤프트(210)와 연결이 된다. 하우징(113)은 앞서 언급한 바와 같이 회전체(111)와 회전축(112)을 수용하는데, 하우징(113)의 일측에는 에어 공급부(120)와 연통하는 급기구(113a)가 형성되어 있어서 에어 공급부(120)로부터 공급되는 에어가 이 급기구(113a)를 통해 하우징(113) 내부로 유입되어 회전체(111)를 회전시키게 된다. 그리고, 하우징(113)의 다른 일측에는 회전체(111)를 회전시킨 에어가 배기되기 위한 배기구(113b)가 형성되어 있으며, 이 배기구(113b)는 그 자체가 상기 에어 배출부(130)일 수도 있고, 후술하는 바와 같은 에어 배출부(130)를 구성하는 하나의 구성요소일 수도 있다.First, the rotation driving unit 110 is installed inside the bath B for cleaning a substrate such as a flat panel display substrate, which may be an important difference from the conventional driving unit installed outside the bath. The rotation driving unit 110 installed inside the bath B rotates the brush shaft 210 by exerting a rotational force by the flow of air provided from the air supply unit 120. 4 and 5 show an embodiment of the rotary drive unit 110, it is composed of a rotating body 111 and the rotating shaft 112 and a housing 113 for rotatably receiving them. The rotor 111 is an element that rotates by the air supplied from the air supply unit 120, and may be embodied as a fan. The rotating shaft 112 is installed at the center of the rotating body 111 to rotate together with the rotating body 111 when the rotating body 111 rotates. One end of the rotating shaft 112 has a bearing 114 in the housing 113. Is supported, and the other end is connected with the brush shaft 210. The housing 113 accommodates the rotating body 111 and the rotating shaft 112 as mentioned above. On one side of the housing 113, an air supply unit 113a is formed to communicate with the air supply unit 120, so that the air supply unit is provided. Air supplied from the 120 is introduced into the housing 113 through the air supply port 113a to rotate the rotating body 111. In addition, an exhaust port 113b is formed at the other side of the housing 113 to exhaust the air rotated by the rotating body 111. The exhaust port 113b may be the air discharge unit 130 itself. It may be one component constituting the air discharge unit 130 as described later.

한편, 상기 회전구동부는 회전축이 브러시 샤프트와 서로 직결되는 구조로 연결될 수도 있으나, 도 4에서와 같이 상하로 배치된 상부 브러시(200)와 하부 브러시(200') 사이로 기판이 진입하는 경우 과부하가 걸리게 되므로, 별도의 동력전 달부(115)를 매개로 연결되는 것이 바람직하다. 동력전달부(115)의 구체적인 예로는, 도 4에 예시된 것처럼 브러시 샤프트(210)의 말단부와 이에 대응하는 회전구동부(110)의 회전축(112)에 각각 구비되어 서로 치합되는 기어를 들 수 있다.On the other hand, the rotary driving unit may be connected in a structure in which the rotating shaft is directly connected to the brush shaft, but as the substrate enters between the upper brush 200 and the lower brush 200 'disposed up and down as shown in FIG. Therefore, it is preferable to be connected via a separate power transmission unit 115. Specific examples of the power transmission unit 115 may include gears provided at the distal ends of the brush shafts 210 and the rotating shafts 112 of the corresponding rotation driving units 110, respectively, and engaged with each other, as illustrated in FIG. 4. .

다음으로, 상기 에어 공급부(120)는 회전구동부(110)의 회전체(111)를 회전시키기 위한 에어를 회전구동부(110)로 공급하게 되는데, 에어 공급부(120)는 패킹된 구조로 배스(B)를 통과하는 소정의 관로(121)를 통하여 회전구동부(110)의 급기구(113a)로 에어를 공급하게 된다. 도 3에는 에어 공급부(120)를 구성하는 요소들의 예가 도시되어 있는데, 드라이 에어 탱크(122), 레귤레이터(123), 필터(124), 스피드 콘트롤러(125) 등이 그것이다. 따라서, 드라이 에어 탱크(122)로부터 제공되는 에어는 레귤레이터(123)를 거치면서 일정 압력으로 레귤레이팅되고, 필터(124)를 통해 이물질이 제거된 뒤, 스피드 콘트롤러(125)에서 유량이 제어되면서 회전구동부(110)의 급기구(113a)로 유입된다.Next, the air supply unit 120 supplies air for rotating the rotating body 111 of the rotary drive unit 110 to the rotary drive unit 110, the air supply unit 120 is a bath (B) in a packed structure Air is supplied to the air supply port 113a of the rotation driving unit 110 through a predetermined pipe passage 121 passing through). 3 shows an example of elements constituting the air supply 120, such as a dry air tank 122, a regulator 123, a filter 124, a speed controller 125, and the like. Therefore, the air provided from the dry air tank 122 is regulated at a constant pressure while passing through the regulator 123, and after the foreign matter is removed through the filter 124, the flow rate is controlled by the speed controller 125. It flows into the air supply port 113a of the drive unit 110.

상기 에어 배출부(130)는 앞서 언급한 바와 같이 하우징(113)에 구비되어 회전체(111)를 회전시킨 에어가 배기되는 배기구(113b) 그 자체일 수도 있지만, 도 3에서 볼 수 있는 것처럼 회전구동부(110)에서 사용된 에어를 타 공정의 에어 소비 모듈(300)에서 재활용하게 되는 경우에는 에어 배출부(130)가 에어 소비 모듈(300)과 연결되며, 이때 체크밸브(131)나 필터(132), 레귤레이터(133) 등의 구성요소가 더 포함된 것으로 이루어질 수 있다. 특히, 배기구(113b) 이외에 에어 배출부(130)를 구성하는 상기 요소들은 배스(B)의 외부에서 패킹 구조를 갖춘 소정의 관로(134)를 통하여 배기구(113b)와 연결이 된다. 상기 에어 소비 모듈(300)의 예 를 들자면, 에어와 세정액의 이류체를 이용하는 세정장비, 기판을 건조시키는 에어 나이프와 같은 건조장비 등이 있다.As described above, the air discharge unit 130 may be an exhaust port 113b itself, which is provided in the housing 113 to rotate the rotor 111 and is exhausted, but may rotate as shown in FIG. 3. When the air used in the driving unit 110 is recycled in the air consumption module 300 of another process, the air discharge unit 130 is connected to the air consumption module 300, in which case the check valve 131 or the filter ( 132, the regulator 133 may be further included. In particular, the elements constituting the air discharge portion 130 in addition to the exhaust port 113b is connected to the exhaust port 113b through a predetermined conduit 134 having a packing structure outside the bath B. Examples of the air consumption module 300, there is a cleaning equipment using a mixture of air and a cleaning liquid, drying equipment such as an air knife for drying the substrate.

상기 구성에 따른 에어의 급배기 및 브러시 샤프트의 구동은 다음과 같이 이루어진다.Driving of the air supply and exhaust and the brush shaft according to the above configuration is made as follows.

드라이 에어 탱크(122)로부터 제공되는 에어는 레귤레이터(123)에 의하여 일정하게 정압을 유지하게 되고, 필터(124)를 통해 이물질이 제거된 뒤, 스피드 콘트롤러(125)에서 유량이 제어되면서 회전구동부(110)의 급기구(113a)로 유입된다.The air provided from the dry air tank 122 maintains a constant pressure constant by the regulator 123, and after the foreign matter is removed through the filter 124, the flow rate is controlled in the speed controller 125 while the rotary drive unit ( It flows into the air supply port 113a of the 110.

급기구(113a)로 유입된 에어는 회전구동부(110)의 회전체(111)를 회전시키면서 배기구(113b)를 통해 배출이 되는데, 이때 회전체(111)의 회전과 함께 회전축(112)이 회전하면서 회전축(112)에 연결되어 있는 브러시 샤프트(210)를 회전시키게 된다.The air introduced into the air supply port 113a is discharged through the exhaust port 113b while rotating the rotating body 111 of the rotary driving unit 110. At this time, the rotating shaft 112 rotates with the rotation of the rotating body 111. While rotating the brush shaft 210 is connected to the rotating shaft (112).

한편, 배기구(113b)를 통해 배출되는 에어는 에어 배출부(130)로부터 세정이나 건조 등의 타 공정에 설치된 에어 소비 모듈(300)로 보내어져 재활용이 된다. 즉, 에어 배출부(130)로 배출된 에어는 체크밸브(131)에 의해 역류가 방지되면서 배출 관로(134)를 통해 흐르는데, 필터(132)에서 이물질이 걸러진 후, 에어 소비 모듈(300)에서 필요로 하는 일정한 압력이 유지되도록 레귤레이터(133)에서 레귤레이팅이 되어 에어 소비 모듈(300)로 공급된다. 에어 소비 모듈(300)로 공급된 에어는, 예를 들어 에어 소비 모듈(300)이 기판의 세정을 위한 이류체 세정장비일 경우에는 이류체를 형성하는 데에 소요되고, 에어 소비 모듈(300)이 에어 나이프와 같 은 건조장비일 경우에는 기판을 건조하는 데에 소요된다.On the other hand, the air discharged through the exhaust port 113b is sent to the air consumption module 300 installed in other processes such as cleaning or drying from the air discharge unit 130 is recycled. That is, the air discharged to the air discharge unit 130 flows through the discharge pipe 134 while preventing backflow by the check valve 131, and after the foreign matter is filtered out of the filter 132, the air consumption module 300 The regulator 133 is supplied to the air consumption module 300 so as to maintain a constant pressure required. The air supplied to the air consumption module 300 is required to form an airflow, for example, when the air consumption module 300 is an airflow cleaning device for cleaning a substrate, the air consumption module 300 Drying equipment such as air knives are required to dry the substrate.

이상에서 설명한 바와 같이 구성된 본 발명의 구동장치에서는 브러시 샤프트(210)를 회전구동시키는 회전구동부(110)가 배스(B)의 내부에 설치되어 있기 때문에, 종래의 축 구동방식에서처럼 브러시 샤프트가 배스의 외벽을 관통하지 않아 흄이 유출되는 문제가 발생하지 않는다. 또한, 회전구동부(110)의 회전축(112)이 브러시 샤프트(210)와 직결되거나 동력전달부(115)를 통해 연결되므로, 종래의 마그네트 구동방식에서와 같은 구동력의 저하 문제도 전혀 발생하지 않게 된다.In the driving apparatus of the present invention configured as described above, since the rotary driving unit 110 for rotating the brush shaft 210 is installed inside the bath B, the brush shaft of the bath is operated as in the conventional shaft driving method. Does not penetrate the outer wall does not cause the problem of leaking fume. In addition, since the rotating shaft 112 of the rotary driving unit 110 is directly connected to the brush shaft 210 or connected through the power transmission unit 115, the problem of lowering the driving force as in the conventional magnet driving method does not occur at all. .

이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.In the above described the present invention based on the preferred embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention This is possible.

도 1은 종래의 축 구동방식이 적용된 브러시 샤프트의 설치구조를 나타낸 도면이다.1 is a view showing an installation structure of a brush shaft to which a conventional shaft drive method is applied.

도 2는 종래의 마그네트 구동방식이 적용된 브러시 샤프트의 설치구조를 나타낸 도면이다.2 is a view showing an installation structure of a brush shaft to which a conventional magnet driving method is applied.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 브러시 샤프트의 구동장치에 대한 전체 개념도이다.3 is an overall conceptual view of a driving device of a brush shaft according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 개시된 구동장치의 회전구동부가 적용된 브러시 샤프트의 설치구조를 나타낸 도면이다.4 is a view showing the installation structure of the brush shaft to which the rotary drive unit of the driving device disclosed in FIG.

도 5는 도 4의 상부 브러시 샤프트에 연결된 회전구동부의 측단면 구성도이다.Figure 5 is a side cross-sectional view of the rotary drive unit connected to the upper brush shaft of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

110 : 회전구동부 111 : 회전체110: rotating drive 111: rotating body

112 : 회전축 113 : 하우징112: shaft 113: housing

113a : 급기구 113b : 배기구113a: air supply port 113b: exhaust port

114 : 베어링 115 : 동력전달부114: bearing 115: power transmission unit

120 : 에어 공급부 121,134 : 관로120: air supply unit 121,134: pipeline

122 : 드라이 에어 탱크 123,133 : 레귤레이터122: dry air tank 123,133: regulator

124,132 : 필터 125 : 스피드 콘트롤러124,132 Filter 125 Speed Controller

130 : 에어 배출부 200 : 상부 브러시130: air outlet 200: upper brush

200' : 하부 브러시 210 : 브러시 샤프트200 ': lower brush 210: brush shaft

300 : 에어 소비 모듈 B : 배스300: air consumption module B: bath

Claims (6)

기판 세정용 배스 내에 설치되며 에어의 흐름에 의해 브러시 샤프트를 회전시킬 회전력을 발할 수 있도록,It is installed in the substrate cleaning bath so that the rotational force to rotate the brush shaft by the flow of air, 상기 에어에 의해 회전하는 회전체와, 상기 회전체와 함께 회전하도록 회전체에 설치되며 상기 브러시 샤프트와 연결되는 회전축과, 급기구와 배기구를 구비하며 상기 회전체와 회전축을 회전가능하게 수용하는 하우징을 포함하는 회전구동부;A housing configured to be rotatable by the air, a rotating shaft installed on the rotating body to rotate together with the rotating body, connected to the brush shaft, an air supply port and an exhaust port, and rotatably receiving the rotating body and the rotating shaft. Rotation driving unit comprising a; 상기 급기구와 연통되어 상기 회전구동부로 상기 에어를 공급하는 에어 공급부; 및An air supply unit communicating with the air supply and supplying the air to the rotation driving unit; And 상기 배기구와 연통되어 상기 회전구동부로부터 배기되는 에어가 배출되는 에어 배출부를 포함하여 이루어진 브러시 샤프트의 구동장치.And an air discharge portion communicating with the exhaust port and through which the air exhausted from the rotation driving portion is discharged. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회전구동부와 상기 브러시 샤프트는 별개의 동력전달부에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 브러시 샤프트의 구동장치.And the rotary drive unit and the brush shaft are connected by separate power transmission units. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 동력전달부는 기어기구인 것을 특징으로 하는 브러시 샤프트의 구동장치.The drive unit of the brush shaft, characterized in that the power transmission unit is a gear mechanism. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회전구동부와 상기 브러시 샤프트는 직결구조로 연결된 것을 특징으로 하는 브러시 샤프트의 구동장치.The rotation drive unit and the brush shaft drive device of the brush shaft, characterized in that connected in a direct structure. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어 배출부는 타 공정의 에어 소비 모듈과 연결된 것을 특징으로 하는 브러시 샤프트의 구동장치.The air exhaust drive unit of the brush shaft, characterized in that connected to the air consumption module of another process.
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KR20010065963A (en) * 1999-12-30 2001-07-11 노영호 Rotation system for power supply
KR20070092492A (en) * 2006-03-10 2007-09-13 삼성테크윈 주식회사 Air driven pump

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