KR102330565B1 - 컴퓨터화된 직접 기록 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

패턴처리 기판 상에서의 컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법은, 상기 패턴처리 기판 상에 인쇄를 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스를 제공하는 단계와, 패턴처리 기판 이미지를 제공하도록 상기 패턴처리 기판을 이미징하는 단계와, 이미징 및 지시 단계 간의 시간 동안 상기 인쇄 명령어 데이터베이스 및 상기 패턴처리 기판 사이의 기준 등록 수행없이, 적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리 기판 이미지를 참조하기 위한 컴퓨터를 이용하여, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리 기판 상에 기록하도록 광학 기록기에 지시하는 단계를 포함한다.

Description

컴퓨터화된 직접 기록 시스템 및 방법 {IMPROVED SYSTEMS AND METHODS FOR COMPUTERIZED DIRECT WRITING}
본 발명은 일반적으로, 컴퓨터화된 직접 기록에 관한 것이다.
컴퓨터화된 직접 기록에 관한 다양한 접근법들이 당 분야에 알려져 있다. 본 발명은 컴퓨터화된 직접 기록을 위한 개선된 시스템 및 방법을 제공하고자 한다. 예를 들어, 여기서 그 전체 내용이 포함되는 US 특허 제7,508,515호는 당해 기술의 상태를 설명한다.
본 발명은 컴퓨터화된 직접 기록을 위한 개선된 시스템 및 방법을 제공하고자 한다.
발명에 따른 시스템 및 방법의 장점은 각각의 요소 또는 요소 그룹별로 더 우수한 정확도를 제공하기 때문에 기준 등록(fiducial registration) 기반 방법에 비해 개선된 인쇄 정확도를 생성할 수 있고, 이러한 인쇄 방법이 기판의 전역 및 국부 왜곡을 보정할 수 있다는 것이다.
따라서, 본 발명의 선호 실시예에 따르면, 패턴처리 기판 상에서의 컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법이 제공되며, 상기 방법은, 상기 패턴처리 기판 상에 인쇄를 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스를 제공하는 단계와, 패턴처리 기판 이미지를 제공하도록 상기 패턴처리 기판을 이미징하는 단계와, 이미징 및 지시 단계 간의 시간 동안 상기 인쇄 명령어 데이터베이스 및 상기 패턴처리 기판 사이의 기준 등록 수행없이, 적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리 기판 이미지를 참조하기 위한 컴퓨터를 이용하여, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리 기판 상에 기록하도록 광학 기록기에 지시하는 단계를 포함한다.
가급적, 적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리 기판 이미지를 참조하기 위한 컴퓨터를 이용하여, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리 기판 상에 기록하도록 광학 기록기에 지시하는 단계는, 상기 패턴처리 기판에 대응하는 CAM 데이터를 제공하는 단계와, 상기 패턴처리 기판의 이미징된 패턴과 상기 패턴처리 기판에 대응하는 상기 CAM 데이터의 컴퓨터화된 상호 오버레잉 단계와, 상기 정밀 명령어를 제공함에 있어서 상기 오버레잉으로부터의 정보를 이용하는 단계를 또한 포함한다.
가급적, 상기 정밀 명령어를 제공함에 있어서 상기 오버레잉으로부터의 정보를 이용하는 단계는, 상기 CAM 데이터를 이용하여, 상기 인쇄 명령어 데이터베이스에 지닌 상기 정밀 명령어를 변형하는 단계를 포함한다. 추가적으로, 상기 인쇄 명령어 데이터베이스는 상기 이용하는 단계에 사용하기 위해 상기 CAM 데이터를 변형하는데 사용된다.
가급적, 이미징은 자동 광학 검사 서브시스템에 의해 실행된다. 상기 광학 기록기는 직접 이미징 서브시스템이다.
본 발명의 다른 선호되는 실시예에 따르면, 패턴처리 기판 상에서의 컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템이 또한 제공되며, 상기 시스템은, 상기 패턴처리 기판 상에 인쇄를 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스와, 패턴처리 기판 이미지를 제공하도록 상기 패턴처리 기판을 이미징하도록 작동가능한 이미징 기능과, 상기 이미징과 상기 지시 사이의 시간 동안 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리 기판 사이에 기준 등록 수행없이, 적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리 기판 이미지를 참조하도록 작동가능한, 그리고, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리 기판 상에 기록하도록 광학 기록기에 지시하도록 작동가능한 컴퓨터를 포함한다.
가급적, 상기 컴퓨터는 상기 패턴처리 기판의 이미징된 패턴과, 상기 패턴처리 기판에 대응하는 CAM 데이터를 상호 오버레이시키도록 작동가능하고, 상기 정밀 명령어를 제공함에 있어서 상기 오버레이로부터의 정보를 이용하도록 작동가능하다.
가급적, 상기 컴퓨터는 상기 CAM 데이터를 이용하여 상기 정밀 명령어 데이터베이스에 지닌 상기 정밀 명령어를 변형하도록 또한 작동가능하다. 추가적으로, 상기 인쇄 명령어 데이터베이스는 상기 컴퓨터에 의한 이용을 위해 상기 CAM 데이터를 변형하는데 사용된다.
가급적, 상기 이미징 기능은 자동 광학 검사 서브시스템에 포함된다. 가급적, 상기 광학 기록기는 직접 이미징 서브시스템이다.
도 1A는 본 발명의 선호되는 일 실시예에 따라 구성 및 작동하는 컴퓨터화된 직접 기록 시스템의 단순화된 도해다.
도 1B는 본 발명의 다른 선호 실시예에 따라 구성 및 작동하는 컴퓨터화된 직접 기록 시스템의 단순화된 도해다.
도 2는 도 1A 및 1B의 시스템의 작동 단계들을 나타내는 단순화된 순서도다.
도 3은 도 1A-2의 시스템의 작동의 선택적인 추가 단계들을 나타내는 단순화된 순서도다.
도 4A는 도 1A-3의 시스템의 일부분의 일 실시예의 단순화된 블록도다.
도 4B는 도 1A-3의 시스템의 일부분의 다른 실시예의 단순화된 블록도다.
본 발명의 선호되는 일 실시예에 따라 구성 및 작동하는 컴퓨터화된 직접 기록 시스템의 단순화된 도해인 도 1A를 이제 참조한다.
도 1A에 도시되는 바와 같이, 시스템은 종래의 광학 테이블(102) 상에 장착되는 것이 선호되는 샤시(101)를 포함하는 것이 선호된다. 샤시(101)는 기판 지지 표면(104)을 형성하며, 그 위에 패턴처리된 기판(106)이 배치될 수 있다. 기판(106)은 예를 들어, 회로 보드일 수 있고, 그 위에 솔더 마스크가 인쇄될 것이다.
샤시(101)에 대해 구획되는 제 1 축(114)을 따라 기판 지지 표면(140)에 대한 선형 모션을 위해 브리지(112)가 배열된다. 판독/기록 조립체(116)가 제 1 축(114)에 대해 수직인 제 2 축(118)을 따라 브리지(112)에 대한 선형 모션을 위해 배열된다.
시스템은 사용자 인터페이스(128)를 가진 컴퓨터(126)를 포함하는 것이 선호되는, 제어 조립체(124)를 또한 포함하는 것이 선호된다. 컴퓨터(126)는 판독/기록 조립체(116)를 작동시키도록 작동하는 소프트웨어 모듈을 포함하는 것이 선호된다.
제어 조립체(124)는 패턴처리된 기판(106) 상에 인쇄를 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스(130)를 또한 포함하는 것이 선호된다.
본 발명의 선호 실시예에 따르면, 판독/기록 조립체(116)는 패턴처리된 기판(106)의 패턴처리된 기판 이미지(134)를 컴퓨터(126)에 제공하기 위해 패턴처리된 기판(106)를 이미징하도록 작동가능한 자동 광학 검사 서브시스템(AOI)(132)와, 패턴처리된 기판(106) 상에 기록하도록 작동가능한 광학 기록기(optical writer)를 포함하는 직접 이미징 서브시스템(DI)(136)을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 본 실시예의 특별한 일 특징에 따르면, 컴퓨터(162)는 인쇄 명령 데이터베이스에 저장된 정밀 인쇄 명령어 및 패턴처리 기판 이미지(134)를 참조하도록 작동가능하고, 그리고, AOI(132)에 의한 패턴처리 기판(106)의 이미징과, DI(136)에 의한 패턴처리 기판(106) 상의 기록 간의 시간 동안 인쇄 명령어 데이터베이스와 패턴처리 기판(106) 사이에서 기준 등록 수행없이, 패턴처리 기판(106) 상에 기록을 위해 DI(136)에 정밀 인쇄 명령어(138)를 제공하도록 작동가능하다.
본 발명의 다른 선호 실시예에 따라 구성 및 작동되는 컴퓨터화된 직접 기록 시스템의 단순화된 도해인 도 1B를 이제 참조한다.
도 1B에 도시되는 바와 같이, 시스템은 하측 고정 샤시(202)와 관련하여 형성되는 축(203)을 따라 선형 모션을 위해 배열되는, 하측 고정 샤시(202) 상에 장착되는 것이 선호되는, 모션 샤시(201)를 포함하는 것이 선호된다. 샤시(201)는 기판 지지 표면(204)을 형성하고, 기판 지지 표면 상에 패턴처리 기판(206)이 배치될 수 있다. 기판(206)은 예를 들어, 회로 보드일 수 있으며, 이러한 회로 보드 상에 솔더 마스크가 인쇄될 것이다.
고정 브리지(212)는 모션 샤시(201) 위에서 지지되는 것이 선호되며, 그 아래에서 축(203)을 따라 모션 샤시(201)의 선형 운동을 실현한다.
시스템은 패턴처리 기판(206)을 인쇄하기 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스(230)와 컴퓨터(226)를 포함하는 것이 선호되는 제어 조립체(224)를 또한 포함하는 것이 선호된다.
본 발명의 선호 실시예에 따르면, 브리지(212)는 컴퓨터(226)에 패턴처리 기판(206)의 패턴처리 기판 이미지(234)를 제공하기 위해 패턴처리 기판(206)을 이미징하도록 작동가능한 자동 광학 검사 서브시스템(AOI)(232)과, 패턴처리 기판(206) 상에 기록하도록 작동가능한 광학 기록기를 포함하는 직접 이미징 서브시스템(DI)(236)을 지지하는 것이 선호된다.
본 발명의 본 실시예의 특별한 특징에 따르면, 컴퓨터(226)는 인쇄 명령어 데이터베이스(230) 및 패턴처리 기판 이미지(234)에 저장되는 정밀 인쇄 명령어를 참조하도록 작동가능하고, AOI(232)에 의한 패턴처리 기판(206)의 이미징과 DI(236)에 의한 패턴처리 기판(206) 상의 기록 간의 시간 동안 인쇄 검사 데이터베이스 및 패턴처리 기판(206) 간의 기준 등록 실행없이, 패턴처리 기판(206) 상에 기록하기 위해 DI(236)에 정밀 인쇄 명령어(238)를 제공하도록 작동가능하다.
도 1B의 시스템이 고정 샤시(202)에 대한 모션 샤시(201)의 1차원적 운동을 제공하지만, 고정 샤시(202)에 대한 모션 샤시(201)의 2차원적 운동을 제공하는 시스템 역시 제공될 수 있다.
도 1A 및 1B의 시스템의 작동 내 단계들을 나타내는 단순화된 순서도인 도 2를 이제 참조한다. 도 2에 도시되는 바와 같이, 도 1A 및 1B의 패턴처리 기판(106, 206)과 같은 패널이, 초기에 시스템으로 로딩된다(250). 그 후, 패널이 스캔되고(252) 이미징된다(254). 획득된 이미지는 그 후 처리되며(256), 이러한 처리는 개별 요소들 또는 요소 그룹의 검출 및 특성화를 포함할 수 있다. 이러한 특성화는 크기, 위치, 형상, 및 유형을 포함할 수 있다. 획득된 이미지의 요소들과 상관되는 정밀 인쇄 명령어를 제공하도록 인쇄 명령어 데이터베이스가 참조된다(258). 그 후 정밀 인쇄 명령어가 패널에 직접 기록하는데 사용된다(260).
본 발명의 특별한 특징에서, 도 2에 도시되는 방법은, 패턴처리 기판 상에 인쇄를 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스를 제공하는 단계와, 패턴처리 기판 이미지를 제공하도록 패턴처리 기판을 이미징하는 단계와, 이미징과 명령 간의 시간 동안 인쇄 명령어 데이터베이스와 패턴처리 기판 사이에 기준 등록 수행없이 정밀 명령어에 따라 패턴처리 기판 상에 기록하도록 광학 기록기에 지시하기 위해 인쇄 명령어 데이터베이스 및 패턴처리 기판 이미지를 참조하는 단계를 포함한다.
도 1A-2의 시스템의 작동의 선택적인 추가 단계들을 나타내는 단순화된 순서도인 도 3을 이제 참조한다. 도 1A-2를 참조하여 위에서 설명된 바와 같이 정밀 인쇄 명령어를 제공하기 위한 인쇄 명령어 데이터베이스의 참조는, 패턴처리 기판에 대응하는 CAM 데이터와, 패턴처리 기판 이미지 및 패턴처리 기판에 대응하는 CAM 데이터의 컴퓨터화된 상호 오버레이를 제공하는 단계와, 정밀 명령어 제공시 오버레이로부터의 정보를 자동적으로 이용하는 단계를 포함한다. CAM 데이터는 인쇄 명령어 데이터베이스에 저장되는 것이 선호된다.
도 3에 도시되는 바와 같이, 획득되는 이미지의 요소에 상관되는 정밀 인쇄 명령어를 제공하는 단계(300)는, 패턴처리 기판에 대응하는 CAM 데이터를 불러오는 단계(302)와, 기판의 처리된 이미지 데이터를 수신하는 단계(304)를 포함한다. 그 후, 패턴처리 기판에 대응하는 CAM 데이터가 패턴처리 기판 이미지 상에 오버레이되고(306), 오버레이로부터 나타나는 정보가 정밀 명령어 제공에 이용된다(308). 오버레이로부터의 정보는 예를 들어, CAM 데이터에 포함된 패턴과, 기판의 처리 이미지 데이터 수신에서 나타나는 패턴의 패턴 매칭을 포함할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 특별한 특징에서, 정밀 명령어 제공은 이미징과 정밀 명령어 제공 간의 시간 동안 시스템과 패턴처리 기판 간에 기준 등록 수행없이 수행된다.
도 1A-3의 시스템의 일부분의 2개의 대안의 실시예에 대한 단순화된 블록도인 도 4A 및 4B를 이제 참조한다. 도 4A는 규칙-기반 실시예를 도시하고, 도 4B는 CAM 데이터 및 규칙-기반 실시예를 도시한다. 도 4A 또는 4B에 도시되는 요소들은 획득되는 이미지의 요소에 상관되는 정밀 인쇄 명령어 제공을 위해 인쇄 명령어 데이터베이스를 참조하는 도 2의 실행 단계(258)에서 중요하다. 도 4B에 도시되는 요소들은 도 3의 실행 단계(308)에서 중요하며, 패턴처리 기판 이미지에 대한, 패턴처리 기판에 대응하는 오버레이 CAM 데이터로부터의 정보는 정밀 명령어 제공에 이용된다.
도 4A에 도시되는 바와 같이, 시스템은 대응하는 기저부 구성요소층(402) 위에 오버레이 구성요소층(404)의 배치를 통제하는 복수의 규칙(410)을 포함하는 것이 선호된다. 규칙(410)은 도 1A 및 1B의 데이터베이스(130, 230)와 같은, 데이터베이스에 저장될 수 있다.
예를 들어, 규칙(410)은 오버레이 구성요소층(404)과 대응하는 기저부 구성요소층(402) 간에 배치 각도의 허용되는 변화를 지시할 수 있다. 규칙(410)은 오버레이 구성요소층(404) 내 복수의 오버레이 구성요소들의 상호 정렬을 또한 통제하며, 각각의 오버레이 구성요소는 기저부 구성요소층(402) 내 복수의 기저부 구성요소들 중 하나에 대응하며, 상기 기저부 구성요소들은 상이한 상호 정렬을 가진다. 예를 들어, 규칙은 기결정된 폭의 프레임이 크기 X x Y의 임의의 정사각형 형상 주위로 인쇄됨을 정립할 수 있다. 이러한 형상은 인쇄 회로 보드의 패드에 대응할 수 있다. 더욱이, 기결정된 폭의 상호 정렬된 프레임이 크기 X x Y의 정사각형 형상의 기결정된 형상 어레이 각각 주위로 인쇄되는 규칙이 정립될 수 있다. 이러한 어레이는 PCB 상의 주어진 회로 구성요소의 장착을 위한 패드 어레이에 대응할 수 있다.
다른 예로서, R보다 큰 종횡비를 가진 모든 기다란 형상이 T의 두께의 프레임과 오버프린트(overprint)되는 규칙이 정립될 수 있다. 이러한 유형의 규칙은 예를 들어, 기다란 전도체에 적용될 수 있다.
더욱이, 규칙(410)은 오버레이 구성요소층(404) 및 대응하는 기저부 구성요소층(402)을 통제하는 순응 규칙을 포함할 수 있다. 예를 들어, 규칙(410)은 기저부 구성요소층(402)의 기저부 구성요소에 대해 구성요소층(404)의 오버레이 구성요소의 최소 치수에 관한 규칙을 포함할 수 있다. 따라서, 대응하는 기저부 구성요소층(402) 위에 오버레이 구성요소층(404)의 정밀 배치를 변형하도록 규칙(410)이 적용된다.
도 4B에 도시되는 바와 같이, CAM 데이터(400)는 복수 쌍의 설계층을 포함하고, 각각의 쌍은 기저부 구성요소층(402)과, 대응하는 기저부 구성요소층(402)에 기록될 오버레이 구성요소층(404)을 포함하는 것이 선호된다. 기저부 구성요소층(402) 및 오버레이 구성요소층(404)은 상이한 유형의 것일 수 있고, 결과적인 회로 보드 상에서 상이한 기능들을 실행하도록 지정될 수 있다.
CAM 데이터(400)에 담긴(encapsulated) 데이터는 규칙(410)의 변형을 지시할 수 있다. 예를 들어, CAM 데이터(400)에 담긴 데이터는 기저부 구성요소층(402)의 기저부 구성요소에 대한 구성요소층(404)의 오버레이 구성요소의 최소 치수를 지시할 수 있고, 따라서, 규칙(410)들 중 적어도 하나를 무효로할 수 있다. 더욱이, CAM 데이터는 규칙(410)들 중 적절한 하나의 정확한 선택을 선택 또는 확인하는데 사용될 수 있다.
도 1A 및 1B의 AOI 서브시스템(132, 232)과 같은 이미징 서브시스템(420)은 도 1A 및 1B의 패턴처리 기판(106, 206)과 같은 패턴처리 기판의 이미징을 위해 제공되는 것이 선호된다. 도 1A 및 1B의 패턴처리 기판 이미지(134, 234)와 같은, 패턴처리 기판 이미지(422)가 획득되면, 패턴처리 기판 이미지의 윤곽 이미지(426)를 제공하기 위해 윤곽형성 기능(424)이 이용되는 것이 선호된다. 이러한 윤곽형성 프로세스는 출원인의 미국특허 제7,181,059호에 설명된다.
기저부 구성요소층(402) 위에 윤곽 이미지(426)를 오버랩하기 위해, 따라서, 윤곽 이미지(426)의 기존 요소들을 기저부 구성요소층(402) 내 대응하는 요소들에 대해 매칭시키기 위해, 이미지 오버래핑 기능(428)이 제공되는 것이 선호된다. 이미지 오버래핑 기능(428)은 출원인의 미국특허 제7,388,978호에 설명된, 잘 알려진 기하 형상 매칭 프로세스 또는 방법을 이용할 수 있다.
기저부 구성요소층(402)의 요소들의 기능적 태깅(fuctional tagging)을 위해, 기능적 태깅 기능(430)이 제공되는 것이 선호된다. 기능적 태깅 방법은 출원인의 미국특허 제7,388,978호에 설명되고 있다.
기저부 구성요소층(402)의 요소들의 기능적 태깅은, 그 후, 대응하는 오버레이 구성요소층(404) 및 규칙(410)과 연계하여 이용되어, 이미지 디자인(432)을 제공할 수 있다. 이미지 디자인은 그 후, 패턴처리 기판 상에 기록하도록 작동가능한 직접 이미징 서브시스템(440)에 제공된다.

Claims (12)

  1. 패턴처리된 기판 상에서의 컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법에 있어서,
    상기 패턴처리된 기판 상에, 추가 패턴을 인쇄하기 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스를 제공하는 단계와,
    패턴처리된 기판 이미지를 제공하도록 상기 패턴처리된 기판을 이미징하는 단계 - 상기 패턴처리된 기판의 이미지는 이미징된 패턴을 포함함 - 와,
    적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리된 기판 이미지를 참조하기 위한 컴퓨터를 이용하여, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리된 기판 상에 상기 추가 패턴을 기록하도록 광학 기록기에 지시하는 단계 - 상기 이미징 및 지시 단계 간의 시간 동안 상기 인쇄 명령어 데이터베이스 및 상기 패턴처리된 기판 사이의 기준 등록을 수행하지 않음 - 를 포함하고,
    적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리된 기판 이미지를 참조하기 위한 컴퓨터를 이용하여, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리된 기판 상에 상기 추가 패턴을 기록하도록 광학 기록기에 지시하는 단계는,
    상기 패턴처리된 기판에 대응하는 CAM 데이터를 제공하는 단계와,
    상기 패턴처리된 기판의 상기 이미징된 패턴과 상기 패턴처리된 기판에 대응하는 상기 CAM 데이터의 컴퓨터화된 상호 오버레잉 단계와,
    상기 정밀 명령어를 제공함에 있어서 상기 오버레잉으로부터의 정보를 이용하는 단계를 포함하는,
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 정밀 명령어를 제공함에 있어서 상기 오버레잉으로부터의 정보를 이용하는 단계는, 상기 CAM 데이터를 이용하여, 상기 인쇄 명령어 데이터베이스에 지닌 상기 정밀 명령어를 변형하는 단계를 포함하는
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 인쇄 명령어 데이터베이스는 상기 이용하는 단계에 사용하기 위해 상기 CAM 데이터를 변형하는데 사용되는
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 이미징은 자동 광학 검사 서브시스템에 의해 실행되는
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광학 기록기는 직접 이미징 서브시스템인
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 방법.
  7. 패턴처리된 기판 상에서의 컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템에 있어서,
    상기 패턴처리된 기판 상에, 추가 패턴을 인쇄하기 위한 정밀 명령어를 지닌 인쇄 명령어 데이터베이스와,
    패턴처리된 기판 이미지를 제공하도록 상기 패턴처리된 기판을 이미징하도록 작동가능한 이미징 수단 - 상기 패턴처리된 기판 이미지는 이미징된 패턴을 포함함 - 과,
    적어도 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리된 기판 이미지를 참조하도록 작동가능한, 그리고, 상기 정밀 명령어에 따라 상기 패턴처리된 기판 상에 상기 추가 패턴을 기록하도록 광학 기록기에 지시하도록 작동가능한 컴퓨터 - 상기 이미징과 상기 지시 사이의 시간 동안 상기 인쇄 명령어 데이터베이스와 상기 패턴처리된 기판 사이에 기준 등록이 수행되지 않음 - 를 포함하고,
    상기 컴퓨터는 상기 패턴처리된 기판의 상기 이미징된 패턴과, 상기 패턴처리된 기판에 대응하는 CAM 데이터를 상호 오버레이시키도록 작동가능하고, 상기 정밀 명령어를 제공함에 있어서 상기 오버레이로부터의 정보를 이용하도록 작동가능한,
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템.
  8. 삭제
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 컴퓨터는 상기 CAM 데이터를 이용하여 상기 정밀 명령어 데이터베이스에 지닌 상기 정밀 명령어를 변형하도록 또한 작동가능한
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 인쇄 명령어 데이터베이스는 상기 컴퓨터에 의한 이용을 위해 상기 CAM 데이터를 변형하는데 사용되는
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 이미징 수단은 자동 광학 검사 서브시스템에 포함되는
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 광학 기록기가 직접 이미징 서브시스템인
    컴퓨터화된 직접 광학적 기록 시스템.
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