KR102366928B1 - 기판 반송 시스템 - Google Patents

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Abstract

기판 반송 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템은, 복수개가 서로 나란하게 배열되고, 기판에 접면되는 복수개의 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 반송 샤프트; 상기 반송 샤프트의 일단에 마련되고 상기 반송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 유닛; 및 상기 반송 샤프트가 관통 가능하도록 샤프트 관통홀이 형성되고 자력에 의해 상기 반송 샤프트의 자중 처짐을 방지하는 마그네틱 지지 유닛을 포함하며, 상기 마그네틱 지지 유닛은, 상기 반송 샤프트와 동일 축상에 마련되고 제1 자성을 띄는 외륜 마그네틱 지지 홀더; 상기 반송 샤프트와 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재되고 상기 제1 자성을 띄는 내륜 마그네틱 지지 홀더; 및 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 일 측에 마련되고 상기 제1 자성을 띄며 상기 구동 유닛과의 이격 거리를 조정 가능한 마그네틱 편심 지지 홀더를 포함할 수 있다.

Description

기판 반송 시스템{SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM AND SUBSTRATE TRANSPER METHOD USING THE SAME}
본 발명은 기판 반송 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 사용되는 기판 반송 시스템에 관한 것이다.
디스플레이 장치는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 표시 장치(OLED, organic light emitting diode display), 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel) 등이 있다.
그 중 평판 디스플레이 장치(FPD, flat panel display)는 다른 디스플레이 장치에 비해 두께가 얇고 무게가 가벼울 뿐만 아니라 높은 해상도를 구현할 수 있어 널리 활용되고 있다.
평판 디스플레이 장치는 평판 타입의 기능성 기판이 복수 개 적층 형성된다. 이때, 기판 반송 시스템에 기판이 로딩, 이동되면서 약액도포공정, 세정공정, 건조공정 등 다양한 처리공정들이 수행된다.
따라서 일련의 기판 처리 공정은 통상적으로 기판 반송 시스템과 연계되어 공정이 진행되는데, 기판 반송 시스템을 통해 각각의 공정 영역으로 반송된다.
기판 반송 시스템을 통한 기판 반송시 정밀한 위치 제어와 반송 속도를 일정하게 유지하는 게 중요하다.
기판 반송 시스템은 복수의 반송 샤프트가 나란하게 배치되어 회전하고, 각각의 반송 샤프트에 삽입되어 반송 샤프트와 함께 회전하며 기판을 반송시키는 복수의 롤러가 구비된다.
최근 기판이 대면적화됨에 따라 이에 대응되어 반송 샤프트의 길이 또한 길어지게 되었다. 이에 반송 샤프트의 자중 및 기판의 대면적화에 따른 하중 증가, 공정 중 다른 장비들의 공정에 따라 반송 샤프트의 처짐에 의한 위치 변형이 발생하는 문제점이 있었다.
이는 기판의 변형이나 파손을 초래하게 되고, 기판 반송시 직진성이 저하되어 반송 샤프트의 회전시 자체 진동 등에 의한 기판 반송 시스템의 구성 부품의 손상으로 이어지고, 공정 정밀도를 감소시켜 종국적으로 기판 불량률이 증가되는 문제점이 있었다.
한국등록특허공보(등록번호: 10-0813617, "기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법")는, 이송 샤프트의 하면에 마련된 자기 부재들 간 반발력(척력)을 이용해 이송 샤프트의 처짐을 방지하는 기판 이송 유닛을 개시하고 있다.
한국등록특허공보 제10-0813617호(공개일자: 2008.03.18.)
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 반송 샤프트의 처짐을 방지하여 대면적의 기판을 안정적으로 반송할 수 있는 기판 반송 시스템에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판 반송 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템은, 복수개가 서로 나란하게 배열되고, 기판에 접면되는 복수개의 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 반송 샤프트; 상기 반송 샤프트의 일단에 마련되고 상기 반송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 유닛; 및 상기 반송 샤프트가 관통 가능하도록 샤프트 관통홀이 형성되고 자력에 의해 상기 반송 샤프트의 자중 처짐을 방지하는 마그네틱 지지 유닛을 포함하며, 상기 마그네틱 지지 유닛은, 상기 반송 샤프트와 동일 축상에 마련되고 제1 자성을 띄는 외륜 마그네틱 지지 홀더; 상기 반송 샤프트와 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재되고 상기 제1 자성을 띄는 내륜 마그네틱 지지 홀더; 및 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 일 측에 마련되고 상기 제1 자성을 띄며 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더가 상기 구동 유닛 측으로 치우치지 않도록 상기 구동 유닛과 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 간의 이격 거리를 조정 가능한 마그네틱 편심 지지 홀더를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더의 내주면 일단부는 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 외주면 일단부에 대응된 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 내측의 일측단에 형성된 제1 고정 홈과, 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 외측의 일측단에 형성된 제2 고정 홈에 끼움 결합 가능한 고정 키를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 마그네틱 지지 유닛을 지지하는 하우징 유닛을 더 포함하고, 상기 하우징 유닛은, 상기 마그네틱 지지 유닛을 수용하는 마그네틱 지지 유닛 하우징; 및 상기 마그네틱 지지 유닛 하우징의 일단에 연장 형성되고 상기 하우징 홀더에 삽입 결합되는 하우징 지지 블록을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 마그네틱 지지 유닛 하우징과 상기 마그네틱 편심 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 하우징 지지 블록의 일측에 마련된 수평 지지대와 상기 하우징 홀더를 매개하여 상기 수평 지지대의 결합 높이를 조절하는 높이 조절 홀더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 마그네틱 지지 유닛은 자력과 샤프트 관통홀만큼 역학적 구조에 의해 반송 샤프트를 특정 위치에 오도록 지지하여 반송 샤프트를 비롯한 기판 반송 시스템의 처짐을 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 외륜 마그네틱 지지 홀더와 내륜 마그네틱 지지 홀더 간 반발력에 의해 반송 샤프트를 지지하여 처짐을 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 외륜 마그네틱 지지 홀더와 내륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 베어링을 구비함으로써, 자기력에 의해 반송 샤프트의 처짐을 방지하는 가운데 물리적인 이격 거리를 유지할 수 있어 이중으로 반송 샤프트의 처짐을 방지할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 반송 시스템을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 중 기판 반송 시스템의 평면도이다.
도 3은 도 2에서 A-A'의 정단면도이다.
도 4는 도 3에서 B를 확대한 도면이다.
도 5는 도 4의 C에서 본 발명의 일 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛과 하우징 유닛을 확대한 도면이다.
도 6은 도 4의 C에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛과 하우징 유닛을 확대한 도면이다.
도 7은 도 4의 C에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛과 하우징 유닛을 확대한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 하우징 유닛을 보여주는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템을 구성하는 각 구성요소에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 반송 시스템(10)을 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 중 기판 반송 시스템(10)의 평면도이고, 도 3은 도 2에서 A-A'의 정단면도이고, 도 4는 도 3에서 B를 확대한 도면이고, 도 5는 도 4에서 C에서 마그네틱 지지 유닛(300)과 하우징 유닛(400)을 확대한 도면이고, 도 6은 도 4의 C에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)과 하우징 유닛(400)을 확대한 도면이며, 도 7은 도 4의 C에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)과 하우징 유닛(400)을 확대한 도면이며, 도 8은 본 발명에 따른 하우징 유닛(400)을 보여주는 사시도이다.
도 1 내지 도 6에 도시된 대로 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 시스템(10)은, 기판(S)을 지지한 채로 기판 이송 중, 기판(S)을 일 방향으로 반송시킬 수 있다. 기판 반송 시스템(10)은, 기판 처리 공정 영역(미도시) 내 마련될 수 있다.
기판 반송 시스템(10)은, 반송 샤프트(100)와 구동 유닛(200), 마그네틱 지지 유닛(300)을 포함하고, 하우징 유닛(400)을 더 포함할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3에 도시된 대로 반송 샤프트(100)는, 복수개가 서로 나란하게 배열될 수 있다. 반송 샤프트(100)들은 기판 이송 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 일 실시예에 따라 반송 샤프트(100)들은 수평하게 배치되거나, 다른 실시예에 따라 일단이 타단에 비해 수직방향으로 다른 높이에 마련되어 경사지게 배치될 수 있다. 반송 샤프트(100)는, 복수개의 롤러(110)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 롤러(110)는, 기판(S)에 접면될 수 있다. 기판은, 롤러에 접면되어 일 방향을 따라 이송을 안내할 수 있다.
다시 도1과 도 2에 도시된 대로 구동 유닛(200)은, 반송 샤프트(100)를 구동시킬 수 있다. 구동 유닛(200)은, 반송 샤프트(100)에 회전력을 제공할 수 있다. 구동 유닛(200)은, 반송 샤프트(100)의 일단에 마련될 수 있다. 구동 유닛(200)이 제공하는 회전력에 의해 반송 샤프트(100)가 기판(S)을 이송시킬 수 있다. 구동 유닛(100)은, 구동 제공부를 포함할 수 있다. 구동 제공부는, 동력원으로서 일례로 모터일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
다시 도 1 내지 도 5를 참조하면 마그네틱 지지 유닛(300)은, 각각의 반송 샤프트(100)에 대응되어, 반송 샤프트(100)의 길이 방향을 따라 적어도 하나가 마련될 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 반송 샤프트(100)에서 가장 처짐에 취약한 부위에 마련될 수 있다. 일 실시예로 마그네틱 지지 유닛(300)은, 반송 샤프트(100)의 중앙부에 마련될 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 샤프트 관통홀(300a)이 형성될 수 있다. 샤프트 관통홀(300a)은, 반송 샤프트(100)가 관통 가능하도록 반송 샤프트(100)의 직경에 대응되는 형상의 중공홀일 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 후술할 하우징 유닛(400)에 의해 지지된 채, 샤프트 관통홀(300a)만큼 반송 샤프트(100)에 유격을 제공한 채 상하 수직 방향으로 반송 샤프트(100)를 고정 지지시킬 수 있다.
마그네틱 지지 유닛(300)은, 자력에 의해 반송 샤프트(100)의 자중 처짐을 방지할 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320), 마그네틱 편심 지지 홀더(330)를 포함할 수 있다.
외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 반송 샤프트(100)와 동일 축 상에 마련될 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 원통 형상일 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 자성체일 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 제1 자성을 띌 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)는, 외주 방향으로 자기력이 작용해 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)와 일정 이격 거리를 유지할 수 있다.
내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 반송 샤프트(100)와 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 사이에 개재될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 내부에 삽입 결합될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 반송 샤프트(100)의 외경에 대응되는 형상으로, 빈 원통 형상일 수 있다. 즉 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 중공부는, 샤프트 관통홀(300a)일 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 반송 샤프트(100)의 길이 방향으로 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 와 동일한 길이를 가질 수 있다. 또한 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 동일 축 상에 마련될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 원통 형상일 수 있다.
내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 자성체일 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 동일한 극성인 제1 자성을 띌 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 내주 방향으로 자기력이 작용해 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 일정 이격 거리를 유지할 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 동일한 극성인 제1 자성을 띔으로써 X축 방향에서 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 동일한 축 상에 위치한 채로, Y축 및 Z축 방향에서 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 일정 이격 거리를 유지할 수 있다.
마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 구동 유닛(200)과 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 간의 이격 거리를 조정할 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 및 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 일 측에 마련될 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 자성체일 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 및 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)와 동일한 극성인 제1 자성을 띌 수 있다. 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 및 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)와 동일한 극성인 제1 자성을 띔으로써 서로 마주보는 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)가 X축 방향에서 어느 한쪽으로 쏠리지 않게 위치하도록 일정 이격 거리를 유지할 수 있다.
도 6에 도시된 대로 일 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)은, 베어링(341)을 더 포함할 수 있다. 베어링(341)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)과 마그네틱 편심 지지 홀더(320) 사이에 개재될 수 있다. 베어링(341)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)과 마그네틱 편심 지지 홀더(320) 사이 이격 거리를 조정할 수 있다.
도 7에 도시된 대로 일 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)은, 베어링(342)을 더 포함할 수 있다. 베어링(342)은, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 사이에 개재될 수 있다. 베어링(342)은, 척력이 작용하는 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 사이 이격 거리를 역학적으로 조정함으로써, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 간 자력(척력)에 따른 거리 유지 이외 보완적으로 일정 간격만큼 이격 거리를 조정할 수 있다.
다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)에 있어서, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)의 내주면 일단부는 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 외주면 일단부에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 대응되는 단면 형상에 의해, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 자기력에 의한 이격 거리를 물리적으로 제어할 수 있다.
다시 도 1과 도 3 내지 도 8을 참조하면 하우징 유닛(400)은, 마그네틱 지지 유닛(300)을 지지 고정할 수 있다. 하우징 유닛(400)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)과 하우징 지지 블록(420), 하우징 홀더(440)를 포함하고, 높이 조절 홀더(430)를 더 포함할 수 있다.
마그네틱 지지 유닛 하우징(410)에는, 수용홈이 형성될 수 있다. 수용홈은, 마그네틱 지지 유닛(300)을 감쌀 수 있도록 마그네틱 지지 유닛(300)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 마그네틱 지지 유닛(300)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410) 내부에 삽입 결합될 수 있다. 보다 구체적으로 마그네틱 지지 유닛(300)을 구성하는 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320), 마그네틱 편심 지지 홀더(330)는, 모두 마그네틱 지지 유닛 하우징(410) 내부에 삽입 결합될 수 있다. 다시 도 5 내지 도 7을 참조하면 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 자력이 작용해 마그네틱 편심 지지 홀더(330)와 이격되도록 위치 조절될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)가 X축 방향에서 마그네틱 편심 지지 홀더(330)와 자력이 작용해 X축 방향으로 위치 이동할 수 있도록, 수용홈 내부는 X축 방향에서 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 및 마그네틱 편심 지지 홀더(330)의 두께 이상의 유격을 포함한 길이를 가질 수 있다. 또한 다시 도 5 내지 도 7을 참조하면 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)는, 자력이 작용해 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 이격되도록 위치 조절될 수 있다. 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)가 X축에 직교하는 YZ 평면 상에서 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 자력이 작용해 위치 이동할 수 있도록, 수용홈 내부는 YZ 평면 상에서 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 외주연 및 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)의 내주연 사이 유격을 포함한 너비를 가질 수 있다.
하우징 지지 블록(420)은, 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)의 일단에 연장 형성될 수 있다. 하우징 지지 블록(420)은, 작업 환경 하에서 작업자의 작업 편의도모를 위해 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)의 일 측으로 편심되어 연장 형성될 수 있다. 하우징 지지 블록(420)의 일단은, 하우징 홀더(440)에 삽입 결합될 수 있다. 하우징 지지 블록(420)은, 수평 지지대(421)를 더 포함할 수 있다.
수평 지지대(421)는, 하우징 유닛(400)의 중심축에 대하여 일측으로 편심 마련되어 마그네틱 지지 유닛 하우징(410)을 지지하는 하우징 지지 블록(420)의 무게중심이 일 측으로 쏠리지 않도록 반대 방향에 보완적으로 마련될 수 있다.
높이 조절 홀더(430)는, 수평 지지대(421)와 하우징 홀더(440)를 매개하여 수평 지지대(421)의 결합 높이를 조절할 수 있다. 즉, 높이 조절 홀더(430)는, 수평 지지대(421)와 함께 수직 방향으로 결합 높이를 조정함으로써 마그네틱 지지 유닛(300)의 수평 높이를 조정할 수 있다.
일 실시예에 따른 높이 조절 홀더(430)는 고정 볼트이며 수평 지지대(421) 및 하우징 홀더(440)와 나사 결합될 수 있다. 수평 지지대(421)와 하우징 홀더(440)에는 높이 조절 홀더(430)에 대응하도록 내주면에 나사산이 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
하우징 홀더(440)에는, 지지 삽입 홈(441)이 형성될 수 있다. 하우징 홀더(440)는, 반송 샤프트(100)가 일정 높이에 유지되도록 반송 샤프트(100)의 하면에서 하우징 지지 블록(420)를 지지할 수 있다. 하우징 지지 블록(420)는, 지지 삽입 홈(441)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 하우징 지지 블록(420)는, 지지 삽입 홈(441)에 억지 끼움되도록 삽입 결합될 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 마그네틱 지지 유닛(300)에 있어서, 고정 키를 더 포함할 수 있다. 고정 키는, 제1 고정 홈과 제2 고정 홈에 삽입 결합될 수 있다. 고정 키에 의해, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310)와 내륜 마그네틱 지지 홀더(320)의 자기력에 의한 이격 거리를 물리적으로 제어할 수 있다. 고정 키는, 제1 고정 홈과 제2 고정 홈에 대응하는 형상을 가질 수 있다.
제1 고정 홈은, 외륜 마그네틱 지지 홀더(310) 내측의 일측단에 형성될 수 있다. 제2 고정 홈은, 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 외측의 일측단에 형성될 수 있다. 제2 고정 홈은, 내륜 마그네틱 지지 홀더(320) 외측 중 제1 고정 홈에 대응하는 위치에 형성될 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 기판 반송 시스템
100 : 반송 샤프트 110 : 롤러
200 : 구동 유닛
300 : 마그네틱 지지 유닛 300a : 샤프트 관통홀
(310 : 외륜 마그네틱 지지 홀더 320 : 내륜 마그네틱 지지 홀더
321 : 고정 키
330 : 마그네틱 편심 지지 홀더 341 : 베어링
341 : 베어링
410 : 마그네틱 지지 유닛 하우징 420 : 하우징 지지 블록
421 : 수평 지지대 430 : 높이 조절 홀더
440 : 하우징 홀더
S : 기판

Claims (7)

  1. 복수개가 서로 나란하게 배열되고, 기판에 접면되는 복수개의 롤러를 자유 회전 가능하게 지지하는 반송 샤프트;
    상기 반송 샤프트의 일단에 마련되고 상기 반송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 유닛; 및
    상기 반송 샤프트가 관통 가능하도록 샤프트 관통홀이 형성되고 자력에 의해 상기 반송 샤프트의 자중 처짐을 방지하는 마그네틱 지지 유닛을 포함하며,
    상기 마그네틱 지지 유닛은,
    상기 반송 샤프트와 동일 축상에 마련되고 제1 자성을 띄는 외륜 마그네틱 지지 홀더;
    상기 반송 샤프트와 상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재되고 상기 제1 자성을 띄는 내륜 마그네틱 지지 홀더; 및
    상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 일 측에 마련되고 상기 제1 자성을 띄며 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더가 상기 구동 유닛 측으로 치우치지 않도록 상기 구동 유닛과 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 간의 이격 거리를 조정 가능한 마그네틱 편심 지지 홀더를 포함하는, 기판 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 외륜 마그네틱 지지 홀더와 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 외륜 마그네틱 지지 홀더의 내주면 일단부는 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더의 외주면 일단부에 대응된 형상을 가지는, 기판 반송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 외륜 마그네틱 지지 홀더 내측의 일측단에 형성된 제1 고정 홈과, 상기 내륜 마그네틱 지지 홀더 외측의 일측단에 형성된 제2 고정 홈에 끼움 결합 가능한 고정 키를 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 마그네틱 지지 유닛을 지지하는 하우징 유닛을 더 포함하고,
    상기 하우징 유닛은,
    지지 삽입 홈이 형성된 하우징 홀더;
    상기 지지 삽입 홈에 삽입 결합되는 하우징 지지 블록; 및
    상기 하우징 지지 블록의 일단에 연장 형성되고, 상기 마그네틱 지지 유닛이 내장 가능한 수용홈이 형성된 마그네틱 지지 유닛 하우징을 포함하는, 기판 반송 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 마그네틱 지지 유닛 하우징과 상기 마그네틱 편심 지지 홀더 사이에 개재된 베어링을 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 하우징 지지 블록의 일측에 마련된 수평 지지대와 상기 하우징 홀더를 매개하여 상기 수평 지지대의 결합 높이를 조절하는 높이 조절 홀더를 더 포함하는, 기판 반송 시스템.
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