KR20010083103A - 교류 구동형 플라즈마 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

교류 구동형 플라즈마 표시 장치 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20010083103A
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오니키가즈나오
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이데이 노부유끼
소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

교류 구동형 플라즈마 표시 장치는 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지며, 이 유전체층의 두께는 1.5×10-5m 이하인 것을 특징으로 한다.

Description

교류 구동형 플라즈마 표시 장치 및 그 제조 방법 {ALTERNATING CURRENT DRIVEN TYPE PLASMA DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF}
본 발명은 유전체층에 특징을 갖는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
현재 주류를 이루고 있는 음극선관(CRT) 대신 화상 표시 장치로서 평면형(플랫 패널 형식)의 표시 장치가 여러 가지 검토되고 있다. 이와 같은 평면형 표시 장치로서, 액정 표시 장치(LCD), 일렉트로루미네센스 표시 장치(ELD), 플라즈마 표시 장치(PDP；플라즈마 디스플레이)를 예시할 수 있다. 그 중에서도 플라즈마 표시 장치는 대화면화나 광시야각화가 비교적 용이하고, 온도, 자기, 진동 등의 환경 요인에 대한 내성이 우수하며, 수명이 길다는 등의 장점을 가지고 가정용 벽걸이 TV 이외에 공공용 대형 정보 단말 기기로의 적용이 기대되고 있다.
플라즈마 표시 장치는 희가스(rare gas)를 봉입한 방전 셀에 전압을 인가하여 희가스 중에서의 글로 방전(glow discharge)에 의해 발생한 진공 자외선으로 방전 셀 내의 형광체층을 여기(勵起)시킴으로써 발광을 달성하는 표시 장치이다. 즉, 개개의 방전 셀은 형광등과 유사한 원리로 구동되며, 방전 셀이 통상 수십만 개에서 수백만 개의 오더로 집합되어 하나의 표시 화면이 구성되어 있다. 플라즈마 표시 장치는 방전 셀로의 전압 인가 방식에 따라 직류 구동형(DC형)과 교류 구동형(AC형)으로 크게 구분되며 각각 일장일단을 가진다. 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는 표시 화면 내에서 개개의 방전 셀을 구획하는 역할을 하는 격벽을 예를들면 스트라이프형으로 형성하면 되므로, 고정세화에 적합하다. 또한, 전극 표면이 유전체 재료로 덮여 있으므로 전극이 잘 마모되지 않아 수명이 길다는 장점을 가진다.
교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 전형적인 구성예의 일부 도식적인 분해 사시도를 도 7에 도시한다. 이 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는 이른 바 3전극형에 속하고, 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B) 사이에서 주로 글로 방전이 발생한다. 도 7에 도시한 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는 제1 패널(10；프론트 패널, front panel)과 제2 패널(20；리어 패널, rear panel)이 주연부에서 접합되어 이루어진다. 제2 패널(20) 상의 형광체층(24)의 발광은 제1 패널(10)을 통하여 관찰된다.
제1 패널(10)은 투명한 제1 기판(11)과, 제1 기판(11) 상에 스트라이프형으로 형성되며 투명 도전 재료로 이루어지는 쌍을 이룬 방전 유지 전극(제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B))과, 방전 유지 전극(12A, 12B)의 임피던스를 저하시키기 위해서 형성되며 방전 유지 전극(12A, 12B)보다 전기 저항률이 낮은 재료로 이루어지는 버스 전극(bus electrode；제1 버스 전극(13A) 및 제2 버스 전극(13B))과, 버스 전극(13A, 13B) 상 및 방전 유지 전극(12A, 12B) 상을 포함하는 제1 기판(11) 상에 형성된 유전체층(14)과, 유전체층(14) 상에 형성된 보호층(115)으로 구성되어 있다. 통상 유전체층(14)은 예를 들면 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성되고 보호층(115)은 산화 마그네슘(MgO)으로 구성되어 있다.
제2 패널(20)은 제2 기판(21)과, 제2 기판(21) 상에 스트라이프형으로 형성된 제2 전극(22；어드레스 전극(address electrode) 또는 데이터 전극(data electrode)으로도 불리움)과, 제2 전극(22) 상을 포함하는 제2 기판(21) 상에 형성된 유전체막(23)과, 유전체막(23) 상에서 인접한 제2 전극(22) 사이의 영역에 제2 전극(22)과 평행하게 연장되는 절연성 격벽(25)과, 유전체막(23) 상으로부터 격벽(25)의 측벽면 상에 걸쳐 형성된 형광체층(24)으로 구성되어 있다. 형광체층(24)은 적색 형광체층(24R), 녹색 형광체층(24G) 및 청색 형광체층(24B)으로 구성되어 있고, 이들 각 색의 형광체층(24R, 24G, 24B)이 소정의 순서에 따라 형성되어 있다. 도 7은 분해 사시도로서, 실제로는 제2 패널(20) 측의 격벽(25)의 정상부가 제1 패널(10) 측의 보호층(115)에 접촉되어 있다. 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B)과, 2개의 격벽(25) 사이에 위치하는 제2 전극(22)이 중복되는 영역이 방전 셀에 상당한다. 그리고, 인접한 격벽(25)과 형광체층(24)과 보호층(115)에 의해 둘러싸인 공간 내에는 희가스가 봉입되어 있다.
버스 전극(13A, 13B)이 연장되는 방향과 제2 전극(22)이 연장되는 방향은 90°각도를 이루고 있으며, 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B)과 3원색을 발광하는 형광체층(24R, 24G, 24B) 1세트가 중복되는 영역이 1화소에 상당한다. 글로 방전이 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B) 사이에서 발생하므로, 이 타입의 플라즈마 표시 장치는 "면 방전형(surface discharge type)"으로 불리운다. 방전 셀에서는 희가스 중에서의 글로 방전에 따라 발생한 진공 자외선의 조사(照射)에 의해 여기된 형광체층이 형광체 재료의 종류에 따른 특유의 발광색을 발생시킨다. 또, 봉입된 희가스의 종류에 따른 파장을 가지는 진공 자외선이 발생한다.
도 7에 도시한 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극(12A, 12B)과 버스 전극(13A, 13B)과 격벽(25)의 배치 관계를 도 6에 도식적으로 나타낸다. 그리고, 점선으로 둘러싸인 영역이 1화소에 상당한다. 각 구성 요소를 명확하게 하기 위해, 도 6에서 사선을 첨가한다. 1화소의 외형은 대략 정사각형이다. 1화소는 격벽(25)에 의해 3개의 구획(방전 셀)으로 구분되어 있고, 각 구획으로부터 3원색(R, G, B) 중 어느 하나가 발광한다. 이와 같은 구조를 가지는 제1 패널(10)을 도 6의 화살표 B－B를 따라 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도를 도 23에 도시한다.
또, 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극(12A, 12B)과 버스 전극(13A, 13B)과 격벽(25)의 배치 관계를 변형한 예를 도 14에 도식적으로 나타낸다. 이 변형예는 일본국 특개평 9－167565호 공보에 개시되어 있다. 이 변형예에서는 쌍을 이룬 버스 전극(13A, 13B) 각각으로부터 방전 유지 전극(12A, 12B)이 다른 버스 전극을 향하여 연장되어 있는 구조를 가진다. 이러한 구조를 가지는 제1 패널(10)을 도 6의 화살표 B－B와 같은 방향을 따라 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도는 도 23에 도시한 것과 동일하다.
통상, 방전 공간 내에 봉입되어 있는 방전 가스는 네온(Ne) 가스, 헬륨(He) 가스, 아르곤(Ar) 가스 등의 불활성 가스에 크세논(Xe) 가스를 4용적% 정도 혼합한 혼합 가스로 구성되어 있고, 혼합 가스의 전체 압력은 6×104Pa ∼ 7×104Pa 정도,크세논(Xe) 가스의 전체 압력은 3×103Pa 정도이다. 또, 한 쌍의 방전 유지 전극(12) 사이의 거리는 100㎛ 정도이다.
현재 상품화되어 있는 AC형 플라즈마 표시 장치에서는 그 휘도가 낮다는 것이 문제가 되고 있다. 예를 들면 42인치형 AC형 플라즈마 표시 장치의 휘도는 높아봐야 500cd/㎡ 정도이다. 또한, 실제로 AC형 플라즈마 표시 장치를 상품화할 때, 예를 들면 제1 패널(10)의 외측면에 전자파 차폐나 외광 반사 방지를 위한 시트나 필름을 접착할 필요가 있어 AC형 플라즈마 표시 장치의 실제 표시광은 상당히 어두워진다.
AC형 플라즈마 표시 장치의 제1 패널(10)에는 예를 들면 저융점 유리 페이스트와 같은 유전체 재료로 이루어지는 유전체층(14)으로 구성된 유전체층이 형성되어 있다. 유전체층(14)은 통상 스크린 인쇄법으로 형성된다. AC형 플라즈마 표시 장치의 구동에서는, 이 유전체층(14)에 전하를 축적시키고, 방전 유지 전극에 역방향의 전압을 인가함으로써 축적된 전하를 방출시키고 플라즈마를 발생시킨다. 휘도는 이 플라즈마로부터 발생하는 진공 자외선의 양에 따른다. 따라서, 휘도를 향상시키기 위해서는 유전체층(14)에 가능한 많은 전하를 축적시킬 필요가 있다.
그런데 플라즈마 표시 장치에도 점차 화소의 고밀도화, 고정세화, 저전압 구동에 대한 요구가 높아지고 있다. 화소의 고밀도화 및 저전압 구동화를 달성하기 위해서는 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B) 사이의 거리(방전 갭)를 좁힐 필요가 있다. 방전 갭을 좁히면, 유전체층(14)의 두께도 필연적으로 얇아질 수밖에 없다. 방전 갭에 대하여 유전체층(14)의 두께가 두꺼우면, 전기력선 대부분이 유전체층(14) 내를 통과하게 되고 그 결과 방전 갭 상방의 공간에서 글로 방전이 생기기 어려워지기 때문이다.
그러나, 유전체층(14)의 두께를 얇게 하면, 당연히 내전압(耐電壓)이 저하된다. 또한, 버스 전극(13A, 13B)의 두께는 방전 유지 전극(12A, 12B)의 두께보다 두껍고, 버스 전극(13A, 13B)의 정상면으로부터 제2 전극(22)의 정상면까지의 거리는 방전 유지 전극(12A, 12B)의 정상면으로부터 제2 전극(22)까지의 거리보다 짧다. 따라서, 유전체층(14)의 두께를 얇게 하면, 버스 전극(13A, 13B)의 특히 정상 가장자리 부분과 제2 전극(22) 사이에서 이상 방전이 발생하기 쉽게 되어 최악의 경우, 버스 전극(13A, 13B)의 손상이 발생한다.
따라서, 본 발명의 제1 목적은 휘도의 향상을 도모하기 위해 전하 축적량을 증가시킬 수 있는 구조를 가지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 제2 목적은 화소의 고밀도화, 저전압 구동 요구에 대처하기 위해, 쌍을 이룬 방전 유지 전극의 사이의 방전 갭을 좁히고, 유전체층의 두께를 얇게 한 경우에도 버스 전극과 어드레스 전극인 제2 전극 사이에서 이상 방전이 잘 발생하지 않는 구조를 가지는 플라즈마 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.
상기의 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층의 두께는 1.5×10-5m 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제1 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서, 유전체층 두께의 하한치는 예를 들면 5×10-7m, 바람직하게는 1×10-6m으로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 유전체층을 단층 구성으로 할 수도 있고 다층 구조로 할 수도 있다.
본 발명의 제1 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에는, 종래의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 유전체층의 막 두께(통상, 2.5×10-5m 정도)에 비하여 충분히 얇은 유전체층이 형성되어 있으므로, 유전체층의 용량을 크게 할 수 있다. 그 결과, 구동 전압의 저감을 도모할 수 있는 동시에 전하 축적량을 증가시킬 수 있으므로, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 휘도 향상, 구동 전력의 저감을 도모할 수 있다.
상기의 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층은 적어도 산화 알루미늄층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 유전체층은 산화 알루미늄층으로 구성된 제1 유전체막과 제1 유전체막 상에 형성된 제2 유전체막의 2층 구조로 할 수도 있고, 산화 알루미늄층의 단층 구조로 할 수도 있다. 제2 유전체막을 구성하는 재료로는 산화 마그네슘(MgO), 불화 마그네슘(MgF2), 불화 칼슘(CaF2)을 예시할 수 있고, 그 중에서도 산화 마그네슘은 2차 전자 방출비가 높고, 스퍼터링 비율이 낮으며, 형광체층의 발광 파장에서의 광 투과율이 높고, 방전 개시 전압이 낮다는 등의 특색을 가지는 바람직한 재료이다. 그리고, 제2 유전체막을 이들 재료로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 2종류의 재료로 구성된 적층막 구조로 할 수도 있다. 이하에 설명하는 각종 본 발명의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제2 유전체막도 전술한 재료로 구성할 수 있다.
상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제3 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층은 적어도 산화 알루미늄층과 산화 규소층의 적층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는, 아래로부터 산화 알루미늄층, 산화 규소층의 순서로 적층되어 있을 수도 있고, 산화 규소층, 산화 알루미늄층의 순서로 적층되어 있을 수도 있으며, 산화 알루미늄층과 산화 규소층이 교대로 복수 적층되어 있을 수도 있다. 이 경우, 적층 수는 짝수일 수도 있고 홀수일 수도 있다. 또한, 유전체층을 산화 알루미늄층과 산화 규소층의 적층 구조로 구성된 제1 유전체막과, 제1 유전체막 상에 형성된 제2 유전체막의 다층 구조로 할 수도 있다. 이와 같이, 유전체층을 산화 알루미늄층과 산화 규소층의 적층 구조로 구성함으로써 유전체층 내의 응력을 완화시키고 유전체층에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제4 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층은 적어도 산화 규소층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제4 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는, 산화 규소층으로 구성된 제1 유전체막과 제1 유전체막 상에 형성된 제2 유전체막의 2층 구조로 할 수도 있다.
상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제5 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층은 적어도 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제5 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는, 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 구성된 제1 유전체막과 제1 유전체막 상에 형성된 제2 유전체막의 2층 구조로 할 수도 있다.
상기 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제6 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층은 적어도 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층, 및 산화 규소층 또는 산화 알루미늄층의 적층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제6 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 유전체층의 구조로는 아래로부터 "A"층, "B"층의 2층 구조, "A"층, "B"층, "A"층의 3층 구조, "A"층, "B"층, "A"층, "B"층…의 다층 구조를 들 수 있다. 여기에서, "A"층이 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층인 경우에는 "B"층이 산화 규소층 또는 산화 알루미늄층 또는 산화 규소층과 산화 알루미늄층의 적층 구조이다. 이 경우, "A"층이 2층 이상일 때는 각 "A"층을 구성하는 층은 동종의 층일 수도 있고 이종의 층일 수도 있으며, "B"층이 2층 이상일 때는 각 "B"층을 구성하는 층은 동종의 층일 수도 있고 이종의 층일 수도 있다. 또, "A"층이 산화 규소층 또는 산화 알루미늄층 또는 산화 규소층과 산화 알루미늄층의 적층 구조인 경우에는 , "B"층이 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층이다. 이 경우, "A"층이 2층 이상일 때는 각 "A"층을 구성하는 층은 동종의 층일 수도 있고 이종의 층일 수도 있으며, "B"층이 2층 이상일 때는 각 "B"층을 구성하는 층은 동종의 층일 수도 있고 이종의 층일 수도 있다. 이와 같이, 산화 규소층 또는 산화 알루미늄층 또는 산화 규소층과 산화 알루미늄층의 적층 구조를 유전체층의 구성 요소로 함으로써, 유전체층 내의 응력을 완화시키고 유전체층에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제6 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는, 상기의 적층 구조로 구성된 제1 유전체막과 제1 유전체막 상에 형성된 제2 유전체막의 다층 구조로 할 수도 있다.
상기의 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제7 양상에 관한 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
상기 유전체층은 적어도 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 및 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 2층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 유전체층의 구조로는 아래로부터 "A"층, "B"층의 2층 구조, "A"층, "B"층, "C"층의 3층 구조, "A"층, "B"층, "C"층, "D"층…의 다층 구조를 들 수 있다. 여기에서, 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 및 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층을 편의상 재료층이라고 한다. 인접한 재료층(예를 들면, "A"층과 "B"층)을 구성하는 재료는 상이하다. 인접하지 않은 재료층(예를 들면, "A"층과 "C"층)을 구성하는 재료는 상이할 수도 있고 동일할 수도 있다.
본 발명의 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서, 유전체층은 산화 규소층, 산화 알루미늄층 또는 산화 규소층과 산화 알루미늄층의 적층 구조를 추가로 구비하고 있는 구성으로 할 수도 있다. 전술한 예에서 예를 들면 산화 규소층을 추가로 구비하고 있는 경우, 아래로부터 산화 규소층, "A"층, "B"층의 3층 구조, "A"층, 산화 규소층, "B"층의 3층 구조, "A"층, "B"층, 산화 규소층의 3층 구조를 들 수 있다. "A"층, "B"층, "C"층의 3층 구조나 "A"층, "B"층, "C"층, "D"층…의 다층 구조에서는 적어도 1층의 산화 규소층을 어느 하나의 재료층 사이에 삽입하거나, 산화 규소층을 가장 하층 또는 가장 상층에 배치하면 된다. 이와 같이, 산화 규소층이나 산화 알루미늄층, 산화 규소층과 산화 알루미늄층의 적층구조를 유전체층의 구성 요소로 함으로써, 유전체층 내의 응력을 완하시키고 유전체층에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는, 상기의 적층 구조로 구성된 제1 유전체막과 제1 유전체막 상에 형성된 제2 유전체막의 다층 구조로 할 수도 있다.
본 발명의 제2 양상 내지 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서, 유전체층의 두께는 1.5×10-5m 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m 이하인 것이 바람직하다. 유전체층 두께의 하한치는 예를 들면 5×10-7m, 바람직하게는 1×10-6m으로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 유전체층을 제1 유전체막 및 제2 유전체막으로 구성하는 경우에는, 유전체층 두께가 제1 유전체막의 두께와 제2 유전체막의 두께의 합계치이다. 유전체층을 제1 유전체막과 제2 유전체막으로 구성하는 경우, 제2 유전체막의 두께는 1×10-6m 내지 1×10-5m으로 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 유전체층의 두께를 규정함으로써 유전체층의 용량을 크게 할 수 있어 그 결과 구동 전압의 저감을 도모할 수 있는 동시에 전하 축적량을 증가시킬 수 있으므로, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 휘도 향상, 구동 전력의 저감을 도모할 수 있다.
또, 본 발명의 제1 양상 내지 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에는 제1 패널에 형성된 방전 유지 전극이 한 쌍으로 작동하는 구성으로 할 수 있다. 한 쌍의 방전 유지 전극 사이의 거리는 소정의 방전 전압에서 필요한 글로 방전이 발생하는 한 본질적으로 임의로 정할 수 있지만, 한 쌍의 방전 유지 전극사이의 간격은 5×10-5m 미만, 바람직하게는 5.0×10-5m 미만, 더욱 바람직하게는 2×10-5m 이하인 것이 바람직하다. 그리고, 한 쌍의 방전 유지 전극 사이의 거리가 1×10-4m 정도 이하인 경우, 유전체층의 두께가 과도하게 두꺼워지면, 유전체층 내에서의 방전 파괴가 발생하고, 유전체층에서의 전하 축적이 곤란하게 되는 경우가 있다. 본 발명의 제1 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는 유전체층의 두께를 종래보다 얇게 하므로, 또 본 발명의 제2 양상 내지 제7 향상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는 유전체층의 두께를 종래보다 얇게 함으로써, 즉 유전체층의 두께를 1.5×10-5m 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m 이하로 함으로써 이와 같은 현상의 발생을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제2 양상 내지 제7 양상에 따른 교류 구동형 표시 장치에서는, 유전체층을 비교적 큰 비유전율(比誘電率)을 가지는 재료로 구성함으로써(예를 들면, 스퍼터링법으로 형성된 산화 마그네슘층의 비플라즈마 유전율은 9∼10임), 유전체층의 용량을 크게 할 수 있다. 그 결과, 전하 축적량을 증가시킬 수 있으므로, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 휘도 향상, 구동 전력 저감을 도모할 수 있다.
후술되는 본 발명의 제8 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는 유전체층을 형성함으로써 이온이나 전자와 방전 유지 전극의 직접 접촉을 방지할 수 있어 그 결과, 방전 유지 전극의 마모를 방지할 수 있다. 유전체층은 벽 전하를 축적하는 기능뿐 아니라, 과잉 방전 전류를 제한하는 저항체로서의 기능, 방전상태를 유지하는 메모리 기능을 가진다.
본 발명의 제1 내지 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는 한 쌍의 방전 유지 전극의 한 쪽을 제1 패널에 형성하고, 다른 쪽을 제2 패널에 형성하는 구성으로 할 수 있다. 그리고, 이러한 구성의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치를 편의상 2전극형이라고 한다. 이 경우 한쪽 방전 유지 전극의 사영상은 제1 방향으로 연장되고, 다른 쪽 방전 유지 전극의 사영상은 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 연장되며, 한 쌍의 방전 유지 전극이 대면하는 것처럼 대향하여 배치되어 있다. 또는, 한 쌍의 방전 유지 전극을 제1 패널에 형성하고, 이른 바 어드레스 전극(제2 전극)을 제2 패널에 형성하는 구성으로 할 수도 있다. 그리고, 이러한 구성의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치를 편의상 3전극형이라고 한다. 이 경우, 한 쌍의 방전 유지 전극의 사영상은 서로 평행하게 제1 방향으로 연장되고, 어드레스 전극(제2 전극)의 사영상은 제2 방향으로 연장되며, 한 쌍의 방전 유지 전극과 어드레스 전극(제2 전극)이 대면하는 것처럼 대향하여 배치되어 있는 구성으로 할 수 있지만, 이러한 구성에 한정되지 않는다. 이러한 경우, 제1 방향과 제2 방향이란, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 구조 간소화의 관점에서 직교하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 양상 내지 제7 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에서는, 제1 패널에 형성된 한 쌍의 방전 유지 전극이 대향하는 가장자리 부분 사이의 갭 형상을 직선형으로 할 수도 있고, 한 쌍의 방전 유지 전극이 대향하는 가장자리 부분 사이의 갭 형상을 방전 유지 전극의 폭 방향으로 굴곡된 패턴 또는 만곡된 패턴으로 할 수도 있고, 이에 따라서 방전에 기여하는 방전 유지 전극 부분의 면적 증가를 도모할 수 있다.
상기의 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치는
(1) 제1 기판과, 제1 기판 상에 형성된 복수의 제1 전극으로 구성된 제1 전극군과, 제1 전극을 피복하며 제1 유전체층과 제2 유전체층으로 구성된 유전체층으로 이루어지는 제1 패널, 및
(2) 제2 기판과, 제1 전극이 연장되는 방향과 소정의 각도를 이루어 연장되는 복수의 제2 전극으로 구성된 제2 전극군과, 인접한 제2 전극 사이에 형성된 격벽과, 제2 전극 상방에 형성된 형광체층으로 이루어지는 제2 패널을 가지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
각 제1 전극은
(A) 제1 버스 전극과,
(B) 제1 버스 전극과 접하는 제1 방전 유지 전극과,
(C) 제1 버스 전극과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극과,
(D) 제2 버스 전극과 접하며 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극
으로 이루어지고,
제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이에서 방전이 발생하는 플라즈마 표시 장치로서,
제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 제1 유전체층 및 제2 유전체층으로 이루어지며, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분은 제1 유전체층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제8 양상 또는 후술하는 본 발명의 제3 양상에서 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 제1 유전체층 및 제2 유전체층으로 이루어지므로, 예를 들면 버스 전극의 정상면 가장자리 부분과 제2 전극 사이에서 이상 방전이 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 그리고, 유전체층 전체로서는 그 이외에 어드레스 기간에 발생하는 벽 전하를 축적하는 기능, 과잉 방전 전류를 제한하는 저항체로서의 기능, 방전 상태를 유지하는 메모리 기능을 가진다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서 제1 버스 전극의 구성 요소와 이러한 제1 버스 전극에 인접한 제1 전극의 구성 요소를 독립적으로 하는 구성으로 할 수도 있고, 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과 이러한 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극이 공통인 구성(즉, 예를 들면, 동일한 스트라이프형의 도전 재료층으로 이루어지는 구성)으로 할 수도 있다. 그리고, 전자의 구성을 본 발명의 제1 구성에 따른 플라즈마 표시 장치라고 하고, 후자의 구성을 본 발명의 제2 구성에 따른 플라즈마 표시 장치라고 한다. 본 발명의 제2 구성에 따른 플라즈마 표시 장치에서는 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분과, 이러한 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 공통으로 되어 있다. 그리고, 이하에 단순히 본 발명의 플라즈마 표시 장치로 표현하는 경우에는 본 발명의 제1 구성 및 제2 구성에 따른 플라즈마 표시 장치를 포함한다. 또, 본 발명의 제2 구성에 따른 플라즈마 표시 장치에서, 공통인 제1 버스 전극과 제2 버스 전극을 공통 버스 전극이라고 하는 경우가 있으며, 공통 버스 전극에 관해서는 이하의 설명에서 제1 버스 전극과 제2 버스 전극을 설명할 때, 필요에 따라 이들을 공통 버스 전극으로 바꿔 이해하면 된다.
본 발명의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층의 제1 부분은 제1 기판 측으로부터 제1 유전체층, 제2 유전체층의 순서로 적층되어 있을 수도 있고 제2 유전체층, 제1 유전체층의 순서로 적층되어 있을 수도 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는 이른 바 3전극형으로서 면 방전형 플라즈마 표시 장치이다. 여기에서, 본 발명의 플라즈마 표시 장치는 제1 패널과 제2 패널이 유전체층과 형광체층이 대면하는 것처럼 대향하여 배치되고, 각 제1 전극(보다 구체적으로는, 각 버스 전극)이 연장되는 방향과 각 제2 전극이 연장되는 방향은 소정의 각도(예를 들면, 90°)를 이루며, 유전체층과 형광체층과 한 쌍의 격벽에 의해 둘러싸인 공간에는 희가스(rare gas)가 봉입되어 있고, 형광체층은 대향하며 쌍을 이룬 방전 유지 전극 사이에서 발생한 희가스 중에서의 교류 글로 방전에 기초하여 발생한 진공 자외선에 조사(照射)되어 발광하는 구조를 가진다. 하나의 제1 전극(쌍을 이룬 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극, 및 쌍을 이룬 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극의 조합)과 한 쌍의 격벽이중복되는 영역이 하나의 방전 셀(1 서브픽셀)에 상당한다. 그리고, 이하에서 각 제1 전극(더욱 구체적으로는, 각 버스 전극)이 연장되는 방향을 제1 방향이라고 하고 각 제2 전극이 연장되는 방향을 제2 방향이라고 한다.
상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법은
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
스퍼터링법, 진공 증착법, 이온 플레이팅법과 같은 각종 물리적 기상 성장법(PVD법) 또는 화학적 기상 성장법(CVD법)에 의해 두께 1.5×10-5m 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m 이하의 유전체층을 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이, PVD(Physical Vapor Deposition)법이나 CVD(Chimical Vapor Deposition)법을 채용함으로써 두껍고 균일한 막 두께를 가지는 유전체층을 형성할 수 있다.
여기에서, 더욱 구체적으로 PVD법으로는, 유전체층을 구성하는 재료에도 따르며,
(a) 전자 빔 가열법, 저항 가열법, 플래쉬 증착 등의 각종 진공 증착법
(b) 플라즈마 증착법
(c) 2극 스퍼터링법, 직류 스퍼터링법, 직류 마그네트론 스퍼터링법, 고주파스퍼터링법, 마그네트론 스퍼터링법, 이온 빔 스퍼터링법, 바이어스 스퍼터링법 등의 각종 스퍼터링법
(d) DC(direct current)법, RF법, 다음극법(多陰極法), 활성화 반응법, 전계 증착법, 고주파 이온 플레이팅법, 반응성 이온 플레이팅법 등의 각종 이온 플레이팅법
을 들 수 있다.
또, CVD법으로는 유전체층을 구성하는 재료에도 따르지만, 상압 CVD법(APCVD법), 감압 CVD법(LPCVD법), 저온 CVD법, 고온 CVD법, 플라즈마 CVD법(PCVD법, PECVD법), ECR 플라즈마 CVD법, 광 CVD법, MOCVD법을 예시할 수 있다.
상기의 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제2 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법은
제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
유전체 재료를 포함하는 용액에 의해 두께 1.5×10-5m 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m 이하의 유전체층을 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법에서는, 유전체 재료를 포함하는 용액을 스핀 코팅법에 의해 제1 기판 및 방전 유지전극 상에 도포하는 공정을 포함하는 구성으로 할 수 있다. 또는, 유전체 재료를 포함하는 용액(페이스트상을 포함함)을, 스크린 인쇄법에 의해 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성하는 공정을 포함하는 구성으로 할 수 있다. 그리고, 유전체 재료를 포함하는 용액으로는 워터 글래스, 유리 가루의 현탁액을 예시할 수 있다. 유전체층을 구성하는 재료에도 따르지만, 유전체 재료를 포함하는 용액의 도포 후, 건조, 소성을 거침으로써 유전체층을 얻을 수 있다.
여기에서, 워터 글래스로는 일본 공업 규격(JIS) K1408에 규정되는 1호 내지 4호, 또는 이들과 동등한 것을 사용할 수 있다. 1호 내지 4호는 워터 글래스의 구성 성분인 산화 나트륨(Na2O) 1몰에 대한 산화 규소(SiO2)의 몰 수(약 2∼4몰)의 차이에 따른 4단계의 등급이며, 각각 점도가 크게 상이하다. 따라서, 워터 글래스를 사용할 때는 스크린 인쇄법에 적합한 점도를 가지는 최적 등급의 워터 글래스를 선택하거나 또는 이들 등급과 동등한 워터 글래스를 조제하여 사용하는 것이 바람직하다. 그리고, 워터 글래스의 용매로는 물, 알콜 등의 유기 용매를 들 수 있다. 또, 스크린 인쇄법에 적합한 점도로 하기 위해 분산 조제(助劑)나 계면 활성제를 첨가하는 것이 바람직하다.
상기의 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제3 양상에 따른 플라즈마 표시 장치의 제조 방법은 본 발명의 제1 구성 또는 제2 구성에 관한 플라즈마 표시 장치를 포함하는 본 발명의 플라즈마 표시 장치를 제조하는 방법이다. 즉,
(1) 제1 기판과, 제1 기판 상에 형성된 복수의 제1 전극으로 구성된 제1 전극군과, 제1 전극을 피복하며 제1 유전체층과 제2 유전체층으로 구성된 유전체층으로 이루어지는 제1 패널, 및
(2) 제2 기판과, 제1 전극이 연장되는 방향과 소정의 각도를 이루어 연장되는 복수의 제2 전극으로 구성된 제2 전극군과, 인접한 제2 전극 사이에 형성된 격벽과, 제2 전극의 상방에 형성된 형광체층으로 이루어지는 제2 패널
을 가지며,
각 제1 전극은
(A) 제1 버스 전극과,
(B) 제1 버스 전극과 접하는 제1 방전 유지 전극과,
(C) 제1 버스 전극과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극과,
(D) 제2 버스 전극과 접하며 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극
으로 이루어지며,
제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이에서 방전이 발생하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법으로서,
(a) 제1 기판 상에 제1 전극군을 형성하는 공정과,
(b) 제1 유전체층에 의해 제1 전극을 피복한 후, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극 상의 제1 유전체층 부분 상에 제2 유전체층을 형성하거나, 또는 제2 유전체층에 의해 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복한 후, 제1 전극을 제1 유전체층에 의해 피복하는 공정
을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 플라즈마 표시 장치의 제조 방법의 공정 (b)에서, 제1 유전체층에 의해 제1 전극을 피복한 후, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극 상의 제1 유전체층 부분 상에 제2 유전체층을 형성하면, 유전체층의 제1 부분은 제1 기판 측으로부터 제1 유전체층, 제2 유전체층의 순서로 적층된 구성이 된다. 여기에서, 제1 유전체층에 의해 제1 전극을 피복한다는 것은, 제1 전극을 구성하는 제1 방전 유지 전극, 제1 버스 전극, 제2 방전 유지 전극 및 제2 버스 전극 상(측면을 포함함)에 제1 유전체층을 형성하는 것을 의미한다. 또, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극 상의 제1 유전체층 부분 상에 제2 유전체층을 형성한다는 것은, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극의 정상면 상 및 측면 상에 제1 유전체층을 개재하여 제2 유전체층을 형성하는 것을 의미한다.
또, 본 발명의 플라즈마 표시 장치의 제조 방법의 공정(b)에서, 제2 유전체층에 의해 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복한 후, 제1 전극을 제1 유전체층에 의해 피복하면, 유전체층의 제1 부분은 제2 유전체층, 제1 유전체층의 순서로 적층된 구성이 된다. 여기에서, 제2 유전체층에 의해 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복한다는 것은, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극의 정상면 상 및 측면 상에 제2 유전체층을 형성하는 것을 의미한다. 또, 제1 전극을 제1 유전체층에 의해서 피복한다는 것은, 제2 유전체층 상과, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극의 정상면 및 측면 상에 제1 유전체층을 형성하는 것을 의미한다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에따른 제조 방법에서는, 제1 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 두께가 1×10-5m 이하인 것이 화소의 고밀도화, 저전압 구동 요구에 대처하기 위해 바람직하다. 그리고, 제1 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 두께는 제1 및 제2 방전 유지 전극의 정상면에서의 두께를 가리킨다. 유전체층의 제2 부분의 두께의 하한(下限)은 제1의 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이에서 이상 방전이 발생하지 않는 두께로 하면 되며, 예를 들면 1×10-6m, 바람직하게는 2×10-6m으로 하는 것이 바람직하다.
본 발명에서는 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극의 정상면에서의 제2 유전체층의 두께(t2)를 5×10-6m 내지 3×10-5m, 바람직하게는 1×10-5m 내지 2×10-5m으로 하는 것이 버스 전극과 제2 전극 사이에서 이상 방전을 방지한다는 관점에서 바람직하다.
본 발명의 제1 구성에 관한 플라즈마 표시 장치 또는 그 제조 방법에서, 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과 상기 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극 사이의 제1 기판 상에는 제1 유전체층 및 제2 유전체층을 형성할 수도 있다. 이에 따라서, 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과, 상기 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극 사이에서 이상 방전이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시장치 또는 그 제조방법의 공정 (b)에서 제2 유전체층을 제2 패널에 형성된 격벽에 대응하는 제1 패널 영역의 상방에도 형성할 수 있으며, 이로 인해 글로 방전이 인접한 방전 셀에 영향을 미치는 이른 바 광학적 크로스토크(optical crosstalk)의 발생을 확실하게 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제1 유전체층을 구성하는 재료는 제2 유전체층을 구성하는 재료와 상이한 것이 바람직하다. 그리고, 제1 유전체층을 구성하는 재료를 산화 실리콘(SiO2)으로 하고 제2 유전체층을 구성하는 재료를 유리 페이스트(더욱 구체적으로는, 저융점 유리 페이스트)의 소성체로 할 수 있다. 이 경우, 제1 유전체층을 화학적 기상 성장법(CVD법)이나 스퍼터링법, 증착법과 같은 물리적 기상 성장법(PVD법)으로 형성하고, 제2 유전체층을 인쇄법(스크린 인쇄법)으로 형성하는 것을 바람직하지만, 특히 제1 유전체층을 CVD법에 의해서 형성하면 등각(conformal)이 되어 단차 피복성, 막 두께의 균일성이 우수한 제1 유전체층을 확실하게 형성할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제2 유전체층에 착색을 할 수도 있다. 이에 따라서, 제2 유전체층은 블랙 매트릭스로서의 기능을 발휘할 수 있고 제2 방향을 따른 화소 사이의 콘트라스트의 향상을 도모할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에따른 제조 방법에서는, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극은 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통이다. 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통일 수도 있고(즉, 제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되고 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되어 있을 수도 있고) 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어 있을 수도 있다(즉, 각 방전 셀마다 형성되어 있을 수도 있다). 제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분, 및 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분은 직선형이 될 수도 있고 지그재그형(예를 들면, "＜" 형상의 조합, "S"자의 조합이나 호(弧)의 조합, 임의의 곡선의 조합)으로 할 수도 있다. 그리고, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극이 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어 있는 경우, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극의 평면 형상은 도 8에 도시한 바와 같이 제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되어 있고, 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 제2 방향과 평행하게 연장되어 있으며, 제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 글로 방전이 발생하는 구성으로 할 수 있다. 또는, 도 9 또는 도 10에 도시한 바와 같이 제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 제2 방향과 평행하게 연장되고, 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제2 방향과 평행하게 제1 방전 유지 전극과 마주보며(또는 제1 방전 유지 전극을 따라) 연장되며, 제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분(측면)과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분(측면) 사이에서 글로 방전이 발생하는 구성으로 할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이의 간격(L1)은 본질적으로 임의의 값으로 할 수 있지만, 1×10－4m 이하, 바람직하게는 5×10－5m 미만, 더욱 바람직하게는 4×10－5m 이하, 또한 더욱 바람직하게는 2.5×10－5m 이하인 것이 바람직하다. 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극의 간격(L1)의 최소치는 유전체층 등의 두께를 고려하여 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이에 절연 파괴가 발생하지 않는 간격으로 하면 된다.
본 발명의 제1 내지 제8 양상에 따른 플라즈마 표시장치는 3전극형 표시장치를 참고로 후술된다. 2전극형 플라즈마 표시장치와 관련하여 다음 설명의 제2 전극은 "다른 유지 전극"으로 불릴 수 있다.
본 발명의 제1 내지 제7 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제1 내지 제2 양상에 따른 제조 방법에서는, 방전 유지 전극에 추가로, 방전 유지 전극 전체의 임피던스를 저하시키기 위해 방전 유지 전극에 접하여 방전 유지 전극보다 전기 저항률이 낮은 재료로 이루어지는 버스 전극이 형성되어 있는 구성으로 할 수도 있다. 본 발명의 제1 내지 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제1 내지 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 구성하는 도전성 재료와 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 구성하는 도전성 재료를 상이한 구성으로 하는 것이 바람직하다. 전형적으로, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극은 금속 재료, 예를 들면 Ag, Au, Al, Ni, Cu, Mo, Cr, Cr／Cu／Cr 적층막으로 구성할 수 있다. 이러한 금속 재료로 이루어지는 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극이 반사형 플라즈마 표시 장치에서는 형광체층으로부터 방사되어 제1 기판을 통과하는 가시광의 투과광량을 저감시키고 표시 화면의 휘도를 저하시키는 요인이 될 수 있으므로, 버스 전극에 필요한 전기 저항치가 얻어지는 범위 내에서 가능한 가늘게 형성하는 것이 바람직하다. 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극의 형성 방법으로는 사용하는 도전성 재료에 따라 예를 들면 증착법, 스퍼터링법, 인쇄법(스크린 인쇄법)을 적당히 선택하면 된다. 즉, 적당한 마스크나 스크린을 사용하여 처음부터 소정의 패턴을 가지는 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 형성할 수도 있고 도전성 재료층을 전체면에 형성한 후 도전성 재료층을 패터닝하여 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 형성할 수도 있다.
본 발명의 제1 내지 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제1 내지 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 구성하는 도전성 재료는 플라즈마 표시 장치가 투과형 또는 반사형인가에 따라 상이하다. 투과형 플라즈마 표시 장치에서는 형광체층의 발광이 제2 기판을 통해서 관찰되기 때문에, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 구성하는 도전성 재료가 투명 또는 불투명할 수 있지만, 제2 전극(어드레스 전극)을 제2 기판 상에 형성하기 때문에 제2 전극(어드레스 전극)이 투명한 것이 바람직하다. 반사형 플라즈마 표시 장치에서는 형광체층의 발광이 제1 기판을 통해서 관찰되기 때문에, 제2 전극을 구성하는 도전성 재료가 투명 또는 불투명할 수 있지만, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극이 투명한 것이 바람직하다. 그리고, 여기에서 설명하는 투명 또는 불투명하다는 것은, 형광체 재료에 고유의 발광 파장(가시광역)에서의 도전성 재료의 광 투과성에 기초한다. 즉, 형광체층으로부터 사출되는 광에 대하여 투명하면, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 구성하는 도전성 재료는 투명하다고 할 수 있다. 불투명한 도전성 재료로는 Ni, Al, Au, Ag, Al, Pd／Ag, Cr, Ta, Cu, Ba, LaB6, Ca0.2La0.8CrO3등의 재료를 단독 또는 적당하게 조합하여 사용할 수 있다. 투명한 도전성 재료로는 ITO(인듐·주석 산화물)이나 SnO2를 들 수 있다. 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극의 형성 방법으로는 사용하는 도전성 재료에 따라, 예를 들면 증착법, 스퍼터링법, 인쇄법(스크린 인쇄법)을 적당하게 선택하면 된다. 즉, 적당한 마스크나 스크린을 사용하여 처음부터 소정의 패턴을 가지는 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 형성할 수도 있고, 도전성 재료층을 전체면에 형성한 후 도전성 재료층을 패터닝하여 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 형성할 수도 있다.
반사형 플라즈마 표시장치에서는 유전체층의 재료를 투명하게 할 필요가 있는데, 이는 형광체층의 발광이 제1 기판을 통해 관찰되기 때문이다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 표면에는 보호층이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 보호층은 제2 부분뿐 아니라 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분의 표면에 형성되어 있을 수도 있다. 보호층은 단층 구조 또는 적층 구조로 할 수 있다. 본 발명의 플라즈마 표시 장치의 제조 방법에서는 공정 (b) 후에 보호층을 형성할 수도 있으며, 공정 (b)에서 제1 유전체층에 의해 제1 전극을 피복한 후 보호층을 형성하고, 이어서 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극 상의 제1 유전체층 부분 상(더욱 구체적으로는 보호층 상)에 제2 유전체층을 형성할 수도 있다. 단층 구조의 보호층을 구성하는 재료로는 산화 마그네슘(MgO), 불화 마그네슘(MgF2), 불화 칼슘(CaF2), 산화 알루미늄(Al2O3)을 예시할 수 있다. 그 중에서도 산화 마그네슘은 화학적으로 안정되고, 스퍼터링 비율이 낮으며, 형광체층의 발광 파장에서의 광 투과율이 높고, 방전 개시 전압이 낮다는 등의 특색을 가지는 바람직한 재료이다. 그리고, 보호층을, 산화 마그네슘, 불화 마그네슘 및 산화 알루미늄으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 두 가지의 재료로 구성된 적층 구조로 할 수도 있다. 보호층을 형성함으로써 이온이나 전자와 제1 전극군의 직접 접촉을 방지할 수 있어 그 결과 제1 전극군의 마모를 방지할 수 있다. 그 이외에도 보호층은 글로 방전에 필요한 2차 전자를 방출하는 기능을 가진다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치 또는 본 발명의 제3 양상에 따른 제조 방법에서는, 제2 전극은 제2 기판 상에 형성하고, 형광체층의 유전체층으로서의 기능이 불충분한 경우에는 제2 전극군과 형광체층 사이에 유전체막을 형성할 수도 있다. 유전체막의 구성 재료로는 저융점 유리나 SiO2를 들 수 있다.
형광체층은 적색을 발광하는 형광체 재료, 녹색을 발광하는 형광체 재료 및 청색을 발광하는 형광체 재료로 이루어지는 군에서 선택된 형광체 재료로 구성되며 제2 기판의 상방에 형성되어 있다. 구체적으로는, 예를 들면 적색을 발광하는 형광체 재료로 구성된 형광체층(적색 형광체층)이 제2 전극의 상방에 형성되고, 녹색을 발광하는 형광체 재료로 구성된 형광체층(녹색 형광체층)이 다른 제2 전극의 상방에 형성되며, 청색을 발광하는 형광체 재료로 구성된 형광체층(청색 형광체층)이 또 다른 제2 전극의 상방에 형성되어 있고, 이들 3원색을 발광하는 형광체층이 1세트가 되어 소정의 순서에 따라 형성되어 있다. 그리고, 하나의 제1 전극(쌍을 이룬 제1 버스 전극과 제2 버스 전극, 및 쌍을 이룬 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극의 조합)과 이들 3원색을 발광하는 1세트의 형광체층이 중복되는 영역이 1화소에 상당한다. 적색 형광체층, 녹색 형광체층 및 청색 형광체층은 스트라이프형으로 형성되어 있을 수도 있고 격자형으로 형성되어 있을 수도 있다. 적색 형광체층, 녹색 형광체층 및 청색 형광체층이 스트라이프형으로 형성되어 있는 경우, 하나의 적색 형광체층이 하나의 제2 전극의 상방에 형성되고, 하나의 녹색 형광체층이 하나의 제2 전극의 상방에 형성되며, 하나의 청색 형광체층이 하나의 제2 전극의 상방에 형성되어 있다. 한편, 적색 형광체층, 녹색 형광체층 및 청색 형광체층이 격자형으로 형성되어 있는 경우에는 하나의 제2 전극의 상방에 적색 형광체층, 녹색 형광체층 및 청색 형광체층이 소정의 순서로 형성되어 있다. 또한, 형광체층은 유지 전극과 제2 전극이 중복되는 영역에만 형성될 수 있다.
형광체층은 제2 전극 상에 직접 형성되어 있을 수도 있고 제2 전극 상으로부터 격벽의 측면에 걸쳐 형성되어 있을 수도 있다. 또는, 형광체층은 제2 전극 상에 형성된 유전체막 상에 형성되어 있을 수도 있고 제2 전극 상에 형성된 유전체막 상으로부터 격벽의 측면에 걸쳐 형성되어 있을 수도 있다. 또한, 형광체층은 격벽의 측면에만 형성되어 있을 수도 있다. 형광체층이 제2 전극의 상방에 형성되어 있다는 것은, 이상 설명한 각종 형태를 모두 포함하는 개념이다.
유전체막의 구성 재료로는 저융점 유리나 SiO2를 들 수 있으며, 스크린 인쇄법, 스퍼터링법 또는 진공증착법으로 형성할 수 있다. 경우에 따라서는 형광체층이나 격벽의 표면에 산화 마그네슘(MgO), 불화 마그네슘(MgF2), 불화 칼슘(CaF2) 등으로 이루어지는 보호막을 형성할 수도 있다.
형광체층을 구성하는 형광체 재료로는 종래 공지된 형광체 재료 중에서 양자(量子) 효율이 높고 진공 자외선에 대한 포화가 적은 형광체 재료를 적당하게 선택하여 사용할 수 있다. 플라즈마 표시 장치는 칼라 표시로 사용되므로 색 순도가 NTSC로 규정되는 3원색에 가깝고, 3원색을 혼합했을 때 화이트 밸런스를 취할 수 있으며, 잔광(殘光) 시간이 짧고, 3원색의 잔광 시간이 대략 동등하게 되는 형광체 재료를 조합하는 것이 바람직하다. 진공 자외선의 조사에 의해 적색으로 발광하는 형광체 재료로는 (Y2O3：Eu), (YBO3Eu), (YVO4：Eu), (Y0.96P0.60V0.40O4：Eu0.04), [(Y, Gd)BO3：Eu], (GdBO3：Eu), (ScBO3：Eu), (3.5MgO·0.5MgF2·GeO2：Mn)을 예시할 수 있다. 진공 자외선의 조사에 의해 녹색으로 발광하는 형광체 재료로는 (ZnSiO2：Mn), (BaAl12O19：Mn), (BaMg2Al16O27：Mn), (MgGa2O4：Mn), (YBO3：Tb), (LuBO3：Tb), (Sr4Si3O8Cl4：Eu)를 예시할 수 있다. 진공 자외선의 조사에 의해 청색으로 발광하는 형광체 재료로는 (Y2SiO5：Ce), (CaWO4：Pb), CaWO4, YP0.85V0.15O4, (BaMgAl14O23：Eu), (Sr2P2O7：Eu), (Sr2P2O7：Sn)를 예시할 수 있다. 형광체층의 형성 방법으로는 후막 인쇄법(thick film printing method), 형광체 입자를 스프레이하는 방법, 형광체층 형성 예정 부위에 미리 점착성 물질을 부착시켜 두고 형광체 입자를 부착시키는 방법, 감광성 형광체 페이스트를 사용하여 노광 및 현상에 의해 형광체층을 패터닝하는 방법, 전체면에 형광체층을 형성한 후 불필요한 부분을 샌드 블러스트법(sand blasting method)에 의해 제거하는 방법을 들 수 있다.
격벽은, 인접한 제2 전극 사이의 영역에서 제2 전극과 평행하게 연장되어 있는 구성으로 할 수 있다. 즉, 한 쌍의 격벽 사이를 하나의 제2 전극이 연장되는 구조로 할 수 있다. 경우에 따라서는 격벽은 인접한 버스 전극 사이의 영역에서 버스 전극과 평행하게 연장되는 제1 격벽과 인접한 제2 전극 사이의 영역에서 제2 전극과 평행하게 연장되는 제2 격벽으로 구성되어 있는(즉, 격자형으로 되어 있는)구성으로 할 수도 있다. 이러한 격자형(우물정자형)의 격벽은 종래부터 직류 구동형 플라즈마 표시 장치에 채용되어 있지만, 교류 구동형인 본 발명의 플라즈마 표시 장치에도 적용할 수 있다. 격벽(리브)은 미안다 구조를 가지고 있을 수도 있다. 유전체 재료층이 제2 기판 및 어드레스 전극 상에 형성되어 있는 경우에, 격벽은 유전체 재료층 상에 형성되어 있는 경우도 있다.
격벽의 구성 재료로는 종래 공지된 절연 재료를 사용할 수 있고, 예를 들면 널리 사용되고 있는 저융점 유리에 알루미나 등의 금속 산화물을 혼합한 재료를 사용할 수 있다. 격벽의 형성 방법으로는 스크린 인쇄법, 샌드 블러스트법, 드라이 필름법, 감광법을 예시할 수 있다. 여기에서, 스크린 인쇄법이란, 격벽을 형성할 부분에 대응하는 스크린 부분에 개구부가 형성되어 있고, 스크린 상의 격벽 형성용 재료를 스퀴즈를 사용하여 개구부로 통과시키고, 제2 기판 상 또는 유전체층 상(이하, 이들을 총칭하여 제2 기판 등이라고 함)에 격벽 형성용 재료층을 형성한 후, 이러한 격벽 형성용 재료층을 소성하는 방법이다. 또, 샌드 블러스트 형성법이란, 예를 들면 스크린 인쇄나 롤 코터(roll coater), 닥터 블레이드(doctor blade), 노즐 스프레이 코터(nozzle spraying coater) 등을 사용하여 제2 기판 등의 위에 격벽 형성용 재료층을 형성하고 건조시킨 후, 격벽을 형성할 격벽 형성용 재료층을 마스크층으로 피복하고, 이어서 노출된 격벽 형성용 재료층 부분을 샌드 블러스트법에 의해 제거하는 방법이다. 드라이 필름법이란 제2 기판 등의 위에 감광성 필름을 적층하고, 노광 및 현상에 의해 격벽 형성 예정 부위의 감광성 필름을 제거하며, 제거에 의해서 생긴 개구부에 격벽 형성용 재료를 매립하고, 소성하는 방법이다. 감광성 필름은 소성에 의해 연소, 제거되고 개구부에 매립된 격벽 형성용 재료가 남아 격벽이 된다. 감광법이란 제2 기판 등의 위에 감광성을 가지는 격벽 형성용 재료층을 형성하고, 노광 및 현상에 의해 이 재료층을 패터닝한 후, 소성하는 방법이다. 그리고, 격벽을 검게 함으로써 이른 바 블랙 매트릭스(black matrix)를형성하여 표시 화면의 높은 콘트라스트화를 도모할 수 있다. 격벽을 검게 하는 방법으로는 격벽의 정상부에 감광성 은 페이스트층(photosensitive silver paste layer)이나 저반사 크롬층(low-reflection chromium layer) 등의 광 흡수층을 형성하는 방법이나, 흑색으로 착색된 칼라 레지스트 재료(color resist material)를 사용하여 격벽을 형성하는 방법을 예시할 수 있다.
제1 기판 및 제2 기판의 구성 재료로는 고왜점(高歪點) 유리, 소다 유리 (Na2O·CaO·SiO2), 붕규산 유리(Na2O·B2O3·SiO2), 포스테라이트(forsterite；2MgO·SiO2), 납유리(Na2O·PbO·SiO2)를 예시할 수 있다. 제1 기판과 제2 기판의 구성 재료는 동일할 수도 있고 상이할 수도 있다.
제2 기판 상에 형성된 한 쌍의 격벽과, 한 쌍의 격벽에 의해 둘러싸인 영역 내를 점유하는 방전 유지 전극과 어드레스 전극, 형광체층(예를 들면, 적색 형광체층, 녹색 형광체층 및 청색 형광체층 중 어느 하나의 형광체층)에 의해 하나의 방전 셀이 구성된다. 그리고, 이러한 방전 셀 내, 더욱 구체적으로는 격벽에 의해서 둘러싸인 방전 공간 내에 혼합 가스로 이루어지는 방전 가스가 봉입되어 있고, 형광체층은 방전 유지 공간 내의 방전 가스 중에서 발생한 교류 글로 방전에 따라 발생한 진공 자외선에 조사되어 발광한다.
본 발명의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층과 형광체층과 한 쌍의 격벽에 의해 둘러싸인 공간에 봉입된 희가스의 압력은 1×102Pa(0.001기압) 내지5×105Pa(5기압), 바람직하게는 1×103Pa(0.01기압) 내지 4×105(4기압)으로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이의 간격(L1)을 5×10－5m 미만으로 하는 경우에는 공간 내의 희가스의 압력을 1.0 ×102Pa(0.001 기압) 이상 3.0 ×105Pa(3 기압) 이하, 바람직하게는 1.0 ×103Pa(0.01 기압) 이상 2.0 ×105Pa(2 기압) 이하, 더욱 바람직하게는 1.0 ×104Pa(0.1 기압) 이상 1.0 ×105Pa(1 기압)이하로 하는 것이 바람직하고, 이러한 범위의 압력으로 함으로써 주로 희가스 중에서의 음극 글로에 기초하여 발생한 진공 자외선에 조사되어 형광체층이 발광하고, 이러한 압력 범위 내에서는 압력이 높을수록 플라즈마 표시 장치를 구성하는 각종 부재의 스퍼터링 비율이 저감되고 그 결과 플라즈마 표시 장치의 수명을 길게 할 수 있다.
공간에 봉입되는 희가스에는 다음과 같은 점이 요구된다.
(1) 플라즈마 표시 장치의 수명을 길게 한다는 관점에서 화학적으로 안정되며 가스 압력을 높게 설정할 수 있을 것.
(2) 표시 화면의 고휘도화의 관점에서 진공 자외선의 방사 강도가 클 것.
(3) 진공 자외선으로부터 가시 광선으로의 에너지 변환 효율을 높이는 관점에서 방사되는 진공 자외선의 파장이 길 것.
(4) 소비 전력 저감의 관점에서 방전 개시 전압이 낮을 것.
희가스로는 He(공명선의 파장＝58.4nm), Ne(공명선의 파장＝74.4nm), Ar(공명선의 파장＝107nm), Kr(공명선의 파장＝124nm), Xe(공명선의 파장＝147nm)을 단독으로 사용하거나 또는 혼합하여 사용하는 것이 가능하지만, 페닝 효과(Penning effect)에 의한 방전 개시 전압의 저하를 기대할 수 있는 혼합 가스가 특히 유용하다. 이러한 혼합 가스로는 Ne－Ar 혼합 가스, He－Xe 혼합 가스, Ne－Xe 혼합 가스, He－Kr 혼합 가스, Ne－Kr 혼합 가스를 들 수 있다. 그리고, 이러한 희가스 중에서도 가장 긴 공명선 파장을 가지는 Xe는 파장 172nm의 강한 진공 자외선도 방사하므로 적합한 희가스이다.
여기에서, 방전 셀 내의 글로 방전의 발광 상태를 도 21(A), 21(B) 및 도 22(A), 22(B)를 참조하여 설명한다. 도 21(A)에 희가스를 봉입한 방전관 내에서 직류 글로 방전을 행한 경우의 발광 상태를 도식적으로 나타낸다. 음극으로부터 양극을 향해 애스톤 암부(A；Aston dark space), 음극 글로(B；cathode glow), 음극 암부(C；cathode dark space, 크룩스 암부(Crookes dark space)), 음의 글로(D；negative glow), 패러데이 암부(E；Faraday dark space), 양광주(F；陽光柱, positive column) 및 양극 글로(G；anode glow)가 순서대로 나타난다. 교류 글로 방전에서는 음극과 양극이 소정의 주파수에서 반전을 반복하기 때문에 전극 간의 중앙부에 양광주(F)가 위치하고, 양광주(F)의 양측에 패러데이 암부(E), 음의 글로(D), 음극 암부(C), 음극 글로(B) 및 애스톤 암부(A)가 이 순서로 대칭적으로 나타난다. 도 21(B)에 도시한 상태는 형광등과 같이 전극 간의 거리가 충분히 긴 경우에 관찰된다.
전극 간의 거리를 좁혀 가면 양광주(F)의 길이가 감소한다. 또한 전극 간의거리를 좁히면 도 22(A)에 도시한 바와 같이 양광주(F)가 소실되고 전극 간의 중앙부에 음의 글로(D)가 위치하며, 음의 글로(D) 양측에 음극 암부(C), 음극 글로(B) 및 애스톤 암부(A)가 이 순서로 대칭적으로 나타나는 것으로 생각된다. 도 22(A)에 도시한 상태는 전극의 간격이 1×10－4m 전후인 경우에 발생하는 상태이다. 단, 본 발명의 플라즈마 표시 장치에서는 방전을 유지하기 위한 쌍을 이룬 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극이 병렬로 배치되어 있으므로, 음의 글로는 음극에 상당하는 제1 방전 유지 전극을 피복하는 제1 유전체층의 표면 부분 또는 제2 방전 유지 전극을 피복하는 제1 유전체층의 표면 부분 근방의 공간 영역에 형성된다.
한편, 전극의 간격이 5×10－5m 미만이 되면, 도식적으로 도 22(B)에 도시한 바와 같이 전극 사이의 중앙부에 음극 글로(B)가 위치하고 음극 글로(B)의 양측에 애스톤 암부(A)가 나타나는 것으로 생각된다. 그리고, 경우에 따라서는 음의 글로가 일부 존재할 수 있다. 단, 본 발명의 플라즈마 표시 장치에서는 글로 방전을 유지하기 위한 쌍을 이룬 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극이 병렬로 배치되어 있으므로, 음극 글로는 음극에 상당하는 제1 방전 유지 전극을 피복하는 제1 유전체층의 표면 부분 또는 제2 방전 유지 전극을 피복하는 제1 유전체층의 표면 부분 근방의 공간 영역에 형성된다. 이와 같이, 제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이의 간격을 5×10－5m 미만으로 하고, 또한 공간 내의 압력을 1.0×102Pa(0.001 기압) 이상 3.0×105Pa(3 기압) 이하로 함으로써 방전 모드로서음극 글로를 이용하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 높은 교류 글로 방전 효율을 달성할 수 있고, 그 결과 플라즈마 표시 장치에서 높은 발광 효율과 휘도를 얻을 수 있다.
도 1은 3전극형 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 일반적인 구성예를 개념적으로 도시한 일부 분해 사시도.
도 2는 실시예 1에서 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한 결과를 도시한 그래프.
도 3은 실시예 1에서 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 방전 전압을 측정한 결과를 도시한 그래프.
도 4는 실시예 2에서 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한 결과(단, 제1 유전체막의 두께：3㎛)를 도시한 그래프.
도 5는 실시예 2에서 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한 결과(단, 제1 유전체막의 두께：10㎛)를 도시한 그래프.
도 6은 본 발명의 실시예 8의 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계를 도식적으로 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 실시예 8의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 일부 도식적인 분해 사시도.
도 8은 본 발명의 실시예 8의 플라즈마 표시 장치 및 그 변형예에서 도 6의 화살표 B-B를 따라 절단한 것과 동일하게 절단했을 때의 제1 패널의 도식적인 일부 단면도.
도 9는 본 발명의 실시예 9의 플라즈마 표시 장치 및 그 변형예에서 도 6의 화살표 B-B를 따라 절단한 것과 동일하게 절단했을 때의 제1 패널의 도식적인 일부 단면도.
도 10은 본 발명의 실시예 10의 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계를 도식적으로 도시한 도면.
도 11은 본 발명의 실시예 10의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 일부 도식적인 분해 사시도.
도 12는 본 발명의 실시예 10의 플라즈마 표시 장치의 제1 패널의 도식적인 일부 단면도.
도 13은 본 발명의 플라즈마 표시 장치에서 한 쌍의 방전 유지 전극의 대향하는 가장자리 부분 사이의 갭 형상을 방전 유지 전극의 폭 방향으로 굴곡된 패턴 또는 만곡된 패턴으로 했을 때, 한 쌍의 방전 유지 전극의 도식적인 부분적 평면도.
도 14는 본 발명의 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계의 변형예를 도식적으로 도시한 도면.
도 15는 본 발명의 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극과 버스 전극과격벽의 배치 관계의 다른 변형예를 도식적으로 도시한 도면.
도 16은 본 발명의 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계의 또 다른 변형예를 도식적으로 도시한 도면.
도 17은 도 15에 도시한 배치 관계를 가지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 일부 도식적인 분해 사시도.
도 18은 도 14에 도시한 방전 유지 전극을 본 발명의 실시예에서 설명한 버스 전극과 조합했을 때의 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계를 도식적으로 도시한 도면.
도 19는 도 15에 도시한 방전 유지 전극을 본 발명의 실시예에서 설명한 버스 전극과 조합했을 때의 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계를 도식적으로 도시한 도면.
도 20은 도 15에 도시한 방전 유지 전극을 본 발명의 실시예 10에서 설명한 버스 전극과 조합했을 때의 방전 유지 전극과 버스 전극과 격벽의 배치 관계의 변형예를 도식적으로 도시한 도면.
도 21은 방전 셀 내에서의 글로 방전의 발광 상태를 도식적으로 도시한 도면.
도 22는 방전 셀 내에서의 글로 방전의 발광 상태를 도식적으로 도시한 도면.
도 23은 종래의 플라즈마 표시 장치에서 도 6의 화살표 B-B를 따라 절단한 것과 동일하게 절단했을 때의 제1 패널의 도식적인 일부 단면도.
(실시예 1)
실시예 1은 본 발명의 제1 양상 및 제4 양상에 따른 교류 구동형 플라즈마 표시 장치(이하, 플라즈마 표시 장치라고 함)에 관한 것이다. 실시예 1의 플라즈마 표시 장치는 유전체층의 두께가 1.5×10-5m 이하인 것을 특징으로 한다. 유전체층을 산화 규소(SiOx)로 이루어지는 제1 유전체막과, 그 위에 형성된 MgO로 이루어지는 제2 유전체막으로 구성한다. 그리고, 도 1에 도시한 구조를 가지는 본 발명의 제1 양상에 따른 3전극형의 플라즈마 표시 장치를 다음에 설명하는 방법으로 제작한다.
제1 패널(10)을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 고왜점 유리나 소다 유리로 이루어지는 제1 기판(11)의 전체면에 예를 들면 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하고, 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술에 의해 ITO층을 스트라이프형으로 패터닝함으로써, 한 쌍의 방전 유지 전극(12)을 복수 형성한다. 방전 유지 전극(12)은 제1 방향으로 연장되어 있다. 다음에, 전체면에 예를 들면 증착법에 의해 알루미늄막, 동막 등을 형성하고, 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술에 의해 알루미늄막, 동막 등을 패터닝함으로써 각 방전 유지 전극(12)의 가장자리 부분을 따라 버스 전극(13)을 형성한다. 그리고, 한 쌍의 방전 유지 전극(12) 사이의 간격을 2 ×10-5m (20㎛)으로 한다.
그 후, 전체면에 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 고주파 마그네트론 스퍼터링 장치를 사용하여 다음의 표 1에 예시하는 조건에 따른 스퍼터링법으로 형성한다. 이 경우의 제1 유전체막(14)의 두께를 1㎛, 3㎛ 및 6㎛로 한다. 또, 전체면에 주로 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 스크린 인쇄법으로 형성한다. 그리고, 유전체 재료를 포함하는 용액으로는 페이스트를 사용한다. 이 경우의 제1 유전체막(14)의 두께를 10㎛로 한다. 또한, 참고로 전체면에 두께 20㎛의 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 스크린 인쇄법으로 형성한다.
[표 1]
타겟 SiO2
프로세스 가스 Ar/O2=500/100sccm
Ar 가스 압력 5×10-1Pa
RF 파워 1kW
이어서, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다.
제2 패널(20)을 다음의 방법에 의해 제작한다. 먼저, 고왜점 유리나 소다 유리로 이루어지는 제2 기판(21) 상에 예를 들면 스크린 인쇄법에 의해 은 페이스트를 스트라이프형으로 인쇄하고, 소성함으로써 어드레스 전극(22)을 형성한다.어드레스 전극(22)은 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되어 있다. 다음에, 스크린 인쇄법에 의해 전체면에 저융점 유리 페이스트층을 형성하고, 이 저융점 유리 페이스트층을 소성함으로써 유전체 재료층(23)을 형성한다. 그 후, 인접한 어드레스 전극(22) 사이의 영역 상방의 유전체 재료층(23) 상에 예를 들면 스크린 인쇄법에 의해 저융점 유리 페이스트를 인쇄하고, 소성함으로써 격벽(24)을 형성한다. 그리고, 격벽의 평균 높이를 130㎛로 한다. 다음에, 3원색의 형광체 슬러리를 순차로 인쇄하고, 소성함으로써 격벽(24) 사이의 유전체 재료층(23) 상으로부터 격벽(24)의 측벽면 상에 걸쳐 형광체층(25R, 25G, 25B)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제2 패널(20)을 완성할 수 있다.
다음에, 플라즈마 표시 장치를 조립한다. 먼저, 예를 들면 스크린 인쇄에 의해 제2 패널(20)의 외주부에 프릿 글래스층을 형성한다. 다음에, 제1 패널(10)과 제2 패널(20)을 접합하고 소성하여 프릿 글래스층을 경화시킨다. 다음에, 제1 패널(10)과 제2 패널(20) 사이에 형성된 공간을 배기한 후, Ne－Xe 혼합 가스를 봉입하고 이 공간을 밀봉하여 플라즈마 표시 장치를 완성시킨다.
이와 같이 하여 제작한 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 150볼트로 하여 방전시킨다. 그 결과를 도 2에 도시한다. 그리고, 전체면에 두께 20㎛의 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 스크린 인쇄법으로 형성함으로써 얻어진 플라즈마 표시 장치의 휘도 측정값을 참고값이라고 한다.
휘도 측정 결과로부터 유전체층의 두께를 1.5×10-5m(15㎛) 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m(10㎛) 이하로 함으로써 명확하게 휘도 향상이 관찰되었다.
또한, 이와 같이 하여 제작한 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 방전 전압을 측정하였다. 그 결과를 도 3에 도시한다.
방전 전압 측정 결과로부터 유전체층의 두께를 1.5×10-5m(15㎛) 이하, 바람직하게는 1.0×10-5m(10㎛) 이하로 함으로써 명확하게 방전 전압의 감소가 관찰되었다.
그리고, 예를 들면 SiH4/O2를 원료 가스로 하고 캐리어 가스로 Ar 가스를 사용하여 퇴적 온도를 420℃로 한 감압 CVD법에 의해 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막을 형성할 수도 있다. 또는, 타겟으로 펠릿상의 SiO2를 사용하고 프로세스 가스로서 O2를 사용한 전자 빔 가열법에 의해 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막을 형성할 수도 있다. 또, 증착원으로 SiO2, SiO 또는 Si를 사용하고 반응성 가스로 O2를 사용한 이온 플레이팅법에 의해 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막을 형성할 수도 있다. 또한, 산화 규소를 포함하는 용액을 사용한 스핀 코팅법에 의해 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막을 형성할 수도 있다.
(실시예 2)
실시예 2도 본 발명의 제1 양상 및 제4 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에관한 것이다. 실시예 2에서는 한 쌍의 방전 유지 전극(12) 사이의 간격을 변경하여, 얻어진 플라즈마 표시 장치의 휘도와 한 쌍의 방전 유지 전극(12) 사이의 간격의 관계를 조사하였다. 그리고, 실시예 2 또는 뒤에 설명하는 실시예 3 내지 실시예 7에서도 도 1에 도시한 구조를 가지는 3전극형 플라즈마 표시 장치를 제작한다.
실시예 2에서는 제1 패널(20)을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 버스 전극(13)의 형성까지를 실시예 1과 동일한 방법으로 실행한다. 그 후, 실시예 1과 동일하게 하여 전체면에 스퍼터링법으로 두께 3㎛의 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 형성한다. 또는, 그 후 전체면에 스크린 인쇄법에 의해 두께 10㎛의 산화 규소로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 형성한다. 이어서, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다. 제2 패널(20)의 제작, 플라즈마 표시 장치의 조립은 실시예 1과 동일하게 한다. 그리고, 한 쌍의 방전 유지 전극(12) 사이의 간격(d)을 10㎛, 20㎛, 40㎛, 70㎛로 한다.
이와 같이 하여 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 실시예 1과 동일하게 한다. 그 결과를 도 4 및 도 5에 도시한다.
도 4 및 도 5에서 명확히 알 수 있는 바와 같이, 제1 유전체막의 두께가 얇아질수록 플라즈마 표시 장치의 휘도는 향상되고, 또한 한 쌍의 방전 유지 전극(12) 사이의 간격이 좁아질수록 플라즈마 표시 장치의 휘도는 향상된다.
(실시예 3)
실시예 3은 본 발명의 제2 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 실시예 3의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층은 산화 알루미늄층으로 구성된 제1 유전체막과 그 위에 형성된 MgO로 이루어지는 제2 유전체막으로 이루어진다.
제1 패널을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 버스 전극(13)의 형성까지를 실시예 1과 동일한 방법으로 실행한다. 그 후, 전체면에 전자 빔 가열법에 의해 다음의 표 2에 예시한 조건으로 산화 알루미늄으로 이루어지는 제1 유전체막(14)을 형성한다. 이 경우의 제1 유전체막(14)의 두께를 1㎛∼20㎛으로 한다. 이어서, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다. 제2 패널(20)의 제작, 플라즈마 표시 장치의 조립은 실시예 1과 동일하게 한다.
[표 2]
증착원 Al2O3
프로세스 가스 O2
O2가스 압력 1×10-2Pa
RF 파워 1kW
가열 온도 200℃
이와 같이 하여 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 실시예 1과 동일하게 한다. 그 결과, 제1 유전체막(14)의 두께가 20㎛인 경우에도 플라즈마 표시 장치는 참고값보다 높은 값을 나타낸다. 또, 제1 유전체막의 두께가 얇을수록 높은 휘도값을 나타내고, 특히 유전체층의 두께가 15㎛ 이하일 때 더욱 높은 휘도값을 나타낸다.
그리고 타겟으로 Al2O3나 Al을 사용하고 프로세스 가스로 O2를 사용한 스퍼터링법에 의해 산화 마그네슘으로 이루어지는 제1 유전체막을 형성할 수도 있다. 또, 졸-겔법으로 산화 알루미늄으로 이루어지는 제1 유전체막을 형성할 수도 있다.
(실시예 4)
실시예 4는 본 발명의 제3 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 실시예 4의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층은 산화 알루미늄층과 산화 규소층의 적층 구조로 구성된 제1 유전체막과 그 위에 형성된 MgO로 이루어지는 제2 유전체막으로 이루어진다.
제1 패널(10)을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 버스 전극(13)의 형성까지를 실시예 1과 동일한 방법으로 실행한다. 그 후, 전체면에 전자 빔 가열법에 의해 표 2에 예시한 조건으로 산화 알루미늄층(두께 3㎛)을 형성한 후, 실시예 1에서 설명한 것과 동일하게 하여 산화 규소층(두께 3㎛)을 그 위에 형성한다. 이어서, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다. 제2 패널(20)의 제작, 플라즈마 표시 장치의 조립은 실시예 1과 동일하게 한다.
이와 같이 하여 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 실시예 1과 동일하게 한다. 그 결과, 실시예 4의 플라즈마 표시 장치는 참고값보다 높은 값을 나타낸다.
(실시예 5)
실시예 5는 본 발명의 제5 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 실시예 5의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층은 다이아몬드라이크 카본(DLC)층으로 구성된 제1 유전체막과 그 위에 형성된 MgO로 이루어지는 제2 유전체막으로 이루어진다.
제1 패널(10)을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 버스 전극(13)의 형성까지를 실시예 1과 동일한 방법으로 실행한다. 그 후, 전체면에 고주파 CVD법 또는 열 분해 CVD법에 의해 예를 들면 CH4와 같은 탄소를 포함하는 원료 가스를 사용하여 다이아몬드라이크 카본층(두께 1 ∼ 20㎛)을 형성한다. 이어서, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다. 제2 패널(20)의 제작, 플라즈마 표시 장치의 조립은 실시예 1과 동일하게 한다.
이와 같이 하여 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 실시예 1과 동일하게 한다. 그 결과, 제1 유전체막(14)의 두께가 20㎛인 경우에도 플라즈마 표시 장치는 참고값보다 높은 값을 나타낸다. 또, 제1 유전체막의 두께가 얇을수록 높은 휘도값을 나타내고, 특히 유전체층의 두께가 15㎛ 이하일 때 더욱 높은 휘도값을 나타낸다. 그리고, 다이아몬드라이크 카본층 대신 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 제1 유전체막을 구성하였지만, 동일한 결과를 얻을 수 있었다.
그리고, 질화 붕소로 이루어지는 제1 유전체막은 반응성 RF 스퍼터링법이나 고주파 CVD법에 의해 형성할 수 있고, 또는 질화 붕소를 포함하는 페이스트를 스크린 인쇄한 후 소성하는 방법, 질화 붕소를 포함하는 현탁액에 의해 스핀 코팅법이나 디핑법에 의해 형성하는 방법으로 형성할 수도 있다.
또, 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 이루어지는 제1 유전체막은 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)을 포함하는 페이스트를 스크린 인쇄한 후 소성하는 방법, 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)을 포함하는 현탁액에 의해 스핀 코팅법이나 디핑법에 의해 형성하는 방법으로 형성할 수 있다. 또는, 타겟으로 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)을 사용하고 프로세스 가스로 Ar 가스 및 O2가스를 사용한 RF 스퍼터링법이나 고주파 CVD법으로 형성할 수도 있다.
(실시예 6)
실시예 6은 본 발명의 제6 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 실시예 6의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층은 다이아몬드라이크 카본(DLC)층과 산화 규소층의 적층 구조로 구성된 제1 유전체막과 그 위에 형성된 MgO로 이루어지는 제2 유전체막으로 이루어진다.
제1 패널(10)을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 버스 전극(13)의 형성까지를 실시예 1과 동일한 방법으로 실행한다. 그 후, 전체면에 CVD법에 의해 다이아몬드라이크 카본층(두께 1㎛)을 형성하고, 이어서 그 위에 스퍼터링법에 의해 산화 규소층(두께 2㎛)을 형성한다. 그 후, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다. 제2 패널(20)의 제작, 플라즈마 표시 장치의 조립은 실시예 1과 동일하게 한다.
이와 같이 하여 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 실시예 1과 동일하게 한다. 그 결과, 실시예 6의 플라즈마 표시 장치는 참고값보다 높은 값을 나타낸다. 그리고, 다이아몬드라이크 카본층 대신 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 제1 유전체막을 구성하였지만, 동일한 결과를 얻을 수 있었다. 또, 산화 규소층을 산화 알루미늄층으로 대신한 플라즈마 표시 장치를 제작하고 그 휘도를 측정한 결과, 참고값보다 높은 값을 나타낸다. 또한, 산화 규소층을 산화 규소층/산화 알루미늄층의 적층 구조로 대신한 플라즈마 표시 장치를 제작하고 그 휘도를 측정한 결과, 참조값보다 높은 값을 나타낸다.
(실시예 7)
실시예 7은 본 발명의 제7 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 실시예 7의 플라즈마 표시 장치에서 유전체층은 다이아몬드라이크 카본(DLC)층과 산화 규소층의 적층 구조로 구성된 제1 유전체막과 그 위에 형성된 MgO로 이루어지는 제2 유전체막으로 이루어진다.
제1 패널(10)을 다음의 방법으로 제작한다. 먼저, 버스 전극(13)의 형성까지를 실시예 1과 동일한 방법으로 실행한다. 그 후, 전체면에 CVD법에 의해 다이아몬드라이크 카본층(두께 1㎛)을 형성하고, 이어서 그 위에 스퍼터링법에 의해 산화 알루미늄층(두께 2㎛)을 형성한다. 그 후, 제1 유전체막(14) 상에 전자 빔 증착법에 의해 두께 0.6㎛의 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 제2 유전체막(15；보호막)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다. 제2 패널(20)의 제작, 플라즈마 표시 장치의 조립은 실시예 1과 동일하게 한다.
이와 같이 하여 제작된 시험용 플라즈마 표시 장치를 사용하여 플라즈마 표시 장치의 휘도를 측정한다. 그리고, 인가 전압을 실시예 1과 동일하게 한다. 그 결과, 실시예 7의 플라즈마 표시 장치는 참고값보다 높은 값을 나타낸다. 그리고, 다이아몬드라이크 카본층 대신 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 제1 유전체막을 구성하였지만, 동일한 결과를 얻을 수 있었다. 또, 다이아몬드라이크 카본층과 산화 규소층의 적층 구조 또는 다이아몬드라이크 카본층과 산화 알루미늄층과 산화 규소층의 적층 구조로 제1 유전체막을 구성하였지만, 동일한 결과를 얻을 수 있었다.
(실시예 8)
실시예 8은 본 발명의 제8 양상에 따른 제1 구성의 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 이 플라즈마 표시 장치는 이른 바 3전극형이며 면 방전형에 속한다. 실시예 8의 플라즈마 표시 장치의 일부 도식적인 분해 사시도를 도 7에 도시한다. 이 플라즈마 표시 장치는 제1 패널(10)과 제2 패널(20)을 가진다. 제1 패널(10；프론트 패널)은 예를 들면 유리로 이루어지는 제1 기판(11)과, 제1 기판(11) 상에형성된 복수의 제1 전극으로 구성된 제1 전극군과, 제1 전극을 피복하며 제1 유전체층(14A)과 제2 유전체층(14B)으로 구성된 유전체층과, 유전체층 상에 형성된 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(115)으로 이루어진다.
도 7에 도시한 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극(12A, 12B)과 버스 전극(13A, 13B)과 격벽(25)의 배치 관계를 도 6에 도식적으로 나타낸다. 그리고, 점선으로 둘러싸인 영역이 1화소에 상당한다. 각 구성 요소를 명확하게 하기 위해 도 6에 사선을 첨가한다. 1화소의 외형은 대략 정사각형이다. 1화소는 격벽(25)에 의해 3개의 구획(방전 셀)에 구분되고 있고 각 구획으로부터 3원색(R, G, B) 중 어느 하나가 발광한다.
각 제1 전극은 제1 버스 전극(13A)과, 제1 버스 전극(13A)과 접하는 제1 방전 유지 전극(12A)과, 제1 버스 전극(13A)과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극(13B)과, 제2 버스 전극(13B)과 접하며 제1 방전 유지 전극(12A)과 대향하는 제2 방전 유지 전극(12B)으로 구성되어 있다. 그리고, 스트라이프형의 제1 방전 유지 전극(12A)이 스트라이프형의 제1 버스 전극(13A)과 평행하게 연장되며, 스트라이프형의 제2 방전 유지 전극(12B)이 스트라이프형의 제2 버스 전극(13B)과 평행하게 제2 방향으로 연장되어 있다. 구체적으로는, 제1 버스 전극(13A)은 제1 방전 유지 전극(12A)의 가장자리 부분 근방의 제1 방전 유지 전극(12A) 상에 형성되어 있다. 한편, 제2 버스 전극(13B)은 제2 방전 유지 전극(12B)의 가장자리 부분 근방의 제2 방전 유지 전극(12B) 상에 형성되어 있다. 또한, 제1 버스 전극(13A) 및 제2 버스 전극(13B)은 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통이며, 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)도 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통이다. 버스 전극(13A, 13B)은 방전 유지 전극(12A, 12B)의 임피던스를 저하시키기 위해 형성되어 있고, 방전 유지 전극(12A, 12B)보다 전기 저항률이 낮은 재료로 이루어진다. 방전 유지 전극(12A, 12B)은 예를 들면 ITO와 같은 투명한 도전성 재료로 형성하면 된다. 한편, 버스 전극(13A, 13B)은 ITO보다 전기 저항율이 낮은 재료, 예를 들면 크롬／동／크롬 적층막으로 구성하면 된다. 그리고, 제1 및 제2 버스 전극(13A, 13B)의 선 폭은 표시 화면(여기에서는, 도면에서 제1 기판(11)의 상측면)의 휘도를 손상시키지 않도록 가능한 좁게(예를 들면, 폭 50μm) 하는 것이 바람직하다. 여기에서, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B) 사이의 간격(측면(12a)과 측면(12b) 사이의 간격(Ll))을 5×10－5m 미만(예를 들면 20μm)으로 한다. 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B) 사이에서 글로 방전이 발생한다.
제1 패널(10)을 도 6의 화살표 B－B를 따라 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도를 도 8(A)에 도시한다. 유전체층은 제1 부분과 제2 부분으로 구성되어 있다. 즉, 제1 버스 전극(13A) 및 제2 버스 전극(13B)을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 제1 유전체층(14A) 및 제2 유전체층(14B)으로 이루어지고, 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)을 피복하는 유전체층의 제2 부분은 제1 유전체층(14A)으로 이루어진다. 여기에서, 유전체층의 제1 부분은 제1 기판(11) 측으로부터 제1 유전체층(14A), 제2 유전체층(14B)의 순서로 적층되어 있다. 산화실리콘(SiO2)부터 구성된 제1 유전체층(14A)은 제1 방전 유지 전극(12A), 제2 방전 유지 전극(12B) 각각의 측면 및 정상면을 피복하고 있다. 한편, 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)은 제1 버스 전극(13A), 제2 버스 전극(13B)을 피복하고 있는 제1 유전체층(14A)의 부분 상에 형성되어 있다. 제1 방전 유지 전극(12A)의 정상면 상 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 정상면 상의 제1 유전체층(14A)의 두께를 3μm으로 한다. 또, 제1 버스 전극(13A)의 정상면 상 및 제2 버스 전극(13B)의 정상면 상의 제2 유전체층(14B)의 두께를 10μm으로 한다. 그리고, 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극(13A)과 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극(13B) 사이의 제1 기판(11) 상에는 제1 유전체층(14A)이 형성되어 있다.
제2 패널(20；리어 패널)은 예를 들면 유리로 이루어지는 제2 기판(21)과, 제1 전극이 연장되는 방향과 소정의 각도(예를 들면, 90°)를 이루며 제2 방향으로 연장되는 스트라이프형의 은이나 알루미늄으로 구성된 복수의 제2 전극(22；어드레스 전극 또는 데이터 전극이라고도 불리움)으로 구성된 제2 전극군과, 인접한 제2 전극(22) 사이에 형성된 격벽(25)과, 제2 전극(22)의 상방에 형성된 형광체층(24)으로 이루어진다. 그리고, 제2 전극(22) 상을 포함하는 제2 기판(21) 상에는 유전체막(23)이 형성되어 있다. 절연 재료로 이루어지는 격벽(25)은 유전체막(23) 상에서 인접한 제2 전극(22) 사이의 영역에 형성되어 있고, 제2 전극(22)과 평행하게 연장되어 있다. 형광체층(24)은 유전체막(23) 상으로부터 격벽(25)의 측벽면 상에걸쳐 형성되어 있다. 형광체층(24)은 적색 형광체층(24R), 녹색 형광체층(24G) 및 청색 형광체층(24B)으로 구성되어 있고, 이들 3원색을 발광하는 형광체층(24R, 24G, 24B)이 1세트가 되며 소정의 순서에 따라 제2 전극(22) 상에 형성되어 있다. 제2 전극(22)은 제1 및 제2 방전 유지 전극(12A, 12B)과 함께 글로 방전의 개시에 기여하는 이외에, 형광체층(24)으로부터 발생하는 발광을 표시 화면 측으로 반사시켜 표시 화면의 휘도를 향상시키는 데도 기여한다.
도 7은 도식적인 분해 사시도이고, 실제로는 제2 패널(20) 측의 격벽(25)의 정상부가 제1 패널(10) 측의 보호층(115)에 접촉되어 있다. 또, 제1 패널(10)과 제2 패널(20)은 보호층(115)과 형광체층(24)이 대면하는 것처럼 대향하여 배치되고, 주연부에서 도시하지 않은 시일층을 개재하여 접착되어 있다. 쌍을 이룬 제1 버스 전극(13A, 13B), 이들 버스 전극(13A, 13B)으로부터 연장되는 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B)과, 2개의 격벽(25) 사이에 위치하는 제2 전극(22)이 중복되는 영역이 방전 셀에 상당한다. 또, 쌍을 이룬 제1 버스 전극(13A), 제2 버스 전극(13B), 쌍을 이룬 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)과, 3원색의 형광체층(24R, 22G, 22B) 1세트가 중복되는 영역이 1화소에 상당한다. 제1 패널(10)과 제2 패널(20)에 의해 형성된 공간 내에는 예를 들면 Ne－Xe 혼합 가스(예를 들면 Ne 50%－Xe 50% 혼합 가스)가 압력 8×104Pa(0.8 기압)으로 봉입되어 있다. 즉, 인접한 격벽(25)과 형광체층(24)과 보호층(115)에 의해 둘러싸인 공간 내에는 희가스가 봉입되어 있다.
이러한 구성을 가지는 플라즈마 표시 장치의 교류 글로 방전 동작의 일례를 설명한다. 먼저, 예를 들면 모든 제1 버스 전극(13A)에 방전 개시 전압(Vbd)보다 높은 펄스 전압을 단시간 인가한다. 이에 따라, 글로 방전이 발생하여 한쪽 방전 유지 전극 근방의 제1 유전체층(14) 표면에 유전 분극(dielectric polarization)에 기인하여 벽 전하가 발생하고, 벽 전하가 축적되며, 외견상의 방전 개시 전압이 저하된다. 그 후, 제2 전극(22；어드레스 전극)에 전압을 인가하면서, 표시를 시키지 않는 셀에 포함되는 한쪽 버스 전극에 전압을 인가함으로써 제2 전극(22)과 한쪽 방전 유지 전극 사이에 글로 방전을 발생시키고 축적된 벽 전하를 소거한다. 이 소거 방전을 각각의 제2 전극(22)에서 순차로 실행한다. 한편, 표시를 시키는 셀에 포함되는 한쪽 버스 전극에는 전압을 인가하지 않는다. 이에 따라서, 벽 전하의 축적을 유지한다. 그 후, 다시 모든 쌍을 이룬 버스 전극(13A, 13B) 사이에 소정의 펄스 전압을 인가함으로써 벽 전하가 축적되어 있던 셀에서는 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B) 사이에서 글로 방전이 개시되고, 방전 셀에서는 희가스 중에서의 글로 방전에 기초하여 발생한 진공 자외선의 조사에 의해 여기된 형광체층이 형광체 재료의 종류에 따른 특유의 발광색을 발생시킨다. 그리고, 한쪽 버스 전극과 다른 쪽의 버스 전극에 인가되는 방전 유지 전압의 위상은 반(半)주기 어긋나 있고 방전 유지 전극의 극성은 교류 주파수에 따라 반전된다.
이러한 구성을 가지는 플라즈마 표시 장치의 교류 글로 방전 동작의 다른 예를 설명한다. 먼저 전체 화소를 초기화하기 위해 전체 화소에 대하여 소거 방전을행하고, 이어서 방전 동작을 행한다. 방전 동작은 초기 방전에 의해 제1 유전체층(14)의 표면에 벽 전하를 발생시키는 어드레스 기간과 글로 방전을 유지하는 방전 유지 기간으로 나누어 이루어진다. 어드레스 기간에는 선택된 한쪽 버스 전극과 선택된 제2 전극(22)에 방전 개시 전압(Vbd)보다 낮은 펄스 전압을 단시간 인가한다. 펄스 전압이 인가된 한쪽 버스 전극과 제2 전극(22)의 중복 영역이 표시 화소로서 선택되고, 이 중복 영역에서 제1 유전체층(14)의 표면에 유전 분극에 기인하여 벽 전하가 발생하며, 벽 전하가 축적된다. 계속되는 방전 유지 기간에는 쌍을 이룬 버스 전극(13A, 13B)에 Vbd보다 낮은 방전 유지 전압(Vsus)을 인가한다. 벽 전하가 일으키는 벽 전압(Vw)과 방전 유지 전압(Vsus)의 합이 방전 개시 전압(Vbd)보다 커지면(즉, Vw＋Vsus＞Vbd) 글로 방전이 개시된다. 한쪽 버스 전극과 다른 쪽 버스 전극에 인가되는 방전 유지 전압(Vsus)의 위상은 반주기 어긋나 있고 방전 유지 전극의 극성은 교류 주파수에 따라 반전된다.
교류 글로 방전이 유지된 화소에서는, 공간 내에 발생한 희가스의 여기에 기초하여 방사된 진공 자외선에 조사되어 형광체층(24)이 여기되고, 형광체 재료의 종류에 따른 특유의 색의 발광이 얻어진다.
실시예 8의 플라즈마 표시 장치의 제조 방법의 개요를 다음에 설명한다.
제1 패널(10)은 다음과 같이 하여 제조할 수 있다. 먼저, 제1 기판(11)의 전체면에 예를 들면 스퍼터링법에 의해 ITO 층을 형성하고, 포토리소그래피 기술및 에칭 기술에 의해 ITO층을 스트라이프형으로 패터닝함으로써, 제1 및 제2 방전 유지 전극(12A, 12B)을 형성할 수 있다. 다음에, 전체면에 예를 들면 스퍼터링법에 의해 크롬／동／크롬 적층막을 형성하고, 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술에 의해 크롬／동／크롬 적층막을 패터닝함으로써 제1 및 제2 버스 전극(13A, 13B)을 형성할 수 있다.
그 후, 제1 유전체층(14A)에 의해 제1 전극(12A, 13A, 12B, 13B)을 피복한 후, 제1 버스 전극(13A) 및 제2 버스 전극(13B) 상의 제1 유전체층(14A) 부분 상에 제2 유전체층(14B)을 형성한다. 구체적으로는, CVD법에 의해 SiO2로 이루어지며 두께 3μm의 제1 유전체층(14A)을 전체면에 형성한다. 그 후, 스크린 인쇄법에 의해 스트라이프형으로 저융점 유리 페이스트를 제1 유전체층(14A) 상에 형성하고, 저융점 유리 페이스트를 가소성, 본소성함으로써 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)을 얻을 수 있다. 그 후, 전자 빔 증착법에 의해 전체면에 두께 약 0.6μm의 MgO로 이루어지는 보호층(115)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제1 패널(10)을 완성할 수 있다.
제2 패널(20)은 다음과 같이 하여 제조할 수 있다. 먼저, 제2 기판(21) 상에 예를 들면 스크린 인쇄법에 의해 은 페이스트를 스트라이프형으로 인쇄하고, 소성을 거쳐 제2 전극(22)을 형성할 수 있다. 다음에, 스크린 인쇄법에 의해 전체면에 저융점 유리 페이스트층을 형성하고, 이 저융점 유리 페이스트층을 소성함으로써 유전체막(23)을 형성한다. 그 후, 인접한 제2 전극(22) 사이의 영역 상방의 유전체막(23) 상에 예를 들면 스크린 인쇄법에 의해 저융점 유리 페이스트를 인쇄하고, 소성을 거쳐 격벽(25)을 형성한다. 격벽(25)의 높이는 예를 들면 1×10－4m(100μm) 내지 2×10－4m(200μm)으로 하면 된다. 다음에, 3원색의 형광체 슬러리를 순차로 인쇄하고, 소성을 거쳐 형광체층(24R, 24G, 24B)을 형성한다. 이상의 공정에 의해 제2 패널(20)을 완성할 수 있다.
다음에, 플라즈마 표시 장치를 조립한다. 먼저, 예를 들면 스크린 인쇄에 의해 제2 패널(20)의 주연부에 프릿 유리로 이루어지는 시일층(도시하지 않음)을 형성한다. 다음에, 제1 패널(10)과 제2 패널(20)을 접합하고 소성하여 시일층을 경화시킨다. 다음에, 제1 패널(10)과 제2 패널(20) 사이에 형성된 공간을 배기한 후, Ne－Xe 혼합 가스(예를 들면, Ne 50%－Xe 50% 혼합 가스)를 압력 8×104Pa(0.8 기압)으로 봉입하고 공간을 밀봉하여 플라즈마 표시 장치를 완성시킨다. 그리고, 제1 패널(10)과 제2 패널(20)의 접합을 압력 8×104Pa(0.8 기압)의 Ne－Xe 혼합 가스를 채운 챔버 내에서 행하면 배기 공정과 Ne－Xe 혼합 가스의 봉입 공정을 생략하는 것도 가능하다.
그리고, 도 8 (B)에 제1 패널(10)을 도 6의 화살표 B－B를 따라 절단한 것과 동일하게 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도를 도시한 바와 같이, 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극(13A)과 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극(13B) 사이의 제1 기판(11) 상에 제1 기판(11) 측으로부터 제1 유전체층(14A), 제2 유전체층(14B)이 형성되어 있을 수도 있다. 이러한 구성은 스크린 인쇄법에의해 스트라이프형으로 저융점 유리 페이스트를 제1 유전체층(14A) 상에 형성할 때, 적절한 패턴을 유리 페이스트에 부여함으로써 얻을 수 있다.
도 8 (A) 및 도 8 (B)에 도시한 예에서, 제2 유전체층(14B)을 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10) 영역의 상방에도 형성할 수 있다. 즉, 제2 유전체층(14B)의 평면 형상을 격자형(우물정자형)으로 할 수도 있다. 이 경우, 구체적으로는 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10)의 영역에는 제1 전극(12A, 13A, 12B, 13B), 제1 유전체층(14A), 제2 유전체층(14B)이 형성되어 있다. 이러한 구조로 함으로써 글로 방전이 인접한 방전 셀에 영향을 미치는 이른 바 광학적 크로스토크의 발생을 확실하게 방지할 수 있게 된다.
(실시예 9)
실시예 9는 실시예 8의 플라즈마 표시 장치의 변형예이다. 실시예 9의 플라즈마 표시 장치가 실시예 8의 플라즈마 표시 장치와 상이한 점은 도 9 (A) 및 도 9 (B)에 제1 패널(10)을 도 6의 화살표 B－B를 따라 절단한 것과 동일하게 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도를 도시한 바와 같이, 유전체층의 제1 부분이 제1 기판(11) 측으로부터 제2 유전체층(14B), 제1 유전체층(14A)의 순서로 적층되어 있는 점에 있다. 이 점을 제외하고 실시예 9의 플라즈마 표시 장치는 실시예 8의 플라즈마 표시 장치와 동일한 구성을 가진다.
실시예 9의 플라즈마 표시 장치에서, 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)은 제1 버스 전극(13A) 및 제2 버스 전극(13B)의 측면 및 정상면을 피복하고 있다. 또, 산화 실리콘(SiO2)으로 구성된 제1 유전체층(14A)은 제1 버스 전극(13A), 제2 버스 전극(13B)을 피복하고 있는 제2 유전체층(14B) 상과, 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 정상면 및 측면 상에 형성되어 있다. 그리고, 도 9(A)에 도시한 예에서는 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극(13A)과 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극(13B) 사이의 제1 기판(11) 상에 제1 유전체층(14A)이 형성되어 있다.
도 9 (A)에 도시한 구성은 제2 유전체층(14B)에 의해 제1 버스 전극(13A) 및 제2 버스 전극(13B)을 피복한 후, 제1 전극을 제1 유전체층(14A)에 의해 피복함으로써 얻을 수 있다. 구체적으로는, 스크린 인쇄법에 의해 스트라이프형으로 저융점 유리 페이스트를 제1 및 제2 버스 전극(13A, 13B) 상에 형성하고 저융점 유리 페이스트를 가소성, 본소성함으로써, 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)을 얻을 수 있다. 이어서, CVD법에 기초하여 SiO2으로 이루어지며 두께 3μm인 제1 유전체층(14A)을 전체면에 형성하면 된다.
한편, 도 9 (B)에 도시한 바와 같이 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극(13A)과 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극(13B) 사이의 제1 기판(11) 상에 제1 기판(11) 측으로부터 제2 유전체층(14B), 제1 유전체층(14A)이 형성되어 있을 수도 있다. 이러한 구성은 스크린 인쇄법에 의해 스트라이프형으로 저융점 유리 페이스트를 제1 및 제2 버스 전극(13A, 13B) 상에 형성할 때, 적절한 패턴을 유리 페이스트에 부여함으로써 얻을 수 있다.
그리고, 도 9 (A) 및 도 9 (B)에 도시한 예에서, 제2 유전체층(14B)을 제2 패널(20)이 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10) 영역의 상방에도 형성할 수 있다. 즉, 제2 유전체층(14B)의 평면 형상을 격자형(우물정자형)으로 할 수도 있다. 이 경우, 구체적으로는 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10)의 영역에는 제1 전극(12A, 13A, 12B, 13B), 제2 유전체층(14B), 제1 유전체층(14A)이 형성되어 있다. 이러한 구조로 함으로써 글로 방전이 인접한 방전 셀에 영향을 미치는 이른 바 광학적 크로스토크의 발생을 확실하게 방지할 수 있게 된다.
(실시예 10)
실시예 10은 본 발명의 제8 양상에 따른 제2 구성의 플라즈마 표시 장치에 관한 것이다. 이 플라즈마 표시 장치도 이른 바 3전극형으로서 면 방전형에 속한다. 또, 실시예 10의 플라즈마 표시 장치는 ALIS(Alternate Lighting of Surfaces) 방식의 플라즈마 표시 장치로도 불리운다. 실시예 10의 플라즈마 표시 장치에서 방전 유지 전극(12A, 12B)과 버스 전극(13A, 13B)과 격벽(25)의 배치 관계를 도 10에 도식적으로 도시한다. 그리고, 점선으로 둘러싸인 영역이 1화소에 상당한다. 각 구성 요소를 명확하게 하기 위해 도 10에 사선을 첨가하였다. 도 10에서는 직사각형으로 표시했지만, 실제로 1화소의 외형은 대략 정사각형이다. 1화소는 격벽(25)에 의해 3개의 구획(방전 셀)으로 구분되어 있고, 각 구획으로부터 3원색(R, G, B) 중 어느 하나가 발광한다. 실시예 10의 플라즈마 표시 장치의 일부 도식적인 분해 사시도를 도 11에 도시한다. 이 플라즈마 표시 장치는 제1패널(10)과 제2 패널(20)을 가진다. 제1 패널(10；프론트 패널)은 예를 들면 유리로 이루어지는 제1 기판(11)과, 제1 기판(11) 상에 형성된 복수의 제1 전극으로 구성된 제1 전극군과, 제1 전극을 피복하며 제1 유전체층(14A)과 제2 유전체층(14B)으로 구성된 유전체층과, 유전체층 상에 형성된 산화 마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(115)으로 이루어진다.
실시예 10의 플라즈마 표시 장치에서는 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과, 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극은 공통이다. 즉, 이들 버스 전극은 스트라이프형의 하나의 도전성 재료층(버스 전극 구성 도전 재료층이라고 함)으로 구성된다. 이러한 공통의 제1 버스 전극과 제2 버스 전극을 공통 버스 전극(113)으로 표시한다. 각 제1 전극은 제1 버스 전극(113；공통 버스 전극)과, 공통 버스 전극(113)과 접하는 제1 방전 유지 전극(12A)과, 이러한 공통 버스 전극(113)과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극(인접한 공통 버스 전극(113))과, 이러한 공통 버스 전극(113)과 접하며 제1 방전 유지 전극(12A)과 대향하는 제2 방전 유지 전극(12B)으로 구성되어 있다. 그리고, 제1 전극을 구성하는 제1 방전 유지 전극(12A)과 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 방전 유지 전극(12B)은 스트라이프형의 하나의 도전성 재료층(방전 유지 전극 구성 도전 재료층이라고 함)으로 구성된다. 그리고, 공통 버스 전극(113)은 방전 유지 전극 구성 도전 재료층의 중앙부에 형성되어 있다. 버스 전극 구성 도전 재료층 및 방전 유지 전극 구성 도전 재료층은 제 1방향으로 연장되어 있다. 또한, 공통 버스 전극(113)은 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통이며, 제1 방전 유지전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)도 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통이다. 버스 전극 구성 도전 재료층 및 방전 유지 전극 구성 도전 재료층은 실시예 1과 같이, 각각 예를 들면 크롬/동/크롬 적층막, ITO로 형성하면 된다. 또한, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B) 사이의 간격(측면(12a)과 측면(12b) 사이의 간격(Ll))을 5×10－5m 미만(예를 들면 20μm)으로 한다. 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B) 사이에서 글로 방전이 발생한다.
도 10의 B－B 선을 따라 제1 패널(10)을 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도를 도 12 (A)에 도시한다. 유전체층은 제1 부분과 제2 부분으로 구성되어 있다. 즉, 공통 버스 전극(113)을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 제1 유전체층(14A) 및 제2 유전체층(14B)으로 이루어지고, 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)을 피복하는 유전체층의 제2 부분은 제1 유전체층(14A)으로 이루어진다. 여기에서, 유전체층의 제1 부분은 제1 기판(11) 측으로부터 제1 유전체층(14A), 제2 유전체층(14B)의 순서로 적층되어 있다. 산화 실리콘(SiO2)부터 구성된 제1 유전체층(14A)은 제1 방전 유지 전극(12A), 제2 방전 유지 전극(12B) 각각의 측면 및 정상면을 피복하고 있다. 한편, 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)은 공통 버스 전극(113)을 피복하고 있는 제1 유전체층(14A) 부분 상에 형성되어 있다. 제1 방전 유지 전극(12A)의 정상면 상 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 정상면 상의 제1 유전체층(14A)의 두께를 3μm으로 한다. 또, 공통 버스 전극(113)의 정상면 상의 제2 유전체층(14B)의 두께를 10μm으로 한다.
제2 패널(20) 및 플라즈마 표시 장치의 다른 구성은 실시예 8과 동일한 구성으로 하면 되므로, 상세한 설명은 생략한다. 여기에서, 쌍을 이룬 공통 버스 전극(113), 이들 공통 버스 전극(113)으로부터 연장되는 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B)과, 2개의 격벽(25) 사이에 위치하는 제2 전극(22)이 중복되는 영역이 방전 셀에 상당한다. 또, 쌍을 이룬 공통 버스 전극(113), 쌍을 이룬 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)과, 3원색의 형광체층(24R, 24G, 24B) 1세트가 중복되는 영역이 1화소에 상당한다.
실시예 10의 플라즈마 표시 장치의 제조 방법은 실질적으로 실시예 8에서 설명한 플라즈마 표시 장치의 제조 방법과 동일하다고 할 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
그리고, 이러한 구성을 가지는 플라즈마 표시 장치의 구동은 1개의 방전 유지 전극 구성 도전 재료층이 상하 2개의 방전 유지 전극에 상당한다. 그리고, 홀수 표시 라인과 짝수 표시 라인을 각각의 필드로 나누어 표시하고, 이것을 교대로 반복함으로써 플라즈마 표시 장치의 전체 화면을 표시한다. 또한, 더욱 상세한 것은 예를 들면 일본국 특개평 9-160525호 공보에 개시되어 있다.
그리고, 실시예 9와 마찬가지로, 유전체층의 제1 부분이 제1 기판(11) 측으로부터 제2 유전체층(14B), 제1 유전체층(14A)의 순서로 적층되어 있는 구성으로 할 수도 있다. 이러한 구성의 플라즈마 표시 장치의 제1 패널을 도 10의 화살표 B-B를 따라 절단했을 때의 도식적인 일부 단면도를 도 12(B)에 도시한다. 이 플라즈마 표시 장치에서 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)은공통 버스 전극(113)의 측면 및 정상면을 피복하고 있다. 또, 산화 실리콘(SiO2)으로 구성된 제1 유전체층(14A)은 공통 버스 전극(113)을 피복하고 있는 제2 유전체층(14B) 상과, 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 정상면 및 측면 상에 형성되어 있다.
도 12 (B)에 도시한 구성은 제2 유전체층(14B)에 의해 공통 버스 전극(113)을 피복한 후, 제1 전극을 제1 유전체층(14A)에 의해 피복함으로써 얻을 수 있다. 구체적으로는, 스크린 인쇄법에 의해 스트라이프형으로 저융점 유리 페이스트를 공통 버스 전극(113) 상에 형성하고 저융점 유리 페이스트를 가소성, 본소성함으로써, 저융점 유리 페이스트의 소성체로 구성된 제2 유전체층(14B)을 얻을 수 있다. 이어서, CVD법에 따라 SiO2로 이루어지며 두께 3μm인 제1 유전체층(14A)을 전체면에 형성하면 된다.
그리고, 도 12 (A) 및 도 12 (B)에 도시한 예에서 제2 유전체층(14B)을, 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10) 영역의 상방에도 형성할 수 있다. 즉, 제2 유전체층(14B)의 평면 형상을 격자형(우물정자형)으로 할 수도 있다. 이 경우, 구체적으로는 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10)의 영역에는 제1 전극(12A, 12B, 13), 제2 유전체층(14B), 제1 유전체층(14A)이 형성되어 있다. 이러한 구조로 함으로써 글로 방전이 인접한 방전 셀에 영향을 미치는 이른 바 광학적 크로스토크의 발생을 확실하게 방지할 수 있게 된다.
이상, 본 발명을 실시예에 따라 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 실시예에서 설명한 플라즈마 표시 장치의 구조나 구성, 사용한 재료, 치수, 제조 방법 등은 예시한 것이며, 적당하게 변경할 수 있다. 실시예에서의 유전체층(제1 유전체막, 제2 유전체막, 제1 유전체층 및 제2 유전체층)의 형성 방법은 예시한 것이며, 유전체층을 구성하는 재료에 따라 유전체층을 구성하는 재료에 가장 적합한 형성 방법에 의해 유전체층을 형성하면 된다. 예를 들면, 워터 글래스, 유리 가루의 현탁액과 같은 용액에 의해 스핀 코팅법이나 스크린 인쇄법으로 유전체층을 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성할 수 있다.
본 발명의 제1 내지 제7 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서, 형광체층의 발광이 제2 기판을 통하여 관찰되는 투과형 플라즈마 표시 장치에 본 발명을 적용할 수 있다. 실시예에서는 평행하게 연장되는 한 쌍의 방전 유지 전극으로 플라즈마 표시 장치를 구성하였지만, 그 대신 한 쌍의 버스 전극이 제1 방향으로 연장되고, 한 쌍의 버스 전극 사이에서 한 쌍의 버스 전극으로부터 한쪽 방전 유지 전극이 다른 쪽 버스 전극에 못 미쳐 제2 방향으로 연장되며, 다른 쪽 버스 전극으로부터 다른 쪽 방전 유지 전극이 한쪽 버스 전극에 못 미쳐 제2 방향으로 연장되는 구조로 할 수도 있다. 한 쌍의 방전 유지 전극 중, 제1 방향으로 연장되는 한쪽 방전 유지 전극을 제1 기판에 형성하고, 다른 쪽 방전 유지 전극을 어드레스 전극과 평행하게 격벽의 격벽 상부에 형성하는 구조로 할 수도 있다. 또, 본 발명의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치를 2전극형의 플라즈마 표시 장치로 할 수도 있다. 또한, 어드레스 전극을 제1 기판에 형성할 수도 있다. 이와 같은 구조의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치는 예를 들면 제1 방향으로 연장되는 한 쌍의 방전 유지 전극 및 한 쌍의 방전 유지 전극의 한쪽 근방에 한 쌍의 방전 유지 전극 한쪽을 따라 형성된 어드레스 전극(단, 한 쌍의 방전 유지 전극 한쪽을 따른 어드레스 전극의 길이를 방전 셀의 제1 방향을 따른 길이 이내로 함)으로 구성할 수 있다. 그리고, 방전 유지 전극을 단락(短絡)하지 않도록, 절연층을 개재하여 제2 방향으로 연장되는 어드레스 전극용 배선을 설치하고, 이러한 어드레스 전극용 배선과 어드레스 전극을 전기적으로 접속하거나, 또는 어드레스 전극용 배선으로부터 어드레스 전극이 연장되는 구조로 한다.
실시예 1 내지 7에서는 한 쌍의 방전 유지 전극의 대향하는 가장자리 부분 사이의 갭 형상을 직선형으로 하였지만, 한 쌍의 방전 유지 전극의 대향하는 가장자리 부분의 갭 형상을 방전 유지 전극의 폭 방향으로 굴곡된 패턴 또는 만곡된 패턴(예를 들면, "＜"형의 조합, "S"자의 조합이나 호(弧)의 조합 등, 임의의 곡선의 조합)으로 할 수도 있다. 이와 같은 구성으로 함으로써 한 쌍의 방전 유지 전극의 대향하는 가장자리 부분의 길이를 길게 할 수 있고, 방전 효율의 향상을 도모할 수 있다. 이와 같은 구조를 가지는 한 쌍의 방전 유지 전극의 도식적인 부분 평면도를 도 13 (A), 도 13 (B) 및 도 13 (C)에 도시한다.
실시예 8 내지 10에서는 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)은 제1 방향을 따라 인접한 방전 셀에서 공통이 아니라 한 쌍의 격벽 사이에로 형성되어 있을 수도 있다(즉, 각 방전 셀마다 형성되어 있을 수도 있다).
실시예 1 내지 10에서의 구체적인 방전 유지 전극(12A, 12B)과 버스전극(13A, 13B)과 격벽의 배치 관계를 도 14 내지 도 16에 도식적으로 나타낸다. 도 14에 도시된 예에서 격벽(25)과 격벽(25) 사이에서 제1 버스 전극(13A)으로부터 제1 방전 유지 전극(12A)이 제2 버스 전극(13B)을 향하여 제2 방향과 평행하게 연장되어 있고, 격벽(25)과 격벽(25)의 사이에서 제2 버스 전극(13B)으로부터 제2 방전 유지 전극(12B)이 제1 버스 전극(13A)을 향하여 제2 방향과 평행하게 연장되어 있으며, 제1 방전 유지 전극(12A)의 선단부(12a＇)와 제2 방전 유지 전극(12B)의 선단부(12b＇) 사이에서 글로 방전이 발생한다. 그리고, 제1 방전 유지 전극(12A)의 선단부(12a＇) 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 선단부(12b＇)의 형상은 직선형 또는 지그재그형(예를 들면, "＜" 형상의 조합, "S"자의 조합이나 호의 조합, 임의의 곡선의 조합)으로 할 수 있다. 그리고, 이와 같은 구성으로 함으로써 방전 유지 전극의 면적을 축소할 수 있고 그 결과 전극 용량을 작게 할 수 있어 소비 전력 저감을 도모할 수 있다.
또는, 방전 유지 전극(12A, 12B)과 버스 전극(13A, 13B)과 격벽(25)의 배치 관계를 도 15에 도식적으로 도시하고, 일부 도식적인 분해 사시도를 도 17에 도시한 바와 같이, 각 제1 전극을, (A) 제1 방향으로 연장되는 제1 버스 전극(13A), (B) 상기 제1 버스 전극(13A)과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극(13B), (C) 격벽(25)과 격벽(25) 사이에서 제1 버스 전극(13A)으로부터 제2 버스 전극(13B)을 향하여 제2 버스 전극(13B)에 못 미쳐 제2 방향과 평행하게 연장되는 제1 방전 유지 전극(12A), 및 (D) 격벽(25)과 격벽(25) 사이에서 제2 버스 전극(13B)으로부터 제1 버스 전극(13A)을 향하여 제1 버스 전극(13A)에 못 미쳐 제1 방전 유지전극(12A)과 마주보며 제2 방향과 평행하게 연장되는 제2 방전 유지 전극(12B)으로 구성할 수도 있다. 그리고, 제2 방전 유지 전극(12B)과 대향하는 제1 방전 유지 전극(12A)의 부분(12a″)과 제1 방전 유지 전극(12A)과 대향하는 제2 방전 유지 전극(12B)의 부분(12b″) 사이에서 글로 방전이 발생한다.
한 쌍의 격벽(25)에 의해 사이에 끼인 영역에서는, 제1 버스 전극(13A)으로부터 연장되는 제1 방전 유지 전극(12A)의 수를 N1, 제2 버스 전극(13B)으로부터 연장되는 제2 방전 유지 전극(12B)의 수를 N2로 했을 때 N1＝N2＝1로 할 수도 있고, n을 1 이상의 정수로 했을 때 N1＝2n－1, N2＝2n 또는 N1＝2n, N2＝2n－1로 할 수도 있으며, N1＝N2＝2n으로 할 수도 있다.
도 15에 도시한 구성의 플라즈마 표시 장치에서는, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B)은 서로 마주보고 연장되어 있지만, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B)의 간격은 소정의 간격인 것이 바람직하고, 또한 일정한 간격인 것이 더욱 바람직하다. 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 평면 형상을 대략 직사각형으로 할(즉, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B)을 직선형의 형상으로 할) 수도 있으며(도 15 참조), 지그재그형(예를 들면, "＜" 형상의 조합, "S"자의 조합이나 호의 조합, 임의의 곡선의 조합)으로 할 수도 있다. 후자의 경우, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B) 사이의 이상 방전의 발생을 방지하기 위해 제1 방전 유지 전극(12A) 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 대향하는 부분(12a″, 12b″)에는 각부(角部)가 없는 것이 바람직하다. 또는, 제1 방전 유지 전극(12A) 선단부의 각부(코너부) 또는 제2 방전 유지 전극(12B) 선단부의 각부(코너부)로부터의 이상 방전의 발생을 방지하기 위해 제1 방전 유지 전극(12A)의 선단부 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 선단부는 각이 제거되거나 또는 둥글게 되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 도 16에 도시한 바와 같이 제1 방전 유지 전극(12A)의 선단부 및 제2 방전 유지 전극(12B)의 선단부는 각이 제거되거나 또는 각이 둥글게 되어 있는 것이 바람직하다.
또, 제1 방전 유지 전극(12A)의 선단부와 제2 버스 전극(13B) 사이의 이상 방전을 방지하거나 또는 제2 방전 유지 전극(12B)의 선단부와 제1 버스 전극(13A) 사이의 이상 방전을 방지하기 위해, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B) 사이의 간격을 L1, 제1 버스 전극(13A)과 제2 방전 유지 전극(12B)의 선단부 사이의 간격 또는 제2 버스 전극(13B)과 제1 방전 유지 전극(12A)의 선단부 사이의 간격을 L2로 했을 때, L1<L2를 만족하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들면 L1＝5×10－5m(50μm), L2＝8×10－5m(80μm)으로 하면 된다.
도 15 또는 도 16에 도시한 구성에서는, 제1 방전 유지 전극(12A)과 제2 방전 유지 전극(12B)은 서로 마주보며 버스 전극(13A, 13B)으로부터 제2 방향과 평행하게 연장되어 있다. 1화소의 외형은 대략 정사각형이며 1화소는 격벽에 의해 3개의 구획(셀)으로 구분되어 있고 각 구획으로부터 3원색(R, G, B) 중의 하나의 색이발광하며, 1화소의 외형 치수를 L0으로 했을 때, 각 구획의 치수는(L0／3)×(L0)보다 약간 작은 치수이다. 따라서, 쌍을 이룬 방전 유지 전극(12A, 12B)에서 글로 방전에 기여하는 방전 유지 전극(12A, 12B) 부분의 길이는(L0)에 가까운 값이다. 즉, 도 6 내지 도 12에 도시한 플라즈마 표시 장치에 비해 글로 방전에 기여하는 부분의 길이를 약 3배로 할 수 있고 그 결과 방전 영역을 확대할 수 있다. 따라서, 플라즈마 표시 장치의 휘도를 더욱 향상시킬 수 있게 된다. 또, 이와 같은 구성으로 함으로써 방전 유지 전극의 면적을 축소할 수 있고 그 결과 전극 용량을 작게 할 수 있어 소비 전력 저감을 도모할 수 있다.
그리고, 도 14 내지 도 16에 도시한 예에 대하여 실시예 1 내지 실시예 10에서 설명한 유전체층을 적용할 수 있다. 도 14에 도시한 방전 유지 전극을 실시예 10에서 설명한 공통 버스 전극(113)과 조합했을 때, 방전 유지 전극(12A, 12B)과 공통 버스 전극(113)과 격벽(25)의 배치 관계를 도 18에 도식적으로 도시한다. 또, 도 15에 도시한 방전 유지 전극을 실시예 10에서 설명한 공통 버스 전극(113)과 조합했을 때, 방전 유지 전극(12A, 12B)과 공통 버스 전극(113)과 격벽(25)의 배치 관계를 도 19 및 도 20에 도식적으로 도시한다.
또는, 도 14 내지 도 20에 도시한 예에서, 제2 유전체층(14B)을 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1 패널(10) 영역의 상방에도 형성할 수 있다. 즉, 제2 유전체층(14B)의 평면 형상을 격자형(우물정자형)으로 할 수도 있다. 이 경우, 구체적으로는 제2 패널(20)에 형성된 격벽(25)에 대응하는 제1패널(10)의 영역에는 제1 전극(더욱 구체적으로는, 버스 전극(13A, 13B)이나 공통 버스 전극(113)), 제2 유전체층(14B), 제1 유전체층(14A)이 이 순서로 형성되고, 또는 제1 전극(더욱 구체적으로는, 버스 전극(13A, 13B)이나 공통 버스 전극(113)), 제1 유전체층(14A), 제2 유전체층(14B)이 이 순서로 형성되어 있다. 이러한 구조로 함으로써 글로 방전이 인접한 방전 셀에 영향을 미치는 이른 바 광학적 크로스토크의 발생을 확실하게 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 제1 내지 제7 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서는, 종래의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에 비해 충분히 얇은 유전체층이 형성되어 있으므로, 또는 비유전율이 높은 재료로 유전체층이 구성되어 있으므로, 유전체층의 용량을 크게 할 수 있다. 그 결과, 전하 축적량을 증가시킬 수 있어 구동 전력, 즉 소비 전력의 저감이 가능하게 될 뿐 아니라, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 휘도 향상을 도모할 수 있다. 또, 산화 알루미늄층, 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층, 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층은 막의 밀도가 높고 이상 방전이 잘 발생하지 않아 방전 안정성이 향상되므로, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 신뢰성이 높아진다. 그리고, 산화 규소층 등과의 적층 구조로 하면 유전체층 내의 응력을 완화시킬 수 있어 유전체층이 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제1 내지 제7 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서는, 한 쌍의 방전 유지 전극 사이의 간격을 5×10-5m 미만, 바람직하게는 5.0×10-5m 미만, 더욱 바람직하게는 2×10-5m 이하로 하면, 구동 전력을 한 쌍의 방전 유지 전극 사이의 거리가 100㎛ 정도인 종래의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치에 비해 저감시킬 수 있다. 따라서, 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 구동 회로의 부담을 적게 할 수 있을 뿐 아니라, 방전 안정성도 향상된다. 또한, 구동 전력을 종래의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치와 동등하거나 또는 종래에 가까운 크기로 할 때는 본 발명의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 발광 휘도를 높일 수 있다. 한편, 종래의 동등한 구동 전력으로 할 때는 본 발명의 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 밝기를 높일 수 있다. 또한, 고정세도, 고밀도 표시를 달성할 수 있거나 또는 형광체층의 면적 증가에 따른 휘도 향상을 도모할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표지 장치에서는, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 제1 유전체층 및 제2 유전체층으로 이루어지기 때문에, 예를 들면 버스 전극의 정상면의 가장자리 부분과 제2 전극 사이에서 이상 방전이 발생하는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 제1 유전체층의 두께를 얇게 할 수 있기 때문에, 쌍을 이룬 방전 유지 전극 사이의 거리(방전 갭)를 좁게 할 수 있고 그 결과 화소의 고밀도화, 저전압 구동을 달성할 수 있다. 또, 광의 투과율이 높아지기 때문에 발광 효율이 개선되어 밝은 화면이 실현된다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서는, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분이 제1 유전체층 및 제2 유전체층으로 이루어지기 때문에, 방전 영역이 제2 방향을 따라 인접한 방전 셀까지 넓어지는 것을 억제할 수 있고, 제2 방향을 따라 인접한 방전 셀 사이의 광학적 크로스토크의 발생, 화소 사이의 휘도 분포의 열화를 방지할 수 있고, 안정된 동작을 얻을 수 있어 화상의 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극이 비교적 두꺼운 제2 유전체층에 의해 덮여 있기 때문에, 전극 용량이 저하되어 소비 전력 저감을 달성할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서는, 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과 이 제1 전극에 인접한 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극 사이의 제1 기판 상에 제1 유전체층 및 제2 유전체층을 형성하면, 이들 버스 전극 사이의 이상 방전의 발생을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제8 양상에 따른 플라즈마 표시 장치에서는, 제1 방전 유지 전극이 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되고, 제2 방전 유지 전극이 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되고, 제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 글로 방전이 발생하는 구성으로 하면, 글로 방전에 기여하는 방전 유지 전극 부분의 길이를 충분히 길게 할 수 있기 때문에, 방전 영역을 확대할 수 있어 간소한 구성에도 불구하고 플라즈마 표시 장치의 휘도를 향상시킬 수 있다.

Claims (92)

  1. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  7. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층은 적어도 산화 알루미늄층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  12. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층은 적어도 산화 알루미늄층과 산화 규소층의 적층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  15. 제12항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  17. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층은 적어도 산화 규소층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  20. 제17항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  22. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층은 적어도 다이아몬드라이크 카본층(diamond-like carbon layer), 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  25. 제22항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  27. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층은 적어도 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 또는 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 이루어지는 층, 및 산화 규소층 또는 산화 알루미늄층으로 이루어지는 층의 적층 구조인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  30. 제27항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  32. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    상기 유전체층은 적어도 다이아몬드라이크 카본층, 질화 붕소층 및 산화 크롬(ⅠⅠⅠ)층으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 2층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  33. 제32항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  34. 제33항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  35. 제32항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  36. 제35항에 있어서,
    한 쌍을 구성하는 유지 전극간의 거리는 2 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  37. 제32항에 있어서,
    상기 유전체층은 산화 규소층, 산화 알루미늄층 또는 산화 규소층과 산화 알루미늄층의 적층 구조를 구비하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  38. 제37항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.5×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  39. 제38항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  40. 제37항에 있어서,
    제1 패널에 형성된 상기 유지 전극은 한 쌍으로 작동하고, 상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 5×10-5m 미만인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  41. 제40항에 있어서,
    상기 한 쌍의 유지 전극간의 거리는 2×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치.
  42. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법으로서,
    스퍼터링법, 진공 증착법, 이온 플레이팅법 또는 화학적 기상 성장법에 의해 두께 1.5×10-5m 이하의 유전체층을 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  43. 제42항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  44. 제1 기판 상에 형성된 방전 유지 전극 및 제1 기판과 방전 유지 전극 상에 형성된 유전체층을 구비한 제1 패널, 및 제2 패널이 이들의 외주부에서 접합되어 이루어지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법으로서,
    유전체 재료를 포함하는 용액에 의해 두께 1.5×10-5m 이하의 유전체층을 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  45. 제44항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  46. 제44항에 있어서,
    유전체 재료를 포함하는 용액을 스핀 코팅법에 의해 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 도포하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  47. 제46항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  48. 제44항에 있어서,
    유전체 재료를 포함하는 용액을 스크린 인쇄법에 의해 제1 기판 및 방전 유지 전극 상에 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  49. 제48항에 있어서,
    상기 유전체층의 두께는 1.0×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  50. (1) 제1 기판과, 제1 기판 상에 형성된 복수의 제1 전극으로 구성된 제1 전극군과, 제1 전극을 피복하며 제1 유전체층과 제2 유전체층으로 구성된 유전체층으로 이루어지는 제1 패널, 및
    (2) 제2 기판과, 제1 전극이 연장되는 방향과 소정의 각도를 이루어 연장되는 복수의 제2 전극으로 구성된 제2 전극군과, 인접한 제2 전극 사이에 형성된 격벽과, 제2 전극 상방에 형성된 형광체층으로 이루어지는 제2 패널을 가지는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치로서,
    각 제1 전극은,
    (A) 제1 버스 전극과,
    (B) 제1 버스 전극과 접하는 제1 방전 유지 전극과,
    (C) 제1 버스 전극과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극과,
    (D) 제2 버스 전극과 접하며 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극
    으로 이루어지며,
    제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이에서 방전이 발생하는 플라즈마 표시 장치로서,
    제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복하는 유전체층의 제1 부분은 제1 유전체층 및 제2 유전체층으로 이루어지며,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분은 제1 유전체층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  51. 제50항에 있어서,
    제1 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 두께는 1 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  52. 제51항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되며, 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  53. 제51항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  54. 제53항에 있어서,
    제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되며 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 연장되며,
    제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  55. 제53항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되며,
    제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되며,
    제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  56. 제50항에 있어서,
    상기 제1 유전체층과 제2 유전체층은 제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과 상기 제1 전극에 인접하는 제1 전극을 구성하는 제2 버스 전극 사이의 제1 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  57. 제50항에 있어서,
    상기 제2 유전체층은 제2 패널에 형성된 격벽에 대응하는 제1 패널의 영역의 상방에도 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  58. 제50항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 제2 유전체층을 구성하는 재료와 상이한 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  59. 제58항에 있어서,
    제1 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 두께는 1 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  60. 제59항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 산화 실리콘이고, 제2 유전체층을 구성하는 재료는 유리 페이스트의 소성체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  61. 제58항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 산화 실리콘이고, 제2 유전체층을 구성하는 재료는 유리 페이스트의 소성체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  62. 제58항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되며, 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  63. 제58항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  64. 제63항에 있어서,
    제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되며 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 연장되며,
    제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  65. 제63항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되며,
    제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되며,
    제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  66. 제50항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되며, 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  67. 제50항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  68. 제67항에 있어서,
    제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되며 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 연장되며,
    제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  69. 제67항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되며,
    제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되며,
    제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  70. 제50항에 있어서,
    제1 전극을 구성하는 제1 버스 전극과 상기 제1 전극에 인접하는 제1 전극을구성하는 제2 버스 전극은 공통인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  71. 제70항에 있어서,
    제1 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 두께는 1 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  72. 제71항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되며, 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  73. 제71항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  74. 제73항에 있어서,
    제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되며 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 연장되며,
    제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  75. 제73항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되며,
    제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되며,
    제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  76. 제70항에 있어서,
    상기 제2 유전체층은 제2 패널에 형성된 격벽에 대응하는 제1 패널의 영역의 상방에도 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  77. 제70항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 제2 유전체층을 구성하는 재료와 상이한 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  78. 제77항에 있어서,
    제1 및 제2 방전 유지 전극을 피복하는 유전체층의 제2 부분의 두께는 1 ×10-5m 이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  79. 제78항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 산화 실리콘이고, 제2 유전체층을 구성하는 재료는 유리 페이스트의 소성체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  80. 제77항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 산화 실리콘이고, 제2 유전체층을 구성하는 재료는 유리 페이스트의 소성체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  81. 제77항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되며, 제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  82. 제77항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  83. 제82항에 있어서,
    제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되며 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 연장되며,
    제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  84. 제82항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되며,
    제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되며,
    제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  85. 제70항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극과 평행하게 연장되며, 제2 방전 유지전극은 제2 버스 전극과 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  86. 제70항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극 및 제2 방전 유지 전극은 한 쌍의 격벽 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  87. 제86항에 있어서,
    제1 버스 전극으로부터 제1 방전 유지 전극이 제2 버스 전극을 향하여 연장되며 제2 버스 전극으로부터 제2 방전 유지 전극이 제1 버스 전극을 향하여 연장되며,
    제1 방전 유지 전극의 선단부와 제2 방전 유지 전극의 선단부 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  88. 제86항에 있어서,
    제1 방전 유지 전극은 제1 버스 전극으로부터 제2 버스 전극을 향하여 제2 버스 전극에 못 미쳐 연장되며,
    제2 방전 유지 전극은 제2 버스 전극으로부터 제1 버스 전극을 향하여 제1 버스 전극에 못 미쳐 제1 방전 유지 전극과 마주보며 연장되며,
    제2 방전 유지 전극과 대향하는 제1 방전 유지 전극의 부분과 제1 방전 유지전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극의 부분 사이에서 방전이 발생하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치.
  89. (1) 제1 기판과, 제1 기판 상에 형성된 복수의 제1 전극으로 구성된 제1 전극군과, 제1 전극을 피복하며 제1 유전체층과 제2 유전체층으로 구성된 유전체층으로 이루어지는 제1 패널, 및,
    (2) 제2 기판과, 제1 전극이 연장되는 방향과 소정의 각도를 이루어 연장되는 복수의 제2 전극으로 구성된 제2 전극군과, 인접한 제2 전극 사이에 형성된 격벽과, 제2 전극의 상방에 형성된 형광체층으로 이루어지는 제2 패널
    을 가지며,
    각 제1 전극은,
    (A) 제1 버스 전극과,
    (B) 제1 버스 전극과 접하는 제1 방전 유지 전극과,
    (C) 제1 버스 전극과 평행하게 연장되는 제2 버스 전극과,
    (D) 제2 버스 전극과 접하며 제1 방전 유지 전극과 대향하는 제2 방전 유지 전극
    으로 이루어지며,
    제1 방전 유지 전극과 제2 방전 유지 전극 사이에서 방전이 발생하는 교류 구동형 플라즈마 표시 장치의 제조 방법으로서,
    (a) 제1 기판 상에 제1 전극군을 형성하는 공정과,
    (b) 제1 유전체층에 의해 제1 전극을 피복한 후, 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극 상의 제1 유전체층 부분 상에 제2 유전체층을 형성하거나, 또는 제2 유전체층에 의해 제1 버스 전극 및 제2 버스 전극을 피복한 후, 제1 전극을 제1 유전체층에 의해 피복하는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  90. 제89항에 있어서,
    공정 (b)에서, 제2 패널에 형성된 격벽에 대응하는 제1 패널 영역의 상방에도 제2 유전체층을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  91. 제89항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 제2 유전체층을 구성하는 재료와 상이한 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
  92. 제91항에 있어서,
    제1 유전체층을 구성하는 재료는 산화 실리콘이며 제1 유전체층을 화학적 기상 성장법에의해 형성하고,
    제2 유전체층을 구성하는 재료는 유리 페이스트의 소성체이며 제2 유전체층을 스크린 인쇄법에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 장치의 제조 방법.
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