KR20040028679A - 플라즈마 표시장치 - Google Patents

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KR20040028679A KR10-2003-7006109A KR20037006109A KR20040028679A KR 20040028679 A KR20040028679 A KR 20040028679A KR 20037006109 A KR20037006109 A KR 20037006109A KR 20040028679 A KR20040028679 A KR 20040028679A
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요시카와에이타로
모리히로시
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소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

외광 콘트라스트에 우월하고, 격자형 격벽 리브로 둘러싸인 공간 저부에의 형광체 페이스트의 도포를 용이하게 하고, 도포량 불균일을 생기기 어렵게 한 플라즈마 표시장치를 제공한다.
격자형 격벽 리브는, 제 1방향에 따라서 거의 평행하게 형성된 2열 이상의 요소로 이루는 횡 리브와, 제 1방향과 다른 제 2방향에 따라서 거의 평행하게 형성된 종 리브로 이룬다. 그리고, 종 리브 및/또는 횡 리브의 적어도 일부에, 종 리브로 둘러싸인 공간 상호를 제 1방향 및/또는 제 2방향에 따라서 연락하는 절결부가 형성하여 있다.

Description

플라즈마 표시장치{Plasma display unit}
현재 주류의 음극선관(CRT)에 대신하는 화상표시장치로서, 평면형(플랫 패널형식)의 표시장치가 여러 가지 검토되고 있다. 이와 같은 평면형의 표시장치로서, 액정표시장치(LCD), 일렉트롤미네센스 표시장치(ELD), 플라즈마 표시장치(PDP : 플라즈마·디스플레이)를 예시할 수 있다. 그 중에도, 플라즈마 표시장치는, 대화면화나 광시야각화가 비교적 용이하지만, 온도, 자기, 진동 등의 환경요인에 대한 내성이 뛰어나고, 장수명인 것 등의 장점을 가지고, 가정용의 벽괘 텔레비전 외, 공공용의 대형 정보단말기기에의 적용이 기대되고 있다.
플라즈마 표시장치는, 희가스로 이루는 방전가스를 방전공간 내에 봉입한 방전 셀에 전압을 인가하고, 방전가스 중에서의 글로 방전에 기인하여 발생한 자외선으로 방전 셀 내의 형광체층을 여기 함으로써 발광을 얻는 표시장치이다. 결국, 개개의 방전 셀은 형광등에 유사한 원리로 구동되고, 방전 셀이, 통상, 수십만개의 오더에 집합하여 하나의 표시화면이 구성되어 있다. 플라즈마 표시장치는, 방전 셀로의 전압 인가방식에 의해 직류구동형(DC형)과 교류구동형(AC형)으로대별되고, 각각 일장일단을 가진다.
AC형 플라즈마 표시장치는, 표시화면 내에서 개개의 방전 셀을 구분하는 역할을 다하는 격벽 리브를, 예를 들면 스트라이프형으로 형성하면 좋기 때문에, 높은 정세화에 적용하고 있다. 게다가, 방전을 위한 전극의 표면이 유전체층으로 덮여져 있기 때문에, 이러한 전극이 마모하기 어렵고, 장수명이라고 하는 장점을 가진다.
이와 같은 플라즈마 표시장치에 있어서, 표시화면에서의 콘트라스트의 향상을 도모하기 위해, 예를 들면 특개 2001-155644호 공보 및 특개평 11-7126호 공보에 나타낸 바와 같이, 격벽 리브를 흑색으로 착색한 것이 알려져 있다.
그렇지만, 격벽 리브를 단지 흑색으로 착색한 것만으로는, 충분하게 콘트라스트의 향상을 도모할 수 없지만, 본 발명자등에 의해 명백하게 되었다. 본 발명자등은, 이것을 개선하기 위해, 특원 2001-245909호에 나타낸 바와 같이, 격벽 리브를 종 리브와 횡 리브로 구성하고, 게다가, 각 횡 리브를, 2열 이상의 횡 리브 요소로 구성함으로써, 플라즈마 표시장치의 표시화면에서의 콘트라스트의 향상을 도모하는 것이 가능하게 되는 것을 알 수 있고, 이 새로운 깨달음에 기인하여 발명을 앞서 출원하고 있다.
그런데, 횡 리브와 종 리브를 갖는, 이른바 와플형상의 격벽 리브 구조에서는, 그 제조에 따라서, 다음에 나타나는 과제를 가지고 있다. 즉, 와플형상의 격벽 리브에서는, 격벽 리브로 둘러싸여진 공간의 저부에 형광체 페이스트를 떨어뜨려 넣어 인쇄하는 것이 어렵고, 형광체의 도포량의 뷸균일이 생기기 쉽다는 과제를 가지고 있다.
본 발명은, 이와 같은 실정에 감하여 이뤄지고, 본 발명의 목적은, 비교적으로 간단한 수법에 의해, 표시화면에서의 콘트라스트 향상을 도모하는 것이 가능하고, 게다가, 격벽 리브로 둘러싸여진 공간의 저부에 형광체 페이스트를 떨어뜨려 넣어 인쇄하는 것이 용이하고, 형광체의 도포량의 불균일이 생기기 어려운 플라즈마 표시장치를 제공하는 것이다.
본 발명은, 플라즈마 표시장치에 관계되는, 더욱 상세하게는, 플라즈마 표시장치에서의 방전공간을 구분 짓는 격벽 리브의 구조에 관한 것이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치의 요부 개략 분해사시도이다.
도 2는, 도 1에 나타난 II-II선에 따른 요부단면도이다.
도 3은, 격벽 리브의 패턴과 방전유지전극과의 관계를 나타내는 평면도이다.
도 4는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
도 5는, 본 발명의 더욱 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
도 6은, 본 발명의 더욱 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
도 7은, 본 발명의 더욱 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
도 8은, 본 발명의 더욱 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
도 9는, 본 발명의 더욱 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치는,
제 1기판의 내측에 제 1방향에 따라서 상호에 거의 평행으로 형성되는 복수쌍의 방전유지전극과,
상기 방전유지전극을 덮도록 상기 제 1기판의 내측에 형성되는 유전체층과,
제 2기판의 내측에 형성되고, 상기 제 1기판과 제 2기판과의 사이에, 밀봉된 방전공간을 형성하기 위한 격벽 리브를 가지고,
상기 격벽 리브가, 상기 제 1방향과 다른 제 2방향에 따라서 거의 평행으로 형성된 종 리브와, 상기 제 1방향에 따라서 거의 평행으로 형성된 횡 리브를 가지고,
상기 종 리브 및/또는 횡 리브의 적어도 일부에, 상기 종 리브 및 횡 리브에 의해 둘러싸여진 공간 상호를, 상기 제 1방향 및/또는 제 2방향에 따라서 연락하는 절결부가 형성하여 있고,
또한, 상기 횡 리브가, 2열 이상의 횡 리브 요소로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 각 횡 리브의 리브폭은, 종 리브의 리브폭에 대하여 0.5∼1.5배 정도이다.
바람직하게는, 인접하는 상기 횡 리브요소의 사이에는, 반사방지구가 형성하여 있다.
본 발명에서는, 횡 리브의 각각을, 2열 이상의 횡 리브요소(복열 리브)로 구성하는 것으로서, 종 리브 및 횡 리브가 모두 1열의 리브 요소로 구성하여 있는 종래의 플라즈마 표시장치에 비교하여, 콘트라스트가 향상한다. 이 작용효과는, 본 발명자등에 의해 처음으로 나타나기 시작된 것이다.
또, 횡 리브요소의 사이에 반사방지구를 형성하는 것으로서, 반사방지구에 넣어진 외광이 바깥에 나가기 어렵게 되고, 외광 콘트라스트가 더욱 향상한다.
또, 횡 리브를 복렬 리브로 하는 것은, 격벽 리브의 패턴 전체의 강도를 향상시키는 것이 가능하게 된다라는 부차적인 효과도 있다. 방전공간은, 높은 진공도로 유지되므로, 격벽 리브의 강도를 향상시키는 것은, 방전공간의 균일 두께를 유지하는 것에 기여하고, 더욱 바람직하다.
게다가, 본 발명에서는, 종 리브 및/또는 횡 리브의 적어도 일부에, 종 리브 및 횡 리브로 의해 둘러싸여진 공간 상호를, 제 1방향 및/또는 제 2방향에 따라서 연락하는 절결부를 지닌다. 이 때문에, 그 제조에 즈음하여, 격벽 리브로 둘러싸여진 공간의 저부에 떨어뜨려 넣는 형광체 페이스트가, 절결부를 통하고, 격벽 리브 사이를 이동할 수 있다. 그 결과, 격벽리브로 둘러싸여진 공간의 저부에형광체 페이스트를 떨어뜨려 넣어 인쇄하는 것이 용이하고, 형광체의 도포량의 불균일이 생기기 어렵게 된다. 또, 이들의 리브에 절결부를 형성하는 것으로서, 방전공간 내를 진공으로 하기 쉽게 되는 동시에, 방전공간내에 방전 가스를 봉입하기 쉽게 된다.
또, 본 발명에 의하면, 격벽 리브에서의 현상조건의 마진이 증대되고, 패턴의 미세화가 가능하게 된다. 더욱, 샌드블라스트 가공 때의 마진이 증대하고, 격벽 리브의 파편등이 감소하고, 품질의 향상을 도모할 수 있다. 더욱이, 각종의 패턴 마스크를 변경하는 것만으로, 현재 행하는 제조 프로세스를 그대로 적용할 수 있으므로, 제조 비용의 증대도 없다.
바람직하게는, 상기 절결부가, 상기 횡 리브를 구성하는 2열 이상의 횡 리브요소에 각각 형성하고 있다. 제 2방향에 따라서 같은 색의 형광체 패턴이 형성되는 것이 일반적이다. 이 때문에, 특히, 횡 리브를 구성하는 2열 이상의 횡 리브요소에 절결부를 형성하는 것으로서, 같은 색의 형광체 도료가, 제 2방향에 따라서 쉽게 흐르므로 바람직하다.
바람직하게는, 인접하는 상기 횡 리브요소에 각각 형성하고 있는 절결부가, 제 2방향에 따라서 연속하지 않은 서로 다른 위치에 형성하고 있다. 이와 같이 구성하는 것으로서, 제 2방향에 따른 방전공간 내의 크로스 토크를 방지하고, 형광체 도료의 흐름을 쉽게 확보할 수 있다.
바람직하게는, 상기 절결부의 제 1방향의 폭이, 상기 격벽 리브에서의 종 리브 폭의 1/2∼1배 크기이다. 이 크기인 경우에, 본 발명의 효과가 크다.
바람직하게는, 상기 횡 리브는, 1화소를 구성하는 한 쌍의 상기 방전유지전극과, 다른 1화소를 구성하는 한 쌍의 상기 방전유지전극과의 사이에 존재하는 화소간 인접극 사이에 대응한 위치에 배치하고 있다.
화소간 인접극 사이는, 방전공간에서의 발광현상에는 기여하지 않은 부분이고, 이 부분에 횡 리브를 배치하는 것은, 휘도를 저하시키지 않고, 크로스 토크를 방지할 수 있기 때문에 바람직하다.
본 발명에 있어서, 바람직하게는, 상기 격벽 리브의 적어도 정부가 흑색 또는 흑색에 가까운 색이다. 물론, 격벽 리브의 전체를 흑색 또는 흑색에 가까운 색으로 하여도 좋다. 이 경우에는, 더욱 콘트라스트가 향상한다.
바람직하게는, 본 발명에서는, 상기 제 2기판의 표면에는, 상기 제 2방향에 따라서 상호에 거의 평행으로 연장되는 어드레스 전극이 형성하여 있고,
상기 어드레스 전극을 덮음으로써, 상기 제 2기판의 표면에 흑색 또는 흑색에 가까운 색의 절연체막이 형성하여 있고, 이 절연체막의 표면에 상기 격벽 리브를 형성하여도 좋다. 이 경우에는, 더욱 콘트라스트가 향상한다.
본 발명에서는, 상기 종 리브에, 상기 절결부가 형성하여 있어도 좋다. 종 리브에 절결부를 형성하고, 복렬 리브의 횡 리브에는 절결부를 형성하지 않은 것으로, 형광체 도료가 용이하게 흐르는 것을 확보하면서, 콘트라스트의 또 다른 향상을 도모할 수 있다.
더욱이, 본 발명에 있어서, 「방향에 따라서 서로에 거의 평행으로 형성된다」는, 반드시 직선형으로 형성되는 것이 아니고, 사행(蛇行)형상, 지그재그 형상,혹은 그 다른 형상으로 형성되어도 좋은 취지이며, 또, 반드시 연속적으로 형성할 필요는 없고, 단속적으로 형성되어도 좋은 취지이며, 더욱이, 일부에는, 반드시 평행하지 않은 부분도 포함하여도 좋은 취지이다.
예를 들면 종 리브는, 사행(蛇行)형상 또는 지그재그 형상(혹은 그 다른 형상도 포함)으로 형성되어도 좋고, 인접하는 종 리브의 사이에, 방전공간이, 상기 제 1방향 및 제 2방향에 따라서 지그재그형으로 배치되도록 하고,
인접하는 상기 종 리브 상호간의 거리가 가장 가까운 위치에, 상기 횡 리브를 형성하여도 좋다.
즉, 종래의 미앤더 구조, 와플구조, 혹은 그 외, 종 리브가 직선형이 아닌 구조의 특수 리브구조에 있어서, 본 발명을 채용하여도 좋다. 그 결과, 횡 리브와 종 리브로 둘러싸여진 다각형 또는 타원형(또는 그 다른 형태)의 방전공간이, 제 1방향 및 제 2방향에 따라서 지그재그형으로 배치된다.
이와 같은 특수 리브 구조에 있어서, 본 발명을 채용하는 경우(「더블 와플구조」로도 칭한다)에는, 격벽 리브의 강도가 더욱 증대함과 함께, 종 방향 크로스 토크나 노이즈를 더욱 저감하는 것이 가능하게 된다.
또, 더블 와플구조에는, 횡 리브요소간에 반사방지구가 형성되므로, 더욱 콘트라스트의 향상을 도모할 수 있다. 이들의 본 발명의 와플구조에서는, 외광 반사를 저감할 수 있다.
이상 설명해온 바와 같이, 본 발명에 의하면, 비교적으로 간단한 수법에 의해, 표시화면에서의 콘트라스트의 향상을 도모하는 것이 가능하고, 게다가, 격벽리브에 둘려싸여진 공간의 저부에 형광체 페이스트를 떨어뜨려 넣어 인쇄하는 것이 용이하며, 형광체의 도포량의 불균일이 생기기 어려운 플라즈마 표시장치를 제공할 수 있다.
이하, 본 발명을, 도면에 나타난 실시형태에 의거하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치의 요부개략 분해사시도, 도 2는 도 1에 나타난 II-II선에 따르는 요부단면도, 도 3은 격벽 리브의 패턴과 방전유지전극과의 관계를 나타내는 평면도, 도 4∼도 9는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 격벽 리브의 패턴을 나타내는 평면도이다.
(제 1실시형태)
플라즈마 표시장치의 전체구성
우선, 도 1에 의거하여, 교류구동형(AC)형 플라즈마 표시장치(이하, 단지, 플라즈마 표시장치로 부르는 경우가 있다)의 전체 구성에 대해서 설명한다.
도 1에 나타난 AC형 플라즈마 표시장치(2)는, 이른바 3전극형에 속하고, 한 쌍의 방전유지전극(12)의 사이에서 방전이 발생한다. 이 AC형 플라즈마 표시장치(2)는, 프런트 패널에 상당하는 제 1패널(10)과, 리어 패널에 상당하는 제 2패널(20)이 접합되어서 이룬다. 제 2패널(20) 상의 형광체층(25R, 25G, 25B)의 발광은, 예를 들면, 제 1패널(10)을 통해서 관찰된다. 즉, 제 1패널(10)이, 표시면측이 된다.
제 1패널(10)은, 투명한 제 1기판(11)과, 제 1기판(11) 상에 제 1방향(X)에 따라서 상호에 거의 평행으로 스트라이프형으로 설치되고, 투명도전재료로 이루는 복수쌍의 방전유지전극(12)과, 방전유지전극(12)의 임피던스를 저하시키기 위해 설치되고, 방전유지전극(12)보다도 전기저항율의 낮은 재료로부터 이루는버스전극(13)과, 버스전극(13) 및 방전유지전극(12) 위를 포함하는 제 1기판(11)상에 형성된 유전체층(14)과, 그 위에 형성된 보호층(15)으로 구성되어 있다. 더욱이, 보호층(15)은, 반드시 형성되어 있을 필요는 없지만, 형성되어 있는 것이 바람직하다.
한편, 제 2패널(20)은, 제 2기판(21)과, 제 2기판(21) 상에 제 2방향(Y)(제 1방향(X)과 거의 직각)에 따라서 상호에 거의 평행으로 스트라이프형으로 설치된 복수의 어드레스 전극(데이터 전극으로도 불려진다)(22)과, 어드레스 전극(22) 위를 포함하는 제 2기판(21) 상에 형성된 절연체막(23)과, 절연체막(23)상에 형성된 절연성의 격벽 리브(24)와, 절연체막(23) 위로부터 격벽 리브(24)의 측벽면상에 걸쳐서 설치된 형광체층으로 구성되어 있다. 형광체층은, 적색 형광체층(25R), 녹색 형광체층(25G) 및 청색 형광체층(25B)으로부터 구성되어 있다.
도 1은, 표시장치의 일부 분해사시도이며, 실제로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제 2패널(20)측의 격벽 리브(24)의 정부가, 제 3방향(Z)(제 1방향(X) 및 제 2방향(Y)에 직교하는 방향)에 제 1패널(10)측의 보호층(15)에 당접하여 있다. 방전 갭(W1)(도 2 및 도 3참조)을 형성하는 한 쌍의 방전유지전극(12)과, 어드레스 전극(22)이 중복하는 영역이, 단일의 방전 셀에 상당한다. 그리고, 형광체층(25R, 25G, 25B)이 형성된 격벽 리브(24)와 보호층(15)에 의해 둘러싸여진 방전공간(4)내에는, 방전 가스가 봉입되어 있다. 제 1패널(10)과 제 2패널(20)은, 그들의 주변부에 있어서, 프리트 유리를 사용하여 접합되어 있다.
방전공간(4)내에 봉입되는 방전가스로서는, 특별히 한정되지 않지만,크세논(Xe)가스, 네온(Ne)가스, 헬륨(He)가스, 아르곤(Ar)가스, 질소(N2)가스 등의 불활성가스, 혹은 이들의 불활성가스의 혼합가스 등이 사용된다. 봉입되어 있는 방전가스의 전압은, 특별히 한정되지는 않지만, 6×103Pa ∼ 8×104Pa정도이다.
방전유지전극(12)의 사영상이 이어지는 방향과 어드레스 전극(22)의 사영상이 연장되는 방향과는 거의 직교(반드시 직교할 필요는 없지만)하고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 방전 갭(W1)을 형성하는 한 쌍의 방전유지전극(12)과, 3원색을 발광하는 형광체층(25R, 25G, 25B)의 1조가 중복하는 영역이 1화소(P1)(1 픽셀)에 상당한다. 글로방전이, 방전 갭(W1)을 형성하는 한 쌍의 방전유지전극(12) 사이에서 생기는 것에서, 이 타잎의 플라즈마 표시장치는 「면방전형」으로 불려진다. 이 플라즈마 표시장치의 구동방법에 대해서는, 후술한다.
본 실시형태의 플라즈마 표시장치(2)는, 이른바 반사형 플라즈마 표시장치이며, 형광체층(25R, 25G, 25B)의 발광은, 제 1패널(10)을 통해서 관찰되므로, 어드레스 전극(22)을 구성하는 도전성재료에 관계되는 투명/불투명의 차이는 문제되지 않지만, 방전유지전극(12)을 구성하는 도전성재료는 투명일 필요가 있다. 더욱이, 여기서 기술하는 투명/불투명은, 형광체층 재료에 고유의 발광파장(가시광역)에서의 도전성 재료의 광 투과성에 의거한다. 즉, 형광체층에서 사출되는 광에 대하여 투명하면, 방전유지전극이나 어드레스 전극을 구성하는 도전성 재료는 투명하다고 말할 수 있다.
불투명한 도전성 재료로서, Ni, Al, Au, Ag, Pd/Ag, Cr, Ta, Cu, Ba, LaB6, Ca0.2La0.8CrO3등의 재료를, 단독 또는 적의하게 편성하여 사용할 수 있다. 투명한 도전성 재료로서는, ITO(인듐·석산화물)나 SnO2를 들 수 있다. 방전유지전극(12) 또는 어드레스 전극(22)은, 스퍼터링법, 증착법, 스크린 인쇄법, 메키법 등에 의해 형성할 수 있고, 포토 리소그래피법, 샌드블라스트법, 리프트 오프법 등에 의해 패턴가공된다. 방전유지전극(12)의 전압폭은, 특별히 한정되지 않지만, 200∼400μm정도이다. 또, 이들의 쌍으로 되는 방전유지전극(12) 상호간의 방전 갭(W1)은, 특별히 한정되지는 않지만, 바람직하게는 5∼150μm정도이다. 또, 어드레스 전극(22)의 폭은, 예를 들면 50∼100μm정도이다.
버스 전극(13)은, 전형적으로는, 금속재료, 예를 들면, Ag, Au, Al, Cu, Mo, Cr 등의 단층금속막, 혹은 Cr/Cu/Cr 등의 적층막등으로부터 구성할 수 있다. 이러한 금속재료로부터 이루는 버스전극(13)은, 반사형의 플라즈마 표시장치에 있어서는, 형광체층에서 방사되는 제 1기판(11)을 통과하는 가시광의 투과광량을 저감시키고, 표시화면의 휘도를 저하시키는 요인으로 될 수 있으므로, 방전유지전극 전체에 요구되는 전기저항치가 얻어지는 범위내에서 될 수 있는 한 상세히 형성하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 버스전극(13)의 전극폭은, 방전유지 전극(12)의 전극폭보다도 작고, 예를 들면 30∼200μm정도이다. 버스전극(13)은, 방전유지전극(12)등과 동일한 방법에 의해 형성 할 수 있다.
또, 버스전극(13)은, 통상, 한 쌍의 각 방전유지전극(12)에서의 방전 갭(W1)측의 단부가 아닌, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제 2방향(Y)에서의 화소(P1)와 화소(P1)와의 화소간 인접극간측의 단부에, 각 방전유지전극(12)의 긴쪽 방향에 따라서 접속하여 형성하고 있다. 각 방전유지전극(12)에서의 방전 갭(W1)의 위치에 있어서, 방전공간(4)에 있어서의 표시광의 휘도가 가장 높게 고려되고, 이 위치의 가까이에 차광성의 버스전극(13)을 배치하는 것은, 전체적인 휘도를 저하시킴과 고려되고 있는 것으로부터, 버스 전극(13)은, 상기의 위치에 배치하고 있다.
방전유지전극(12)의 표면에 형성되는 유전체층(14)은, 예를 들면 단층의 실리콘 산화물층으로 구성하고 있지만, 다층막이라도 좋다. 이 실리콘 산화물층에서 이루는 유전체층(14)은, 예를 들면, 전자 빔 증착법이나 스퍼터링법, 증착법, 스크린 인쇄법 등에 의거하여, 형성되어 있다. 유전체층(14)의 두께는, 특별히 한정되지는 않지만, 본 실시형태에서는, 1∼10μm이다.
유전체층(14)을 설치함으로써, 방전공간(4)내에 발생하는 이온이나 전자가, 방전유지전극(12)과 직접으로 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 방전유지전극(12)의 마모를 방지할 수 있다. 유전체층(14)은, 어드레스 기간에 발생하는 벽전하를 축적하고 방전상태를 유지하는 메모리 기능, 과잉한 방전전류를 제한하는 저항체로서의 기능을 가진다.
유전체층(14)의 방전공간측 표면에 형성하여 있는 보호층(15)은, 유전체층(14)을 보호하고, 이온이나 전자와 방전유지전극과의 직접 접촉을 방지하는 작용을 이룬다. 그 결과, 방전유지전극(12) 및 유전체층(14)의 마모를 효율적으로 방지할 수 있다. 또, 보호층(15)은, 방전에 필요한 2차 전자를 방출하는 기능도 가진다. 보호층(15)을 구성하는 재료로서, 산화 마그네슘(MgO), 불소화 마그네슘(MgF2), 불소화 칼슘(CaF2)을 예시 할 수 있다. 그 중에도 산화 마그네슘은, 화학적으로 안정하고, 스퍼터링율이 낮고, 형광체층의 발광 파장에서의 광 투과율이 높고, 방전개시전압이 낮은 등의 특색을 가지는 호적한 재료이다. 더욱이, 보호층(15)을, 이들의 재료에서 이루는 군에서 선택된 적어도 2종류의 재료로부터 구성된 적층막 구조로서도 좋다.
제 1기판(11) 및 제 2기판(21)의 구성재료로서, 고왜점(歪点) 유리, 소다 유리(Na2O·CaO·SiO2), 붕산 유리(Na2O·B2O3·SiO2), 폴스텔라이트(2MgO·SiO2), 연 유리(Na2O·PbO·SiO2)를 예시할 수 있다. 제 1기판(11)과 제 2기판(21)의 구성재료는, 같은 것도 다른 것도 좋지만, 열팽창 계수가 같은 것이 바람직하다.
형광체층(25R, 25G, 25B)은, 예를 들면, 적색을 발광하는 형광체층 재료, 녹색을 발광하는 형광체층 재료 및 청색을 발광하는 형광체층 재료로부터 이루는 군에서 선택된 형광체층 재료로 구성되고, 어드레스 전극(22)의 상방에 설치되어 있다. 플라즈마 표시장치가 컬러 표시의 경우, 구체적으로는, 예를 들면, 적색을 발광하는 형광체층 재료로부터 구성된 형광체층(적색형광체층 25R)이 어드레스 전극(22)의 상방에 설치되고, 녹색을 발광하는 형광체층 재료로 구성된 형광체층(녹색형광체층 25G)이 다른 어드레스 전극(22)의 상방에 설치되고, 청색을 발광하는 형광체층 재료로 구성된 형광체층(청색형광체층 25B)이 도 다른 어드레스 전극(22)의 상방에 설치되어 있으며, 이들의 3원색을 발광하는 형광체층이 1조가 되고, 소정의 순서에 따라서 설치되어 있다. 그리고, 상술한 바와 같이, 한 쌍의 방전유지전극(12)과, 이들의 3원색을 발광하는 1조의 형광체층(25R, 25G, 25B)이 중복하는 영역이, 1화소(P1)에 상당한다.
형광체층(25R, 25G, 25B)을 구성하는 형광체층 재료로서는, 종래 공지의 형광체층 재료 중에서, 양자효율이 높고, 진공자외선에 대한 포화가 적은 형광체층 재료를 적의 선택하여 사용할 수 있다. 컬러 표시를 상정한 경우, 색순도가 NTSC에 규정되는 3원색에 가깝고, 3원색을 혼합 한 때의 백 밸런스가 취해지고, 잔광시간이 짧고, 3원색의 잔광시간이 거의 같게 되는 형광체층 재료를 편성하는 것이 바람직하다.
형광체층 재료의 구체적인 예시를 다음에 나타낸다. 예를 들면 적색으로 발광하는 형광체층 재료로서, (Y2O3:Eu), (YBO3:Eu), (YVO4:Eu), (Y0.96P0.60V0.40O4: Eu0.04), [(Y, Gd) BO3:Eu], (GdBO3:Eu), (ScBO3:Eu), (3.5MgO·0.5MgF2·GeO2:Mn), 녹색으로 발광하는 형광체층 재료로서, (ZnSiO2:Mn), (BaAl12O19:Mn), (BaMg2Al16O27: Mn), (MgGa2O4:Mn), (YBO3:Tb), (LuBO3:Tb), (Sr4Si3O8Cl4:Eu), 청색으로 발광하는 형광체층 재료로서, (Y2SiO5:Ce), (CaWO4:Pb), CaWO4, YP0.85V0.15O4, (BaMgAL14O23:Eu), (Sr2P2O7:Eu), (Sr2P2O7:Sn) 등이 예시된다.
형광체층(25R, 25G, 25B)의 형성방법으로서, 후막인쇄법, 형광체층 입자를 스프레이하는 방법, 형광체층의 형성예정부위에 미리 점착성물질을 부착하고, 형광체층 입자를 부착시키는 방법, 감광성의 형광체층 페이스트를 사용하고, 노광 및 현상에 의해 형광체층을 패터닝하는 방법, 전면에 형광체층을 형성한 후에 불요부를 샌드블라스트법에 의해 제거하는 방법을 들 수 있다.
더욱이, 형광체층(25R, 25G, 25B)은 어드레스 전극(22) 상에 직접 형성되어 있어도 좋고, 어드레스 전극(22)상에서 격벽 리브(24)의 측벽면 상에 걸쳐서 형성되어 있어도 좋다. 혹은 또, 형광체층(25R, 25G, 25B)은, 어드레스 전극(22)상에 설치된 절연체막(23)상에 형성되어 있어도 좋고, 어드레스 전극(22)상에 설치된 절연체막(23)상에서 격벽 리브(24)의 측벽면상에 걸쳐서 형성되어 있어도 좋다. 더욱이는, 형광체층(25R, 25G, 25B)은, 격벽 리브(24)의 측벽면상으로만 형성되어 있어도 좋다. 절연체막(23)의 구성재료로서, 예를 들면 저융점 유리나 SiO2를 들 수 있다.
본 실시형태에서는, 격벽 리브(24)는, 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 전체적으로는 와플형상 패턴이고, 제 2방향(Y)에 연장되는 거의 평행한 복수의 종 리브(24a)와, 제 1방향(X)에 연장되는 거의 평행한 복수의 횡 리브(24b)를 가진다. 각 종 리브(24a)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 어드레스 전극(22)의 사이에 위치하도록, 어드레스 전극(22)과 거의 평행으로 배치하고 있다. 횡 리브(24b)는, 종 리브(24a)와 일체적으로 형성되고, 종 리브(24a)와 같은 높이를 가지고 있다. 이 횡 리브(24b)는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 1화소를 구성하는 한 쌍의 방전유지전극(12)과, 다른 1화소를 구성하는 한 쌍의 방전유지전극(12)과의 사이에존재하는 화소간 인접극간에 대응한 위치에 형성하고 있다. 즉, 각 횡 리브(24b)는, 제 2방향(Y)에 인접하는 화소간의 버스전극(13)의 사이에 형성하고 있다.
본 실시형태에는, 횡 리브(24b)가, 2열의 리브 요소로부터 이루며, 게다가, 각 리브 요소는, 각 종 리브(24a)의 사이에서, 제 2방향(Y)에 따른 화소 사이를 연결하는 절결부(26)를 지닌다. 절결부(26)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 횡 리브(24b)를 구성하는 인접한 리브요소(복렬 리브) 사이에서는, 같은 위치에 형성하고 있지만, 유지전극(12)을 끼워서 이웃하는 횡 리브(24b)와의 사이의 관계에서는, 횡 리브(24b)는, 서로 다른 위치에 형성하고 있다. 예를 들면, 제 2방향(Y)에 연장하는 한개의 종 리브(24a)에 주목하면, 복렬 리브의 횡 리브(24b)는, 어떤 위치에는, 종 리브(24a)에서 좌측으로 갈라지고, 그 제 2방향(Y)의 이웃에는, 우측으로 갈라지도록 연장되고, 각 횡 리브(24b)의 갈라지는 선단부는, 이웃하는 종 리브(24a)에는 접합되지 않고, 그 위치에서 절결부(26)가 형성하고 있다.
본 실시형태에서는, 횡 리브(24b)를 구성하는 2열의 횡 리브 요소의 사이에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반사방지구(24c)가 형성하고 있다. 반사방지구(24c)에 대하여 표시면측에서 유입되는 외광은, 반사방지구(24c)의 측벽사이에서 반사를 반복하여 감쇠하고, 표시면측에서 바깥으로는 나오기 어렵게 되어 있다. 반사방지구(24c)의 저부는, 절연체막(23)까지 도달하여도 좋지만, 거기 까지의 깊이는 아니어도 좋다.
2열의 횡 리브 요소에서 이루는 횡 리브(24b)의 모든 폭(W3)은, 종리브(24a)의 리브 폭(W4)에 대해서, 1∼6배, 바람직하게는, 4∼6배가 되고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 화소간 인접극간의 폭(W2)에 대해서는, 0.7∼2.0배의 사이즈가 되는 것이 바람직하다.
본 실시형태에서는, 각 횡 리브요소의 폭(W5)은, 종 리브(24a)의 폭(W4)과 거의 동일하게 된다. 종 리브(24a)의 폭(W4)은, 특별히 한정되지는 않지만, 예를 들면 30∼60μm정도이다. 또, 반사방지구(24c)의 제 2방향의 폭(W6)은, 모든 폭(W3)에서 폭(W5)의 2배를 인가한 크기이다.
도 3에 나타낸 각 절결부(26)의 제 1방향의 폭(W7)은, 본 실시형태에서는, 격벽 리브(24)에서의 종 리브(24a)의 리브폭(W4)의 1/2∼1배의 사이즈가 되고, 구체적으로는 30∼50μm정도이다. 각 절결부(26)의 깊이는, 격벽 리브(24)의 높이와 동일하다.
상술한 패턴을 지닌 격벽 리브(24)의 구성재료로서, 종래 공지의 절연재료를 사용할 수 있고, 예를 들면 넓게 사용되고 있는 저융점유리에 알루미나 등의 금속 산화물을 혼합한 재료를 사용할 수 있다. 격벽 리브(24)의 높이는 50∼200μm 정도이다. 격벽 리브(24)에 있어서 종 리브(24a) 사이의 피치간격은, 예를 들면 50∼400μm정도이다. 격벽 리브(24)에서의 횡 리브(24b) 사이의 피치간격은, 종 리브(24a)의 피치의 거의 3배 정도이다.
더욱이, 본 실시형태에는, 격벽 리브(24)의 전체를 흑색 또는 흑색에 가까운 색으로서, 이른바 블랙·매트리스를 형성하고, 표시화면에서의 또 다른 높이 콘트라스트화를 도모하여도 좋다. 격벽 리브(24)를 검게하는 방법으로서, 흑색 또는 흑색에 가까운 색의 착색안료가 함유된 격벽 리브재료를 사용하여 격벽 리브를 형성하는 방법을 예시할 수 있다. 흑색계의 착색안료로서는, 철, 망간, 크롬 등의 금속산화물이 예시된다.
격벽 리브(24)에 의해 둘러싸인 방전공간의 내부에, 혼합가스로부터 이루는 방전가스가 봉입되어 있고, 형광체층(25R, 25G, 25B)은, 방전공간(4)내의 방전가스 사이에서 생긴 교류 글로방전에 의거하여 발생한 자외선으로 조사되어 발광한다.
플라즈마 표시장치의 제조방법
다음에, 본 발명의 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치의 제조방법에 대해서 설명한다.
제 1패널(10)은, 이하의 방법으로 제조할 수 있다. 우선, 고왜점(歪点)유리나 소다유리로부터 이루는 제 1기판(11)의 전면에 예를 들면 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하고, 포토 리소그래피 기술 및 에칭기술에 의해 ITO층을 스트라이프형으로 패터닝함으로써, 한 쌍의 방전유지전극(12)을, 복수, 형성한다. 방전유지전극(12)은, 제 1방향(X)에 연장되어 있다.
다음에, 제 1기판(11)의 내면 전면에, 예를 들면 증착법에 의해 알루미늄막을 형성하고, 포토 리소그래피 기술 및 에칭 기술에 의해 알루미늄막을 패터닝함으로써, 각 방전유지전극(12)의 연부에 따라서 버스전극(13)을 형성한다. 그 후, 버스전극(13)이 형성된 제 1기판(11)의 내면 전면에 실리콘산화물(SiO2)층으로부터 이루는 유전체층(14)을 형성한다.
본 실시형태에서는, 유전체층(14) 형성의 형성방법은 특별히 한정되지 않고, 전자 빔 증착법이나 스퍼터링법, 증착법, 스크린 인쇄법 등이 예시된다.
다음에, 유전체층(14)의 위에, 전자빔 증착법 또는 스퍼터닝법에 의해 두께 0.6μm의 산화 마그네슘(MgO)으로부터 이루는 보호층(15)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제 1패널(10)을 완성할 수 있다.
또, 제 2패널(20)을 이하의 방법으로 제작한다. 우선, 고왜점유리나 소다유리로부터 이루는 제 2기판(21) 상에, 예를 들면 증착법에 의해 알루미늄막을 형성하고, 포토 리소그래피기술 및 에칭기술에 의해 패터닝 하는 것으로서, 어드레스 전극(22)을 형성한다. 어드레스 전극(22)은, 제 1방향(X)과 직교하는 제 2방향(Y)에 연장되어 있다. 다음에, 스크린 인쇄법에 의해 전면에 저융점유리 페이스트층을 형성하고, 이 저융점 유리 페이스트층을 소성함으로써 절연체막(23)을 형성한다.
그 후, 절연체층(23) 상에, 도 1∼도 3에 나타내는 패턴이 되도록, 격벽 리브(24)를 형성한다. 이 때의 형성방법은, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 스크린 인쇄법, 샌드 블라스트법, 드라이 필름법, 감광법 등을 예시할 수 있다. 드라이 필름법은, 기판상에 감광성 필름을 래미네이트하고, 노광 및 현상에 의해 격벽 리브 형성예정부위의 감광성 필름을 제거하고, 제거에 의해 생긴 개구부에 격벽 리브 형성용의 재료를 채워 넣고, 소성하는 방법이다. 감광성 필름은 소성에 의해 연소, 제거되고, 개구부에 채워 넣어진 격벽 리브 형성용의 재료가 남고, 격벽 리브(24)가 된다. 감광법은, 기판상에 감광성을 가지는 격벽 리브 형성용의 재료층을 형성하고, 노광 및 현상에 의해 이 재료층을 패터닝 한 후, 소성을 행하는 방법이다.
소성(격벽 리브 소성공정)은, 공기중에서 행하고, 소성온도는 560℃정도이다. 소성시간은, 2시간 정도이다.
다음에, 제 2기판(21)에 형성된 격벽 리브(24)의 사이에 3원색의 형광체층 슬러리를 순차 인쇄한다. 그 후, 이 제 2기판(21)을, 소성로내에서 소성하고, 격벽 리브(24) 사이의 절연체층상에서 격벽 리브(24)의 측벽면상에 걸쳐서, 형광체층(25R, 25G, 25B)을 형성한다. 그 때의 소성(형광체 소성공정) 온도는, 510℃정도이다. 소성시간은, 10분정도이다.
다음에, 플라즈마 표시장치의 구성을 행한다. 즉, 우선, 예를 들면 스크린 인쇄에 의해, 제 2패널(20)의 주연(周緣)부에 실층을 형성한다. 다음에, 제 1패널(10)과 제 2패널(20)을 서로 접합시켜서, 소성하여 실층을 경화시킨다. 그 후, 제 1패널(10)과 제 2패널(20)과의 사이에 형성된 공간을 배기한 후, 방전가스를 봉입하고, 이러한 공간을 봉지하여, 플라즈마 표시장치(2)를 완성시킨다.
이러한 구성을 가지는 플라즈마 표시장치의 교류 글로 방전동작의 일예를 설명한다. 우선, 예를 들면, 전체의 한 쪽의 방전유지전극(12)에, 방전개시전압(Vbd)보다도 높은 패널전압을 단시간 인가한다. 이것에 의해 글로방전이 생기고, 쌍방의 방전유지전극(12) 근방의 유전체층(14)의 표면으로 상호에 반대극의 전하가 부착하고, 벽전하가 축적하고, 외관의 방전개시전압이 저하한다.그 후, 어드레스 전압(22)에 전압을 인가하면서, 표시시키지 않은 방전 셀에 포함되는 한 쪽의 방전유지전극(12)에 전압을 인가함으로써, 어드레스 전극(22)과 한쪽의 방전유지전극(12)과의 사이에 글로방전을 발생시키고, 축적된 벽전하를 소거한다. 이 소거방전을 각 어드레스 전극(22)에 있어서 순차 실행한다. 한편, 표시를 시키는 방전셀에 포함되는 한 쪽의 방전유지전극에는 전압을 인가하지 않는다. 이것에 의해, 벽전하의 축적을 유지한다. 그 후, 전체의 한쌍의 방전유지전극(12)간에 소정의 펄스전압을 인가함으로써, 벽전하가 축적되어 있던 셀에 있어서는 한 쌍의 방전유지전극(12)의 사이에서 글로방전이 개시하고, 방전셀에 있어서는, 방전공간내에서의 방전가스 중에서의 글로 방전에 의거하여 발생한 진공자외선의 조사에 의해 여기된 형광체층이, 형광체층 재료의 종류에 따른 특유의 발광색을 나타낸다. 더욱이, 한 쪽의 방전유지전극과 다른 쪽의 방전유지전극에 인가되는 방전유지전압의 위상은 반주기 어긋나 있고, 전극의 극성은 교류의 주파수에 따라 반전한다.
본 실시형태의 플라즈마 표시장치(2)에서는, 횡 리브(24b)의 각각을, 2열 이상의 횡 리브 요소로서 구성하는 것으로서, 종 리브 및 횡 리브가 전부 1렬의 리브요소로 구성하여 있는 종래의 플라즈마 표시장치에 비교하여, 콘트라스트가 향상한다.
또, 횡 리브요소(24b)의 사이에 반사방지구(24c)를 형성하는 것으로서, 반사방지구(24c)에 넣은 외광이 바깥으로 나오기 어렵게 되고, 외광 콘트라스트가 더욱 향상한다.
더욱이, 본 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치(2)에서는, 횡 리브(24b)가, 상기 종 리브(24a)사이에서, 절결부(26)를 지니기 때문에, 형광체층(25R, 25G, 25B)의 인쇄에 있어서, 격벽 리브(24)로 둘러싸인 공간의 저부에 떨어뜨려 넣은 형광체 페이스트가, 절결부(26)를 통하고, 화소 사이를 이동할 수 있다. 그 결과, 격벽 리브(24)로 둘러싸인 공간의 저부에 형광체 페이스트를 떨어 뜨려 넣어 인쇄하는 것이 용이하고, 형광체의 도포량의 불균일이 생기기 어렵게 된다.
(제 2실시형태)
본 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치는, 도 1∼도 3에 나타낸 플라즈마 표시장치(2)의 변형예이고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 2열의 횡 리브요소로부터 이루는 횡 리브(124b)에 형성되는 절결부(126)의 위치만이 상위한다. 이하의 설명에서는, 상기 제 1실시형태와 공통하는 부분은, 도면에 있어서 공통하는 부호를 붙이는 동시에, 공통하는 부분의 설명은 생략하고, 상위점에 대해서만 상세하게 설명한다.
도 4에 나타난 패턴의 격벽 리브(124)에서는, 종 리브(124a)로부터 갈라져 나온 횡 리브(124b)에 형성되는 절결부(126)는, 종 리브(124a) 사이의 중앙부에 있어서, 제 2방향(Y)에 따라서 같은 위치에 형성하고 있다.
본 실시형태에 있어서도, 상기 제 1실시형태와 동일한 작용효과를 이룬다.
(제 3실시형태)
본 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치는, 도 1∼도 3에 나타낸 플라즈마 표시장치(2)의 변형예이고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 2열의 횡리브 요소로부터 이루는 횡 리브(224b)에 형성되는 절결부(226)의 위치만이 상위한다. 이하의 설명에서는, 상기 제 1실시형태와 공통하는 부분은, 도면에 있어서 공통하는 부호를 붙이는 동시에, 공통하는 부분의 설명은 생략하고, 상위점에 대해서만 상세하게 설명한다.
도 5에 나타낸 패턴의 격벽 리브(224)에서는, 2열의 리브요소로부터 이루는 횡 리브(224b)에 형성되는 절결부(226)는, 각 횡 리브(224b)의 양측에 있어서, 제 2방향(Y)에 따라서 같은 위치에 형성하고 있다. 즉, 도 5에 나타낸 격벽 리브(224)에서는, 횡 리브(224b)는, 종 리브(224a)의 사이에 형성되고, 종 리브(224a)에는 연결되지 않는다.
본 실시형태에 있어서도, 상기 제 1실시형태와 동일한 작용효과를 이룬다.
(제 4실시형태)
본 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치는, 도 1∼도 3에 나타낸 플라즈마 표시장치(2)의 변형예이고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 2열의 횡 리브 요소로부터 이루는 횡 리브(324b)에 형성되는 절결부(326)의 위치만이 상위한다. 이하의 설명에서는, 상기 제 1실시형태와 공통하는 부분은, 도면에 있어서 공통하는 부호를 붙이는 동시에, 공통하는 부분의 설명은 생략하고, 상위점에 대해서만 상세하게 설명한다.
도 6에 나타낸 패턴의 격벽 리브(324)에서는, 2열의 리브요소로부터 이루는 횡 리브(324b)에 형성되는 절결부(226)는, 인접하는 리브요소의 상호간에서, 제 2방향(Y)에 따라서 연결되지 않은 서로 다른 위치에 형성하고 있다. 즉, 횡 리브(324b)는, 평면에서 보면, 래비린스(labyrinth)형상으로 되어 있다.
본 실시형태에 있어서도, 상기 제 1실시형태와 동일한 작용효과를 이룸과 함께, 더욱이, 제 2방향(Y)에 따른 방전공간내의 크로스 토크를 방지하고, 형광체 도료의 흐르기 쉬움을 확보할 수 있다.
(제 5실시형태)
본 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치는, 도 1∼도 3에 나타낸 플라즈마 표시장치(2)의 변형예이고, 도 7에 나타낸 바와 같이, 2열의 횡 리브 요소로부터 이루는 횡 리브(424b)에는, 절결부가 형성되지 않고, 스트라이프형으로 형성하고, 종 리브(424a)에 절결부(426)가 형성되는 점만이 상위한다. 이하의 설명에서는, 상기 제 1실시형태와 공통하는 부분은, 도면에 있어서 공통하는 부호를 붙이는 동시에, 공통하는 부분의 설명은 생략하고, 상위점에 대해서만 상세하게 설명한다.
도 7에 나타낸 패턴의 격벽 리브(424)에서는, 2열의 리브요소로 이루는 횡 리브(424b)는, 제 1방향(X)에 따라서 스트라이프형으로 연장되고, 종 리브(424a)에는, 횡 리브(424b)와 교착하는 위치에 있어서, 절결(426)이 형성하여 있다. 종 리브(424a)에 형성된 절결부(426)에 있어서, 횡 리브(424b)와의 제 2방향(Y)의 폭(W7)은, 전술한 실시형태에 있어서, 횡 리브에 형성하여 있는 절결부의 제 2방향의 폭(W7)과 동일하다.
본 실시형태에 있어서도, 상기 제 1실시형태와 동일한 작용효과를 이룸과 동시에, 횡 리브(424b)에 절결부가 형성되지 않은 점에서, 전술한 실시형태에 비교하여, 외광 콘트라스트의 또 다른 향상이 기대할 수 있다.
(제 6실시형태)
본 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치는, 도 1∼도 3에 나타낸 플라즈마 표시장치(2)의 변형예이고, 도 8에 나타낸 바와 같이, 2열의 횡 리브 요소로부터 이루는 횡 리브(524b)에 형성되는 절결부의 위치가 다른 동시에, 종 리브(524a)에 절결부(526)가 형성되는 점만이 상위한다. 이하의 설명에서는, 상기 제 1실시형태와 공통하는 부분은, 도면에 있어서 공통하는 부호를 붙이는 동시에, 공통하는 부분의 설명은 생략하고, 상위점에 대해서만 상세하게 설명한다.
도 8에 나타낸 패턴의 격벽 리브(524)에서는, 2열의 리브요소로부터 이루는 횡 리브(524b)는, 제 1방향(X)에 따라서, 종 리브(524a)와의 교착부에 있어서, 절결부(526b)를 가지고, 종 리브(524a)는, 횡 리브(524b)와 교착하는 위치에 있어서, 절결(526)을 가진다. 횡 리브(524a)에 형성된 절결부(526a)에 있어서, 횡 리브(524b)와의 제 2방향의 폭(W7)은, 전술한 실시형태에 있어서, 횡 리브에 형성하고 있는 절결부의 제 2방향의 폭(W7)과 동일하다. 또, 횡 리브(524b)에 형성되는 절결부(526b)의 제 1방향(X)의 폭은, 상기 폭(W7)과 같다.
본 실시형태에 있어서도, 상기 제 1실시형태와 동일한 작용효과를 이루는 동시에, 제 1방향(X) 및 제 2방향(Y)에서의 크로스 토크방지의 관점에서도 바람직하다.
(제 7실시형태)
본 실시형태는, 도 6에 나타낸 플라즈마 표시장치(2)의 변형예이고, 도 9에 나타낸 바와 같이, 격벽 리브(624)의 패턴만이 상위한다. 이하의 설명에서는,도 6에 나타낸 실시형태와 공통하는 부분은, 도면에 있어서 공통하는 부호를 붙이는 동시에, 공통하는 부분의 설명은 생략하고, 상위점에 대해서만 상세하게 설명한다.
도 9에 나타낸 패턴의 격벽 리브(624)에서는, 종 리브(624a)가 사행형상 또는 지그재그형상(혹은 그 다른 형상도 포함)으로 형성하여 있다. 인접하는 종 리브(624a)의 사이에, 다각형상 등의 방전공간이, 제 1방향(X) 및 제 2방향(Y)에 따라서 지그재그형으로 배치되도록 되어 있다. 그리고, 인접하는 종 리브(624a) 상호간의 거리가 가장 가까운 위치에, 2열의 리브요소로 이루는 횡 리브(624b)가 형성하여 있다.
2열의 리브요소로 이루는 횡 리브(624b)에 형성되는 절결부(626)는, 인접하는 리브요소의 상호간에서, 제 2방향(Y)에 따라서 연속하지 않은 서로 다른 위치에 형성하여 있다. 즉, 횡 리브(624b)는, 평면에서 보면, 래비린스형상으로 되어 있다.
본 실시형태에 있어서도, 도 6에 나타낸 실시형태와 동일한 작용효과를 이룸과 동시에, 더욱이, 다음에 나타나는 작용효과를 이룬다.
즉, 종래의 미앤더 구조, 와플구조, 혹은 그 외, 종 리브가 직선형이 아닌 구조의 특수 리브구조에 있어서, 본 발명을 채용하는 것으로서, 격벽 리브의 강도가 더욱 증대함과 함께, 종 방향 크로스 토크나 노이즈를 더욱 저감하는 것이 가능하게 된다.
또, 이와 같은 더블 와플구조에서는, 횡 리브요소간에 반사방지구(624c)가형성되게 되기 때문에, 더욱 콘트라스트의 향상을 도모할 수 있다. 이들의 와플구조에서는, 외광반사를 저감할 수 있다.
(그 외 실시형태)
더욱이, 본 발명은, 상술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위내에서 여러 가지로 개변할 수 있다.
예를 들면, 본 발명에서는, 플라즈마 표시장치의 구체적인 구조는, 도 1∼도 9에 나타낸 실시형태에 한정되지 않고, 그 외 구조로 되어도 좋다.
이하, 본 발명을, 더욱 상세한 실시예에 의거하여 설명하지만, 본 발명은, 이들 실시예에 한정되지 않는다.
실시예 1
제 1패널(10)은, 이하의 방법으로 제작한다. 우선, 고왜점유리나 소다유리로부터 이루는 제 1기판(11)의 전면에, 예를 들면 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하고, 포토 리소그래피기술 및 에칭기술에 의해 ITO층을 스트라이프형으로 패터닝함으로써, 한 쌍의 방전유지전극(12)을, 복수, 형성하였다.
다음에, 제 1기판(11)의 내면 전면에, 예를 들면 증착법에 의해 알루미늄막을 형성하고, 포토 리소그래피기술 및 에칭기술에 의해 알루미늄막을 패터닝 함으로써, 각 방전유지전극(12)의 연부에 따라서 버스전극(13)을 형성한다.
그 후, 버스전극(13)이 형성된 제 1기판(11)의 내면 전면에 실리콘 산화물(SiO2)층으로부터 이루는 유전체층(14)을 형성한다. 이 실리콘산화물(SiO2)층의 두께는, 약 6μm가 된다.
다음에, 이 실리콘 산화물층에서 이루는 유전체층(14)의 상에 전자빔 증착법에 의해 두께 0.6μm의 산화 마그네슘(MgO)에서 이루는 보호층(15)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제 1패널(10)을 완성할 수 있었다.
또, 제 2패널(20)을 이하의 방법에서 제작하였다. 우선, 고왜점 유리나 소다유리로부터 이루는 제 2의 기판(21)상에, 어드레스 전극(22)을 형성한다. 다음에, 스크린 인쇄법에 의해 전면에 저융점유리 페이스트층을 형성하고, 이 저융점유리 페이스트층을 소성함으로써 절연체막(23)을 형성하였다.
그 후, 절연체막(23)상에, 예를 들면 스크린 인쇄법에 의해 저융점 유리 페이스트를 인쇄하였다. 그 후, 이 제 2기판(21)을, 소성로내에서 소성하고, 도 7에 나타낸 패턴의 격벽 리브(24)를 형성하였다. 이 때의 소성(격벽 리브 소성공정)은, 공기중에서 행하고, 소성온도는 560℃정도, 소성시간은, 2시간 정도가 된다.
다음에, 제 2기판(21)에 형성된 격벽 리브(24)의 사이에 3원색의 형광체층 슬러리를 순차인쇄하였다. 그 후, 이 제 2기판(21)을, 소성로내에서 소성하고, 격벽 리브(24)의 사이의 절연체막상에서 격벽 리브(24)의 측벽면상에 걸쳐서, 형광체층(25R, 25G, 25B)을 형성하고, 510℃ 및 10분의 소성을 행하고, 제 2패널(20)을 완성시켰다.
다음에, 플라즈마 표시장치의 조립을 행한다. 즉, 우선, 스크린 인쇄에의해, 제 2패널(20)의 주연부에 실층을 형성하였다. 다음에, 제 1패널(10)과 제 2패널(20)을 서로 접합시켜서, 소성하여 실층을 경화시켰다. 그 후, 제 1패널(10)과 제 2패널(20)과의 사이에 형성된 공간을 배기한 후, 방전가스를 봉입하고, 이러한 공간을 봉지하여, 플라즈마 표시장치(2)를 완성시켰다. 방전가스로서는, Xe 100%를 사용하고, 30kPa의 압력에서 봉입하였다.
이 플라즈마 표시장치에 대해서, 표시화면에서의 콘트라스트의 측정을 행하였다. 측정에 따라서는, JIS C6101-1988에 의한 텔레비전 수신기 시험방법에 의거하여 행하였다.
본 실시예에서는, 콘트라스트의 평가의 기준인 흑농도비가, 23.7이었다. 흑농도비는, 그 값이 낮은 만큼, 콘트라스트가 높다고 판단할 수 있다.
더욱이, 본 실시예서는, 격벽 리브(24)는, 흑색이고, 절연체막(23)은, 투명하였다. 또, 본 실시예서는, 방전 갭(W1)이, 20μm이고, 화소간 인접극간의 폭(W2)은, 횡 리브의 모든 폭(W3)과 같은 224μm이고, 종 리브의 폭(W4)은 50μm이었다.
비교예 1
각 횡 리브를, 2열이 아닌 1열의 리브로 하고, 그 리브 폭을 종 리브의 폭과 같은 50μm로 한 이외는, 실시예 1과 동일하게 하고, 플라즈마 표시장치를 제작하고, 동일한 측정을 행하였다. 콘트라스트의 평가의 기준인 흑농도비가, 36.7이었다.
평가
실시예 1과 비교예 1을 비교하여 아는 바와 같이, 각 횡 리브를 2열구조로 하는 것만으로, 콘트라스트가 향상하는 것이 확인 되었다.

Claims (10)

  1. 제 1기판의 내측에 제 1방향에 따라서 서로에 거의 평행으로 형성되는 복수 쌍의 방전유지전극과,
    상기 방전유지전극을 덮도록 상기 제 1기판의 내측에 형성되는 유전체층과,
    제 2기판의 내측에 형성되고, 상기 제 1기판과 제 2기판과의 사이에, 밀봉된 방전공간을 형성하기 위해 격벽 리브를 가지고,
    상기 격벽 리브가, 상기 제 1방향과 다른 제 2방향에 따라서 거의 평행으로 형성된 종 리브와, 상기 제 1방향에 따라서 거의 평행으로 형성된 횡 리브를 가지고,
    상기 종 리브 및/또는 횡 리브의 적어도 일부에, 상기 종 리브 및 횡 리브에 의해 둘러싸여진 공간 서로를, 상기 제 1방향 및/또는 제 2방향에 따라서 연락하는 절결부가 형성되어 있고,
    또한, 상기 횡 리브가, 2열 이상의 횡 리브 요소로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    인접하는 상기 횡 리브 요소의 사이에는, 반사방지구가 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 절결부가, 상기 횡 리브를 구성하는 2열 이상의 횡 리브 요소에 각각 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    인접하는 상기 횡 리브요소에 각각 형성되어 있는 절결부가, 제 2방향에 따라서 연속하지 않은 엇갈린 위치에 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 절결부의 제 1방향의 폭이, 상기 격벽 리브에 있어서의 종 리브의 폭이 1/2∼1배의 사이즈인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 횡 리브는, 1화소를 구성하는 한 쌍의 상기 방전유지전극과, 다른 1호소를 구성하는 1쌍의 상기 방전유지전극과의 사이에 존재하는 화소간 인접극간에 대응하는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 종 리브에, 상기 절결부가 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시장치.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 격벽 리브의 적어도 정부가 흑색 또는 흑색에 가까운 색인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제 2기판의 표면에는, 상기 제 2방향에 따라서 상호에 거의 평행으로 연장되는 어드레스 전극이 형성하고 있고,
    상기 어드레스 전극을 덮도록, 상기 제 2기판의 표면에 흑색 또는 흑색에 가까운 색의 절연체막이 형성하고 있고, 이 절연체막의 표면에 상기 격벽 리브가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
  10. 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제 2방향에 따라서 거의 평행으로 형성된 종 리브는, 상기 제 2방향에 따라서 직선형이 아닌, 사행(蛇行)형태 또는 지그재그 형태로 형성하고 있고, 인접하는 종 리브의 사이에, 방전공간이, 상기 제 1방향 및 제 2방향에 따라서 지그재그 형태로 배치되도록 되어 있고,
    인접하는 상기 종 리브 상호간의 거리가 가장 가까운 위치에, 상기 횡 리브가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
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