KR20050000477A

KR20050000477A - 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조

Info

Publication number: KR20050000477A
Application number: KR1020030042607A
Authority: KR
Inventors: 김선구
Original assignee: 태화일렉트론(주)
Priority date: 2003-06-27
Filing date: 2003-06-27
Publication date: 2005-01-05

Abstract

본 발명은 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판디스플레이용 글라스의 표면에 존재하는 파티클(Particle)을 제거함은 물론, 브러쉬의 모(毛) 사이에 존재하는 파티클을 동시에 제거할 수 있도록 함으로써 브러쉬 모에 존재하는 파티클이 글라스를 재 오염시키는 것을 방지하도록 하는 한편, 전동모터의 구동이 아닌 세정액의 수압에 의해 회동되도록 함으로써 구동에 따른 전력 소모를 최소화하고, 글라스 표면에 무리한 압력이 가해지는 것을 방지하여 스크래치 발생을 자제토록 하는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 양 표면을 디스크 브러쉬로 세정하도록 하는 세정장치에 있어서, 밀폐된 하우징 내부에 임펠러가 축 설치되어서 이루어진 터빈과, 터빈의 하우징 상부면 중앙에 세척액을 공급할 수 있도록 설치되는 세척액 공급라인과, 내부에 공간을 형성하되, 공간을 통해 상부면에 형성되는 유입공과 하부면에 형성되는 다수개의 분사공이 관통되도록 이루어진 하부면에 다수의 브러쉬가 삽입 설치된 원판 형상의 브러쉬 디스크와, 일측 단이 터빈의 하단 중앙으로 삽입되어 임펠러의 축과 커플링 연결되고, 타측 단이 브러쉬 디스크의 유입공에 삽입 설치되어 터빈 내부로 공급되는 세척액과 세척액의 압력으로 회전하는 임펠러의 회전력을 브러쉬 디스크에 전달하도록 된 원통형상의 회전축으로 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조{Driving structure of a disk brush for glass washing}

일반적으로, 반도체 부품 및 소자 등은 미세한 먼지(파티클)에 무척 민감하게 반응하는 것으로, 미세한 먼지 단 하나가 작게는 부품, 크게는 장치의 특성을 좌우하게 된다.

상기와 같은 이유로 해서 반도체 제조 공정에서는 파티클을 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정 진행 상황에 따라 세정작업을 반복하여 실시하고 있는 것이 보통이다.

특히, 최근 들어 전자디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 대형 액정표시장치들이 선보이고 있는데, 이와 같은 액정표시장치들의 글라스를에 피막 형성 등의 많은 표면처리 공정이 진행되며 이때, 세정작업은 필수적이며, 이와 같은 세정작업은 전용 세정장치를 이용하여 수행하게 된다.

이러한 세정처리를 하는 장치로서는 디스크 브러쉬 혹은 로울 브러쉬를 사용하여 표면에 부착되어 있는 파티클을 배출하는 장치가 알려져 있다.

상기와 같이, 브러쉬에 의해 파티클을 배출하는 경우에는 브러쉬에 파티클이 부착되기 쉽고, 이로 인해 파티클이 글라스의 표면에 재 오염되는 등 세정능력이 저하되는 원인이 되기도 하며, 이를 해소하기 위해서 세정시간이 매우 오래 걸리는 문제점이 있는 것이었다.

또한, 브러쉬 디스크의 구동이 전동 모터에 의해 이루어지게 되므로, 비교적 입자가 크고 경질인 파티클이 글라스 표면에 있을 경우, 이를 무리하게 회전시키게 되면 글라스의 표면에 스크래치(흠집)이 발생되는 문제점도 있는 것이었다.

상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 표면에 존재하는 파티클(Particle)을 제거함은 물론, 브러쉬의 모(毛) 사이에 존재하는 파티클을 동시에 제거할 수 있도록 함으로써 브러쉬 모에 존재하는 파티클이 글라스를 재 오염시키는 것을 방지하도록 하는 한편, 전동모터의 구동이 아닌 세정액의 수압에 의해 회동되도록 함으로써 구동에 따른 전력 소모를 최소화하고, 글라스 표면에 무리한 압력이 가해지는 것을 방지하여 스크래치 발생을 자제토록 하는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조를 제공함을 기술적 과제로 삼는다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 양 표면을 디스크 브러쉬로 세정하도록 하는 세정장치에 있어서, 밀폐된 하우징 내부에 임펠러가 축 설치되어서 이루어진 터빈과, 터빈의 하우징 상부면 중앙에 세척액을 공급할 수 있도록 설치되는 세척액 공급라인과, 내부에 공간을 형성하되, 공간을 통해 상부면에 형성되는 유입공과 하부면에 형성되는 다수개의 분사공이 관통되도록 이루어진 하부면에 다수의 브러쉬가 삽입 설치된 원판 형상의 브러쉬 디스크와, 일측 단이 터빈의 하단 중앙으로 삽입되어 임펠러의 축과 커플링 연결되고, 타측 단이 브러쉬 디스크의 유입공에 삽입 설치되어 터빈 내부로 공급되는 세척액과 세척액의 압력으로 회전하는 임펠러의 회전력을 브러쉬 디스크에 전달하도록 된 원통형상의 회전축으로 이루어짐을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명의 구성을 보인 부분 절개 단면 사시도

도 2는 본 발명의 세부 구성을 보인 정 단면도

도 3은 본 발명의 설치 상태 및 작동 상태를 보인 설치 상태 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>

100 : 디스크 브러쉬의 구동장치 110 : 터빈

111 : 하우징 112 : 내부공간

113 : 임펠러 114 : 축

120 : 세척액 공급라인 130 : 브러쉬 디스크

131 : 공간 132 : 유입공

133 : 분사공 134 : 브러쉬

140 : 회전축 141 : 통공

150 : 베이스 플레이트 160 : 베어링

G : 글라스 W : 세척액

본 발명의 설명에 참고가 되는 첨부 도면 도 1은 본 발명의 구성을 보인 부분 절개 단면 사시도이고, 도 2는 본 발명의 세부 구성을 보인 정 단면도이며, 도 3은 본 발명의 설치 상태 및 작동 상태를 보인 설치 상태 단면도로서, 이중 도면 부호 100은 본 발명인 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동장치를 나타낸 것이다.

본 발명은 첨부 도면 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 평판디스플레이용 글라스(G)의 양 표면을 디스크 브러쉬(134)로 세정하도록 하는 세정장치(100)에 있어서, 밀폐된 하우징(111) 내부 공간(112)에 임펠러(113)가 축(114)설치되어서 이루어진 터빈(110)과, 터빈(110)의 하우징(111)상부면 중앙에 세척액(W)을 공급할 수 있도록 설치되는 세척액 공급라인(120)과, 내부에 공간(131)을 형성하되, 공간(131)을 통해 상부면에 형성되는 유입공(132)과 하부면에 형성되는 다수개의 분사공(133)이 관통되도록 이루어진 하부면에 다수의 브러쉬(134)가 삽입 설치된 원판 형상의 브러쉬 디스크(130)와, 일측 단이 터빈(110)의 하단 중앙으로 삽입되어 임펠러(113)의 축(114)과 커플링 연결되고, 타측 단이 브러쉬 디스크(130)의 유입공(132)에 삽입 설치되어 터빈(110) 내부로 공급되는 세척액(W)과 세척액의 압력으로 회전하는 임펠러(113)의 회전력을 브러쉬 디스크(130)에 전달하도록 된 원통형상의 회전축(140)으로 이루어진 것이다.

이와 같이 이루어진 본 발명은 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 회전축(140)이 베이스 플레이트(150)에 설치되어 있는 베어링(160)에 삽입 설치되어 회전하게 된다.

즉, 세척액 공급라인(120)으로부터 세척액(W)이 소정의 압력을 갖고 공급되면, 터빈(110)의 하우징(111) 내부공간(112)에 축 설치된 임펠러(113)가 세척액(W)의 분사 압력에 의해 회전하게 되고, 임펠러(113)의 회전력은 전술한 바와 같이, 임펠러(113)의 축(114) 일측 단과 커플링 연결된 회전축(140)이 브러쉬 디스크(130)로 전달하여 회전시키게 된다.

이때, 회전축(140)은 내부 중앙에 통공(141)이 형성되어 있어, 터빈(110)의 내부공간(112)로 공급된 세척액(W)이 통공(141)을 통해 브러쉬 디스크(130)로 전달되며, 브러쉬 디스크(130)로 전달된 세척액(W)은 유입공(132)을 통해 공간(131)으로 확산 충진됨과 동시에 분사공(133)을 통해 외부로 분사되게 된다.

이와 같이, 브러쉬 디스크(130)의 분사공(133)으로 분사되는 세척액(W)은 글라스(G) 표면에서 회전하는 브러쉬(134)와 글라스(G)의 마찰이 부드럽게 이루어지도록 하는 윤활제 역할을 하면서 브러쉬(134)의 모(母) 사시사이에 부착되어 있는 파티클을 탈리시켜 글라스(G) 표면 외부로 배출시키게 된다.

상기와 같은 본 발명은 첨부 도면 도 3에서 보는 바와 같이, 글라스(G)의 상부면과 하부면을 세정할 수 있도록 상, 하부의 베이스 플레이트(150)에 다수개가 배열된 것이다.

본 발명에서 터빈(110)의 임펠러(113) 구조는 유체역학적인 사항을 고려하여 개선될 수 있으며, 이와 같이 개선되는 구조라 할지라도 본 발명의 권리범위에 속하는 것이며, 프로펠러 구조 또한, 본 발명의 권리 범위에 속한다 할 것이다.

또한, 임펠러(113)의 축(114)과 브러쉬 디스크(130)를 연결하는 회전축(140)의 커플링 구조 역시, 공지된 어떠한 기구 및 방법을 적용할 수 있는 것이다.

참고로, 본 발명을 설명하기 위한 명세서는 공급되는 세척액(W)의 수압에 의해 구동되는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조를 설명하기 위한 내용으로 작성되었기에 일반적인 방수 구조에 대한 설명은 생략하였다.

이와 같이 되는 본 발명은 평판디스플레이용 글라스의 표면에 존재하는 파티클(Particle)을 제거함은 물론, 브러쉬의 모(毛) 사이에 존재하는 파티클을 동시에 제거할 수 있도록 함으로써 브러쉬 모에 존재하는 파티클이 글라스를 재 오염시키는 것을 방지하도록 하는 한편, 전동모터의 구동이 아닌 세정액의 수압에 의해 회동되도록 함으로써 구동에 따른 전력 소모를 최소화하고, 글라스 표면에 무리한 압력이 가해지는 것을 방지하여 스크래치 발생을 자제토록 하는 효과를 갖는다.

Claims

평판디스플레이용 글라스(G)의 양 표면을 디스크 브러쉬(134)로 세정하도록 하는 세정장치(100)에 있어서, 밀폐된 하우징(111) 내부 공간(112)에 임펠러(113)가 축(114)설치되어서 이루어진 터빈(110)과, 터빈(110)의 하우징(111)상부면 중앙에 세척액(W)을 공급할 수 있도록 설치되는 세척액 공급라인(120)과, 내부에 공간(131)을 형성하되, 공간(131)을 통해 상부면에 형성되는 유입공(132)과 하부면에 형성되는 다수개의 분사공(133)이 관통되도록 이루어진 하부면에 다수의 브러쉬(134)가 삽입 설치된 원판 형상의 브러쉬 디스크(130)와, 일측 단이 터빈(110)의 하단 중앙으로 삽입되어 임펠러(113)의 축(114)과 커플링 연결되고, 타측 단이 브러쉬 디스크(130)의 유입공(132)에 삽입 설치되어 터빈(110) 내부로 공급되는 세척액(W)과 세척액의 압력으로 회전하는 임펠러(113)의 회전력을 브러쉬 디스크(130)에 전달하도록 된 원통형상의 회전축(140)으로 이루어짐을 특징으로 하는 평판디스플레이 글라스 세정용 디스크 브러쉬의 구동구조.