KR20030095327A - 스테이지 장치 및 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (28)
- 기판을 유지하는 스테이지 본체를 제1 방향으로 이동이 자유롭게 가이드하고 베이스 위를 제2 방향으로 이동하는 가이드 부재와, 상기 스테이지 본체를 상기 제1 방향으로 구동하는 구동 장치를 구비한 스테이지 장치로서,상기 구동 장치의 일부가 접속되어, 상기 가이드 부재와 상기 제2 방향으로 이동하는 종동 스테이지가 상기 가이드 부재와 상기 베이스 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 종동 스테이지는 상기 스테이지 본체에 용력을 공급하는 용력 공급 부재를 중계하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 용력 공급 부재는 상기 베이스에 형성된 관통 구멍을 통해 상기 종동 스테이지에서 중계되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 관통 구멍을 덮는 덮개 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 덮개 부재는 일단이 상기 스테이지 본체에 부착되어, 그 스테이지 본체의 이동에 따라 신축(伸縮)되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 종동 스테이지는 상기 베이스와 진동적으로 분리하여 설치되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 종동 스테이지는 상기 베이스에 형성된 제2 관통 구멍을 관통하는 지지부에 지지되는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 장치는 상기 스테이지 본체에 접속된 가동자와 상기 종동 스테이지에 접속된 고정자를 갖추고,상기 가동자와 고정자 사이의 간극량을 검출하는 검출 장치와,상기 검출된 간극량에 기초하여 상기 가동자와 고정자의 상대 위치 관계를 조정하는 위치 조정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가이드 부재와 종동 스테이지를 해제가 자유롭게 일체화하여 연결시키는 연결 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지 본체를 상기 가이드 부재에 대하여, 비접촉 상태로 상기 제1 방향으로 이동이 자유롭고 상기 기판의유지면을 따라서 회전이 자유롭게 유지시키는 유지 장치와,상기 스테이지 본체를 상기 유지면을 따라서 회전시키는 회전 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제10항에 있어서, 상기 회전 장치는 상기 스테이지 본체를 사이에 두고 양측에 설치된 상기 구동 장치와,상기 양측의 구동 장치를 서로 역방향으로 구동시키는 구동 제어 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가이드 부재의 상기 제2 방향으로의 구동은 제2 고정자를 갖는 제2 구동 장치에 의해 행해지고,상기 종동 스테이지의 상기 제2 방향으로의 구동은 상기 제2 고정자를 사용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제12항에 있어서, 상기 가이드 부재에 접속된 제2 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량 또는 상기 종동 스테이지에 접속된 제3 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량, 혹은 상기 제2 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량 및 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량을 검출하는 제2 검출 장치와,상기 검출된 간극량에 기초하여 상기 제2 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계 또는 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계, 혹은 상기제2 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계 및 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계를 조정하는 제2 위치 조정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 마스크 스테이지에 유지된 마스크의 패턴을 기판 스테이지에 유지된 감광 기판에 노광하는 노광 장치에 있어서,상기 마스크 스테이지 또는 상기 기판 스테이지로서, 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 스테이지 장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 구동 장치는 상기 스테이지 본체에 접속된 가동자와 상기 종동 스테이지에 접속된 고정자를 갖추고,상기 가동자와 고정자 사이의 간극량을 검출하는 검출 장치와,상기 검출된 간극량에 기초하여 상기 가동자와 고정자의 상대 위치 관계를 조정하는 위치 조정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 가이드 부재와 상기 종동 스테이지를 해제가 자유롭게 일체화하여 연결시키는 연결 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 스테이지 본체를 상기 가이드 부재에 대하여, 비접촉 상태로 상기 제1 방향으로 이동이 자유롭고 상기 기판의 유지면을 따라서 회전이자유롭게 유지시키는 유지 장치와,상기 스테이지 본체를 상기 유지면을 따라서 회전시키는 회전 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제17항에 있어서, 상기 회전 장치는 상기 스테이지 본체를 사이에 두고 양측에 설치된 상기 구동 장치와,상기 양측의 구동 장치를 서로 역방향으로 구동시키는 구동 제어 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 가이드 부재의 상기 제2 방향으로의 구동은 제2 고정자를 갖는 제2 구동 장치에 의해 행해지고,상기 종동 스테이지의 상기 제2 방향으로의 구동은 상기 제2 고정자를 사용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제19항에 있어서, 상기 가이드 부재에 접속된 제2 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량 또는 상기 종동 스테이지에 접속된 제3 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량, 혹은 상기 제2 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량 및 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량을 검출하는 제2 검출 장치와,상기 검출된 간극량에 기초하여 상기 제2 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계 또는 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계, 혹은 상기제2 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계 및 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계를 조정하는 제2 위치 조정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 마스크 스테이지에 유지된 마스크의 패턴을 기판 스테이지에 유지된 감광 기판에 노광하는 노광 장치에 있어서,상기 마스크 스테이지 또는 상기 기판 스테이지로서, 제6항에 기재된 스테이지 장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 구동 장치는 상기 스테이지 본체에 접속된 가동자와 상기 종동 스테이지에 접속된 고정자를 갖추고,상기 가동자와 고정자 사이의 간극량을 검출하는 검출 장치와,상기 검출된 간극량에 기초하여 상기 가동자와 고정자의 상대 위치 관계를 조정하는 위치 조정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제22항에 있어서, 상기 가이드 부재와 상기 종동 스테이지를 해제가 자유롭게 일체화하여 연결시키는 연결 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제23항에 있어서, 상기 스테이지 본체를 상기 가이드 부재에 대하여, 비접촉 상태로 상기 제1 방향으로 이동이 자유롭고 상기 기판의 유지면을 따라서 회전이자유롭게 유지시키는 유지 장치와,상기 스테이지 본체를 상기 유지면을 따라서 회전시키는 회전 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제24항에 있어서, 상기 회전 장치는 상기 스테이지 본체를 사이에 두고 양측에 설치된 상기 구동 장치와,상기 양측의 구동 장치를 서로 역방향으로 구동시키는 구동 제어 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제25항에 있어서, 상기 가이드 부재의 상기 제2 방향으로의 구동은 제2 고정자를 갖는 제2 구동 장치에 의해 행해지고,상기 종동 스테이지의 상기 제2 방향으로의 구동은 상기 제2 고정자를 사용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 제26항에 있어서, 상기 가이드 부재에 접속된 제2 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량 또는 상기 종동 스테이지에 접속된 제3 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량, 혹은 상기 제2 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량 및 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자 사이의 간극량을 검출하는 제2 검출 장치와,상기 검출된 간극량에 기초하여 상기 제2 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계 또는 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계, 혹은 상기제2 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계 및 상기 제3 가동자와 상기 제2 고정자의 상대 위치 관계를 조정하는 제2 위치 조정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.
- 마스크 스테이지에 유지된 마스크의 패턴을 기판 스테이지에 유지된 감광 기판에 노광하는 노광 장치에 있어서,상기 마스크 스테이지 또는 상기 기판 스테이지로서, 제27항에 기재된 스테이지 장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
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