JP6835213B2 - ワークの切断方法及び接合部材 - Google Patents
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Description
本発明のワークの切断方法を用いてワークの切断を行った。切断するワークとしては直径約300mmの円柱状のシリコン単結晶インゴットを用いた。また、切断用のワイヤとしては、下記の表1のような芯線にダイヤモンド砥粒を固着した固定砥粒ワイヤを用いた。
接合部材として、樹脂のみからなる従来の接合部材を用いたこと以外、実施例と同様な条件(表1、2、図4)で、シリコン単結晶インゴットの切断を行った。
Claims (7)
- 表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻掛けることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークに貼り付けられた接合部材を介してワーク保持手段で保持したワークを、前記ワイヤ列に対して切り込み送りすることによって、前記ワークが軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーによるワークの切断方法において、
前記接合部材として、一部が砥石であるものを用いることで、前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に、前記固定砥粒ワイヤを、前記接合部材の前記砥石で摩耗させることを特徴とするワークの切断方法。 - 前記接合部材の一部を構成する前記砥石として、WA砥石を用いることを特徴とする請求項1に記載のワークの切断方法。
- 前記接合部材の一部を構成する前記WA砥石として、砥粒番手が#100〜#10,000のものを用いることを特徴とする請求項2に記載のワークの切断方法。
- ワイヤソーのワーク保持手段に保持されるワークの、前記ワーク保持手段に保持される側の表面に貼り付けられる接合部材であって、
該接合部材の一部が砥石からなるものであることを特徴とする接合部材。 - 前記接合部材の一部を構成する前記砥石が、WA砥石であることを特徴とする請求項4に記載の接合部材。
- 前記接合部材の一部を構成する前記WA砥石が、砥粒番手が#100〜#10,000のものであることを特徴とする請求項5に記載の接合部材。
- 前記接合部材が、前記ワークに貼り付けられる側の層と、前記ワーク保持手段に保持される側の層とからなる積層体であり、前記ワークに貼り付けられる側の層が樹脂、カーボン、ソーダガラス、又は、シリコンからなり、前記ワーク保持手段に保持される側の層が砥石からなるものであることを特徴とする請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の接合部材。
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