KR102644660B1 - 와이어소 장치의 제조방법 및 와이어소 장치 - Google Patents

와이어소 장치의 제조방법 및 와이어소 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 와이어공급릴과, 롱롤러와, 와이어가이드와, 와이어권취릴과, 설정된 제어각도±A(°)내에서 동작하도록 제어되고, 와이어에 장력을 부여하는 텐션암을 갖는 와이어소 장치의 제조방법으로서, 롱롤러의 표면조도Rmax를 측정하는 공정과, 와이어공급릴로부터 와이어를 연출하고 있을 때에, 텐션암의 각도가, 설정된 제어각도의 범위 외로 흔들렸을 때의, 텐션암의 각도a(°)를 측정하는 공정과, 측정한 롱롤러의 표면조도Rmax를 R1(μm)로 했을 때의, R1×2×A÷(|a|+A)=R2를 산출하는 공정과, 롱롤러의 표면조도Rmax를, 산출한 수치R2 이하로 하는 공정을 갖는 와이어소 장치의 제조방법이다. 이에 따라, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있는 와이어소 장치의 제조방법이 제공된다.

Description

와이어소 장치의 제조방법 및 와이어소 장치
본 발명은, 와이어소 절단기술에 관한 것으로, 워크, 예를 들어 실리콘 반도체 단결정 잉곳을 웨이퍼상으로 하는(슬라이스하는) 웨이퍼 절단공정 등에 적용가능한 와이어소 장치의 제조방법 및 와이어소 장치에 관한 것이다.
예를 들어, 반도체 제조분야에 있어서는, 단결정인상장치에 의해 인상된 실리콘 반도체 단결정 잉곳을 내주인(內周刃) 슬라이서를 이용하여 축직각방향으로 얇게 절단함으로써 복수의 실리콘 반도체 웨이퍼를 얻고 있다.
그런데, 최근의 반도체 웨이퍼의 대직경화의 경향은, 종래부터의 내주인 슬라이서에 의한 잉곳의 절단을 곤란하게 하고 있다. 또한, 내주인 슬라이서에 의한 절단방법은, 웨이퍼를 1매씩 잘라내기 때문에 비효율이며 생산성이 나쁘다는 문제가 있다.
이에, 와이어소(특히, 멀티 와이어소)에 의한 절단방법이 최근 주목받고 있다. 이 절단방법은, 복수개의 와이어가이드(메인롤러)간에 나선상으로 권회된 와이어열에 워크를 가압(押壓)하고, 이 워크와 와이어의 접촉부에 슬러리를 공급하면서 와이어를 이동시킴으로써 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 방법이다(예를 들어, 특허문헌 1). 이러한 절단방법에 의해, 한번에 다수매(예를 들어 수100매)의 웨이퍼를 잘라낼 수 있다.
일본특허공개 H11-156694호 공보
상기와 같은 와이어소를 이용한 절단방법에 있어서 사용되는 와이어소 장치에서는, 와이어공급릴과 와이어가이드의 사이에 롱롤러, 텐션암 등이 배치되어 있고, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어는, 롱롤러 상을, 롱롤러의 축방향으로 움직이면서 통과한다. 이 때, 롱롤러의 축방향으로 원활하게 이동하지 않은 와이어가, 돌발적으로 본래의 위치(주행 중인 와이어의 길이가 최단이 되는 위치)로 되돌아가는 경우가 있다.
이러한 경우, 와이어공급릴측의 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들려, 와이어가 단선된다는 문제가 있다. 와이어의 단선이 발생하면 절단가공 중인 워크의 품질악화로 이어진다.
본 발명은, 상기한 종래기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가, 롱롤러 상을 축방향으로 원활하게 이동하도록 하고, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있는 와이어소 장치의 제조방법 및 와이어소 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따르면, 와이어를 연출하는 와이어공급릴과, 이 와이어공급릴로부터 연출한 상기 와이어가 표면 상을 통과가능한 롱롤러와, 상기 와이어가 주위에 나선상으로 감겨진 복수의 와이어가이드와, 상기 와이어를 권취하는 와이어권취릴과, 상기 와이어공급릴과 상기 와이어가이드의 사이에 배치되고, 설정된 제어각도±A(°)내에서 동작하도록 제어되고, 상기 와이어에 장력을 부여하는 텐션암을 갖고, 상기 와이어가 롱롤러 상을, 이 롱롤러의 축방향으로 이동하면서 통과가능한 와이어소 장치의 제조방법으로서,
상기 롱롤러의 표면조도Rmax를 측정하는 공정과,
상기 와이어공급릴로부터 상기 와이어를 연출하고 있을 때에, 상기 텐션암의 각도가, 상기 설정된 제어각도의 범위 외로 흔들렸을 때의, 상기 텐션암의 각도a(°)를 측정하는 공정과,
상기 측정한 상기 롱롤러의 표면조도Rmax를 R1(μm)로 했을 때의, R1×2×A÷(|a|+A)=R2를 산출하는 공정과,
상기 롱롤러의 표면조도Rmax를, 상기 산출한 수치R2 이하로 하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 와이어소 장치의 제조방법을 제공한다.
이와 같이 하면, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가, 롱롤러 상을 원활하게 축방향으로 이동하고, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지하고, 와이어의 단선을 방지할 수 있는 와이어소 장치를 제조할 수 있다.
한편, 여기서 말하는 표면조도Rmax란, JIS B0601에 준하여 측정되는 단면곡선의 최대단면높이이다.
이 때, 상기 롱롤러로서, 쇼어경도A80~96으로 이루어진 우레탄제인 것을 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 경도범위의 것을 사용하면, 와이어가 원활하게 이동하기 쉽고, 또한, 롱롤러의 형상변화·형상열화가 저감되고, 내용(耐用)횟수를 향상시킬 수 있다. 쇼어경도A80 이상으로 함으로써, 롱롤러의 변형을 방지하고, 사용횟수를 향상시킬 수 있으며, 쇼어경도A96 이하로 함으로써, 표면거칠기를 줄이는 가공(연마)을 효율좋게 행할 수 있다.
또한 이 때, 상기 롱롤러의 표면조도Rmax를, 상기 산출한 수치R2 이하로 하는 공정에 있어서,
상기 롱롤러의 표면을 #800~3000의 연마필름으로 연마함으로써, 상기 롱롤러의 표면조도Rmax를 상기 산출한 수치R2 이하로 하는 것이 바람직하다.
이와 같이, #800 이상의 번수로 함으로써, 롱롤러의 표면조도Rmax를 보다 확실히 R2 이하로 할 수 있다. 또한, #3000 이하의 번수로 함으로써, 연마필름이 막히는 것을 방지하고, 효율적으로 연마할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 와이어를 연출하는 와이어공급릴과, 이 와이어공급릴로부터 연출한 상기 와이어가 표면 상을 통과가능한 롱롤러와, 상기 와이어가 주위에 나선상으로 감겨진 복수의 와이어가이드와, 상기 와이어를 권취하는 와이어권취릴과, 상기 와이어공급릴과 상기 와이어가이드의 사이에 배치되고, 설정된 제어각도±A(°)내에서 동작하도록 제어되고, 상기 와이어에 장력을 부여하는 텐션암을 갖고, 상기 와이어가 롱롤러 상을, 이 롱롤러의 축방향으로 이동하면서 통과가능한 와이어소 장치로서,
상기 롱롤러의 표면조도Rmax가 21μm 이하인 것을 특징으로 하는 와이어소 장치를 제공한다.
이러한 것이면, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가, 롱롤러 상을 원활하게 축방향으로 이동하고, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지하고, 와이어의 단선을 방지할 수 있는 와이어소 장치가 된다.
이 때, 상기 롱롤러가, 쇼어경도A80~96으로 이루어진 우레탄제인 것이 바람직하다.
이러한 경도범위의 것이면, 와이어가 원활하게 이동하기 쉽고, 또한, 롱롤러의 형상변화·형상열화가 저감되고, 내용횟수를 향상시킬 수 있다. 쇼어경도A80 이상으로 함으로써, 롱롤러의 변형을 방지하고, 사용횟수를 향상할 수 있으며, 쇼어경도A96 이하로 함으로써, 표면거칠기를 줄이는 가공(연마)을 효율좋게 행할 수 있다.
본 발명의 와이어소 장치의 제조방법 및 와이어소 장치이면, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가, 롱롤러 상을 원활하게 축방향으로 이동하고, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지하고, 와이어의 단선을 방지할 수 있는 와이어소 장치가 된다.
도 1a는 본 발명의 와이어소 장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 1b는 와이어공급릴과 롱롤러와 풀리를 기울기 상방(도 1a의 화살표(b')방향)으로부터 본, 와이어소 장치의 일부분을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 와이어소 장치의 제조방법의 일례를 나타낸 공정도이다.
도 3은 롱롤러의 표면조도Rmax가 34μm인 경우의 텐션암의 움직임을 나타낸 그래프이다.
도 4는 롱롤러의 표면조도Rmax가 21μm인 경우의 텐션암의 움직임을 나타낸 그래프이다.
도 5는 표면조도Rmax가 34μm인 롱롤러를 #600, 800, 2000, 3000, 4000의 연마필름으로 각각 연마할 때의 롱롤러의 축방향의 표면조도Rmax를 나타낸 그래프이다.
이하, 본 발명에 대하여 실시의 형태를 설명하나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다.
상기 서술한 바와 같이, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가 롱롤러 상을 축방향으로 움직이면서 통과하는 와이어소에서는, 롱롤러의 축방향으로 원활하게 이동하지 않았던 와이어가, 돌발적으로 본래의 위치로 되돌어가는 경우가 있는데, 이 때, 와이어공급릴측의 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들려, 와이어가 단선된다는 문제가 있었다.
이에, 본 발명자는 이러한 문제를 해결하기 위해 예의 검토를 거듭하였다. 그 결과, 롱롤러의 표면조도Rmax를 규정함으로써, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가 롱롤러 상을 원활하게 축방향으로 이동하고, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있고, 그 큰 흔들림에 따른 와이어의 단선을 방지할 수 있는 것에 상도하였다. 그리고, 이들을 실시하기 위한 최량의 형태에 대하여 자세히 조사하여, 본 발명을 완성시켰다.
우선, 도 1a, 도 1b를 참조하면서, 본 발명의 와이어소 장치(24)에 대하여 설명한다. 도 1a에 예시되는 바와 같이, 본 발명의 와이어소 장치(24)는, 와이어(25)를 연출하는 와이어공급릴(1)과, 이 와이어공급릴(1)로부터 연출한 와이어(25)가 표면 상을 통과가능한 롱롤러(2)와, 와이어(25)가 주위에 나선상으로 감겨진 복수의 와이어가이드(26)와, 와이어(25)를 권취하는 와이어권취릴(18)과, 와이어공급릴(1)과 와이어가이드(26)의 사이에 배치되고, 설정된 제어각도±A(°)내에서 동작하도록 제어되고, 와이어(25)에 장력을 부여하는 텐션암(19)을 갖는다. 그리고, 도 1b에 나타낸 바와 같이, 와이어(25)가 롱롤러(2) 상을, 이 롱롤러(2)의 축방향으로 이동하면서 통과가능한 것이다.
와이어가이드(26)는, 예를 들어, 메인 와이어가이드(10)와 슬레이브 와이어가이드(11)의 2개로 이루어진 것으로 할 수 있다.
와이어공급릴(1)로부터 연출한 와이어(25)는, 롱롤러(2), 트래버서(3), 풀리(4), 텐션암풀리(5), 텐션센서풀리(6), 풀리(7), 풀리(8), 및 풀리(9)를 통과하여 메인 와이어가이드(10)와 슬레이브 와이어가이드(11)에 소정의 피치로 평행하게 감겨, 와이어열(27)을 형성하고 있다. 그리고, 와이어열(27)에, 워크(23)를 하강시킴으로써 워크(23)를 절단하는 구성으로 되어 있다.
또한, 슬레이브 와이어가이드(11)를 나온 와이어(25)는, 풀리(12), 풀리(13), 텐션센서풀리(14), 텐션암풀리(15), 풀리(16), 트래버서(17)를 통과하여 와이어권취릴(18)에 권취된다.
한편, 본 실시의 형태의 와이어소 장치(24)에서는, 트래버서(3)는 와이어(25)의 주행방향이 반대가 되고, 와이어공급릴(1)로 와이어를 권취할 때에만 사용되는 것으로 할 수 있다.
본 실시의 형태의 와이어소 장치(24)에서는, 텐션센서(20)로 검출한 장력에 대하여, 텐션암(19)을 중심으로 텐션암풀리(5)의 위치가, 설정된 임의의 제어각도±A(°)의 범위내에서 이동하고(텐션암(19)의 흔들림), 와이어공급릴(1)로부터 메인 와이어가이드(10)까지의 장력을 제어할 수 있다. 또한, 슬레이브 와이어가이드(11)로부터 와이어권취릴(18)까지의 장력에 대해서도 마찬가지로, 텐션센서(21)로 검출한 장력에 대하여, 텐션암(22)을 중심으로 텐션암풀리(15)의 위치가 임의의 제어범위에서 이동하고, 제어할 수 있다.
이 때, 텐션암(19)의 제어각도±A(°)로서, 예를 들어, ±1.5°의 범위로 설정할 수 있다.
그리고, 도 1b에 예시되는 바와 같이, 와이어공급릴(1)로부터 와이어(25)가 연출된 경우, 와이어공급릴(1)로부터 연출되는 와이어(25)는, 와이어공급릴(1)의 축방향으로 이동하면서 연출한다. 이 때문에, 와이어(25)가 롱롤러(2) 상을, 롱롤러(2)의 축방향으로 이동하면서 통과하고, 풀리(4)를 향해간다.
이 때, 종래품에서는, 와이어(25)가 롱롤러(2) 상을 원활하게 이동하지 않고, 걸리는 것과 같은 상태가 된 후, 돌발적으로 본래의 위치(주행 중인 와이어(25)의 길이가 최단이 되는 위치)로 되돌아가는 경우, 텐션암(19)이 크게 흔들린다.
본 발명의 와이어소 장치(24)는, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax가 21μm 이하인 것이다. 또한, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax는, 작으면, 작을수록, 와이어(25)가 롱롤러(2) 상을, 롱롤러(2)의 축방향으로 원활하게 이동하기 쉬워지고, 텐션암(19)의 흔들림도 안정되기 쉬워지므로 좋다. 이러한 것이면, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax가 충분히 작은 것이므로, 와이어공급릴(1)로부터 연출된 와이어(25)가 롱롤러(2) 상을 원활하게 축방향으로 이동할 수 있고, 텐션암(19)이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 와이어(25)의 단선을 저감할 수 있다. 또한, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax의 하한은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 0μm 이상으로 할 수 있다.
이 때, 롱롤러(2)가, 쇼어경도A80~96으로 이루어진 우레탄제인 것이 바람직하다. 이러한 경도범위인 것이면, 와이어(25)가 원활하게 이동하기 쉽고, 또한, 롱롤러(2)의 형상변화·형상열화가 저감되고, 내용횟수를 향상시킬 수 있다. 구체적으로는, 쇼어경도A80 이상으로 함으로써, 롱롤러(2)의 변형을 방지하고, 사용횟수를 향상할 수 있으며, 쇼어경도A96 이하로 함으로써, 표면거칠기를 줄이는 가공(연마)을 효율좋게 행할 수 있다.
이어서, 본 발명의 와이어소 장치의 제조방법에 대하여 설명한다. 여기서는, 상기 서술한 바와 같은, 도 1a에 나타낸 본 발명의 와이어소 장치(24)를 제조하는 경우에 대하여, 도 2에 나타낸 공정도를 이용하여 설명한다.
우선, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를 측정하는 공정을 행한다(도 2의 SP1).
롱롤러(2)로는, 예를 들어 쇼어경도A80~96으로 이루어진 우레탄제인 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 경도범위인 것을 사용하면, 와이어(25)가 원활하게 이동하기 쉽고, 또한, 롱롤러(2)의 형상변화·형상열화가 저감되고, 내용횟수를 향상시킬 수 있다. 구체적으로는, 쇼어경도A80 이상으로 함으로써, 롱롤러(2)의 변형을 방지하고, 사용횟수를 향상할 수 있으며, 쇼어경도A96 이하로 함으로써, 표면거칠기를 줄이는 가공(연마)을 효율좋게 행할 수 있다.
이어서, 와이어공급릴(1)로부터 와이어(25)를 연출하고, 와이어권취릴(18)에서의 권취를 행하고, 이 때에, 텐션암(19)의 각도가, 설정된 제어각도±A(°)의 범위 외로 흔들렸을 때의, 텐션암(19)의 각도a(°)를 측정하는 공정을 행한다(도 2의 SP2).
이어서, 측정한 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를 R1(μm)로 했을 때의, R1×2×A÷(|a|+A)=R2를 산출하는 공정을 행한다(도 2의 SP3).
이어서, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를, 산출한 수치R2 이하로 하는 공정을 행한다(도 2의 SP4). 예를 들어 롱롤러(2)의 표면을 연마할 수 있다.
이 때, 롱롤러의 표면을 #800~3000의 연마필름으로 연마함으로써, 롱롤러의 표면조도Rmax를, 산출한 수치R2 이하로 하는 것이 바람직하다.
#800과 #3000의 평균입자경은, 각각 20μm와 5μm이다. #800 이상의 번수로 함으로써, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를 보다 확실히 R2 이하로 할 수 있다. 또한, #3000 이하의 번수로 함으로써, 연마필름이 막히는 것을 방지하고, 효율적으로 연마할 수 있다. 한편, 연마필름에 사용되는 연마제로는, 탄화규소, 산화알루미늄, 산화세륨 등을 들 수 있다.
상기와 같은 연마필름을 이용하여, 예를 들어, 회전하는 롱롤러(2)에 연마필름을 맞댐으로써 연마할 수 있는데, 연마방법은 이것으로 한정되는 것이 아니다.
또한, 이 연마는, 동일한 롱롤러에 대하여 복수회 실시하는 것이 가능하다. 예를 들어, 와이어소 장치(24)를 운전시킴에 따라서, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax가 악화된 경우에, 롱롤러(2)의 표면의 연마를 재차 행하여, 표면조도Rmax를 R2 이하로 할 수 있다.
또한, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를, 산출한 수치R2 이하로 하는 방법으로는, 연마에 의한 것이 아니어도 되고, 예를 들어, 표면조도Rmax가 R2 이하인 롱롤러와 교환함으로써 행해도 된다.
이와 같이 하여, 표면조도Rmax가 R2 이하인 롱롤러를 갖는 와이어소 장치를 제조한다. 이러한 본 발명의 와이어소 장치의 제조방법이면, 와이어공급릴로부터 연출된 와이어가, 롱롤러 상을 원활하게 축방향으로 이동하고, 텐션암이 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있는 와이어소 장치를 제조할 수 있다. 또한, 이에 따라, 와이어의 단선을 저감할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
도 2에 나타낸 바와 같은 본 발명의 와이어소 장치의 제조방법에 따라서, 도 1a에 나타낸 바와 같은 와이어소 장치의 제조를 행하였다.
우선, 쇼어경도A91로 이루어진 우레탄제의 롱롤러(2)를 준비하였다. 이 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를 측정한 결과, R1(μm)=34μm였다. 또한, 텐션암(19)의 제어각도는, ±A(°)=±1.5°로 설정하였다.
이어서, 와이어공급릴(1)로부터 와이어(25)를 800m/min의 속도로 연출할 때의, 텐션암(19)의 움직임을 측정하고, 도 3에 나타냈다.
그 결과, 도 3에 나타낸 바와 같이, 63초 부근에서 텐션암(19)의 각도가 돌발적으로 1.5° 부근부터 -3.2° 부근까지 흔들렸다.
상기한 바와 같이, 텐션암(19)의 각도가 돌발적으로 제어범위 밖으로 흔들렸을 때의 각도a(°)는 -3.2°이며, 롱롤러(2)의 표면조도Rmax(R1)는 34μm였다.
이에, R1×2×A÷(|a|+A)=R2의 관계식에 의해, 텐션암(19)의 제어범위 밖으로의 흔들림을 억제할 수 있는 롱롤러(2)의 표면조도Rmax(R2)를 산출한 결과, 34×2×1.5÷(|-3.2|+1.5)=22μm가 되었다.
이에, 상기의 표면조도Rmax(R1)가 34μm인 롱롤러(2)를, 표면조도Rmax가 R2(=22μm) 이하가 되도록, #2000의 연마필름으로 연마하였다. 구체적으로는, 회전하는 롱롤러(2)에 연마필름을 맞댐으로써 연마하였다.
연마 후의 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를 측정한 결과, 21μm이며, 상기의 R2의 값보다 줄일 수 있었다.
이 표면조도Rmax가 21μm인 롱롤러(2)를 이용하여 와이어소 장치(24)를 제조하였다. 그리고, 선속 800m/min로 와이어(25)를 연출시켰을 때의 텐션암(19)의 움직임을 측정하고, 도 4에 나타냈다. 그 결과, 도 4에서는, 도 3에서 보인 텐션암(19)의 돌발적인 제어범위 밖으로의 흔들림이 보이지 않게 되어 있다.
이와 같이, 실시예 1에서는, 설정된 제어각도±A(°)내에서 동작하도록 제어되어 있는 텐션암(19)에 의해 장력이 부여되는 와이어소 장치(24)에 있어서, 와이어공급릴(1)로부터 와이어(25)를 연출하고 있을 때에, 와이어공급릴(1)측의 텐션암(19)의 각도가, 돌발적으로 제어범위 밖으로 흔들렸을 때의 각도를 a(°), 롱롤러(2)의 표면조도Rmax를 R1로 했을 때, R1×2×A÷(|a|+A)로 산출된 수치R2 이하의 표면조도Rmax의 롱롤러(2)를 사용함으로써, 텐션암(19)이 돌발적으로 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 것을 방지할 수 있는 본 발명의 와이어소 장치(24)를 제조할 수 있었다.
(비교예 1)
실시예 1과는 달리, 롱롤러의 표면조도Rmax에 대해서는 특별히 고려하지 않고, 롱롤러 및 각 부품을 준비하고, 와이어소 장치를 제조하였다. 한편, 참고로, 이 때의 롱롤러의 표면조도Rmax를 측정한 결과, 34μm였다. 즉, 실시예 1에서 최초로 준비한 와이어소 장치와 동일한 것이었다.
이 종래의 와이어소 장치에 있어서, 실시예 1과 마찬가지로 텐션암의 제어각도를, ±A(°)=±1.5°로 설정하고, 와이어를 800m/min의 속도로 연출했을 때의, 텐션암의 움직임을 측정한 결과, 도 3과 동일한 결과가 얻어졌다. 즉, 비교예 1에서 제조한 와이어소 장치에서는, 텐션암의 각도가 돌발적으로 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 현상이 발생하여, 단선의 징후가 보이는 장치가 되었다.
(실시예 2-4, 비교예 2, 3)
실시예 1에서 준비한 롱롤러와는 상이하나, 표면조도Rmax가 34μm인 롱롤러를 준비하였다. 이 롱롤러를, 축방향으로 5분할하여(축방향의 폭을 5개의 영역으로 나누어), 각각, #600, 800, 2000, 3000, 4000의 번수가 상이한 연마필름으로 각각 연마하였다. #600, 800, 2000, 3000, 4000의 연마필름에서 사용되고 있는 평균지립경은, 각각 28, 20, 8, 5, 3μm이다. 한편, 실시예 1에 있어서의 결과를 고려하면, 텐션암의 각도가 돌발적으로 제어범위 밖으로 크게 흔들리는 현상을 방지하려면, 연마 후의 표면조도Rmax가 22μm 이하(보다 바람직하게는 21μm 이하)가 목표라고 생각된다.
연마 전과 연마 후의 롱롤러의 축방향의 표면조도Rmax를 측정한 결과를 도 5에 나타냈다. 그 결과, 도 5에 나타낸 바와 같이, #600에서는, 표면조도Rmax가 35μm로 악화되었다(비교예 2). #4000에서는, 연마필름이 막혀 미끄러져, 효과적으로 연마할 수 없고, 연마를 도중에 끝냈으므로, 표면조도Rmax가 27μm였다(비교예 3). 한편, #800~#3000에서는, 표면조도Rmax가, 각각, 22, 19, 17μm이며, 모두 22μm 이하, 나아가, #2000, #3000에 대해서는, 21μm 이하로 할 수 있고, 목표대로 연마가 되어 있었다(실시예 2-4).
한편, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용효과를 나타내는 것은, 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (5)

  1. 와이어를 연출하는 와이어공급릴과, 이 와이어공급릴로부터 연출한 상기 와이어가 표면 상을 통과가능한 롱롤러와, 상기 와이어가 주위에 나선상으로 감겨진 복수의 와이어가이드와, 상기 와이어를 권취하는 와이어권취릴과, 상기 와이어공급릴과 상기 와이어가이드의 사이에 배치되고, 설정된 제어각도±A(°)내에서 동작하도록 제어되고, 상기 와이어에 장력을 부여하는 텐션암을 갖고, 상기 와이어가 롱롤러 상을, 이 롱롤러의 축방향으로 이동하면서 통과가능한 와이어소 장치의 제조방법으로서,
    상기 롱롤러의 표면조도Rmax를 측정하는 공정과,
    상기 와이어공급릴로부터 상기 와이어를 연출할 때에, 상기 텐션암의 각도가, 상기 설정된 제어각도의 범위 외로 흔들렸을 때의, 상기 텐션암의 각도a(°)를 측정하는 공정과,
    상기 측정한 상기 롱롤러의 표면조도Rmax를 R1(μm)로 했을 때의, R1×2×A÷(|a|+A)=R2를 산출하는 공정과,
    상기 롱롤러의 표면조도Rmax가 상기 산출한 수치R2 이하가 되도록 상기 롱롤러의 표면을 연마하거나, 또는,
    상기 롱롤러를, 표면조도Rmax가 상기 산출한 수치R2 이하의 롱롤러로 교환하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는,
    와이어소 장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 롱롤러로서, 쇼어경도A80~96으로 이루어진 우레탄제인 것을 사용하는 것을 특징으로 하는,
    와이어소 장치의 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 롱롤러의 표면조도Rmax가 상기 산출한 수치R2 이하가 되도록 상기 롱롤러의 표면을 연마하는 공정에 있어서,
    상기 롱롤러의 표면을 #800~3000의 연마필름으로 연마함으로써, 상기 롱롤러의 표면조도Rmax를 상기 산출한 수치R2 이하로 하는 것을 특징으로 하는,
    와이어소 장치의 제조방법.
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