KR20040043741A - 웨이퍼 검사 장치 - Google Patents
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- 웨이퍼를 지지하고, 상기 웨이퍼를 회전시키며, 수평 방향 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 핸들링 유닛;상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼의 상부면 이미지를 획득하기 위한 제1이미지 획득 유닛;상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼의 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지를 획득하기 위한 제2이미지 획득 유닛;상기 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지를 각각 획득하기 위해 상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼의 가장자리 부위를 중심으로 상기 제2이미지 획득 유닛을 회전시키는 구동 유닛; 및상기 상부면, 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지로부터 상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼의 결함을 검사하기 위한 이미지 처리 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 핸들링 유닛은,상기 웨이퍼를 지지하며, 진공을 이용하여 상기 웨이퍼를 흡착하기 위한 척;상기 척의 하부에 연결되며, 상기 척을 회전시키기 위한 제2구동 유닛;상기 제2구동 유닛과 연결되며, 상기 척 및 제1구동부를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제3구동 유닛;상기 제3구동 유닛을 지지하기 위한 플레이트; 및상기 플레이트의 하부에 연결되며, 상기 척, 제2구동 유닛 및 제3구동 유닛을 수평 방향으로 이동시키기 위한 제4구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제3구동 유닛은 유압 또는 공압 실린더인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제4구동 유닛은 2축 직교 좌표 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 핸들링 유닛은,관통공이 형성되어 있는 제2플레이트;상기 플레이트의 상부면으로부터 수직 방향으로 연장되고, 상기 제2플레이트를 지지하기 위한 다수의 지지축(supporting shaft); 및상기 제2플레이트 상에 설치되며, 상기 웨이퍼를 지지하기 위한 다수의 지지핀(supporting pin)을 더 포함하고,상기 척 및 상기 제2구동 유닛은 상기 관통공을 통해 수직 방향으로 이동하며, 상기 척의 상부면이 상기 다수의 지지핀의 상단(upper end) 부위보다 낮은 위치에 있는 동안 상기 다수의 지지핀이 상기 웨이퍼를 지지하는 것을 특징으로 하는웨이퍼 검사 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제2플레이트의 가장자리 부위에 각각 수평 방향으로 이동 가능하도록 연결되며, 상기 척 상에 지지된 웨이퍼의 중심을 상기 척의 중심축(central axis)에 일치시키기 위하여 상기 웨이퍼의 중심을 향해 동시에 이동하는 다수의 웨이퍼 정렬핀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제2플레이트 상에 설치되며, 상기 다수의 지지핀 상에 지지된 웨이퍼를 감지하기 위한 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1이미지 획득 유닛 및 제2이미지 획득 유닛은 상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼에 광을 조사하기 위한 광원과, 상기 광이 조사된 부위의 이미지를 획득하기 위한 CCD(charge coupled device) 카메라를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 구동 유닛은, 상기 웨이퍼의 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지를 각각 획득하기 위해 상기 제2이미지 획득 유닛을 회전시키기 위한 모터; 및상기 모터와 연결되고, 상기 제2이미지 획득 유닛이 상기 웨이퍼의 가장자리를 향하도록 상기 제2이미지 획득 유닛을 지지하기 위한 지지암(supporting arm)을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 지지암은, 상기 제2이미지 획득 유닛을 지지하며, 상기 모터의 회전축으로부터 소정 거리 이격되어 상기 모터의 회전축과 평행하게 설치되는 수평암; 및상기 모터의 회전축과 상기 수평암을 연결하기 위한 연결암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼의 결함을 검사하는 공정을 수행하기 위한 검사 챔버;상기 검사 챔버와 연결되며, 상기 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위한 로딩 챔버;상기 로딩 챔버 내에 구비되며, 상기 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 로봇; 및상기 로딩 챔버와 연결되며, 다수의 웨이퍼를 수납하기 위한 수납 용기를 지지하기 위한 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 이송 로봇에 설치되며, 상기 수납 용기에 수납된 상기 다수의 웨이퍼의 수납 위치를 확인하기 위한 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 스테이지 상에 설치되며, 상기 수납 용기를 감지하기 위한 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼의 노치(notch) 부위를 감지하기 위한 노치 센서; 및상기 핸들링 유닛에 지지된 웨이퍼의 인식 패턴(identification pattern) 이미지를 획득하기 위한 제3이미지 획득 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 이미지 처리 유닛과 연결되고, 상기 웨이퍼의 상부면, 상부면 가장자리, 측면, 하부면, 인식 패턴 이미지를 나타내기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 핸들링 유닛, 제1이미지 획득 유닛, 제2이미지 획득 유닛 및 구동 유닛을 지지하기 위한 베이스 플레이트; 및상기 베이스 플레이트의 하부면에 연결되며, 진동을 제어하기 위한 제진 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼의 상부면 이미지를 획득하기 위해 상기 핸들링유닛 및 제1이미지 획득 유닛의 동작을 제어하고, 상기 웨이퍼의 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지를 각각 획득하기 위해 상기 핸들링 유닛, 제2이미지 획득 유닛 및 구동 유닛의 동작을 제어하고, 상기 웨이퍼의 검사 데이터를 관리하기 위한 중앙 처리 유닛(central processing unit)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 웨이퍼를 지지하며, 진공을 이용하여 상기 웨이퍼를 흡착하기 위한 척;상기 척의 하부에 연결되며, 상기 척에 흡착된 웨이퍼를 회전시키기 위한 제1구동 유닛;상기 제1구동 유닛을 지지하며, 상기 척에 흡착된 웨이퍼를 수평 방향 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 3축 직교 좌표 로봇;상기 척에 흡착된 웨이퍼의 상부면 이미지를 획득하기 위한 제1이미지 획득 유닛;상기 척에 흡착된 웨이퍼의 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지를 획득하기 위한 제2이미지 획득 유닛;상기 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지를 각각 획득하기 위해 상기 척에 흡착된 웨이퍼의 가장자리 부위를 중심으로 상기 제2이미지 획득 유닛을 회전시키기 위한 제2구동 유닛;상기 제2구동 유닛과 연결되고, 상기 제2이미지 획득 유닛이 상기 척에 흡착된 웨이퍼의 가장자리를 향하도록 상기 제2이미지 획득 유닛을 지지하기 위한 지지암; 및상기 상부면, 상부면 가장자리, 측면 및 하부면 이미지로부터 상기 척에 흡착된 웨이퍼의 결함을 검사하기 위한 이미지 처리 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제18항에 있어서, 상기 3축 직교 좌표 로봇은,상기 제1구동 유닛을 지지하며, 상기 척에 흡착된 웨이퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제3구동 유닛;상기 제3구동 유닛을 지지하기 위한 제1플레이트; 및상기 제1플레이트의 하부면에 연결되고, 상기 척에 흡착된 웨이퍼를 수평 방향으로 이동시키기 위한 2축 직교 좌표 로봇을 포함하며,상기 웨이퍼 검사 장치는,상기 제1구동 유닛이 통과하는 관통공이 형성되어 있고, 상기 제1플레이트의 상부에 배치되는 제2플레이트;상기 제1플레이트의 상부면으로부터 수직 방향으로 연장되며, 상기 제2플레이트를 지지하기 위한 다수의 지지축; 및상기 제2플레이트의 가장자리 부위에 각각 수평 방향으로 이동 가능하도록 연결되며, 상기 척 상에 지지된 웨이퍼의 측면에 밀착하여 상기 척 상에 지지된 웨이퍼의 위치를 정렬하기 위한 다수의 정렬핀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
- 제18항에 있어서, 상기 지지암은, 상기 제2이미지 획득 유닛을 지지하며, 상기 제2구동 유닛의 회전축으로부터 소정 거리 이격되어 상기 회전축과 평행하게 설치되는 수평암; 및상기 회전축과 상기 수평암을 연결하기 위한 연결암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사 장치.
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