KR100541918B1 - 평판이송장치 - Google Patents

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KR100541918B1
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백우진
김상길
이성선
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 평판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 고정부재와, 상기 고정부재와 연결되고, 그 길이방향을 따라 배치되는 복수개의 샤프트들과, 상기 샤프트들을 회전하기 위한 구동부와, 각각의 상기 샤프트에 결합되는 복수의 롤러들과, 그리고, 상기 롤러들 사이에 배치되어 상기 샤프트를 지지하는 지지바를 포함하여 이루어지므로 써, 기판이 이송되는 샤프트의 자중과 하중에 따른 샤프트의 휨과 변형을 방지할 수 있도록 한 평판이송장치에 관한 것이다.
LCD, 액정표시장치, 평판, 이송장치, 글라스, 기판

Description

평판이송장치{Apparatus for Ttransfering Plate}
도 1은 종래의 평판이송장치를 도시한 평면도;
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따른 평판이송장치를 도시한 정면도;
도 3은 도 2에 도시된 A부의 확대 단면도;
도 4는 도 2의 평판이송장치를 변형한 예를 도시한 정면도;
도 5는 도 4에 도시된 B부의 확대 단면도;
도 6은 도 5의 측면도;
도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 평판이송장치를 도시한 정면도;
도 8은 도 7의 일부를 도시한 분해 사시도; 그리고,
도 9는 도 8의 결합단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
9 : 구동부 10, 10a, 10b : 샤프트
11, 12 : 롤러 11', 12' : 고무패킹
20a, 20b : 고정부재 30 : 지지바
30a : 상단지지바 30b : 하단지지바
31, 32 : 돌기 40a, 40b, 40c : 베어링
50, 50' : 탄성부재 51 : 스프링
52 : 스프링캡 60 : 연결부재
61 : 체결부 62 : 관통홀
70 : 볼트 P : 기판
본 발명은 평판이송장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 기판을 이송하는 샤프트에 지지바를 설치하여 자중과 하중에 대한 샤프트의 휨과 변형을 방지하기 위한 평판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 기존의 웨이퍼 또는 LCD(액정표시장치)용 기판 이송장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 일렬로 배치되어 구동수단(9)에 의하여 회전하는 다수 개의 샤프트(10)와, 이 샤프트 양단을 지지하는 고정부재(20)에 고정되어 기판(웨이퍼 포함)의 이송을 안내하는 가이드 롤러(11)(12)로 이루어지며, 그 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
즉, 상기 구동수단이 작동되면, 이와 연결된 샤프트의 회전력을 전달받아 가이드 롤러(11)(12)가 회전하게 될 때, 기판(P)의 전면이 밀착되어 가이드 롤러(11)(12)와 함께 회전하게 되어 기판(P)을 이송시키게 되는 것이다.
그러나, 상기한 바와 같은 구조의 기판 이송장치는 기판의 너비가 작은 경우에는 상관이 없으나, 6세대로 넘어가면서 기판의 사이즈가 대형화되기 때문에 샤프트의 길이도 그에 따라 길어지게 되며, 샤프트의 길이가 길어지게 될 경우, 자중과 기판의 하중에 따라 샤프트의 변형량이 커지게 되는 문제점이 있다.
이를 해결하기 위해서는, 허용 변형량을 맞추는 방안이 있으나, 샤프트의 축경이 커져야하고, 이에 따른 구동부의 대형화가 필요하게 되는 다른 문제점이 발생된다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 샤프트의 강성을 증대하지 않고도 자중에 따른 샤프트의 변형에 대처할 수 있으며, 샤프트의 소구경화로 인해 구동부의 부하를 감소하도록 하는 데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해 안출한 본 발명인 평판이송장치는, 고정부재와, 상기 고정부재와 연결되고, 그 길이방향을 따라 배치되는 복수개의 샤프트들과, 상기 샤프트들을 회전하기 위한 구동부와, 각각의 상기 샤프트에 결합되는 복수의 롤러들과, 그리고, 상기 롤러들 사이에 배치되어 상기 샤프트를 지지하는 지지바를 포함하여 이루어지므로써, 기판이 이송되는 샤프트의 자중과 하중에 따른 샤프트의 휨과 변형을 방지하여 본 발명의 목적을 달성할 수 있다.
상기 지지바에는 탄성부재가 설치될 수 있다.
한편, 본 발명과 관련된 제 2실시예에 따른 평판이송장치는, 고정부재와, 상기 고정부재와 연결되고, 그 길이방향을 따라 배치되는 복수개의 샤프트들과, 상기 샤프트들을 회전하기 위한 구동부와, 각각의 상기 샤프트에 결합되는 복수의 롤러들과; 그리고, 상기 롤러들 사이에 배치되어 상기 샤프트를 지지하는 지지바를 구 비하되, 상기 샤프트는, 제 1샤프트와 제 2샤프트, 그리고, 상기 제 1샤프트와 상기 제 2샤프트를 연결하며, 상기 지지바가 결합되는 연결부재를 포함한다.
상기 지지바에는 탄성부재가 설치되는 것을 더 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 관한 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 첨부된 도 2와 같이 양측으로 고정부재(20a, 20b)가 서로 마주보며 배치되고, 바람직하게는 상기 고정부재(20a, 20b)들을 연결되도록 한다.
상기 고정부재(20a, 20b)는 다수개의 체결공(도시하지 않음)이 형성되고, 이 체결공은 서로 동일한 크기와 등간격을 갖으며, 고정부재(20a, 20b)를 관통하여 동일한 높이를 갖도록 수평방향으로 형성된다.
상기 고정부재(20a, 20b)에 형성된 체결공에 샤프트(10)가 삽입되어 회전될 수 있도록 하며, 이 회전은 샤프트(10)의 일측과 연결된 구동부(9)에 의해 가능하다.
여기서, 보다 바람직하게는, 상기 체결공에 베어링(40a, 40b)을 삽입하여 결합하고, 상기 베어링(40a, 40b)에 상기 샤프트(10)가 관통되어 원활한 회전을 할 수 있도록 한다.
한편, 상기 샤프트(10)를 회전하기 위한 구동부(9)는, 구동모터(도시하지 않음) 및 이 구동모터의 구동력을 각 이송축들로 전달하기 위한 벨트 풀리로 이루어도록 하는 것이 바람직하며, 필요에 따라서는 상기 구동모터를 하나 이상 사용할 수도 있다.
또한, 상기 고정부재(20a, 20b)에 균일한 간격을 갖으며 배치되는 복수개의 샤프트(10)들 각각에는 적어도 두 개 이상의 롤러(11, 12)가 각각 결합된다.
이 롤러(11, 12)는, 기판(P)이 안착되어 이송되는 것으로 써, 상기 롤러(11, 12)에는 마찰력이 큰 고무패킹(11', 12')을 결합하도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 샤프트(10)를 지지할 수 있도록 지지바(30)가 제공된다. 지지바(30)는 샤프트(10)의 중심부에 배치되며, 선택적으로 롤러(11)와 롤러(12) 사이에 복수개가 제공될 수 있다.
각각의 샤프트(10)는 각각의 지지바(30)에 의해 지지되거나, 복수의 샤프트들(10)이 하나의 지지바(30)에 의해 지지될 수 있다.
또한, 상기 지지바(30)는 각각의 샤프트(10)가 지지되도록 일부를 펀칭하여 형성하거나, 상기 각각의 샤프트(10)가 삽입될 수 있도록 지지바(30)를 관통하는 원형으로 구성하여도 된다.
더 나아가서는, 상기 샤프트(10)가 지지되는 상기 지지바(30)의 내부에 탄성부재(50)를 배치한다.
첨부된 도 3에서 보는바와 같이, 상기 탄성부재(50)는 스프링(51)과, 이 스프링(51)을 수용함과 동시에 상측이 샤프트(10) 외주면에 밀착되는 스프링캡(52)으로 구성된다.
한편, 첨부된 도 4는 본 발명에 따른 평판이송장치를 변형한 예를 도시한 정면도로 써, 도 5 내지는 도 6과 같이 각각의 샤프트(10)를 지지하는 지지바(30)에 는 베어링(40c)이 설치되며, 상기 베어링(40c)에는 샤프트(10)가 관통된다.
이상과 같이 구성된 본 발명인 평판이송장치의 작동상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 이송하고자 하는 기판(P)의 너비에 따라, 본 발명에 따른 복수의 롤러(11, 12)들을 각각의 샤프트(10)에 끼워 체결하고, 구동부(9)에 전원을 인가하여 복수개의 샤프트(10)가 회전하게 되면, 상기 샤프트(10)에 고정된 롤러(11, 12)에 결합된 고무패킹(11', 12')이 회전하게 되면서, 상기 고무패킹(11', 12') 위에 얹혀진 기판(P)이 이송하게 된다.
이때, 샤프트(10)의 중심부, 또는 복수개로 설치된 지지바(30)가 샤프트(10)를 지지하게 되어 샤프트(10)의 처짐을 방지하게 되며, 양측의 고정부재(20a, 20b)에 설치된 베어링(40a, 40b)과 지지바(30)에 설치된 베어링(40c)에 의해 상기 샤프트(10)는 원활한 회전을 한다.
한편, 도 7은 본 발명의 제 2실시예에 따른 평판이송장치를 도시한 정면도이다.
먼저, 본 발명의 구조와 동일한 부분은 전술한 내용을 참조하도록 하며 자세한 설명은 생략하고, 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 관련된 부분만을 설명하도록 한다.
첨부된 도 7에서 보는 바와 같이 상기 샤프트(10)는, 제 1샤프트(10a)와 제 2샤프트(10b)로 구성되며, 이들 샤프트(10a, 10b)는 연결부재(60)에 의해 연결된다.
이는, 상기 연결부재(60)에 체결부(61)를 형성하므로 써, 구현 가능하며 이 체결부(61)는 샤프트(10a, 10b)와 연결부재(60)에 동일한 관통홀(62)을 균일하게 길이방향으로 형성되도록 한다.
그리고, 상기 지지바(30)는, 첨부된 도 8과 같이, 상단지지바(30a)와 하단지지바(30b)로 구성되며, 상단지지바(30a) 내측에 베어링(40c)이 삽입되고, 상기 베어링(40c) 내부에 연결부재(60)가 배치된다.
즉, 각각의 샤프트(10)들을 하나로 구성할 경우, 상기 샤프트(10)들의 외주면이 베어링(40c)에 삽입되고, 상기 베어링(40c)은 지지바(30) 내부에 위치하도록 하며, 각각의 샤프트(10)들을 제 1샤프트(10a)와 제 2샤프트(10b)로 구성 할 경우 상기 제 1샤프트(10a)와 상기 제 2샤프트(10b)가 연결부재(60)에 의해 연결되므로 써, 상기 연결부재(60)의 외주면이 베어링(40c)에 삽입되도록 하는 것이다.
한편, 상기 상단지지바(30a)와 상기 하단지지바(30b) 사이에는 서로 마주보도록 각각의 돌기(31, 32)를 형성하고, 이 돌기(31, 32)에 탄성부재(50')가 배치되며, 이 탄성부재(50')는 스프링으로 구성하는 것이 바람직하다.
이상과 같이 구성된, 본 발명에 따른 평판이송장치의 제 2실시예에 관한 체결과정은 다음과 같다.
먼저, 본 발명인 평판이송장치와 관련하여 동일한 구조에 따른 그 체결과정에 대해서는 생략하기로 하며, 아래에서는 제 2실시예에 따른 체결 과정만을 설명하도록 한다.
전술한 바와 같이, 각각의 샤프트(10)들을 하나로 구성할 경우, 상기 샤프트(10)들의 중단부에 베어링(40c)이 삽입되도록 하고, 이 베어링(40c)은 지지바(30)에 결합되도록 한다.
만약, 기판(P)의 너비에 따라 상기 각각의 샤프트(10)들을 제 1샤프트(10a)와 제 2샤프트(10b)로 구성하거나, 다수개의 샤프트(10)로 구성할 경우, 각각의 샤프트(10a, 10b)를 연결하는 연결부재(60)로 인해 그 길이를 조절할 수 있다.
이에 앞서, 상기 지지바(30)에 결합된 베어링(40c)에 상기 연결부재(60)의 외주면이 삽입되도록 한다.
이후, 연결부재(60)와 각각의 샤프트(10a, 10b)에 형성된 관통홀(62)이 동일한 위치를 갖도록 하여 볼트(70)를 삽입하여 체결한다.
여기서, 상기 지지바(30)는 상단지지바(30a)와 하단지지바(30b)로 구성되어질 경우, 이들의 지지바(30) 사이에 탄성부재(50')를 삽입하도록 한다.
한편, 기판이 놓여지고, 이송되는 그 과정은 본 발명에 따른 평판이송장치의 내용과 동일하다.
이상과 같이, 본 발명인 평판이송장치로 인해, 6세대로 넘어가면서 너비가 대형화 되는 기판(P)에 작용하는 하중으로 인해, 샤프트(10)의 중심부분에 휨 변형량이 발생하여 처지게 되는 문제점을 지지바(30)로 인해 개선할 수 있으며, 기판(P)의 너비에 따라 샤프트(10)의 길이를 조절할 수 있도록 연결부재(60)를 설치하므로 써, 구현 가능하게 하였으며, 고정부재(20a, 20b)와 지지바(30)에 베어링(40a, 40b, 40c)을 설치하므로 써, 구동부(9)의 적은 힘으로도 샤프트(10)의 원활한 회전이 가능하도록 하였다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 제 1실시예와 그에 따른 제 2실시예의 상세한 설명은 특정 실시예를 예로 들어서 설명하였을 뿐, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 개념을 이탈하지 않는 범위 내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 형태로 변형, 또는 변경 실시하는 것 또한, 본 발명의 개념에 포함되는 것은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명인 평판이송장치로 인해 다음과 같은 효과가 있다.
첫 번째, 지지바가 롤러와 결합된 샤프트를 지지하므로 써, 샤프트의 자중에 대한 휨, 또는 변형을 방지할 수 있다.
두 번째, 지지바에 탄성부재를 설치하므로 써, 예상치 못한 샤프트의 휨에 대한 완충 작용을 할 수 있다.
세 번째, 가장 큰 하중을 받는 샤프트의 중심부에 지지바를 배치하여 하나의 지지바로 인해 재료를 절감하고, 샤프트의 길이가 길어질 경우에는, 롤러들 사이에 복수개로 설치하여 자중과 부하에 대한 변형에 보다 적극적으로 대처할 수 있다. 이로인해, 샤프트의 직경을 작게 구성하여 원가를 절감 할 수 있는 또 다른 효과가 있다.
본 발명에 따른 다른 실시예 에서도 전술한 바와 같은 동일한 효과를 기대할 수 있으며, 다른 실시예에 따른 효과는 아래와 같다.
네 번째, 지지바에 베어링을 설치하고, 이 베어링에 샤프트를 삽입하므로 써, 구동부의 적은 동력원으로도 샤프트의 원활한 회전을 갖도록 하였다. 그러므 로, 구동부의 부피를 작게 구성할 수 있다. 또한, 지지바에 지지되는 샤프트와 지지바 간의 마찰력을 제거할 수 있으므로, 장시간의 사용시에도 샤프트의 변형을 방지할 수 있다.
다섯 번째, 제 1샤프트와 제 2샤프트로 구성하고, 이들 사이를 연결부재로 결합하여 기판의 너비가 길어질 경우, 연결부재를 조절하여 샤프트의 길이를 조절할 수 있으므로, 기판의 너비에 맞는 평판이송장치를 별도로 구비하지 않아도 된다.
즉, 샤프트를 지지하는 지지바로 인해, 자중에 따른 샤프트의 휨과 변형을 방지하고, 연결부재로 제 1샤프트와 제 2샤프트를 연결하여 기판의 너비에 따라 샤프트의 길이를 조절할 수 있으며, 베어링으로 인해 샤프트의 원활한 회전을 갖도록 하여 구동부를 작게 구성할 수 있다.

Claims (5)

  1. 고정부재들과;
    상기 고정부재들에 결합되고 서로 나란하게 배치되며, 기판이 이송되도록 회전 가능한 샤프트들과;
    상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트 각각에 결합되는 롤러들과;
    상기 기판 이송시 상기 샤프트가 처지는 것을 방지하기 위해 상기 고정부재들 사이에 위치되며 상기 샤프트에 의해 이송되는 기판의 아래 위치에서 상기 샤프트를 지지하는 지지바를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 평판 이송 장치는 상기 샤프트와 상기 지지바 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 이송 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 샤프트의 중심부를 지지하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 이송 장치.
  4. 고정부재들과;
    상기 고정부재들에 결합되고 서로 나란하게 배치되며, 기판을 이송하기 위해 회전 가능한 샤프트들과;
    상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트 각각에 결합되는 롤러들과;
    상기 샤프트에 의해 이송되는 기판의 아래 위치에서 상기 샤프트를 지지하도록 상기 샤프트에 결합되는 지지바를 포함하되,
    상기 샤프트는,
    상기 기판의 일측이 접촉되는 롤러가 결합되는 제 1샤프트와;
    상기 기판의 타측이 접촉되는 롤러가 결합되는 제 2샤프트와;
    상기 제 1샤프트와 상기 제 2샤프트를 연결하며, 상기 지지바가 결합되는 연결부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 이송 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지바는,
    상기 연결부재가 삽입되는 홀이 형성된 상단 지지바와;
    상기 상단 지지바 아래에 배치되는 하단 지지바와;
    상기 상단 지지바와 상기 하단 지지바 사이에 배치되어 이들을 결합하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 이송 장치.
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