JP5991267B2 - ワークの切断方法および切断装置 - Google Patents
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Description
ワイヤソーは所定のピッチで張架されたワイヤ列を高速走行させ、ワイヤ列にワークを押し当て、ワイヤとワークが接触している部分に遊離砥粒を吹き付けながら、多数枚のウェーハに同時に切断する装置である。
このようにすれば、ワイヤを良好に粗面化できるとともに、粗面化部材の摩耗を抑制することができ、粗面化部材の寿命が長くなり、コストを抑えることができる。
このようなものであれば、ワイヤを均一に粗面化できるとともに粗面化部材の摩耗を抑制することができ、粗面化部材の寿命が長くなり、コストを抑えることができる。
上記したように、樹脂皮膜が被覆されたワイヤを用いて、シリコン単結晶インゴットを切断した場合、従来の樹脂皮膜の無いピアノ線での遊離砥粒切断と比較して、切り出したウェーハの表面粗さやダメージ深さにおいては良好な品質が得られるものの、ウェーハの全体形状を示すうねりや反りが悪化してしまうという問題があった。
図1に示すように、本発明の切断装置1は主に、複数のワイヤガイド2間に螺旋状に巻回された軸方向に走行する被覆ワイヤ3によって形成されるワイヤ列4、切断時にワークWと被覆ワイヤ3との接触部に加工液を供給する加工液供給手段5、ワークWを保持しつつ押圧することでワークWをワイヤ列に押し当てるワーク送り手段6、被覆ワイヤ3に張力を付与するための張力付与機構7、7’等で構成されている。
また、図2に示すように、ワークWよりワイヤ列4のワイヤ操出側(図2のB側)には被覆ワイヤ3の表面を粗面化するための粗面化部材14及び、その粗面化部材14を保持するための粗面化部材容器13を有している。粗面化部材容器13はステンレス製で、ワイヤガイド2を固定するブロック(不図示)に固定されており、その容器部はワイヤ列4側が開口されている。この粗面化部材容器13の開口部に保持された粗面化部材14と被覆ワイヤ3は接触できるようになっている。また粗面化部材容器13内にはスプリング(不図示)が設置されており、粗面化部材14が摩耗してもワイヤ列4方向に一定の押し圧で繰り出すことが可能である。
このようにすれば、粗面化を均一にかつ容易に実施できるとともに、粗面化部材14の摩耗を抑制することができ、粗面化部材14の寿命が長くなり、コストを抑えることができるものとなる。
まず、図2に示すように、ワークWよりワイヤ列4のワイヤ操出側に、粗面化部材容器13で保持した粗面化部材14が被覆ワイヤ3と接触できるように配置しておく。次に、ワーク送り手段6によりワークWを保持する。そして、被覆ワイヤ3を張力付与機構7、7’によって張力を付与しながら軸方向へ往復走行させ、加工液供給手段5により被覆ワイヤ3への加工液供給を行った状態で、ワーク送り手段6によりワークWを相対的に押し下げて、ワークWをワイヤ列4に対して切り込み送りさせてワークWを切断していく。
このような材質であれば、簡単かつ均一にワイヤを粗面化することができるとともに、過度に粗面化されないので、粗面化部材の摩耗を抑制することができ、粗面化部材の寿命が長くなり、コストを抑えることができる。
図1に示すような本発明の切断装置を用い、本発明のワークの切断方法に従ってワークの切断を行い、切り出したウェーハのうねりWtを測定した。ここで、切断するワークとして直径200mm、長さ160mmの単結晶シリコンインゴットを用いた。被覆ワイヤは芯線径0.14mmのピアノ線に膜厚10μmのポリアミド系樹脂皮膜を被覆したものを用いた。
図3は、粗面化部材との接触が無い被覆ワイヤを示すSEM写真である。図3に示すように、粗面化部材との接触が無い被覆ワイヤは光沢のある滑らかな表面状態である。
図4は粗面化部材と接触後の被覆ワイヤを示すSEM写真である。図4に示すように粗面化部材に接触後の被覆ワイヤの表面には凹凸が付き、粗面化されたことが分かる。
(比較例)
切断装置が粗面化部材を具備していないこと、すなわち図3に示すように被覆ワイヤが粗面化されないままワークの切断を行うこと以外、実施例と同様な条件でワークの切断を行い、切り出したウェーハのうねりWtを測定した。
比較例では、ワイヤ巻取側よりワイヤ操出側のうねりが劣る。これはインゴットブロックのワイヤ操出側から無垢の被覆ワイヤが入るためである。しかし、本発明の実施例では、被覆ワイヤ表面の砥粒キャリア樹脂皮膜を事前に粗面化しているため、インゴットブロック位置によるうねりの差も無くなり、比較例より約30%のうねり改善を達成した。
4…ワイヤ列、5…加工液供給手段、6…ワーク送り手段、
7、7’…張力付与機構、8、8’…ワイヤリールボビン、
9…スラリチラー、10…スラリタンク、11…ノズル、
12…駆動モータ、13…粗面化部材容器、14…粗面化部材、
W…ワーク。
Claims (4)
- 複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回されたワイヤによって形成されるワイヤ列を軸方向に走行させ、円柱状ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給しながら、前記ワイヤ列に前記ワークを押し当てて切込み送りし、前記ワークをウェーハ状に切断するワークの切断方法であって、
前記ワイヤはベースワイヤ表面に有機皮膜を被覆したものを用い、前記切断されるワークより前記ワイヤ列のワイヤ操出側に、前記ワイヤ表面を粗面化するための粗面化部材を配置し、前記粗面化部材としてワイヤ列方向に一定の押し圧で繰り出すことが可能なものを用い、前記ワイヤと前記粗面化部材を接触させることで、前記ワイヤ表面を粗面化させながら前記ワークを切断することを特徴としたワークの切断方法。 - 前記粗面化部材を樹脂、シリコン、カーボン及びセラミックスのいずれかとすることを特徴とした請求項1に記載のワークの切断方法。
- 複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤによって形成されるワイヤ列と、円柱状ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給するノズルと、前記ワークを保持しつつ押圧することで前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てるワーク送り手段を具備し、前記ノズルから前記ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給しつつ、前記ワーク送り手段により保持された前記ワークを、走行する前記ワイヤ列に押し当てて切込み送りし、前記ワークをウェーハ状に切断するワークの切断装置であって、
前記ワイヤはベースワイヤ表面に有機皮膜を被覆したものであり、前記ワークより前記ワイヤ列のワイヤ操出側に、前記ワイヤ表面を粗面化するための粗面化部材を具備し、前記粗面化部材はワイヤ列方向に一定の押し圧で繰り出すことが可能なものであり、前記ワイヤと前記粗面化部材を接触させることで、前記ワイヤ表面を粗面化させながら前記ワークを切断するものであることを特徴としたワークの切断装置。 - 前記粗面化部材が樹脂、シリコン、カーボン及びセラミックスのいずれかであることを特徴とした請求項3に記載のワークの切断装置。
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