TWI642899B - Method for detecting main wheel diameter of multi-wheel system - Google Patents

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Abstract

一種多輪組系統的主輪直徑檢知方法，包含下列步驟: (A)於該多輪組系統的跑線控制程式中設定一線材最終跑線於該多輪組系統的一線速度目標值V T，再針對主輪輸入一假定直徑R S。(B)量測固定直徑轉動件的轉速，以獲得該線材運行於該多輪組系統的一線速度真實值V R。(C) 檢知該線速度目標值V T與該線速度真實值V R是否滿足V T/V R=1，若否，則修正該假定直徑R S並重回到步驟(A)，若是，則所輸入的該假定直徑R S確實為該主輪的真實直徑R r。將本發明應用於晶圓切片機的多輪組系統時，能藉由明確得知主輪真實直徑值，而使該多輪組系統於跑線過程中縮減一張力輪發生位移的機會，以利該多輪組系統發展高線速製程。

Description

多輪組系統的主輪直徑檢知方法
本發明是有關於一種檢知方法，特別是指一種多輪組系統的主輪直徑檢知方法。
參閱圖1與圖2，現有多輪組系統的主輪直徑檢知方法(在此以晶圓切片機的多輪組系統為例說明)，該多輪組系統9包括二主輪91、位於該等主輪91兩相反側的一第一張力輪92與一第二張力輪93、位於該第一、第二張力輪92、93兩相反側的一第一線輥輪94與一第二線輥輪95，及一運行於該等主輪91、該第一張力輪92、該第二張力輪93、該第一線輥輪94與該第二線輥輪95的線材96。該多輪組系統9還包括二分別與該第一張力輪92與該第二張力輪93連接的鬆緊調節裝置97，該等鬆緊調節裝置97分別用以改變所對應的該第一、第二張力輪92、93的位置，藉此調節該線材96本身的張力。圖2所示的鬆緊調節裝置97是鐘擺式。
現有多輪組系統的主輪直徑檢知方法包含下列步驟：
步驟一S100：設定該線材96最終跑線於該多輪組系 統9的一線速度目標值VT，輸入該線材96繞過該等主輪91後的一假定直徑RS(這邊所述假定直徑RS是一個輸入值，並非真實量測值)，然後推算該等主輪91的轉速。所述「輸入」是指把一數值設定至該多輪組系統9的跑線控制程式中。
步驟二S200：讓該線材96運行於該多輪組系統9。此時該線材96是以單一方向移動，例如是自該第二線輥輪95經該等主輪91往該第一線輥輪94移動(如圖2中實心箭頭所示)，其中，原繞設於該第二線輥輪95的該線材96不斷遠離該第二線輥輪95，該第一線輥輪94不斷將朝其運行的該線材96捲收於其上，應能理解的是，位於該多輪組系統9中的該等主輪91、該第一張力輪92、該第二張力輪93、該第一線輥輪94或該第二線輥輪95均會依各別直徑不同而有不同的轉速。
步驟三S300：檢知位於該等主輪91與該第一線輥輪94之間的該第一張力輪92是否偏移原預設位置，若是，則依照該第一張力輪92的偏移量與偏移方向去修正該第一線輥輪94的直徑，再回到步驟二S200，其中所述修正該第一線輥輪94的直徑是指在跑線控制程式中修正該第一線輥輪94的直徑參數；若否，則該第一張力輪92會維持在原處而不會偏移，此時，該等主輪91與該第一線輥輪94是同步轉動狀態，該線材96離開於該等主輪91的線量等於該線材96捲收於該第一線輥輪94的線量，且該多輪組系 統9於跑線過程中呈穩定狀態，該線材96趨於一固定線速度。
上述現有多輪組系統的主輪直徑檢知方法，只能使該多輪組系統9趨於穩態，該固定線速度並不一定等同於步驟一S100中所設定的線速度目標值VT，所輸入的該假定直徑RS也無法確認是否為該線材96繞過該等主輪91後的真正直徑，補充說明的是，每一主輪91在使用上，其外表面會包覆一層包覆材，該包覆材上會形成凹溝供該線材96來回移動，因此，對於每一主輪91而言，在徑向上該線材96位於凹溝何處便會影響主輪91的真正直徑。
由於知道主輪91真實直徑後，該多輪組系統9於跑線過程中能縮減該第一張力輪92發生位移的機會，以利於該多輪組系統9發展高線速切割製程。
因此，本發明之目的，即在提供一種能獲得主輪真實直徑的多輪組系統的主輪直徑檢知方法。
於是，本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法，該多輪組系統包括均可轉動的一主輪、一固定直徑轉動件，及一繞過該主輪及該固定直徑轉動件且隨該主輪與該固定直徑轉動件之運轉而移動的線材。
該多輪組系統的主輪直徑檢知方法包含下列步驟：
(A)針對主輪輸入一假定直徑：於該多輪組系統的跑線控制程式中設定該線材於該多輪組系統的一線速度目標值VT，再針對具真實直徑Rr的該主輪輸入一假定直徑RS，以推得該主輪於該多輪組系統中的轉速ω。
(B)量測固定直徑轉動件的轉速：待該線材跑線於該多輪組系統且呈穩態而趨於一固定線速度後，量測該固定直徑轉動件的轉速，以得該線材運行於該多輪組系統的一線速度真實值VR。
(C)檢知該線速度目標值VT與該線速度真實值VR是否滿足下列條件：VT/VR=1，其中，若VT/VR<1，則調高該假定直徑RS，若VT/VR>1，則調低該假定直徑RS，若滿足該條件，則所輸入的該假定直徑RS為該主輪的真實直徑Rr。
本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法之功效，在於能確實獲得主輪真實直徑，如此，將本發明應用於晶圓切片機的多輪組系統時，能藉由明確得知主輪真實直徑值，而使該多輪組系統於跑線過程中縮減一張力輪發生位移的機會，以利該多輪組系統發展高線速製程，例如線速大於25m/s，或是大於等於30m/s，甚至大於等於35m/s之系統。此外，還能有助於執行晶圓切片作業的工程師去掌握切割線材本身的狀態，以確保產出的晶片恆維持在一定品質。
1‧‧‧多輪組系統
11‧‧‧主輪
12‧‧‧第一張力輪組
121‧‧‧第一張力輪
122‧‧‧第一惰輪
123‧‧‧第二惰輪
13‧‧‧第二張力輪組
131‧‧‧第二張力輪
132‧‧‧第三惰輪
133‧‧‧第四惰輪
14‧‧‧第一固定直徑轉動件
141‧‧‧小徑部
142‧‧‧大徑部
15‧‧‧第二固定直徑轉動件
151‧‧‧小徑部
152‧‧‧大徑部
16‧‧‧鬆緊調節裝置
17‧‧‧線材
18‧‧‧馬達
19‧‧‧轉速計
1’‧‧‧多輪組系統
12’‧‧‧第一張力輪組
13’‧‧‧第二張力輪組
131’‧‧‧第二張力輪
132’‧‧‧第三惰輪
133’‧‧‧第二固定直徑轉動件
14’‧‧‧第一繞線輥輪
15’‧‧‧第二繞線輥輪
2‧‧‧多輪組系統
100‧‧‧步驟一
100’‧‧‧步驟一
200‧‧‧步驟二
200’‧‧‧步驟二
300‧‧‧步驟三
300’‧‧‧步驟三
400‧‧‧步驟四
400’‧‧‧步驟四
R1‧‧‧旋轉軸
R2‧‧‧旋轉軸
L1‧‧‧直線
L2‧‧‧直線
VT‧‧‧線速度目標值
RS‧‧‧假定直徑
VR‧‧‧線速度真實值
121’‧‧‧第一張力輪
122’‧‧‧第一惰輪
123’‧‧‧第一固定直徑轉動件
Rr‧‧‧主輪真實直徑
ω‧‧‧轉速
本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是現有多輪組系統的主輪直徑檢知方法的一實施例之流程圖；圖2是一示意圖，說明現有多輪組系統的主輪直徑檢知方法所應用的一多輪組系統，且該多輪組系統的主要結構是以簡化方式示意畫出；圖3是本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法的一第一實施例之流程圖；圖4是一立體圖，說明本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法所應用的一多輪組系統，且該多輪組系統為用於晶圓切片機的多輪組系統；圖5是圖4的一簡化示意圖，為三維立體視角；圖6是類似於圖5的一示意圖，差異在於觀看視角為二維平面；圖7是本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法的一第二實施例之流程圖；圖8是一示意圖，說明本發明該第二實施例所應用的一多輪組結構，且利用一轉速計量測一第一固定直徑轉動件的轉速；及 圖9是一示意圖，說明本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法所應用的另一種多輪組系統。
在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。
參閱圖3為本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法的一第一實施例的流程圖。
參閱圖3、4、5，該多輪組系統1在此以晶圓切片機的多輪組系統為例說明，並包括均可轉動的二主輪11、一第一張力輪組12、一第二張力輪組13、一第一固定直徑轉動件14、一第二固定直徑轉動件15、二分別與該第一張力輪組12與該第二張力輪組13連接的鬆緊調節裝置16，及一繞過該等主輪11、該第一張力輪組12、該第二張力輪組13、該第一固定直徑轉動件14，及該第二固定直徑轉動件15的線材17。該線材17隨該該等主輪11、該第一張力輪組12、該第二張力輪組13、該第一固定直徑轉動件14，及該第二固定直徑轉動件15之運轉而移動。
該第一張力輪組12位於該等主輪11與該第一固定直徑轉動件14之間，並具有一供該線材17繞過於其上且能受該線材17張力作用而移動的第一張力輪121、一位於該等主輪11與該第 一張力輪121之間的第一惰輪122，及一位於該第一固定直徑轉動件14與該第一張力輪121之間的的第二惰輪123，該第一惰輪122與該第二惰輪123用以改變該線材17的走線方向。該第一固定直徑轉動件14沿一旋轉軸R1具有一小徑部141，及一連接該小徑部141一側的大徑部142，該小徑部141與該大徑部142彼此具有相同旋轉軸R1且同步轉動。
類似地，該第二張力輪組13位於該等主輪11與該第二固定直徑轉動件15之間，並具有一供該線材17繞過於其上且能受該線材17張力作用而移動的第二張力輪131、一位於該等主輪11與該第二張力輪131之間的第三惰輪132，及一位於該第二固定直徑轉動件15與該第二張力輪131之間的第四惰輪133，該第三惰輪132與該第四惰輪133用以改變該線材17的走線方向。該第二固定直徑轉動件15具有一供該線材17繞設於其上的小徑部151，及一連接該小徑部151一側的大徑部152，該第二固定直徑轉動件15的該小徑部151與該第二固定直徑轉動件15的該大徑部152彼此具有相同旋轉軸R2且同步轉動。在本實施例中，該第一固定直徑轉動件14與該第二固定直徑轉動件15的該等小徑部141、151套設於該等大徑部142、152的內部，當然，該等小徑部141、151與該等大徑部142、152兩者也可以是一體式連接製造而成。
參閱圖6，該等鬆緊調節裝置16分別用以改變所對應 的該第一、第二張力輪121、131的位置，藉此調節該線材17本身的張力。補充說明的是，圖4、5、6所示的鬆緊調節裝置16採用直線移動的調整方式，也就是該第一張力輪121與該第二張力輪131分別是沿各自的直線L1、L2方向移動。但不需以上述為限，例如也能是採用如習知鐘擺式的鬆緊調節裝置，只要能達成改變所對應的該第一、第二張力輪121、131的位置而藉此調節該線材17本身張力，採用何種類型的鬆緊調節裝置並不需要特別為限。
參閱圖3、5、6，本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法的該第一實施例，包含下列步驟：
步驟一100、針對主輪輸入一假定直徑：於該多輪組系統1的跑線控制程式中設定該線材17跑線於該多輪組系統1的一線速度目標值VT，再針對具真實直徑Rr的任一主輪11輸入一假定直徑RS，以推得所述主輪11於該多輪組系統1中的轉速ω。
步驟二200、檢知該第一張力輪121是否偏移原預設位置：讓該線材17開始跑線運行於該多輪組系統1，此時該線材17是以單一方向移動，例如是自該第二固定直徑轉動件15經該等主輪11往該第一固定直徑轉動件14移動(如圖6中實心箭頭所示)，且該線材17會以多圈方式纏繞於該第一固定直徑轉動件14的該小徑部141上，以進行佈線作業。
若該第一張力輪121偏移原預設位置，則依該第一張 力輪121的偏移量與偏移方向修正該第一固定直徑轉動件14的該小徑部141的直徑後，再讓該線材17運行於該多輪組系統1。所述修正該小徑部141的直徑，是指在跑線控制程式中修正該小徑部141的直徑參數。若該第一張力輪121並無偏移原預設位置，則表示該線材17離開於該等主輪11的線量等於該線材17纏繞於該第一固定直徑轉動件14的繞線量，而且該線材17接著自該第一固定直徑轉動件14的該小徑部141移動至該大徑部142，並以單圈方式繞設於該大徑部142後，再進行下一步驟。
其中，當該第一固定直徑轉動件14轉速過快而使該第一張力輪121發生向圖6左方位移時，透過下修該第一固定直徑轉動件14的該小徑部141的直徑以減少其轉速；當該第一固定直徑轉動件14轉速過慢而使該第一張力輪121發生向圖6右方位移時，則透過上修該第一固定直徑轉動件14的該小徑部141的直徑以增加其轉速。所述下修或上修該小徑部141的直徑，是指在跑線控制程式中下修或上修該小徑部141的直徑參數。
步驟三300、量測固定直徑轉動件的轉速：待該線材17跑線於該多輪組系統1一段時間且呈穩態而趨於一固定線速度後，量測該第一固定直徑轉動件14的該大徑部142的轉速，藉此以獲得該線材17運行於該多輪組系統1的一線速度真實值VR。
具體說明的是，由於該線材17是以單圈方式繞設於該 第一固定直徑轉動件14的該大徑部142，所以該第一固定直徑轉動件14的該大徑部142的直徑可以視為固定值。而且實際應用上，帶動該第一固定直徑轉動件14的該大徑部142轉動的是一馬達18(如圖4所示)，因此，該第一固定直徑轉動件14的轉速可由該馬達18本身所運轉的轉速而得知，且該馬達18為伺服馬達；此外，該第一固定直徑轉動件14的該大徑部142的真實轉速之測得也能是由轉速計(Tachometer)量得，只要能達成獲得具有固定直徑的該大徑部141真實轉速的目的，在實施態樣上不需特別以上述說明為限。
步驟四400、檢知該線速度目標值VT與該線速度真實值VR是否滿足下列條件：RS/Rr=VT/VR=1
若VT/VR<1，則調高該假定直徑RS；若VT/VR>1，則調低該假定直徑RS；若滿足該條件VT/VR=1，則所輸入的該假定直徑RS則確實為任一主輪11的真實直徑Rr。
實際執行過程中，該多輪組系統1的跑線控制程式可以多次執行步驟100~步驟400，使該假定直徑RS是以漸進式調整的修正方式，修正至真實數值；在其他實施例中，該多輪組系統1可以在執行一次步驟100~步驟400後，程式即會自動地漸進修正 該假定直徑RS至真實數值。
另需說明的是，當該假定直徑RS已被修正至真實數值時，且線材17接著只在該等第一、第二固定直徑轉動件14、15的該等大徑部142、152以單圈方式跑線時，則可選擇性地不執行步驟100~步驟400。
值得一提的是，該多輪組系統1也能是只有一主輪、一張力輪組，及一固定直徑轉動件，如此，也能達成獲得線材繞過主輪後的真實直徑值之目的，需注意的是本發明不限定只能用於晶圓切片機的多輪組系統，也能用於製造捲筒衛生紙的多輪組系統等。
以下提供關係式的推導，以及簡單舉例於該多輪組系統1的跑線控制程式中的數值例子(如下表1)作為說明：VT=(π RS)˙(ω) (1)
(π Rr)˙(ω)=VR (2)其中，VT：線速度目標值，RS：假定直徑(是一個輸入值)，Rr：主輪真實直徑，VR：線速度真實值。由(1)、(2)可得(VT/π RS)=(VR/π Rr)→ VT/VR=RS/Rr所以，若VT/VR=1，則RS=Rr；若VT/VR<1，則RS<Rr，又Rr是固定真實數值，所以只能藉由提高RS以趨近等於Rr； 若VT/VR>1，則RS>Rr，又Rr是固定真實數值，所以只能藉由調低RS以趨近等於Rr。
需說明的是，雖然表1係以該多輪組系統1的跑線控制程式是多次執行步驟100~步驟400為例作說明，但該假定直徑RS的漸進式調整的修正方式，也可以是在執行一次步驟100~步驟400後，即可透過程式自動地漸進修正。此外，其修正次數與修正調幅比例不應以上述表1說明為限，表1之提供只是為了用以輔助理解本發明的技術特徵。另外，在表1中，第一次藉由量測固定直徑轉動件的轉速而求得VR=60m/min時，便能將其與線速度目標值VT=90m/min作比較而初步反算推得該假定直徑RS的總修正量，即總修正量≒(90-60)/286.48/π/103=33.3(mm)。但考量該線材 17本身可容許張力調整的幅度有限，所以該多輪組系統1較佳是以漸進式調整的方式來修正該假定直徑RS。
參閱圖7為本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法之一第二實施例的流程圖。參閱圖8為本發明該第二實施例所應用的多輪組系統1’的示意圖。
該多輪組系統1’包括均可轉動的二主輪11、一第一張力輪組12’、一第二張力輪組13’、一第一繞線輥輪14’、一第二繞線輥輪15’、二分別與該第一張力輪組12’與該第二張力輪組13’連接的鬆緊調節裝置16，及一繞過該等主輪11、該第一張力輪組12’、該第二張力輪組13’、該第一繞線輥輪14’，及該第二繞線輥輪15’的線材17。該第一繞線輥輪14’與該第二繞線輥輪15’的其中一個用以捲繞收集該線材17，另一個用以放出已捲繞的該線材17。
該第一張力輪組12’位於該等主輪11與該第一繞線輥輪14’之間，並具有一供該線材17繞過於其上且能受該線材17張力作用而移動的第一張力輪121’、一位於該等主輪11與該第一張力輪121’之間的第一惰輪122’，及一位於該第一張力輪121’與該第一繞線輥輪14’之間的第一固定直徑轉動件123’，該第一惰輪122’與該第一固定直徑轉動件123’能用以改變該線材17的走線方向。類似地，該第二張力輪組13’位於該等主輪11與該第二繞線輥 輪15’之間，並具有一供該線材17繞過於其上且能受該線材17張力作用而移動的第二張力輪131’、一位於該等主輪11與該第二張力輪131’之間的第三惰輪132’，及一位於該第二張力輪131’與該第二繞線輥輪15’之間的第二固定直徑轉動件133’，該第三惰輪132’與該第二固定直徑轉動件133’能用以改變該線材17的走線方向。
該等鬆緊調節裝置16分別用以改變所對應的該第一、第二張力輪121’、131’的位置，藉此調節該線材17本身的張力。
參閱圖7、8，本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法的該第二實施例，包含下列步驟：
步驟一100’、針對主輪輸入一假定直徑：同該第一實施例的步驟一100。
步驟二200’、檢知該第一張力輪121’是否偏移原預設位置：讓該線材17開始跑線運行於該多輪組系統1’，此時該線材17是以單一方向移動，例如是自該第二繞線輥輪15’經該等主輪11往該第一繞線輥輪14’移動(如圖8中實心箭頭所示)，並且該線材17會以多圈方式纏繞於該第一繞線輥輪14’上。
若該第一張力輪121’偏移原預設位置，則依該第一張力輪121’的偏移量與偏移方向修正該第一繞線輥輪14’的直徑後，再讓該線材17運行於該多輪組系統1。所述修正該第一繞線輥輪 14’的直徑，是指在跑線控制程式中修正該第一繞線輥輪14’的直徑參數。若該第一張力輪121’並無偏移原預設位置，則表示該線材17離開於該等主輪11的線量等於該線材17纏繞於該第一繞線輥輪14’的繞線量，且進行下一步驟。
其中，當該第一繞線輥輪14’轉速過快而使該第一張力輪121’發生向圖8左方位移時，透過下修該第一繞線輥輪14’的直徑以減少其轉速；當該第一繞線輥輪14’轉速過慢而使該第一張力輪121’發生向圖8右方位移時，則透過上修該第一繞線輥輪14’的直徑以增加其轉速。所述下修或上修該第一繞線輥輪14’的直徑，是指在跑線控制程式中下修或上修該第一繞線輥輪14’的直徑參數。
步驟三300’、量測固定直徑轉動件的轉速：待該線材17跑線於該多輪組系統1’一段時間且呈穩態而趨於一固定線速度後，量測該第一固定直徑轉動件123’的轉速，藉此以獲得該線材17運行於該多輪組系統1’的一線速度真實值VR。在本實施例中，是利用轉速計19量得該第一固定直徑轉動件123’的轉速。在其他實施例中，應可理解亦可將該第一惰輪122’作為第一固定直徑轉動件。
步驟四400’、檢知該線速度目標值VT與該線速度真實值VR是否滿足下列條件： RS/Rr=VT/VR=1
若VT/VR<1，則調高該假定直徑RS；若VT/VR>1，則調低該假定直徑RS；若滿足該條件VT/VR=1，則所輸入的該假定直徑RS則確實為任一主輪11的真實直徑Rr。
該第二實施例與該第一實施例的主要差異在於，兩者所應用的多輪組系統1、1’，其等的待偵測物(固定直徑轉動件)不同，且在本實施例中，該第一固定直徑轉動件123’為無動力驅動的被動輪。
另外，該第二實施例所適用的多輪組系統1’，其該第一繞線輥輪14’的外徑可以不需有大小之分，也就是說，可以毋須藉由小徑部與大徑部來組成。當然，在其他實施例中，第一繞線輥輪14’也可以是同該第一實施例的第一固定直徑轉動件14(見圖6)，亦即具有一小徑部與一連接於該小徑部一側的大徑部。另一提的是，由於本實施例的該第一繞線輥輪14’上的該線材17會堆疊，進而造成外徑產生變化，因此，該多輪組系統1’可每隔一預定時間即執行一次步驟200’。
參閱圖9為本發明該第二實施例所應用的另一種多輪組系統2，其機構的特徵在於可以免去該第一張力輪組12’(見圖8)、該第二張力輪組13’(見圖8)的設計，而調整該線材17本身張 力的方式可以藉由該第一繞線輥輪14’橫向移載(如沿圖9中的X方向)的方式來調整，這是由於該線材17本身的張力是取決於該第一繞線輥輪14’與其相鄰的主輪11兩者的間距，前述該第一張力輪組12、12’調整原理也是基於此。
如此，本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法，也可應用於該多輪組系統2，由上所述，應能理解本發明的最大精神是當該線材17穩定跑線於任一種多輪組系統時，只要所述多輪組系統中具有一個可以被偵測轉速的第一固定直徑轉動件122’(如利用轉速計19來偵測轉速)，本發明便可藉由檢知線速度目標值VT與線速度真實值VR是否相等，而確認所輸入的假定直徑RS是否確實為主輪的真實直徑Rr。
如此，本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法的該第二實施例，也可達到與上述本發明直徑檢知方法的該第一實施例相同的目的與功效。
綜上所述，本發明多輪組系統的主輪直徑檢知方法確實能達成本發明之目的。
惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

Claims (9)

  1. 一種多輪組系統的主輪直徑檢知方法，該多輪組系統包括均可轉動的一主輪、一固定直徑轉動件，及一繞過該主輪及該固定直徑轉動件且隨該主輪與該固定直徑轉動件之運轉而移動的線材，該多輪組系統的主輪直徑檢知方法包含下列步驟: (A)針對主輪輸入一假定直徑: 於該多輪組系統的跑線控制程式中設定該線材於該多輪組系統的一線速度目標值V T，再針對具真實直徑R r的該主輪輸入一假定直徑R S，以推得該主輪於該多輪組系統中的轉速ω； (B)量測固定直徑轉動件的轉速:待該線材跑線於該多輪組系統且呈穩態而趨於一固定線速度後，量測該固定直徑轉動件的轉速，以得該線材運行於該多輪組系統的一線速度真實值V R；及 (C) 檢知該線速度目標值V T與該線速度真實值V R是否滿足下列條件: V T/V R=1，其中，若V T/V R＜1，則調高該假定直徑R S，若V T/V R＞1，則調低該假定直徑R S，若滿足該條件，則所輸入的該假定直徑R S為該主輪的真實直徑R r。
  2. 如請求項1所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該固定直徑轉動件沿一軸向具有一小徑部及一連接該小徑部的大徑部，該多輪組系統還包括一位於該主輪與該固定直徑轉動件之間的張力輪組，該張力輪組具有一供該線材繞過於其上且能受該線材張力作用而移動的張力輪，該多輪組系統的主輪直徑檢知方法還包含一位於該步驟(A)與該步驟(B)之間的步驟(A1)檢知該張力輪是否偏移原預設位置，若是，則依該張力輪的偏移量與偏移方向修正該固定直徑轉動件的該小徑部的直徑再回到該步驟(A)，若否，則表示該線材離開於該主輪的線量等於該線材纏繞於該固定直徑轉動件的繞線量，且該線材自該小徑部移動至該大徑部並以單圈方式繞設於該大徑部後再進行該步驟(B)。
  3. 如請求項2所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該張力輪組還具有一位於該主輪與該張力輪之間的第一惰輪，及一位於該固定直徑轉動件與該張力輪之間的第二惰輪，該第一惰輪與該第二惰輪用以改變該線材的走線方向。
  4. 如請求項2或3所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該張力輪是沿一直線方向移動。
  5. 如請求項1所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該多輪組系統還包括一用以捲繞該線材的繞線輥輪，該固定直徑轉動件位於該主輪與該繞線輥輪之間，該多輪組系統的主輪直徑檢知方法還包含一位於該步驟(A)與該步驟(B)之間的步驟(A1)檢知該線材離開於該主輪的線量是否等於該線材纏繞於該繞線輥輪的繞線量，若是，則進行該步驟(B)，若否，則偏移該繞線輥輪至一適當位置，使該線材離開於該主輪的線量等於該線材纏繞於該繞線輥輪的繞線量後，再進行該步驟(B)。
  6. 如請求項1所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該多輪組系統還包括一用以捲繞該線材的繞線輥輪，及一供該線材繞過且能受該線材張力作用而移動的張力輪，該張力輪位於該主輪與該繞線輥輪之間，該固定直徑轉動件位於該主輪與該繞線輥輪之間，該多輪組系統的主輪直徑檢知方法還包含一位於該步驟(A)與該步驟(B)之間的步驟(A1)檢知該張力輪是否偏移原預設位置，若是，則依該張力輪的偏移量與偏移方向修正該繞線輥輪的直徑再回到該步驟(A)，若否，則表示該線材離開於該主輪的線量等於該線材纏繞於該繞線輥輪的繞線量，再進行該步驟(B)。
  7. 如請求項6所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該多輪組系統還包括一位於該主輪與該繞線輥輪之間的第一惰輪與該固定直徑轉動件，該第一惰輪與該固定直徑轉動件均能用以改變該線材的走線方向。
  8. 如請求項6或7所述的多輪組系統的主輪直徑檢知方法，其中，該張力輪是沿一直線方向移動。
  9. 如請求項6所述的主輪直徑檢知方法，其中，該繞線輥輪具有一小徑部，及一連接該小徑部一側的大徑部，該小徑部與該大徑部彼此具有相同旋轉軸且同步轉動。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6402700B2 (ja) * 2015-10-20 2018-10-10 信越半導体株式会社 ワークの切断方法及びワイヤソー

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4342153A (en) * 1980-08-18 1982-08-03 American Air Filter Company, Inc. Pitch diameter gauge for a variable speed pulley
US5277044A (en) * 1991-07-22 1994-01-11 N.V. Bekaert S.A. Wire drawing machine with diameter watching-system
US5857454A (en) * 1995-07-07 1999-01-12 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wire saw and method of slicing ingot by wire saw
CN201525044U (zh) * 2009-04-21 2010-07-14 宝鸡市百锐分切技术有限公司 全自动极片分切机
JP2010172993A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワーク切断方法及びワイヤソー

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09300199A (ja) * 1996-05-15 1997-11-25 Citizen Watch Co Ltd ワイヤーソー装置
JPH1199466A (ja) * 1997-07-31 1999-04-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー
US8881716B2 (en) * 2010-02-08 2014-11-11 Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. Wire saw with tension detecting means and guide roller speed control
JP5973778B2 (ja) * 2012-05-08 2016-08-23 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソー装置及びワイヤ走行制御方法
CN103760829B (zh) * 2014-01-28 2017-01-18 湘潭大学 多线切割机无弯曲传感器的工作台速度控制方法
CN107097362B (zh) * 2016-02-19 2020-04-17 友达晶材股份有限公司 晶圆切片机及其轮组结构与晶圆切片的方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4342153A (en) * 1980-08-18 1982-08-03 American Air Filter Company, Inc. Pitch diameter gauge for a variable speed pulley
US5277044A (en) * 1991-07-22 1994-01-11 N.V. Bekaert S.A. Wire drawing machine with diameter watching-system
US5857454A (en) * 1995-07-07 1999-01-12 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wire saw and method of slicing ingot by wire saw
JP2010172993A (ja) * 2009-01-28 2010-08-12 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワーク切断方法及びワイヤソー
CN201525044U (zh) * 2009-04-21 2010-07-14 宝鸡市百锐分切技术有限公司 全自动极片分切机

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